JP6266013B2 - 電解金属、好適には銅の、基板上への垂直堆積装置および当該装置の受容に適した容器 - Google Patents
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Description
2 第1のアノード要素
3、3’ 第1の支持要素
4、4’ 流体供給要素
5 第1の固定手段
6 第1の電気接続要素
7、8、9、10 第1、第2、第3、第4のアノード部分
11 第2の電気接続要素
12 第1の固定要素
13 第2の固定要素
14 第1の複合装置要素
15、15’ 第1の把持要素
16、16’、16’’ 容器
17、17’、17’’ 閉塞可能な天井部
18、18’ 第3の電気接続要素
19、19’ 第4の電気接続要素
20、20’ 第5の電気接続要素
21、21’ 第6の電気接続要素
22、22’ 第3の固定要素
Claims (15)
- 電解金属の、基板上への垂直堆積装置(1,1’,1’’,1’’’)において、
少なくとも1つの処理溶液を流すための貫通管路を有する少なくとも1つの第1のアノード要素(2)と、少なくとも1つの処理溶液を流すための貫通管路を含み前記第1のアノード要素(2)が配置される少なくとも1つの第1の支持要素(3,3’)と、処理溶液を少なくとも1つの前記第1の支持要素(3,3’)内に導く少なくとも1つの第1の流体供給要素(4,4’)と、少なくとも1つの第1の固定手段(5)と、少なくとも1つの第1の電気接続要素(6)とを備え、前記少なくとも1つの第1のアノード要素(2)および前記少なくとも1つの第1の支持要素(3,3’)が互いに堅く接続され、当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の受容に適した容器(16,16’,16’’)内に当該装置(1,1’,1’’,1’’’)全体を取り外し可能に固定する少なくとも1つの前記第1の固定手段(5)および少なくとも1つの前記第1のアノード要素(2)に電流を供給する少なくとも1つの前記第1の電気接続要素(6)の両者が、少なくとも1つの前記第1の支持要素(3,3’)の、前記第1のアノード要素(2)が配置されている面とは反対面である背面上に配置されており、
前記第1のアノード要素(2)および前記第1の支持要素(3,3’)が、当該第1のアノード要素(2)または当該第1の支持要素(3,3’)の各表面上にそれぞれ配置された複数の前記貫通管路を備えるとともに、前記第1のアノード要素(2)の各貫通管路は、前記第1の支持要素(3,3’)の少なくとも1つの貫通管路と、処理する基板に対する処理溶液の体積流量が一定となるように整列していることを特徴とする装置。 - 前記少なくとも1つの第1のアノード要素(2)の少なくとも一部が前記少なくとも1つの第1の支持要素(3,3’)に囲まれ、前記少なくとも1つの第1の支持要素(3,3’)の、前記少なくとも1つの第1のアノード要素(2)が配置されている平面が、当該少なくとも1つの第1の支持要素(3,3’)および当該少なくとも1つの第1のアノード要素(2)の上縁が整列となるように当該少なくとも1つの第1のアノード要素(2)を収容する空洞を有したことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のアノード要素(2)が少なくとも2つの部分を備え、当該アノード要素の各部分が互いに独立して電気的に調整可能であることを特徴とする、請求項1〜2のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の電気接続要素(6)が、当該第1の電気接続要素(6)と当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記アノード要素(2)のアノード部分とを接続する少なくとも1つの第2の電気接続要素(11)によって、少なくとも1つのアノード部分に電流を供給し、前記第1の電気接続要素(6)が、当該装置の前記第1の支持要素(3,3’)に当該第1の電気接続要素(6)を取り外し可能に固定する少なくとも1つの第1の固定要素(12)をさらに備えたことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記第1の固定手段(5)が、窪み、トラック、ガイドバーまたは目違い継ぎの一部分等の円形ガイド要素または線形ガイド要素を含む少なくとも1つの案内要素を備え、前記第1の固定手段(5)が、当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記第1の支持要素(3,3’)に当該第1の固定手段(5)を取り外し可能に固定する少なくとも1つの第2の固定要素(13)をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の固定手段(5)および前記第1の電気接続要素(6)が、少なくとも1つの第1の複合装置要素(14)を構成し、前記第1の電気接続要素(6)が前記第1の固定手段(5)の一部としても機能することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも2つの複合装置要素(14)を備え、前記複合装置要素(14)が、当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記アノード要素(2)のアノード部分の幾何学的構造とは独立して、当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記第1の支持要素(3,3’)の背面上における付加的な第1の電気接続要素(6)とともに配置されたことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記少なくとも2つの複合装置要素(14)が前記第1の支持要素(3,3’)の前記背面に配置される一方、付加的な第1の電気接続要素(6)が当該第1の支持要素(3,3’)の背面のこれら少なくとも2つの複合装置要素(14)間の領域に配置されたことを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記容器(16,16’,16’’)からの撤去または当該装置(1,1’,1’’,1’’’)の当該容器(16,16’,16’’)への挿入を行う手動または自動手順に対応するのに適した少なくとも1つの第1の把持要素(15,15’)をさらに備え、前記第1の把持要素(15,15’)が、取り外し可能に前記第1の支持要素(3,3’)に接続されたことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電解金属は銅であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)と、処理する基板の受容に適した少なくとも1つの第1の基板ホルダーとを受容するのに適した容器(16,16’,16’’)であって、
前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)および前記少なくとも1つの第1の基板ホルダーが、互いに平行に配置されるように構成され、当該容器(16,16’,16’’)が、閉塞可能な天井部(17,17’,17’’)と、少なくとも1つの第2の固定手段であって、前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)の少なくとも1つの前記第1の固定手段(5)の窪み、トラック、ガイドバーまたは目違い継ぎの一部分等の円形ガイド要素または線形ガイド要素を含む前記案内要素の対向片を提供する少なくとも1つの第2の固定手段と、受容した前記第1の装置の第1の電気接続要素に電流を送る少なくとも1つの第3の電気接続要素(18,18’)と、少なくとも1つの第1の封止要素と、をさらに備え、
前記第2の固定手段および前記第3の電気接続要素(18,18’)が、当該容器の内壁のうちの少なくとも1つに配置されることにより、前記挿入された少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)の背面上の少なくとも1つの前記第1の固定手段(5)および少なくとも1つの前記第1の電気接続要素(6)に取り外し可能に接続され、前記第1の封止要素が、前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)の少なくとも1つの前記第1の流体供給要素(4,4’)と当該容器(16,16’,16’’)とを取り外し可能に接続して処理溶液の漏洩を防止するように設けられ、前記閉塞可能な天井部(17,17’,17’’)が、前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)全体が完成ユニットとして撤去または挿入可能な程度まで開放可能であることを特徴とする容器。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)の少なくとも1つの前記第1の電気接続要素(6)および請求項11に記載の容器(16,16’,16’’)の前記第3の電気接続要素(18,18’)が、少なくとも1つの、前記第3の電気接続要素との電気コンタクトを閉塞または開放する第4の電気接続要素(19,19’)によって取り外し可能に接続されたことを特徴とする、請求項11に記載の容器。
- 前記第3の電気接続要素(18,18’)から当該容器の壁を貫通して延びる少なくとも1つの第5の電気接続要素(20,20’)と、電流ケーブル用のプラグイン要素またはボルト締めアセンブリである少なくとも1つの第6の電気接続要素(21,21’)と、前記第5の電気接続要素(20,20’)を当該容器(16,16’,16’’)の外壁に取り外し可能に接続する少なくとも1つの第3の固定要素(22,22’)と、をさらに備えることを特徴とする、請求項11又は12に記載の容器。
- 当該容器(16,16’,16’’)の前記第2の固定手段および前記第3の電気接続要素(18,18’)が、少なくとも1つの第2の複合装置要素を構成し、前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)の前記第1の固定手段(5)および前記第1の電気接続要素(6)が、前記少なくとも1つの第1の複合装置要素(14)を構成する場合、前記第3の電気接続要素(18,18’)が前記第2の固定手段の一部としても機能し、前記第1の電気接続要素(6)が前記第1の固定手段(5)の一部としても機能することを特徴とする、請求項7を引用する請求項11〜13のいずれか一項に記載の容器。
- 前記少なくとも1つの第1の装置(1,1’,1’’,1’’’)および前記少なくとも1つの第1の基板ホルダーとそれぞれ平行に配置されるように構成された、請求項1〜10のいずれか一項に記載の少なくとも1つの第2の装置を受容することを特徴とする、請求項11〜14のいずれか一項に記載の容器(16,16’,16’’)。
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