JP6305986B2 - 自己共振インダクタを使用するコンパクトな高電圧rfジェネレータ - Google Patents

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Description

本発明は無線周波数(RF: radio frequency)ジェネレータに関し、より具体的には、インダクタを使用するRFジェネレータ回路に関する。
RFジェネレータは、多くの用途、例えば、イオン移動度分光計(IMS:ion mobility spectrometers)及び場非対称イオン移動度分光計(FAIMS:field asymmetric ion mobility spectrometers)又は微分移動度分光計(DMS:differential mobility spectrometers)に有用な高周波数信号を発生する。分光計において、空気サンプルにおける分子はイオン化し、またセルの駆動領域に入り込む。イオン化した分子は、セルの反対側端部に向かってコレクタに対するイオンのサイズに基づく速度で流れ、このことがコレクタにおける電流パルスを生ずる。コレクタ内への電流を電圧に変換し、また増幅する。セルに沿う飛行時間を測定することによって、イオンを同定することができる。
上記背景技術の項で述べた要旨は、本発明の背景を述べた結果としての単なる従来技術と仮定すべきではない。同様に、背景技術の項で述べた、又は背景技術の項で述べた要旨に関連する問題は、従来技術で既に認識されていると仮定すべきではない。背景技術の項における要旨は、単に異なるアプローチを表し、それ自体が発明でもある。
直列共振回路を有するRFジェネレータ回路について記載する。一実施形態において、RFジェネレータ回路は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタを含む直列共振回路を駆動する能動デバイスを有する。このRFジェネレータ回路を使用して、高負荷電圧を高周波数で生成し、容量性負荷を駆動する。
一態様において、デュアルインダクタを含む回路の実施形態を提供する。デュアルインダクタはトロイダルコアを有する。この回路はトロイダルコアにおける巻線を有する。巻線は入力部及び出力部を有する。回路は、さらに、トロイダルコアにおける他の巻線を有する。この他の巻線は入力部及び出力部を有する。回路は、さらに、一方の巻線の入力部に対してこの一方の巻線に並列的になるよう電気的に接続したキャパシタを有する。回路は、さらに、他方の巻線の入力部に対してこの他方の巻線に並列的になるよう電気的に接続した他のキャパシタを有する。双方の巻線の出力部は、容量性負荷に電気的に接続するよう構成する。
他の態様において、電源、信号を出力するよう構成した能動デバイス、トロイダルコアにおける1対の巻線を有するデュアルインダクタ、及びキャパシタを備えるRFジェネレータ回路を提供する。キャパシタは、デュアルインダクタにおける一方の巻線に電気的に接続する。電源及び能動デバイスを、キャパシタに及びデュアルインダクタにおける一方の巻線に電気的に接続する。デュアルインダクタは、能動デバイスの信号の電圧逓増を生ずるよう構成する。
本発明の他の実施形態は、信号を発生する方法に関する。この方法は、駆動信号を能動デバイスに供給するステップを有する。この方法は、さらに、電源を準備するステップを有する。この方法は、さらに、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ、及びこの2本巻きトロイダルデュアルインダクタにおける少なくとも一方の巻線に並列的になるよう電気的に接続したキャパシタを有する回路を準備するステップを有する。能動デバイス及び電源は前記回路に電気的に接続する。本発明方法は、さらに、2本巻きトロイダルデュアルインダクタに直列になるよう回路に電気的に接続した容量性負荷を駆動するステップを有する。
本発明のこの概要は、簡素化した形式で概念の選択集を紹介するためのものであり、これら概念を以下により詳細に説明する。この発明の概要は、特許請求した要旨の重要な特徴又は基本特徴を同定することを意図せず、特許請求した要旨の範囲を限定するのに用いようとするものでもない。
本発明の詳細を、添付図面を参照しつつ説明する。図面において、参照符号における最左側桁は参照符号が現れる図面の図番を示す。説明及び図面における異なる実施形態において同一参照符号は、同様又は同一の事項を示す。
本発明の実施形態による自己共振デュアルインダクタの概略図である。 本発明の実施形態による直列共振回路における自己共振デュアルインダクタの概略図である。 本発明の実施形態による自己共振デュアルインダクタを有する直列共振回路の実施形態を含むRFジェネレータ回路の実施形態の概略図である。 本発明の実施形態による自己共振デュアルインダクタを有する直列共振回路の実施形態を含むRFジェネレータ回路の他の実施形態の概略図である。 本発明の実施形態による自己共振デュアルインダクタを有する直列共振回路の実施形態を含むRFジェネレータ回路の別の実施形態の概略図である。
図面につき説明する前に、一実施形態において、自己共振デュアルインダクタを有する直列共振回路を駆動する能動デバイスを使用するRFジェネレータを設ける。一実施形態において、RFジェネレータは、RFジェネレータの電源電圧よりも高い電圧で少なくとも1メガヘルツ(MHz)の周波数の2つの逆位相出力を発生する。このような出力を使用して容量性負荷を駆動することができる。自己共振デュアルインダクタの実施形態を先ず説明する。
図1に2本巻きトロイダルデュアルインダクタ110として示した自己共振デュアルインダクタを設ける。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ110は、ほぼトロイド(円環体)形状のコア112を有する。一実施形態において、コア112は低透磁性磁気コア(例えば、鉄粉、フェライト、又は他の適当な材料から形成する)とする。とくに、例えば、一実施形態において、コア112はT80−6鉄粉から形成する。
コア112には1対の巻線114及び116を巻付ける。巻線114及び116は絶縁した導体とする。一実施形態において、導体を絶縁する材料は、低RF損失及び高絶縁破壊電圧特性を有する、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)又は他の適当な材料とする。巻線114及び116は対にする。巻線114は、入力部118及び出力部120を生ずる。同様に、巻線116は、入力部122及び出力部124を生ずる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ110の実施形態は、低放射磁場を生じ、幾つかの実施形態において、空隙(エアギャップ)インダクタよりも小さいサイズとなる。さらに、幾つかの実施形態において、2本巻き形態は、巻線相互間の密な対及び簡単な構造をもたらす。一実施形態において、コア112はスプリットコアでない(すなわち、空隙を有さない)ものとする。
このような2本巻きトロイダルデュアルインダクタ110は種々の回路に使用することができる。図2は、自己共振デュアルインダクタ、例えば、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210を含む直列共振回路248を示す。回路248に対する一方の入力部203は、キャパシタ240、及び2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210における巻線214の入力部218に電気的に接続する。このキャパシタ240は、さらに、電気的に接地する。回路248に対する他方の入力部205は、キャパシタ242、及び2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210における巻線216の入力部222に電気的に接続する。キャパシタ242は、さらに、電気的に接地する。巻線214の出力部220はキャパシタ244に電気的に接続する。キャパシタ244は、さらに、電気的に接地する。巻線216の出力部224はキャパシタ246に電気的に接続する。キャパシタ246は、さらに、電気的に接地する。
位相が互いにシフトした2つの入力を、直列共振回路248の入力部203及び205に供給することができる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210のインダクタは対にし、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210は2つの逆位相出力を発生する自己共振デュアルインダクタである。図1及び2に示すように、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210は、巻線214及び216を流れる電流が互いに逆方向になるよう構成する。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210の相互巻回キャパシタンスは直列共振を発生する。
図3は、例えば、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310として示した自己共振デュアルインダクタを有するRFジェネレータ回路325の実施形態の概略図である。図3に低電圧DC電源326として示した電源を設ける。DC電源326は変圧器328に電気的に接続する。変圧器328は、2個の出力部330及び332を有する。変圧器328は、互いに位相がずれる2つの出力を出力部330及び332に発生する。
トランジスタ334は、図3にNMOS電界効果トランジスタとして示したが、他の実施形態においては、他の適当なトランジスタ(例えば、PMOS FET、JFET、BJT等)を使用する。さらに、任意な他の適当な能動デバイスを使用することができる。トランジスタ334は駆動信号を入力部336で受取る。トランジスタ334のソースは電気的に接地する。
図示の実施形態ではトランジスタ334のドレインである、トランジスタ334の出力部338、及び変圧器328の第1出力部330は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310の巻線314における入力部318に、また第1キャパシタ340に電気的に接続する。第1キャパシタ340は、巻線314に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
変圧器328の第2出力部332は、第2キャパシタ342に、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310の巻線316における入力部322に、電気的に接続する。第2キャパシタ342は、巻線316に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310のインダクタは密に対にする。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310は2つの逆位相出力を発生する自己共振デュアルインダクタである。図3に示すように、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310は、巻線314及び316を流れる電流が互いに逆方向になるよう構成する。出力部320及び324を使用して、図3にキャパシタ344及び346として示す容量性負荷(デュアルインダクタにおける任意な漂遊容量を含む)を駆動する。
図3の回路は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310が図3にキャパシタ344及び346として示した負荷キャパシタンス(デュアルインダクタにおける任意な漂遊容量を含む)と共振するよう駆動する。直列共振回路348は共振周波数で駆動し、出力部320及び324が入力部318及び322よりも高い電圧となるよう電圧を逓増させる。高周波信号、及び負荷キャパシタンス344及び346と共振する2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310により、低電力を使用して、高電圧出力部320及び324に高周波数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合直列共振回路348は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ずるよう構成する。
一実施形態において、T80−6鉄粉コアを有する2本巻きトロイダルデュアルインダクタを設ける。このコアは、20ミリメートルの外径、及び6ミリメートルの厚さを有する。このコアは2つの巻線を有し、各巻線は35巻回を有する。このコアを8MHz、30Vの電源電圧で駆動するとき、ピーク間電圧3kVの差動出力を得る。
電圧逓増は、インピーダンス整合直列共振回路348の品質係数(「Q」)に依存する。直列共振回路348の品質係数及び共振周波数の双方とも、複数の異なる因子(例えば、温度、コンポーネント設計等)に基づいて変動する。例えば、フィードバック装置を使用してのフィードバックにより、回路網348における出力電圧の調整及び安定化を行うことができる。
一実施形態において、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310に巻付けた小フィードバック巻線350(例えば、1巻回)として示したフィードバック装置を設ける。フィードバック巻線350を能動デバイス334に電気的に接続する。このようにして、RFジェネレータ回路325は自己振動し、能動デバイスは直列共振回路348を共振周波数で駆動し続ける。このことは、効率的なRFジェネレータ回路325をもたらす。
図4は、例えば、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410として示した自己共振デュアルインダクタを有するRFジェネレータ回路425の実施形態の概略図である。図4に低電圧DC電源426として示した電源を設ける。DC電源426は、出力454を有するインダクタ452に給電する。
図4にトランジスタ434として示した能動デバイスも設ける。トランジスタ434は駆動信号を入力部436で受取る。トランジスタ434のソースは電気的に接地する。図示の実施形態においてはNMOS電界効果トランジスタのドレインである、トランジスタ434の出力部438を、ダイオード456に対して電気的に直列接続する。
ダイオード456、及びインダクタ452の出力部454は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410の巻線414における入力部418に、また第1キャパシタ440に電気的に接続する。第1キャパシタ440は、巻線414に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410の巻線416における入力部422は電気的に接地する。
出力部420及び424は、容量性負荷に対して直列接続してこの容量性負荷を駆動する。容量性負荷(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における漂遊容量を含む)は、出力部420及び出力部424それぞれに接続した負荷キャパシタ444及び446として図式的に示す。
図4の回路は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410が図4に示す負荷キャパシタンス444及び446(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における任意な漂遊容量を含む)と共振するよう駆動する。高周波信号、及び負荷キャパシタンス444及び446と共振する2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410により、低電力を使用して、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における出力部420及び424に高周波数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合直列共振回路448は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ずるよう構成する。
一実施形態において、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410に巻付けた小フィードバック巻線450(例えば、1巻回)として示したフィードバック装置を設ける。フィードバック巻線450を能動デバイス434に電気的に接続する。このようにして、RFジェネレータ回路425は、自己振動し、また共振周波数で駆動することができる。このことによって、効率的なRFジェネレータ回路425をもたらす。
一実施形態において、ダイオード456は、NMOS電界効果トランジスタの寄生本体ダイオードが、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410を含む直列共振回路448を駆動する初期電圧振幅を固定及び制限するのを防止する。さらに、ダイオード456によれば、直列共振回路448に電圧を加え、振幅を負に振らせ、直列共振回路448に対してより大きい出力を発生することができる。
図5は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510として示した自己共振デュアルインダクタを有するRFジェネレータ回路525の他の実施形態を示す。図5に低電圧DC電源526として示した電源を設ける。DC電源526は変圧器558に電気的に接続する。この変圧器558は2個の出力部560及び562を有する。
図5にトランジスタ534及び564として示した2個の能動デバイスも設ける。トランジスタ534は駆動信号を入力部536で受取る。トランジスタ534のソースは電気的に接地する。トランジスタ534の出力部538、及び変圧器558の出力部560は、第1キャパシタ540に、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510の第1巻線514の入力部518に電気的に接続する。第1キャパシタ540は、巻線514に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
トランジスタ564も駆動信号を入力部566で受取る。トランジスタ564のソースは電気的に接地する。トランジスタ564の出力部568、及び変圧器558の出力部562は、第2キャパシタ542に、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510の第2巻線516の入力部522に電気的に接続する。第2キャパシタ542は、巻線516に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
巻線514及び516の出力部520及び524は、容量性負荷に対して直列接続してこの容量性負荷を駆動する。容量性負荷(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510における漂遊容量を含む)は、出力部520及び出力部524それぞれに接続した負荷キャパシタ544及び546として図式的に示す。
図5の回路は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510が負荷キャパシタンス544及び546(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510における任意な漂遊容量を含む)と共振するよう駆動する。高周波信号、及び負荷キャパシタンス544及び546と共振する2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510により、低電力を使用して、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510における出力部520及び524に高周波数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合直列共振回路548は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ずるよう構成する。
幾つかの用途は、上述したようなRFジェネレータ回路の実施形態によって得られる、高周波数、高電圧の波形を必要とする場合がある。例えば、本願人に譲渡された米国特許出願公開第2011/0300638号(参照により全体が本明細書に援用されるものとする)に記載のようなイオン修飾装置は、高周波数波形を利用する。本明細書に記載のRFジェネレータ回路の実施形態を使用して、高周波数波形をこのようなイオン修飾装置に供給する。さらに、RFジェネレータ回路の実施形態は様々な他の用途に利用することができる。
本明細書に記載のような2本巻きトロイダルデュアルインダクタを含む直列共振回路を有するRFジェネレータの実施形態は、高周波数(例えば、少なくとも数MHz)で高出力電圧を供給できる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタは、小さいサイズ及び低放射磁場で所望の共振周波数を供給できる。さらに、2本巻きトロイダルデュアルインダクタの巻線相互間の漂遊キャパシタンスは自己共振を発生する。さらに、一実施形態において、2本巻きトロイダルデュアルインダクタは、空隙を必要とせず、密な対を生じ、また構造簡単である。トロイダルコアは任意のリング形状とし、このリングは、必ずしも円形である必要はなく、例えば方形、楕円形、長方形、又は任意な他の閉じた形状とすることができる。一実施形態において、トロイダルコアは円環体(トロイド)形状とする。
各実施形態において、能動デバイスはNMOS型電界効果トランジスタとして示したが、他の実施形態において他のトランジスタ(例えば、PMOS FET、JFET、BJT等)を使用する。さらに、任意な他の適当な能動デバイス、例えば、電圧制御インピーダンスを使用することができる。
上述の実施形態につき説明したフィードバック装置及びダイオードを、本明細書に記載したいずれかの実施形態に関連して使用することができる。
自己共振デュアルインダクタは2本巻きトロイダルデュアルインダクタとして示したが、他の実施形態において、他の適当なタイプの自己共振デュアルインダクタを使用する。
一実施形態において、無線周波数信号を供給するRF回路を提供し、このRF回路は、入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含む他方の巻線を有するデュアルインダクタを備え、前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、前記一方の巻線と前記他方の巻線との間に、前記無線周波数信号の周波数を決定するよう選択した寄生キャパシタンスを生ずるよう配列し、また前記双方の巻線の出力部は、容量性負荷に電気的に接続するよう構成する。前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、選択した寄生キャパシタンス及びデュアルインダクタのインダクタンスがRF共振周波数を有する共振回路をなすよう空間的に配列することができる。例えば、デュアルインダクタのインダクタンス及び選択した寄生キャパシタンスによって得られる共振周波数は、少なくとも0.5MHz、又は少なくとも1MHz、又は少なくとも3MHzとすることができる。これら可能性のうち幾つかにおいて、デュアルインダクタのインダクタンス及び選択した寄生キャパシタンスによって得られる共振周波数は、15MHz未満、又は少なくとも50MHz未満とすることができる。巻線の空間的構成は、巻線の長さを選択、巻線相互間の間隔及び/又は巻線における任意のコーティングの誘電率を含む。一実施形態において、RF回路は、さらに、容量性負荷を備え、選択した寄生キャパシタンス、及び容量性負荷、及びデュアルインダクタのインダクタンスが互いに連係作用し、RF共振周波数を有する共振回路を生ずる。容量性負荷は、イオン移動度分光計のイオン修飾装置とすることができる。
デュアルインダクタは、巻線を巻付けるフェライト又は鉄粉コアとすることができる。コアは閉じたループの形状、例えば、トロイド(円環体)にすることができる。幾つかの実施形態において、コアなし、又は非磁気コアを使用することができる。
図面は、図2にキャパシタ244,246、図3にキャパシタ344,346、図4にキャパシタ444,446を示す。これらキャパシタは、デュアルインダクタの巻線相互間に分布したキャパシタンス、巻線の出力間に結合した負荷の任意のキャパシタンスを代表する。それらキャパシタは実際のキャパシタを示すことを意図しない。したがって、図面に示すのは単なる概略に過ぎず、キャパシタンスの大部分は、各出力部と接地との間よりも巻線の出力部相互間である。幾つかの可能性において、キャパシタを、図2に参照符号244,246で示す部分、図3に参照符号344,346で示す部分、及び図4に参照符号444,446で示す部分に追加することができる。
一実施形態において、イオン移動度分光計のためのイオン修飾回路を提供し、このイオン修飾回路は、イオン移動度分光計のドリフトチューブ内のイオンに無線周波数の電界を加えるイオン修飾装置と、入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含む他方の巻線を有するデュアルインダクタとを備え、前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、前記一方の巻線と前記他方の巻線との間に寄生キャパシタンスを生ずるよう構成し、また前記双方の巻線の出力部は、イオン修飾装置に接続し、前記デュアルインダクタの寄生キャパシタンスは、前記デュアルインダクタのインダクタンス及びイオン修飾装置のキャパシタンスに基づいてRF共振周波数を有する共振回路を生ずるよう選択する。一実施形態において、共振周波数は少なくとも3MHzとし、この実施形態の幾つかの実施例において、共振周波数は15MHz未満とする。この共振回路は本明細書に記載の回路における任意な回路の特徴を有することができる。
イオン修飾装置は、第1電極及び第2電極を有することができ、これら電極は、ドリフトチューブにわたって配列し、ドリフトチューブ内のイオンに対して電極間の無線周波数電界を加えるよう構成する。
一実施形態において、一方の巻線及び他方の巻線は、一方の巻線における交流電流が他方の巻線とは逆位相の交流電流を誘導するよう配列する。
本発明を説明する文脈(とくに、特許請求の範囲の文脈)における「a」、「an」、「the」及び同様の指示対象の使用は、他に断りのない限り、又は文脈で明示しない限り単数形及び複数形の双方をカバーするものと解すべきである。「comprising」、「having」、「including」及び「containing」は、他に断りのない限り制約がない用語(すなわち、「限定しないが含む」という意味)として解すべきである。本明細書における値の範囲に関する記述は、他に断りのない限り、範囲内に納まる各個別の値に個別に言及する簡便表記法として使用することを意図し、また各個別の値は、本明細書に個別に記述されたかのように本明細書に援用される。本明細書に記載の方法のすべては、他に断りのない限り、又は文脈で明示しない限り、任意の適当な順序で行うことができる。任意の及びすべての実施例、又は例示的言葉遣い(例えば、「例えば/のような(such as)」)の使用は、単に本発明をよりよく説明すること意図し、特許請求の範囲で請求しない限り、本発明の範囲を限定することを課するものではない。本明細書における言葉遣いはいかなるものでも、本発明の実施に重要な任意の特許請求される要素を示すものと解すべきではない。
増幅器及び増幅要素に対して言及するが、増幅器又は増幅要素が単独要素に限定することを意図しない。その代わり、これら用語は、幾つかの実施形態において、複数要素を含む回路、集積回路、又は増幅に適する任意な他の構成を包含する。用語「漂遊キャパシタンス」及び「寄生キャパシタンス」は本明細書で互換的に使用されて、互いに近接するよう電荷担持導体を配列することに関連する固有キャパシタンスを意味する。
本発明の好適な実施形態は、本発明を実施するのに本発明者に最良と知られる形態を含めて説明する。それら好適な実施形態の変更形態は、当業者には上述の説明を読むことによって明らかになるであろう。本発明者は、当業者はこのような変更形態を適切に採用することを期待し、また本発明者は、本明細書に特別に記載した以外のやり方で本発明を実施できることを意図する。したがって、本発明は、適用可能な法律で容認される特許請求の範囲で記述された要旨のあらゆる変更例、及び均等物を含む。さらに、すべてのあり得る変更例における上述の要素の任意な組合せも、他に断りのない限り、又は文脈で明示しない限り、本発明に含まれるものである。
構造的特徴及び/又は方法論的行為に特定した用語で本発明を説明してきたが、特許請求の範囲で定義される本発明は、必ずしも説明した特定特徴又は行為に限定するものではない。むしろ、特定特徴又は行為は特許請求した発明を実施する上での例示的形態として開示されたものである。

Claims (20)

  1. 回路であって、
    トロイダルコア、入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける他方の巻線を有するデュアルインダクタと、
    前記一方の巻線に並列的になるよう前記一方の巻線の前記入力部に電気的に接続する一方のキャパシタと、
    前記他方の巻線に並列的になるよう前記他方の巻線の前記入力部に電気的に接続する他方のキャパシタと、
    を備え、
    前記双方の巻線の前記出力部は容量性負荷に電気的に接続するよう構成され、
    前記デュアルインダクタは、前記回路入力部から前記巻線の前記出力部にかけて電圧逓増を生ずるよう構成し、また
    前記デュアルインダクタは、前記デュアルインダクタの前記双方の巻線に互いに逆向きに電流が流れるよう構成されている、回路。
  2. 請求項記載の回路において、さらに、前記デュアルインダクタにおける前記双方の巻線の前記出力部に電気的に接続した容量性負荷を備え、前記回路及び前記容量性負荷が共振回路を形成する、回路。
  3. 請求項又は記載の回路において、前記トロイダルコアは空隙を持たない、回路。
  4. 回路であって、
    トロイダルコア、入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける他方の巻線を有するデュアルインダクタと、
    前記一方の巻線に並列的になるよう前記一方の巻線の前記入力部に電気的に接続する一方のキャパシタと、
    前記他方の巻線に並列的になるよう前記他方の巻線の前記入力部に電気的に接続する他方のキャパシタと、
    を備え、
    前記双方の巻線の前記出力部は容量性負荷に電気的に接続するよう構成され、
    前記回路は信号を供給する能動デバイスに接続され、また
    前記回路は、前記双方の巻線の前記出力部に増大した電圧の信号を供給する、回路。
  5. 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の回路において、前記一方のキャパシタ及び前記他方のキャパシタは、前記容量性負荷及び前記デュアルインダクタの漂遊キャパシタンスを有する、回路。
  6. RFジェネレータ回路であって、
    電源と、
    信号を出力するよう構成した能動デバイスと、
    トロイダルコアに巻付けた1対の巻線を有するデュアルインダクタと、
    前記デュアルインダクタの巻線のうち一方に電気的に接続したキャパシタとを備え、
    前記電源及び前記能動デバイスは、前記キャパシタ及び前記デュアルインダクタの巻線のうち一方に電気的に接続し、また
    前記デュアルインダクタは前記能動デバイスの前記信号における電圧逓増を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。
  7. 請求項記載のRFジェネレータ回路において、前記電源は、2個の出力部を生じ、前記2個の出力部のうち一方は他方とは位相がずれる変圧器に電気的に接続したDC電源を有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、
    前記デュアルインダクタにおける他方の巻線に電気的に接続した第2キャパシタを備え、
    前記変圧器の前記一方の出力部を前記第2キャパシタ、及び前記デュアルインダクタにおける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。
  8. 請求項記載のRFジェネレータ回路において、前記双方の巻線を電流が互いに逆方向に流れる、RFジェネレータ回路。
  9. 請求項6〜8のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタは、前記巻線相互間の漂遊キャパシタンスが前記デュアルインダクタの自己共振を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。
  10. 請求項6〜9のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタは、前記巻線の入力部と前記巻線の出力部との間で電圧逓増を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。
  11. 請求項6〜10のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタの他方の巻線を接地する、RFジェネレータ回路。
  12. 請求項6〜11のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、さらに、前記デュアルインダクタから前記能動デバイスにフィードバックを供給する構成としたフィードバック装置を備える、RFジェネレータ回路。
  13. 請求項12記載のRFジェネレータ回路において、前記フィードバック装置は、前記能動デバイスに電気的に接続した前記トロイダルコアにおける巻線を有する、RFジェネレータ回路。
  14. 請求項6〜13のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能動デバイスはトランジスタを有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、前記能動デバイス及び前記デュアルインダクタにおける前記一方の巻線に直列接続したダイオードを備える、RFジェネレータ回路。
  15. 請求項6〜13のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能動デバイスは2個のトランジスタを有し、前記2個のトランジスタのうち一方は、前記デュアルインダクタにおける前記一方の巻線に電気的に接続し、また他方のトランジスタは前記デュアルインダクタにおける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。
  16. 請求項6〜15のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、イオン修飾装置に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。
  17. 信号を発生する方法であって、
    駆動信号を能動デバイスに供給するステップと、
    電源を準備するステップと、
    2本巻きトロイダルデュアルインダクタ、及び前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタの巻線のうち少なくとも一方に並列的に電気的に接続したキャパシタを含む回路を準備する回路準備ステップであって、前記能動デバイス及び前記電源を前記回路に電気的に接続する、該回路準備ステップと、
    前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタに対して直列的になるよう前記回路に電気的に接続した容量性負荷を駆動するステップとを有する、方法。
  18. 請求項17記載の方法において、さらに、前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタから前記能動デバイスにフィードバックを供給するフィードバック装置を準備するステップを有する、方法。
  19. 請求項17又は18記載の方法において、さらに、前記信号を前記イオン修飾装置に供給するステップを有する、方法。
  20. 請求項17〜19のうちいずれか一項に記載の方法において、さらに、前記回路の共振周波数で前記回路を駆動するステップを有する、方法。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9712062B2 (en) * 2014-05-07 2017-07-18 Edward Herbert Symmetrical power converter
KR102201880B1 (ko) * 2015-08-28 2021-01-13 세메스 주식회사 필터, 그를 포함하는 정전척 및 기판 처리 장치
US9698749B2 (en) * 2015-09-04 2017-07-04 Nxp Usa, Inc. Impedance matching device with coupled resonator structure
KR102629189B1 (ko) * 2015-11-30 2024-01-26 한국전자통신연구원 무선전력전송을 위한 토로이드 동축 공진 코일
GB2564666B (en) * 2017-07-18 2022-03-30 Owlstone Inc Waveform generator, system and method
GB2578145B (en) * 2018-10-18 2023-08-09 Owlstone Med Ltd Waveform generator
US10600628B1 (en) * 2018-11-15 2020-03-24 Mks Instruments, Inc. Resonant transmission line to deliver precision RF voltage
JP2022522900A (ja) * 2019-03-20 2022-04-20 リチャード エイチ.シェラット アンド スーザン ビー.シェラット レヴォカブル トラスト ファンド マルチファイラインダクタを使用した高エネルギー容量性変換デバイス
US20210118601A1 (en) * 2019-10-17 2021-04-22 Infineon Technologies Austria Ag Inductor devices and stacked power supply topologies
CN111724969A (zh) * 2020-06-29 2020-09-29 安徽博微新磁科技有限公司 一种电感

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3670406A (en) * 1970-02-04 1972-06-20 Texas Instruments Inc Method of adjusting inductive devices
US4267404A (en) * 1979-04-25 1981-05-12 Amp Incorporated Supporting device for toroidal coil having integral terminal housings
US4342013A (en) * 1980-08-25 1982-07-27 Pilgrim Electric Co. Bidirectional power line filter
JP2710648B2 (ja) * 1988-11-14 1998-02-10 日本電信電話株式会社 多線条平衡伝送路用コモンモードチョークコイル
US5801379A (en) 1996-03-01 1998-09-01 Mine Safety Appliances Company High voltage waveform generator
JPH1084669A (ja) * 1996-09-10 1998-03-31 Fuji Electric Co Ltd 電力変換装置のノイズフィルタ
US6107628A (en) * 1998-06-03 2000-08-22 Battelle Memorial Institute Method and apparatus for directing ions and other charged particles generated at near atmospheric pressures into a region under vacuum
US7274015B2 (en) * 2001-08-08 2007-09-25 Sionex Corporation Capacitive discharge plasma ion source
US7078678B2 (en) * 2002-09-25 2006-07-18 Ionalytics Corporation Waveform generator electronics based on tuned LC circuits
US7161142B1 (en) * 2003-09-05 2007-01-09 Griffin Analytical Technologies Portable mass spectrometers
US7250826B2 (en) * 2005-07-19 2007-07-31 Lctank Llc Mutual inductance in transformer based tank circuitry
EP1913379A2 (en) 2005-07-26 2008-04-23 Sionex Corporation Ultra compact ion mobility based analyzer apparatus, method, and system
JP2007235580A (ja) * 2006-03-01 2007-09-13 Toshiba Corp ノイズフィルタ
US8049504B2 (en) * 2006-04-24 2011-11-01 Koninklijke Philips Electronics N.V. Simple decoupling of a multi-element RF coil, enabling also detuning and matching functionality
JP4842052B2 (ja) * 2006-08-28 2011-12-21 富士通株式会社 インダクタ素子および集積型電子部品
JP4407692B2 (ja) * 2006-12-14 2010-02-03 Tdk株式会社 コイル部品
JP2008219102A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Tdk Corp ノイズフィルタ及びコイル
GB0704547D0 (en) * 2007-03-09 2007-04-18 Smiths Detection Watford Ltd Ion mobility spectrometers
US7960867B2 (en) * 2007-11-27 2011-06-14 Extremely Ingenious Engineering Methods and systems for wireless energy and data transmission
RU2008110607A (ru) * 2008-03-06 2009-09-20 Закрытое акционерное общество "Техмаш" (RU) Способ создания сверхсильного квазисверхпроводящего тока и способ использования энергии в технике
CN101754568B (zh) * 2008-12-22 2012-07-25 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 等离子体处理设备及其射频装置
JP5509954B2 (ja) * 2010-03-17 2014-06-04 セイコーエプソン株式会社 回路装置及び電子機器
CN102324374B (zh) * 2011-09-28 2013-09-11 上海大学 一种用于质谱仪的射频电源

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