JP2018137763A - 自己共振インダクタを使用するコンパクトな高電圧rfジェネレータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】RFジェネレータ回路325は、入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含む他方の巻線を有するデュアルインダクタ310を備える。一方の巻線及び他方の巻線は、一方の巻線と他方の巻線との間に、無線周波数信号の周波数を決定するよう選択した寄生キャパシタンスを生ずるよう配列されている。双方の巻線の出力部は、容量性負荷344、346に電気的に接続する。
【選択図】図3
Description
、インダクタを使用するRFジェネレータ回路に関する。
ty spectrometers)及び場非対称イオン移動度分光計(FAIMS:field asymmetric i
on mobility spectrometers)又は微分移動度分光計(DMS:differential mobility s
pectrometers)に有用な高周波数信号を発生する。分光計において、空気サンプルにおけ
る分子はイオン化し、またセルの駆動領域に入り込む。イオン化した分子は、セルの反対
側端部に向かってコレクタに対するイオンのサイズに基づく速度で流れ、このことがコレ
クタにおける電流パルスを生ずる。コレクタ内への電流を電圧に変換し、また増幅する。
セルに沿う飛行時間を測定することによって、イオンを同定することができる。
と仮定すべきではない。同様に、背景技術の項で述べた、又は背景技術の項で述べた要旨
に関連する問題は、従来技術で既に認識されていると仮定すべきではない。背景技術の項
における要旨は、単に異なるアプローチを表し、それ自体が発明でもある。
RFジェネレータ回路は、2本巻きトロイダルデュアルインダクタを含む直列共振回路を
駆動する能動デバイスを有する。このRFジェネレータ回路を使用して、高負荷電圧を高
周波数で生成し、容量性負荷を駆動する。
ダクタはトロイダルコアを有する。この回路はトロイダルコアにおける巻線を有する。巻
線は入力部及び出力部を有する。回路は、さらに、トロイダルコアにおける他の巻線を有
する。この他の巻線は入力部及び出力部を有する。回路は、さらに、一方の巻線の入力部
に対してこの一方の巻線に並列的になるよう電気的に接続したキャパシタを有する。回路
は、さらに、他方の巻線の入力部に対してこの他方の巻線に並列的になるよう電気的に接
続した他のキャパシタを有する。双方の巻線の出力部は、容量性負荷に電気的に接続する
よう構成する。
における1対の巻線を有するデュアルインダクタ、及びキャパシタを備えるRFジェネレ
ータ回路を提供する。キャパシタは、デュアルインダクタにおける一方の巻線に電気的に
接続する。電源及び能動デバイスを、キャパシタに及びデュアルインダクタにおける一方
の巻線に電気的に接続する。デュアルインダクタは、能動デバイスの信号の電圧逓増を生
ずるよう構成する。
デバイスに供給するステップを有する。この方法は、さらに、電源を準備するステップを
有する。この方法は、さらに、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ、及びこの2本巻
きトロイダルデュアルインダクタにおける少なくとも一方の巻線に並列的になるよう電気
的に接続したキャパシタを有する回路を準備するステップを有する。能動デバイス及び電
源は前記回路に電気的に接続する。本発明方法は、さらに、2本巻きトロイダルデュアル
インダクタに直列になるよう回路に電気的に接続した容量性負荷を駆動するステップを有
する。
れら概念を以下により詳細に説明する。この発明の概要は、特許請求した要旨の重要な特
徴又は基本特徴を同定することを意図せず、特許請求した要旨の範囲を限定するのに用い
ようとするものでもない。
左側桁は参照符号が現れる図面の図番を示す。説明及び図面における異なる実施形態にお
いて同一参照符号は、同様又は同一の事項を示す。
直列共振回路を駆動する能動デバイスを使用するRFジェネレータを設ける。一実施形態
において、RFジェネレータは、RFジェネレータの電源電圧よりも高い電圧で少なくと
も1メガヘルツ(MHz)の周波数の2つの逆位相出力を発生する。このような出力を使
用して容量性負荷を駆動することができる。自己共振デュアルインダクタの実施形態を先
ず説明する。
ンダクタを設ける。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ110は、ほぼトロイド(円
環体)形状のコア112を有する。一実施形態において、コア112は低透磁性磁気コア
(例えば、鉄粉、フェライト、又は他の適当な材料から形成する)とする。とくに、例え
ば、一実施形態において、コア112はT80−6鉄粉から形成する。
した導体とする。一実施形態において、導体を絶縁する材料は、低RF損失及び高絶縁破
壊電圧特性を有する、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)又は他の適当な
材料とする。巻線114及び116は対にする。巻線114は、入力部118及び出力部
120を生ずる。同様に、巻線116は、入力部122及び出力部124を生ずる。2本
巻きトロイダルデュアルインダクタ110の実施形態は、低放射磁場を生じ、幾つかの実
施形態において、空隙(エアギャップ)インダクタよりも小さいサイズとなる。さらに、
幾つかの実施形態において、2本巻き形態は、巻線相互間の密な対及び簡単な構造をもた
らす。一実施形態において、コア112はスプリットコアでない(すなわち、空隙を有さ
ない)ものとする。
ができる。図2は、自己共振デュアルインダクタ、例えば、2本巻きトロイダルデュアル
インダクタ210を含む直列共振回路248を示す。回路248に対する一方の入力部2
03は、キャパシタ240、及び2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210における
巻線214の入力部218に電気的に接続する。このキャパシタ240は、さらに、電気
的に接地する。回路248に対する他方の入力部205は、キャパシタ242、及び2本
巻きトロイダルデュアルインダクタ210における巻線216の入力部222に電気的に
接続する。キャパシタ242は、さらに、電気的に接地する。巻線214の出力部220
はキャパシタ244に電気的に接続する。キャパシタ244は、さらに、電気的に接地す
る。巻線216の出力部224はキャパシタ246に電気的に接続する。キャパシタ24
6は、さらに、電気的に接地する。
に供給することができる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210のインダクタは
対にし、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210は2つの逆位相出力を発生す
る自己共振デュアルインダクタである。図1及び2に示すように、2本巻きトロイダルデ
ュアルインダクタ210は、巻線214及び216を流れる電流が互いに逆方向になるよ
う構成する。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ210の相互巻回キャパシタンスは
直列共振を発生する。
デュアルインダクタを有するRFジェネレータ回路325の実施形態の概略図である。図
3に低電圧DC電源326として示した電源を設ける。DC電源326は変圧器328に
電気的に接続する。変圧器328は、2個の出力部330及び332を有する。変圧器3
28は、互いに位相がずれる2つの出力を出力部330及び332に発生する。
施形態においては、他の適当なトランジスタ(例えば、PMOS FET、JFET、B
JT等)を使用する。さらに、任意な他の適当な能動デバイスを使用することができる。
トランジスタ334は駆動信号を入力部336で受取る。トランジスタ334のソースは
電気的に接地する。
部338、及び変圧器328の第1出力部330は、2本巻きトロイダルデュアルインダ
クタ310の巻線314における入力部318に、また第1キャパシタ340に電気的に
接続する。第1キャパシタ340は、巻線314に対して並列的に電気的接続し、また電
気的に接地する。
ルデュアルインダクタ310の巻線316における入力部322に、電気的に接続する。
第2キャパシタ342は、巻線316に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地
する。
トロイダルデュアルインダクタ310は2つの逆位相出力を発生する自己共振デュアルイ
ンダクタである。図3に示すように、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ310は、
巻線314及び316を流れる電流が互いに逆方向になるよう構成する。出力部320及
び324を使用して、図3にキャパシタ344及び346として示す容量性負荷(デュア
ルインダクタにおける任意な漂遊容量を含む)を駆動する。
4及び346として示した負荷キャパシタンス(デュアルインダクタにおける任意な漂遊
容量を含む)と共振するよう駆動する。直列共振回路348は共振周波数で駆動し、出力
部320及び324が入力部318及び322よりも高い電圧となるよう電圧を逓増させ
る。高周波信号、及び負荷キャパシタンス344及び346と共振する2本巻きトロイダ
ルデュアルインダクタ310により、低電力を使用して、高電圧出力部320及び324
に高周波数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合直
列共振回路348は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュア
ルインダクタ310は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ずる
よう構成する。
クタを設ける。このコアは、20ミリメートルの外径、及び6ミリメートルの厚さを有す
る。このコアは2つの巻線を有し、各巻線は35巻回を有する。このコアを8MHz、3
0Vの電源電圧で駆動するとき、ピーク間電圧3kVの差動出力を得る。
。直列共振回路348の品質係数及び共振周波数の双方とも、複数の異なる因子(例えば
、温度、コンポーネント設計等)に基づいて変動する。例えば、フィードバック装置を使
用してのフィードバックにより、回路網348における出力電圧の調整及び安定化を行う
ことができる。
ードバック巻線350(例えば、1巻回)として示したフィードバック装置を設ける。フ
ィードバック巻線350を能動デバイス334に電気的に接続する。このようにして、R
Fジェネレータ回路325は自己振動し、能動デバイスは直列共振回路348を共振周波
数で駆動し続ける。このことは、効率的なRFジェネレータ回路325をもたらす。
デュアルインダクタを有するRFジェネレータ回路425の実施形態の概略図である。図
4に低電圧DC電源426として示した電源を設ける。DC電源426は、出力454を
有するインダクタ452に給電する。
駆動信号を入力部436で受取る。トランジスタ434のソースは電気的に接地する。図
示の実施形態においてはNMOS電界効果トランジスタのドレインである、トランジスタ
434の出力部438を、ダイオード456に対して電気的に直列接続する。
アルインダクタ410の巻線414における入力部418に、また第1キャパシタ440
に電気的に接続する。第1キャパシタ440は、巻線414に対して並列的に電気的接続
し、また電気的に接地する。2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410の巻線416
における入力部422は電気的に接地する。
る。容量性負荷(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における漂遊容量を含む
)は、出力部420及び出力部424それぞれに接続した負荷キャパシタ444及び44
6として図式的に示す。
シタンス444及び446(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における任意
な漂遊容量を含む)と共振するよう駆動する。高周波信号、及び負荷キャパシタンス44
4及び446と共振する2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410により、低電力を
使用して、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410における出力部420及び42
4に高周波数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合
直列共振回路448は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュ
アルインダクタ410は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ず
るよう構成する。
ードバック巻線450(例えば、1巻回)として示したフィードバック装置を設ける。フ
ィードバック巻線450を能動デバイス434に電気的に接続する。このようにして、R
Fジェネレータ回路425は、自己振動し、また共振周波数で駆動することができる。こ
のことによって、効率的なRFジェネレータ回路425をもたらす。
ダイオードが、2本巻きトロイダルデュアルインダクタ410を含む直列共振回路448
を駆動する初期電圧振幅を固定及び制限するのを防止する。さらに、ダイオード456に
よれば、直列共振回路448に電圧を加え、振幅を負に振らせ、直列共振回路448に対
してより大きい出力を発生することができる。
インダクタを有するRFジェネレータ回路525の他の実施形態を示す。図5に低電圧D
C電源526として示した電源を設ける。DC電源526は変圧器558に電気的に接続
する。この変圧器558は2個の出力部560及び562を有する。
ンジスタ534は駆動信号を入力部536で受取る。トランジスタ534のソースは電気
的に接地する。トランジスタ534の出力部538、及び変圧器558の出力部560は
、第1キャパシタ540に、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510の第1巻
線514の入力部518に電気的に接続する。第1キャパシタ540は、巻線514に対
して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
は電気的に接地する。トランジスタ564の出力部568、及び変圧器558の出力部5
62は、第2キャパシタ542に、また2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510の
第2巻線516の入力部522に電気的に接続する。第2キャパシタ542は、巻線51
6に対して並列的に電気的接続し、また電気的に接地する。
この容量性負荷を駆動する。容量性負荷(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510
における漂遊容量を含む)は、出力部520及び出力部524それぞれに接続した負荷キ
ャパシタ544及び546として図式的に示す。
44及び546(2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510における任意な漂遊容量
を含む)と共振するよう駆動する。高周波信号、及び負荷キャパシタンス544及び54
6と共振する2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510により、低電力を使用して、
2本巻きトロイダルデュアルインダクタ510における出力部520及び524に高周波
数でより高い電圧を発生することができる。したがって、インピーダンス整合直列共振回
路548は、低電力、高周波数の電圧逓増を生ずる。2本巻きトロイダルデュアルインダ
クタ510は、相互巻回キャパシタンスが直列共振及び大きな電圧逓増を生ずるよう構成
する。
高周波数、高電圧の波形を必要とする場合がある。例えば、本願人に譲渡された米国特許
出願公開第2011/0300638号(参照により全体が本明細書に援用されるものと
する)に記載のようなイオン修飾装置は、高周波数波形を利用する。本明細書に記載のR
Fジェネレータ回路の実施形態を使用して、高周波数波形をこのようなイオン修飾装置に
供給する。さらに、RFジェネレータ回路の実施形態は様々な他の用途に利用することが
できる。
有するRFジェネレータの実施形態は、高周波数(例えば、少なくとも数MHz)で高出
力電圧を供給できる。2本巻きトロイダルデュアルインダクタは、小さいサイズ及び低放
射磁場で所望の共振周波数を供給できる。さらに、2本巻きトロイダルデュアルインダク
タの巻線相互間の漂遊キャパシタンスは自己共振を発生する。さらに、一実施形態におい
て、2本巻きトロイダルデュアルインダクタは、空隙を必要とせず、密な対を生じ、また
構造簡単である。トロイダルコアは任意のリング形状とし、このリングは、必ずしも円形
である必要はなく、例えば方形、楕円形、長方形、又は任意な他の閉じた形状とすること
ができる。一実施形態において、トロイダルコアは円環体(トロイド)形状とする。
、他の実施形態において他のトランジスタ(例えば、PMOS FET、JFET、BJ
T等)を使用する。さらに、任意な他の適当な能動デバイス、例えば、電圧制御インピー
ダンスを使用することができる。
したいずれかの実施形態に関連して使用することができる。
、他の実施形態において、他の適当なタイプの自己共振デュアルインダクタを使用する。
入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含む他方の巻線を有する
デュアルインダクタを備え、前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、前記一方の巻線と前
記他方の巻線との間に、前記無線周波数信号の周波数を決定するよう選択した寄生キャパ
シタンスを生ずるよう配列し、また前記双方の巻線の出力部は、容量性負荷に電気的に接
続するよう構成する。前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、選択した寄生キャパシタン
ス及びデュアルインダクタのインダクタンスがRF共振周波数を有する共振回路をなすよ
う空間的に配列することができる。例えば、デュアルインダクタのインダクタンス及び選
択した寄生キャパシタンスによって得られる共振周波数は、少なくとも0.5MHz、又
は少なくとも1MHz、又は少なくとも3MHzとすることができる。これら可能性のう
ち幾つかにおいて、デュアルインダクタのインダクタンス及び選択した寄生キャパシタン
スによって得られる共振周波数は、15MHz未満、又は少なくとも50MHz未満とす
ることができる。巻線の空間的構成は、巻線の長さを選択、巻線相互間の間隔及び/又は
巻線における任意のコーティングの誘電率を含む。一実施形態において、RF回路は、さ
らに、容量性負荷を備え、選択した寄生キャパシタンス、及び容量性負荷、及びデュアル
インダクタのインダクタンスが互いに連係作用し、RF共振周波数を有する共振回路を生
ずる。容量性負荷は、イオン移動度分光計のイオン修飾装置とすることができる。
コアは閉じたループの形状、例えば、トロイド(円環体)にすることができる。幾つかの
実施形態において、コアなし、又は非磁気コアを使用することができる。
キャパシタ444,446を示す。これらキャパシタは、デュアルインダクタの巻線相互
間に分布したキャパシタンス、巻線の出力間に結合した負荷の任意のキャパシタンスを代
表する。それらキャパシタは実際のキャパシタを示すことを意図しない。したがって、図
面に示すのは単なる概略に過ぎず、キャパシタンスの大部分は、各出力部と接地との間よ
りも巻線の出力部相互間である。幾つかの可能性において、キャパシタを、図2に参照符
号244,246で示す部分、図3に参照符号344,346で示す部分、及び図4に参
照符号444,446で示す部分に追加することができる。
ン修飾回路は、イオン移動度分光計のドリフトチューブ内のイオンに無線周波数の電界を
加えるイオン修飾装置と、入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部
を含む他方の巻線を有するデュアルインダクタとを備え、前記一方の巻線及び前記他方の
巻線は、前記一方の巻線と前記他方の巻線との間に寄生キャパシタンスを生ずるよう構成
し、また前記双方の巻線の出力部は、イオン修飾装置に接続し、前記デュアルインダクタ
の寄生キャパシタンスは、前記デュアルインダクタのインダクタンス及びイオン修飾装置
のキャパシタンスに基づいてRF共振周波数を有する共振回路を生ずるよう選択する。一
実施形態において、共振周波数は少なくとも3MHzとし、この実施形態の幾つかの実施
例において、共振周波数は15MHz未満とする。この共振回路は本明細書に記載の回路
における任意な回路の特徴を有することができる。
トチューブにわたって配列し、ドリフトチューブ内のイオンに対して電極間の無線周波数
電界を加えるよう構成する。
方の巻線とは逆位相の交流電流を誘導するよう配列する。
he」及び同様の指示対象の使用は、他に断りのない限り、又は文脈で明示しない限り単数
形及び複数形の双方をカバーするものと解すべきである。「comprising」、「having」、
「including」及び「containing」は、他に断りのない限り制約がない用語(すなわち、
「限定しないが含む」という意味)として解すべきである。本明細書における値の範囲に
関する記述は、他に断りのない限り、範囲内に納まる各個別の値に個別に言及する簡便表
記法として使用することを意図し、また各個別の値は、本明細書に個別に記述されたかの
ように本明細書に援用される。本明細書に記載の方法のすべては、他に断りのない限り、
又は文脈で明示しない限り、任意の適当な順序で行うことができる。任意の及びすべての
実施例、又は例示的言葉遣い(例えば、「例えば/のような(such as)」)の使用は、
単に本発明をよりよく説明すること意図し、特許請求の範囲で請求しない限り、本発明の
範囲を限定することを課するものではない。本明細書における言葉遣いはいかなるもので
も、本発明の実施に重要な任意の特許請求される要素を示すものと解すべきではない。
とを意図しない。その代わり、これら用語は、幾つかの実施形態において、複数要素を含
む回路、集積回路、又は増幅に適する任意な他の構成を包含する。用語「漂遊キャパシタ
ンス」及び「寄生キャパシタンス」は本明細書で互換的に使用されて、互いに近接するよ
う電荷担持導体を配列することに関連する固有キャパシタンスを意味する。
めて説明する。それら好適な実施形態の変更形態は、当業者には上述の説明を読むことに
よって明らかになるであろう。本発明者は、当業者はこのような変更形態を適切に採用す
ることを期待し、また本発明者は、本明細書に特別に記載した以外のやり方で本発明を実
施できることを意図する。したがって、本発明は、適用可能な法律で容認される特許請求
の範囲で記述された要旨のあらゆる変更例、及び均等物を含む。さらに、すべてのあり得
る変更例における上述の要素の任意な組合せも、他に断りのない限り、又は文脈で明示し
ない限り、本発明に含まれるものである。
求の範囲で定義される本発明は、必ずしも説明した特定特徴又は行為に限定するものでは
ない。むしろ、特定特徴又は行為は特許請求した発明を実施する上での例示的形態として
開示されたものである。
Claims (28)
- 無線周波数信号を供給するRF回路であって、
入力部及び出力部を含む一方の巻線、並びに入力部及び出力部を含む他方の巻線を有す
るデュアルインダクタを備え、
前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、前記一方の巻線と前記他方の巻線との間に、前
記無線周波数信号の周波数を決定するよう選択した寄生キャパシタンスを生ずるよう配列
し、また
前記双方の巻線の出力部は、容量性負荷に電気的に接続するよう構成する、
RF回路。 - 請求項1記載のRF回路において、前記一方の巻線及び前記他方の巻線は、前記選択し
た寄生キャパシタンス及び前記デュアルインダクタのインダクタンスがRF共振周波数を
有する共振回路をなすよう空間的に配列する、RF回路。 - 請求項2記載のRF回路において、さらに、容量性負荷を備え、前記選択した寄生キャ
パシタンス、及び前記容量性負荷、及び前記デュアルインダクタのインダクタンスが、R
F共振周波数を有する共振回路を生ずる、RF回路。 - 請求項1〜3のうちいずれか一項に記載のRF回路において、前記デュアルインダクタ
は、巻線を巻付けるフェライト又は鉄粉コアを有する、RF回路。 - 請求項4記載のRF回路において、前記コアは閉じたループの形状とし、前記コアに前
記一方の巻線及び前記他方の巻線を巻付ける、RF回路。 - 請求項1〜5のうちいずれか一項に記載のRF回路において、前記一方の巻線及び前記
他方の巻線は、前記一方の巻線における交流電流が前記他方の巻線における交流電流とは
逆位相の交流電流を誘導するよう配列する、RF回路。 - 請求項3記載のRF回路において、前記容量性負荷はイオン移動度分光計のイオン修飾
装置を構成する、RF回路。 - 回路であって、
トロイダルコア、入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける一方の巻線
、並びに入力部及び出力部を含んで前記トロイダルコアに巻付ける他方の巻線を有するデ
ュアルインダクタと、
前記一方の巻線に並列的になるよう前記一方の巻線の前記入力部に電気的に接続する一
方のキャパシタと、
前記他方の巻線に並列的になるよう前記他方の巻線の前記入力部に電気的に接続する他
方のキャパシタと、
を備え、
前記双方の巻線の前記出力部は容量性負荷に電気的に接続するよう構成する、回路。 - 請求項8記載の回路において、さらに、前記デュアルインダクタにおける前記双方の巻
線の前記出力部に電気的に接続した容量性負荷を備え、前記回路及び前記容量性負荷が共
振回路を形成する、回路。 - 請求項8又は9記載の回路において、前記トロイダルコアは空隙を持たない、回路。
- 請求項8〜10のうちいずれか一項に記載の回路において、前記デュアルインダクタは
、前記回路入力部から前記巻線の前記出力部にかけて電圧逓増を生ずるよう構成し、また
前記デュアルインダクタは、前記デュアルインダクタの前記双方の巻線に互いに逆向き
に電流が流れるよう構成する、回路。 - 請求項8〜11のうちいずれか一項に記載の回路において、信号を供給する能動デバイ
スに接続し、また
前記回路は、前記双方の巻線の前記出力部に増大した電圧の信号を供給する、回路。 - 請求項8〜12のうちいずれか一項に記載の回路において、前記一方のキャパシタ及び
前記他方のキャパシタは、前記容量性負荷及び前記デュアルインダクタの漂遊キャパシタ
ンスを有する、回路。 - RFジェネレータ回路であって、
電源と、
信号を出力するよう構成した能動デバイスと、
トロイダルコアに巻付けた1対の巻線を有するデュアルインダクタと、
前記デュアルインダクタの巻線のうち一方に電気的に接続したキャパシタとを備え、
前記電源及び前記能動デバイスは、前記キャパシタ及び前記デュアルインダクタの巻線
のうち一方に電気的に接続し、また
前記デュアルインダクタは前記能動デバイスの前記信号における電圧逓増を生ずるよう
構成する、RFジェネレータ回路。 - 請求項14記載のRFジェネレータ回路において、前記電源は、2個の出力部を生じ、
前記2個の出力部のうち一方は他方とは位相がずれる変圧器に電気的に接続したDC電源
を有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、
前記デュアルインダクタにおける他方の巻線に電気的に接続した第2キャパシタを備え
、
前記変圧器の前記一方の出力部を前記第2キャパシタ、及び前記デュアルインダクタに
おける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。 - 請求項15記載のRFジェネレータ回路において、前記双方の巻線を電流が互いに逆方
向に流れる、RFジェネレータ回路。 - 請求項14〜16のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デ
ュアルインダクタは、前記巻線相互間の漂遊キャパシタンスが前記デュアルインダクタの
自己共振を生ずるよう構成する、RFジェネレータ回路。 - 請求項14〜17のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デ
ュアルインダクタは、前記巻線の入力部と前記巻線の出力部との間で電圧逓増を生ずるよ
う構成する、RFジェネレータ回路。 - 請求項14〜18のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記デ
ュアルインダクタの他方の巻線を接地する、RFジェネレータ回路。 - 請求項14〜19のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、さらに
、前記デュアルインダクタから前記能動デバイスにフィードバックを供給する構成とした
フィードバック装置を備える、RFジェネレータ回路。 - 請求項20記載のRFジェネレータ回路において、前記フィードバック装置は、前記能
動デバイスに電気的に接続した前記トロイダルコアにおける巻線を有する、RFジェネレ
ータ回路。 - 請求項14〜21のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能
動デバイスはトランジスタを有し、前記RFジェネレータ回路は、さらに、前記能動デバ
イス及び前記デュアルインダクタにおける前記一方の巻線に直列接続したダイオードを備
える、RFジェネレータ回路。 - 請求項14〜21のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、前記能
動デバイスは2個のトランジスタを有し、前記2個のトランジスタのうち一方は、前記デ
ュアルインダクタにおける前記一方の巻線に電気的に接続し、また他方のトランジスタは
前記デュアルインダクタにおける前記他方の巻線に電気的に接続する、RFジェネレータ
回路。 - 請求項14〜23のうちいずれか一項に記載のRFジェネレータ回路において、イオン
修飾装置に電気的に接続する、RFジェネレータ回路。 - 信号を発生する方法であって、
駆動信号を能動デバイスに供給するステップと、
電源を準備するステップと、
2本巻きトロイダルデュアルインダクタ、及び前記2本巻きトロイダルデュアルインダ
クタの巻線のうち少なくとも一方に並列的に電気的に接続したキャパシタを含む回路を準
備する回路準備ステップであって、前記能動デバイス及び前記電源を前記回路に電気的に
接続する、該回路準備ステップと、
前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタに対して直列的になるよう前記回路に電気
的に接続した容量性負荷を駆動するステップとを有する、方法。 - 請求項25記載の方法において、さらに、前記2本巻きトロイダルデュアルインダクタ
から前記能動デバイスにフィードバックを供給するフィードバック装置を準備するステッ
プを有する、方法。 - 請求項25又は26記載の方法において、さらに、前記信号を前記イオン修飾装置に供
給するステップを有する、方法。 - 請求項25〜27のうちいずれか一項に記載の方法において、さらに、前記回路の共振
周波数で前記回路を駆動するステップを有する、方法。
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