WO2018016357A1 - Wavelength conversion member and light-emitting device using same - Google Patents

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WO2018016357A1
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Abstract

Provided are a wavelength conversion member having a ceramic layer as a reflecting layer and excellent light emission intensity, and a light-emitting device which uses the same. A wavelength conversion member 10 characterized by being provided with a first porous ceramic layer 1 having a porosity of 20 vol% or greater, a phosphor layer 2 including a phosphor formed on the first porous ceramic layer, and a low-refractive-index layer 3 formed on the phosphor layer 2 and having a refractive index equal to or less than the refractive index of the phosphor.

Description

波長変換部材及びそれを用いた発光デバイスWavelength converting member and light emitting device using the same
 本発明は、プロジェクター用蛍光ホイール等として好適な波長変換部材及びそれを用いた発光デバイスに関するものである。 The present invention relates to a wavelength conversion member suitable as a fluorescent wheel for a projector and a light emitting device using the same.
 近年、プロジェクターを小型化するため、LED(Light Emitting Diode)等の光源と蛍光体とを用いた発光デバイスが提案されている。例えば、光源の光を蛍光体層で波長変換し、得られた蛍光を、波長変換部材に隣接して設けられた反射層により光源の入射側に反射させて外部に取り出す、いわゆる反射型の蛍光ホイールが提案されている(例えば、特許文献1参照)。反射型の蛍光ホイールは外部への蛍光取出し効率が高く、プロジェクターを高輝度化しやすいという利点がある。 Recently, in order to reduce the size of projectors, light emitting devices using light sources such as LEDs (Light Emitting Diodes) and phosphors have been proposed. For example, the wavelength of light from a light source is converted by a phosphor layer, and the obtained fluorescence is reflected to the incident side of the light source by a reflection layer provided adjacent to the wavelength conversion member and taken out to the outside. A wheel has been proposed (see, for example, Patent Document 1). The reflection type fluorescent wheel has an advantage that the fluorescent light extraction efficiency to the outside is high and the projector can easily have high brightness.
 特許文献1では、反射層として金、銀、銅、アルミニウム等の金属層が開示されている。金属層は熱伝導率も高いため、蛍光体層に発生した熱を効率良く外部に放出できることから、蛍光体の温度消光(蛍光体の温度上昇により発光強度が低下する現象)を効果的に抑制できるという利点がある。 Patent Document 1 discloses a metal layer such as gold, silver, copper, and aluminum as a reflective layer. Since the metal layer has high thermal conductivity, the heat generated in the phosphor layer can be efficiently released to the outside, effectively suppressing the temperature quenching of the phosphor (a phenomenon in which the emission intensity decreases due to the temperature rise of the phosphor). There is an advantage that you can.
特開2015-1709号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2015-1709
 金属層は熱膨張係数が比較的大きいため、光源から光を照射した場合、あるいは光照射を停止した場合の膨張及び収縮の割合が大きい。そのため、蛍光体層との熱膨張係数差に起因して、蛍光体層にクラックが入ったり、剥離するおそれがある。そこで、熱膨張係数が比較的小さく、熱伝導率が比較的高いセラミック層を反射層として使用することが考えられるが、セラミック層は反射率に劣り、十分な発光強度が得られないという問題がある。 Since the metal layer has a relatively large coefficient of thermal expansion, the ratio of expansion and contraction when light is irradiated from the light source or when light irradiation is stopped is large. For this reason, the phosphor layer may be cracked or peeled off due to a difference in thermal expansion coefficient from the phosphor layer. Therefore, it is conceivable to use a ceramic layer having a relatively low thermal expansion coefficient and a relatively high thermal conductivity as the reflective layer. However, the ceramic layer is inferior in reflectivity, and sufficient emission intensity cannot be obtained. is there.
 以上に鑑み、本発明は、セラミック層を反射層として有し、発光強度に優れた波長変換部材及びそれを用いた発光デバイスを提供することを技術課題とする。 In view of the above, it is an object of the present invention to provide a wavelength conversion member having a ceramic layer as a reflection layer and having excellent emission intensity and a light emitting device using the same.
 本発明の波長変換部材は、気孔率が20体積%以上の第1の多孔質セラミック層と、第1の多孔質セラミック層上に形成された、蛍光体を含む蛍光体層と、蛍光体層上に形成された、蛍光体の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層と、を備えることを特徴とする。 The wavelength conversion member of the present invention includes a first porous ceramic layer having a porosity of 20% by volume or more, a phosphor layer including a phosphor formed on the first porous ceramic layer, and a phosphor layer. And a low refractive index layer having a refractive index equal to or lower than the refractive index of the phosphor formed thereon.
 本発明の波長変換部材において、第1の多孔質セラミック層は反射層としての機能を果たす。具体的には、励起光を、蛍光体層の主面(第1の多孔質セラミック層側とは反対側の主面)に照射することにより発生した蛍光は、第1の多孔質セラミック層で反射されて、蛍光体層における励起光入射面と同じ主面から外部に出射する。ここで、第1の多孔質セラミック層は20体積%以上の気孔率を有することにより、高い光反射率を示す。具体的には、第1の多孔質セラミック層の内部に存在する気孔とセラミックスとの界面では、両者の屈折率差に起因して光が反射されやすい。本発明では、第1の多孔質セラミック層における気孔の割合が20体積%以上と大きく、光反射に寄与する上記界面が多く存在するため、第1の多孔質セラミック層全体として光反射率が大きくなる。結果として、蛍光体層で発生した蛍光を第1の多孔質セラミック層で効率良く反射することができ、波長変換部材の発光強度を向上させることが可能となる。また、蛍光体層で発生した熱は第1の多孔質セラミック層を通して放熱される。 In the wavelength conversion member of the present invention, the first porous ceramic layer functions as a reflective layer. Specifically, the fluorescence generated by irradiating the main surface of the phosphor layer (the main surface opposite to the first porous ceramic layer side) with excitation light is emitted from the first porous ceramic layer. Reflected and emitted to the outside from the same main surface as the excitation light incident surface in the phosphor layer. Here, the first porous ceramic layer exhibits a high light reflectivity by having a porosity of 20% by volume or more. Specifically, light is likely to be reflected at the interface between the pores and the ceramics present in the first porous ceramic layer due to the difference in refractive index between the two. In the present invention, since the ratio of pores in the first porous ceramic layer is as large as 20% by volume or more, and there are many interfaces that contribute to light reflection, the light reflectance of the entire first porous ceramic layer is large. Become. As a result, the fluorescence generated in the phosphor layer can be efficiently reflected by the first porous ceramic layer, and the emission intensity of the wavelength conversion member can be improved. The heat generated in the phosphor layer is dissipated through the first porous ceramic layer.
 本発明の波長変換部材では、蛍光体層上に、蛍光体の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層が形成されている。これにより、波長変換部材への励起光の入射効率や、波長変換部材からの出射効率を向上させることができ、結果として発光強度を高めることができる。なお、一般に、蛍光体層はガラスや樹脂等のマトリクス中に蛍光体粉末が分散してなる構成を有している。ここで蛍光体粉末の屈折率は比較的高い(例えばYAG蛍光体の屈折率ndは約1.8)ため、蛍光体層の屈折率も高くなる傾向がある。そのため、低屈折率層を形成しない場合は、外部の空気と蛍光体層との屈折率差が大きくなり、両者の界面で励起光や蛍光が反射しやすくなる。 In the wavelength conversion member of the present invention, a low refractive index layer having a refractive index equal to or lower than the refractive index of the phosphor is formed on the phosphor layer. Thereby, the incident efficiency of the excitation light to the wavelength conversion member and the emission efficiency from the wavelength conversion member can be improved, and as a result, the emission intensity can be increased. In general, the phosphor layer has a configuration in which phosphor powder is dispersed in a matrix such as glass or resin. Here, since the refractive index of the phosphor powder is relatively high (for example, the refractive index nd of the YAG phosphor is about 1.8), the refractive index of the phosphor layer tends to be high. Therefore, when the low refractive index layer is not formed, the refractive index difference between the external air and the phosphor layer becomes large, and excitation light and fluorescence are easily reflected at the interface between the two.
 本発明の波長変換部材において、蛍光体層が、第1の多孔質セラミック層に融着または無機接合層を介して接合していることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, it is preferable that the phosphor layer is bonded to the first porous ceramic layer through fusion or an inorganic bonding layer.
 上記構成によれば、耐熱性の低い樹脂接着剤等を使用することなく、蛍光体層と第1の多孔質セラミック層を接合することができるため、耐熱性に優れた波長変換部材を得ることができる。具体的には、樹脂接着剤は励起光の照射熱により劣化して黒化するため、発光強度が経時的に低下しやすいが、上記構成によればそのような問題が生じにくい。また、樹脂接着剤は熱伝導性が低いため、蛍光体層と第1の多孔質セラミック層を樹脂接着剤で接着した場合は、蛍光体層で発生した熱が第1の多孔質セラミック層側に放熱されにくい。一方、蛍光体層が、第1の多孔質セラミック層に融着または無機接合層を介して接合していれば、蛍光体層で発生した熱が第1の多孔質セラミック層側に効率良く放熱されやすい。 According to the above configuration, since the phosphor layer and the first porous ceramic layer can be joined without using a resin adhesive having low heat resistance, a wavelength conversion member having excellent heat resistance can be obtained. Can do. Specifically, since the resin adhesive deteriorates and blackens due to the irradiation heat of excitation light, the emission intensity tends to decrease with time, but such a problem hardly occurs according to the above configuration. In addition, since the resin adhesive has low thermal conductivity, when the phosphor layer and the first porous ceramic layer are bonded with the resin adhesive, the heat generated in the phosphor layer is on the first porous ceramic layer side. It is difficult to dissipate heat. On the other hand, if the phosphor layer is bonded to the first porous ceramic layer through fusion or an inorganic bonding layer, heat generated in the phosphor layer is efficiently dissipated to the first porous ceramic layer side. Easy to be.
 本発明の波長変換部材において、第1の多孔質セラミック層は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び酸化ジルコニウムから選択される少なくとも1種からなることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, the first porous ceramic layer is preferably made of at least one selected from aluminum oxide, magnesium oxide and zirconium oxide.
 本発明の波長変換部材において、第1の多孔質セラミック層の、蛍光体層が形成された主面とは反対側の主面に、放熱層が形成されていることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, it is preferable that a heat dissipation layer is formed on the main surface of the first porous ceramic layer opposite to the main surface on which the phosphor layer is formed.
 蛍光体層で発生した熱は、第1の多孔質セラミック層に伝達されるが、第1の多孔質セラミック層には多数の気孔が存在するため熱伝導性が不十分な場合がある。このような場合に、上記構成を採用すれば、蛍光体層で発生し、第1のセラミック層に伝導した熱が放熱層を通じて外部に放出されやすくなる。よって、蛍光体層における発熱をより一層抑制することが可能となる。 The heat generated in the phosphor layer is transferred to the first porous ceramic layer, but the first porous ceramic layer has a large number of pores and may have insufficient thermal conductivity. In such a case, if the above configuration is adopted, the heat generated in the phosphor layer and conducted to the first ceramic layer is easily released to the outside through the heat dissipation layer. Therefore, it is possible to further suppress the heat generation in the phosphor layer.
 本発明の波長変換部材において、放熱層が、気孔率が20体積%未満の緻密質セラミック層であることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, the heat dissipation layer is preferably a dense ceramic layer having a porosity of less than 20% by volume.
 緻密質セラミック層は、断熱性を有する気孔の割合が20体積%未満と低いため、比較的熱伝導性に優れる。また、第1の多孔質セラミック層で反射されずに透過した光を緻密質セラミック層で反射することができるため、波長変換部材全体として光反射率を向上させることが可能となる。 The dense ceramic layer is relatively excellent in thermal conductivity because the proportion of pores having heat insulation is as low as less than 20% by volume. Further, since the light transmitted without being reflected by the first porous ceramic layer can be reflected by the dense ceramic layer, the light reflectance can be improved as a whole of the wavelength conversion member.
 本発明の波長変換部材において、緻密質セラミック層が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び酸化ジルコニウムから選択される少なくとも1種からなることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, the dense ceramic layer is preferably made of at least one selected from aluminum oxide, magnesium oxide and zirconium oxide.
 本発明の波長変換部材において、放熱層の、第1の多孔質セラミック層が形成された主面とは反対側の主面に、気孔率20体積%以上の第2の多孔質セラミック層が形成されていることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, a second porous ceramic layer having a porosity of 20% by volume or more is formed on the main surface of the heat dissipation layer opposite to the main surface on which the first porous ceramic layer is formed. It is preferable that
 後述するように、第1の多孔質セラミック層は、例えば原料となるグリーンシートの焼成により作製される。ここで、グリーンシートは焼成により収縮しやすいため、第1の多孔質セラミック層及び放熱層を含む積層体に反りが発生する場合がある。特に、各層の厚みが小さい場合は、反りが発生しやすい。そこで、放熱層の、第1の多孔質セラミック層が形成された主面とは反対側の主面に、気孔率20体積%以上の第2の多孔質セラミック層を形成することにより、放熱層と第1のセラミック層の間に発生する応力と、放熱層と第2のセラミック層の間に発生する応力のバランスがとれ、焼成時における反りが発生しにくくなる。 As will be described later, the first porous ceramic layer is produced, for example, by firing a green sheet as a raw material. Here, since the green sheet is easily contracted by firing, the laminated body including the first porous ceramic layer and the heat dissipation layer may be warped. In particular, when the thickness of each layer is small, warping is likely to occur. Therefore, by forming a second porous ceramic layer having a porosity of 20% by volume or more on the main surface of the heat dissipation layer opposite to the main surface on which the first porous ceramic layer is formed, the heat dissipation layer is formed. And the stress generated between the first ceramic layer and the stress generated between the heat dissipation layer and the second ceramic layer are balanced, and warpage during firing is less likely to occur.
 本発明の波長変換部材において、第1の多孔質セラミック層と第2の多孔質セラミック層の気孔率、厚み及び/または材質が実質的に同一であることが好ましい。このようにすれば、本発明の波長変換部材の製造時のグリーンシートの焼成工程における反りの問題を効果的に抑制することができる。なお「実質的に同一」とは、グリーンシートの焼成工程における反りに影響を与えるほどに気孔率、厚み、材質が相違していないことを意味する。具体的には、気孔率については、相違が5%以下であることを意味する。また、厚みについては、各層の厚みの相違の割合(各層のうち厚みが大きいほうの層に対する、各層の厚みの相違の割合)が10%以下であることを意味する。 In the wavelength conversion member of the present invention, it is preferable that the porosity, thickness and / or material of the first porous ceramic layer and the second porous ceramic layer are substantially the same. If it does in this way, the problem of the curvature in the baking process of the green sheet at the time of manufacture of the wavelength conversion member of the present invention can be controlled effectively. “Substantially the same” means that the porosity, thickness, and material are not so different as to affect the warpage in the firing process of the green sheet. Specifically, the porosity means that the difference is 5% or less. Moreover, about thickness, it means that the ratio of the difference of the thickness of each layer (The ratio of the difference of the thickness of each layer with respect to the layer with larger thickness among each layer) is 10% or less.
 本発明の波長変換部材において、蛍光体層が、無機バインダー中に蛍光体が分散してなることが好ましい。このようにすれば、蛍光体層の耐熱性が向上しやすくなり、励起光照射による蛍光体層の破損等の不具合が生じにくくなる。 In the wavelength conversion member of the present invention, the phosphor layer is preferably formed by dispersing the phosphor in an inorganic binder. If it does in this way, it will become easy to improve the heat resistance of a fluorescent substance layer, and it will become difficult to produce malfunctions, such as breakage of a fluorescent substance layer by excitation light irradiation.
 本発明の波長変換部材において、低屈折率層がガラスからなることが好ましい。 In the wavelength conversion member of the present invention, the low refractive index layer is preferably made of glass.
 本発明の波長変換部材は、ホイール形状であってもよい。この場合、プロジェクター光源の構成部材として好適となる。 The wavelength conversion member of the present invention may have a wheel shape. In this case, it is suitable as a constituent member of the projector light source.
 本発明の発光デバイスは、上記の波長変換部材と、波長変換部材における蛍光体層に励起光を照射する光源とを備えることを特徴とする。 The light-emitting device of the present invention includes the above-described wavelength conversion member and a light source that irradiates the phosphor layer in the wavelength conversion member with excitation light.
 本発明の発光デバイスは、プロジェクター光源として使用することができる。 The light emitting device of the present invention can be used as a projector light source.
 本発明によれば、セラミック層を反射層として有し、発光強度に優れた波長変換部材及びそれを用いた発光デバイスを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a wavelength conversion member having a ceramic layer as a reflection layer and having excellent emission intensity and a light emitting device using the same.
(a)は、本発明の第1の実施形態に係る波長変換部材を示す模式的斜視図であり、(b)は(a)の波長変換部材の側断面の一部を示す図である。(A) is a typical perspective view which shows the wavelength conversion member which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (b) is a figure which shows a part of side cross section of the wavelength conversion member of (a). 本発明の第2の実施形態に係る波長変換部材の側断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of side cross section of the wavelength conversion member which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る波長変換部材の側断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of side cross section of the wavelength conversion member which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る波長変換部材の側断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of side cross section of the wavelength conversion member which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 実施例において、特性評価を行うための波長変換部材のサンプルを示す模式的平面図である。In an Example, it is a typical top view which shows the sample of the wavelength conversion member for performing characteristic evaluation.
 以下、本発明の波長変換部材の実施形態を図面を用いて説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。 Hereinafter, embodiments of the wavelength conversion member of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to the following embodiments. Moreover, in each drawing, the member which has the substantially the same function may be referred with the same code | symbol.
 (1)第1の実施形態に係る波長変換部材
 図1の(a)は、本発明の第1の実施形態に係る波長変換部材を示す模式的斜視図であり、(b)は(a)の波長変換部材の側断面の一部を示す図である。
(1) Wavelength conversion member according to the first embodiment FIG. 1A is a schematic perspective view showing a wavelength conversion member according to the first embodiment of the present invention, and FIG. It is a figure which shows a part of side cross section of this wavelength conversion member.
 波長変換部材10は、第1の多孔質セラミック層1と、その上に形成された、蛍光体を含む蛍光体層2と、さらにその上に形成された低屈折率層3とを備えている。第1の多孔質セラミック層1、蛍光体層2、低屈折率層3は外径が略同一であり、かつ同心となるように形成されたホイール形状を有している。励起光は低屈折率層3の上面(蛍光体層2が形成された面とは反対側の面)から入射し、蛍光体層2に含まれる蛍光体により波長変換されて蛍光を発する。蛍光は第1の多孔質セラミック層1で反射され、低屈折率層3の上面から外部に出射される。ここで、第1の多孔質セラミック層1は蛍光体層2よりも熱伝導率が高いことが好ましく、これにより蛍光体層2で発生した熱を外部に効率良く放出しやすくなる。 The wavelength conversion member 10 includes a first porous ceramic layer 1, a phosphor layer 2 including a phosphor formed thereon, and a low refractive index layer 3 formed thereon. . The first porous ceramic layer 1, the phosphor layer 2, and the low refractive index layer 3 have wheel shapes that are substantially the same in outer diameter and are concentric. Excitation light is incident from the upper surface of the low refractive index layer 3 (surface opposite to the surface on which the phosphor layer 2 is formed), and is converted in wavelength by the phosphor contained in the phosphor layer 2 to emit fluorescence. The fluorescent light is reflected by the first porous ceramic layer 1 and is emitted to the outside from the upper surface of the low refractive index layer 3. Here, it is preferable that the first porous ceramic layer 1 has a higher thermal conductivity than the phosphor layer 2, which facilitates efficient release of heat generated in the phosphor layer 2 to the outside.
 第1の多孔質セラミック層1の気孔率は20体積%以上であり、30体積%以上、特に40体積%以上であることが好ましい。第1の多孔質セラミック層1は20体積%以上の気孔率を有することにより、既述の理由から高い光反射率を示す。第1の多孔質セラミック層1の気孔率の上限は80体積%以下、75体積%以下、特に70体積%以下であることが好ましい。第1の多孔質セラミック層1の気孔率が高すぎると、機械的強度が低下したり、あるいは熱伝導率が低下して蛍光体層2で発生した熱を外部に放出しにくくなる。 The porosity of the first porous ceramic layer 1 is 20% by volume or more, preferably 30% by volume or more, and particularly preferably 40% by volume or more. Since the first porous ceramic layer 1 has a porosity of 20% by volume or more, the first porous ceramic layer 1 exhibits a high light reflectance for the reasons described above. The upper limit of the porosity of the first porous ceramic layer 1 is preferably 80% by volume or less, 75% by volume or less, and particularly preferably 70% by volume or less. If the porosity of the first porous ceramic layer 1 is too high, the mechanical strength is lowered, or the heat conductivity is lowered to make it difficult to release the heat generated in the phosphor layer 2 to the outside.
 第1の多孔質セラミック層1は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ニオビウム、酸化亜鉛、酸化ケイ素、酸化イットリウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素等からなるものが挙げられる。これらは単独であっても良く、2種以上を複合して用いても良い。なかでも酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムは、熱伝導率が高く、また安価であるため好ましい。特に、酸化アルミニウムであることが好ましい。 The first porous ceramic layer 1 is made of aluminum oxide, magnesium oxide, zirconium oxide, titanium oxide, niobium oxide, zinc oxide, silicon oxide, yttrium oxide, aluminum nitride, boron nitride, silicon nitride, silicon carbide, or the like. Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide are preferable because they have high thermal conductivity and are inexpensive. In particular, aluminum oxide is preferable.
 第1の多孔質セラミック層1の厚みは0.05~2mm、0.1~1.5mm、特に0.2~1mmであることが好ましい。第1の多孔質セラミック層1の厚みが小さすぎると、機械的強度が低下して、使用時に破損しやすくなる。また、十分な光反射率が得られにくくなる。一方、第1の多孔質セラミック層1の厚みが大きすぎると、波長変換部材10、さらにはそれを用いた発光デバイスの質量が大きくなる傾向がある。また、ホイール状の波長変換部材10をプロジェクター用光源に使用した場合、波長変換部材10を回転させるモーターへの負荷が大きくなる、あるいは回転による振動が大きくなり破損のおそれがある。 The thickness of the first porous ceramic layer 1 is preferably 0.05 to 2 mm, 0.1 to 1.5 mm, particularly preferably 0.2 to 1 mm. When the thickness of the 1st porous ceramic layer 1 is too small, mechanical strength will fall and it will become easy to break at the time of use. Moreover, it becomes difficult to obtain sufficient light reflectance. On the other hand, when the thickness of the 1st porous ceramic layer 1 is too large, there exists a tendency for the mass of the wavelength conversion member 10 and also the light emitting device using the same to become large. Further, when the wheel-shaped wavelength conversion member 10 is used as a light source for a projector, a load on a motor that rotates the wavelength conversion member 10 increases, or vibration due to rotation increases, which may cause damage.
 蛍光体層2としては、例えば無機バインダー中に蛍光体が分散してなるものが挙げられる。このようにすれば、第1の多孔質セラミック層1との熱膨張係数も整合させやすくなり、励起光照射により高温になった場合であっても、熱膨張係数差に起因する破損が生じにくくなる。無機バインダーとしてはガラス等が挙げられる。 Examples of the phosphor layer 2 include those in which a phosphor is dispersed in an inorganic binder. In this way, it becomes easy to match the thermal expansion coefficient with the first porous ceramic layer 1, and even when the temperature is increased by irradiation with excitation light, damage due to the difference in thermal expansion coefficient is unlikely to occur. Become. Glass etc. are mentioned as an inorganic binder.
 無機バインダーとして使用するガラスとしては、ホウ珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラスなどを用いることができる。ガラスの軟化点は250~1000℃、特に300~850℃であることが好ましい。ガラスの軟化点が低すぎると、蛍光体層2の機械的強度が低下したり、励起光の照射により融解しやすくなる。一方、ガラスの軟化点が高すぎると、製造時における焼成工程で蛍光体が劣化して、蛍光体層2の発光強度が低下しやすくなる。 As the glass used as the inorganic binder, borosilicate glass, phosphate glass and the like can be used. The softening point of the glass is preferably 250 to 1000 ° C, particularly 300 to 850 ° C. If the softening point of the glass is too low, the mechanical strength of the phosphor layer 2 is lowered, or it is easily melted by irradiation with excitation light. On the other hand, if the softening point of the glass is too high, the phosphor is deteriorated in the firing step during production, and the light emission intensity of the phosphor layer 2 is likely to be lowered.
 蛍光体は、励起光の入射により蛍光を出射するものであれば、特に限定されるものではない。蛍光体の具体例としては、例えば、酸化物蛍光体、窒化物蛍光体、酸窒化物蛍光体、塩化物蛍光体、酸塩化物蛍光体、硫化物蛍光体、酸硫化物蛍光体、ハロゲン化物蛍光体、カルコゲン化物蛍光体、アルミン酸塩蛍光体、ハロリン酸塩化物蛍光体、ガーネット系化合物蛍光体から選ばれた1種以上等が挙げられる。励起光として青色光を用いる場合、例えば、緑色光、黄色光または赤色光を蛍光として出射する蛍光体を混合して用いればよい。 The phosphor is not particularly limited as long as it emits fluorescence when incident excitation light is incident. Specific examples of the phosphor include, for example, an oxide phosphor, a nitride phosphor, an oxynitride phosphor, a chloride phosphor, an acid chloride phosphor, a sulfide phosphor, an oxysulfide phosphor, and a halide. Examples thereof include one or more selected from phosphors, chalcogenide phosphors, aluminate phosphors, halophosphate phosphors, and garnet compound phosphors. When blue light is used as excitation light, for example, phosphors that emit green light, yellow light, or red light as fluorescence may be mixed and used.
 蛍光体の平均粒子径(D50)は1~50μm、特に5~25μmであることが好ましい。蛍光体の平均粒子径が小さすぎると、発光強度が低下しやすくなる。一方、蛍光体の平均粒子径が大きすぎると、発光色が不均一になる傾向がある。 The average particle diameter (D 50 ) of the phosphor is preferably 1 to 50 μm, particularly preferably 5 to 25 μm. If the average particle size of the phosphor is too small, the emission intensity tends to decrease. On the other hand, if the average particle diameter of the phosphor is too large, the emission color tends to be non-uniform.
 蛍光体層2中における蛍光体の含有量は5~80体積%、10~75体積%、特に20~70体積%であることが好ましい。蛍光体の含有量が少なすぎると、発光強度が不十分になる傾向がある。一方、蛍光体の含有量が多すぎると、蛍光体層2の機械的強度が不十分になる傾向がある。 The phosphor content in the phosphor layer 2 is preferably 5 to 80% by volume, 10 to 75% by volume, and particularly preferably 20 to 70% by volume. If the phosphor content is too small, the emission intensity tends to be insufficient. On the other hand, if the phosphor content is too large, the mechanical strength of the phosphor layer 2 tends to be insufficient.
 蛍光体層2の厚みは、励起光が確実に蛍光体に吸収されるような厚みである範囲において、薄い方が好ましい。蛍光体層2が厚すぎると、蛍光体層2における光の散乱や吸収が大きくなりすぎ、蛍光の出射効率が低くなってしまう場合があるためである。具体的には、蛍光体層2の厚みは1mm以下、0.5mm以下、特に0.3mm以下であることが好ましい。蛍光体層2の厚みの下限値は、通常、0.03mm程度である。 The thickness of the phosphor layer 2 is preferably thinner as long as the excitation light is surely absorbed by the phosphor. This is because if the phosphor layer 2 is too thick, the scattering and absorption of light in the phosphor layer 2 becomes too large, and the emission efficiency of fluorescence may be lowered. Specifically, the thickness of the phosphor layer 2 is preferably 1 mm or less, 0.5 mm or less, particularly 0.3 mm or less. The lower limit of the thickness of the phosphor layer 2 is usually about 0.03 mm.
 低屈折率層3は例えばガラスからなる。ガラスとしては、ホウ珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラスなどを用いることができる。ガラスの軟化点は250~1000℃、特に300~850℃であることが好ましい。ガラスの軟化点が低すぎると、低屈折率層3の機械的強度が低下したり、励起光の照射により融解しやすくなる。一方、ガラスの軟化点が高すぎると、製造時における焼成工程で蛍光体が劣化して、蛍光体層2の発光強度が低下しやすくなる。 The low refractive index layer 3 is made of glass, for example. As the glass, borosilicate glass, phosphate glass, or the like can be used. The softening point of the glass is preferably 250 to 1000 ° C, particularly 300 to 850 ° C. If the softening point of the glass is too low, the mechanical strength of the low refractive index layer 3 is lowered or the glass is easily melted by irradiation with excitation light. On the other hand, if the softening point of the glass is too high, the phosphor is deteriorated in the firing step during production, and the light emission intensity of the phosphor layer 2 is likely to be lowered.
 低屈折率層3の屈折率(nd)は1.9以下、1.85以下、1.8以下、1.7以下、特に1.6以下であることが好ましい。低屈折率層3の屈折率が高すぎると、上述したような発光強度を向上させる効果が得にくくなる。一方、低屈折率層3の屈折率の下限は特に限定されないが、現実的には1.4以上、さらには1.45以上である。 The refractive index (nd) of the low refractive index layer 3 is preferably 1.9 or less, 1.85 or less, 1.8 or less, 1.7 or less, particularly 1.6 or less. If the refractive index of the low refractive index layer 3 is too high, it is difficult to obtain the effect of improving the light emission intensity as described above. On the other hand, the lower limit of the refractive index of the low refractive index layer 3 is not particularly limited, but is practically 1.4 or more, and further 1.45 or more.
 例えば低屈折率層3は蛍光体層2に融着している。蛍光体層2と低屈折率層3の密着強度を高める観点からは、蛍光体層2と低屈折率層3の熱膨張係数差(30~380℃)が100×10-7/℃以下、80×10-7/℃以下、60×10-7/℃以下、特に40×10-7/℃以下であることが好ましい。また、蛍光体層2に含まれる無機バインダーの軟化点と、低屈折率層3の軟化点との差が200℃以下、150℃以下、特に100℃以下であることが好ましい。 For example, the low refractive index layer 3 is fused to the phosphor layer 2. From the viewpoint of increasing the adhesion strength between the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3, the difference in thermal expansion coefficient (30 to 380 ° C.) between the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3 is 100 × 10 −7 / ° C. or less. It is preferably 80 × 10 −7 / ° C. or less, 60 × 10 −7 / ° C. or less, and particularly preferably 40 × 10 −7 / ° C. or less. Further, the difference between the softening point of the inorganic binder contained in the phosphor layer 2 and the softening point of the low refractive index layer 3 is preferably 200 ° C. or less, 150 ° C. or less, and particularly preferably 100 ° C. or less.
 低屈折率層3の厚みが大きすぎると、励起光や蛍光が吸収されたり、外部への散乱ロスが大きくなる傾向がある。このため、低屈折率層3の厚みは0.1mm以下、0.05mm以下、0.03mm以下、特に0.02mm以下であることが好ましい。ガラス層20の厚みの下限値は特に限定されないが、現実的には0.003mm以上、さらには0.01mm以上である。 If the thickness of the low refractive index layer 3 is too large, excitation light or fluorescence tends to be absorbed, or scattering loss to the outside tends to increase. For this reason, the thickness of the low refractive index layer 3 is preferably 0.1 mm or less, 0.05 mm or less, 0.03 mm or less, and particularly 0.02 mm or less. The lower limit value of the thickness of the glass layer 20 is not particularly limited, but is practically 0.003 mm or more, and further 0.01 mm or more.
 低屈折率層3において励起光や蛍光が吸収されにくくする観点から、低屈折率層3の全光線透過率は50%以上、65%以上、特に80%以上であることが好ましい。 From the viewpoint of making it difficult for excitation light and fluorescence to be absorbed in the low refractive index layer 3, the total light transmittance of the low refractive index layer 3 is preferably 50% or more, 65% or more, particularly preferably 80% or more.
 蛍光体層2は、融着または無機接合層を介して第1の多孔質セラミック層1に接合していることが好ましい。このようにすれば、波長変換部材10の耐熱性を高めることができる。また、蛍光体層2で発生した熱を第1の多孔質セラミック層1側に効率良く放熱することができる。 The phosphor layer 2 is preferably bonded to the first porous ceramic layer 1 via a fused or inorganic bonding layer. If it does in this way, the heat resistance of the wavelength conversion member 10 can be improved. Further, the heat generated in the phosphor layer 2 can be efficiently dissipated to the first porous ceramic layer 1 side.
 蛍光体層2を第1の多孔質セラミック層1に融着する方法としては、例えば蛍光体層2を第1の多孔質セラミック層1の主面1a上に積層して加熱圧着し、焼成する方法が挙げられる。例えば、ガラスマトリクス中に蛍光体が分散してなる蛍光体層2の場合は、第1の多孔質セラミック層1と、蛍光体層2におけるガラスマトリクスが融着する。 As a method of fusing the phosphor layer 2 to the first porous ceramic layer 1, for example, the phosphor layer 2 is laminated on the main surface 1 a of the first porous ceramic layer 1, thermocompression bonded, and fired. A method is mentioned. For example, in the case of the phosphor layer 2 in which the phosphor is dispersed in the glass matrix, the first porous ceramic layer 1 and the glass matrix in the phosphor layer 2 are fused.
 蛍光体層2を第1の多孔質セラミック層1に無機接合層により接合する方法としては、多孔質セラミック層1の主面1a上にゾルゲル法による透明無機材料を塗布し、その上に蛍光体層2を積層して加熱する方法が挙げられる。ゾルゲル法による透明無機材料としてはポリシラザン等があげられる。ポリシラザンは空気中の水分と反応し、アンモニアを発生して縮合することにより、SiOの被膜を形成する。このように、透明無機材料として、比較的低温(室温~200℃)で無機質のガラス膜を形成する接合剤を使用することができる。その他にも、アルコール可溶型有機ケイ素化合物や、その他金属化合物(有機または無機)を含み、触媒の存在下、比較的低温でガラスと同様のSiOネットワークを形成する接合剤を使用することができる。当該接合剤は、有機金属化合物として金属アルコキシド、触媒としてアルコールを用いた場合、加水分解及び脱水反応が促進される結果、SiOネットワークが形成される。 As a method of bonding the phosphor layer 2 to the first porous ceramic layer 1 with an inorganic bonding layer, a transparent inorganic material by a sol-gel method is applied on the main surface 1a of the porous ceramic layer 1, and the phosphor is coated thereon. A method in which the layer 2 is laminated and heated is exemplified. Examples of the transparent inorganic material by the sol-gel method include polysilazane. Polysilazane reacts with moisture in the air to generate ammonia and condense, thereby forming a SiO 2 film. Thus, a bonding agent that forms an inorganic glass film at a relatively low temperature (room temperature to 200 ° C.) can be used as the transparent inorganic material. In addition, it is possible to use a bonding agent containing an alcohol-soluble organosilicon compound or other metal compound (organic or inorganic) and forming a SiO 2 network similar to glass at a relatively low temperature in the presence of a catalyst. it can. In the bonding agent, when a metal alkoxide is used as the organometallic compound and an alcohol is used as the catalyst, hydrolysis and dehydration are promoted, and as a result, a SiO 2 network is formed.
 波長変換部材10は以下のようにして作製することができる。 The wavelength conversion member 10 can be manufactured as follows.
 第1の多孔質セラミック層1の原料であるセラミック粉末と、バインダー樹脂、溶剤、可塑剤等の有機成分とを含むスラリーを、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等により塗布し、加熱乾燥することにより、第1の多孔質セラミック層1用グリーンシートを作製する。ここで、第1の多孔質セラミック層1の原料であるセラミック粉末の平均粒子径(D50)は0.1~10μmであることが好ましい。セラミック粉末の平均粒子径が小さすぎると、第1の多孔質セラミック層1の気孔率が低下しやすくなる。一方、セラミック粉末の平均粒子径が大きすぎると、焼結が不十分となり、第1の多孔質セラミック層1の機械的強度が低下しやすくなる。次に、第1の多孔質セラミック層1用グリーンシートを約1200~1500℃で焼成する。このようにして、第1の多孔質セラミック層1を得る。ここで、焼成温度が低すぎると、焼結が不十分になる傾向がある。一方、焼成温度が高すぎると、気孔率が低下しやすくなる。 A slurry containing ceramic powder as a raw material of the first porous ceramic layer 1 and an organic component such as a binder resin, a solvent, and a plasticizer is applied onto a resin film such as polyethylene terephthalate by a doctor blade method or the like, and heated. By drying, the 1st green sheet for porous ceramic layers 1 is produced. Here, the average particle diameter (D 50 ) of the ceramic powder that is the raw material of the first porous ceramic layer 1 is preferably 0.1 to 10 μm. When the average particle diameter of the ceramic powder is too small, the porosity of the first porous ceramic layer 1 tends to be lowered. On the other hand, if the average particle size of the ceramic powder is too large, sintering becomes insufficient, and the mechanical strength of the first porous ceramic layer 1 tends to decrease. Next, the first green sheet for porous ceramic layer 1 is fired at about 1200 to 1500 ° C. In this way, the first porous ceramic layer 1 is obtained. Here, if the firing temperature is too low, sintering tends to be insufficient. On the other hand, if the firing temperature is too high, the porosity tends to decrease.
 また蛍光体層2のガラスマトリクスとなるガラス粉末と、蛍光体と、バインダー樹脂、溶剤、可塑剤等の有機成分とを含むスラリーを、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等により塗布し、加熱乾燥することにより、蛍光体層2用グリーンシートを作製する。 Also, a slurry containing glass powder as a glass matrix of the phosphor layer 2, phosphor and organic components such as a binder resin, a solvent, and a plasticizer is applied onto a resin film such as polyethylene terephthalate by a doctor blade method or the like. By heating and drying, a green sheet for the phosphor layer 2 is produced.
 さらに低屈折率層3となるガラス粉末と、バインダー樹脂、溶剤、可塑剤等の有機成分とを含むスラリーを、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィルム上にドクターブレード法等により塗布し、加熱乾燥することにより、低屈折率層3用グリーンシートを作製する。 Furthermore, by applying a slurry containing glass powder to be the low refractive index layer 3 and organic components such as a binder resin, a solvent, and a plasticizer on a resin film such as polyethylene terephthalate by a doctor blade method or the like, and heating and drying. Then, a green sheet for the low refractive index layer 3 is prepared.
 得られた多孔質セラミック層1、蛍光体層2用グリーンシート、低屈折率層3用グリーンシートを積層し、焼成することにより、多孔質セラミック層1、蛍光体層2、低屈折率層3が融着接合されてなる波長変換部材10が得られる。ここで、焼成温度は蛍光体層2及び低屈折率層3におけるガラス粉末の軟化温度±100℃の範囲内、特にガラス粉末の軟化点±50℃の範囲内であることが好ましい。焼成温度が低すぎると、多孔質セラミック層1と蛍光体層2、あるいは、蛍光体層2と低屈折率層3が融着しにくくなる。また、ガラス粉末の焼結が不十分となって、蛍光体層2、低屈折率層3の機械的強度が低下しやすくなる。一方、焼成温度が高すぎると、蛍光体層2における蛍光体が劣化して発光強度が低下するおそれがある。 The porous ceramic layer 1, the phosphor layer 2, the green sheet for the phosphor layer 2, and the green sheet for the low refractive index layer 3 thus obtained are laminated and fired, whereby the porous ceramic layer 1, the phosphor layer 2, the low refractive index layer 3 The wavelength conversion member 10 formed by fusion bonding is obtained. Here, the firing temperature is preferably within the range of the softening temperature ± 100 ° C. of the glass powder in the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3, particularly within the range of the softening point ± 50 ° C. of the glass powder. If the firing temperature is too low, the porous ceramic layer 1 and the phosphor layer 2 or the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3 are difficult to fuse. Moreover, the sintering of the glass powder becomes insufficient, and the mechanical strength of the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3 tends to decrease. On the other hand, if the firing temperature is too high, the phosphor in the phosphor layer 2 may deteriorate and the emission intensity may decrease.
 なお、上記方法では多孔質セラミック層1、蛍光体層2用グリーンシート、低屈折率層3用グリーンシートを積層して同時に焼成を行ったが、これに限定されない。例えば、まず多孔質セラミック層1と蛍光体層2用グリーンシートを積層して焼成した後、得られた蛍光体層2の上に低屈折率層3用グリーンシートを積層してさらに焼成することにより低屈折率層3を形成しても良い。 In the above method, the porous ceramic layer 1, the green sheet for the phosphor layer 2, and the green sheet for the low refractive index layer 3 are laminated and fired at the same time. However, the present invention is not limited to this. For example, the porous ceramic layer 1 and the green sheet for the phosphor layer 2 are first laminated and fired, and then the green sheet for the low refractive index layer 3 is laminated on the obtained phosphor layer 2 and further fired. Thus, the low refractive index layer 3 may be formed.
 あるいは、多孔質セラミック層1用グリーンシート、蛍光体層2用グリーンシート、低屈折率層3用グリーンシートをそれぞれ別々に焼成して多孔質セラミック層1、蛍光体層2、低屈折率層3を得た後、それらを無機接合剤を用いて接合することにより、多孔質セラミック層1、蛍光体層2、低屈折率層3が無機接合層により接合されてなる波長変換部材10を得ることもできる。 Alternatively, the porous ceramic layer 1, the phosphor layer 2, and the low refractive index layer 3 are fired separately for the porous ceramic layer 1 green sheet, the phosphor layer 2 green sheet, and the low refractive index layer 3 green sheet, respectively. Then, by bonding them using an inorganic bonding agent, the wavelength conversion member 10 in which the porous ceramic layer 1, the phosphor layer 2, and the low refractive index layer 3 are bonded by the inorganic bonding layer is obtained. You can also.
 上記方法以外にも、多孔質セラミック層1の表面に蛍光体層2用スラリーを塗布し、焼成することより、多孔質セラミック層1上に蛍光体層2を形成した後、蛍光体層2の表面に低屈折率層3用スラリーを塗布し、さらに焼成することにより低屈折率層3を形成しても良い。ここで使用する蛍光体層2用スラリー及び低屈折率層3用スラリーは、それぞれ蛍光体層2用グリーンシート及び低屈折率層3用グリーンシートの作製に使用したものを利用できる。 In addition to the above method, the phosphor layer 2 is formed on the porous ceramic layer 1 by applying the slurry for the phosphor layer 2 on the surface of the porous ceramic layer 1 and firing it. The low refractive index layer 3 may be formed by applying a slurry for the low refractive index layer 3 on the surface and further baking. As the slurry for the phosphor layer 2 and the slurry for the low refractive index layer 3 used here, those used for producing the green sheet for the phosphor layer 2 and the green sheet for the low refractive index layer 3 can be used.
 なお、上記の各製造方法において、グリーンシートまたはスラリーの焼成前に、有機物を除去するための脱脂工程を行ってもよい。また、グリーンシートを含む各層の積層時において、互いの密着性を高めるため、適宜加熱圧着してもよい。 In each of the above production methods, a degreasing step for removing organic substances may be performed before firing the green sheet or slurry. In addition, when the layers including the green sheet are stacked, the layers may be appropriately heat-pressed in order to enhance mutual adhesion.
 (2)第2の実施形態に係る波長変換部材
 図2は、本発明の第2の実施形態に係る波長変換部材の側断面の一部を示す図である。本実施形態に係る波長変換部材20では、多孔質セラミック層1の蛍光体層2が形成された主面とは反対側の主面上に放熱層4が設けられている点で、第1の実施形態に係る波長変換部材10と異なる。放熱層4は、第1の多孔質セラミック層1と外径が略同一かつ同心であるリング状である。その他の構成は第1の実施形態に係る波長変換部材10と同じである。多孔質セラミック層1の主面に放熱層4を設けることにより、既述の理由から、蛍光体層2で発生し、第1の多孔質セラミック層1に伝導した熱が放熱層4を通じて外部に放出されやすくなる。放熱層4の熱伝導率は5W/m・K以上、10W/m・K以上、特に20W/m・K以上であることが好ましい。
(2) Wavelength conversion member according to the second embodiment FIG. 2 is a view showing a part of a side cross section of the wavelength conversion member according to the second embodiment of the present invention. In the wavelength conversion member 20 according to the present embodiment, the first heat dissipation layer 4 is provided on the main surface opposite to the main surface on which the phosphor layer 2 of the porous ceramic layer 1 is formed. Different from the wavelength conversion member 10 according to the embodiment. The heat dissipation layer 4 has a ring shape whose outer diameter is substantially the same and concentric with the first porous ceramic layer 1. Other configurations are the same as those of the wavelength conversion member 10 according to the first embodiment. By providing the heat dissipation layer 4 on the main surface of the porous ceramic layer 1, the heat generated in the phosphor layer 2 and conducted to the first porous ceramic layer 1 is transmitted to the outside through the heat dissipation layer 4 for the reasons described above. It becomes easy to be released. The thermal conductivity of the heat dissipation layer 4 is preferably 5 W / m · K or more, 10 W / m · K or more, and particularly preferably 20 W / m · K or more.
 放熱層4としては、例えば、緻密質セラミック層が挙げられる。緻密質セラミック層の気孔率は20体積%未満であり、15体積%以下、特に10体積%以下であることが好ましい。緻密質セラミック層の気孔率が高すぎると、熱伝導率が低下して、放熱性が低下しやすくなる。一方、緻密質セラミック層の気孔率の下限は特に限定されないが、現実的には0.2体積%以上である。 Examples of the heat dissipation layer 4 include a dense ceramic layer. The porosity of the dense ceramic layer is less than 20% by volume, preferably 15% by volume or less, and particularly preferably 10% by volume or less. If the porosity of the dense ceramic layer is too high, the thermal conductivity is lowered, and the heat dissipation tends to be lowered. On the other hand, the lower limit of the porosity of the dense ceramic layer is not particularly limited, but is actually 0.2% by volume or more.
 緻密質セラミック層は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ニオビウム、酸化亜鉛、酸化イットリウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化ケイ素等からなるものが挙げられる。これらは単独であっても良く、2種以上を複合して用いても良い。なかでも酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムは、熱伝導率が高く、また安価であるため好ましい。 Examples of the dense ceramic layer include those made of aluminum oxide, magnesium oxide, zirconium oxide, titanium oxide, niobium oxide, zinc oxide, yttrium oxide, aluminum nitride, boron nitride, silicon carbide and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide are preferable because they have high thermal conductivity and are inexpensive.
 放熱層4としては、上記以外にもサファイアや、アルミニウム、銀、銅等の金属からなるものであってもよい。 The heat dissipation layer 4 may be made of a metal such as sapphire, aluminum, silver, or copper other than the above.
 放熱層4の厚みは0.2~2mm、0.3~1.5mm、特に0.5~1mmであることが好ましい。放熱層4の厚みが小さすぎると、十分な放熱効果が得られにくくなる。一方、放熱層4の厚みが大きすぎると、波長変換部材20、さらにはそれを用いた発光デバイスの質量が大きくなる傾向がある。また、ホイール状の波長変換部材20をプロジェクター用光源に使用した場合、波長変換部材20を回転させるモーターへの負荷が大きくなる、あるいは回転による振動が大きくなり破損のおそれがある。 The thickness of the heat dissipation layer 4 is preferably 0.2 to 2 mm, 0.3 to 1.5 mm, and particularly preferably 0.5 to 1 mm. When the thickness of the heat dissipation layer 4 is too small, it becomes difficult to obtain a sufficient heat dissipation effect. On the other hand, if the thickness of the heat dissipation layer 4 is too large, the wavelength conversion member 20 and the light emitting device using the same tend to increase in mass. Further, when the wheel-shaped wavelength conversion member 20 is used as a light source for a projector, a load on a motor that rotates the wavelength conversion member 20 increases, or vibration due to rotation increases, which may cause damage.
 波長変換部材20は以下のようにして作製することができる。 The wavelength conversion member 20 can be manufactured as follows.
 波長変換部材10における方法と同様にして、第1の多孔質セラミック層1用グリーンシートを作製する。 The first green sheet for the porous ceramic layer 1 is produced in the same manner as in the wavelength conversion member 10.
 次に、放熱層4を準備する。放熱層4として緻密質セラミック層を用いる場合は、波長変換部材10における多孔質セラミック層1用グリーンシートの作製方法と同様にして、緻密質セラミック層用グリーンシートを得る。緻密質セラミック層用グリーンシートを比較的高温で焼結することにより、気孔率の低い緻密質セラミック層を得る。具体的には、緻密質セラミック層用グリーンシートを約1500℃以上、好ましくは1600℃以上で焼成することが好ましい。また、原料であるセラミック粉末の平均粒子径(D50)が小さいほど、緻密質セラミック層の気孔率を低減しやすい。 Next, the heat dissipation layer 4 is prepared. When a dense ceramic layer is used as the heat dissipation layer 4, a green sheet for the dense ceramic layer is obtained in the same manner as the method for producing the green sheet for the porous ceramic layer 1 in the wavelength conversion member 10. A dense ceramic layer having a low porosity is obtained by sintering the green sheet for the dense ceramic layer at a relatively high temperature. Specifically, it is preferable that the dense ceramic layer green sheet is fired at about 1500 ° C. or higher, preferably 1600 ° C. or higher. Moreover, as the average particle size of the ceramic powder which is a raw material (D 50) is small, easy to reduce the porosity of the dense ceramic layer.
 続いて、第1の多孔質セラミック層1用グリーンシートと、放熱層4を積層し、焼成することにより第1の多孔質セラミック層1と放熱層4が接合してなる積層体を得る。 Subsequently, the first porous ceramic layer 1 green sheet and the heat dissipation layer 4 are stacked and fired to obtain a laminate in which the first porous ceramic layer 1 and the heat dissipation layer 4 are joined.
 波長変換部材10における方法と同様にして、得られた積層体における第1の多孔質セラミック層1上に蛍光体層2、さらに蛍光体層2上に低屈折率層3を接合することにより、波長変換部材20を得る。 In the same manner as in the wavelength conversion member 10, by bonding the phosphor layer 2 on the first porous ceramic layer 1 and further the low refractive index layer 3 on the phosphor layer 2 in the obtained laminate, The wavelength conversion member 20 is obtained.
 なお、先に蛍光体層2、低屈折率層3を第1の多孔質セラミック層1に接合した後に放熱層4を接合してもよい。 Note that the heat-dissipating layer 4 may be bonded after the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3 are bonded to the first porous ceramic layer 1 first.
 (3)第3の実施形態に係る波長変換部材
 図3は、本発明の第3の実施形態に係る波長変換部材の側断面の一部を示す図である。本実施形態に係る波長変換部材30では、放熱層4の、第1の多孔質セラミック層1が形成された主面と反対側の主面に、第1の多孔質セラミック層1と略同一形状の第2の多孔質セラミック層1’が設けられている。その他の構成は第2の実施形態に係る波長変換部材20と同じである。このような構成とすることにより、製造工程におけるグリーンシート焼成時に波長変換部材30に反りが発生しにくくなる。
(3) Wavelength conversion member according to the third embodiment FIG. 3 is a view showing a part of a side cross section of the wavelength conversion member according to the third embodiment of the present invention. In the wavelength conversion member 30 according to the present embodiment, the heat dissipation layer 4 has substantially the same shape as the first porous ceramic layer 1 on the main surface opposite to the main surface on which the first porous ceramic layer 1 is formed. The second porous ceramic layer 1 'is provided. Other configurations are the same as those of the wavelength conversion member 20 according to the second embodiment. By setting it as such a structure, it becomes difficult to generate | occur | produce a curvature in the wavelength conversion member 30 at the time of a green sheet baking in a manufacturing process.
 第2の多孔質セラミック層1’の気孔率及び厚みの範囲、及び材質の具体例については、第1の多孔質セラミック層1と同様のものを選択することができる。製造時の焼成工程における波長変換部材30の反りの問題を効果的に抑制する観点からは、第1の多孔質セラミック層1と第2の多孔質セラミック層1’の気孔率、厚み及び材質の少なくとも1つが実質的に同一であることが好ましく、それら全てが実質的に同一であることがより好ましい。 As for the porosity and thickness range of the second porous ceramic layer 1 ′ and specific examples of the material, the same materials as those of the first porous ceramic layer 1 can be selected. From the viewpoint of effectively suppressing the problem of warping of the wavelength conversion member 30 in the firing step during manufacturing, the porosity, thickness, and material of the first porous ceramic layer 1 and the second porous ceramic layer 1 ′ It is preferred that at least one is substantially the same, more preferably they are all substantially the same.
 (4)第4の実施形態に係る波長変換部材
 図4の(a)は、本発明の第4の実施形態に係る波長変換部材40の平面図であり、(b)は(a)のA-A’断面図である。本実施形態に係る波長変換部材40では、蛍光体層2、低屈折率層3が形成されている領域の一部において切り欠き部Cが設けられている点で波長変換部材30と異なっている。各層の構成は波長変換部材30と同じである。切り欠き部Cにおいては、第1の多孔質セラミック層1、第2の多孔質セラミック層1’、蛍光体層2、低屈折率層3及び放熱層4のいずれも形成されておらず、ホイール外周の一部が完全に欠損した形態となっており、励起光が透過できるようになっている。よって、波長変換部材40を用いることにより、励起光を蛍光体層2で波長変換させて蛍光を取り出す場合と、励起光をそのまま取り出す場合の両者を適宜使い分けることができる発光デバイスを得ることができる。
(4) Wavelength Conversion Member According to Fourth Embodiment FIG. 4A is a plan view of a wavelength conversion member 40 according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 4B is A of FIG. -A 'sectional view. The wavelength conversion member 40 according to this embodiment is different from the wavelength conversion member 30 in that a notch C is provided in a part of the region where the phosphor layer 2 and the low refractive index layer 3 are formed. . The configuration of each layer is the same as that of the wavelength conversion member 30. In the cutout portion C, none of the first porous ceramic layer 1, the second porous ceramic layer 1 ′, the phosphor layer 2, the low refractive index layer 3 and the heat dissipation layer 4 is formed. A part of the outer periphery is completely missing, so that excitation light can be transmitted. Therefore, by using the wavelength conversion member 40, it is possible to obtain a light emitting device that can appropriately use both the case where the excitation light is converted in wavelength by the phosphor layer 2 and the fluorescence is extracted and the case where the excitation light is extracted as it is. .
 (発光デバイス)
 本発明の発光デバイスは、上記の波長変換部材(波長変換部材10~40のいずれか)と、波長変換部材に励起光を照射する光源とを備えてなる。光源としてはLEDやLD等を使用することができる。光源から出射された励起光は波長変換部材における蛍光体層で波長変換されて蛍光を発し、当該蛍光は第1の多孔質セラミック層で反射されて、励起光照射側と同じ側から蛍光が出射される。
(Light emitting device)
A light-emitting device of the present invention includes the above-described wavelength conversion member (any one of the wavelength conversion members 10 to 40) and a light source that irradiates the wavelength conversion member with excitation light. As the light source, an LED, an LD, or the like can be used. The excitation light emitted from the light source is wavelength-converted by the phosphor layer in the wavelength conversion member to emit fluorescence, and the fluorescence is reflected by the first porous ceramic layer, and the fluorescence is emitted from the same side as the excitation light irradiation side. Is done.
 以下、本発明の波長変換部材を実施例により詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。 Hereinafter, the wavelength conversion member of the present invention will be described in detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
 表1は本発明の実施例及び比較例を示す。 Table 1 shows examples and comparative examples of the present invention.
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 (実施例1)
 (多孔質セラミック層用グリーンシートの作製)
 Al粉末(平均粒子径(D50):1μm)に対して、結合剤としてポリブチルメタクリレート、可塑剤としてメチルエチルケトン、溶剤としてブチルベンジルフタレートを適宜添加し、24時間混練することによりスラリーを得た。得られたスラリーをドクターブレード法を用いてポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に塗布し、乾燥させることにより、多孔質セラミック層用グリーンシート(厚み0.32mm)を得た。
Example 1
(Preparation of green sheet for porous ceramic layer)
To the Al 2 O 3 powder (average particle size (D 50 ): 1 μm), polybutyl methacrylate as a binder, methyl ethyl ketone as a plasticizer, and butyl benzyl phthalate as a solvent are appropriately added, and the slurry is kneaded for 24 hours. Obtained. The obtained slurry was applied onto a polyethylene terephthalate (PET) film using a doctor blade method and dried to obtain a green sheet (thickness 0.32 mm) for a porous ceramic layer.
 (蛍光体層用グリーンシートの作製)
 モル%で、SiO:58%、Al:6%、B:17%、LiO:8%、NaO:8%、KO:3%のガラス組成となるよう原料を調合し、溶融急冷法によってフィルム状ガラスを得た。得られたフィルム状ガラスをボールミルを用いて粉砕し、平均粒子径(D50)が1μmのガラス粉末を得た。
(Preparation of green sheet for phosphor layer)
In mol%, SiO 2 : 58%, Al 2 O 3 : 6%, B 2 O 3 : 17%, Li 2 O: 8%, Na 2 O: 8%, K 2 O: 3% The raw materials were mixed so that a film-like glass was obtained by a melt quenching method. The obtained film-like glass was pulverized using a ball mill to obtain a glass powder having an average particle diameter (D 50 ) of 1 μm.
 得られたガラス粉末と、YAG(YAl12)蛍光体粉末(平均粒子径(D50):15μm)とを、ガラス粉末 30体積%、YAG(YAl12)蛍光体粉末 70体積%となるように調合し、振動混合機を用いて混合した。得られた混合粉末50gに結合剤、可塑剤、溶剤等を適宜添加し、24時間混練することによりスラリーを得た。得られたスラリーをドクターブレード法を用いてPETフィルム上に塗布し、乾燥させることにより、蛍光体層用グリーンシート(厚み0.12mm)を得た。 The obtained glass powder and a YAG (Y 3 Al 5 O 12 ) phosphor powder (average particle diameter (D 50 ): 15 μm) were mixed with 30 vol% glass powder, YAG (Y 3 Al 5 O 12 ) phosphor. The powder was mixed to 70% by volume and mixed using a vibration mixer. A binder, a plasticizer, a solvent and the like were appropriately added to 50 g of the obtained mixed powder and kneaded for 24 hours to obtain a slurry. The obtained slurry was applied onto a PET film using a doctor blade method and dried to obtain a phosphor layer green sheet (thickness: 0.12 mm).
 (低屈折率層用グリーンシートの作製)
 蛍光体層用グリーンシートの作製に使用したガラス粉末50gに結合剤、可塑剤、溶剤等を適宜添加し、24時間混練することによりスラリーを得た。得られたスラリーをドクターブレード法を用いてPETフィルム上に塗布し、乾燥させることにより、低屈折率層用グリーンシート(厚み0.03mm)を得た。
(Preparation of green sheet for low refractive index layer)
A binder, a plasticizer, a solvent, and the like were appropriately added to 50 g of the glass powder used for the production of the green sheet for the phosphor layer, and kneaded for 24 hours to obtain a slurry. The obtained slurry was applied onto a PET film using a doctor blade method and dried to obtain a green sheet (thickness 0.03 mm) for a low refractive index layer.
 (波長変換部材の作製)
 多孔質セラミック層用グリーンシートと、放熱層として緻密質セラミック層(株式会社MARUWA製Alシート 製品名HA-96-2;厚み0.8mm、熱伝導率23W/m・K)を重ね合わせ、熱圧着機を用いて、100℃で5分、10MPaの圧力を印加して両者を密着させた後、大気中にて600℃で8時間脱脂処理を行い、さらに1400℃で5時間焼成することにより、多孔質セラミック層と緻密質セラミック層の2層からなるセラミック層積層体を作製した。
(Production of wavelength conversion member)
A porous ceramic layer green sheet and a dense ceramic layer (Al 2 O 3 sheet, product name HA-96-2 manufactured by MARUWA, Inc .; thickness 0.8 mm, thermal conductivity 23 W / m · K) are stacked as a heat dissipation layer And applying a pressure of 10 MPa at 100 ° C. for 5 minutes using a thermocompression bonding machine to make them adhere closely, followed by degreasing treatment at 600 ° C. for 8 hours in the atmosphere, and further firing at 1400 ° C. for 5 hours As a result, a ceramic layer laminate composed of two layers of a porous ceramic layer and a dense ceramic layer was produced.
 セラミック層積層体において、多孔質セラミック層用と緻密質セラミック層の気孔率は、断面の反射電子画像を二値化した後に、気孔部分の面積割合を算出することにより求めた。また、セラミック層積層体の光反射率は、島津製作所製UV-2500PCを用いて波長400~800nmの各波長の反射光強度の平均値より求めた。 In the ceramic layer laminate, the porosity of the porous ceramic layer and that of the dense ceramic layer were obtained by binarizing the cross-section reflected electron image and then calculating the area ratio of the pore portion. The light reflectance of the ceramic layer laminate was obtained from the average value of the reflected light intensity at each wavelength of 400 to 800 nm using UV-2500PC manufactured by Shimadzu Corporation.
 次に、セラミック層積層体の多孔質セラミック層上に蛍光体層用グリーンシート、さらにその上に低屈折率層用グリーンシートを重ね合わせ、熱圧着機を用いて、100℃で5分、10MPaの圧力を印加することにより両者を密着させた後、大気中にて500℃で7時間脱脂処理を行い、さらに700℃で1時間焼成することにより波長変換部材を作製した。 Next, a green sheet for a phosphor layer is laminated on the porous ceramic layer of the ceramic layer laminate, and further a green sheet for a low refractive index layer is overlaid thereon, and using a thermocompression bonding machine at 100 ° C. for 5 minutes, 10 MPa After applying both pressures to each other, degreasing treatment was performed at 500 ° C. for 7 hours in the air, and baking was further performed at 700 ° C. for 1 hour to prepare a wavelength conversion member.
 (実施例2)
 実施例1と同様にして多孔質セラミック層用グリーンシート(厚み0.26mm)を作製した。多孔質セラミック層用グリーンシートを4層重ねて熱圧着機を用いて100℃で5分、10MPaの圧力を印可することにより密着させた後、大気中にて600℃で8時間脱脂処理を行い、1400℃で5時間焼成することにより多孔質セラミック層を得た。多孔質セラミック層の光反射率を実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
(Example 2)
A green sheet for porous ceramic layer (thickness 0.26 mm) was produced in the same manner as in Example 1. After four layers of porous ceramic layer green sheets are stacked and adhered by applying a pressure of 10 MPa at 100 ° C. for 5 minutes using a thermocompression bonding machine, degreasing treatment is performed at 600 ° C. for 8 hours in the atmosphere. The porous ceramic layer was obtained by baking at 1400 degreeC for 5 hours. The light reflectance of the porous ceramic layer was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
 多孔質セラミック層の上に実施例1で得られた蛍光体層用グリーンシート、さらにその上に低屈折率層用グリーンシートを重ね合わせ、熱圧着機を用いて100℃で5分、10MPaの圧力を印加することにより密着させた後、大気中にて500℃で7時間脱脂処理を行い、さらに700℃で1時間焼成することにより波長変換部材を作製した。 The green sheet for the phosphor layer obtained in Example 1 was further superimposed on the porous ceramic layer, and the green sheet for the low refractive index layer was further superimposed on the porous ceramic layer. After making it adhere by applying pressure, degreasing treatment was performed at 500 ° C. for 7 hours in the air, and further, baking was performed at 700 ° C. for 1 hour to prepare a wavelength conversion member.
 (比較例)
 緻密質セラミック層(株式会社MARUWA製Alシート 製品名HA-96-2;厚み0.635mm)の上に、実施例1で得られた蛍光体層用グリーンシート、さらにその上に低屈折率層用グリーンシートを重ね合わせ、熱圧着機を用いて、100℃で5分、10MPaの圧力を印加することにより密着させた後、大気中にて500℃で7時間脱脂処理を行い、さらに700℃で1時間焼成することにより波長変換部材を得た。なお、緻密質セラミック層の光反射率を実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
(Comparative example)
On the dense ceramic layer (Al 2 O 3 sheet manufactured by MARUWA Co., Ltd., product name HA-96-2; thickness: 0.635 mm), the green sheet for the phosphor layer obtained in Example 1, and further on it The green sheets for the refractive index layer are overlaid and adhered by applying a pressure of 10 MPa at 100 ° C. for 5 minutes using a thermocompression bonding machine, and then degreased at 500 ° C. for 7 hours in the atmosphere. Furthermore, the wavelength conversion member was obtained by baking at 700 degreeC for 1 hour. The light reflectance of the dense ceramic layer was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
 (特性評価)
 上記のようにして作製した各波長変換部材につき、蛍光ピーク強度と、蛍光体層の表面温度を下記のようにして測定した。結果を表1に示す。なお、測定には図5に示すサイズのもの(各層の厚みは表1に示す通り)を用いた。
(Characteristic evaluation)
About each wavelength conversion member produced as mentioned above, the fluorescence peak intensity | strength and the surface temperature of the fluorescent substance layer were measured as follows. The results are shown in Table 1. In addition, the thing of the size shown in FIG. 5 (The thickness of each layer is as showing in Table 1) was used for the measurement.
 8000rpmで回転させた波長変換部材の表面(蛍光体層、低屈折率層が形成された表面)に、波長440nmの青色レーザー光源から出力30Wでレーザー光を照射した。得られた蛍光を光ファイバーを通して小型分光器(USB-4000 オーシャンオプティクス社製)で受光し、発光スペクトルを得た。発光スペクトルから蛍光ピーク強度を読み取った。また蛍光体層の表面温度をFLIR製サーモグラフィーi5を用いて測定した。 The surface of the wavelength conversion member rotated at 8000 rpm (the surface on which the phosphor layer and the low refractive index layer were formed) was irradiated with laser light at an output of 30 W from a blue laser light source having a wavelength of 440 nm. The obtained fluorescence was received by a small spectroscope (USB-4000, manufactured by Ocean Optics) through an optical fiber, and an emission spectrum was obtained. The fluorescence peak intensity was read from the emission spectrum. Further, the surface temperature of the phosphor layer was measured using a thermography i5 manufactured by FLIR.
 表1から明らかなように、実施例1、2の波長変換部材は蛍光ピーク強度が1279(a.u.)以上であったのに対し、比較例の波長変換部材は蛍光ピーク強度が1112(a.u.)と劣っていた。なお、実施例1と実施例2を比較すると、光反射層として多孔質セラミック層と緻密質セラミック層の積層体を用いた場合、光反射率が向上することわかる。また多孔質セラミック層に緻密質セラミック層を積層した場合、蛍光体層の温度も低下しており、これにより蛍光体の温度消光が軽減されるものと考えられる。これら2つの要因により、実施例1の波長変換部材は、実施例2の波長変換部材と比較して蛍光ピーク強度が高くなっていると考察される。 As apparent from Table 1, the wavelength conversion members of Examples 1 and 2 had a fluorescence peak intensity of 1279 (au) or higher, whereas the wavelength conversion member of the comparative example had a fluorescence peak intensity of 1112 ( a.u.) and inferior. In addition, when Example 1 and Example 2 are compared, when a laminated body of a porous ceramic layer and a dense ceramic layer is used as the light reflecting layer, it can be seen that the light reflectance is improved. Further, when a dense ceramic layer is laminated on the porous ceramic layer, the temperature of the phosphor layer is also lowered, which is considered to reduce the temperature quenching of the phosphor. Due to these two factors, the wavelength conversion member of Example 1 is considered to have a higher fluorescence peak intensity than the wavelength conversion member of Example 2.
1 第1の多孔質セラミック層
1’ 第2の多孔質セラミック層
2 蛍光体層
3 低屈折率層
4 放熱層
10、20、30、40 波長変換部材
C 切り欠き部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st porous ceramic layer 1 '2nd porous ceramic layer 2 Phosphor layer 3 Low refractive index layer 4 Heat dissipation layer 10, 20, 30, 40 Wavelength conversion member C Notch

Claims (13)

  1.  気孔率が20体積%以上の第1の多孔質セラミック層と、
     第1の多孔質セラミック層上に形成された、蛍光体を含む蛍光体層と、
     蛍光体層上に形成された、蛍光体の屈折率以下の屈折率を有する低屈折率層と、
    を備えることを特徴とする波長変換部材。
    A first porous ceramic layer having a porosity of 20% by volume or more;
    A phosphor layer containing a phosphor formed on the first porous ceramic layer;
    A low refractive index layer formed on the phosphor layer and having a refractive index equal to or lower than the refractive index of the phosphor;
    A wavelength conversion member comprising:
  2.  蛍光体層が、第1の多孔質セラミック層に融着または無機接合層を介して接合していることを特徴とする請求項1に記載の波長変換部材。 2. The wavelength conversion member according to claim 1, wherein the phosphor layer is bonded to the first porous ceramic layer through a fusion or inorganic bonding layer.
  3.  第1の多孔質セラミック層が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び酸化ジルコニウムから選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項1または2に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to claim 1 or 2, wherein the first porous ceramic layer is made of at least one selected from aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide.
  4.  第1の多孔質セラミック層の、蛍光体層が形成された主面とは反対側の主面に、放熱層が形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の波長変換部材。 The heat dissipation layer is formed on the main surface of the first porous ceramic layer opposite to the main surface on which the phosphor layer is formed. The wavelength conversion member as described.
  5.  放熱層が、気孔率が20体積%未満の緻密質セラミック層であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 4, wherein the heat dissipation layer is a dense ceramic layer having a porosity of less than 20% by volume.
  6.  緻密質セラミック層が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び酸化ジルコニウムから選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項5に記載の波長変換部材。 6. The wavelength conversion member according to claim 5, wherein the dense ceramic layer is made of at least one selected from aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide.
  7.  放熱層の、第1の多孔質セラミック層が形成された主面とは反対側の主面に、気孔率20体積%以上の第2の多孔質セラミック層が形成されていることを特徴とする請求項4~6のいずれか一項に記載の波長変換部材。 A second porous ceramic layer having a porosity of 20% by volume or more is formed on the main surface of the heat dissipation layer opposite to the main surface on which the first porous ceramic layer is formed. The wavelength conversion member according to any one of claims 4 to 6.
  8.  第1の多孔質セラミック層と第2の多孔質セラミック層の気孔率、厚み及び/または材質が実質的に同一であることを特徴とする請求項7に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to claim 7, wherein the porosity, thickness and / or material of the first porous ceramic layer and the second porous ceramic layer are substantially the same.
  9.  蛍光体層が、無機バインダー中に蛍光体が分散してなることを特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 8, wherein the phosphor layer is formed by dispersing the phosphor in an inorganic binder.
  10.  低屈折率層がガラスからなることを特徴とする請求項1~9のいずれか一項に記載の波長変換部材。 10. The wavelength conversion member according to claim 1, wherein the low refractive index layer is made of glass.
  11.  ホイール形状であることを特徴とする請求項1~10のいずれか一項に記載の波長変換部材。 11. The wavelength conversion member according to claim 1, wherein the wavelength conversion member has a wheel shape.
  12.  請求項1~11のいずれか一項に記載の波長変換部材と、
     波長変換部材における蛍光体層に励起光を照射する光源と、
    を備えることを特徴とする発光デバイス。
    The wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 11,
    A light source for irradiating the phosphor layer in the wavelength conversion member with excitation light;
    A light-emitting device comprising:
  13.  プロジェクター光源として使用されることを特徴とする請求項12に記載の発光デバイス。 The light emitting device according to claim 12, wherein the light emitting device is used as a projector light source.
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