JP6299931B2 - 収束型イオンガイド装置及び質量分析装置 - Google Patents
収束型イオンガイド装置及び質量分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6299931B2 JP6299931B2 JP2017523231A JP2017523231A JP6299931B2 JP 6299931 B2 JP6299931 B2 JP 6299931B2 JP 2017523231 A JP2017523231 A JP 2017523231A JP 2017523231 A JP2017523231 A JP 2017523231A JP 6299931 B2 JP6299931 B2 JP 6299931B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion guide
- gas flow
- focusing electrode
- guide device
- focused ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/062—Ion guides
- H01J49/063—Multipole ion guides, e.g. quadrupoles, hexapoles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/062—Ion guides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/067—Ion lenses, apertures, skimmers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/36—Radio frequency spectrometers, e.g. Bennett-type spectrometers, Redhead-type spectrometers
Description
Claims (16)
- 輸送軸ラインを通じて互いに接続されたイオンガイド入口及びイオンガイド出口であって、前記輸送軸ラインに沿ってイオンが軸方向に輸送される、少なくとも1つのイオンガイド入口及びイオンガイド出口と、収束電圧が印加される少なくとも1つの平滑な非凹面の収束電極又は収束電極アレイを含む収束電極構造体であって、前記収束電極又は収束電極アレイが前記輸送軸ラインに沿って配置され、且つ、該収束電極構造体が収束型イオンガイド装置内で輸送されるイオンを該収束電極構造体により形成される収束電場の作用の下で放射方向に多数回収束させる、少なくとも1グループの収束電極構造体と、前記軸方向に輸送される中性ガス流であって、前記軸方向に対して少なくとも部分的に放射方向へ向かう該ガス流の拡散経路が前記収束電極又はその支持基板により遮断されることで、前記軸方向における該ガス流の輸送速度を増大させるとともに前記輸送されるイオンの停滞又は乱れを低減する中性ガス流と、を備え、
前記イオンガイド出口を後端として前記軸方向に沿って延在する所定長さにわたり、前記放射方向への前記中性ガス流の拡散経路が前記収束電極又はその支持基板により完全に遮断されており、
前記収束型イオンガイド装置が真空室内に配置され、前記所定長さの出発点から前記真空室の前記イオンガイド入口までの距離LAが前記イオンガイド入口に流れ込むガス流により形成されるマッハ面の距離LMの倍数であり、該倍数が、a)0.5から0.8まで、b)0.8から1まで、c)1から1.2まで、d)1.2から1.5まで、又は、e)1.5から2まで、のいずれかであることを特徴とする収束型イオンガイド装置。 - 前記平滑な非凹面の収束電極及びその支持基板の表面が平面であることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記所定長さが全軸長の50%を超えていることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束電極又はその支持基板により前記中性ガス流に適用される放射方向の遮断により該ガス流の軸方向の速度が加速され、前記イオンガイド入口から延在する所定長さにおいて前記軸方向の速度が増大又は一定に維持され、該所定長さが全軸長の50%を超えていることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束型イオンガイド装置が第1の真空室内に配置され、該収束型イオンガイド装置の後端が第2の真空室に密に接続され、その結果、該収束型イオンガイド装置内の軸長の少なくとも一部分にわたって移動する前記中性ガス流の圧力が当該2つの真空室の平衡圧の間で変化することを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記第2の真空室内の気圧が前記第1の真空室内の気圧よりも低く、前記軸長の前記少なくとも一部分が全軸長の50%を超えており、前記軸長の前記部分における気圧が前記第1の真空室内の気圧よりも低いことを特徴とする請求項5に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束電極構造体が複数グループの収束電極及びその支持基板を備え、少なくとも、ある1つの放射方向に略直交する他の複数の放射方向において、ガス流拡散経路が収束電極又はその支持基板のグループにより遮断されることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記イオンガイド装置が第1の真空室内に配置され、前記第1の真空室内に少なくとも1つの内径減少部が前記軸方向に沿って形成され、該内径減少部の最小内径が、A)2〜3mm、B)1〜2mm、及び、c)<1mmのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- イオン輸送時に、前記所定の連続した長さにわたって加速された前記中性ガス流の最終速度が、A)5m/s、B)10m/s、C)20m/s、D)50m/s、E)100m/s、及び、F)現在の気圧下での前記中性ガス流の音速、のいずれかよりも大きくなることを特徴とする請求項4に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記中性ガス流が前記少なくとも部分的に軸に沿った方向において管状の絶縁体又は高抵抗材料体を介して遮断されることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記イオンガイド装置が1つ以上のガス流入口及びガス流出口を備え、前記収束電極構造体が、1つのガス流入口を複数のガス流出口と連通させる分流構造、複数のガス流入口を1つのガス流出口と連通させる合流構造、曲線を通じて前記ガス流入口を前記ガス流出口と連通させる曲線状ガス流路、並びに、直線を通じて前記ガス流入口を前記ガス流出口と1対1で連通させる多重経路並列ガス流構造のうち1つ以上の組み合わせを備えるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束電極構造体にその前段となる前記イオンガイド入口の方を向いた開口が形成され、該開口の内径が前記所定長さにわたって前記イオンガイド装置の空間的な内径よりも大きい、又は、前記開口における収束電場の半径が前記所定長さにわたって前記イオンガイド装置の収束電場の半径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記閉じ込め電極間の間隔又は異なる閉じ込め電極を支持する前記支持基板間の間隔が軸方向に沿って変化しており、その結果、イオン輸送時に移動する前記中性ガス流が周期的に発散及び収束させられ、その結果、前記イオンが前記中性ガス流により形成される気流場に基づいて複数回の収束工程を経ることを特徴とする請求項12に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束電極構造体により形成される前記電場が、A)四重極場、B)六重極場、C)八重極場、D)八より大きい偶数の多重極場、及び、E)奇数の多重極場、という複数の多重極場の1つ以上の組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 前記収束電場が高周波収束場又は周期的収束場であることを特徴とする請求項1に記載の収束型イオンガイド装置。
- 請求項1〜15のいずれかに記載の収束型イオンガイド装置を備えることを特徴とする質量分析装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410664533.X | 2014-11-19 | ||
CN201410664533.XA CN105679636B (zh) | 2014-11-19 | 2014-11-19 | 聚焦离子导引装置及质谱分析装置 |
PCT/CN2015/095000 WO2016078602A1 (en) | 2014-11-19 | 2015-11-19 | Focusing ion guiding apparatus and mass spectrographic analysis apparatus |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017534148A JP2017534148A (ja) | 2017-11-16 |
JP2017534148A5 JP2017534148A5 (ja) | 2017-12-28 |
JP6299931B2 true JP6299931B2 (ja) | 2018-03-28 |
Family
ID=56013306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017523231A Expired - Fee Related JP6299931B2 (ja) | 2014-11-19 | 2015-11-19 | 収束型イオンガイド装置及び質量分析装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10020179B2 (ja) |
JP (1) | JP6299931B2 (ja) |
CN (1) | CN105679636B (ja) |
WO (1) | WO2016078602A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106596705A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-04-26 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 一种高温熔盐气相组分检测方法及系统 |
US10332723B1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-06-25 | Battelle Memorial Institute | Ion focusing device |
CN110289202B (zh) * | 2019-04-08 | 2024-04-09 | 天津大学 | 一种离子导引装置 |
CN111863585B (zh) * | 2019-04-28 | 2023-05-23 | 岛津分析技术研发(上海)有限公司 | 质谱仪 |
CN111912895A (zh) * | 2019-05-09 | 2020-11-10 | 岛津分析技术研发(上海)有限公司 | 真空下的质谱成像装置及方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6646258B2 (en) | 2001-01-22 | 2003-11-11 | Agilent Technologies, Inc. | Concave electrode ion pipe |
GB0426520D0 (en) * | 2004-12-02 | 2005-01-05 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
US20090283674A1 (en) | 2006-11-07 | 2009-11-19 | Reinhold Pesch | Efficient Atmospheric Pressure Interface for Mass Spectrometers and Method |
US7982183B2 (en) | 2006-11-07 | 2011-07-19 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Ion transfer tube with spatially alternating DC fields |
CN101022076A (zh) * | 2007-03-21 | 2007-08-22 | 上海华质生物技术有限公司 | 电极板 |
CN201181287Y (zh) * | 2007-12-29 | 2009-01-14 | 同方威视技术股份有限公司 | 用于离子迁移率谱仪的迁移管结构 |
EP2266130A1 (en) * | 2008-04-02 | 2010-12-29 | Sociedad Europea De Analisis Diferencial De Movilidad S.L. | The use ion guides with electrodes of small dimensions to concentrate small charged species in a gas at relatively high pressure |
EP2237307B1 (en) * | 2009-03-30 | 2014-05-14 | Vidal de Miguel, Guillermo | Method and apparatus to produce steady beams of mobility selected ions via time-dependent electric fields |
US8299443B1 (en) * | 2011-04-14 | 2012-10-30 | Battelle Memorial Institute | Microchip and wedge ion funnels and planar ion beam analyzers using same |
GB2508574B (en) | 2012-06-24 | 2014-12-17 | Fasmatech Science And Technology Sa | Improvements in and relating to the control of ions |
GB2506362B (en) * | 2012-09-26 | 2015-09-23 | Thermo Fisher Scient Bremen | Improved ion guide |
US8841611B2 (en) * | 2012-11-30 | 2014-09-23 | Agilent Technologies, Inc. | Multi-capillary column and high-capacity ionization interface for GC-MS |
-
2014
- 2014-11-19 CN CN201410664533.XA patent/CN105679636B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-11-19 US US15/511,561 patent/US10020179B2/en active Active
- 2015-11-19 JP JP2017523231A patent/JP6299931B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2015-11-19 WO PCT/CN2015/095000 patent/WO2016078602A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105679636A (zh) | 2016-06-15 |
JP2017534148A (ja) | 2017-11-16 |
CN105679636B (zh) | 2018-04-10 |
US10020179B2 (en) | 2018-07-10 |
US20170256387A1 (en) | 2017-09-07 |
WO2016078602A1 (en) | 2016-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6299931B2 (ja) | 収束型イオンガイド装置及び質量分析装置 | |
JP6540829B2 (ja) | 質量分析装置並びに該装置においてイオンの損失及び次段の真空負荷を低減するために用いられる方法 | |
KR102024503B1 (ko) | 플라즈마 소스 디바이스 및 방법들 | |
US8148679B2 (en) | Efficient atmospheric pressure interface for mass spectrometers and method | |
EP2864998B1 (en) | Improvements in and relating to the control of ions | |
US8488294B2 (en) | Ionic fluid flow accelerator | |
US20090321655A1 (en) | Ion Transfer Tube with Spatially Alternating DC Fields | |
WO2010126781A1 (en) | Ion transfer tube and mass spectrometer system | |
US10770279B2 (en) | Ion transfer apparatus | |
JP2017534148A5 (ja) | ||
JP2016009562A (ja) | イオン輸送装置及び質量分析装置 | |
JP6458128B2 (ja) | イオンガイド及びそれを用いた質量分析装置 | |
US20160233069A1 (en) | Gas diffuser ion inlet | |
JP6841347B2 (ja) | イオンガイド装置およびそれに関連する方法 | |
JP6295150B2 (ja) | 質量分析装置 | |
JP2015503826A (ja) | 質量分析計における改良された感度のための方法および装置 | |
JP6773237B2 (ja) | イオンガイド装置及びイオンガイド方法 | |
JP2009030699A (ja) | ディフューザ | |
JP7251585B2 (ja) | イオンガイド装置及びイオンガイド方法 | |
US20170179668A1 (en) | Gas Flow Laser | |
JP5766739B2 (ja) | ディフューザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170428 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180212 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6299931 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |