JP6300655B2 - 顕微鏡システム - Google Patents

Description

本発明は、標本に照明光を照射して該標本で反射した光をもとに結像された標本像を観察する顕微鏡システムに関する。

従来、顕微鏡システムによる観察方法として、微分干渉観察（以下、「ＤＩＣ観察」という）が知られている（特許文献１参照）。ＤＩＣ観察は、同軸照明光をＤＩＣプリズムによって２本の光線に分離して標本に照射し、２本の光線に生じた波長の位相差から明暗のコントラストを発生させることで、標本の微小な凹凸を立体的に観察する。

特開平２−１５１８２５号公報

しかしながら、従来のＤＩＣ観察では、ＤＩＣプリズムによって２本の光線の間の距離（以下、「シアー量」という）より小さい微小な傷や異物を観察することができなかった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ＤＩＣ観察を行いながら、シアー量より小さい微小な傷や異物を観察することができる顕微鏡システムを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡システムは、標本が載置されるステージと、前記ステージに対向して配置された対物レンズと、前記対物レンズを介して前記標本を照射するための同軸照明光を出射する同軸照明部と、前記対物レンズの外周または外部から前記標本を照射するための偏射照明光を出射する偏射照明部と、前記同軸照明部が出射した前記同軸照明光を前記対物レンズに向けて反射する一方、前記対物レンズを介して入射する前記標本で反射した反射光を透過する光学部材と、前記同軸照明部と前記光学部材との間に配置され、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の１方向の偏光成分のみを透過させるポラライザと、前記光学部材と前記対物レンズとの間に配置された微分干渉用プリズムと、前記対物レンズの光軸上に配置され、前記対物レンズ、前記微分干渉用プリズムおよび前記光学部材を介して入射される前記標本からの前記反射光の１方向の偏光成分のみを透過させるアナライザと、前記アナライザを透過した前記反射光を集光して結像した前記標本の標本像を観察可能な観察部と、前記同軸照明部および前記偏射照明部を点灯させる照明制御部と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記微分干渉用プリズムは、前記対物レンズの光軸に対して直交する方向に移動可能に配置されていることを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記照明制御部は、前記同軸照明部および前記偏射照明部のいずれか一方を所定の間隔で点滅させるとともに、他方を点灯させることを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量の一方を指示する指示信号の入力を受け付ける入力部をさらに備え、前記入力部は、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量の他方が一定であることを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量を指示する指示信号の入力を受け付ける入力部をさらに備え、前記照明制御部は、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量のどちらか一方の光量が変更された場合、他方の光量を前記一方の光量に対して所定の比率になるように連動して変更することを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、複数の観察対象と、該複数の観察対象それぞれに適した前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量と、を対応付けた観察条件を含む観察情報を記録する記録部と、前記複数の観察対象それぞれに関する複数の情報を表示する表示部と、前記表示部が表示する前記複数の情報のいずれか１つを選択する選択信号の入力を受け付ける入力部と、をさらに備え、前記照明制御部は、前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記同軸照明部および前記偏射照明部それぞれの光量を制御することを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記観察部は、前記標本の標本像を撮像し、該標本の画像データを生成する撮像部と、前記撮像部の撮像を制御する撮像制御部と、を有し、前記照明制御部は、前記観察情報を参照して、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量の比率を変化させて前記同軸照明部および前記偏射照明部に出射させ、前記撮像制御部は、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量の比率を変化する毎に前記標本の観察像を撮像して前記画像データを生成し、前記表示部は、前記比率が変化する毎に前記撮像部が生成した複数の前記画像データに対応する複数の画像を表示することを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記微分干渉用プリズムを移動させる駆動部と、前記駆動部を制御する駆動制御部と、複数の観察対象と、該複数の観察対象それぞれに適した前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量と、前記微分干渉用プリズムの位置と、を対応付けた観察条件を含む観察情報を記録する記録部と、前記複数の観察対象それぞれに関する複数の情報を表示する表示部と、前記表示部が表示する前記複数の情報のいずれか１つを選択する選択信号の入力を受け付ける入力部と、をさらに備え、前記照明制御部は、前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記同軸照明部および前記偏射照明部それぞれの光量を制御し、前記駆動制御部は、前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記駆動部を制御することによって前記微分干渉用プリズムを移動させることを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記観察部は、前記標本の標本像を撮像し、該標本の画像データを生成する撮像部と、前記撮像部の撮像を制御する撮像制御部と、を有し、前記撮像制御部は、前記微分干渉用プリズムが移動する毎に前記標本の標本像を撮像した前記画像データを生成し、前記表示部は、前記微分干渉用プリズムが移動する毎に前記撮像部が生成した複数の前記画像データに対応する複数の画像を表示することを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡システムは、上記発明において、前記微分干渉用プリズムは、灰色のコントラストが最大となる位置に配置されていることを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡システムによれば、ＤＩＣ観察を行いながら、シアー量より微小な傷や異物を観察することができるという効果を奏する。

図１は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。 図２は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムの入力部の構成を示す模式図である。 図３は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムにおけるＤＩＣ観察の原理を示す模式図である。 図４Ａは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって分離された２つの光線が標本外を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。 図４Ｂは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって合成される２つの光線の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。 図５Ａは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって分離された２つの光線が均一な標本を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。 図５Ｂは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって合成される標本を通過した２つの光線の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。 図６Ａは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって分離された２つの光線が段差を有する標本を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。 図６Ｂは、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムのＤＩＣプリズムによって合成される標本を通過した２つの光線の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。 図７は、シアー量より大きい段差を有する標本を観察する際の状況を模式的に示す図である。 図８は、シアー量より小さい異物を有する標本を観察する際の状況を模式的に示す図である。 図９は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムにおける観察の原理を示す模式図である。 図１０は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡システムが実行する処理の概要を示すフローチャートである。 図１１Ａは、標本に対して暗視野観察のみを行った場合に表示装置が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。 図１１Ｂは、標本に対してＤＩＣ観察のみを行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｃは、標本に対して暗視野観察および明視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｄは、標本に対して明視野観察のみを行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｅは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｆは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が０で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｇは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が１００で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｈは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｉは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が０で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｊは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が１００で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｋは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｌは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が０で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１１Ｍは、標本に対してＤＩＣプリズムの位置が１００で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置が表示する標本の画像の一例を示す図である。 図１２は、本発明の実施の形態１の変形例１に係る入力部の構成を模式的に示す図である。 図１３は、本発明の実施の形態１の変形例２に係る入力部の構成を模式的に示す図である。 図１４は、本発明の実施の形態１の変形例３に係る入力部の構成を模式的に示す図である。 図１５は、本発明の実施の形態２に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。 図１６は、本発明の実施の形態２に係る顕微鏡システムの観察情報記録部が記録する観察情報の一例を示す図である。 図１７は、本発明の実施の形態２に係る顕微鏡システムの表示部が表示する顕微鏡システムの操作画面の一例を示す図である。 図１８は、本発明の実施の形態２に係る顕微鏡システムの表示部が表示する顕微鏡システムの操作画面の一例を示す図である。 図１９は、本発明の実施の形態３に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。 図２０は、図２０は、本発明の実施の形態３に係る顕微鏡システムの観察情報記録部が記録する観察情報の一例を示す図である。 図２１は、本発明の実施の形態３に係る顕微鏡システムの表示部が表示する顕微鏡システムの操作画面の一例を示す図である。 図２２は、本発明の実施の形態１〜３の変形例に係る顕微鏡システムの光学系および照明系を示す模式図である。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）について説明する。なお、以下に説明する実施の形態によって、本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。即ち、本発明は、各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。

（実施の形態１）
〔顕微鏡システムの構成〕
図１は、本実施の形態１に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。図１において、顕微鏡システム１が載置される平面をｘｙ平面とし、ｘｙ平面と垂直な方向をｚ方向として説明する。

図１に示す顕微鏡システム１は、標本ＳＰを観察する顕微鏡装置２と、顕微鏡装置２を介して標本ＳＰを撮像して画像データを生成する撮像装置３（撮像部）と、撮像装置３の駆動を制御する撮像制御部４と、撮像装置３が生成した画像データに対応する画像を表示する表示装置５と、顕微鏡装置２が標本ＳＰに照射する照明光を指示する指示信号の入力を受け付ける入力部６と、顕微鏡装置２の駆動を制御する顕微鏡制御装置７と、を備える。顕微鏡装置２、撮像装置３、撮像制御部４、表示装置５、入力部６および顕微鏡制御装置７は、データが送受信可能に有線または無線で接続されている。

〔顕微鏡装置の構成〕
まず、顕微鏡装置２の構成について説明する。
顕微鏡装置２は、標本ＳＰが載置されるステージ２１と、側面視略Ｃ字状をなし、ステージ２１を支持するとともに、レボルバ２２を介して対物レンズ２３を保持する顕微鏡本体部２４と、顕微鏡本体部２４に設けられ、標本ＳＰに同軸照明用の照明光を出射する同軸照明部２５と、顕微鏡本体部２４に設けられ、標本ＳＰに照射する偏光照明用の照明光を出射する偏射照明部２６と、を備える。

ステージ２１は、ｘｙｚ方向に移動自在に構成され、図示しないステージ操作部の操作に応じて移動する。なお、ステージ２１は、モータ等の駆動部を設け、顕微鏡制御装置７の制御のもと、ｘｙｚ方向に移動可能な電動ステージを用いて構成してもよい。

レボルバ２２は、顕微鏡本体部２４に対してスライド自在または回転自在に設けられ、対物レンズ２３を標本ＳＰの上方に配置する。レボルバ２２は、倍率（観察倍率）が異なる複数の対物レンズ２３を保持する。

対物レンズ２３は、レボルバ２２に装着される。なお、対物レンズ２３の倍率は、一例であり、例えば１０倍、１００倍等の適宜変更することができる。また、対物レンズ２３は、ステージ２１に対応して配置される。

顕微鏡本体部２４は、照明レンズ２４１と、ポラライザ２４２と、ハーフミラー２４３と、微分干渉用プリズム２４４（以下、「ＤＩＣプリズム２４４」という）と、ＤＩＣ操作部２４５と、アナライザ２４６と、アナライザ操作部２４７と、結像レンズ２４８と、を備える。

照明レンズ２４１は、同軸照明部２５から出射された照明光を集光してポラライザ２４２へ出射する。照明レンズ２４１は、複数のレンズを用いて構成される。

ポラライザ２４２は、同軸照明部２５とハーフミラー２４３との間に配置され、照明レンズ２４１を透過した光に対して特定方向の振動の光のみを透過させる。ポラライザ２４２は、偏光板を用いて構成される。ポラライザ２４２は、同軸照明部２５が出射する同軸照明光の１方向の偏光成分のみを透過させる。

ハーフミラー２４３は、同軸照明部２５が出射した光（同軸照明光）を対物レンズ２３に向けて反射する一方、対物レンズ２３を介して入射する標本ＳＰで反射した反射光であって、ＤＩＣプリズム２４４を透過した反射光を透過する。具体的には、ハーフミラー２４３は、ポラライザ２４２を透過した光を対物レンズ２３へ反射する一方、対物レンズ２３を介して入射した標本ＳＰで反射した反射光（正反射および散乱光を含む光）であって、ＤＩＣプリズム２４４を透過した反射光を透過する。なお、本実施の形態１では、ハーフミラー２４３が光学部材として機能する。また、本実施の形態１では、ハーフミラー２４３に換えてビームスプリッタを適用してもよい。

ＤＩＣプリズム２４４は、ポラライザ２４２およびハーフミラー２４３を介して入射する同軸照明光に対して、互いの振動方向が直交する２つ光に分岐する一方、対物レンズ２３を介して入射する標本ＳＰで反射した反射光であって、互いの振動方向が直交する２つの反射光を合成して透過する。また、ＤＩＣプリズム２４４は、ハーフミラー２４３と対物レンズ２３との間に移動可能に配置され、第１の基準位置からの移動に応じて標本ＳＰの観察像のコントラストを変化させる。ここで、第１の基準位置とは、灰色のコントラストが最大となる位置（以下、「灰色鋭敏色位置」という）である。ＤＩＣプリズム２４４は、ウェラストンプリズム等を用いて構成される。なお、ＤＩＣプリズム２４４の位置は、灰色鋭敏色位置以外でもよく、例えば標本ＳＰに応じて、標本像の背景が紫になる紫鋭敏色位置等であってもよい。

ＤＩＣ操作部２４５は、観察者の操作に応じて、ＤＩＣプリズム２４４を対物レンズ２３の光軸に対して挿脱自在に移動させることによって、対物レンズ２３の光軸上におけるＤＩＣプリズム２４４の位置を変更する。

アナライザ２４６は、対物レンズ２３の光軸を中心として回転可能に配置され、第２の基準位置からの回転角度に応じた反射光の偏光成分を透過させる。ここで、第２の基準位置とは、ポラライザ２４２の振動方向とアナライザ２４６の振動方向とが互いに直交するクロスニコルの状態で配置された位置である。具体的には、アナライザ２４６は、対物レンズ２３、ＤＩＣプリズム２４４およびハーフミラー２４３を介して入射される標本ＳＰの反射光に対して特定方向の振動の光のみを透過させる。アナライザ２４６は、偏光板を用いて構成される。

アナライザ操作部２４７は、観察者の操作に応じて、アナライザ２４６を対物レンズ２３の光軸を中心にして回転させることによって、ポラライザ２４２とアナライザ２４６との位相関係を変更する。

結像レンズ２４８は、アナライザ２４６を透過した光を集光して標本ＳＰの観察像を結像する。結像レンズ２４８は、複数のレンズを用いて構成される。

同軸照明部２５は、ハロゲンランプ、キセノンランプまたはＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源を用いて構成される。同軸照明部２５は、顕微鏡制御装置７の制御のもと、標本ＳＰを照射するための同軸照明光を出射する。

偏射照明部２６は、対物レンズ２３の外周または外部に設けられ、顕微鏡制御装置７の制御のもと、標本ＳＰに偏射照明光を照射する。偏射照明部２６は、ＬＥＤ等を用いて構成される。

〔撮像装置の構成〕
次に、撮像装置３の構成について説明する。
撮像装置３は、対物レンズ２３、ハーフミラー２４３、アナライザ２４６および結像レンズ２４８を介して入力された標本ＳＰの観察像（観察光）を撮像して標本ＳＰの画像データを生成する。撮像装置３は、標本ＳＰの観察像を受光して光電変換を行うことによって、光を電気信号（アナログ信号）に変換する複数の画素を有するＣＣＤ（Charge Coupled Device）またはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子３１と、撮像素子３１から出力される電気信号に増幅（ゲイン調整）等の信号処理を施した後、Ａ／Ｄ変換を行うことによってデジタルの標本ＳＰの画像データに変換して撮像制御部４へ出力する信号処理部（図示せず）と、を用いて構成される。撮像装置３は、撮像制御部４の制御のもと、標本ＳＰの画像データを微小な時間間隔で連続的に生成して撮像制御部４へ出力する。また、撮像装置３は、所定のフレームレート、例えば１５ｆｐｓで画像データを生成する。なお、本実施の形態１では、撮像装置３が観察部として機能する。また、本実施の形態１では、撮像装置３に換えて、観察部を接眼レンズが内蔵された接眼部であっても適用することができる。

撮像制御部４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等を用いて構成され、撮像装置３の動作を制御する。具体的には、撮像制御部４は、撮像装置３のフレームレートの設定処理やゲインの設定処理等を行って撮像装置３の撮像動作を制御する。撮像制御部４は、撮像装置３から入力された標本ＳＰの画像データを表示装置５へ出力する。

〔表示装置の構成〕
次に、表示装置５の構成について説明する。
表示装置５は、液晶または有機ＥＬ（Electro Luminescence）等からなる表示パネルおよび駆動ドライバを用いて構成される。表示装置５は、撮像制御部４から入力される標本ＳＰの画像データに対応する画像を表示する。

〔入力部の構成〕
次に、入力部６の構成について説明する。
入力部６は、同軸照明部２５および偏射照明部２６の少なくとも一方の点灯を指示する指示信号の入力を受け付ける。入力部６は、スイッチやボタン等を用いて構成される。

図２は、入力部６の構成を示す模式図である。図２に示すように、入力部６は、偏射照明部２６が照射する照明光の光量を指示する偏射照明入力部６１と、同軸照明部２５が照射する照明光の光量を指示する同軸照明入力部６２と、を有する。偏射照明入力部６１および同軸照明入力部６２は、それぞれ、上下方向に移動させるスライダ６１ａおよびスライダ６２ａを有し、スライダ６１ａおよびスライダ６２ａの位置に応じた強度を示す指示信号を顕微鏡制御装置７へ出力する。

〔顕微鏡制御装置の構成〕
次に、顕微鏡制御装置７の構成について説明する。
顕微鏡制御装置７は、ＣＰＵ等を用いて構成され、顕微鏡装置２の駆動を制御する。顕微鏡制御装置７は、照明制御部７１を有する。

照明制御部７１は、入力部６から入力される指示信号に応じて、同軸照明部２５および偏射照明部２６それぞれを制御する。具体的には、照明制御部７１は、入力部６から入力される指示信号に応じて、同軸照明部２５および偏射照明部２６それぞれを同時に点灯させる。

〔ＤＩＣ観察の原理〕
次に、上述の構成を有する顕微鏡システム１におけるＤＩＣ観察の原理について説明する。図３は、顕微鏡システム１におけるＤＩＣ観察の原理を示す模式図である。なお、図３においては、ポラライザ２４２およびアナライザ２４６の位置関係は、クロスニコルの状態で配置されているものとする。さらに、ＤＩＣプリズム２４４の配置は、灰色鋭敏色位置に配置されているものとする。

図３に示すように、まず、ポラライザ２４２は、同軸照明部２５が照射した様々な方向に振動する同軸照明光Ｌ１に対して、特定方向の振動の光のみを透過（偏光）する。続いて、ＤＩＣプリズム２４４は、ポラライザ２４２によって偏向された光Ｌ２に対して、互いの振動方向が直交する２つ光線Ｌ３，Ｌ４に分離する。その後、対物レンズ２３は、標本ＳＰに対して２つの光線Ｌ３，Ｌ４を照射する一方、標本ＳＰで反射した２つの光線Ｌ３，Ｌ４を集光してＤＩＣプリズム２４４へ出射する。続いて、ＤＩＣプリズム２４４は、対物レンズ２３から入射される標本ＳＰで反射した２つの光線Ｌ３，Ｌ４を合成して透過する。続いて、アナライザ２４６は、ＤＩＣプリズム２４４を透過した光線Ｌ５に対して、特定方向の振動の光のみ（１方向の光Ｌ６のみ）を透過する。

ここで、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４が標本ＳＰの段差に応じて変化する際の状況について説明する。図４Ａは、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４が標本ＳＰ外（標本ＳＰがない位置）を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。図４Ｂは、ＤＩＣプリズム２４４によって合成される２つの光線Ｌ３，Ｌ４の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。図５Ａは、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４が均一な標本ＳＰ１（標本ＳＰに段差がない）を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。図５Ｂは、ＤＩＣプリズム２４４によって合成される標本ＳＰ１を通過した２つの光線Ｌ３，Ｌ４の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。図６Ａは、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４が段差を有する標本ＳＰ２を通過する前と通過した後の波長の状態を模式的に示す図である。図６Ｂは、ＤＩＣプリズム２４４によって合成される標本ＳＰ２を通過した２つの光線Ｌ３，Ｌ４の波長を仮想的に重ねた状態と合成した状態を模式的に示す図である。

図４Ａに示すように、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ外を通過する前の波長Ｌ３１，Ｌ４１（図４Ａ（ａ））と標本ＳＰ外を通過した後の波長Ｌ３２，Ｌ４２（図４Ａ（ｂ））との間で変化がない。このため、図４Ｂに示すように、２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ外を通過した後の２つの波長Ｌ３２，Ｌ４２を仮想的に重ねた場合（図４Ｂ（ａ））、位相差がないので、ＤＩＣプリズム２４４によって合成したとき（図４Ｂ（ｂ））、波長Ｌ５０となる。

また、図５Ａに示すように、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ１を通過する前の波長Ｌ３３，Ｌ４３（図５Ａ（ａ））と標本ＳＰ１を通過した後の波長Ｌ３４，Ｌ４４（図５Ａ（ｂ））との間で変化がない。このため、図５Ｂに示すように、２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ１を通過した後の２つの波長Ｌ３４，Ｌ４４を仮想的に重ねた場合（図５Ｂ（ａ））、位相差がないので、ＤＩＣプリズム２４４に合成したとき（図５Ｂ（ｂ））、波長Ｌ５１となる。

これに対して、図６Ａに示すように、ＤＩＣプリズム２４４によって分離された２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ２を通過する前の波長Ｌ３５，Ｌ４５（図６Ａ（ａ））と標本ＳＰ１を通過した後の波長Ｌ３６，Ｌ４６（図６Ａ（ｂ））との間で位相差が生じる。このため、図６Ｂに示すように、２つの光線Ｌ３，Ｌ４は、標本ＳＰ１を通過した後の２つの波長Ｌ３６，Ｌ４６を仮想的に重ねた場合（図６Ｂ（ａ））、位相差があるので、ＤＩＣプリズム２４４に合成したとき（図６Ｂ（ｂ））、波長Ｌ５２となる。

このようにＤＩＣ観察においては、ポラライザ２４２によって偏光された同軸照明光をＤＩＣプリズム２４４によって２つの光線（光）に分離し、標本ＳＰの段差によって２つの光線に生じた位相差から明暗のコントラストを発生させることで、微小な凹凸や異物を立体視することができる。

図７は、シアー量Ｄ１より大きい段差Ｕ１を有する標本ＳＰを観察する際の状況を模式的に示す図である。図８は、シアー量Ｄ１より小さい異物を有する標本ＳＰを観察する際の状況を模式的に示す図である。

図７に示すように、ＤＩＣ観察は、シアー量Ｄ１より大きい異物Ｇ１であって、段差Ｕ１がある異物Ｇ１を有する標本ＳＰ１０に対しては、異物Ｇ１（段差や傷）を観察することができる。これに対して、図８に示すように、ＤＩＣ観察は、シアー量Ｄ１より小さい異物Ｇ２を有する標本ＳＰ１１に対しては、異物Ｇ２を観察することができない。

また、ＤＩＣ観察は、シアー量Ｄ１を大きくした場合、明暗のコントラストが大きくなるが、標本ＳＰの観察像が２重になるため、分離能が低下する一方、シアー量Ｄ１を小さくした場合、分離能が上昇するが、明暗のコントラストが小さくなる。さらに、ＤＩＣ観察は、明暗のコントラストと観察像の分離能とを両立させるため、シアー量Ｄ１が対物レンズ２３の分離能の１／２程度（最小０．２μｍ程度）とされているので、シアー量Ｄ１より小さい異物や傷等を観察することができない。

〔観察の原理〕
次に、上述の構成を有する顕微鏡システム１における観察の原理について説明する。図９は、顕微鏡システム１における観察の原理を示す模式図である。なお、図９においては、ポラライザ２４２およびアナライザ２４６の位置関係は、クロスニコルの状態で配置されているものとする。さらに、ＤＩＣプリズム２４４の配置は、灰色鋭敏色位置に配置されているものとする。

図９に示すように、顕微鏡システム１は、標本ＳＰに対して、同軸照明部２５による同軸照明光と偏射照明部２６による偏射照明光とを同時に照射することによって、暗視野観察とＤＩＣ観察を同時に行う。

図９に示すように、同軸照明部２５が出射した同軸照明光Ｌ１は、ポラライザ２４２を透過した一方向の偏光成分を有する光Ｌ２になる。同軸照明光Ｌ１は、ポラライザ２４２を通過後、ＤＩＣプリズム２４４によって偏向方向が直交し、光軸が僅かにずれた２つの光線Ｌ３，Ｌ４に分離して標本ＳＰに照射される。標本ＳＰで反射した２つの光線Ｌ３、Ｌ４は、ＤＩＣプリズム２４４を透過して１つの光線Ｌ５に合成される。この場合において、標本ＳＰの凹凸によって２つの光線Ｌ３，Ｌ４に位相差が生じていとき、ＤＩＣプリズム２４４によって合成された１つの光線Ｌ５は、アナライザ２４６に入射した際に干渉が生じる。この結果、エンボス効果により標本ＳＰの観察像を立体的に観察することができる。

また、図９に示すように、偏射照明部２６が出射した偏射照明光Ｌ１０は、標本ＳＰに照射される。標本ＳＰで反射した偏射照明の散乱光は、さまざまな方向に偏向成分を有する光の集合体である。このため、標本ＳＰで反射した偏射照明の散乱光がＤＩＣプリズム２４４に入射した場合、各偏光成分は、光軸が僅かにずれた直交する２つの光線Ｌ１１、Ｌ１２に分離される。しかしながら、散乱光全体としては、ＤＩＣプリズム２４４を透過した後も様々な方向に偏光成分を有する光の集合体のままである。このため、偏射照明光の散乱光は、ＤＩＣプリズム２４４を透過した後、アナライザ２４６の偏光方向と一致する光線Ｌ１１だけアナライザ２４６を透過する。この結果、シアー量Ｄ１よりも小さい凹凸は、偏射照明光による散乱光により観察することができる。なお、暗視野観察は、ミー散乱を利用する観察方法であり、分離能が０．００１μｍ程度のため、ＤＩＣ観察の分離能より１桁小さい。

このように顕微鏡システム１は、照明制御部７１は、同軸照明部２５による同軸照明光と偏射照明部２６による偏射照明光とを同時に照射させることによって、ＤＩＣ観察で観察することができない微小な傷や凹凸および異物を観察することができる。

〔顕微鏡システムの処理〕
次に、顕微鏡システム１が実行する処理について説明する。図１０は、顕微鏡システム１が実行する処理の概要を示すフローチャートである。

図１０に示すように、まず、入力部６から光量を変更する指示信号が入力された場合（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）において、指示信号が同軸照明部２５によって照射される同軸照明光の光量を変更する指示信号であるとき（ステップＳ１０２：Ｙｅｓ）、照明制御部７１は、入力部６から入力された指示信号に基づいて、同軸照明部２５が照射する同軸照明光の光量を変更する（ステップＳ１０３）。ステップＳ１０３の後、顕微鏡システム１は、後述するステップＳ１０５へ移行する。

これに対して、ステップＳ１０１において、入力部６から光量を変更する指示信号が入力された場合（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）において、指示信号が同軸照明部２５によって照射される同軸照明光の光量を変更する指示信号でないとき（ステップＳ１０２：Ｎｏ）、照明制御部７１は、入力部６から入力された指示信号に基づいて、偏射照明部２６が照射する偏光照明光の光量を変更する（ステップＳ１０４）。ステップＳ１０４の後、顕微鏡システム１は、後述するステップＳ１０５へ移行する。

ステップＳ１０５において、撮像制御部４は、撮像装置３に撮像させて標本ＳＰの画像データを生成させる（ステップＳ１０５）。この場合、撮像制御部４は、撮像装置３から入力された標本ＳＰの画像データを表示装置５へ出力する。

その後、表示装置５は、撮像制御部４から入力された標本ＳＰの画像データに対応する画像を表示する（ステップＳ１０６）。

図１１Ａは、標本ＳＰに対して暗視野観察のみを行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｂは、標本ＳＰに対してＤＩＣ観察のみを行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｃは、標本ＳＰに対して暗視野観察および明視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｄは、標本ＳＰに対して明視野観察のみを行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。

図１１Ｅは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｆは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が０で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｇは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が１００で同軸照明光の光量を２０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。

図１１Ｈは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｉは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が０で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｊは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が１００で同軸照明光の光量を５０％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。

図１１Ｋは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｌは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が０で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。図１１Ｍは、標本ＳＰに対してＤＩＣプリズム２４４の位置が１００で同軸照明光の光量を１００％とするＤＩＣ観察および暗視野観察を同時に行った場合に表示装置５が表示する標本ＳＰの画像の一例を示す図である。

図１１Ａ〜図１１Ｍの画像Ｐ１〜Ｐ１３に示すように、同軸照明部２５による同軸照明光と偏射照明部２６による偏射照明光とを同時に照射させることによって、ＤＩＣ観察で観察することができない微小な傷や凹凸および異物を観察することができる。具体的には、図１１Ｈの画像Ｐ８の領域Ｋ１に示すように、顕微鏡システム１は、微小な凹凸を立体的に観察することができるとともに、ＤＩＣ観察のみ（図１１Ｂを参照）では、観察できない微小な凹凸の傷Ｇ１００を観察（映像化）することができる。また、図１１Ｈに示すように、顕微鏡システム１においては、ＤＩＣプリズム２４４の配置が灰色鋭敏色であるとき、傷Ｇ１００を顕著に観察することができる。さらにまた、図１１Ｈに示すように、顕微鏡システム１においては、同軸照明部２５による同軸照明光の光量が偏射照明部２６による偏射照明光の光量に対して所定の比率、例えば１：２のとき、標本ＳＰの立体感の観察と傷Ｇ１００の観察とを両立して観察することができる。

図１０に戻り、ステップＳ１０７以降の説明を続ける。
ステップＳ１０７において、標本ＳＰの観察を終了する場合（ステップＳ１０７：Ｙｅｓ）、顕微鏡システム１は、本処理を終了する。これに対して、標本ＳＰの観察を終了しない場合（ステップＳ１０７：Ｎｏ）、顕微鏡システム１は、上述したステップ１０１へ戻る。

ステップＳ１０１において、入力部６から光量を変更する指示信号が入力されていない場合（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、顕微鏡システム１は、ステップＳ１０５へ移行する。

以上説明した本実施の形態１によれば、標本ＳＰを立体的に観察しながら、シアー量以下の微小な凹凸や傷を観察することができる。

また、本実施の形態１によれば、照明制御部７１が同軸照明部２５および偏射照明部２６それぞれを同時に照射させるので、ＤＩＣ観察と暗視野観察とを同時に行うことができる。

また、本実施の形態１によれば、ステージ２１を移動させながら標本ＳＰのライブ観察をリアルタイムで行う場合であっても、ＤＩＣ観察と暗視野観察とを光学的に同時に行うことができるので、リアルタイムで標本ＳＰを立体的に観察しつつ、シアー量以下の微小な凹凸や傷を観察することができる。

また、本実施の形態１によれば、入力部６を介して同軸照明部２５が照射する同軸照明光の光量および偏射照明部２６が照射する偏射照明光の光量を切り替えるだけで、暗視野観察とＤＩＣ観察とを同時に行うことができので、観察の切り替えの処理を簡略化することができる。

なお、本実施の形態１では、ＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置であったが、ＤＩＣ操作部２４５を操作することによって、灰色鋭敏色位置以外の位置、例えば紫鋭敏色位置に配置してもよい。

（実施の形態１の変形例１）
次に、本実施の形態１の変形例１について説明する。本実施の形態１の変形例１では、入力部の構成が異なる。このため、以下においては、本実施の形態１の変形例１に係る顕微鏡システムの入力部の構成を説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

図１２は、本実施の形態１の変形例１に係る入力部の構成を模式的に示す図である。図７に示す入力部６ａは、点滅スイッチ６３と、切替スイッチ６４と、を有する。

点滅スイッチ６３は、同軸照明部２５または偏射照明部２６の点滅を指示する指示信号の入力を受け付ける。具体的には、点滅スイッチ６３は、ＯＮ側に切替レバー６３ａが移動させられた場合、同軸照明部２５または偏射照明部２６の点滅を指示する指示信号の入力を受け付ける一方、ＯＦＦ側に切替レバー６３ａが移動させられた場合、同軸照明部２５および偏射照明部２６の点灯を指示する指示信号の入力を受け付ける。

切替スイッチ６４は、点滅させる照明の切り替えを指示する指示信号の入力を受け付ける。具体的には、切替スイッチ６４は、同軸照明側に切替レバー６４ｂが移動させられた場合、同軸照明部２５を点滅させる指示信号の入力を受け付ける一方、偏射照明側に切替レバー６４ｂが移動させられた場合、偏射照明部２６を点滅させる指示信号の入力を受け付ける。

このように構成された顕微鏡システム１は、観察者が点滅スイッチ６３の切替レバー６３ａをＯＮ側に移動させ、切替スイッチ６４の切替レバー６４ｂを同軸照明側に移動させた場合、照明制御部７１が同軸照明部２５を所定の間隔、例えば１秒間間隔で点灯させるとともに、偏射照明部２６を点灯させる。これにより、暗視野観察で観察可能なシアー量以下の微小な凹凸や傷が点滅せず、常に観察することができる。

これに対して、顕微鏡システム１は、観察射が点滅スイッチ６３の切替レバー６３ａをＯＮ側に移動させ、切替スイッチ６４の切替レバー６４ｂを偏射照明側に移動させた場合、照明制御部７１が偏射照明部２６を所定の間隔、例えば１秒間隔で点灯させるとともに、同軸照明部２５を点灯させる。これにより、偏射照明光の散乱光で観察可能なシアー量以下の微小な凹凸や傷が点滅し、ＤＩＣ観察で観察可能な標本ＳＰの凹凸を常に立体的に観察することができる。

以上説明した本実施の形態１の変形例１によれば、点滅する凹凸、異物または傷等の位置を観察することで、それらがＤＩＣ観察で検出できる大きさのものか、暗視野観察でなければ検出できない大きさのものかを容易に把握することができる。

（実施の形態１の変形例２）
次に、本実施の形態１の変形例２について説明する。本実施の形態１の変形例２では、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システムの入力部の構成が異なる。このため、以下においては、本実施の形態１の変形例２に係る顕微鏡システムの入力部の構成を説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

図１３は、本実施の形態１の変形例２に係る入力部の構成を模式的に示す図である。図１３に示す入力部６ｂは、偏射照明入力部６１と、同軸照明入力部６２と、を有する。入力部６ｂは、偏射照明入力部６１のスライダ６１ａまたは同軸照明入力部６２のスライダ６２ａのどちらか一方が所定の光量に固定され、他方の一方を自由に移動可能に設けられる。

このように構成された入力部６ｂに対して、観察者は、例えば同軸照明入力部６２のスライダ６２ａを固定し、偏射照明入力部６１のスライダ６１ａを上下方向に移動させる。

また、本実施の形態１の変形例２では、金属のような表面に凹凸が多い標本ＳＰに対して、シアー量以下の傷を観察（検出）する場合において、ＤＩＣ観察による標本ＳＰの凹凸からの光が大きいとき、暗視野観察による傷の散乱光が強調されない。そこで、本実施の形態１の変形例２では、凹凸の多い標本を観察する場合、偏射照明の光量を同軸照明の光量よりも大きくすることで、ＤＩＣ観察の効果を得ながら標本ＳＰの傷を観察することができる。

これに対して、本実施の形態１の変形例２では、ベアウェハやミラー等の凹凸の少ない標本ＳＰに対して、標本ＳＰの凹凸を観察する場合において、偏射照明の光量が大きいとき、偏射照明光の散乱光がぼやけることで、標本ＳＰの観察像の分離能が低下し、ＤＩＣ観察において標本ＳＰの凹凸が見えにくくなる。そこで、本実施の形態１の変形例２では、凹凸の少ない標本ＳＰを観察する場合、同軸照明の光量を偏射照明の光量より大きくすることで、暗視野観察の効果を得ながら標本ＳＰの凹凸を観察することできる。

以上説明した本実施の形態１の変形例２によれば、標本に応じて、一方の光量を所定の光量に固定し、他方の光量を変更可能にしたので、調光操作を簡易かつ迅速に行うことができる。

（実施の形態１の変形例３）
次に、本実施の形態１の変形例３について説明する。本実施の形態１の変形例３では、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システムの入力部の構成が異なる。このため、以下においては、本実施の形態１の変形例３に係る顕微鏡システムの入力部の構成を説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

図１４は、本実施の形態１の変形例３に係る入力部の構成を模式的に示す図である。図１４に示す入力部６ｃは、偏射照明入力部６１と、同軸照明入力部６２と、を有する。入力部６ｃは、偏射照明入力部６１のスライダ６１ａまたは同軸照明入力部６２のスライダ６２ａのどちらか一方が上下方向に移動させられた場合、このスライダの位置（調光量）に応じて、他方のスライダ６１ａまたはスライダ６２ａが一方を自由に移動可能に設けられる。具体的には、入力部６ｃは、観察者がスライダ６１ａを上下方向に移動させた場合、スライダ６１ａの位置に応じて、スライダ６１ａに対してスライダ６２ａが所定の比率または差になるように連動して移動する。例えば、入力部６ｃは、比率Ｅ１が１：４に設定されている場合、観察者がスライダ６１ａを調光値２０に移動させた場合、スライダ６２ａを調光値８０に移動させて変更する。

以上説明した本実施の形態１の変形例３によれば、ＤＩＣ観察と暗視野観察の効果を同時に得られる光量バランスを一定に維持したまま調光を行うことができるので、調光操作を簡易かつ迅速に行うことができる。

（実施の形態２）
次に、本実施の形態２について説明する。本実施の形態２に係る顕微鏡システムは、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１の構成が異なる。このため、以下においては、本実施の形態２に係る顕微鏡システムの構成を説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

〔顕微鏡システムの構成〕
図１５は、本実施の形態２に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。図１５に示す顕微鏡システム１ａは、顕微鏡装置２と、撮像装置３と、撮像制御部４と、撮像装置３が生成した標本ＳＰの画像データに対応する画像を表示する表示装置５ａと、顕微鏡制御装置７と、顕微鏡システム１ａの各部を統括的に制御する処理装置８と、を備える。

〔表示部の構成〕
表示装置５ａは、処理装置８の制御のもと、撮像装置３が生成した標本ＳＰの画像データに対応する画像や顕微鏡システム１ａの操作に関する情報を表示する表示部５１と、表示部５１の表示領域に重畳して設けられ、外部からの物体の接触位置を検出し、この接触位置に応じた位置信号の入力を受け付けるタッチパネル５２と、を有する。

〔処理装置の構成〕
処理装置８は、各種の情報の入力を受け付ける入力部８１と、顕微鏡システム１ａを動作させるためのプログラムや各種処理中のデータを記録する記録部８２と、顕微鏡システム１ａを制御する処理制御部８３と、を備える。

入力部８１は、キーボードやマウス等の操作入力デバイスを用いて構成される。入力部８１は、顕微鏡システム１ａの各種の情報の入力を受け付ける。

記録部８２は、顕微鏡システム１ａが実行する各種動作を示すプログラムや各種情報を記録する。また、記録部８２は、複数の観察対象と、この複数の観察対象それぞれに適した観察条件とを対応付けた観察情報を記録する観察情報記録部８２１を有する。

ここで、観察情報記録部８２１が記録する観察情報について詳細に説明する。
図１６は、観察情報記録部８２１が記録する観察情報の一例を示す図である。

図１６に示すように、観察情報テーブルＴ１には、観察対象の種類と、観察対象の種類それぞれに適した観察情報としての偏射照明光範囲および同軸照明光範囲と、が対応付けて記録されている。具体的には、観察情報テーブルＴ１には、傷の場合、偏射照明光の範囲（光量の範囲）が０〜１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が０に設定されている。また、観察情報テーブルＴ１には、凹凸の場合、偏射照明光の範囲が０に設定されており、同軸照明光の範囲が０〜１００の範囲で調整可能に設定されている。さらに、観察情報テーブルＴ１には、傷と凹凸（ウェハ、ミラー）の場合、偏射照明光の範囲が０〜１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が１００に設定されている。さらにまた、観察情報テーブルＴ１には、傷と凹凸（金属、鉱物）の場合、偏射照明光の範囲が１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が０〜１００に設定されている。

処理制御部８３は、ＣＰＵ等を用いて構成され、顕微鏡システム１ａの各部の動作を制御する。具体的には、処理制御部８３は、入力部８１から入力される指示信号に応じて、照明制御部７１を制御することによって、同軸照明部２５および偏射照明部２６それぞれの光量を制御する。また、処理制御部８３は、表示装置５ａの表示態様を制御する。具体的には、処理制御部８３は、表示装置５ａに顕微鏡システム１ａに関する各種情報および顕微鏡システム１ａの操作の入力を受け付ける操作画面を表示させる。

ここで、処理制御部８３の制御のもと、表示部５１が表示する顕微鏡システム１ａの操作画面について説明する。図１７は、表示部５１が表示する顕微鏡システム１ａの操作画面の一例を示す図である。

図１７に示すように、表示部５１が表示する操作画面Ｗ１は、少なくとも、サンプル画像表示部Ｗ１１と、ライブ画像表示部Ｗ１２と、操作受付部Ｗ１３と、を有する。

サンプル画像表示部Ｗ１１は、処理制御部８３の制御のもと、撮像制御部４を介して撮像装置３が複数の観察条件でそれぞれ生成した標本ＳＰの画像データに対応する画像を表示する。具体的には、サンプル画像表示部Ｗ１１は、処理制御部８３の制御のもと、傷の種類にそれぞれ対応した観察条件で標本ＳＰを撮像した複数の画像データに対応する複数の画像を表示する。

ライブ画像表示部Ｗ１２は、処理制御部８３の制御のもと、撮像装置３が連続的に生成する画像データに対応するライブ画像を時系列に沿って順次表示する。具体的には、ライブ画像表示部Ｗ１２は、処理制御部８３の制御のもと、撮像制御部４を介して撮像装置３が生成した現在の顕微鏡装置２の対物レンズ２３の視野領域に対応するライブ画像をリアルタイムに表示する。

操作受付部Ｗ１３は、複数の観察対象それぞれに対応付けた標本ＳＰに対する観察条件を指示する指示信号の入力を受け付ける。具体的には、操作受付部Ｗ１３は、観察者が入力部８１のマウス等を操作することによって、マウスポインタＱ１を操作受付部Ｗ１３の表示領域上に移動させてドラック操作（以下、「ドラック操作」という）を行って選択されることにより、複数の観察対象それぞれに対応付けた標本ＳＰの観察条件を指示する指示信号の入力を受け付ける。また、操作受付部Ｗ１３は、観察者が所望の観察対象の表示領域をタッチすることにより、このタッチ位置の観察対象に対応付けられた標本ＳＰの観察条件を指示する指示信号の入力を受け付ける。

このように構成された顕微鏡システム１ａは、処理制御部８３の制御のもと、撮像装置３で撮像した標本ＳＰの画像データに対応するライブ画像を表示部５１に表示することによって観察者に標本ＳＰの画像を観察させることができる。

さらに、顕微鏡システム１ａは、入力部８１またはタッチパネル５２を介して傷Ａ１が選択された場合（図１８（ａ））、処理制御部８３が観察情報記録部８２１によって記録された観察情報に基づいて、照明制御部７１を制御して観察条件を変えながら撮像装置３に順次撮像させて複数の画像データを生成させる。処理制御部８３は、撮像装置３に生成された複数の画像データに対応する複数の画像を表示部５１のサンプル画像表示部Ｗ１１に画像Ｐ２１、画像Ｐ２２および画像Ｐ２３を表示させる（図１８（ａ）→図１８（ｂ））。その後、顕微鏡システム１ａは、観察者が入力部８１またはタッチパネル５２を介してサンプル画像表示部Ｗ１１で表示された複数の画像の中から所望の画像を選択した場合、処理制御部８３が観察者によって選択された画像の観察条件になるように照明制御部７１を制御することによって、同軸照明部２５および／または偏射照明部２６それぞれに照射させる。

以上説明した本実施の形態２によれば、入力部８１またはタッチパネル５２を介して標本ＳＰの観察対象が選択された場合、処理制御部８３が観察情報記録部８２１によって記録された観察情報に基づいて、照明制御部７１を制御して観察条件を変えながら撮像装置３に順次撮像させて複数の画像データを生成させ、この複数の画像データに対応する複数の画像を表示部５１のサンプル画像表示部Ｗ１１に表示させる。これにより、観察者は、同軸照明光および偏射照明光それぞれの光量を調整する手間を簡略化することができるうえ、観察者の熟練度に関わらず、所望の傷や凹凸を容易に観察することができる。

なお、本実施の形態２では、入力部８１またはタッチパネル５２を介して操作受付部Ｗ１３の傷Ａ１が選択された場合、処理制御部８３が観察情報記録部８２１によって記録された観察情報に基づいて、複数の観察条件によって標本ＳＰを撮像していたが、例えば、図１８（ａ）に示すように、操作受付部Ｗ１３は、観察者が観察対象として傷Ａ１をタッチした場合、処理制御部８３の制御のもと、さらに標本の種類を選択する選択画面を表示してもよい。

（実施の形態３）
次に、本実施の形態３について説明する。本実施の形態３に係る顕微鏡システムは、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１の構成と異なる。このため、以下においては、本実施の形態３に係る顕微鏡システムの構成を説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

〔顕微鏡システムの構成〕
図１９は、本実施の形態３に係る顕微鏡システムの機能構成を示すブロック図である。図１９に示す顕微鏡システム１ｂは、標本ＳＰを観察する顕微鏡装置２ａと、撮像装置３と、撮像制御部４と、表示装置５ａと、顕微鏡装置２ａの駆動を制御する顕微鏡制御装置７ａと、顕微鏡システム１ｂの各部を制御する処理装置８ａと、を備える。

〔顕微鏡装置の構成〕
まず、顕微鏡装置２ａの構成について説明する。
顕微鏡装置２ａは、上述した顕微鏡装置２のアナライザ操作部２４７に換えて、アナライザ２４６を対物レンズ２３の光軸を中心にして回転させる第１駆動部２７を有する。さらに、ＤＩＣ操作部２４５に換えて、第２駆動部２９を有する。さらにまた、アナライザ２４６およびＤＩＣプリズム２４４それぞれの位置を検出する第１位置検出部２８および第２位置検出部３０をさらに備える。

第１駆動部２７は、ステッピングモータやＤＣモータ等を用いて構成され、顕微鏡制御装置７ａの制御のもと、アナライザ２４６を回転させる。

第１位置検出部２８は、アナライザ２４６の回転角度を検出し、この検出結果を顕微鏡制御装置７ａへ出力する。具体的には、第１位置検出部２８は、第１駆動部２７の回転数に基づいて、第２の基準位置から回転したアナライザ２４６の回転角度を検出し、この検出結果を顕微鏡制御装置７ａへ出力する。ここで、第２の基準位置とは、アナライザ２４６とポラライザ２４２とがクロスニコルの状態で配置されたアナライザ２４６の位置である。第１位置検出部２８は、フォトインタラプタやエンコーダ等を用いて構成される。

第２駆動部２９は、ステッピングモータやＤＣモータ等を用いて構成され、顕微鏡制御装置７ａの制御のもと、対物レンズ２３の光軸上におけるＤＩＣプリズム２４４の位置を変更する。

第２位置検出部３０は、ＤＩＣプリズム２４４の位置を検出し、この検出結果を顕微鏡制御装置７ａへ出力する。具体的には、第２位置検出部３０は、第２駆動部２９の回転数に基づいて、第１の基準位置から移動したＤＩＣプリズム２４４の位置を検出し、この検出結果を顕微鏡制御装置７ａへ出力する。ここで、第２の基準位置とは、ＤＩＣプリズム２４４が灰色鋭敏色位置で配置された位置である。第２位置検出部３０は、フォトインタラプタやエンコーダ等を用いて構成される。

〔顕微鏡制御装置の構成〕
次に、顕微鏡制御装置７ａの構成について説明する。
顕微鏡制御装置７ａは、ＣＰＵ等を用いて構成され、処理装置８ａの制御のもと、顕微鏡装置２ａの駆動を制御する。顕微鏡制御装置７ａは、照明制御部７１と、駆動制御部７２と、を有する。

駆動制御部７２は、処理装置８ａから入力される指示信号に応じて、第１駆動部２７を駆動させることによって、アナライザ２４６を回転させ、ポラライザ２４２とアナライザ２４６との位置関係を変更する。例えば、駆動制御部７２は、ポラライザ２４２とアナライザ２４６との位置関係がクロスニコル以外に位置している場合、第１駆動部２７を駆動することによって、アナライザ２４６とポラライザ２４２との位置関係がクロスニコルに位置するようにアナライザ２４６を回転させる。また、駆動制御部７２は、処理装置８ａから入力される指示信号に応じて、第２駆動部２９を駆動させることによって、ＤＩＣプリズム２４４の位置を移動させる。例えば、駆動制御部７２は、ＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置以外に位置している場合、第２駆動部２９を駆動することによって、ＤＩＣプリズム２４４の位置を灰色鋭敏色位置へ移動させる。

〔処理装置の構成〕
次に、処理装置８ａの構成について説明する。
処理装置８ａは、入力部８１と、顕微鏡システム１ｂを動作させるためのプログラムや各種処理中のデータを記録する記録部８２ａと、処理制御部８３と、を有する。

記録部８２ａは、顕微鏡システム１ｂが実行する各種動作を示すプログラムや各種情報を記録する。また、記録部８２ａは、複数の観察対象と観察条件とアナライザ２４６の回転位置とを対応付けた観察情報を記録する観察情報記録部８２１ａを有する。

ここで、観察情報記録部８２１ａが記録する観察情報について詳細に説明する。図２０は、観察情報記録部８２１ａが記録する観察情報の一例を示す図である。

図２０に示すように、観察情報テーブルＴ２には、観察対象の種類と、観察情報としての偏射照明光範囲および同軸照明光範囲と、ＤＩＣプリズム２４４の位置と、が対応付けて記録されている。具体的には、観察情報テーブルＴ２には、傷の場合、偏射照明光の範囲が０〜１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が０に設定されており、ＤＩＣプリズム２４４の位置が指定なし（どこでも可能）に設定されている。また、観察情報テーブルＴ２には、凹凸の場合、偏射照明光の範囲が０に設定されており、同軸照明光の範囲が０〜１００の範囲で調整可能に設定されており、ＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置に設定されている。さらに、観察情報テーブルＴ２には、傷＋凹凸（ウェハ,ミラー）の場合、偏射照明光の範囲が０〜１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が１００に設定され、ＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置に設定されている。さらにまた、観察情報テーブルＴ２には、傷＋凹凸（金属、鉱物）の場合、偏射照明光の範囲が１００の範囲で調整可能に設定されており、同軸照明光の範囲が０〜１００に設定され、ＤＩＣプリズム２４４の位置が灰色鋭敏色位置に設定されている。

ここで、処理制御部８３の制御のもと、表示部５１が表示する顕微鏡システム１ｂの操作画面について説明する。図２１は、表示部５１が表示する顕微鏡システム１ｂの操作画面の一例を示す図である。

図２１に示すように、表示部５１が表示する操作画面Ｗ１は、少なくとも、サンプル画像表示部Ｗ１１と、ライブ画像表示部Ｗ１２と、操作受付部Ｗ１３と、を有する。

図２１（ａ）に示すように、処理制御部８３は、入力部８１またはタッチパネル５２を介して操作受付部Ｗ１３のキズＡ１および凹凸Ａ２が選択された場合、観察情報記録部８２１によって記録された観察情報に基づいて、さらに詳細な観察対象を選択する選択画面Ｗ１３１を表示させる（図２１（ａ）→図２１（ｂ））。

選択画面Ｗ１３１は、標本の種類に応じた観察条件の指示信号の入力を受け付ける。具体的には、選択画面Ｗ１３１は、凹凸の少ない標本（ウェハ、ミラー）に対する観察条件を指示する指示信号の入力を受け付けるアイコンＡ１１と、凹凸の多い標本（金属、鉱物）に対する観察条件を指示する指示信号の入力を受け付けるアイコンＡ１２と、を有する。

表示部５１が選択画面Ｗ１３１を表示している場合（図２１（ｂ））において、顕微鏡システム１ａは、入力部８１またはタッチパネル５２を介してアイコンＡ１１が選択されたとき、処理制御部８３が観察情報記録部８２１によって記録された観察情報に基づいて、照明制御部７１を制御して傷＋凹凸（ウェハ、ミラー）を観察可能な観察条件に切り替えながら撮像装置３に順次撮像させて複数の画像データを生成させる。処理制御部８３は、撮像装置３に生成させた複数の画像データに対応する複数の画像を表示部５１のサンプル画像表示部Ｗ１１に表示させる。これにより、観察者は、同軸照明光および偏射照明光それぞれの光量を調整する手間を簡略化することができるうえ、観察者の熟練度に関わらず、所望の傷を容易に探索することができる。なお、アイコンＡ１１およびアイコンＡ１２に換えて数字および図形であっても適用することができる。

このように構成された顕微鏡システム１ｂは、処理制御部８３の制御のもと、撮像装置３で撮像した標本ＳＰの画像データに対応するライブ画像を表示部５１に表示することによって観察者に標本ＳＰの画像を観察させることができる。

さらに、顕微鏡システム１ｂは、入力部８１またはタッチパネル５２を介して傷Ａ１が選択された場合、処理制御部８３が観察情報記録部８２１ａによって記録された観察情報に基づいて、照明制御部７１および駆動制御部７２を制御して観察条件を変えながら撮像装置３に順次撮像させて複数の画像データを生成させ、この複数の画像データに対応する複数の画像を表示部５１のサンプル画像表示部Ｗ１１に表示させる。その後、顕微鏡システム１ｂは、観察者が入力部８１またはタッチパネル５２を介してサンプル画像表示部Ｗ１１で表示された複数の画像の中から所望の画像を選択した場合、処理制御部８３が観察者によって選択された画像の観察条件になるように照明制御部７１を制御することによって、同軸照明部２５および／または偏射照明部２６それぞれに照射させるとともに、駆動制御部７２を制御することによって、ＤＩＣプリズム２４４の位置を変更する。これにより、観察者は、同軸照明光および偏射照明光それぞれの光量を調整する手間を簡略化することができるうえ、ＤＩＣプリズム２４４の位置の調整を簡略化することができる。

以上説明した本実施の形態３によれば、入力部８１またはタッチパネル５２を介して標本の観察対象が選択された場合、処理制御部８３が観察情報記録部８２１ａによって記録された観察情報に基づいて、照明制御部７１および駆動制御部７２を制御して観察条件を変えながら撮像装置３に順次撮像させて複数の画像データを生成させ、この複数の画像データに対応する複数の画像を表示部５１のサンプル画像表示部Ｗ１１に表示させる。これにより、観察者は、同軸照明光および偏射照明光それぞれの光量を調整する手間を簡略化することができるうえ、観察者の熟練度に関わらず、所望の傷や凹凸を容易に探索することができる。

また、本実施の形態３によれば、ＤＩＣプリズム２４４の位置を灰色鋭敏色位置以外に配置されている場合に、駆動制御部７２が第２駆動部２９を駆動することによってＤＩＣプリズム２４４の位置を灰色鋭敏色位置に移動させるので、ＤＩＣプリズム２４４の位置の調整を簡略化することができる。

なお、本実施の形態３では、ＤＩＣプリズム２４４の位置が適宜変更することができ、例えば複屈折率が既知の標本ＳＰの場合、観察画像の色から灰色鋭敏色位置以外でＤＩＣプリズム２４４の位置を設定できるようにしてもよい。もちろん、観察者の設定に応じて、ＤＩＣプリズム２４４の位置を紫鋭敏色位置に設定してもよい。

（実施の形態１〜３の変形例）
次に、本実施の形態１〜３の変形例１について説明する。本実施の形態１〜３の変形例１では、上述した実施の形態１〜３に係る顕微鏡装置の光学系および照明系が異なる。このため、以下においては、本実施の形態１〜３の変形例１に係る顕微鏡装置の光学系および照明系の構成について説明する。なお、以下においては、上述した実施の形態１に係る顕微鏡システム１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

図２２は、本実施の形態１〜３の変形例に係る顕微鏡システムの光学系および照明系を示す模式図である。本実施の形態１〜３の変形例では、図２２に示すように、顕微鏡装置２ｂは、対物レンズ２３に換えて対物レンズ２３ｂと、偏射照明部２６に換えて偏射照明部２６ａと、を有する。

対物レンズ２３ｂは、暗視野用対物レンズを用いて構成される。具体的には、対物レンズ２３ｂは、ハーフミラー２４３によって対物レンズ２３ｂの光軸に沿って反射させられた同軸照明光を集光して平行光束として標本ＳＰに照射するとともに、標本ＳＰから反射した光を集光する集光レンズ２３１と、偏射照明部２６ａから照射される偏射照明光を対物レンズ２３ｂの光軸に対して傾斜させて標本ＳＰに照射する放物ミラー２３２と、を有する。

偏射照明部２６ａは、ＬＥＤ等の複数の光源が環状に配置されたリング照明を用いて構成され、環状の内部空間に同軸照明部２５が照射した同軸照明光が通過するように配置される。

このように構成された顕微鏡装置２ｂによれば、同軸照明部２５によって照射された同軸照明光は、照明レンズ２４１、ポラライザ２４２、ハーフミラー２４３、ＤＩＣプリズム２４４および対物レンズ２３ｂを経て標本ＳＰに照射される。標本ＳＰで反射した同軸照明光の反射光は、対物レンズ２３ｂ、ＤＩＣプリズム２４４、ハーフミラー２４３、アナライザ２４６および結像レンズ２４８を経て撮像素子３１に入射する。また、偏射照明部２６ａによって照射された偏射照明光は、対物レンズ２３ｂの光軸に対して傾斜して標本ＳＰに照射される。標本ＳＰで反射した偏射照明光の反射光は、対物レンズ２３ｂ、ＤＩＣプリズム２４４、ハーフミラー２４３、アナライザ２４６および結像レンズ２４８を経て撮像素子３１に入射する。

以上説明した本実施の形態１〜３の変形例１によれば、標本ＳＰを立体的に観察しながら、シアー量以下の微小な凹凸や傷を観察することができる。

（その他の実施の形態）
本発明では、顕微鏡装置、撮像装置、画像処理装置および顕微鏡制御装置を備えた顕微鏡システムを例に説明したが、たとえば標本を拡大する対物レンズ、対物レンズを介して標本を撮像する撮像機能、および画像を表示する表示機能を備えた撮像装置、たとえばビデオマイクロスコープ等であっても、本発明を適用することができる。

なお、本明細書におけるフローチャートの説明では、「まず」、「その後」、「続いて」等の表現を用いてステップ間の処理の前後関係を明示していたが、本発明を実施するために必要な処理の順序は、それらの表現によって一意的に定められるわけではない。すなわち、本明細書で記載したフローチャートにおける処理の順序は、矛盾のない範囲で変更することができる。

このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態を含みうるものであり、特許請求の範囲によって特定される技術的思想の範囲内で種々の設計変更等を行うことが可能である。

１，１ａ，１ｂ 顕微鏡システム
２，２ａ，２ｂ 顕微鏡装置
３ 撮像装置
４ 撮像制御部
５，５ａ 表示装置
６，６ａ，６ｂ，６ｃ，８１ 入力部
７，７ａ 顕微鏡制御装置
８，８ａ 処理装置
２１ ステージ
２２ レボルバ
２３，２３ｂ 対物レンズ
２４ 顕微鏡本体部
２５ 同軸照明部
２６，２６ａ 偏射照明部
２７ 第１駆動部
２８ 第１位置検出部
２９ 第２駆動部
３０ 第２位置検出部
３１ 撮像素子
５１ 表示部
５２ タッチパネル
６１ 偏射照明入力部
６１ａ，６２ａ スライダ
６２ 同軸照明入力部
６３ 点滅スイッチ
６３ａ，６４ｂ 切替レバー
６４ 切替スイッチ
７１ 照明制御部
７２，７１２ 駆動制御部
８２，８２ａ 記録部
８３ 処理制御部
２３１ 集光レンズ
２３２ 放物ミラー
２４１ 照明レンズ
２４２ ポラライザ
２４３ ハーフミラー
２４４ ＤＩＣプリズム
２４５ ＤＩＣ操作部
２４６ アナライザ
２４７ アナライザ操作部
２４８ 結像レンズ
８２１，８２１ａ 観察情報記録部
Ｔ１，Ｔ２ 観察情報テーブル
Ｗ１ 操作画面
Ｗ１１ サンプル画像表示部
Ｗ１２ ライブ画像表示部
Ｗ１３ 操作受付部
Ｗ１３１ 選択画面

Claims (8)

1. 標本が載置されるステージと、
   前記ステージに対向して配置された対物レンズと、
   前記対物レンズを介して前記標本を照射するための同軸照明光を出射する同軸照明部と、
   前記対物レンズの外周または外部から前記標本を照射するための偏射照明光を出射する偏射照明部と、
   前記同軸照明部が出射した前記同軸照明光を前記対物レンズに向けて反射する一方、前記対物レンズを介して入射する前記標本で反射した反射光を透過する光学部材と、
   前記同軸照明部と前記光学部材との間に配置され、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の１方向の偏光成分のみを透過させるポラライザと、
   前記光学部材と前記対物レンズとの間に配置され、前記対物レンズの光軸に対して直交する方向に移動可能な微分干渉用プリズムと、
   前記対物レンズの光軸上に配置され、前記対物レンズ、前記微分干渉用プリズムおよび前記光学部材を介して入射される前記標本からの前記反射光の１方向の偏光成分のみを透過させるアナライザと、
   前記アナライザを透過した前記反射光を集光して結像した前記標本の標本像を観察可能な観察部と、
   複数の観察対象と、該複数の観察対象それぞれに適した前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量と、を対応付けた観察条件を含む観察情報を記録する記録部と、
   前記複数の観察対象それぞれに関する複数の情報を表示する表示部と、
   前記表示部が表示する前記複数の情報のいずれか１つを選択する選択信号の入力を受け付ける入力部と、
   前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記同軸照明部および前記偏射照明部それぞれの光量を制御して点灯させる照明制御部と
   を備えることを特徴とする顕微鏡システム。
2. 標本が載置されるステージと、
   前記ステージに対向して配置された対物レンズと、
   前記対物レンズを介して前記標本を照射するための同軸照明光を出射する同軸照明部と、
   前記対物レンズの外周または外部から前記標本を照射するための偏射照明光を出射する偏射照明部と、
   前記同軸照明部が出射した前記同軸照明光を前記対物レンズに向けて反射する一方、前記対物レンズを介して入射する前記標本で反射した反射光を透過する光学部材と、
   前記同軸照明部と前記光学部材との間に配置され、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の１方向の偏光成分のみを透過させるポラライザと、
   前記光学部材と前記対物レンズとの間に配置され、前記対物レンズの光軸に対して直交する方向に移動可能な微分干渉用プリズムと、
   前記対物レンズの光軸上に配置され、前記対物レンズ、前記微分干渉用プリズムおよび前記光学部材を介して入射される前記標本からの前記反射光の１方向の偏光成分のみを透過させるアナライザと、
   前記アナライザを透過した前記反射光を集光して結像した前記標本の標本像を観察可能な観察部と、
   前記微分干渉用プリズムを移動させる駆動部と、
   複数の観察対象と、該複数の観察対象それぞれに適した前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量と、前記微分干渉用プリズムの位置と、を対応付けた観察条件を含む観察情報を記録する記録部と、
   前記複数の観察対象それぞれに関する複数の情報を表示する表示部と、
   前記表示部が表示する前記複数の情報のいずれか１つを選択する選択信号の入力を受け付ける入力部と、
   前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記同軸照明部および前記偏射照明部それぞれの光量を制御して点灯させる照明制御部と、
   前記入力部から入力される前記選択信号および前記記録部が記録する前記観察情報に基づいて、前記駆動部を制御することによって前記微分干渉用プリズムを移動させる駆動制御部と、
   を備えることを特徴とする顕微鏡システム。
3. 前記照明制御部は、前記同軸照明部および前記偏射照明部のいずれか一方を所定の間隔で点滅させるとともに、他方を点灯させることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡システム。
4. 前記入力部は、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量の一方を指示する指示信号の入力を受け付け可能であり、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量の他方が一定であることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡システム。
5. 前記入力部は、前記同軸照明部が出射する前記同軸照明光の光量および前記偏射照明部が出射する前記偏射照明光の光量を指示する指示信号の入力を受け付け可能であり、
   前記照明制御部は、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量のどちらか一方の光量が変更された場合、他方の光量を前記一方の光量に対して所定の比率になるように連動して変更することを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡システム。
6. 前記観察部は、
   前記標本の標本像を撮像し、該標本の画像データを生成する撮像部と、
   前記撮像部の撮像を制御する撮像制御部と、
   を有し、
   前記照明制御部は、前記観察情報を参照して、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量の比率を変化させて前記同軸照明部および前記偏射照明部に出射させ、
   前記撮像制御部は、前記同軸照明光の光量および前記偏射照明光の光量の比率を変化する毎に前記標本の観察像を撮像して前記画像データを生成し、
   前記表示部は、前記比率が変化する毎に前記撮像部が生成した複数の前記画像データに対応する複数の画像を表示することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
7. 前記観察部は、
   前記標本の標本像を撮像し、該標本の画像データを生成する撮像部と、
   前記撮像部の撮像を制御する撮像制御部と、
   を有し、
   前記撮像制御部は、前記微分干渉用プリズムが移動する毎に前記標本の標本像を撮像した前記画像データを生成し、
   前記表示部は、前記微分干渉用プリズムが移動する毎に前記撮像部が生成した複数の前記画像データに対応する複数の画像を表示することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡システム。
8. 前記微分干渉用プリズムは、灰色のコントラストが最大となる位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の顕微鏡システム。