JP6274491B2 - 多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
1. 絶縁層の両面に配線層とこれらの配線層同士を接続する貫通穴による層間接続とを形成したコア基板を作製する工程(A)、前記コア基板の下層側及び上層側の配線層のそれぞれに、絶縁層と金属箔とを重ね、物理的に層間分離可能な分離層上に積層する工程(B)、前記コア基板の上層側にビルドアップ工法にて多層化し、2層以上の配線層を形成し、さらに絶縁層と金属層を積層する工程(C)、分離層で多層配線基板を分離する工程(D)、分離後の両面の金属箔を回路形成し、配線層を形成する工程(E)、を有し、前記工程(A)において用いる絶縁層の厚さが80〜300μmであり、前記工程(B)において層間分離可能な分離層が支持銅箔と厚さ3〜9μmの極薄銅箔を有するピーラブル銅箔で、絶縁層にピーラブル銅箔を積層した金属箔付き積層板のダミーコアを用い、前記極薄銅箔が前記工程(E)の一方の金属箔となる多層配線基板の製造方法。
2. 項1において、分離後の両面の金属箔を回路形成し、配線層を形成する工程(E)の後、さらに多層配線基板の両面に1層以上の配線層を形成する工程を有する多層配線基板の製造方法。
3. 項1又は2において、最外層となる配線層にソルダーレジストを形成する工程(F)を有する多層配線基板の製造方法。
図1(A)に示すように、コア基板(3)として、板厚0.2mm、表裏の銅箔厚5μm、サイズ510mm×410mmのMCL−LZ−71G5DB(日立化成株式会社製、商品名)を用い、露光位置合せガイド穴及びルーターパネル切断用基準位置決めガイド穴の加工を行い、キャリア銅箔がついている場合はキャリア銅箔を除去する。コア基板(3)の表裏同位置にサブトラクティブ法により直径60〜70μmのコンフォーマルマスクを形成し、レーザ加工機にて断面がテーパ形状の断面形状となる条件で、コア基板(3)の一方側と他方側のそれぞれから貫通穴を加工する。このとき、貫通穴の断面形状は、コア基板(3)の両側の表面から中央に向かって径が縮小するテーパ形状を有し、鼓状であった。次に、貫通穴の断面形状が鼓形状に狭くなる箇所をレーザで追加加工して径を拡大し、貫通穴の断面形状を筒状にした。サブトラクティブ法のエッチングレジストはNIT225(ニチゴー・モートン株式会社製、商品名)を使用し、露光はDI露光機LI9500(大日本スクリーン株式会社製、商品名)を使用し、レーザ加工には炭酸ガスレーザ加工機LC−2K212/2C(日立ビアメカニクス株式会社製、商品名)を使用する。レーザ加工後のコア基板(3)を過マンガン酸ナトリウム水溶液を用いたデスミア処理装置にてスミア除去処理した後、無電解銅めっきにて0.4〜0.8μmの厚みの導電膜を形成して、セミアディティブ法よりL5及びL6層(L5、L6は、配線層(2)の階層を示す。以下、同様。)の回路形成を行う。セミアディティブ法のめっきレジストはNIT225(ニチゴー・モートン株式会社製、商品名)を使用し、銅めっきは電解フィルドビア銅めっきVF−4(荏原ユージライト株式会社製、商品名)にて18〜22μm厚の銅めっきをする。めっきレジスト剥離後、硫酸過水エッチング液を使用したフラッシュエッチング装置にて5〜6μmエッチング条件にてめっき下地銅箔をエッチング除去する。L5及びL6を回路形成済みのコア基板(3)をCZ−8100(メック株式会社製、商品名)により積層前粗化処理する。
2:配線層
3:コア基板
4:絶縁層
5:金属箔
6:分離層
7:ダミーコア
8:層間接続
9:ソルダーレジスト
Claims (3)
- 絶縁層の両面に配線層とこれらの配線層同士を接続する貫通穴による層間接続とを形成したコア基板を作製する工程(A)、
前記コア基板の下層側及び上層側の配線層のそれぞれに、絶縁層と金属箔とを重ね、物理的に層間分離可能な分離層上に積層する工程(B)、
前記コア基板の上層側にビルドアップ工法にて多層化し、2層以上の配線層を形成し、さらに絶縁層と金属箔を積層する工程(C)、
分離層で多層配線基板を分離する工程(D)、
分離後の両面の金属箔を回路形成し、配線層を形成する工程(E)、
を有し、
前記工程(A)において用いる絶縁層の厚さが80〜300μmであり、前記工程(B)において層間分離可能な分離層が支持銅箔と厚さ3〜9μmの極薄銅箔を有するピーラブル銅箔で、絶縁層にピーラブル銅箔を積層した金属箔付き積層板のダミーコアを用い、前記極薄銅箔が前記工程(E)の一方の金属箔となる多層配線基板の製造方法。 - 請求項1において、分離後の両面の金属箔を回路形成し、配線層を形成する工程(E)の後、さらに多層配線基板の両面に1層以上の配線層を形成する工程を有する多層配線基板の製造方法。
- 請求項1又は2において、最外層となる配線層にソルダーレジストを形成する工程(F)を有する多層配線基板の製造方法。
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