JP6305986B2 - 自己共振インダクタを使用するコンパクトな高電圧rfジェネレータ - Google Patents
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Claims (20)
- 回路であって、
トロイダルコア、入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける他方の巻線を有するデュアルインダクタと、
前記一方の巻線に並列的になるよう前記一方の巻線の前記入力部に電気的に接続する一方のキャパシタと、
前記他方の巻線に並列的になるよう前記他方の巻線の前記入力部に電気的に接続する他方のキャパシタと、
を備え、
前記双方の巻線の前記出力部は容量性負荷に電気的に接続するよう構成され、
前記デュアルインダクタは、前記回路入力部から前記巻線の前記出力部にかけて電圧逓増を生ずるよう構成し、また
前記デュアルインダクタは、前記デュアルインダクタの前記双方の巻線に互いに逆向きに電流が流れるよう構成されている、回路。 - 請求項1記載の回路において、さらに、前記デュアルインダクタにおける前記双方の巻線の前記出力部に電気的に接続した容量性負荷を備え、前記回路及び前記容量性負荷が共振回路を形成する、回路。
- 請求項1又は2記載の回路において、前記トロイダルコアは空隙を持たない、回路。
- 回路であって、
トロイダルコア、入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける他方の巻線を有するデュアルインダクタと、
前記一方の巻線に並列的になるよう前記一方の巻線の前記入力部に電気的に接続する一方のキャパシタと、
前記他方の巻線に並列的になるよう前記他方の巻線の前記入力部に電気的に接続する他方のキャパシタと、
を備え、
前記双方の巻線の前記出力部は容量性負荷に電気的に接続するよう構成され、
前記回路は信号を供給する能動デバイスに接続され、また
前記回路は、前記双方の巻線の前記出力部に増大した電圧の信号を供給する、回路。 - 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の回路において、前記一方のキャパシタ及び前記他方のキャパシタは、前記容量性負荷及び前記デュアルインダクタの漂遊キャパシタンスを有する、回路。
- RFジェネレータ回路であって、
電源と、
信号を出力するよう構成した能動デバイスと、
トロイダルコアに巻付けた1対の巻線を有するデュアルインダクタと、
前記デュアルインダクタの巻線のうち一方に電気的に接続したキャパシタとを備え、
前記電源及び前記能動デバイスは、前記キャパシタ及び前記デュアルインダクタの巻線のうち一方に電気的に接続し、また
前記デュアルインダクタは前記能動デバイスの前記信号における電圧逓増を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。 - 請求項6記載のRFジェネレータ回路において、前記電源は、2個の出力部を生じ、前記2個の出力部のうち一方は他方とは位相がずれる変圧器に電気的に接続したDC電源を有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、
前記デュアルインダクタにおける他方の巻線に電気的に接続した第2キャパシタを備え、
前記変圧器の前記一方の出力部を前記第2キャパシタ、及び前記デュアルインダクタにおける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。 - 請求項7記載のRFジェネレータ回路において、前記双方の巻線を電流が互いに逆方向に流れる、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜8のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタは、前記巻線相互間の漂遊キャパシタンスが前記デュアルインダクタの自己共振を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜9のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタは、前記巻線の入力部と前記巻線の出力部との間で電圧逓増を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜10のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デュアルインダクタの他方の巻線を接地する、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜11のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、さらに、前記デュアルインダクタから前記能動デバイスにフィードバックを供給する構成としたフィードバック装置を備える、RFジェネレータ回路。
- 請求項12記載のRFジェネレータ回路において、前記フィードバック装置は、前記能動デバイスに電気的に接続した前記トロイダルコアにおける巻線を有する、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜13のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能動デバイスはトランジスタを有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、前記能動デバイス及び前記デュアルインダクタにおける前記一方の巻線に直列接続したダイオードを備える、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜13のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能動デバイスは2個のトランジスタを有し、前記2個のトランジスタのうち一方は、前記デュアルインダクタにおける前記一方の巻線に電気的に接続し、また他方のトランジスタは前記デュアルインダクタにおける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。
- 請求項6〜15のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、イオン修飾装置に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。
- 信号を発生する方法であって、
駆動信号を能動デバイスに供給するステップと、
電源を準備するステップと、
2本巻きトロイダルデュアルインダクタ、及び前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタの巻線のうち少なくとも一方に並列的に電気的に接続したキャパシタを含む回路を準備する回路準備ステップであって、前記能動デバイス及び前記電源を前記回路に電気的に接続する、該回路準備ステップと、
前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタに対して直列的になるよう前記回路に電気的に接続した容量性負荷を駆動するステップとを有する、方法。 - 請求項17記載の方法において、さらに、前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタから前記能動デバイスにフィードバックを供給するフィードバック装置を準備するステップを有する、方法。
- 請求項17又は18記載の方法において、さらに、前記信号を前記イオン修飾装置に供給するステップを有する、方法。
- 請求項17〜19のうちいずれか一項に記載の方法において、さらに、前記回路の共振周波数で前記回路を駆動するステップを有する、方法。
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