JP6290703B2 - 液化ガスの製造装置および製造方法 - Google Patents
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Description
(i)ガス液化プロセスに供給されるLNG量は、一般に火力発電や都市ガス等の需要変動によって変動することがあり、利用できる寒冷量も変動することがある。従って、供給されるLNGが減少した場合においても、液化ガス等の生産量に対して影響を受けないように、LNGの寒冷を効率よく利用できる装置や方法が要求されている。
(ii)圧縮ガスの製造プロセスにおいて、常温常圧のガスを加圧するのは、大きなエネルギーを付加すると同時に、圧縮に伴うガス温上昇を抑える寒冷が必要とされる。例えば窒素ガスのように、大量に消費される汎用的な圧縮ガスの製造には、寒冷の効率的な利用と合せて、総合的なエネルギーの低減が大きな課題となっていた。
(iii)常圧ガスの液化開始温度は、LNGが約−80℃、窒素が約−120℃である。例えばLNGを寒冷として用いた窒素ガスの常圧による液化プロセスにおいては、窒素の液化が開始された状態において、これと熱交換が行われるLNGは、依然として大きな潜熱を有する液体状態であり、当該プロセスだけから見れば、LNGの寒冷が十分に利用させているとはいえない。また、残存するLNGの寒冷を他の用途に転用することは、必ずしも容易ではなく、LNGの寒冷を含めたエネルギーの効率的な利用は、こうした液化プロセスにおいて重要な課題となっていた。
(iv)また、膨張タービンと連結されたブースターは、機械的な制約により圧縮比を約2.5倍以上にすることは非常に困難であるという問題点があった。さらに、上記のように、ブロアーによる昇圧、膨張タービンによる膨張降温を2段階行う方法においても、圧縮比が2.5倍に満たせることはできなかった。
(v)一般に、高い圧縮比によって所定の圧力を得るためには、多段階のコンプレッサーユニットを設け、流体を予め所定の圧力まで昇圧した後、コンパンダーのブースターにて所望の圧力まで昇圧される方法が採られる。しかしながら、多段階のコンプレッサーユニットの運転で消費されるエネルギーは、例えば液化窒素製造プロセスにおいては、その膨張サイクルにおいて必要とされるほとんどの全てのエネルギーであり、消費エネルギーの低減あるいはエネルギー効率の向上等を図る観点からは、大きな障害となっていた。
こうした構成によって、さらに効率よくLNGの寒冷を利用することができ、エネルギー効率が高い液化ガスの作製が可能となる。特に、第3熱交換器に冷却水を導入し、熱容量の大きな冷熱による熱交換ができる構成を用いた場合には、起動時や停止時の過渡的な変動等に対しても、熱媒体,液化天然ガスおよび液化ガスに対する予備的あるいは補助的な温熱の移動を図ることができ、LNGの寒冷の安定的な利用および安定したエネルギー効率を確保することが可能となる。
取り出し直前の安定した条件の液化ガスを原料ガスと混合する循環系を構成することによって、安定的かつエネルギー効率のよい液化ガスの供給を可能とした。
前記第1膨張手段とリンクされ、該第1膨張手段と同数の直列的に配設された第2圧縮手段と、前記第2膨張手段とリンクされ、該第2膨張手段と同数の直列的に配設された第3圧縮手段と、が設けられ、原料ガスが、前記第2圧縮手段によって圧縮された後、前記第3圧縮手段によって、さらに圧縮されて前記第1熱交換器に導入される、または、原料ガスが、前記第2圧縮手段によって圧縮された後、前記第3圧縮手段の初段の圧縮手段によって圧縮されて前記第1熱交換器に導入され、導出した液化ガスは、次段の圧縮手段によって圧縮されて前記第1熱交換器に導入され、さらに、これを所定段数繰り返す、ことを特徴とする。
液化ガスの製造装置は、半導体製造設備等においては、インラインに用いられることが多く、連続的なガスの供給が要求される場合とともに、その供給量や供給圧力等が大きく変動することがある。また、既述のように、LNGの安定供給が必ずしも確保できない場合がある。本発明は、LNGの寒冷の伝達を担う熱媒体について沸点あるいは熱容量の異なる複数の熱媒体を用いて複数のランキンサイクルで構成するとともに、原料ガスを、第1のRCに係る第2圧縮手段によって多段階に圧縮された後、さらに第2のRCに係る第3圧縮手段の初段の圧縮手段によって圧縮されて第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、導出した液化ガスは、次段の圧縮手段によって圧縮されて第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、さらに、これを所定段数繰り返し、こうした場合の変動要素を、各ランキンサイクルにおける熱媒体の流量や圧力といった制御が容易な制御要素を調整することによって、安定的かつエネルギー効率のよい液化ガスの供給を可能とした。
本発明に係る液化ガスの製造装置(以下「本装置」という)は、熱媒体が断熱圧縮される第1圧縮手段と、断熱圧縮された熱媒体が定圧加熱される第1熱交換器と、加熱された熱媒体が断熱膨張される複数の並列的に配設された膨張手段と、断熱膨張された熱媒体が定圧冷却される第2熱交換器と、第2熱交換器から導出された熱媒体が第1圧縮手段に導かれる流路と、を備えたランキンサイクル(RC)を有し、膨張手段とリンクされ、該膨張手段と同数の直列的に配設された少なくとも1つの第2圧縮手段を有するとともに、低温液化状態の液化天然ガス(LNG)が、第2熱交換器に導入され、その寒冷を熱媒体に伝達して導出され(V.NG)、給送された原料ガスが、複数の前記第2圧縮手段によって順に圧縮された後、第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、熱媒体によって冷却された後、液化ガスとして取り出されることを特徴とする。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、液化するガスとして窒素ガスの場合を例示することがあるが、本発明は、他のガス、例えば空気やアルゴン等の液化にも同様にして適用することができる。また、各部の温度、圧力、流量などの条件は、ガスの種類や流量等、その他の条件に応じて適宜変更することができる。
本装置の基本構成例(第1構成例)の概要を、図1に例示する。本装置は、熱媒体が循環するランキンサイクル(RC)を有する。熱媒体は、順に、第1圧縮手段である圧縮ポンプ1によって断熱圧縮され、第1熱交換器2において原料ガスによって定圧冷却され、複数(本構成では2つで例示)の並列的に配設された膨張手段であるタービン3a,3bによって断熱膨張され、第2熱交換器4においてLNGの寒冷によって定圧冷却され、再度圧縮ポンプ1に吸引される循環系を形成する。こうした構成によって、LNGの寒冷を安定的にかつ効率的に原料ガスに伝達することができる。ここで、「熱媒体」としては、炭化水素や液化アンモニア,液化塩素あるいは水等種々の物質を挙げることができる。また、常温常圧下において液体のみならず気体を含み、特に熱容量の大きい気体、例えば二酸化炭素等を適用することができる。炭化水素としてメタン,エタン,プロパンあるいはブタン等単体で使用する場合以外に、複数の化合物の混合物を使用することによって、最適な沸点あるいは熱容量の設計を行うことができる。特に、後述するような複数のRCを用いた場合には、例えば1のRCに「メタン+エタン+プロパン」の混合物を用い、他のRCに「エタン+プロパン+ブタン」の混合物を用いることによって、LNGの冷熱を複数の温度帯で熱伝達させることができる。
本装置を用いて液化窒素ガスを作製した場合を、従前の方法を用いて作製した場合と比較して、そのエネルギー効率を実証した。以下の通り、本装置を用いることによって、約50%以上の向上を図ることができた。
(i)従前の方法を用いて液化窒素ガスを作製した場合
LNGが1ton/hで供給され、コンプレッサーが15.7kWhの電力で作動した場合を想定すると、例えば677Nm3/hの窒素ガスが、20barから37barまで加圧することができる。この際、コンプレッサーの入り口温度は40℃、出口温度は111℃となる。
(ii)本方法を用いて液化窒素ガスを作製した場合
同様の液化窒素ガスを得るため、つまり677Nm3/hの窒素ガスを20barから37barまで加圧するのに必要なLNGは、0.485ton/hで十分であった。
(iii)両者を対比すると、下式1から
(1−0.485)×15.7=8.09[kWh]
8.09/15.7=0.52 ・・式1
電力として約8kWh、つまり約52%を低減することができた。
本装置の第2構成例の概要を、図3に示す。以下、基本構成と共通する要素は、説明を省略することがあるとともに、共通の名称および符号で示す。本装置は、同様のランキンサイクル(RC)を有するとともに、コンプレッサー5a,5bから導出された液化ガスが、第1熱交換器2または第2熱交換器4に導かれる流路(第2構成例では第2熱交換器4に導入)と、第1熱交換器2または第2熱交換器4から導出(第2構成例では第2熱交換器4から導出)された液体成分を含む液化ガスの圧力調整を行う調整弁6と、調整弁6を介して液化ガスが導入され、液体成分が気液分離される気液分離部7と、を有し、気液分離部7から導出された気体成分をコンプレッサー5aに導入し、低温の液体成分を液化ガス(LN2)として取り出すことを特徴とする。また、原料ガス(GN2)を、圧縮する前に第1熱交換器2に導入して低温化することによって、断熱圧縮後の冷却効果を上げ、第2熱交換器4における液化効果を上げることができる。基本構成における機能に加え、供給させるLNGの温度と原料ガスの沸点との差異による熱伝達の困難性を、RCおよび気液分離部7を活用することによって、効率よくLNGを寒冷として利用し、液化ガスを安定的にかつ効率的に作製することができる。
基本構成における実証試験と同様、本装置を用いて液化窒素ガスを作製した場合を、従前の方法を用いて液化窒素ガスを作製した場合と比較して、そのエネルギー効率を実証した。以下の通り、本装置を用いることによって、約25%以上のエネルギー効率の向上を図ることができた。
(i)従前の方法を用いて液化窒素ガスを作製した場合
LNGが1ton/hで供給され、約0.05MPaの液化窒素ガスを作製するのに、0.28kWh/Nm3のエネルギーを必要とした。
(ii)本方法を用いて液化窒素ガスを作製した場合
上記本装置における具体例の条件によって、約0.05MPaの液化窒素ガスを作製するのに、0.21kWh/Nm3のエネルギーで十分であった。
(iii)両者を対比すると、下式1から
(0.28−0.21)/0.28=0.25 ・・式1
電力として約25%を低減することができた。
本装置の第3構成例の概要を、図5に示す。第3構成例に係る本装置は、第2構成例と同様、ランキンサイクル(RC)と、調整弁6と、気液分離部7と、を有するとともに、第3熱交換器8が、第1熱交換器2から導出された熱媒体がタービン3a,3bに導かれる流路に設けられ、第3熱交換器8において、該熱媒体と、第2熱交換器4から導出されたLNGと、コンプレッサー5bから導出された液化ガスと、が熱交換されることを特徴とする。第2構成例における機能に加え、さらに効率よくLNGの寒冷を利用することができ、エネルギー効率が高い液化ガスの作製が可能となる。なお、第2構成例同様、液化ガスを第1熱交換器2に導入することによって液化することができる構成を適用することができる。また、調整弁6と気液分離部7が設けられずに、第1熱交換器2から導出され液化ガスとして取り出すことも可能である。なお、第3構成例においても、図3における破線に示す構成を適用することが可能である。
本装置の第4構成例の概要を、図6に示す。第4構成例に係る本装置は、第3構成例に加え、原料ガスが第1熱交換器2から導かれる流路L4〜L6に、第1分岐流路S1(S1’)および第2分岐流路S2が設けられ、気液分離部7から導出された液体成分が導かれる流路L8に、第4熱交換器9および第3分岐流路S3が設けられるとともに、気液分離部7から導出された気体成分が、第2熱交換器4を介して第1分岐流路S1(S1’)に導かれる流路L11と、第3分岐流路S3で分岐された液体成分が、第4熱交換器9を介して第2分岐流路S2に導かれる流路L12と、を有し、気液分離部7から導出された液体成分が、第4熱交換器9を介して取り出されることを特徴とする。主成分である原料ガスの給送手段として複数段の圧縮機を設けるとともに、取り出し直前の安定した条件の液化ガスを戻し、その原料ガスと混合することによって、安定的かつエネルギー効率のよい液化ガスの供給を可能とした。なお、上記のように、第1分岐流路S1(S1’)を、流路L4またはL5の位置S1とすること、第2分岐流路S2を、流路L3の位置とする構成も可能である。
第4構成例に係る液化装置を用いて液化窒素ガスを作製した場合の、各流路におけるガスあるいは液の温度および圧力を検証した。検証結果を表1に例示する。
本装置の第5構成例の概要を、図7に示す。第5構成例に係る本装置は、第4構成例に加え、ランキンサイクルが、沸点あるいは熱容量の異なる複数の熱媒体を用いた複数のランキンサイクル(図中は2つのRC)で構成されるとともに、1のランキンサイクルRCaにおいて複数(2つで例示)の並列的に配設されたタービン3a,3bとリンクされたコンプレッサー5a,5bに加え、他のランキンサイクルRCbにおいて複数(3つで例示)の並列的に配設されたタービン3c,3d,3eとリンクされたコンプレッサー5c,5d,5eを有することを特徴とする。
2 第1熱交換器
3a,3b 膨張手段(タービン)
4 第2熱交換器
5a,5b 第2圧縮手段(コンプレッサー)
GN2 原料ガス
LN2 液化ガス
LNG 液化天然ガス
V.NG 気化天然ガス
Claims (7)
- 熱媒体が断熱圧縮される第1圧縮手段と、断熱圧縮された該熱媒体が定圧加熱される第1熱交換器と、加熱された該熱媒体が断熱膨張される複数の並列的に配設された膨張手段と、断熱膨張された該熱媒体が定圧冷却される第2熱交換器と、該第2熱交換器から導出された熱媒体が前記第1圧縮手段に導かれる流路と、を備えたランキンサイクルを有し、
前記膨張手段とリンクされ、該膨張手段と同数の直列的に配設された第2圧縮手段を有するとともに、
低温液化状態の液化天然ガスが、前記第2熱交換器に導入され、その寒冷を前記熱媒体に伝達して導出され、
給送された原料ガスが、複数の前記第2圧縮手段によって順に圧縮された後、前記第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、前記熱媒体によって冷却された後、液化ガスとして取り出されることを特徴とする液化ガスの製造装置。 - 前記第2圧縮手段から導出された前記原料ガスが前記第1熱交換器または第2熱交換器に導かれる流路と、該第1熱交換器または第2熱交換器から導出された前記液化ガスの圧力調整を行う調整弁と、該調整弁を介して前記液化ガスが導入され、液体成分と気体成分に気液分離される気液分離部と、を有し、該気液分離部から導出された前記気体成分を前記第2圧縮手段に導入し、前記液体成分を液化ガスとして取り出すことを特徴とする請求項1記載の液化ガスの製造装置。
- 第3熱交換器が、前記第1熱交換器から導出された前記熱媒体が前記膨張手段に導かれる流路に設けられ、該第3熱交換器において、該熱媒体と、前記第2熱交換器から導出された前記液化天然ガスと、前記第2圧縮手段から導出された前記原料ガスと、が熱交換されることを特徴とする請求項2記載の液化ガスの製造装置。
- 原料ガスが前記第2圧縮手段に導かれる流路に、第1分岐流路および第2分岐流路が設けられ、前記気液分離部から導出された液体成分が導かれる流路に、第4熱交換器および第3分岐流路が設けられるとともに、
前記気液分離部から導出された前記気体成分が、前記第1熱交換器または第2熱交換器を介して前記第1分岐流路に導かれる流路と、前記第3分岐流路で分岐された前記液体成分が、前記第4熱交換器を介して前記第2分岐流路に導かれる流路と、を有し、
前記気液分離部から導出された前記液体成分が、前記第4熱交換器を介して液化ガスとして取り出されることを特徴とする請求項2または3記載の液化ガスの製造装置。 - 前記ランキンサイクルが、沸点あるいは熱容量の異なる複数の熱媒体を用いた複数のランキンサイクルで構成され、少なくとも、低い沸点あるいは小さな熱容量の熱媒体を用いた1のランキンサイクルに係る、複数の並列的に配設された第1膨張手段と、高い沸点あるいは大きな熱容量の熱媒体を用いた他のランキンサイクルに係る、複数の並列的に配設された第2膨張手段と、を有するとともに、
前記第1膨張手段とリンクされ、該第1膨張手段と同数の直列的に配設された第2圧縮手段と、前記第2膨張手段とリンクされ、該第2膨張手段と同数の直列的に配設された第3圧縮手段と、が設けられ、
原料ガスが、前記第2圧縮手段によって圧縮された後、前記第3圧縮手段によって、さらに圧縮されて前記第1熱交換器に導入される、または、
原料ガスが、前記第2圧縮手段によって圧縮された後、前記第3圧縮手段の初段の圧縮手段によって圧縮されて前記第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、導出した液化ガスは、次段の圧縮手段によって圧縮されて前記第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、さらに、これを所定段数繰り返す、ことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の液化ガスの製造装置。 - 第1圧縮手段によって断熱圧縮された熱媒体が、第1熱交換器において定圧加熱された後、複数の並列的に配設された膨張手段によって断熱膨張され、さらに第2熱交換器において定圧冷却される、ランキンサイクルを形成するとともに、
低温液化状態の液化天然ガスが、前記第2熱交換器に導入され、その寒冷を前記熱媒体に伝達し、
給送された原料ガスが、前記膨張手段とリンクされ、該膨張手段と同数の直列的に配設された第2圧縮手段によって順に圧縮された後、前記第1熱交換器または第2熱交換器に導入され、前記熱媒体によって冷却された後、液化ガスとして取り出されることを特徴とする液化ガスの製造方法。 - 前記第2圧縮手段から導出された前記原料ガスが、前記第1熱交換器または第2熱交換器において冷却され、調整弁によって圧力調整され、気液分離部において液体成分と気体成分に気液分離されるとともに、該気液分離部から導出された前記気体成分が前記第2圧縮手段に導入され、前記液体成分が液化ガスとして取り出されることを特徴とする請求項6記載の液化ガスの製造方法。
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