JP6298102B2 - 光変調のための装置及び方法 - Google Patents
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Description
11,72 光学機器
12,26,36,47,57 空間光変調器
13,20,31,41,51 入射光束
14,14',15,15',22,23,32,33,42〜44,59,510 部分光束
16,27,37,48,58 出射光束
21,30,40 ダイクロイック構成要素
21A ダイクロイック構成要素21の側面
24 光路長を一致させるための構成要素
25,28,34,35,45,46,53〜56 鏡
30A ダイクロイック構成要素30の側面
38 軸
40A,40B ダイクロイック構成要素40の側面
70 光源
71 変調装置
73 物体
Claims (18)
- 光束を変調するための変調装置であって、
入射された光束(13、20、31、41、51)を、互いに異なるスペクトル領域を有する少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)に分波するスペクトル分波器(10、21、30、40、52)と、
空間光変調器(12、26、36、47、57)と、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)の異なる位置に誘導する光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)とを備え、
前記空間光変調器は、前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)を変調するように構成され、
前記光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)は、変調後の前記少なくとも2つの部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するようにさらに構成され、
前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)は、変調後の前記少なくとも2つの部分光束を結合することにより出射光束(16、27、37、48、58)を形成するようにさらに構成され、
前記少なくとも2つの部分光束のうちの少なくとも2つは、互いに反対の方向に前記変調装置を通過する
変調装置。 - 前記空間光変調器(12、26、36、47、57)は、前記少なくとも2つの部分光束の振幅及び位相の少なくとも一方を互いに独立に変調するように構成される
請求項1に記載の変調装置。 - 前記少なくとも2つの部分光束の光路長を一致させる構成要素(24)をさらに備える
請求項1に記載の変調装置。 - 前記少なくとも2つの部分光束の光路長が、該光路長をバランスさせるための構成要素を用いることなく同一となるよう構成される
請求項1に記載の変調装置。 - 前記光学機器は、前記スペクトル分波器及び前記空間光変調器を通る軸に対して実質的に対称に配置される鏡(34,35、45,46、53〜56)を有する
請求項1に記載の変調装置。 - 前記光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)は、第1の鏡及び第2の鏡を有し、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)は、第1の部分光束及び第2の部分光束を含み、
前記第1の鏡は、前記第1の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第2の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置され、
前記第2の鏡は、前記第2の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第1の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置される
請求項1に記載の変調装置。 - 前記光学機器(53〜56)は、前記空間光変調器のうちの少なくとも1つ(57)又は前記スペクトル分波器(52)への前記少なくとも2つの部分光束の入射角が20°未満となるように構成される
請求項1に記載の変調装置。 - 前記入射角は10°未満である
請求項7に記載の変調装置。 - 前記スペクトル分波器は、ダイクロイックスペクトル分波器を有する
請求項1に記載の変調装置。 - 前記スペクトル分波器(30)は、その表面(30A)に、一のスペクトル領域の光を反射し、前記一のスペクトル領域の外の光を透過するダイクロイックレイヤを有する
請求項9に記載の変調装置。 - 前記スペクトル分波器(40)は、その第1の表面(40A)上に第1のダイクロイックレイヤを有するとともに、その第2の表面(40B)上に第2のダイクロイックレイヤを有し、
第1のダイクロイックレイヤは、第2のダイクロイックレイヤとは異なるスペクトル領域を反射する
請求項9に記載の変調装置。 - 前記少なくとも2つの部分光束(22,23、32,33、42,43,44、59,510)の光路は、前記空間光変調器(26、36、47、57)による変調を除き、機能上同一である
請求項1に記載の変調装置。 - 前記入射された光束を生成する光源(70)を備え、
前記装置は、物体(73)を照らすよう配置される
請求項1に記載の変調装置。 - 顕微鏡装置内に含まれる請求項1に記載の変調装置。
- 入射された光束(13、20、31、41、51)を、互いに異なるスペクトル領域を有する少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)に分波するスペクトル分波器(10、21、30、40、52)と、
空間光変調器(12、26、36、47、57)と、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)の異なる位置に誘導する光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)とを備え、
前記空間光変調器は、前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)を変調するように構成され、
前記光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)は、変調後の前記少なくとも2つの部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するようにさらに構成され、
前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)は、変調後の前記少なくとも2つの部分光束を結合することにより出射光束(16、27、37、48、58)を形成するようにさらに構成され、
前記光学機器(11、25、34,35、45,46、53〜56)は、第1の鏡及び第2の鏡を有し、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)は、第1の部分光束及び第2の部分光束を含み、
前記第1の鏡は、前記第1の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第2の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置され、
前記第2の鏡は、前記第2の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第1の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置される
光束を変調するための変調装置。 - 色々なスペクトル成分を有する複数の部分光束に光を分波すること、
前記複数の部分光束を前記空間光変調器上の異なる位置に誘導すること、
前記空間光変調器により、前記複数の部分光束を独立に変調すること、
変調された前記複数の部分光束を結合すること
を備え、
前記複数の部分光束を誘導すること、及び、前記複数の部分光束を結合することは、前記複数の部分光束のうちの少なくとも2つが光路に沿って逆方向に向かうこととなるような方法で実行される
光変調のための方法。 - 前記方法は、
第1の鏡及び第2の鏡を有し、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)は、第1の部分光束及び第2の部分光束を含み、
前記第1の鏡は、前記第1の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第2の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置され、
前記第2の鏡は、前記第2の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第1の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置される
変調装置を使用して実行される
請求項16に記載の方法。 - 色々なスペクトル成分を有する複数の部分光束に光を分波すること、
前記複数の部分光束を前記空間光変調器上の異なる位置に誘導すること、
前記空間光変調器により、前記複数の部分光束を独立に変調すること、
変調された前記複数の部分光束を結合すること
を備える光変調のための方法であって、
前記方法は、
第1の鏡及び第2の鏡を有し、
前記少なくとも2つの部分光束(14,15、22,23、32,33、42,43,44、59,510)は、第1の部分光束及び第2の部分光束を含み、
前記第1の鏡は、前記第1の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第2の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置され、
前記第2の鏡は、前記第2の部分光束を前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)から前記空間光変調器(12、26、36、47、57)に誘導し、かつ、変調後の前記第1の部分光束を前記空間光変調器(12、26、36、47、57)から前記スペクトル分波器(10、21、30、40、52)に誘導するよう配置される
変調装置を使用して実行される
光変調のための方法。
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