JP6260668B2

JP6260668B2 - Radiation detector using gas amplification

Info

Publication number: JP6260668B2
Application number: JP2016196676A
Authority: JP
Inventors: 本村　知久; 知久本村
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2011-01-25
Filing date: 2016-10-04
Publication date: 2018-01-17
Anticipated expiration: 2032-01-23
Also published as: JP6128190B2; JP2016224074A; JP2012168170A; JP2018040815A; JP6555330B2; JP2016026304A

Description

本発明は、ピクセル型電極によるガス増幅を用いた放射線検出器に関する。 The present invention relates to a radiation detector using gas amplification by a pixel-type electrode.

ガス増幅を利用した放射線検出器として、従来、ピクセル型の放射線検出器が用いられてきた。この放射線検出器は、例えば両面プリント基板の表面にストリップ状陰極電極が形成されるとともに、裏面に陽極ストリップが形成され、ストリップ状陰極電極には、一定間隔に開口部が形成されるとともに、開口部の中心には裏面の陽極ストリップと接続されている円柱状陽極電極、すなわちピクセル電極が形成されたような構成を採っている。 Conventionally, a pixel type radiation detector has been used as a radiation detector utilizing gas amplification. In this radiation detector, for example, a strip-like cathode electrode is formed on the surface of a double-sided printed circuit board, an anode strip is formed on the back surface, and openings are formed at regular intervals in the strip-like cathode electrode. A cylindrical anode electrode connected to the anode strip on the back surface, that is, a pixel electrode is formed at the center of the part.

なお、放射線検出器は、例えばＡｒとエタンとの混合ガス中に配置される。また、前記ピクセル電極と前記ストリップ状陰極電極との間には所定の電圧が印加されている。 The radiation detector is disposed, for example, in a mixed gas of Ar and ethane. A predetermined voltage is applied between the pixel electrode and the strip-like cathode electrode.

上記放射線検出器においては、所定の放射線が前記検出器内に入射すると、前記ガスが電離して電子を生成し、この電子は、上記ストリップ状陰極電極と上記ピクセル電極との間に印加された高電圧、及び上記ピクセル電極の点電極としての形態（形状異方性）に起因して生成される強力な電場によって、電子雪崩増幅を引き起こす。一方、前記電子雪崩増幅によって生じた正イオンは、周囲の前記ストリップ状陰極電極に向けてドリフトする。 In the radiation detector, when predetermined radiation is incident on the detector, the gas is ionized to generate electrons, and the electrons are applied between the strip-like cathode electrode and the pixel electrode. Electron avalanche amplification is caused by a high voltage and a strong electric field generated due to the shape (shape anisotropy) of the pixel electrode as a point electrode. On the other hand, positive ions generated by the electron avalanche amplification drift toward the surrounding strip-like cathode electrode.

この結果、対象となる前記ストリップ状陰極電極及び前記ピクセル電極に、それぞれ正孔と電子とがチャージされる。この電荷が生成された前記ストリップ状陰極電極及び前記ピクセル電極の位置を検出することによって、前記放射線の前記検出器における入射位置を特定することができ、前記放射線の検出が可能となる（特許文献１）。 As a result, holes and electrons are charged in the strip-like cathode electrode and the pixel electrode, respectively. By detecting the positions of the strip-like cathode electrode and the pixel electrode where the charges are generated, the incident position of the radiation in the detector can be specified, and the radiation can be detected (Patent Document). 1).

しかしながら、上述した放射線検出器は、現在の製造技術において、歩留まりを考慮した場合、最大で１０ｃｍ〜３０ｃｍ角の大きさのものしか製造することができない。したがって、大型の用途、例えば、人体のＸ線撮影等に関するＸ線検出に際して要求されるような４０ｃｍ角以上の大きさの放射線検出器は、未だ歩留まりよく製造することが困難であって、たとえ製造できたとしても製造コストが増大し、実用可能な大型の放射線検出器は未だ十分に提供することができない。 However, the above-described radiation detector can be manufactured only in a size of 10 cm to 30 cm square at the maximum when the yield is taken into consideration in the current manufacturing technology. Therefore, a radiation detector having a size of 40 cm square or more as required for X-ray detection related to large-scale applications, for example, X-ray imaging of a human body is still difficult to manufacture with a high yield, even if manufactured. Even if it can, the manufacturing cost increases, and a large radiation detector that can be practically used cannot be sufficiently provided.

特開２００２−６０４７号JP 2002-6047

本発明は、特に４０ｃｍ角以上の大型であって新規な構成の放射線検出器を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a radiation detector having a novel structure and a large size of 40 cm square or more.

上記目的を達成すべく、本発明のガス増幅を用いた放射線検出器は、それぞれが、絶縁部材の第１の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン、及び前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記開口部の略中心部に先端が露出してなる凸状部を有する第２の電極パターンを含む複数のピクセル型電極を有する矩形状の第１〜第４の放射線検出器ユニットと、前記第１〜第４の放射線検出器ユニットをそれぞれ搭載する矩形状の第１〜第４の配線基板と、前記第１〜第４の放射線検出器ユニットそれぞれと前記第１〜第４の配線基板それぞれとを電気的に接続する複数の導電性部材と、を備えている。さらに、前記矩形状の第１〜第４の配線基板それぞれは、４つの角部のうちの第１の角部どうしが互いに隣接する位置関係で配置されている。また、前記矩形状の第１〜第４の放射線検出器ユニットそれぞれは、４つの角部のうちの第１の角部を共有する第１及び第２の２つの辺部に各々沿って形成された複数の第１及び第２のパッドを有し、かつ前記第１の角部の対角に位置する第２の角部どうしが互いに隣接する位置関係で前記第１〜第４の配線基板上に各々搭載されている。さらに、前記第１〜第４の配線基板それぞれは、前記放射線検出器ユニット毎の前記複数の第１及び第２のパッドに対してそれぞれ対向する位置に配置された複数の第３のパッドを有する。また、前記複数の導電性部材は、前記複数の第１及び第２のパッドとそれぞれ対向する位置に配置された前記複数の第３のパッドとを互いに接続する。 In order to achieve the above object, the radiation detector using gas amplification according to the present invention is a first electrode that is formed on the first surface of the insulating member and has a plurality of circular openings. A pattern and a second surface that is opposite to the first surface of the insulating member, penetrate the insulating member, and have a tip at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern A rectangular first to fourth radiation detector unit having a plurality of pixel-type electrodes including a second electrode pattern having a convex portion formed by exposing the first and fourth radiation detector units. A plurality of conductive members for electrically connecting the first to fourth wiring boards having a rectangular shape, the first to fourth radiation detector units, and the first to fourth wiring boards, respectively. And a sex member. Furthermore, each of the rectangular first to fourth wiring boards is arranged in a positional relationship in which the first corners of the four corners are adjacent to each other. Each of the rectangular first to fourth radiation detector units is formed along the first and second sides sharing the first corner of the four corners. A plurality of first and second pads, and second corners located diagonally to the first corner are adjacent to each other on the first to fourth wiring boards. Is mounted on each. Further, each of the first to fourth wiring boards has a plurality of third pads arranged at positions facing the plurality of first and second pads for each radiation detector unit. . The plurality of conductive members connect the plurality of third pads disposed at positions facing the plurality of first and second pads, respectively.

本発明の放射線検出器によれば、絶縁部材の第１の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン、及び前記絶縁部材の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記開口部の略中心部に先端が露出してなる凸状部を有する第２の電極パターンを含む複数のピクセル型電極を有する従来の放射性検出器を、単一の放射線検出器ユニットとし、このような放射線検出器ユニットを複数準備する。次いで、複数の放射線検出器ユニットを互いに隣接するように配線基板上に搭載するとともに、各放射線検出器ユニットを配線基板と導電性部材によって電気的に接続するようにしている。 According to the radiation detector of the present invention, the first electrode pattern formed on the first surface of the insulating member and having a plurality of circular openings, and the first surface of the insulating member; A second portion having a convex portion formed on a second surface facing each other, penetrating through the insulating member, and having a tip exposed at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern; A conventional radiation detector having a plurality of pixel-type electrodes including an electrode pattern is used as a single radiation detector unit, and a plurality of such radiation detector units are prepared. Next, a plurality of radiation detector units are mounted on the wiring board so as to be adjacent to each other, and each radiation detector unit is electrically connected to the wiring board by a conductive member.

したがって、複数の放射線検出器ユニットには、配線基板の表面あるいは内部に形成された配線パターンを介して、外部から高電圧が印加され、かつ放射線の照射から得られた信号が、放射線検出器ユニットから配線基板の配線パターンを介して信号読み出し回路へ伝達されるので、配線基板は、複数の放射線検出器ユニットに対して、共通の高電圧印加と信号読み出しとして機能するようになる。 Therefore, a high voltage is applied to the plurality of radiation detector units from the outside via a wiring pattern formed on the surface or inside of the wiring board, and a signal obtained from radiation irradiation is displayed on the radiation detector unit. Is transmitted to the signal readout circuit via the wiring pattern of the wiring board, so that the wiring board functions as a common high voltage application and signal readout for a plurality of radiation detector units.

この結果、複数の放射線検出器ユニットは、高電圧印加と信号読み出しとの機能を担う配線基板を共有することになり、この配線基板によって、複数の放射線検出器ユニットは互いに同期するようにして高電圧印加と信号読み出しとができるようになる。このため、複数の放射線検出器ユニットは１つの放射線検出器として高電圧印加と信号読み出しとができるようになるので、結果として大型の放射線検出器として機能させることができるようになる。 As a result, the plurality of radiation detector units share a wiring board that is responsible for high voltage application and signal readout, and the plurality of radiation detector units are synchronized with each other by the wiring board. Voltage application and signal readout can be performed. For this reason, a plurality of radiation detector units can perform high voltage application and signal readout as one radiation detector, and as a result, can function as a large radiation detector.

したがって、例えば各放射線検出器ユニットの大きさを２０ｃｍ角とし、その数を４とすれば、４０ｃｍ角の大型の放射線検出器と同等の放射線検出器が得られることになる。なお、各放射線検出器ユニットの大きさを、現在の製造技術における高歩留まりの３０ｃｍ程度とし、あるいはその数を５以上（例えば、９）とすれば、９０ｃｍ角の大型の放射線検出器と同等の放射線検出器が得られることになる。 Therefore, for example, if the size of each radiation detector unit is 20 cm square and the number thereof is 4, a radiation detector equivalent to a large 40 cm square radiation detector can be obtained. If the size of each radiation detector unit is about 30 cm, which is a high yield in the current manufacturing technology, or the number thereof is 5 or more (for example, 9), it is equivalent to a large radiation detector of 90 cm square. A radiation detector will be obtained.

なお、放射線検出器ユニットの数は、放射線検出器ユニットの大きさ及び得ようとする放射性検出器の大きさによって任意の数とすることができるが、上述したように、現状の製造方法で歩留まりよく得られる放射検出器ユニットの大きさが１０ｃｍ〜３０ｃｍ角であることを考慮すると、実質４０ｃｍ角以上の大きさの放射性検出器を得ようとした場合、その数は４以上であることが好ましい。 The number of radiation detector units can be set to any number depending on the size of the radiation detector unit and the size of the radioactive detector to be obtained. Considering that the size of a radiation detector unit that is often obtained is 10 cm to 30 cm square, when trying to obtain a radioactive detector having a size of substantially 40 cm square or more, the number is preferably 4 or more. .

また、本発明の放射線検出器においては、複数の放射線検出器ユニットのそれぞれに対して配線基板を準備し、各放射線検出器ユニットと各配線基板とを導電性部材によって電気的に接続するようにしている。また、各放射線検出器ユニットは、各放射線検出器ユニットの直交する２辺が、搭載すべき配線基板の直交する２辺と平行に近接して配置されるようにしてそれぞれの配線基板上に搭載され、複数の放射線検出器ユニットは、それぞれの直交する２辺を介して互いに隣接して配置されてなる。すなわち、第２の放射線検出器においては、外観上、上記第１の放射線検出器における配線基板が放射線検出器ユニット毎に分断されたような形態となっている。 In the radiation detector of the present invention, a wiring board is prepared for each of the plurality of radiation detector units, and each radiation detector unit and each wiring board are electrically connected by a conductive member. ing. Each radiation detector unit is mounted on each wiring board so that two orthogonal sides of each radiation detector unit are arranged in parallel and close to two orthogonal sides of the wiring board to be mounted. The plurality of radiation detector units are arranged adjacent to each other via two orthogonal sides. That is, in the second radiation detector, the appearance is such that the wiring board in the first radiation detector is divided for each radiation detector unit.

この場合、各放射線検出器ユニットは、それぞれが搭載された各配線基板によって独立に高電圧印加及び信号読み出しが行われることになるが、これら配線基板による各放射線検出器ユニットの高電圧印加及び信号読み出しは互いに同期させることができる。結果として、複数の放射線検出器ユニットは１つの放射線検出器として高電圧印加及び信号読み出しできるようになるので、大型の放射線検出器として機能させることができるようになる。 In this case, each radiation detector unit is independently subjected to high voltage application and signal readout by each wiring board on which each radiation detector unit is mounted. Readings can be synchronized with each other. As a result, since a plurality of radiation detector units can apply a high voltage and read a signal as one radiation detector, it can function as a large radiation detector.

したがって、例えば各放射線検出器ユニットの大きさを２０ｃｍ角とし、その数を４とすれば、４０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器が得られることになる。なお、各放射線検出器ユニットの大きさを、現在の製造技術における高歩留まりの３０ｃｍ程度とし、あるいはその数を５以上（例えば、９）とすれば、９０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器が得られることになる。 Therefore, for example, if the size of each radiation detector unit is 20 cm square and the number thereof is 4, a radiation detector equivalent to a large radiation detector having a size of 40 cm square can be obtained. In addition, if the size of each radiation detector unit is set to about 30 cm, which is a high yield in the current manufacturing technology, or the number thereof is 5 or more (for example, 9), a large radiation detector having a size of 90 cm square. A radiation detector equivalent to the above will be obtained.

この場合においても、放射線検出器ユニットの数は、放射線検出器ユニットの大きさ及び得ようとする放射性検出器の大きさによって任意の数とすることができるが、上述したように、現状の製造方法で歩留まりよく得られる放射検出器ユニットの大きさが１０ｃｍ〜３０ｃｍ角であることを考慮すると、実質４０ｃｍ角以上の大きさの放射性検出器を得ようとした場合、その数は４以上であることが好ましい。 Even in this case, the number of radiation detector units can be an arbitrary number depending on the size of the radiation detector unit and the size of the radioactive detector to be obtained. Considering that the size of the radiation detector unit that can be obtained with a good yield by the method is 10 cm to 30 cm square, the number is 4 or more when trying to obtain a radioactive detector having a size of substantially 40 cm square or more. It is preferable.

また、この放射線検出器においては、複数の放射線検出器ユニットそれぞれに対して配線基板を設けるようにしているので、例えば複数の放射線検出器ユニットの内の１つが故障した場合において、この放射線検出器ユニット及びこれを搭載する配線基板を交換すれば、放射線検出器は全体として再び高電圧印加及び信号読み出しができる。一方、前述した放射線検出器は、１つの放射線検出器が故障した場合においても、この放射線検出器のみを交換することは不可能であって、放射線検出器ごとに新たな放射線検出器と交換しなければならない。 In this radiation detector, since the wiring board is provided for each of the plurality of radiation detector units, for example, when one of the plurality of radiation detector units fails, the radiation detector is provided. If the unit and the wiring board on which the unit is mounted are replaced, the radiation detector as a whole can apply a high voltage and read a signal again. On the other hand, the radiation detector described above cannot replace only this radiation detector even if one radiation detector fails, and each radiation detector must be replaced with a new radiation detector. There must be.

したがって、この放射線検出器は、放射線検出器ユニットが故障した場合の修理コストを低減することができる。 Therefore, this radiation detector can reduce the repair cost when the radiation detector unit fails.

本発明の一例において、導電性部材はワイヤー部材とすることができる。この場合、放射線検出器ユニットと配線基板との電気的接続は、ワイヤーボンディングなる簡易かつ汎用の技術を用いて行うことができる。なお、この場合においては、ワイヤーのボンディングを固定し、さらには隣接した放射線検出器との電気的接触等を防止すべく、樹脂で封止することが好ましい。 In one example of the present invention, the conductive member can be a wire member. In this case, electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board can be performed using a simple and general-purpose technique of wire bonding. In this case, it is preferable to seal with resin so as to fix the bonding of the wire and further prevent electrical contact with the adjacent radiation detector.

また、本発明の一例において、導電性部材は、主面上にストリップ状の配線パターンが形成されてなるフレキシブル配線基板とすることができる。この場合、放射線検出器ユニットと配線基板との電気的接続は、フレキシブル配線基板のストリップ状の配線パターンを介して行われることになる。ストリップ状の配線パターンは、フレキシブル配線基板の基板によって保護されるので、ワイヤーボンディングなどの場合のように、隣接した放射線検出器との電気的接触等は自ずから防止される。しかしながら、放射線検出器ユニット及び配線基板との接続部における結合力を保持するために、例えば、異方性導電樹脂を介して放射線検出器ユニット及び配線基板に接続することが好ましい。 In one example of the present invention, the conductive member can be a flexible wiring board in which a strip-like wiring pattern is formed on the main surface. In this case, electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board is performed via a strip-like wiring pattern of the flexible wiring board. Since the strip-like wiring pattern is protected by the substrate of the flexible wiring board, electrical contact with adjacent radiation detectors is naturally prevented as in the case of wire bonding or the like. However, in order to maintain the coupling force at the connection portion between the radiation detector unit and the wiring board, for example, it is preferable to connect to the radiation detector unit and the wiring board via an anisotropic conductive resin.

さらに、本発明の一例において、複数の放射線検出器ユニット間を接続する追加の導電性部材を設けることができる。この場合、複数の放射線検出器ユニットは互いに電気的に導通（接続）されることになるので、これら複数の放射線検出器ユニットの高電圧印加及び信号読み出しを同期させることが容易になる。 Furthermore, in an example of the present invention, an additional conductive member for connecting a plurality of radiation detector units can be provided. In this case, since the plurality of radiation detector units are electrically connected (connected) to each other, it becomes easy to synchronize the high voltage application and signal readout of the plurality of radiation detector units.

なお、追加の導電性部材は、導電性部材と同様にワイヤー部材あるいは主面上にストリップ状の配線パターンが形成されてなるフレキシブル配線基板とすることができる。ワイヤー及びフレキシブル配線基板を用いた場合の利点及び欠点は、上記導電性部材と同様であり、このような観点から、これらワイヤー部材を樹脂で被覆することができるとともに、フレキシブル基板の接続部における接続を、異方性導電樹脂を用いて行うことができる。 The additional conductive member can be a wire member or a flexible wiring board in which a strip-like wiring pattern is formed on the main surface in the same manner as the conductive member. Advantages and disadvantages in the case of using a wire and a flexible wiring board are the same as those of the conductive member. From such a viewpoint, these wire members can be coated with a resin, and the connection at the connection portion of the flexible board is possible. Can be performed using an anisotropic conductive resin.

特に限定されるものではないが、例えば放射線検出器ユニットと配線基板との電気的な接続は、放射線検出器ユニットのピクセル電極から延在するようにして形成されたパッドと、配線基板に形成されたパッドとの間で行われる。 Although not particularly limited, for example, the electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board is formed on the wiring board and a pad formed so as to extend from the pixel electrode of the radiation detector unit. It is done between the pads.

以上説明したように、本発明によれば、特に４０ｃｍ角以上の大型であって新規な構成
の放射線検出器を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a radiation detector having a novel structure with a large size of 40 cm square or more.

本発明の放射線検出器の一例における概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure in an example of the radiation detector of this invention. 図１に示す放射線検出器の平面図である。It is a top view of the radiation detector shown in FIG. 図１及び図２に示す放射線検出器の、放射線検出器ユニットの一つを拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which expands and shows one of the radiation detector units of the radiation detector shown in FIG.1 and FIG.2. 本発明の放射線検出器の他の例における概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure in the other example of the radiation detector of this invention. 図４に示す放射線検出器の平面図である。It is a top view of the radiation detector shown in FIG. 本発明の放射線検出器のその他の例における概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure in the other example of the radiation detector of this invention. 図６に示す放射線検出器の平面図である。It is a top view of the radiation detector shown in FIG. 図６及び図７に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIG.6 and FIG.7. 図６及び図７に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板による接合部を拡大して示す図である。同じく、実施形態における放射線検出器の製造方法の一例における工程図である。It is a figure which expands and shows the junction part by the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIG.6 and FIG.7. Similarly, it is process drawing in an example of the manufacturing method of the radiation detector in an embodiment. 参考例の放射線検出器の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of the radiation detector of a reference example.

以下、本発明の特徴及びその他の利点について、発明を実施するための形態に基づいて説明する。 Hereinafter, the features and other advantages of the present invention will be described based on embodiments for carrying out the invention.

（第１の実施形態）
図１は、本発明の放射線検出器の一例における概略構成を示す側面図であり、図２は、図１に示す放射線検出器の平面図である。また、図３は、図１及び図２に示す放射線検出器の、放射線検出器ユニットの一つを拡大して示す斜視図である。なお、本実施形態における放射線検出器の特徴を明確にすべく、図２においては、図１に示す封止樹脂及び保護カバーについては記載を省略している。 (First embodiment)
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration in an example of the radiation detector of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the radiation detector shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged perspective view showing one of the radiation detector units of the radiation detector shown in FIGS. 1 and 2. In order to clarify the characteristics of the radiation detector in this embodiment, the sealing resin and the protective cover shown in FIG. 1 are not shown in FIG.

図１及び図２に示すように、本実施形態における放射線検出器１０は、４つの放射線検出器ユニット１１−１，１１−２，１１−３及び１１−４を有している。これら４つの放射線検出器ユニット１１−１，１１−２，１１−３及び１１−４は、互いに隣接するようにして配線基板１３上に図示しない接着剤等によって固定され、搭載されている。 As shown in FIG.1 and FIG.2, the radiation detector 10 in this embodiment has the four radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, and 11-4. These four radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, and 11-4 are fixed and mounted on the wiring board 13 by an adhesive (not shown) so as to be adjacent to each other.

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１には、その主面上において、２つの直交する外縁に沿って第１のパッド１１−１Ａ及び第２のパッド１１−１Ｂが形成されており、第２の放射線検出器ユニット１１−２にも、その主面上において、２つの直交する外縁に沿って第１のパッド１１−２Ａ及び第２のパッド１１−２Ｂが形成されている。さらに、第３の放射線検出器ユニット１１−３にも、その主面上において、２つの直交する外縁に沿って第１のパッド１１−３Ａ及び第２のパッド１１−３Ｂが形成されており、第４の放射線検出器ユニット１１−４にも、その主面上において、２つの直交する外縁に沿って第１のパッド１１−４Ａ及び第２のパッド１１−４Ｂが形成されている。 The first radiation detector unit 11-1 includes a first pad 11-1A and a second pad 11-1B formed along two orthogonal outer edges on the main surface. Also on the main surface of the second radiation detector unit 11-2, a first pad 11-2A and a second pad 11-2B are formed along two orthogonal outer edges. Furthermore, the first radiation pad 11-3A and the second pad 11-3B are also formed on the main surface of the third radiation detector unit 11-3 along two orthogonal outer edges. The fourth radiation detector unit 11-4 is also formed with a first pad 11-4A and a second pad 11-4B along two orthogonal outer edges on the main surface.

配線基板１３の主面上には、上述した各放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ，１１−２Ａ，１１−３Ａ及び１１−４Ａと対向するようにしてパッド１３Ａが設けられており、第２のパッド１１−１Ｂ，１１−２Ｂ，１１−３Ｂ及び１１−４Ｂと対向するようにしてパッド１３Ｂが設けられている。さらに、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂの外方には、配線基板１３の各外縁に沿ってコネクター１８が設けられている。コネクター１８は、配線基板１３を、外部制御回路及び外部駆動回路等に接続するためのものである。 On the main surface of the wiring board 13, the first pads 11-1A, 11-2A, 11-3A, and 11-4A of the radiation detector units 11-1 to 11-4 described above are opposed to each other. A pad 13A is provided, and the pad 13B is provided so as to face the second pads 11-1B, 11-2B, 11-3B, and 11-4B. Further, connectors 18 are provided along the respective outer edges of the wiring board 13 outside the pads 13A and 13B. The connector 18 is for connecting the wiring board 13 to an external control circuit, an external drive circuit, and the like.

なお、特に図示しないが、配線基板１３内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂとこれらに１対１で対応するコネクター１８の各接続端子へ電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 Although not particularly illustrated, wiring patterns for electrically connecting the pads 13A and the pads 13B and the connection terminals of the connectors 18 corresponding to the pads 13A and the pads 13B are formed inside the wiring board 13.

また、各放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ，１１−２Ａ，１１−３Ａ及び１１−４Ａは、対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ａと、それぞれワイヤー１４によって接続されている。同様に、各放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第２のパッド１１−１Ｂ，１１−２Ｂ，１１−３Ｂ及び１１−４Ｂは、対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ｂと、それぞれワイヤー１４によって接続されている。さらに、ワイヤー１４はエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂によって封止されている。 In addition, the first pads 11-1A, 11-2A, 11-3A, and 11-4A of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are respectively opposed to the pads 13A of the wiring board 13 provided to face each other. Each is connected by a wire 14. Similarly, the second pads 11-1B, 11-2B, 11-3B, and 11-4B of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads 13B of the wiring board 13 provided to face each other. Are connected by wires 14 respectively. Furthermore, the wire 14 is sealed with a thermosetting resin such as an epoxy resin.

図１から明らかなように、本実施形態の放射線検出器１０は、配線基板１３のパッド１３Ａ及びコネクター１８間から立設し、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４を覆うようにして設けられた、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４に対する保護カバー１９が設けられている。 As is apparent from FIG. 1, the radiation detector 10 of the present embodiment is provided so as to stand up from between the pad 13A of the wiring board 13 and the connector 18 so as to cover the radiation detector units 11-1 to 11-4. A protective cover 19 for the radiation detector units 11-1 to 11-4 is provided.

図３に示すように、第１の放射性検出器ユニット１１−１は、絶縁部材２１の主面１１Ａ上に形成された、円形状の複数の開口部２２Ａを有する第１の電極パターン２２と、絶縁部材２１の裏面２１Ｂ上に、第１の電極パターン２２と直交するようにして形成された第２の電極パターン２３とを含んでいる。第２の電極パターン２３は、絶縁部材２１を貫通し、第１の電極パターン２２の開口部２２Ａの略中心部に先端が露出してなる凸状部２４を有する。凸状部２４は、ピクセル電極（検出電極）を構成し、その結果、第１の電極パターン２２及び第２の電極パターン２３はピクセル型電極を構成する。なお、凸状部２４の上面は平坦となっており、その周囲にエッジが形成されている。 As shown in FIG. 3, the first radioactive detector unit 11-1 includes a first electrode pattern 22 formed on the main surface 11A of the insulating member 21 and having a plurality of circular openings 22A. A second electrode pattern 23 formed so as to be orthogonal to the first electrode pattern 22 is included on the back surface 21 B of the insulating member 21. The second electrode pattern 23 has a convex portion 24 that penetrates the insulating member 21 and has a tip exposed at substantially the center of the opening 22 A of the first electrode pattern 22. The convex portion 24 constitutes a pixel electrode (detection electrode), and as a result, the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern 23 constitute a pixel-type electrode. In addition, the upper surface of the convex part 24 is flat, and the edge is formed in the circumference | surroundings.

また、第１の電極パターン２２からは、その両端に延在するようにして第１のパッド１１−１Ａが形成されている。さらに、第２の電極パターン２３からは、絶縁部材２１内を貫通するようにして形成された層間接続体２５を介して、絶縁部材２１の主面２１Ａ上において第２のパッド１１−１Ｂが形成されている。すなわち、図１及び図２に示す放射線検出器１０における第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１のパッド１１−１Ａは、この第１の放射線検出器１１−１の第１の電極パターン２２と電気的に導通したパッドであり、第２のパッド１１−１Ｂは、第１の放射線検出器１１−１の第２の電極パターン２３と電気的に導通したパッドである。 Further, a first pad 11-1A is formed from the first electrode pattern 22 so as to extend to both ends thereof. Furthermore, a second pad 11-1 B is formed on the main surface 21 A of the insulating member 21 from the second electrode pattern 23 via an interlayer connector 25 formed so as to penetrate the insulating member 21. Has been. That is, the first pad 11-1A of the first radiation detector unit 11-1 in the radiation detector 10 shown in FIGS. 1 and 2 is the first electrode pattern of the first radiation detector 11-1. 22 and the second pad 11-1B is a pad that is electrically connected to the second electrode pattern 23 of the first radiation detector 11-1.

なお、第２の放射線検出器ユニット１１−２、第３の放射線検出器ユニット１１−３及び第４の放射線検出器ユニット１１−４の構成も、図３に示す符号“１１−１”が、それぞれ“１１−２”、“１１−３”及び“１１−４”に代わったのみであって、その基本構成は、図３に示す第１の放射線検出器ユニット１１−１と同じである。 The configuration of the second radiation detector unit 11-2, the third radiation detector unit 11-3, and the fourth radiation detector unit 11-4 is also represented by the reference numeral “11-1” shown in FIG. They are only replaced with “11-2”, “11-3”, and “11-4”, respectively, and the basic configuration is the same as that of the first radiation detector unit 11-1 shown in FIG.

本実施形態の放射線検出器１０によれば、図３に示すような構成の放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４を互いに隣接するように配線基板１３上に搭載するとともに、各放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ〜１１−４Ａ及び第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−４Ｂを、配線基板１３上に形成されたパッド１３Ａ及び１３Ｂとそれぞれワイヤー１４によって電気的に接続するようにしている。また、配線基板１３内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂをコネクター１８の対応する接続ピンへ電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 According to the radiation detector 10 of the present embodiment, the radiation detector units 11-1 to 11-4 configured as shown in FIG. 3 are mounted on the wiring board 13 so as to be adjacent to each other, and each radiation detector is provided. The first pads 11-1A to 11-4A and the second pads 11-1B to 11-4B formed on the outer edges of the units 11-1 to 11-4 are replaced with the pads 13A formed on the wiring board 13 and 13B and each wire 14 are electrically connected. In addition, a wiring pattern for electrically connecting the pad 13A and the pad 13B to the corresponding connection pin of the connector 18 is formed in the wiring board 13.

したがって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂを介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４が放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。この結果、配線基板１３は、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４に対して共通の高電圧印加系及び信号読み出し系として機能するようになる。この結果、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は、高電圧印加系及び信号読み出し系である配線基板１３を共有することになり、この配線基板１３によって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は互いに同期するようにして高電圧印加及び信号読み出しができるようになる。 Therefore, in the radiation detector units 11-1 to 11-4, a wiring pattern (not shown) in which high voltage application from an external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13 is incorporated in the wiring board 13 is not shown. The signals obtained from the radiation by the radiation detector units 11-1 to 11-4 are externally transmitted via a wiring pattern (not shown) built in the wiring board 13. It is transmitted to a signal readout circuit or the like. As a result, the wiring board 13 functions as a common high voltage application system and signal readout system for the radiation detector units 11-1 to 11-4. As a result, the radiation detector units 11-1 to 11-4 share the wiring board 13 that is a high voltage application system and a signal readout system, and the radiation detector units 11-1 to 11-1 are used by the wiring board 13. 11-4 can perform high voltage application and signal readout in synchronization with each other.

特に、配線基板１３のパッド１３Ａは、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１の電極パターンのパッドとワイヤー１４を介して電気的に接続されており、配線基板１３のパッド１３Ｂは、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第２の電極パターンのパッドとワイヤー１４を介して電気的に接続されている。したがって、これら第１の電極パターン及び第２の電極パターン間に印加すべき電圧も、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間で同じ値となるように制御することができ、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間の検出感度を互いに等しくすることができる。 In particular, the pad 13A of the wiring board 13 is electrically connected to the pads of the first electrode pattern of the radiation detector units 11-1 to 11-4 via the wire 14, and the pad 13B of the wiring board 13 is The second electrode pattern pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are electrically connected via the wires 14. Therefore, the voltage to be applied between the first electrode pattern and the second electrode pattern can also be controlled to be the same value between the radiation detector units 11-1 to 11-4. The detection sensitivities between the units 11-1 to 11-4 can be made equal to each other.

このため、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は１つの放射線検出器として高電圧印加及び信号読み出しを行うことができるようになるので、結果として本実施形態の放射線検出器１０は、大型の放射線検出器として機能させることができるようになる。 For this reason, since the radiation detector units 11-1 to 11-4 can perform high voltage application and signal readout as one radiation detector, as a result, the radiation detector 10 of this embodiment has a large size. It becomes possible to function as a radiation detector.

したがって、例えば放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の大きさをそれぞれ２０ｃｍ角とすれば、４０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器１０が得られることになる。なお、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の大きさを、現在の製造技術における高歩留まりの３０ｃｍ程度とすれば、６０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器１０が得られることになる。 Therefore, for example, if each of the radiation detector units 11-1 to 11-4 is 20 cm square, the radiation detector 10 equivalent to a large radiation detector having a size of 40 cm square can be obtained. If the size of the radiation detector units 11-1 to 11-4 is about 30 cm, which is a high yield in the current manufacturing technology, the radiation detector 10 equivalent to a large radiation detector having a size of 60 cm square is used. Will be obtained.

なお、本実施形態において、放射線検出器ユニットの数は４としているが、放射線検出器ユニットの大きさ及び得ようとする放射性検出器の大きさによって任意の数とすることができる。但し、現状の製造方法で歩留まりよく得られる放射検出器ユニットの大きさが１０ｃｍ〜３０ｃｍ角であることを考慮すると、実質４０ｃｍ角以上の大きさの放射性検出器を得ようとした場合、その数は４以上であることが好ましい。 In the present embodiment, the number of radiation detector units is four. However, the number may be any number depending on the size of the radiation detector unit and the size of the radioactive detector to be obtained. However, in consideration of the fact that the size of the radiation detector unit that can be obtained with good yield by the current manufacturing method is 10 cm to 30 cm square, the number of radio detectors that are substantially 40 cm square or larger is obtained. Is preferably 4 or more.

また、本実施形態においては、放射線検出器１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ〜１１−４Ａと配線基板１３のパッド１３Ａとの間、及び放射線検出器１１−１〜１１−４の第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−４Ｂと配線基板１３のパッド１３Ｂとの間をワイヤー１４によって電気的に接続している。この場合、パッド間の電気的接続は、ワイヤーボンディングなる簡易かつ汎用の技術を用いて行うことができる。 In the present embodiment, the radiation detectors 11-1 to 11-4 of the radiation detectors 11-1 to 11-4 and the pad 13A of the wiring board 13 and the radiation detectors 11-1 to 11-11 are also used. -4 second pads 11-1B to 11-4B and the pads 13B of the wiring board 13 are electrically connected by wires 14. In this case, the electrical connection between the pads can be performed using a simple and general technique that is wire bonding.

さらに、本実施形態では、ワイヤー１４を樹脂封止しているので、ボンディングを固定し、さらには隣接した放射線検出器との電気的接触等を防止することができる。 Furthermore, in this embodiment, since the wire 14 is resin-sealed, bonding can be fixed, and further, electrical contact with an adjacent radiation detector can be prevented.

なお、各放射線検出器１１−１〜１１−４の放射線検出原理は公知であるが、図３を参照して簡単に説明する。 The radiation detection principle of each of the radiation detectors 11-1 to 11-4 is known, but will be briefly described with reference to FIG.

放射線検出器ユニット１１−１は、所定のガス、例えばＨｅとメタンとの混合ガス雰囲気中に配置し、さらに、保護カバー１９の上面にアルミニウム板などを貼付し、所定の電圧をバイアスする。第１の電極パターン２２をカソードとし、第２の電極パターン２３をアノードとした場合、上述した混合ガス雰囲気中に放射線が入射すると、この放射線は前記ガスと衝突することによって前記ガスを電離し、電子を生成する。 The radiation detector unit 11-1 is arranged in a predetermined gas atmosphere, for example, a mixed gas atmosphere of He and methane, and an aluminum plate or the like is attached to the upper surface of the protective cover 19 to bias a predetermined voltage. When the first electrode pattern 22 is a cathode and the second electrode pattern 23 is an anode, when radiation enters the mixed gas atmosphere described above, the radiation collides with the gas to ionize the gas, Generate electrons.

生成した電子は、保護カバー１９の上面に形成されたアルミニウム板のバイアス電圧を受けて放射線検出器ユニット１１−１に導かれ、第１の電極パターン２２と、第２の電極パターン２３の凸状部２４との間に印加された電圧に起因して生成された大きな電場によって、電子雪崩を引き起こし、凸状部２４に溜まるようになる。一方、前記電子雪崩によって生じた正イオンは、凸状部２４から周囲の第１の電極パターン２２に向けてドリフトする。 The generated electrons receive the bias voltage of the aluminum plate formed on the upper surface of the protective cover 19 and are guided to the radiation detector unit 11-1, and the convex shape of the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern 23. The large electric field generated due to the voltage applied to the portion 24 causes an avalanche and accumulates in the convex portion 24. On the other hand, positive ions generated by the electron avalanche drift from the convex portion 24 toward the surrounding first electrode pattern 22.

この結果、第１の電極パターン２２及び第２の電極パターン２３の凸状部２４にそれぞれ正孔と電子がチャージされるようになるので、凸状部２４、すなわちピクセル電極の位置を図示しない電荷検出回路で検出することによって、前記放射線の、放射線検出器ユニット１１−１における入射位置を特定することができ、前記放射線の検出が可能となる。 As a result, holes and electrons are charged in the convex portions 24 of the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern 23, respectively, so that the positions of the convex portions 24, that is, the pixel electrodes are not shown. By detecting with the detection circuit, the incident position of the radiation in the radiation detector unit 11-1 can be specified, and the radiation can be detected.

（第２の実施形態）
図４は、本発明の放射線検出器の他の例における概略構成を示す側面図であり、図５は、図４に示す放射線検出器の平面図である。なお、本実施形態における放射線検出器の特徴を明確にすべく、図５においては、図４に示す封止樹脂及び保護カバーについては記載を省略している。なお、図１〜図３に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a side view showing a schematic configuration of another example of the radiation detector of the present invention, and FIG. 5 is a plan view of the radiation detector shown in FIG. In addition, in order to clarify the characteristics of the radiation detector in the present embodiment, the sealing resin and the protective cover shown in FIG. 4 are not shown in FIG. In addition, the same code | symbol is used about the component similar or the same as the component shown in FIGS. 1-3.

本実施形態においては、放射線検出器ユニット１１−１，１１−２，１１−３及び１１−４のそれぞれに対して配線基板１３−１，１３−２，１３−３及び１３−４を準備し、これら放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４をそれぞれ配線基板１３−１〜１３−４に対して図示しない接着剤等で固定して搭載するととともに、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４と配線基板１３−１〜１３−４とをワイヤー１４によって電気的に接続するようにしている。 In the present embodiment, wiring boards 13-1, 13-2, 13-3, and 13-4 are prepared for the radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, and 11-4, respectively. The radiation detector units 11-1 to 11-4 are fixedly mounted on the wiring boards 13-1 to 13-4 with an adhesive or the like (not shown), and the radiation detector units 11-1 to 11-. 4 and the wiring boards 13-1 to 13-4 are electrically connected by wires 14.

具体的には、第１の放射線検出器ユニット１１−１の外縁に沿って形成した第１のパッド１１−１Ａと対向するようにして、第１の放射線検出器ユニット１１−１を搭載する第１の配線基板１３−１においてパッド１３Ａを形成し、第１のパッド１１−１Ａとパッド１３Ａとをワイヤー１４で電気的に接続するとともに、第１の放射線検出器ユニット１１−１の外縁に沿って形成した第２のパッド１１−１Ｂと対向するようにして、第１の放射線検出器ユニット１１−１を搭載する第１の配線基板１３−１においてパッド１３Ｂを形成し、第２のパッド１１−１Ｂとパッド１３Ｂとをワイヤー１４で電気的に接続する。 Specifically, the first radiation detector unit 11-1 is mounted so as to face the first pad 11-1A formed along the outer edge of the first radiation detector unit 11-1. A pad 13A is formed on one wiring board 13-1, the first pad 11-1A and the pad 13A are electrically connected by a wire 14, and along the outer edge of the first radiation detector unit 11-1. The pad 13B is formed on the first wiring board 13-1 on which the first radiation detector unit 11-1 is mounted so as to face the second pad 11-1B formed in this way, and the second pad 11 -1B and the pad 13B are electrically connected by the wire 14.

同様に、第２の放射線検出器ユニット１１−２の外縁に沿って形成した第１のパッド１１−２Ａと対向するようにして、第２の放射線検出器ユニット１１−２を搭載する第２の配線基板１３−２においてパッド１３Ａを形成し、第１のパッド１１−２Ａとパッド１３Ａとをワイヤー１４で電気的に接続するとともに、第２の放射線検出器ユニット１１−２の外縁に沿って形成した第２のパッド１１−２Ｂと対向するようにして、第２の放射線検出器ユニット１１−２を搭載する第１の配線基板１３−２においてパッド１３Ｂを形成し、第２のパッド１１−２Ｂとパッド１３Ｂとをワイヤー１４で電気的に接続する。 Similarly, the second radiation detector unit 11-2 is mounted so as to face the first pad 11-2A formed along the outer edge of the second radiation detector unit 11-2. A pad 13A is formed on the wiring board 13-2, and the first pad 11-2A and the pad 13A are electrically connected by the wire 14 and formed along the outer edge of the second radiation detector unit 11-2. The pad 13B is formed on the first wiring board 13-2 on which the second radiation detector unit 11-2 is mounted so as to face the second pad 11-2B. The second pad 11-2B And the pad 13B are electrically connected by a wire 14.

また、第３の放射線検出器ユニット１１−３の外縁に沿って形成した第１のパッド１１−３Ａと対向するようにして、第３の放射線検出器ユニット１１−３を搭載する第３の配線基板１３−３においてパッド１３Ａを形成し、第１のパッド１１−３Ａとパッド１３Ａとをワイヤー１４で電気的に接続するとともに、第３の放射線検出器ユニット１１−３の外縁に沿って形成した第２のパッド１１−３Ｂと対向するようにして、第３の放射線検出器ユニット１１−３を搭載する第１の配線基板１３−３においてパッド１３Ｂを形成し、第２のパッド１１−３Ｂとパッド１３Ｂとをワイヤー１４で電気的に接続する。 Also, a third wiring for mounting the third radiation detector unit 11-3 so as to face the first pad 11-3A formed along the outer edge of the third radiation detector unit 11-3. A pad 13A is formed on the substrate 13-3, and the first pad 11-3A and the pad 13A are electrically connected by the wire 14 and formed along the outer edge of the third radiation detector unit 11-3. A pad 13B is formed on the first wiring board 13-3 on which the third radiation detector unit 11-3 is mounted so as to face the second pad 11-3B, and the second pad 11-3B The pad 13B is electrically connected with the wire 14.

さらに、第４の放射線検出器ユニット１１−４の外縁に沿って形成した第４のパッド１１−４Ａと対向するようにして、第４の放射線検出器ユニット１１−４を搭載する第４の配線基板１３−４においてパッド１３Ａを形成し、第１のパッド１１−４Ａとパッド１３Ａとをワイヤー１４で電気的に接続するとともに、第４の放射線検出器ユニット１１−４の外縁に沿って形成した第２のパッド１１−４Ｂと対向するようにして、第４の放射線検出器ユニット１１−４を搭載する第４の配線基板１３−４においてパッド１３Ｂを形成し、第２のパッド１１−４Ｂとパッド１３Ｂとをワイヤー１４で電気的に接続する。 Further, a fourth wiring for mounting the fourth radiation detector unit 11-4 so as to face the fourth pad 11-4A formed along the outer edge of the fourth radiation detector unit 11-4. A pad 13A is formed on the substrate 13-4, and the first pad 11-4A and the pad 13A are electrically connected by the wire 14 and formed along the outer edge of the fourth radiation detector unit 11-4. A pad 13B is formed on the fourth wiring board 13-4 on which the fourth radiation detector unit 11-4 is mounted so as to face the second pad 11-4B, and the second pad 11-4B The pad 13B is electrically connected with the wire 14.

なお、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４を配線基板１３−１〜１３−４に搭載するに際しては、各放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の、第１のパッド及び第２のパッドが形成されていない側の、直交する２辺、すなわち直交する２つの外縁が、搭載すべき配線基板１３−１〜１３−４の、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂが形成されていない側の直交する２辺、すなわち直交する２つの外縁と平行に近接して配置されるようにして行う。また、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は、それぞれの直交する２辺を介して互いに隣接するようにして配置する。換言すれば、本実施形態の放射線検出器３０は、外観上、第１の実施形態の放射線検出器１０における配線基板１３が放射線検出器ユニット毎に分断されたような形態となっている。 When the radiation detector units 11-1 to 11-4 are mounted on the wiring boards 13-1 to 13-4, the first pad and the second pad of each of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are used. The two sides that are orthogonal to each other, that is, the two outer edges that are orthogonal to each other, are orthogonal to the side on which the pads 13A and 13B are not formed of the wiring boards 13-1 to 13-4 to be mounted. It is arranged so as to be arranged in parallel and close to two sides that are orthogonal, that is, two orthogonal outer edges. The radiation detector units 11-1 to 11-4 are arranged so as to be adjacent to each other via two orthogonal sides. In other words, the radiation detector 30 of the present embodiment has a form in which the wiring board 13 in the radiation detector 10 of the first embodiment is divided for each radiation detector unit in appearance.

また、配線基板１３−１〜１３−４内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂとこれらに１対１で対応するコネクタ１８の各接続端子へ電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 Further, inside the wiring boards 13-1 to 13-4, there are formed wiring patterns for electrically connecting the pads 13A and the pads 13B and the respective connection terminals of the connector 18 corresponding to the pads 13A and 13B. .

この場合、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂを介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４が放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。この結果、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は、それぞれ配線基板１３−１〜１３−４によって独立に機能することになる。しかしながら、これら配線基板１３−１〜１３−４による放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の高電圧印加及び信号読み出しは互いに同期させることができる。 In this case, the radiation detector units 11-1 to 11-4 have a wiring pattern (not shown) in which high voltage application from an external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13 is built in the wiring board 13. ) And pads 13 A and 13 B, on the other hand, signals obtained from radiation by the radiation detector units 11-1 to 11-4 are transmitted via a wiring pattern (not shown) built in the wiring board 13. It is transmitted to an external signal readout circuit or the like. As a result, the radiation detector units 11-1 to 11-4 function independently by the wiring boards 13-1 to 13-4, respectively. However, the high voltage application and signal readout of the radiation detector units 11-1 to 11-4 by the wiring boards 13-1 to 13-4 can be synchronized with each other.

特に、配線基板１３−１〜１３−４のパッド１３Ａは、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１の電極パターンのパッドとワイヤー１４を介して電気的に接続されており、配線基板１３−１〜１３−４のパッド１３Ｂは、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第２の電極パターンのパッドとワイヤー１４を介して電気的に接続されている。したがって、これら第１の電極パターン及び第２の電極パターン間に印加すべき電圧も、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間で同じ値となるように制御することができ、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間の検出感度を互いに等しくすることができる。 In particular, the pads 13A of the wiring boards 13-1 to 13-4 are electrically connected to the pads of the first electrode patterns of the radiation detector units 11-1 to 11-4 via the wires 14, and the wiring The pads 13B of the substrates 13-1 to 13-4 are electrically connected to the pads of the second electrode patterns of the radiation detector units 11-1 to 11-4 via the wires 14. Therefore, the voltage to be applied between the first electrode pattern and the second electrode pattern can also be controlled to be the same value between the radiation detector units 11-1 to 11-4. The detection sensitivities between the units 11-1 to 11-4 can be made equal to each other.

このため、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は１つの放射線検出器として機能するようになるので、結果として本実施形態の放射線検出器３０は、大型の放射線検出器として機能させることができるようになる。 For this reason, since the radiation detector units 11-1 to 11-4 function as one radiation detector, as a result, the radiation detector 30 of the present embodiment can function as a large radiation detector. become able to.

したがって、例えば放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の大きさをそれぞれ２０ｃｍ角とすれば、４０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器１０が得られることになる。なお、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の大きさを、現在の製造技術における高歩留まりの３０ｃｍ程度とすれば、６０ｃｍ角の大きさの大型の放射線検出器と同等の放射線検出器３０が得られることになる。 Therefore, for example, if each of the radiation detector units 11-1 to 11-4 is 20 cm square, the radiation detector 10 equivalent to a large radiation detector having a size of 40 cm square can be obtained. If the size of the radiation detector units 11-1 to 11-4 is about 30 cm, which is a high yield in the current manufacturing technology, the radiation detector 30 is equivalent to a large radiation detector having a size of 60 cm square. Will be obtained.

また、本実施形態においても、放射線検出器１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ〜１１−４Ａと配線基板１３−１〜１３−４のパッド１３Ａとの間、及び放射線検出器１１−１〜１１−４の第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−４Ｂと配線基板１３−１〜１３−４のパッド１３Ｂとの間をワイヤー１４によって電気的に接続している。この場合、パッド間の電気的接続は、ワイヤーボンディングなる簡易かつ汎用の技術を用いて行うことができる。 Also in the present embodiment, the radiation detection is performed between the first pads 11-1A to 11-4A of the radiation detectors 11-1 to 11-4 and the pads 13A of the wiring boards 13-1 to 13-4. The second pads 11-1B to 11-4B of the devices 11-1 to 11-4 and the pads 13B of the wiring boards 13-1 to 13-4 are electrically connected by wires 14. In this case, the electrical connection between the pads can be performed using a simple and general technique that is wire bonding.

また、本実施形態では、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４それぞれに対して配線基板１３−１〜１３−４を設けるようにしているので、例えば放射線検出器ユニット１１−１が故障した場合において、この放射線検出器ユニット１１−１及びこれを搭載する配線基板１３−１を交換すれば、放射線検出器３０は全体として再び制御及び駆動させることができる。一方、第１の実施形態における放射線検出器１０は、例えば放射線検出器ユニット１１−１が故障した場合においても、この放射線検出器１１−１のみを交換することは不可能であって、放射線検出器１０ごと新たな放射線検出器と交換しなければならない。 In the present embodiment, since the wiring boards 13-1 to 13-4 are provided for the radiation detector units 11-1 to 11-4, for example, the radiation detector unit 11-1 has failed. In some cases, if the radiation detector unit 11-1 and the wiring board 13-1 on which the radiation detector unit 11-1 is mounted are replaced, the radiation detector 30 can be controlled and driven again as a whole. On the other hand, in the radiation detector 10 in the first embodiment, for example, even when the radiation detector unit 11-1 fails, it is impossible to replace only the radiation detector 11-1, The entire instrument 10 must be replaced with a new radiation detector.

したがって、本実施形態の放射線検出器３０は、放射線検出器ユニットが故障した場合の修理コストを低減することができる。 Therefore, the radiation detector 30 of this embodiment can reduce the repair cost when the radiation detector unit fails.

（第３の実施形態）
図６は、本発明の放射線検出器のその他の例における概略構成を示す側面図であり、図７は、図６に示す放射線検出器の平面図である。また、図８は、図６及び図７に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板の概略構成を示す図であり、図９は、図６及び図７に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板による接合部を拡大して示す図である。なお、本実施形態における放射線検出器の特徴を明確にすべく、図７においては、図６に示す保護カバーについては記載を省略している。また、図１〜図３に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Third embodiment)
FIG. 6 is a side view showing a schematic configuration in another example of the radiation detector of the present invention, and FIG. 7 is a plan view of the radiation detector shown in FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration of the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIGS. 6 and 7, and FIG. 9 is a joint portion of the radiation detector shown in FIGS. 6 and 7 by the flexible wiring board. It is a figure which expands and shows. In addition, in order to clarify the characteristics of the radiation detector in the present embodiment, the description of the protective cover shown in FIG. 6 is omitted in FIG. Moreover, the same code | symbol is used about the component similar to or the same as the component shown in FIGS.

本実施形態の放射線検出器４０は、図１及び図２に示す第１の実施形態の放射線検出器１０において、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ，１１−２Ａ，１１−３Ａ及び１１−４Ａと対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ａとをワイヤー１４で接続する代わりにフレキシブル配線基板４４で接続している。同様に、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第２のパッド１１−１Ｂ，１１−２Ｂ，１１−３Ｂ及び１１−４Ｂと対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ｂとをワイヤー１４によって接続する代わりに、同じくフレキシブル配線基板４４で接続している。 The radiation detector 40 of this embodiment is the same as that of the radiation detector 10 of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 except that the first pads 11-1A, 11 of the radiation detector units 11-1 to 11-4. 2A, 11-3A, and 11-4A are connected to the pad 13A of the wiring board 13 provided facing the wiring board 14 by the flexible wiring board 44 instead of the wire 14. Similarly, a wire is connected to the pad 13B of the wiring board 13 provided facing the second pads 11-1B, 11-2B, 11-3B, and 11-4B of the radiation detector units 11-1 to 11-4. In place of the connection by 14, the flexible wiring board 44 is also connected.

なお、その他の構成は、第１の実施形態の放射線検出器１０と同様であるので説明を省略する。 Since other configurations are the same as those of the radiation detector 10 of the first embodiment, the description thereof is omitted.

本実施形態においては、上述のように、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４のパッドと配線基板のパッドとをフレキシブル配線基板４４で接続している。したがって、ワイヤー１４を使用した接続に比較して、隣接した放射線検出器との電気的接触等は自ずから防止される。このため、ワイヤー１４を使用した場合のように封止樹脂等を設ける必要がない。 In the present embodiment, as described above, the pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads of the wiring board are connected by the flexible wiring board 44. Therefore, as compared with the connection using the wire 14, electrical contact with the adjacent radiation detector is naturally prevented. For this reason, it is not necessary to provide sealing resin etc. like the case where the wire 14 is used.

但し、フレキシブル配線基板４４は、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４のパッドと配線基板とのパッドとを、例えば放射線検出器ユニット１１−１等における隣接するパッド同士、及び配線基板１３における隣接するパッド同士が電気的に干渉しないように、電気的接続を行うべき配線パターンは、図８に示すように、例えばポリイミドなどからなるフレキシブル基板４４１の主面上においてストリップ状に形成され、ストリップ状の配線パターン４４２を構成することが必要である。 However, the flexible wiring board 44 is configured such that the pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads of the wiring board are, for example, adjacent pads in the radiation detector unit 11-1 and the wiring board 13. As shown in FIG. 8, the wiring pattern to be electrically connected is formed in a strip shape on the main surface of a flexible substrate 441 made of polyimide or the like so that adjacent pads do not interfere with each other electrically. It is necessary to form a wiring pattern 442 having a shape.

したがって、フレキシブル配線基板４４は、ストリップ状配線パターン４４２が、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４のパッドと配線基板のパッドとを電気的に接続できるように、ストリップ状配線パターン４４２の長さ方向が、放射線検出器ユニットのパッド及び配線基板のパッド間の線分方向と一致するようにして配置する。 Therefore, the flexible wiring board 44 has a length of the strip-like wiring pattern 442 so that the strip-like wiring pattern 442 can electrically connect the pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads of the wiring board. The vertical direction is arranged so as to coincide with the line segment direction between the pads of the radiation detector unit and the pads of the wiring board.

一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４のパッド及び配線基板のパッドに対するフレキシブル配線基板４４の接合力は低いので、例えば図９に示すように、異方性導電樹脂４６を介在させて、フレキシブル配線基板４４の、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４のパッド及び配線基板のパッドに対する接合力を向上させることが好ましい。 On the other hand, since the bonding force of the flexible wiring board 44 to the pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads of the wiring board is low, for example, an anisotropic conductive resin 46 is interposed as shown in FIG. It is preferable to improve the bonding force of the flexible wiring board 44 to the pads of the radiation detector units 11-1 to 11-4 and the pads of the wiring board.

なお、本実施形態においても、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂを介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４が放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。したがって、配線基板１３は、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４に対して共通の高電圧印加系及び信号読み出し系として機能するようになる。この結果、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は、高電圧印加系及び信号読み出し系である配線基板１３を共有することになり、この配線基板１３によって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は互いに同期するようにして高電圧印加及び信号読み出しができるようになる。 Also in the present embodiment, the radiation detector units 11-1 to 11-4 have a high voltage applied from the external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13. On the other hand, a signal obtained from radiation by the radiation detector units 11-1 to 11-4 is transmitted through a pattern (not shown) and pads 13A and 13B. To the external signal readout circuit or the like. Therefore, the wiring board 13 functions as a common high voltage application system and signal readout system for the radiation detector units 11-1 to 11-4. As a result, the radiation detector units 11-1 to 11-4 share the wiring board 13 that is a high voltage application system and a signal readout system, and the radiation detector units 11-1 to 11-1 are used by the wiring board 13. 11-4 can perform high voltage application and signal readout in synchronization with each other.

このため、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は１つの放射線検出器として高電圧印加及び信号読み出しを行うことができるようになるので、結果として本実施形態の放射線検出器４０は、大型の放射線検出器として機能させることができるようになる。 For this reason, since the radiation detector units 11-1 to 11-4 can perform high voltage application and signal readout as one radiation detector, as a result, the radiation detector 40 of the present embodiment has a large size. It becomes possible to function as a radiation detector.

（参考例）
図１０は、参考例の放射線検出器の概略構成を示す側面図である。なお、図１〜図３に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Reference example)
FIG. 10 is a side view showing a schematic configuration of a radiation detector of a reference example. In addition, the same code | symbol is used about the component similar or the same as the component shown in FIGS. 1-3.

放射線検出器５０においては、第１の放射線検出器ユニット１１−１の相対向する外縁において、これら外縁に沿って第１のパッド１１−１Ａが形成されるとともに、第３の放射線検出器ユニット１１−３と隣接する外縁において、この外縁に沿って第２のパッド１１−１Ｂが形成されている。また、第２の放射線検出器ユニット１１−２の、第１の放射線検出器ユニット１１−１と隣接する外縁において、この外縁に沿って第１のパッド１１−２Ａが形成されるとともに、第４の放射線検出器ユニット１１−４と隣接する外縁において、この外縁に沿って第２のパッド１１−２Ｂが形成されている。 In the radiation detector 50, first pads 11-1 A are formed along the outer edges of the outer edges of the first radiation detector unit 11-1 opposite to each other, and the third radiation detector unit 11. At the outer edge adjacent to -3, the second pad 11-1B is formed along this outer edge. In addition, at the outer edge of the second radiation detector unit 11-2 adjacent to the first radiation detector unit 11-1, a first pad 11-2A is formed along this outer edge, and the fourth In the outer edge adjacent to the radiation detector unit 11-4, a second pad 11-2B is formed along the outer edge.

さらに、第３の放射線検出器ユニット１１−３の、第１の放射線検出器ユニット１１−１と隣接する外縁及びこれと相対向する外縁には、これら外縁に沿って第２のパッド１１−３Ｂが形成されるとともに、第４の放射線検出器ユニット１１−４と隣接する外縁及びこれと相対向する外縁には、これら外縁に沿って第１のパッド１１−３Ａが形成されている。さらに、第４の放射線検出器ユニット１１−４の、第２の放射線検出器ユニット１１−２と隣接する外縁には、この外縁に沿って第２のパッド１１−４Ｂが形成されるとともに、第３の放射線検出器ユニット１１−３と隣接する外縁には、この外縁に沿って第１のパッド１１−４Ａが形成されている。 Further, the outer edge of the third radiation detector unit 11-3 adjacent to the first radiation detector unit 11-1 and the outer edge opposite to the outer edge are arranged on the second pad 11-3B along these outer edges. Are formed on the outer edge adjacent to and opposite to the fourth radiation detector unit 11-4 along the outer edge. Further, a second pad 11-4B is formed on the outer edge of the fourth radiation detector unit 11-4 adjacent to the second radiation detector unit 11-2 along the outer edge. A first pad 11-4A is formed along the outer edge adjacent to the third radiation detector unit 11-3.

配線基板１３の主面上には、第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１のパッド１１−１Ａ及び第３の放射線検出器ユニット１１−３の第１のパッド１１−３Ａと対向するようにしてパッド１３Ａが設けられており、第３の放射線検出器ユニット１１−３の第２のパッド１１−３Ｂ及び第４の放射線検出器ユニット１１−４の第２のパッド１１−４Ｂと対向するようにしてパッド１３Ｂが設けられている。さらに、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂの外方には、配線基板１３の各外縁に沿ってコネクター１８が設けられている。コネクター１８は、配線基板１３を、外部高電圧印加回路及び外部信号読み出し回路等に接続するためのものである。 On the main surface of the wiring board 13, the first pad 11-1A of the first radiation detector unit 11-1 and the first pad 11-3A of the third radiation detector unit 11-3 are opposed. In this way, the pad 13A is provided and is opposed to the second pad 11-3B of the third radiation detector unit 11-3 and the second pad 11-4B of the fourth radiation detector unit 11-4. Thus, the pad 13B is provided. Further, connectors 18 are provided along the respective outer edges of the wiring board 13 outside the pads 13A and 13B. The connector 18 is for connecting the wiring board 13 to an external high voltage application circuit, an external signal readout circuit, and the like.

なお、特に図示しないが、配線基板１３内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂとこれらに１対１で対応するコネクタ１８の各接続端子とを電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 Although not particularly illustrated, a wiring pattern for electrically connecting the pad 13A and the pad 13B to each connection terminal of the connector 18 corresponding to the pad 13A and the pad 13B is formed inside the wiring board 13. .

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１のパッド１１−１Ａ及び第３の放射線検出器ユニット１１−３の第１のパッド１１−３Ａと対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ａは、それぞれワイヤー１４によって接続されている。同様に、第３の放射線検出器ユニット１１−３の第２のパッド１１−３Ｂ及び第４の放射線検出器ユニット１１−４の第２のパッド１１−４Ｂと対向して設けられたパッド１３Ｂは、それぞれワイヤー１４によって接続されている。ワイヤー１４はエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂によって封止することができる。 Further, the wiring board 13 provided facing the first pad 11-1A of the first radiation detector unit 11-1 and the first pad 11-3A of the third radiation detector unit 11-3. The pads 13A are connected by wires 14 respectively. Similarly, the pad 13B provided facing the second pad 11-3B of the third radiation detector unit 11-3 and the second pad 11-4B of the fourth radiation detector unit 11-4 is as follows. Are connected by wires 14 respectively. The wire 14 can be sealed with a thermosetting resin such as an epoxy resin.

さらに、放射線検出器５０においては、互いに隣接する第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１のパッド１１−１Ａと第２の放射線検出器ユニット１１−２の第１のパッド１１−２Ａとが追加のワイヤー５４によって接続されるとともに、互いに隣接する第１の放射線検出器ユニット１１−１の第２のパッド１１−１Ｂと第３の放射線検出器ユニット１１−３の第２のパッド１１−３Ｂとが追加のワイヤー５４によって接続されている。 Further, in the radiation detector 50, the first pad 11-1A of the first radiation detector unit 11-1 and the first pad 11-2A of the second radiation detector unit 11-2 that are adjacent to each other. Are connected by an additional wire 54, and the second pad 11-1B of the first radiation detector unit 11-1 and the second pad 11- of the third radiation detector unit 11-3 which are adjacent to each other. 3B is connected by an additional wire 54.

また、互いに隣接する第２の放射線検出器ユニット１１−２の第２のパッド１１−２Ｂと第４の放射線検出器ユニット１１−４の第２のパッド１１−４Ｂとが追加のワイヤー５４によって接続されるとともに、互いに隣接する第３の放射線検出器ユニット１１−３の第１のパッド１１−３Ａと第４の放射線検出器ユニット１１−４の第１のパッド１１−４Ａとが追加のワイヤー５４によって接続されている。 Further, the second pad 11-2B of the second radiation detector unit 11-2 adjacent to each other and the second pad 11-4B of the fourth radiation detector unit 11-4 are connected by an additional wire 54. The first pad 11-3A of the third radiation detector unit 11-3 and the first pad 11-4A of the fourth radiation detector unit 11-4 which are adjacent to each other are added to the additional wire 54. Connected by.

このように放射線検出器５０においては、第１の放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４が直接的にワイヤー５４によって電気的に接続されているので、これら第１の放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は必然的に同期して高電圧印加及び信号読み出しを行うことになる。 Thus, in the radiation detector 50, since the 1st radiation detector units 11-1 to 11-4 are directly electrically connected by the wire 54, these 1st radiation detector units 11-. 1 to 11-4 inevitably perform high voltage application and signal readout in synchronization.

したがって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂを介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４が放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。したがって、配線基板１３は、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４に対して共通の高電圧印加系及び信号読み出し系として機能するようになる。この結果、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は、高電圧印加系及び信号読み出し系である配線基板１３を共有することになり、この配線基板１３によって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は互いに同期するようにして高電圧印加及び信号読み出しができるようになる。 Therefore, in the radiation detector units 11-1 to 11-4, a wiring pattern (not shown) in which high voltage application from an external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13 is incorporated in the wiring board 13 is not shown. The signals obtained from the radiation by the radiation detector units 11-1 to 11-4 are externally transmitted via a wiring pattern (not shown) built in the wiring board 13. It is transmitted to a signal readout circuit or the like. Therefore, the wiring board 13 functions as a common high voltage application system and signal readout system for the radiation detector units 11-1 to 11-4. As a result, the radiation detector units 11-1 to 11-4 share the wiring board 13 that is a high voltage application system and a signal readout system, and the radiation detector units 11-1 to 11-1 are used by the wiring board 13. 11-4 can perform high voltage application and signal readout in synchronization with each other.

特に、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１のパッド１１−１Ａ〜１１−４Ａ同士が電気的に接続され、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−４Ｂ同士が電気的に接続されているので、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４の第１の電極パターン及び第２の電極パターンに印加すべき電圧を同期させて同じ値となるように制御することができ、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間の検出感度を互いに等しくすることができる。 In particular, the first pads 11-1A to 11-4A of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are electrically connected to each other, and the second pads 11 of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are connected. Since -1B to 11-4B are electrically connected, the voltages to be applied to the first electrode pattern and the second electrode pattern of the radiation detector units 11-1 to 11-4 are synchronized and the same. The detection sensitivity between the radiation detector units 11-1 to 11-4 can be made equal to each other.

このため、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４は１つの放射線検出器としてより簡易に高電圧印加及び信号を読み出すことができるようになるので、結果として放射線検出器５０は、大型の放射線検出器としてより簡易に機能させることができるようになる。 For this reason, the radiation detector units 11-1 to 11-4 can more easily apply a high voltage and read out signals as one radiation detector. As a result, the radiation detector 50 has a large-size radiation. It can be made to function more easily as a detector.

また、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−４間の必然的な同期制御に起因して外部から取り込むべき高電圧印加及び読み出し信号の量を低減させることができるので、図１０に示すように、高電圧印加等と接続すべきコネクター１８の数も、図１に示す放射線検出器１０と比較して低減することができる。したがって、放射線検出器５０の構成を、図１に示す放射線検出器１０に比較してより簡略化することができる。 Further, since the amount of high voltage application and readout signals to be taken in from outside can be reduced due to the inevitable synchronization control between the radiation detector units 11-1 to 11-4, as shown in FIG. The number of connectors 18 to be connected to high voltage application or the like can also be reduced as compared with the radiation detector 10 shown in FIG. Therefore, the configuration of the radiation detector 50 can be further simplified as compared with the radiation detector 10 shown in FIG.

なお、パッド間の電気的接続にワイヤーを用いたが、第３の実施形態で示したように、フレキシブル配線基板を用いることもできる。 In addition, although the wire was used for the electrical connection between pads, as shown in 3rd Embodiment, a flexible wiring board can also be used.

以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 The present invention has been described in detail based on the above specific examples. However, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、第１の実施形態では、４つの放射線検出器ユニット１１−１，１１−２，１１−３及び１１−４を用いて、放射線検出器１０を正方形状に形成しているが、任意の２つ、例えば、放射線検出器ユニット１１−１及び１１−２を選択して、横長の放射線検出器を構成することもできるし、放射線検出器ユニット１１−１及び１１−３を選択して、縦長の放射線検出器を構成することもできる。また、６つの放射線検出器を用いて、これら放射線検出器を２×３のマトリックス状に配列し、横長あるいは縦長の放射線検出器とすることもできる。合計１６個あるいは２５個の放射線検出器を用い、４×４のマトリックス状あるいは５×５のマトリックス状に配列することもできる。 For example, in the first embodiment, the radiation detector 10 is formed in a square shape using four radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, and 11-4. Two, for example, the radiation detector units 11-1 and 11-2 can be selected to form a horizontally long radiation detector, or the radiation detector units 11-1 and 11-3 can be selected, A vertically long radiation detector can also be configured. Further, by using six radiation detectors, these radiation detectors can be arranged in a 2 × 3 matrix to form a horizontally or vertically elongated radiation detector. A total of 16 or 25 radiation detectors can be used and arranged in a 4 × 4 matrix or a 5 × 5 matrix.

また、第２の実施形態でも、４つの放射線検出器ユニット１１−１，１１−２，１１−３及び１１−４、並びに４つの配線基板１３−１，１３−２，１３−３及び１３−４を用いて、放射線検出器３０を正方形状に形成しているが、任意の２つ、例えば放射線検出器ユニット１１−１及び１１−２並びに配線基板１３−１及び１３−２を選択して、横長の放射線検出器を構成することもできるし、放射線検出器ユニット１１−１及び１１−３並びに配線基板１３−１及び１３−３を選択して、縦長の放射線検出器を構成することもできる。 Also in the second embodiment, four radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3 and 11-4, and four wiring boards 13-1, 13-2, 13-3 and 13- are used. 4, the radiation detector 30 is formed in a square shape, but any two, for example, the radiation detector units 11-1 and 11-2 and the wiring boards 13-1 and 13-2 are selected. A horizontally long radiation detector can be configured, or the radiation detector units 11-1 and 11-3 and the wiring boards 13-1 and 13-3 can be selected to configure a vertically long radiation detector. it can.

１０，３０，４０，５０放射線検出器
１１−１第１の放射線検出器ユニット
１１−２第２の放射線検出器ユニット
１１−３第３の放射線検出器ユニット
１１−４第４の放射線検出器ユニット
１１−１Ａ第１の放射線検出器ユニットの第１のパッド
１１−１Ｂ第１の放射線検出器ユニットの第２のパッド
１３配線基板
１３−１第１の配線基板
１３−２第２の配線基板
１３−３第３の配線基板
１３−４第４の配線基板
１４ワイヤー
１７封止樹脂
１８コネクター
１９保護カバー
２１絶縁部材
２２第１の電極パターン
２３第２の電極パターン
２４第２の電極パターンの凸状部
２５層間接続体
４４フレキシブル配線基板
４６異方性導電樹脂
５４追加のワイヤー 10, 30, 40, 50 Radiation detector 11-1 First radiation detector unit 11-2 Second radiation detector unit 11-3 Third radiation detector unit 11-4 Fourth radiation detector unit 11-1A The first pad of the first radiation detector unit 11-1B The second pad of the first radiation detector unit 13 Wiring board 13-1 The first wiring board 13-2 The second wiring board 13 -3 Third wiring board 13-4 Fourth wiring board 14 Wire 17 Sealing resin 18 Connector 19 Protective cover 21 Insulating member 22 First electrode pattern 23 Second electrode pattern 24 Convex shape of second electrode pattern Part 25 Interlayer connector 44 Flexible wiring board 46 Anisotropic conductive resin 54 Additional wire

Claims

Each of the first electrode pattern formed on the first surface of the insulating member and having a plurality of circular openings, and the second surface opposite to the first surface of the insulating member A plurality of pixels including a second electrode pattern formed thereon and having a convex portion penetrating the insulating member and having a tip exposed at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern Rectangular first to fourth radiation detector units having a mold electrode;
Rectangular first to fourth wiring boards each mounting the first to fourth radiation detector units;
A plurality of conductive members that electrically connect each of the first to fourth radiation detector units and each of the first to fourth wiring boards;
Each of the rectangular first to fourth wiring boards is arranged in a positional relationship in which the first corners of the four corners are adjacent to each other,
Each of the rectangular first to fourth radiation detector units is formed in plural along the first and second sides sharing the first corner of the four corners. Each of the first and second pads, and the second corners located diagonally to the first corner are adjacent to each other on the first to fourth wiring boards. Installed,
Each of the first to fourth wiring boards has a plurality of third pads disposed at positions opposed to the plurality of first and second pads for each radiation detector unit,
The radiation detector using gas amplification, wherein the plurality of conductive members connect the plurality of third pads arranged at positions facing the plurality of first and second pads, respectively.

The plurality of first pads are connected to the first electrode pattern,
The plurality of second pads are connected to the second electrode pattern via an interlayer connector formed so as to penetrate through the insulating member.
A radiation detector using gas amplification according to claim 1 .

The conductive member is a wire member.
A radiation detector using gas amplification according to claim 1 .

The wire member is resin-sealed.
A radiation detector using gas amplification according to claim 3 .

The conductive member is a flexible wiring board in which a strip-like wiring pattern is formed on a main surface.
A radiation detector using gas amplification according to any one of claims 1 to 4 .

The flexible wiring board is electrically connected to the radiation detector unit and the wiring board by an anisotropic conductive resin.
A radiation detector using gas amplification according to claim 5 .