JP6296464B2 - 多機能電気伝導素子の使用方法 - Google Patents
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Description
ここで、前記パルス電圧の正負によって前記整流素子の整流の向きを変えてよい。
または、本発明の他の側面によれば、電気伝導素子が、酸化物イオンと電子の両者を伝導できる混合伝導体材料層を電極層で挟んだ積層構造を有し、前記混合伝導体材料層は単層膜からなり、前記電極層は同一の材料からなり、前記電極層間にパルス電圧を印加して前記混合伝導体材料層内に電子伝導性フィラメントを形成し、前記電極層間の電気伝導のヒステリシス特性を使用して前記電気伝導素子を不揮発性の抵抗スイッチとする。
また、前記電極層間に正のパルス電圧を印加し、正の電圧領域で不揮発性の抵抗スイッチとするか、または、前記電極層間に負のパルス電圧を印加し、負の電圧領域で不揮発性の抵抗スイッチとしてよい。
ここで、前記混合伝導体材料は酸素欠陥を有する金属酸化物であってよい。
また、前記酸素欠陥は、前記混合伝導体材料層内に均一に分布していてよい。
また、前記酸素欠陥を有する金属酸化物は、前記金属酸化物を構成する金属イオンとは異なる価数の元素が添加された前記金属酸化物であってよい。
また、前記金属酸化物はタングステン、ニッケル、ジルコニウム、亜鉛及びスズからなる群から選択される少なくとも一の金属の酸化物であってよい。
また、前記金属酸化物はWO3−x(0<x<3)であってよい。
また、前記電極層は前記混合伝導体材料層とショットキー状障壁を形成する金属からなってよい。
また、前記電極層は白金、金、パラジウム、ロジウム、ルテニウムからなる群から選択された少なくとも一からなってよい。
また、前記電極層間にパルス電圧を印加し、前記酸化物イオンに加えて前記酸素欠陥を前記界面に移動させ、揮発性整流素子としてよい。
また、前記電極層間に前記パルス電圧よりも大きな電圧を印加し、前記電子伝導性フィラメントと前記電極層の他方との間に前記酸素欠陥を移動させ、不揮発性整流素子としてよい。
また、0.5V〜10Vの範囲であり、かつ、100ナノ秒〜10秒の範囲のパルス電圧を印加し、揮発性整流素子としてよい。
また、1V〜15Vの範囲であり、かつ、10マイクロ秒〜10秒の範囲の電圧を印加し、不揮発性整流素子としてよい。
また、前記電極層間に前記パルス電圧よりも大きな電圧を印加し、電荷量を制御することによって、前記電子伝導性フィラメントを形成し、不揮発性整流素子としてよい。
本発明の一実施例によれば、その素子は、2端子あるいは3端子の電極構造を有する。図1(a)に模式図で示すように、2端子型構造は、酸化物イオンと電子の両者を伝導できる混合伝導体3を上部電極1と下部電極2で挟んだ積層構造によって形成する。また、3端子型構造は、図1の(b),(c)に示す様な2種類の構造を取ることができる。図1(b)には、イオンと電子の混合伝導体3を1個の上部電極1と2個の下部電極5,6によって挟んだタイプの3端子型構造を示す。また、図1(c)には、混合伝導体3を2個の上部電極7,8と1個の下部電極2によって挟んだタイプの3端子型構造を示す。ここで、素子の電気特性はほぼ電子伝導に起因するものである。酸化物イオンの移動は電極と混合伝導体との界面のショットキー障壁の高さを変化させるだけである。そのため、混合伝導体であることが必要となる。
図2を参照しながら、本発明の動的に設定可能な多機能性電気伝導素子の動作を説明する。図2には、2端子型素子の上部電極1と下部電極2との間に電圧を印加することにより遷移可能な5種類の状態を示している。3端子型素子は2端子型素子を複合したものと考えることができるので、図2を用いて説明している素子状態の変化は、2端子型素子を用いて説明しても一般性を失うものではない。
素子の作成時状態(以下、オリジナル状態とも称する)では、図2の中央に示す様に、酸化物イオンと電子の混合伝導体3に酸素欠陥4が均一に分布している。電極1,2と混合伝導体3との界面にはショットキー状障壁が形成されており、そのためそれぞれの界面にて電圧依存性の異なる整流作用が生じる。図2(及びそれ以降の図面)では、それぞれの界面での整流作用による電流の流れ易い方向を電気回路図等においてダイオードを表す記号(以下、ダイオード記号と称する)を用いて表している。オリジナル状態の素子では、これらの界面において電流の流れ易い方向が互いに異なるダイオードが形成されるため、素子の電流−電圧を測定すると、図中の円状の電流−電圧特性図に示す様に、正負何れの極性の電圧を印加してもほとんど電流が流れない。
揮発性動作の項で説明したような機能を設定するためのパルス電圧をオリジナル状態の素子に印加するのではなく、比較的大きな電圧をオリジナル状態の素子に印加することにより、混合伝導体3の内部で還元反応が起こり、そこに電子伝導性フィラメント9を形成することができる(図2の上部及び下部)。ここにおいて、電子伝導性フィラメントを構成する物質は、混合伝導体の材料である金属酸化物が還元されてできた酸素含有の少ない金属酸化物あるいは金属である。この処理をフォーミングと称する。フォーミング処理の終了後、上記電圧の印加を停止しても、一旦形成された電子伝導性フィラメント9は消えずにそのまま残る。電子伝導性フィラメント9の形成により、後述するように、両界面のうちの一方のダイオードは単なる抵抗に変化する。これによって、素子の等価回路は、図2の中央に示すような2つのダイオードを向い合せに接続した構成から、図2の上部と下部に示すようなダイオード1個と抵抗が直列接続された構成に不揮発的に変化する。また、フォーミング処理後に、別のパルス電圧を印加して素子の機能を変化させると、その変化は当該パルスの印加の終了から時間が経過してもオリジナル状態には復帰しない。すなわちこの変化は不揮発性の機能変化である。この変化を以下でより詳細に説明する。
2端子型素子を作成し、その上部電極1にパルス電圧を印加した時の電気伝導性の変化を測定した。その結果を図3(a)に示す。ここで、下部電極2は接地しておいた。この素子は、上部電極1および下部電極2としてPtを用い、酸化物イオンと電子の混合伝導体3として酸素欠陥を含む酸化タングステン(WO3−x)を用いた。公知のRFスパッタ法を用いて、図1(a)に示した2端子素子構造を石英基板上にPt/WO3−x/Ptの順で積層することで、この素子を作製した。混合伝導体3であるWO3−x膜の厚さは60nmであった。均一に酸素欠損4を含んだWO3−x膜を作製するために、室温で蒸着後に、300℃の温度下でアルゴン50%と酸素ガス50%の混合ガス(全圧2.67Pa)の雰囲気でアニール処理を施した。均一に酸素欠損を含んだWO3−x膜の作製は、膜を構成する+6価のタングステンイオンとは異なる価数の元素を添付することによっても可能であった。
図1(b)に概念的な構造を示す3端子型素子を、実施例1と同様な方法によって作製した。酸化物イオンと電子の混合伝導体3として、実施例1と同じく酸素欠陥を含む酸化タングステン(WO3−x)を用いた。
実施例1と同じプロセスで作製した2端子型素子に対して正および負のフォーミング処理を施した後の電気伝導性を測定した。その結果を図5に示す。
2端子型素子にパルス電圧を印加することによって生じる電気抵抗変化を利用して短期記憶および長期記憶を実現できることを、図6を参照して説明する。ここで使用する素子は、実施例1の素子と同じ方法によって作製し、WO3−xを混合伝導体の材料として用いた。
この実施例では、3端子型素子を使用して短期記憶及び長期記憶を実現できることを示す。ここで使用した3端子型素子は、実施例2と同じ方法によって作製した。また、実施例2と同じく、酸化物イオンと電子の混合伝導体3として酸素欠陥を含む酸化タングステンを使用した。
2:下部電極
3:酸化物イオンと電子の混合伝導体
4:酸素欠陥
5:左側下部電極
6:右側下部電極
7:左側上部電極
8:右側上部電極
9:電子伝導性の金属酸化物フィラメント
Claims (14)
- 電気伝導素子を選択的に揮発性整流素子または不揮発性整流素子として使用する方法であって、
電気伝導素子は、酸化物イオンと電子の両者を伝導できる混合伝導体材料層を電極層で挟んだ積層構造を有し、
前記混合伝導体材料層は単層膜からなり、
前記電極層は同一の材料からなり、
前記電極層間にパルス電圧を印加し、少なくとも前記酸化物イオンを前記電極層のうちの一方と前記混合伝導体材料層との界面に移動させ、揮発性整流素子とするか、または、
前記電極層間に前記パルス電圧よりも大きな電圧を印加し、前記電極層のうちの一方から他方へ向かうが前記電極層の他方へは接触しない電子伝導性フィラメントを前記混合伝導体材料層内に形成し、不揮発性整流素子とする、電気伝導素子の使用方法。 - 前記パルス電圧の正負によって前記整流素子の整流の向きを変える、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記混合伝導体材料は酸素欠陥を有する金属酸化物である、請求項1または2に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記酸素欠陥は、前記混合伝導体材料層内に均一に分布している、請求項3に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記酸素欠陥を有する金属酸化物は、前記金属酸化物を構成する金属イオンとは異なる価数の元素が添加された金属酸化物である、請求項3または4に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記金属酸化物はタングステン、ニッケル、ジルコニウム、亜鉛及びスズからなる群から選択される少なくとも一の金属の酸化物である、請求項3から5の何れかに記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記金属酸化物はWO3−x(0<x<3)である、請求項3から6の何れかに記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記電極層は前記混合伝導体材料層とショットキー状障壁を形成する金属からなる、請求項1から7の何れかに記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記電極層は白金、金、パラジウム、ロジウム、ルテニウムからなる群から選択された少なくとも一からなる、請求項1から8の何れかに記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記電極層間にパルス電圧を印加し、前記酸化物イオンに加えて前記酸素欠陥を前記界面に移動させ、揮発性整流素子とする、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記電極層間に前記パルス電圧よりも大きな電圧を印加し、前記電子伝導性フィラメントと前記電極層の他方との間に前記酸素欠陥を移動させ、不揮発性整流素子とする、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 0.5V〜10Vの範囲であり、かつ、100ナノ秒〜10秒の範囲のパルス電圧を印加し、揮発性整流素子とする、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 1V〜15Vの範囲であり、かつ、10マイクロ秒〜10秒の範囲の電圧を印加し、不揮発性整流素子とする、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
- 前記電極層間に前記パルス電圧よりも大きな電圧を印加し、電荷量を制御することによって、前記電子伝導性フィラメントを形成し、不揮発性整流素子とする、請求項1に記載の電気伝導素子の使用方法。
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