JP5987592B2 - Manufacturing method of radiation detector using gas amplification - Google Patents
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Description
本発明は、ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a radiation detector using gas amplification.
ガス増幅を利用した放射線検出器として、ピクセル型の放射線検出器が用いられてきた。この放射線検出器は、例えば両面プリント基板の主面側の一方の配線層がストリップ陰極電極から構成され、裏面側の他方の配線層がストリップ陽極電極から構成され、ストリップ陰極電極には、一定間隔に開口部が形成されるとともに、開口部の中心には裏面のストリップ陽極電極と接続されている円柱状陽極電極、すなわちピクセル電極が形成されたような構成を採っている。 Pixel type radiation detectors have been used as radiation detectors utilizing gas amplification. In this radiation detector, for example, one wiring layer on the main surface side of the double-sided printed circuit board is composed of a strip cathode electrode, and the other wiring layer on the back surface side is composed of a strip anode electrode. An opening is formed, and a cylindrical anode electrode connected to the strip anode electrode on the back surface, that is, a pixel electrode is formed at the center of the opening.
なお、放射線検出器は、例えばArとエタンとの混合ガス中に配置される。また、ピクセル電極とストリップ陰極電極との間には所定の電圧が印加されている。 The radiation detector is disposed, for example, in a mixed gas of Ar and ethane. A predetermined voltage is applied between the pixel electrode and the strip cathode electrode.
上記放射線検出器においては、所定の放射線が検出器内に入射すると、ガスが電離して電子を生成し、この電子は、上記ストリップ陰極電極と上記ピクセル電極との間に印加された高電圧、及び上記ピクセル電極の点電極としての形態(形状異方性)に起因して生成される強力な電場によって、電子雪崩増幅を引き起こす。一方、電子雪崩増幅によって生じた正イオンは、周囲のストリップ陰極電極に向けてドリフトする。 In the radiation detector, when predetermined radiation enters the detector, the gas is ionized to generate electrons, which are applied with a high voltage applied between the strip cathode electrode and the pixel electrode, In addition, a strong electric field generated due to the shape (shape anisotropy) of the pixel electrode as a point electrode causes an avalanche amplification. On the other hand, positive ions generated by electron avalanche amplification drift toward the surrounding strip cathode electrode.
この結果、対象となるストリップ陰極電極及びピクセル電極に、それぞれ正孔と電子とがチャージされる。この電荷が生成されたストリップ陰極電極及びピクセル電極の位置を検出することによって、放射線の検出器における入射位置を特定することができ、放射線の検出が可能となる(特許文献1)。 As a result, the target strip cathode electrode and pixel electrode are charged with holes and electrons, respectively. By detecting the positions of the strip cathode electrode and the pixel electrode where the electric charges are generated, the incident position in the radiation detector can be specified, and the radiation can be detected (Patent Document 1).
このようなガス増幅を利用した放射線検出器の検出感度を増大させるためには、上述したストリップ陰極電極、ストリップ陽極電極、及びストリップ陽極電極と接続されているピクセル電極の高精細化を図る必要がある。 In order to increase the detection sensitivity of the radiation detector using such gas amplification, it is necessary to increase the definition of the strip cathode electrode, the strip anode electrode, and the pixel electrode connected to the strip anode electrode. is there.
特許文献2には、ポリイミド樹脂の両面に銅箔を形成した両面プリント基板を作製した後、この両面プリント基板の裏面側の銅箔をパターニングしてストリップ陽極電極とし、さらに両面プリント基板の主面側から炭酸ガスレーザ光を照射して、主面側の銅箔から裏面側のストリップ陽極電極に至る貫通孔を形成し、さらに貫通孔内に銅めっきを行うことにより、当該貫通孔を銅で充填して上記ピクセル電極を形成し、その後、主面側の銅箔をパターニングしてストリップ陰極電極を形成して、ガス増幅を利用した放射線検出器を製造する技術が開示されている。 In Patent Document 2, after producing a double-sided printed board having copper foil formed on both sides of a polyimide resin, the copper foil on the back side of this double-sided printed board is patterned to form a strip anode electrode, and the main surface of the double-sided printed board By irradiating carbon dioxide laser light from the side, a through hole is formed from the copper foil on the main surface side to the strip anode electrode on the back surface side, and copper is plated in the through hole to fill the through hole with copper A technique for manufacturing a radiation detector using gas amplification by forming the pixel electrode and then patterning the copper foil on the main surface side to form a strip cathode electrode is disclosed.
しかしながら、この技術では、ピクセル電極を形成するための貫通孔をレーザ光を用いて形成しているため、貫通孔の内壁面が粗れており、めっき法で貫通孔内に銅充填を行う場合において、貫通孔内に均一に銅充填を行うことができない。例えば、貫通孔内で銅が充填されない部分が生じたり、めっきが進行し過ぎて銅が針状に形成されてしまったりする場合があった。さらには、レーザ光のビーム径及び強度が両面プリント基板の主面側から裏面側に至るまでに均一ではないために、貫通孔の孔径が、主面側と裏面側とで異なる場合もある。 However, in this technique, since the through hole for forming the pixel electrode is formed by using laser light, the inner wall surface of the through hole is rough, and the through hole is filled with copper by plating. However, it is not possible to uniformly fill the through holes with copper. For example, there is a case where a portion not filled with copper is generated in the through hole, or the copper is formed in a needle shape due to excessive progress of plating. Further, since the beam diameter and intensity of the laser light are not uniform from the main surface side to the back surface side of the double-sided printed board, the hole diameter of the through hole may be different between the main surface side and the back surface side.
このため、均一かつ微細な大きさのピクセル電極を形成することができないという問題が生じ、また、針状に成長した銅は放射線検出器として使用する際の高電圧印加時において、放電の原因となるために、放射線検出器を安定して動作することができないという問題があった。 For this reason, there arises a problem that pixel electrodes having a uniform and fine size cannot be formed, and copper grown in a needle shape is a cause of discharge when a high voltage is applied when used as a radiation detector. Therefore, there has been a problem that the radiation detector cannot be operated stably.
本発明は、ストリップ陰極電極、ストリップ陽極電極、及びストリップ陽極電極と接続されているピクセル電極を有するガス増幅を利用した放射線検出器において、特にピクセル電極を均一かつ微細に形成して高精細化を図り、上記放射線検出器の検出感度を増大させることを目的とする。 The present invention relates to a radiation detector using gas amplification having a strip cathode electrode, a strip anode electrode, and a pixel electrode connected to the strip anode electrode. An object is to increase the detection sensitivity of the radiation detector.
上記目的を達成すべく、本発明は、
板状のメタル基板を準備する工程と、
前記メタル基板において、前記メタル基板の少なくとも一辺に沿うとともに、複数のスロット状の溝部を一定の間隔で形成する工程と、
前記メタル基板の主面上において、前記複数のスロット状の溝部を埋設するようにしてドライフィルムレジストを形成する工程と、
前記ドライフィルムレジストを露光現像して、前記ドライフィルムレジストの、前記メタル基板における前記複数のスロット状の溝部の非形成領域において、前記一辺に沿った第1の方向、及び当該第1の方向と直交する第2の方向にそれぞれ配列されるように、前記ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成する工程と、
前記複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、前記複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する工程と、
前記ドライフィルムレジストを剥離した後、前記メタル基板上において残存する複数の前記めっき材を覆うように前記メタル基板上全面に絶縁材を形成する工程と、
前記メタル基板の厚さ方向における裏面側の部分を除去し、前記複数のスロット状の溝部を開口させて前記複数のスロット状の溝部内に埋設したドライフィルムレジストを露出させる工程と、
前記絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に、露光現像し、前記複数のめっき材を中心とした複数の円形部分、及び前記複数の円形部分のうちの、前記第1の方向に隣接する円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成する工程と、
前記マスクを介してめっき処理を行い、前記絶縁材上に、それぞれが前記複数のめっき材を中心とした複数の開口部を有する複数のストリップ電極を形成する工程とを具え、
前記複数のストリップ電極からなる複数のストリップ陰極電極、前記複数のスロット状の溝部が開口した前記メタル基板からなる複数のストリップ陽極電極、及び前記複数のめっき材からなる複数のピクセル電極を含むガス増幅を利用した放射線検出器を製造することを特徴とする、ガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法に関する。
In order to achieve the above object, the present invention provides:
Preparing a plate-shaped metal substrate;
In the metal substrate, along the at least one side of the metal substrate, and forming a plurality of slot-shaped grooves at regular intervals;
Forming a dry film resist so as to embed the plurality of slot-like grooves on the main surface of the metal substrate; and
The dry film resist is exposed and developed, and in the non-formation region of the plurality of slot-shaped grooves in the metal substrate of the dry film resist, a first direction along the one side, and the first direction Forming a plurality of cylindrical through-holes through the dry film resist so as to be arranged in a second direction orthogonal to each other ;
Plating the plurality of cylindrical through-holes, and filling each of the plurality of cylindrical through-holes with a plating material; and
Forming an insulating material on the entire surface of the metal substrate so as to cover the plurality of plating materials remaining on the metal substrate after peeling the dry film resist;
Exposing a dry film resist to remove portions of the back side, said plurality of slots shaped groove is opened embedded in said plurality of slot-like in the groove in the thickness direction of the metal substrate,
Wherein after forming a dry film resist on the insulating material, exposed and developed, a plurality of circular portion centered on said plurality of plating material,及beauty of the previous SL plurality of circular portions, adjacent to the first direction Forming a mask covering a strip portion defined so as to divide the circular portions to be separated at equal intervals and exposing the remainder;
Performing a plating process through the mask, and forming a plurality of strip electrodes each having a plurality of openings centered on the plurality of plating materials on the insulating material,
Gas amplification including a plurality of pixel electrodes composed of the plurality of the plurality of strips cathode made of strip electrodes, a plurality of strip anode to the plurality of slot-like groove portion is made of the metal substrate having an opening, and said plurality of plated material The present invention relates to a method for manufacturing a radiation detector using gas amplification, characterized by manufacturing a radiation detector using a gas.
本発明によれば、後にガス増幅を利用した放射線検出器のストリップ陽極電極となる複数のスロット状溝部が形成されたメタル基板上にドライフィルムレジストを形成し、このドライフィルムレジストの、複数のスロット状溝部の非形成領域に露光現像処理を施し、ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成し、これら複数の貫通孔に対してめっき処理を施してめっき材で充填するようにしている。また、複数の貫通孔は、メタル基板に形成された複数のスロット状溝部の形成方向及び当該形成方向と直交する方向において形成されているので、上記めっき材も同様にして形成されることになる。 According to the present invention, a dry film resist is formed on a metal substrate on which a plurality of slot-like grooves that will later become strip anode electrodes of a radiation detector using gas amplification is formed, and the plurality of slots of the dry film resist are formed. A non-formed region of the groove is exposed and developed to form a plurality of cylindrical through holes through the dry film resist, and the plurality of through holes are plated and filled with a plating material. I have to. Further, since the plurality of through holes are formed in the direction in which the plurality of slot-shaped grooves formed in the metal substrate are formed and in the direction perpendicular to the forming direction, the plating material is formed in the same manner. .
したがって、めっき材は、ストリップ陽極電極であるメタル基板と接触し、その配列パターンの構成、すなわち、ストリップ陽極電極を構成するメタル基板のストリップ残部と、平行かつ直交するように配列されていることからピクセル電極として使用することができる。 Therefore, the plating material is in contact with the metal substrate which is the strip anode electrode, and is arranged so as to be parallel and orthogonal to the configuration of the arrangement pattern, that is, the remaining strip of the metal substrate constituting the strip anode electrode. It can be used as a pixel electrode.
また、ドライフィルムレジストに形成した円柱状の貫通孔は、当該ドライフィルムレジストに対して露光現像処理を行って形成したものである。このようにして形成した貫通孔は、その壁面が平滑であるとともに厚さ方向の径が均一であり、また微細化が容易である。このため、上述のような貫通孔内にめっき処理によって充填しためっき材は、大きさが均一であるとともに微細なものとすることができる。このため、本発明によれば、均一かつ微細にピクセル電極を形成することができ、その高精細化を図ることができる。 Moreover, the cylindrical through-hole formed in the dry film resist is formed by performing exposure and development processing on the dry film resist. The through hole thus formed has a smooth wall surface, a uniform diameter in the thickness direction, and can be easily miniaturized. For this reason, the plating material filled in the through-holes as described above by plating treatment can be uniform in size and fine. Therefore, according to the present invention, the pixel electrodes can be formed uniformly and finely, and the definition thereof can be increased.
なお、ストリップ陰極電極は、上記ピクセル電極(めっき材)を覆うようにして絶縁材を形成し、この絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に露光現像し、上記ピクセル電極(めっき材)を中心とした複数の円形部分、及びストリップ陽極電極を構成するメタル基板の残部の配列方向と直交する方向に配列した複数の円形部分の、隣接して配列された円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成した後、このマスクを介してめっき処理を行って形成するようにしている。この結果、絶縁材上に、それぞれが複数のピクセル電極(めっき材)を中心とした複数の開口部を有する複数のストリップ陰極電極を形成することができる。 The strip cathode electrode is formed by forming an insulating material so as to cover the pixel electrode (plating material), and after forming a dry film resist on the insulating material, exposure and development are performed to center the pixel electrode (plating material). The adjacent circular portions of the plurality of circular portions arranged in the direction orthogonal to the arrangement direction of the remaining metal substrate constituting the strip anode electrode are divided at equal intervals. After forming a mask that covers the strip portion defined in FIG. 4B and exposes the remaining portion, plating is performed through this mask. As a result, a plurality of strip cathode electrodes each having a plurality of openings centered on a plurality of pixel electrodes (plating materials) can be formed on the insulating material.
また、ストリップ陽極電極は、上記メタル基板に形成した複数のスロット状溝部を、メタル基板の厚さ方向における裏面側を除去することによって開口させることにより得た、メタル基板のストリップ残部から構成することができる。 Further, the strip anode electrode is constituted by the strip remainder of the metal substrate obtained by opening the plurality of slot-shaped grooves formed in the metal substrate by removing the back surface side in the thickness direction of the metal substrate. Can do.
以上のように、本発明によれば、ピクセル電極を均一かつ微細に形成して高精細化を図ることができるので、検出感度の高いガス増幅を利用した放射線検出器を提供することができる。 As described above, according to the present invention, pixel electrodes can be formed uniformly and finely to achieve high definition, so that a radiation detector using gas amplification with high detection sensitivity can be provided.
以上説明したように、本発明によれば、ストリップ陰極電極、ストリップ陽極電極、及びストリップ陽極電極と接続されているピクセル電極を有するガス増幅を利用した放射線検出器において、特にピクセル電極を均一かつ微細に形成して高精細化を図り、上記放射線検出器の検出感度を増大させることができる。 As described above, according to the present invention, in a radiation detector using gas amplification having a strip cathode electrode, a strip anode electrode, and a pixel electrode connected to the strip anode electrode, the pixel electrode is particularly uniform and fine. In order to increase the definition, the detection sensitivity of the radiation detector can be increased.
以下、本発明の特徴及びその他の利点について、発明を実施するための形態に基づいて説明する。 Hereinafter, the features and other advantages of the present invention will be described based on embodiments for carrying out the invention.
図1〜図10は、本実施形態のガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法における工程図である。なお、これらの図においては、本実施形態における製造方法の特徴を明確にすべく、製造過程にある放射線検出器の一部を拡大して示している。 1 to 10 are process diagrams in a method of manufacturing a radiation detector using gas amplification according to this embodiment. In these drawings, in order to clarify the features of the manufacturing method in the present embodiment, a part of the radiation detector in the manufacturing process is shown enlarged.
最初に、図1に示すように、主面及び裏面が矩形状(長方形あるいは正方形)であって、厚さ方向に垂直な断面積が均一な板状、すなわち四角柱形状のメタル基板11を準備する。このメタル基板11は、後に放射線検出器のストリップ陽極電極を構成するものであるため、電気的良導体の金属、例えば銅、金、銀、アルミニウム等から構成する。しかしながら、一般には安価であって、放射線検出器の電極材料として長年に亘って用いられ、高い信頼性を有する銅から構成する。
First, as shown in FIG. 1, a
また、メタル基板11は、後に説明するように、厚さ方向における裏面側の部分を除去して放射線検出器のストリップ陽極電極を構成するものであるため、その厚さt1は適宜設定することができるが、上記除去工程を簡易に行うことができ、以下に説明する露光現像処理の際の撓み等を防止し、当該処理を正確に行うという観点から、例えば100μm〜500μmとする。
Further, as will be described later, since the
次いで、図2に示すように、板状のメタル基板11の互いに平行であって相対向する一対の辺11A、11Bに沿うとともに、厚さ方向に貫通するようにして複数のスロット状の溝部11Dを形成する。複数のスロット状溝部11Dは、これら溝部11Dを形成した後のメタル基板11の残部が、以下に説明する加工を経た後、上述したストリップ陽極電極を構成するため、一定の間隔pで形成する。なお、間隔pは、例えば100μm〜250μmの範囲で形成する。
Next, as shown in FIG. 2, a plurality of slot-
また、溝部11Dは汎用の技術、例えばイオンミリングのような物理エッチングやドライエッチング、ウェットエッチングなどのエッチング、あるいはレーザ加工等によって形成することができる。
The
メタル基板11の主面及び裏面が長方形あるいは正方形以外の矩形状であって、相対向する一対の辺11A、11Bが互いに非平行である場合は、いずれか一方の辺に沿うようにして複数のスロット状溝部11Dを形成する。この場合、複数のスロット状溝部11Dと非平行な部分が、メタル基板11の残部中に含まれるようになるが、当該部分は、例えばメタル基板11に複数のスロット状溝部11Dを形成した後に適宜切断して除去することができる。
When the main surface and the back surface of the
なお、本実施形態では、複数のスロット状溝部11Dを形成する際に、一対の辺11A,11Bと直交する辺11Cに沿った外縁部111を残存させるようにしているが、外縁部111は、ガス増幅を利用した放射線検出器においては必要ない部分であるので、例えば、以下に説明するように、メタル基板11上に絶縁材を形成してメタル基板の残部が固定された後は、適宜切削等により除去することができる。但し、上記ガス増幅を利用した放射線検出器の動作において特に悪影響を与えるものではないので、そのまま残存させてもよい。
In the present embodiment, when the plurality of slot-
次いで、図3に示すように、複数のスロット状溝部11Dを形成した後、メタル基板11の裏面側に保護フィルム12を貼付し、メタル基板11の主面側に複数のスロット状溝部11Dを埋設するようにしてドライフフィルムレジスト13を形成する。
Next, as shown in FIG. 3, after forming a plurality of slot-
保護フィルム12は、メタル基板11を以下に説明するような工程に従って加工する際に、メタル基板11の裏面に対する損傷を防止するためのものであり、使用する薬液に対する溶解から保護するためのものである。このような保護フィルム12としては、ポリイミドフィルムやPETフィルム等汎用の保護フィルムを用いることもできるし、安価なポリプロピレンフィルム等のようにポリオレフィン系のフィルムを用いることもできる。
The
また、メタル基板11の硬度が高く、その結果、外傷を受けにくく、さらに薬液に対する耐性も高いような場合は、特に保護フィルム12を用いる必要はない。
Moreover, when the hardness of the
ドライフィルムレジスト13は、例えば保護フィルム及び支持フィルムで感光性の樹脂層を狭持したような汎用のものを用いることができ、旭化成/SUNFORT、DuPont/MPF、日立化成/ファテック及びニチゴーモートン/NITなどを用いることができる。 As the dry film resist 13, for example, a general-purpose film having a photosensitive resin layer sandwiched between a protective film and a support film can be used. Asahi Kasei / SUNFORT, DuPont / MPF, Hitachi Chemical / Fatek and Nichigo Morton / NIT Etc. can be used.
なお、ドライフィルムレジスト13の厚さt2は、後に形成するピクセル電極の高さを画定するものであるので、当該高さを考慮して決定するが、通常は数十μmのオーダである。 The thickness t2 of the dry film resist 13 defines the height of the pixel electrode to be formed later, and is determined in consideration of the height, but is usually on the order of several tens of μm.
次いで、図4に示すように、ドライレジストフィルム13に対して露光現像処理を行い、ドライレジストフィルム13の、メタル基板11の複数のスロット状溝部11Dの非形成領域、すなわちメタル基板11の残部上において、一対の辺11A,11Bに沿うとともに、これら一対の辺11A,11Bと直交する方向11Cに沿うようにして、複数の円柱状の貫通孔13Hを形成する。
Next, as shown in FIG. 4, the dry resist
なお、ドライフィルムレジスト13の貫通孔13Hの径d1は、後に形成するピクセル電極の径を画定するものであるので、当該径を考慮して決定するが、通常は数十μmのオーダである。
The diameter d1 of the through
次いで、図5に示すように、ドライフィルムレジスト13に形成した複数の円柱状の貫通孔13Hに対してめっき処理を施し、これら貫通孔13H内にそれぞれめっき材14を充填する。めっき処理は汎用の方法を用いることができ、例えば無電解めっきによって複数の貫通孔13H内にめっき下地層(シード層)を形成した後、電解めっきを行うことによってめっき材14を充填する。シード層がなくてもメタル基板に電解めっきを施せる。
Next, as shown in FIG. 5, the plurality of cylindrical through
めっき材14は、後にピクセル電極を構成するので、電気的良導体の金属、例えば銅、金、銀、アルミニウム等から構成する。しかしながら、一般には安価であって、放射線検出器の電極材料として長年に亘って用いられ、高い信頼性を有する銅から構成する。
Since the
次いで、図6に示すように、ドライフィルムレジスト13を剥離して複数のめっき材14を露出させた後、図7に示すように、メタル基板11上に、露出した複数のめっき材14を覆うようにして絶縁材16を形成する。
Next, as shown in FIG. 6, after the dry film resist 13 is peeled to expose the plurality of plating
絶縁材16は、後に放射線検出器のストリップ陽極電極及びストリップ陰極電極間を電気的に絶縁する絶縁層となるものであり、エポキシ樹脂を主成分とするポッティングレジンやトランスファーモールドレジン、さらには液状封止材、一括封止成形用テープ及び高耐熱コーティング材等のモールド樹脂を形成、又はエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂のシート状のプリプレグを貼付することによって形成する。なお、絶縁材16の厚さt3は、通常は数十μmから数百μmのオーダである。
The insulating
なお、上述のようにして形成した絶縁材16は、必要に応じてプラズマ照射や加熱することによって乾燥させる。また、絶縁材16の表面が凸凹であって、10μmオーダの表面粗さを有しているような場合は、適宜研磨処理を行って平滑にする。一方、絶縁材16の表面には再度ドライフィルムレジストを形成するので、当該ドライフィルムレジストと絶縁材16との密着性が向上するように、例えば絶縁材16の表面を表面粗さが1μm程度となるように粗化処理を行ってもよい。
The insulating
次いで、図8に示すように、メタル基板11の厚さ方向における裏面側の部分11Eを除去し、複数のスロット状の溝部11Dを開口させる。これによって、メタル基板11のストリップ残部は、ストリップ残部11D内に埋設したドライフィルムレジスト13によって分断され、電気的に絶縁されるようになる。
Next, as shown in FIG. 8, the
上記除去は、例えばイオンミリングのような物理エッチングやドライエッチング、ウェットエッチングなどのエッチング、あるいはレーザ加工等によって行うことができる。 The removal can be performed by physical etching such as ion milling, etching such as dry etching or wet etching, laser processing, or the like.
なお、メタル基板11の厚さ方向における裏面側の部分の除去は、例えば図3に示すように、ドライフィルムレジスト13を塗布した後に行うこともできるし、図4に示すようにドライフィルムレジスト13に対して複数の円柱状の貫通孔13Hを形成した後に行うこともできる。さらに、図5に示すように、貫通孔13H内にめっき材14を充填した後に行うこともできる。
The removal of the portion on the back surface side in the thickness direction of the
しかしながら、これらの場合、上述したメタル基板11の裏面側部分を除去する際に、ドライフィルムレジスト13を損傷したり、円柱状の貫通孔13Hの形状変化を生じたりする場合があり、また、めっき材14の一部が欠けてしまうような場合がある。
However, in these cases, when the back surface side portion of the
以下に説明するように、ストリップ電極を形成するためのドライフィルムレジストからなるマスクを形成した後、あるいはガス増幅を用いた放射線検出器を完成させた後に、メタル基板11の裏面側部分を除去することもできる。しかしながら、この場合、上記マスクを損傷してしまい、ストリップ電極を高精度に作製することができないと問題が生じたり、放射線検出器のストリップ陰極電極及びピクセル電極を損傷させたりという問題が生じる場合がある。
As described below, after forming a mask made of a dry film resist for forming strip electrodes, or after completing a radiation detector using gas amplification, the back side portion of the
次いで、図9に示すように、絶縁材16上に、上記同様にしてドライフィルムレジストを形成した後、露光現像処理を施し、複数のめっき材14を中心とした複数の円形部分、及びメタル基板11の辺11Cに沿って配列した上記複数の円形部分の、隣接して配列された円形部分同士を等間隔Wで分断するように画定されたストリップ部分を覆い、残部を露出させたマスク17を形成する。
Next, as shown in FIG. 9, after a dry film resist is formed on the insulating
次いで、図10に示すように、マスク17を介してめっき処理を行い、絶縁材16上に、それぞれが複数のめっき材14を中心とした複数の開口部23Oを有する複数のストリップ電極23を形成する。
Next, as shown in FIG. 10, a plating process is performed through a
複数のストリップ電極23はそのまま複数のストリップ陰極電極を構成し、上述したように、メタル基板11の残部は複数のストリップ陽極電極21を構成する。また、めっき材14は複数のストリップ陽極電極21から上方に延在し、複数のストリップ陰極電極23の開口部23Oに上部が露出した複数のピクセル電極24を構成する。さらに、絶縁材16は、上述したように、複数のストリップ陽極電極21と複数のストリップ陰極電極23とを電気的に絶縁する絶縁層22を構成する。この結果、目的とするガス増幅を用いた放射線検出器20を得ることができる。
The plurality of
なお、メタル基板11に形成され、裏面側が開口した複数のスロット状溝部11D内には、図4に示す工程において、ドライフィルムレジスト13が埋設されている。したがって、メタル基板11の残部からなる複数のストリップ陽極電極21は、隣接するストリップ陽極電極21同士がドライフィルムレジスト13によって電気的に絶縁されており、それぞれのストリップ陽極電極21は電気的に短絡することがない。このため、各ストリップ陽極電極21は、放射線検出器20の陽極電極として機能することができる。
In the step shown in FIG. 4, a dry film resist 13 is embedded in a plurality of slot-shaped
なお、メタル基板11の外縁部111はガス増幅を用いた放射線検出器20において必要ない箇所であるので、適宜削除することもできるし、そのまま残存させることもできるが、本実施形態では残存させるようにしている。
Since the
本実施形態では、後にガス増幅を利用した放射線検出器20の複数のストリップ陽極電極21を構成するメタル基板11上にドライフィルムレジスト13を形成し、このドライフィルムレジスト13の、複数のスロット状貫通孔溝部11Dの非形成領域、すなわちメタル基板11の残部上に露光現像処理を施し、ドライフィルムレジスト13を貫通して複数の円柱状の貫通孔13Hを形成し、これら複数の貫通孔13Hに対してめっき処理を施してめっき材14で充填し、当該めっき材14からピクセル電極24を構成するようにしている。
In the present embodiment, a dry film resist 13 is formed on the
上述した複数の円柱状の貫通孔13Hは、その壁面が平滑であるとともに厚さ方向の径が均一であり、また微細化が容易である。このため、上述のような貫通孔13H内にめっき処理によって充填しためっき材14は、大きさが均一であるとともに微細なものとすることができる。したがって、めっき材14からなるピクセル電極24も大きさが均一であるとともに微細なものとすることができ、その高精細化を図ることができる。したがって、放射線検出器20の検出感度を向上させることができる。
The plurality of columnar through
具体的には、ピクセル電極24の径を20μm以下であって、高さが50μm以上の微細かつ高アスペクト比のピクセル電極24を形成することができる。なお、ピクセル電極24の径の下限値は、ドライフィルムレジスト13に対する露光現像処理における光の回折限界によって決定されるものであり、使用する光源の波長に依存する。現状では、その下限値は15μm程度である。一方、ピクセル電極24を高精度に形成するための高さの限界は、使用する光源の強度及びドライフィルムレジスト13の材料組成に依存するが、例えば100μm程度である。
Specifically, the
以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 The present invention has been described in detail based on the above specific examples. However, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.
11 板状のメタル基板
11D スロット状の溝部
12 保護フィルム
13 ドライフィルムレジスト
13H 円柱状の貫通孔
14 めっき材
16 絶縁材
17 ドライフィルムレジストのマスク
20 ガス増幅を用いた放射線検出器
21 ストリップ陽極電極
22 絶縁層
23 ストリップ陰極電極
24 ピクセル電極
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記メタル基板において、前記メタル基板の少なくとも一辺に沿うとともに、複数のスロット状の溝部を一定の間隔で形成する工程と、
前記メタル基板の主面上において、前記複数のスロット状の溝部を埋設するようにしてドライフィルムレジストを形成する工程と、
前記ドライフィルムレジストを露光現像して、前記ドライフィルムレジストの、前記メタル基板における前記複数のスロット状の溝部の非形成領域において、前記一辺に沿った第1の方向、及び当該第1の方向と直交する第2の方向にそれぞれ配列されるように、前記ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成する工程と、
前記複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、前記複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する工程と、
前記ドライフィルムレジストを剥離した後、前記メタル基板上において残存する複数の前記めっき材を覆うように前記メタル基板上全面に絶縁材を形成する工程と、
前記メタル基板の厚さ方向における裏面側の部分を除去し、前記複数のスロット状の溝部を開口させて前記複数のスロット状の溝部内に埋設したドライフィルムレジストを露出させる工程と、
前記絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に、露光現像し、前記複数のめっき材を中心とした複数の円形部分、及び前記複数の円形部分のうちの、前記第1の方向に隣接する円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成する工程と、
前記マスクを介してめっき処理を行い、前記絶縁材上に、それぞれが前記複数のめっき材を中心とした複数の開口部を有する複数のストリップ電極を形成する工程とを具え、
前記複数のストリップ電極からなる複数のストリップ陰極電極、前記複数のスロット状の溝部が開口した前記メタル基板からなる複数のストリップ陽極電極、及び前記複数のめっき材からなる複数のピクセル電極を含むガス増幅を利用した放射線検出器を製造することを特徴とする、ガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法。 Preparing a plate-shaped metal substrate;
In the metal substrate, along the at least one side of the metal substrate, and forming a plurality of slot-shaped grooves at regular intervals;
Forming a dry film resist so as to embed the plurality of slot-like grooves on the main surface of the metal substrate; and
The dry film resist is exposed and developed, and in the non-formation region of the plurality of slot-shaped grooves in the metal substrate of the dry film resist, a first direction along the one side, and the first direction Forming a plurality of cylindrical through-holes through the dry film resist so as to be arranged in a second direction orthogonal to each other ;
Plating the plurality of cylindrical through-holes, and filling each of the plurality of cylindrical through-holes with a plating material; and
Forming an insulating material on the entire surface of the metal substrate so as to cover the plurality of plating materials remaining on the metal substrate after peeling the dry film resist;
Exposing a dry film resist to remove portions of the back side, said plurality of slots shaped groove is opened embedded in said plurality of slot-like in the groove in the thickness direction of the metal substrate,
Wherein after forming a dry film resist on the insulating material, exposed and developed, a plurality of circular portion centered on said plurality of plating material,及beauty of the previous SL plurality of circular portions, adjacent to the first direction Forming a mask covering a strip portion defined so as to divide the circular portions to be separated at equal intervals and exposing the remainder;
Performing a plating process through the mask, and forming a plurality of strip electrodes each having a plurality of openings centered on the plurality of plating materials on the insulating material,
Gas amplification including a plurality of pixel electrodes composed of the plurality of the plurality of strips cathode made of strip electrodes, a plurality of strip anode to the plurality of slot-like groove portion is made of the metal substrate having an opening, and said plurality of plated material A method of manufacturing a radiation detector using gas amplification, characterized by manufacturing a radiation detector using a gas.
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