JP6294880B2 - 試料を観察し、化学種または生物学的種を検出または計量するための光学的方法 - Google Patents
試料を観察し、化学種または生物学的種を検出または計量するための光学的方法 Download PDFInfo
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Description
−環状照明は、実施が難しく、θ最大−θ最小の間隔が小さくなるほど一層弱くなる光強度を含むため、
−消光は、実際には単一の入射角度においてのみ得られるため、約20°またはそれ以上のθ最大を有する強収束の円錐照明の結果、コントラストは弱くなるため、
−弱収束円錐照明は、対物レンズの開口が小さく、それによって試料が観察される空間分解能を限定することを伴うため、である。
a)0.001より大きいまたはこれに等しい、好ましくは0.011より大きいまたはこれに等しい虚部kを有する複素屈折率を有する、コントラスト増幅層と呼ばれる少なくとも1つの層が堆積された透明基板を備える試料支持体を提供するステップと、
b)観察される試料を、前記支持体上の、前記コントラスト増幅層の側に置くステップと、
c)前記試料上に、前記基板を通し、偏光されたまたは偏光されない空間的インコヒーレント光ビームを方向付けるステップであって、空間的インコヒーレント光ビームは、20度(°)より大きいまたはこれに等しい開口半角θを有する照明コーンを形成するように集束される、ステップと、
d)前記試料を対物レンズおよび前記基板を通して観察するステップとを含み、
前記コントラスト増幅層は、前記試料が、前記支持体の不在の場合よりも高いコントラストで観察されるように寸法調整される、方法である。
−前記増幅層は、金属性でよい。本発明によるコントラスト増幅層を生成するのに適し得る他の吸収性材料は、半導体、金属酸化物、金属および/または半導体の合金、染料が装填された誘電体(特に感光性ポリマーまたは樹脂)、高分子電解質(電荷に関連付けられた金属対イオンに因る)、蛍光性物質、ナノ粒子フィルム、これらの構成物の混合物からの形成された複合材料、特に吸収性ナノ粒子が装填された誘電体である。染料またはナノ粒子が装填された誘電体層の使用は、これが、kを、染料またはナノ粒子それぞれの濃度を調整することによって固定されたnに調製することを可能にするので、特に有利な選択肢を構成する。この点において、Guangbin Wang、FuxiGanの「Optical parameters and absorption studies of azo dye−doped polymer thin films on silicon」 Materials Letters 43 2000年、6−10を参照されたい。別の興味深いケースは、散乱による損失のために、散乱中心のサイズおよび密度を介して調整可能である有意のkを有する散乱媒体からなる。
−前記基準試料が観察されるコントラストを表す領域を、照明波長に対して正規化された前記層の厚さおよび照明ビームの開口半角θの関数として(通常はコンピュータを用いて)算出するステップと、
−前記領域の、前記開口半角θを表す軸に対してほぼ平行な配向を有する、頂点または凹線を特定するステップと、
−前記頂点または凹線に対応する、前記層の厚さの値、または値の範囲を特定するステップとを含み、
前記コントラスト増幅層の厚さまたは局所的厚さが、こうして特定された値に等しくまたはその値範囲内で選択される、事前ステップを含むことができる。
a)少なくとも1つの化学種または生物学的種を結合させることができる少なくとも1つの官能基化層が堆積された透明基板を提供するステップと、
b)前記官能基化層を、金属ナノ粒子または吸収性ラベルで標識された(すなわち、任意選択では、少なくとも1つの照明波長に対して吸収性である)化学種または生物学的種を含む少なくとも1つの溶液と接触させて置くステップであって、前記種が、前記官能基化層に、直接的、または1つまたは複数の他の化学種または生物学的種を用いて結合することができ、その結果、前記粒子は、連続的または非連続的な、吸収性もしくは散乱性の金属層を形成する、ステップと、
c)少なくとも前記官能基化層および金属製の、吸収性または散乱性の層から構成された組立体上に、前記基板を通して、空間的インコヒーレント、好ましくは偏光されない光ビームを向けるステップであって、この光ビームが、20°より大きいまたはこれに等しい開口半角θを有する照明コーンを形成するように集束される、ステップと、
d)前記組立体を、対物レンズおよび前記基板を通して観察するステップとを含む方法である。
b1)前記官能基化層を、検出されるまたは定量的に決定される化学種または生物学的種を含む第1の溶液と接触させて置き、それによって「中間」層を形成する、サブステップと、
b2)前記中間層を、「補助的」化学種または生物学的種を含む第2の溶液を含む第2の溶液と接触させて置くサブステップであって、「補助的」化学種または生物学的種が、金属ナノ粒子または吸水性ラベルで標識され、前記中間層と結合し、それによって前記連続的または非連続的な、吸収性もしくは散乱性の金属層を形成することができる、サブステップとを含む。
b1)前記官能基化層を、中間種と呼ばれる化学種または生物学的種を含む第1の溶液と接触させて置くサブステップであって、この化学種または生物学的種が、金属ナノ粒子または吸水性もしくは散乱性のラベルで標識され、前記官能基化層と結合し、それによって前記連続的または非連続的な、金属製のまたは吸水性の層を形成することができる、サブステップと、
b2)前記官能基化層および前記金属性または吸収性の層を、検出されるまたは定量的に決定される前記化学種または生物学的種を含む第2の溶液と接触させて置くサブステップであって、第2の溶液が、前記中間種のものより大きい前記官能基化層との親和性を有し、その結果、前記中間種は変位され、前記金属性の、吸収性または散乱性の層は、少なくとも部分的に無くされる、サブステップとを含む。
を有し(正のk1がそれによって吸収に対応する変換が、もたらされる)、実指数n2を有するたとえばガラス製である透明基板ST上に堆積され、実指数n0を有する周囲媒体MAたとえば空気または水中に浸漬される。非限定的な例として、金属製層の場合が、考慮される。透明材料(実指数)の小さい厚さ(ナノメートル)から構成された基準試料EOが、金属層上に置かれる。支持体SAC(基板および金属層)および試料から構成された組立体は、開口数n0・sinθを有する対物レンズLおよび基板を通して照らされ、観察される。任意選択で、油Hの滴が、対物レンズと周囲媒体の間、および周囲媒体と基板の間の寄生反射を最小限に抑えるために使用され得る。あるいは、基板の正面が、照明スペクトラム、または照明スペクトラムの有用部分を覆う反射防止処理で覆われてよい。
の実部および虚部が、関係(2)を満たすとすぐに符号を変更する。
Claims (29)
- 試料(EO)を観察するための方法であって、
a)0.001より大きいまたはこれに等しい虚部kを有する複素屈折率を有する、コントラスト増幅層と呼ばれる少なくとも1つの層(CA)が堆積された透明基板(ST)を備える試料支持体(SAC)を提供するステップと、
b)観察される前記試料を、前記支持体上の前記コントラスト増幅層の側に置くステップと、
c)前記試料に、前記基板を通し、偏光されない空間的インコヒーレントの、波長λまたは平均波長λの光ビーム(F)を照らすステップであって、前記光ビームは、20°より大きいまたはこれに等しい開口半角θを有する照明コーンを形成するように集束されるステップと、
d)前記試料を対物レンズ(LO)および前記基板を通して観察するステップと、を含み、
前記コントラスト増幅層は、前記試料が前記支持体の不在の場合よりも高いコントラストで、前記波長λまたは前記平均波長λで観察されるように寸法調整される、方法。 - 前記虚部kが、0.01より大きいまたはこれに等しい、請求項1に記載の試料を観察するための方法。
- 前記コントラスト増幅層が、金属製である、請求項1または2に記載の試料を観察するための方法。
- 前記照明コーンの開口半角が、20°から75°の間であり、
前記照明コーンの軸は、前記基板に対して垂直である、請求項1から3のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。 - 前記照明コーンの開口半角が、30°から70°の間である、請求項4に記載の試料を観察するための方法。
- 前記照明コーンの開口半角が、40°から65°の間である、請求項5に記載の試料を観察するための方法。
- 前記対物レンズが、前記試料を照らしかつ観察するために使用される、請求項1から6のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。
- 前記コントラスト増幅層および前記試料が、水中または水溶液中に浸漬される、請求項1から7のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。
- 前記コントラスト増幅層が、厚さこう配を有する、請求項1から8のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。
- 前記コントラスト増幅層の前記厚さまたは局所的厚さが、少なくとも1つの照明波長に対して、前記照明コーン上に統合されたコントラストを最適化するように決定され、前記コントラストによって、前記コントラスト増幅層の前記厚さのバリエーションから構成された基準試料が観察される、請求項1から9のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。
- 前記コントラスト増幅層を寸法調整する事前ステップを含み、
前記事前ステップは、
−前記基準試料が観察されるコントラストを表す領域を、照明波長に対して正規化された前記層の前記厚さおよび前記照明ビームの前記開口半角θの関数として算出するステップと、
−前記開口半角θを表す軸に対してほぼ平行な配向を有する、前記領域の頂点または凹線を特定するステップと、
前記頂点または凹線に対応する、前記層の厚さの値、または値の範囲を特定するステップとを含み、
前記コントラスト増幅層の前記厚さまたは局所的厚さが、こうして特定された前記値に等しくまたは前記値の範囲内で選択される、請求項10に記載の試料を観察するための方法。 - 前記試料支持体が、前記コントラスト増幅層の上方に、少なくとも1つの化学種または生物学的種(ECD)を結合させることができる官能基化層(CF)を有し、
前記方法が、前記官能基化層を、結合される前記化学種または生物学種の溶液と接触させるステップであって、その結果、前記化学種または生物学的種が、前記官能基化層の上方に、観察される前記試料を構成する層(CE)を形成するステップを含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の試料を観察するための方法。 - 前記または少なくとも1つの化学種または生物学的種が、吸水性であり、0.0001より大きいまたはこれに等しい虚部kを有する複素屈折率を有しており、または散乱性である、請求項12に記載の方法。
- 前記官能基化層が、異なる化学種または生物学的種を結合させることができる複数のスポットの形態である、請求項12または13に記載の方法。
- 前記コントラスト層が、前記スポットに対応する位置においてのみ堆積される、請求項14に記載の方法。
- 前記支持体が、前記スポットの外側に、前記溶液中に含まれたいかなる化学種または生物学的種の結合も防止する不動態化層を含む、請求項14または15に記載の方法。
- 少なくとも1つの化学種または生物学的種を検出する、または定量的に決定するための方法であって、
a)少なくとも1つの化学種または生物学的種を結合させることができる少なくとも1つの官能基化層(CF)が堆積された透明基板(ST)を提供するステップと、
b)前記官能基化層を、金属ナノ粒子または吸収性もしくは散乱性のラベルで標識された化学種または生物学的種を含む少なくとも1つの溶液と接触させて置くステップであって、前記種が、前記官能基化層に、直接的、または1つまたは複数の他の化学種または生物学的種を用いて結合することができ、その結果、前記粒子は、連続的または非連続的な、金属製の、吸収性もしくは散乱性の層(CM)を形成する、ステップと、
c)少なくとも前記官能基化層および金属製の、吸収性または散乱性の層から構成された組立体に、前記基板を通して、偏光されない空間的インコヒーレントの、波長λまたは平均波長λの光ビーム(F)を照らすステップであって、前記光ビーム(F)が、20°より大きいまたはこれに等しい開口半角θを有する照明コーンを形成するように集束される、ステップと、
d)前記組立体を、対物レンズ(LO)および前記基板を通して、前記波長λまたは前記平均波長λで観察するステップと、を含む、方法。 - ステップb)中、前記官能基化層が、検出されるまたは定量的に決定される、金属ナノ粒子(NPM)または吸水性もしくは散乱性のラベルで標識された化学種または生物学的種(ECD)を含む溶液(S)と接触して置かれ、前記種は、前記官能基化層と結合し、それによって前記連続的または非連続的な金属層(CM)を形成することができる、請求項17に記載の少なくとも1つの化学種または生物学的種を検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記ステップb)が、
b1)前記官能基化層を、検出されるまたは定量的に決定される化学種または生物学的種を含む第1の溶液(S1)と接触させて置き、それによって「中間」層(CI)を形成するサブステップと、
b2)前記中間層を、「補助的」化学種または生物学的種(ECA)を含む第2の溶液(S2)と接触させて置くサブステップであって、前記「補助的」化学種または生物学的種が、金属ナノ粒子または吸水性もしくは散乱性のラベルで標識され、前記中間層と結合し、それによって前記連続的または非連続的な、金属製の、吸水性もしくは散乱性の層(CM)を形成することができるサブステップとを含む、請求項17に記載の少なくとも1つの化学種または生物学的種を検出する、または定量的に決定するための方法。 - 前記ステップb)が、
b1)前記官能基化層を、中間種(ECT)と呼ばれる化学種または生物学的種を含む第1の溶液(S1)と接触させて置くサブステップであって、前記第1の化学種または生物学的種が、金属ナノ粒子または吸水性もしくは散乱性のラベルで標識され、前記官能基化層と結合し、それによって前記連続的または非連続的な、金属製の、吸水性もしくは散乱性の層(CM)を形成することができる、サブステップと、
b2)前記官能基化層および前記金属性または吸収性もしくは散乱性の層を、検出されるまたは定量的に決定される前記化学種または生物学的種を含む第2の溶液(S2)と接触させて置くサブステップであって、前記第2の溶液が、前記中間種のものより大きい前記官能基化層との親和性を有し、その結果、前記中間種は変位され、前記金属性の、吸収性または散乱性の層は、少なくとも部分的に無くされるサブステップとを含む、請求項17に記載の少なくとも1つの化学種または生物学的種を検出する、または定量的に決定するための方法。 - 前記ステップb)中、前記官能基化層が、定量的に決定される前記化学種または生物学的種、および前記競合の化学種または生物学的種(ECC)も含む溶液(S)と接触して置かれ、前記2つの種のうち1つは、金属ナノ粒子または吸収性もしくは散乱性のラベルで標識され、その結果、連続的または非連続的な金属製の、吸水性もしくは散乱性の層(CM)が得られ、その有効厚さは、前記競合の化学種または生物学的種の濃度と、定量的に決定される前記化学種または生物学的種のものとの間の比によって決まる、請求項17に記載の少なくとも1つの化学種または生物学的種を定量的に決定するための方法。
- 前記照明コーンの前記開口半角が、20°から75°の間であり、前記コーンの軸が、前記基板に対して垂直である、請求項17から21のいずれか一項に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記照明コーンの前記開口半角が、30°から70°の間である、請求項22に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記照明コーンの前記開口半角が、40°から65°の間である、請求項23に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記同じ対物レンズが、前記組立体を照らし、観察するために使用される、請求項17から24のいずれか一項に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記官能基化層が、前記基板の表面上に置かれた複数のスポットの形態であり、異なる化学種または生物学的種を結合させることができる、請求項17から25のいずれか一項に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 0.001より大きいまたはこれに等しい虚部kを有する複素屈折率を有するコントラスト増幅層と呼ばれるものが、前記基板と前記官能基化層の間に間置される、請求項17から26のいずれか一項に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記虚部kが、0.01より大きいまたはこれに等しい、請求項27に記載の検出する、または定量的に決定するための方法。
- 前記支持体が、前記スポットの外側に、前記溶液中に含まれたいかなる化学種または生物学的種の結合も防止する不動態化層を含む、請求項26から28のいずれか一項に記載の方法。
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