JP6323531B2

JP6323531B2 - Radiation detector using gas amplification

Info

Publication number: JP6323531B2
Application number: JP2016209769A
Authority: JP
Inventors: 本村　知久; 知久本村
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2016-10-26
Filing date: 2016-10-26
Publication date: 2018-05-16
Anticipated expiration: 2032-03-16
Also published as: JP2017015740A

Description

本発明は、ピクセル型電極によるガス増幅を用いた放射線検出器に関する。 The present invention relates to a radiation detector using gas amplification by a pixel-type electrode.

ガス増幅を利用した放射線検出器として、従来、ピクセル型の放射線検出器が用いられてきた。この放射線検出器は、例えば両面プリント基板の表面にストリップ状陰極電極が形成されるとともに、裏面に陽極ストリップが形成され、ストリップ状陰極電極には、一定間隔に開口部が形成されるとともに、開口部の中心には裏面の陽極ストリップと接続されている円柱状陽極電極、すなわちピクセル電極が形成されたような構成を採っている。 Conventionally, a pixel type radiation detector has been used as a radiation detector utilizing gas amplification. In this radiation detector, for example, a strip-like cathode electrode is formed on the surface of a double-sided printed circuit board, an anode strip is formed on the back surface, and openings are formed at regular intervals in the strip-like cathode electrode. A cylindrical anode electrode connected to the anode strip on the back surface, that is, a pixel electrode is formed at the center of the part.

なお、放射線検出器は、例えばＡｒとエタンとの混合ガス中に配置される。また、前記ピクセル電極と前記ストリップ状陰極電極との間には所定の電圧が印加されている。 The radiation detector is disposed, for example, in a mixed gas of Ar and ethane. A predetermined voltage is applied between the pixel electrode and the strip-like cathode electrode.

上記放射線検出器においては、所定の放射線が前記検出器内に入射すると、前記ガスが電離して陰イオンを生成し、この陰イオンは、上記ストリップ状陰極電極と上記ピクセル電極との間に印加された高電圧、及び上記ピクセル電極の点電極としての形態（形状異方性）に起因して生成される強力な電場によって、陰イオンの雪崩増幅を引き起こす。一方、雪崩増幅によって生じた正イオンは、周囲の前記ストリップ状陰極電極に向けてドリフトする。 In the radiation detector, when a predetermined radiation is incident on the detector, the gas is ionized to generate an anion, and the anion is applied between the strip-like cathode electrode and the pixel electrode. An avalanche amplification of negative ions is caused by the generated high voltage and the strong electric field generated due to the shape (shape anisotropy) of the pixel electrode as a point electrode. On the other hand, positive ions generated by avalanche amplification drift toward the surrounding strip-shaped cathode electrode.

この結果、対象となる前記ストリップ状陰極電極及び前記ピクセル電極に、それぞれ正イオン及び陰イオンとがチャージされる。この電荷が生成された前記ストリップ状陰極電極及び前記ピクセル電極の位置を検出することによって、前記放射線の前記検出器における入射位置を特定することができ、前記放射線の検出が可能となる（特許文献１）。 As a result, positive ions and negative ions are charged to the strip-like cathode electrode and the pixel electrode, respectively. By detecting the positions of the strip-like cathode electrode and the pixel electrode where the charges are generated, the incident position of the radiation in the detector can be specified, and the radiation can be detected (Patent Document). 1).

一方、原子核等基礎的な物理学研究だけでなく、材料研究や生物医療研究などさまざまな研究において中性子が利用されている。このような中性子を得るためには、従来、主に研究用原子炉が用いられてきたが、近年では、加速器から出てくる粒子ビームをターゲットに当てて中性子を発生させる方法も採られている（非特許文献１）。 On the other hand, neutrons are used not only in basic physics research such as nuclei, but also in various research such as materials research and biomedical research. In order to obtain such neutrons, research reactors have been mainly used in the past, but in recent years, a method of generating neutrons by applying a particle beam emitted from an accelerator to a target has been adopted. (Non-Patent Document 1).

上述のようにして得た中性子を上述したような研究において実際に用いるためには、中性子の飛跡を知ることが重要である。しかしながら、中性子の飛跡を知るための有効な手段が現状では開発されておらず、この点からも、中性子の上述した分野での応用を困難なものとしている。 In order to actually use the neutrons obtained as described above in the above-described research, it is important to know the tracks of neutrons. However, no effective means for knowing the tracks of neutrons has been developed at present, and this also makes it difficult to apply neutrons in the above-mentioned fields.

特開２００２−６０４７号JP 2002-6047

次世代DDS型悪性腫瘍治療システムの研究開発事業／中性子補足療法(BNCT)（事後評価）分科会、資料6-2Research and development of next-generation DDS type malignant tumor treatment system / Neutron supplement therapy (BNCT) (subsequent evaluation) subcommittee, Appendix 6-2

本発明は、中性子等の粒子線の飛跡を検知できるような新規な構成の放射線検出器を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the radiation detector of a novel structure which can detect the track of particle beams, such as neutrons.

上記目的を達成すべく、本発明は、絶縁部材の第１の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン、及び前記絶縁部材の前記第１の面と反対側に位置する第２の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記開口部の略中心部に先端が露出してなる凸状部を有する第２の電極パターンを含む複数のピクセル型電極を、それぞれが有する複数の放射線検出器ユニットと、前記複数の放射線検出器ユニットが互いに隣接するようにして平面の同一方向に配設された配線基板と、前記複数の放射線検出器ユニットそれぞれを前記配線基板と電気的に接続するための第１の導電性部材と、隣接する前記放射線検出器ユニットを電気的に接続するための第２の導電性部材と、前記複数の検出器ユニットを覆うようにして設けられた保護カバーと、を備え、前記放射線検出器ユニットは、前記第１の電極パターンから延在するように形成された第１のパッドと、前記第２の電極パターンから前記絶縁部材内を貫通するように形成された層間接続体を介して、前記絶縁部材の第１の面上に形成された第２のパッドとを有し、前記配線基板は、第１の面に前記第１のパッドまたは前記第２のパッドと対向するように設けられた第３のパッドを有し、前記第１の導電性部材は、前記第１のパッドまたは前記第２のパッドと、前記第３のパッドを接続し、前記第２の導電性部材は、隣接する放射線検出器ユニットの前記第１のパッドどうしを接続する、ことを特徴とするガス増幅を用いた放射線検出器である。 In order to achieve the above object, the present invention provides a first electrode pattern formed on a first surface of an insulating member and having a plurality of circular openings, and the first surface of the insulating member. And has a convex portion that penetrates the insulating member and has a tip exposed at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern. A plurality of radiation detector units each having a plurality of pixel-type electrodes including a second electrode pattern, and a wiring board disposed in the same plane direction so that the plurality of radiation detector units are adjacent to each other A first conductive member for electrically connecting each of the plurality of radiation detector units to the wiring board, and a second conductivity for electrically connecting the adjacent radiation detector units. Members and said A protective cover provided so as to cover a number of detector units, wherein the radiation detector unit includes a first pad formed to extend from the first electrode pattern, and the first A second pad formed on the first surface of the insulating member through an interlayer connector formed so as to penetrate the insulating member from the two electrode patterns; , Having a third pad provided on the first surface so as to face the first pad or the second pad, wherein the first conductive member is the first pad or the second pad. 2 and the third pad are connected, and the second conductive member connects the first pads of adjacent radiation detector units. It is a radiation detector.

本発明の放射線検出器によれば、絶縁部材の第１の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン、及び前記絶縁部材の前記第１の面と反対側の第２の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記開口部の略中心部に先端が露出してなる凸状部を有する第２の電極パターンを含む複数のピクセル型電極を有する従来の放射性検出器を、単一の放射線検出器ユニットとし、このような放射線検出器ユニットを複数準備する。次いで、複数の放射線検出器ユニットを互いに隣接するようにして配線基板上の同一方向となるように搭載するとともに、各放射線検出器ユニットを配線基板と第１の導電性部材によって電気的に接続するようにし、隣接する放射線検出器ユニット同士を第２の導電性部材によって電気的に接続するようにしている。 According to the radiation detector of the present invention, the first electrode pattern formed on the first surface of the insulating member and having a plurality of circular openings, and the first surface of the insulating member; A second portion formed on the second surface on the opposite side and having a convex portion penetrating the insulating member and having a tip exposed at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern; A conventional radiation detector having a plurality of pixel-type electrodes including an electrode pattern is used as a single radiation detector unit, and a plurality of such radiation detector units are prepared. Next, the plurality of radiation detector units are mounted so as to be adjacent to each other in the same direction on the wiring board, and each radiation detector unit is electrically connected to the wiring board by the first conductive member. Thus, the adjacent radiation detector units are electrically connected by the second conductive member.

複数の放射線検出器ユニットには、それぞれ配線基板の表面あるいは内部に形成された配線パターン、第１の導電性部材を介して、外部から高電圧が印加される。このため、配線基板は、各放射線検出器ユニットに対して共通の高電圧印加系及び信号読み出し系として機能するようになる。この結果、各放射線検出器ユニットは、高電圧印加系及び信号読み出し系である配線基板を共有することになり、この配線基板によって、各放射線検出器ユニットは互いに同期するようにして高電圧印加及び信号読み出しができるようになる。 A high voltage is applied to the plurality of radiation detector units from the outside via a wiring pattern and a first conductive member formed on the surface or inside of the wiring board, respectively. For this reason, the wiring substrate functions as a common high voltage application system and signal readout system for each radiation detector unit. As a result, each radiation detector unit shares a wiring board which is a high voltage application system and a signal readout system. By this wiring board, each radiation detector unit is synchronized with each other and applied with a high voltage. The signal can be read out.

また、各放射線検出器ユニットは第１の導電性部材によって配線基板に電気的に接続され、第２の導電性部材によって互いに電気的に接続されている。したがって、各放射線検出器ユニットに印加すべき電圧を互いに等しくすることができ、また、各放射線検出器ユニットの検出感度を互いに等しくすることができる。 Each radiation detector unit is electrically connected to the wiring board by a first conductive member and electrically connected to each other by a second conductive member. Therefore, the voltages to be applied to the respective radiation detector units can be made equal to each other, and the detection sensitivities of the respective radiation detector units can be made equal to each other.

一方、複数の放射線検出器ユニットは上記配線基板上において同一方向に配設されており、例えば、これら放射線検出器ユニット上を中性子等の粒子線を通過させることにより、各放射線検出器ユニット上においては、当該粒子線の通過に伴って陰イオンの雪崩現象が生じ、この際に生成する陰イオンが各放射線検出器ユニットのピクセル型電極で検出され、その位置が特定される。したがって、このような放射線検出器ユニットを同一方向に配設することによって、各放射線検出器ユニットで粒子線の位置が検出されることに基づき、粒子線の飛跡が検出できるようになる。 On the other hand, a plurality of radiation detector units are arranged in the same direction on the wiring board. For example, by passing particle beams such as neutrons over these radiation detector units, The anion avalanche phenomenon occurs with the passage of the particle beam, and the anion generated at this time is detected by the pixel electrode of each radiation detector unit, and the position thereof is specified. Therefore, by arranging such radiation detector units in the same direction, the track of the particle beam can be detected based on the position of the particle beam detected by each radiation detector unit.

なお、同一方向に配設すべき複数の放射線検出器ユニットの数は、必要に応じて任意の数とすることができる。 In addition, the number of the several radiation detector units which should be arrange | positioned in the same direction can be made into arbitrary numbers as needed.

本発明の一例において、第１の導電性部材及び第２の導電性部材の少なくとも一方はワイヤー部材とすることができる。この場合、放射線検出器ユニットと配線基板との電気的接続、及び放射線検出器ユニット間の電気的接続の少なくとも一方は、ワイヤーボンディングなる簡易かつ汎用の技術を用いて行うことができる。なお、この場合においては、ワイヤーのボンディングを固定し、さらには隣接したワイヤー同士の電気的接触等を防止すべく、樹脂で封止することが好ましい。 In an example of the present invention, at least one of the first conductive member and the second conductive member can be a wire member. In this case, at least one of the electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board and the electrical connection between the radiation detector units can be performed using a simple and general-purpose technique of wire bonding. In this case, it is preferable to seal with a resin in order to fix the bonding of the wire and further prevent electrical contact between adjacent wires.

また、本発明の一例において、第１の導電性部材及び第２の導電性部材の少なくとも一方は、主面上にストリップ状の配線パターンが形成されてなるフレキシブル配線基板とすることができる。この場合、放射線検出器ユニットと配線基板との電気的接続、及び放射線検出器ユニット間の電気的接続の少なくとも一方は、フレキシブル配線基板のストリップ状の配線パターンを介して行われることになる。ストリップ状の配線パターンは、フレキシブル配線基板の基板によって保護されるので、ワイヤーボンディングなどの場合のように、隣接した配線間等における電気的接触等は自ずから防止される。しかしながら、放射線検出器ユニット及び配線基板との接続部における結合力を保持するために、例えば、異方性導電樹脂を介して放射線検出器ユニット及び配線基板に接続することが好ましい。 In an example of the present invention, at least one of the first conductive member and the second conductive member can be a flexible wiring board in which a strip-shaped wiring pattern is formed on the main surface. In this case, at least one of the electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board and the electrical connection between the radiation detector units is performed via the strip-like wiring pattern of the flexible wiring board. Since the strip-like wiring pattern is protected by the substrate of the flexible wiring board, electrical contact between adjacent wirings is naturally prevented as in the case of wire bonding or the like. However, in order to maintain the coupling force at the connection portion between the radiation detector unit and the wiring board, for example, it is preferable to connect to the radiation detector unit and the wiring board via an anisotropic conductive resin.

特に限定されるものではないが、例えば放射線検出器ユニットと配線基板との電気的な接続は、放射線検出器ユニットのピクセル電極から延在するようにして形成されたパッドと、配線基板に形成されたパッドとの間で行われる。 Although not particularly limited, for example, the electrical connection between the radiation detector unit and the wiring board is formed on the wiring board and a pad formed so as to extend from the pixel electrode of the radiation detector unit. It is done between the pads.

以上説明したように、本発明によれば、中性子等の粒子線の飛跡を検知できるような新規な構成の放射線検出器を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a radiation detector having a novel configuration capable of detecting the track of particle beams such as neutrons.

本発明の放射線検出器の一例における概略構成を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows schematic structure in an example of the radiation detector of this invention. 図１に示す放射線検出器の平面図である。It is a top view of the radiation detector shown in FIG. 図１及び図２に示す放射線検出器の、放射線検出器ユニットの一つを拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which expands and shows one of the radiation detector units of the radiation detector shown in FIG.1 and FIG.2. 本発明の放射線検出器の他の例における概略構成を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows schematic structure in the other example of the radiation detector of this invention. 図４に示す放射線検出器の平面図である。It is a top view of the radiation detector shown in FIG. 図４及び図５に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIG.4 and FIG.5. 図４及び図５に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板による接合部を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the junction part by the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIG.4 and FIG.5.

以下、本発明の特徴及びその他の利点について、発明を実施するための形態に基づいて説明する。 Hereinafter, the features and other advantages of the present invention will be described based on embodiments for carrying out the invention.

（第１の実施形態）
図１は、本発明の放射線検出器の一例における概略構成を示す側断面図であり、図２は、図１に示す放射線検出器の平面図である。また、図３は、図１及び図２に示す放射線検出器の、放射線検出器ユニットの一つを拡大して示す斜視図である。なお、本実施形態における放射線検出器の特徴を明確にすべく、図２においては、図１に示す封止樹脂及び保護カバーについては記載を省略している。 (First embodiment)
FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration in an example of the radiation detector of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the radiation detector shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged perspective view showing one of the radiation detector units of the radiation detector shown in FIGS. 1 and 2. In order to clarify the characteristics of the radiation detector in this embodiment, the sealing resin and the protective cover shown in FIG. 1 are not shown in FIG.

図１及び図２に示すように、本実施形態における放射線検出器１０は、１２の放射線検出器ユニット１１−１、１１−２、１１−３、１１−４、１１−５、・・・・・１１−１２を有している。これら１２の放射線検出器ユニット１１−１、１１−２、１１−３、１１−４、１１−５、・・・・・１１−１２は、互いに隣接するようにして配線基板１３上に図示しない接着剤等によって固定され、搭載されている。但し、図面の簡略化の観点より、放射線検出器ユニット１１−６から１１−１１は記載を省略している。 As shown in FIG.1 and FIG.2, the radiation detector 10 in this embodiment has 12 radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, 11-4, 11-5,.・ Has 11-12 These 12 radiation detector units 11-1, 11-2, 11-3, 11-4, 11-5, ... 11-12 are not shown on the wiring board 13 so as to be adjacent to each other. It is fixed and mounted with an adhesive or the like. However, the radiation detector units 11-6 to 11-11 are omitted from the viewpoint of simplifying the drawing.

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１には、その主面上において、第２の放射線検出器ユニット１１−２と隣接する側の外縁及びこれと相対向する外縁において第１のパッド１１−１Ａが形成されており、これら外縁と直交する１つの外縁（上外縁）において第２のパッド１１−１Ｂが形成されている。同様に、第２の放射線検出器ユニット１１−２から第１２の放射線検出器ユニット１１−１２においても、その主面上において、放射線検出器ユニットと隣接する側の外縁及びこれと相対向する外縁において第１のパッド１１−２Ａから１１−１２Ａが形成されており、これら外縁と直交する１つの外縁（上外縁）において第２のパッド１１−２Ｂから１１−１２Ｂが形成されている。 Further, the first radiation detector unit 11-1 includes a first pad 11 on the main surface thereof, on the outer edge adjacent to the second radiation detector unit 11-2 and on the outer edge opposite to the outer edge. -1A is formed, and a second pad 11-1B is formed at one outer edge (upper outer edge) orthogonal to these outer edges. Similarly, in the second radiation detector unit 11-2 to the twelfth radiation detector unit 11-12, on the main surface, the outer edge on the side adjacent to the radiation detector unit and the outer edge opposite to the outer edge. First pads 11-2A to 11-12A are formed, and second pads 11-2B to 11-12B are formed at one outer edge (upper outer edge) orthogonal to these outer edges.

配線基板１３の主面上には、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の第１のパッド１１−１Ａ及び１１−１２Ａと対向するようにしてパッド１３Ａが設けられており、各放射線検出器ユニットの第２のパッド１１−１Ｂ、１１−２Ｂ、１１−３Ｂ、１１−４Ｂ、１１−５Ｂ・・・・・１１−１２Ｂと対向するようにしてパッド１３Ｂが設けられている。さらに、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂの外方には、配線基板１３の外縁に沿ってコネクター１８が設けられている。コネクター１８は、配線基板１３を、外部制御回路及び外部駆動回路等に接続するためのものである。 On the main surface of the wiring board 13, pads are arranged so as to face the first pads 11-1 A and 11-12 A of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12. 13A is provided so as to face the second pads 11-1B, 11-2B, 11-3B, 11-4B, 11-5B... 11-12B of each radiation detector unit. A pad 13B is provided. Further, connectors 18 are provided along the outer edge of the wiring board 13 outside the pads 13A and 13B. The connector 18 is for connecting the wiring board 13 to an external control circuit, an external drive circuit, and the like.

なお、特に図示しないが、配線基板１３内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂとこれらに１対１で対応するコネクター１８の各接続端子へ電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 Although not particularly illustrated, wiring patterns for electrically connecting the pads 13A and the pads 13B and the connection terminals of the connectors 18 corresponding to the pads 13A and the pads 13B are formed inside the wiring board 13.

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の第１のパッド１１−１Ａ及び１１−１２Ａは、対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ａと、それぞれ第１のワイヤー１４−１によって接続されている。同様に、各放射線検出器ユニット第２のパッド１１−１Ｂ、１１−２Ｂ、１１−３Ｂ、１１−４Ｂ、１１−５Ｂ・・・・・１１−１２Ｂは、対向して設けられた配線基板１３のパッド１３Ｂと、それぞれ第１のワイヤー１４−１によって接続されている。第１のワイヤー１４−１はエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂１７によって封止されている。 The first pads 11-1A and 11-12A of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12 are opposite to the pads 13A of the wiring board 13 provided to face each other. Are connected by a first wire 14-1. Similarly, each radiation detector unit second pad 11-1B, 11-2B, 11-3B, 11-4B, 11-5B,... Are connected to the respective pads 13B by the first wires 14-1. The first wire 14-1 is sealed with a thermosetting resin 17 such as an epoxy resin.

さらに、隣接する放射線検出器ユニット１１−１及び１１−２間等は、これら放射線検出器ユニット１１−１及び１１−２等の、隣接して配置された第１のパッド１１−１Ａ及び１１−２Ａ間等を第２のワイヤー１４−２で電気的に接続することにより、電気的に接続されている。なお、図では簡略化のため記載していないが、第２のワイヤー１４−２もエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂によって封止することができる。 Further, between the adjacent radiation detector units 11-1 and 11-2, etc., the first pads 11-1A and 11- arranged adjacent to each other such as the radiation detector units 11-1 and 11-2 are provided. 2A and the like are electrically connected by electrically connecting them with the second wire 14-2. Although not shown in the figure for simplification, the second wire 14-2 can also be sealed with a thermosetting resin such as an epoxy resin.

さらに、図１から明らかなように、本実施形態の放射線検出器１０は、配線基板１３のパッド１３Ａ及びコネクター１８間から立設し、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２を覆うようにして設けられた、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２に対する保護カバー１９が設けられている。 Further, as is apparent from FIG. 1, the radiation detector 10 of this embodiment is erected from between the pad 13A of the wiring board 13 and the connector 18 so as to cover the radiation detector units 11-1 to 11-12. A protective cover 19 is provided for the radiation detector units 11-1 to 11-12.

図３に示すように、第１の放射性検出器ユニット１１−１は、絶縁部材２１の主面（第１の面）１１Ａ上に形成された、円形状の複数の開口部２２Ａを有する第１の電極パターン２２と、絶縁部材２１の裏面（第２の面）２１Ｂ上に、第１の電極パターン２２と直交するようにして形成された第２の電極パターン２３とを含んでいる。第２の電極パターン２３は、絶縁部材２１を貫通し、第１の電極パターン２２の開口部２２Ａの略中心部に先端が露出してなる凸状部２４を有する。凸状部２４は、ピクセル電極（検出電極）を構成し、その結果、第１の電極パターン２２及び第２の電極パターン２３はピクセル型電極を構成する。なお、凸状部２４の上面は平坦となっており、その周囲にエッジが形成されている。 As shown in FIG. 3, the first radioactive detector unit 11-1 has a plurality of circular openings 22 </ b> A formed on the main surface (first surface) 11 </ b> A of the insulating member 21. And the second electrode pattern 23 formed so as to be orthogonal to the first electrode pattern 22 on the back surface (second surface) 21B of the insulating member 21. The second electrode pattern 23 has a convex portion 24 that penetrates the insulating member 21 and has a tip exposed at substantially the center of the opening 22 </ b> A of the first electrode pattern 22. The convex portion 24 constitutes a pixel electrode (detection electrode), and as a result, the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern 23 constitute a pixel-type electrode. In addition, the upper surface of the convex part 24 is flat, and the edge is formed in the circumference | surroundings.

また、第１の電極パターン２２からは、その両端に延在するようにして第１のパッド１１−１Ａが形成されている。さらに、第２の電極パターン２３からは、絶縁部材２１内を貫通するようにして形成された層間接続体２５を介して、絶縁部材２１の主面２１Ａ上において第２のパッド１１−１Ｂが形成されている。すなわち、図１及び図２に示す放射線検出器１０における第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１のパッド１１−１Ａは、この第１の放射線検出器ユニット１１−１の第１の電極パターン２２と電気的に導通したパッドであり、第２のパッド１１−１Ｂは、第１の放射線検出器ユニット１１−１の第２の電極パターン２３と電気的に導通したパッドである。 Further, a first pad 11-1A is formed from the first electrode pattern 22 so as to extend to both ends thereof. Furthermore, a second pad 11-1 B is formed on the main surface 21 A of the insulating member 21 from the second electrode pattern 23 via an interlayer connector 25 formed so as to penetrate the insulating member 21. Has been. That is, the first pad 11-1A of the first radiation detector unit 11-1 in the radiation detector 10 shown in FIGS. 1 and 2 is the first electrode of the first radiation detector unit 11-1. The pad 22 is electrically connected to the pattern 22, and the second pad 11-1 B is a pad electrically connected to the second electrode pattern 23 of the first radiation detector unit 11-1.

なお、第２の放射線検出器ユニット１１−２から第１２の放射線検出器ユニット１１−１２も、図３に示す符号“１１−１”が、それぞれ“１１−２”から“１１−１２”に代わったのみであって、その基本構成は、図３に示す第１の放射線検出器ユニット１１−１と同じである。 In the second radiation detector unit 11-2 to the twelfth radiation detector unit 11-12, the reference numeral “11-1” shown in FIG. 3 is changed from “11-2” to “11-12”, respectively. The basic configuration is the same as that of the first radiation detector unit 11-1 shown in FIG.

本実施形態の放射線検出器１０によれば、図３に示すような構成の放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２を、配線基板１３上において、同一の方向に互いに隣接するように搭載するとともに、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ及び第１２のパッド１１−１２Ａ、並びに各放射線検出器ユニットの外縁に形成された第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−１２Ｂを、配線基板１３上に形成されたパッド１３Ａ及び１３Ｂとそれぞれ第１のワイヤー１４−１によって電気的に接続するようにしている。また、配線基板１３内部には、パッド１３Ａ及びパッド１３Ｂをコネクター１８の対応する接続ピンへ電気的に接続するための配線パターンが形成されている。 According to the radiation detector 10 of the present embodiment, the radiation detector units 11-1 to 11-12 configured as shown in FIG. 3 are mounted on the wiring board 13 so as to be adjacent to each other in the same direction. In addition, the first pad 11-1A and the twelfth pad 11-12A formed on the outer edges of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12, and the respective radiation detectors. The second pads 11-1B to 11-12B formed on the outer edge of the unit are electrically connected to the pads 13A and 13B formed on the wiring board 13 by the first wires 14-1, respectively. Yes. In addition, a wiring pattern for electrically connecting the pad 13A and the pad 13B to the corresponding connection pin of the connector 18 is formed in the wiring board 13.

したがって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂ、第１のワイヤー１４−１を介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂ、第１のワイヤー１４−１を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。 Therefore, the radiation detector units 11-1 to 11-12 receive a high voltage application from an external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13, and a wiring pattern (not shown) built in the wiring board 13. ) And the pads 13A and 13B and the first wire 14-1, while the signal obtained from the radiation of the radiation detector units 11-1 to 11-12 is embedded in the wiring board 13. (Not shown), the pads 13A and 13B, and the first wire 14-1 are transmitted to an external signal readout circuit or the like.

このため、配線基板１３は、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２に対して共通の高電圧印加系及び信号読み出し系として機能するようになる。この結果、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２は、高電圧印加系及び信号読み出し系である配線基板１３を共有することになり、この配線基板１３によって、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２は互いに同期するようにして高電圧印加及び信号読み出しができるようになる。 For this reason, the wiring board 13 functions as a high voltage application system and a signal readout system common to the radiation detector units 11-1 to 11-12. As a result, the radiation detector units 11-1 to 11-12 share the wiring board 13 which is a high voltage application system and a signal readout system, and the radiation detector units 11-1 to 11-1 are used by the wiring board 13. 11-12 can perform high voltage application and signal readout in synchronism with each other.

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ及び第１２のパッド１１−１２Ａ、並びに各放射線検出器ユニットの外縁に形成された第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−１２Ｂは、配線基板１３のパッド１３Ａ及び１３Ｂに第１のワイヤー１４−１で電気的に接続されており、隣接する放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の、隣接する第１のパッド１１−１Ａ〜１１−１２Ａは、上述のように、第２のワイヤー１４−２で電気的に接続されている。 Further, the first pad 11-1A and the twelfth pad 11-12A formed on the outer edges of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12, and each radiation detector. The second pads 11-1B to 11-12B formed on the outer edge of the unit are electrically connected to the pads 13A and 13B of the wiring board 13 by the first wire 14-1, and are adjacent to the radiation detector. The adjacent first pads 11-1A to 11-12A of the units 11-1 to 11-12 are electrically connected by the second wire 14-2 as described above.

したがって、各放射線検出器ユニットの第１の電極パターン及び第２の電極パターン間に印加すべき電圧も、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２間で同じ値となるように制御することができ、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２間の検出感度を互いに等しくすることができる。このため、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２は１つの放射線検出器として高電圧印加及び信号読み出しを行うことができるようになる。 Therefore, the voltage to be applied between the first electrode pattern and the second electrode pattern of each radiation detector unit can also be controlled to be the same value between the radiation detector units 11-1 to 11-12. The detection sensitivities between the radiation detector units 11-1 to 11-12 can be made equal to each other. Therefore, the radiation detector units 11-1 to 11-12 can perform high voltage application and signal readout as one radiation detector.

また、本実施形態においては、上述のように、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ及び第１２のパッド１１−１２Ａ、並びに各放射線検出器ユニットの外縁に形成された第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−１２Ｂを、配線基板１３上に形成されたパッド１３Ａ及び１３Ｂとそれぞれ第１のワイヤー１４−１によって電気的に接続するようにしている。さらに、隣接する放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の、隣接する第１のパッド１１−１Ａ〜１１−１２Ａを、第２のワイヤー１４−２で電気的に接続するようにしている。 In the present embodiment, as described above, the first pads 11-1A and the twelfth formed on the outer edges of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12. The pads 11-12A and the second pads 11-1B to 11-12B formed on the outer edge of each radiation detector unit are replaced with the pads 13A and 13B formed on the wiring board 13 and the first wires 14, respectively. -1 for electrical connection. Further, the adjacent first pads 11-1A to 11-12A of the adjacent radiation detector units 11-1 to 11-12 are electrically connected by the second wire 14-2.

すなわち、パッド間の電気的接続は、ワイヤーボンディングなる簡易かつ汎用の技術を用いて行うことができる。 That is, the electrical connection between the pads can be performed using a simple and general-purpose technique of wire bonding.

さらに、本実施形態では、第１のワイヤー１４−１を樹脂封止しているので、ボンディングを固定し、互いに隣接する第１のワイヤー１４−１同士の電気的接触等を防止することができる。 Furthermore, in this embodiment, since the 1st wire 14-1 is resin-sealed, bonding can be fixed and the electrical contact of the mutually adjacent 1st wire 14-1 can be prevented. .

次に、本実施形態の放射線検出器１０を用いた中性子線の飛跡を検出する方法について、図１〜３を参照して簡単に説明する。 Next, a method for detecting a neutron beam track using the radiation detector 10 of the present embodiment will be briefly described with reference to FIGS.

放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２は、所定のガス、例えばアルゴンとエタンとの混合ガス雰囲気中に配置し、さらに、保護カバー１９の上面にアルミニウム板などを貼付し、所定の電圧をバイアスする。各放射線検出器ユニットの第１の電極パターン２２をカソードとし、第２の電極パターン２３をアノードとした場合、上述した混合ガス雰囲気中に放射線が入射すると、この放射線は前記ガスと衝突することによって前記ガスを電離し、陰イオンを生成する。 The radiation detector units 11-1 to 11-12 are arranged in a predetermined gas atmosphere, for example, a mixed gas atmosphere of argon and ethane. Further, an aluminum plate or the like is attached to the upper surface of the protective cover 19, and a predetermined voltage is applied. Bias. When the first electrode pattern 22 of each radiation detector unit is used as a cathode and the second electrode pattern 23 is used as an anode, when radiation enters the mixed gas atmosphere described above, the radiation collides with the gas. The gas is ionized to generate anions.

中性子線が図１及び図２の右方、すなわち第１の放射線検出器ユニット１１−１側から入射する場合、最初、中性子線は第１の放射線検出器ユニット１１−１近傍のガスと衝突することによって、当該ガスを電離してエタンから水素原子１個が取れたエタンの陰イオンを生成する。生成した陰イオンは、保護カバー１９の上面に形成されたアルミニウム板のバイアス電圧を受け、第１の放射線検出器ユニット１１−１に導かれ、第１の電極パターン２２と、第２の電極パターン２３の凸状部２４との間に印加された電圧に起因して生成された大きな電場によって陰イオンの雪崩を引き起こし、凸状部２４に溜まるようになる。一方、陰イオンの雪崩によって生じた正イオンである水素イオンは、凸状部２４から周囲の第１の電極パターン２２に向けてドリフトする。 When the neutron beam is incident on the right side of FIGS. 1 and 2, that is, from the first radiation detector unit 11-1 side, first, the neutron beam collides with a gas in the vicinity of the first radiation detector unit 11-1. As a result, the gas is ionized to generate an anion of ethane in which one hydrogen atom is removed from ethane. The generated anions receive the bias voltage of the aluminum plate formed on the upper surface of the protective cover 19 and are guided to the first radiation detector unit 11-1, and the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern. An avalanche of anions is caused by a large electric field generated due to a voltage applied between the convex portions 24 and 23 and accumulated in the convex portions 24. On the other hand, hydrogen ions, which are positive ions generated by an avalanche of anions, drift from the convex portion 24 toward the surrounding first electrode pattern 22.

この結果、第１の電極パターン２２及び第２の電極パターン２３の凸状部２４にそれぞれ正イオン及び陰イオンがチャージされるようになるので、凸状部２４、すなわちピクセル電極の位置を図示しない電荷検出回路で検出することによって、上記中性子線の、第１の放射線検出器ユニット１１−１における入射位置を特定することができる。 As a result, the positive ions and the negative ions are charged to the convex portions 24 of the first electrode pattern 22 and the second electrode pattern 23, respectively, so that the positions of the convex portions 24, that is, the pixel electrodes are not shown. By detecting with the charge detection circuit, the incident position of the neutron beam in the first radiation detector unit 11-1 can be specified.

次いで、中性子線は、第２の放射線検出器ユニット１１−２近傍のガスと衝突することによって、当該ガスを電離して上記陰イオンを生成する。生成した陰イオンは、保護カバー１９の上面に形成されたアルミニウム板のバイアス電圧を受け、第２の放射線検出器ユニット１１−２に導かれ、上述のような陰イオンの雪崩を引き起こすことによって、上記中性子線の、第２の放射線検出器ユニット１１−２での位置を特定することができる。 Next, the neutron beam collides with the gas in the vicinity of the second radiation detector unit 11-2, thereby ionizing the gas and generating the anion. The generated anions receive the bias voltage of the aluminum plate formed on the upper surface of the protective cover 19 and are guided to the second radiation detector unit 11-2 to cause the anion avalanche as described above. The position of the neutron beam in the second radiation detector unit 11-2 can be specified.

次いで、中性子線は、第３の放射線検出器ユニット１１−３近傍のガスと衝突することによって、当該ガスを電離して上記陰イオンを生成する。生成した陰イオンは、保護カバー１９の上面に形成されたアルミニウム板のバイアス電圧を受け、第２の放射線検出器ユニット１１−３に導かれ、上述のような陰イオンの雪崩を引き起こすことによって、上記中性子線の、第２の放射線検出器ユニット１１−３での位置を特定することができる。 Next, the neutron beam collides with the gas in the vicinity of the third radiation detector unit 11-3, thereby ionizing the gas and generating the anion. The generated anions receive the bias voltage of the aluminum plate formed on the upper surface of the protective cover 19 and are guided to the second radiation detector unit 11-3, thereby causing the anion avalanche as described above. The position of the neutron beam in the second radiation detector unit 11-3 can be specified.

上述のような操作を、残る第４の放射線検出器ユニット１１−４から第１２の放射線検出器ユニット１１−１２に対して行うことにより、各放射線検出器ユニットでの位置を特定することができる。したがって、各放射線検出器ユニットで特定された位置を繋ぎ合せることによって、放射線検出器１０により上記中性子線の飛跡を検出することができるようになる。 By performing the operation as described above from the remaining fourth radiation detector unit 11-4 to the twelfth radiation detector unit 11-12, the position of each radiation detector unit can be specified. . Therefore, by connecting the positions specified by the respective radiation detector units, the radiation detector 10 can detect the track of the neutron beam.

なお、本実施形態では中性子線の場合について述べたが、中性子線以外のその他の粒子線についても上記同様にしてその飛跡を検出することができる。 In the present embodiment, the case of a neutron beam has been described. However, tracks of other particle beams other than the neutron beam can be detected in the same manner as described above.

（第２の実施形態）
図４は、本発明の放射線検出器の他の例における概略構成を示す側断面図であり、図５は、図４に示す放射線検出器の平面図である。また、図６は、図４及び図５に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板の概略構成を示す図であり、図７は、図４及び図５に示す放射線検出器のフレキシブル配線基板による接合部を拡大して示す図である。なお、本実施形態における放射線検出器の特徴を明確にすべく、図５においては、図４に示す保護カバーについては記載を省略している。また、図１〜図３に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。 (Second Embodiment)
4 is a side sectional view showing a schematic configuration in another example of the radiation detector of the present invention, and FIG. 5 is a plan view of the radiation detector shown in FIG. 6 is a diagram showing a schematic configuration of the flexible wiring board of the radiation detector shown in FIGS. 4 and 5, and FIG. 7 is a joint portion of the radiation detector shown in FIGS. 4 and 5 by the flexible wiring board. It is a figure which expands and shows. In addition, in order to clarify the feature of the radiation detector in this embodiment, in FIG. 5, description is abbreviate | omitted about the protective cover shown in FIG. Moreover, the same code | symbol is used about the component similar to or the same as the component shown in FIGS.

本実施形態の放射線検出器４０は、図１及び図２に示す第１の実施形態の放射線検出器１０において、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ及び第１２のパッド１１−１２Ａ、並びに各放射線検出器ユニットの外縁に形成された第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−１２Ｂを、配線基板１３のパッド１３Ａ及び１３Ｂに第１のワイヤー１４−１で電気的に接続する代わりにフレキシブル配線基板４４で接続している。同様に、隣接する放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の、隣接する第１のパッド１１−１Ａ〜１１−１２Ａを、第２のワイヤー１４−２で電気的に接続する代わりにフレキシブル配線基板４４で接続している。 The radiation detector 40 of the present embodiment is the same as the radiation detector 10 of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, except for the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12. A wiring board 13 includes a first pad 11-1A and a twelfth pad 11-12A formed on the outer edge of the wiring board 13 and second pads 11-1B to 11-12B formed on the outer edge of each radiation detector unit. Instead of being electrically connected to the pads 13A and 13B by the first wire 14-1, they are connected by the flexible wiring board 44. Similarly, instead of electrically connecting the adjacent first pads 11-1A to 11-12A of the adjacent radiation detector units 11-1 to 11-12 with the second wire 14-2, a flexible wiring is provided. They are connected by a substrate 44.

なお、その他の構成は、第１の実施形態の放射線検出器１０と同様であるので説明を省略する。 Since other configurations are the same as those of the radiation detector 10 of the first embodiment, the description thereof is omitted.

本実施形態においては、上述のように、放射線検出器ユニットのパッド１１−１Ａ等と配線基板１３のパッド１３Ａ等とをフレキシブル配線基板４４で接続している。したがって、第１のワイヤー１４−１等を使用した接続に比較して、隣接した配線同士の電気的接触等は自ずから防止される。このため、第１のワイヤー１４等を使用した場合のように封止樹脂等を設ける必要がない。 In the present embodiment, as described above, the pads 11-1A and the like of the radiation detector unit and the pads 13A and the like of the wiring board 13 are connected by the flexible wiring board 44. Therefore, compared to the connection using the first wire 14-1 or the like, electrical contact between adjacent wirings is naturally prevented. For this reason, it is not necessary to provide sealing resin etc. like the case where the 1st wire 14 grade | etc., Is used.

但し、フレキシブル配線基板４４は、例えば放射線検出器ユニット１１−１等における隣接するパッド１１−１Ｂ等同士、及び配線基板１３における隣接するパッド１３Ａ等同士が電気的に干渉しないように、電気的接続を行うべき配線パターンは、図８に示すように、例えばポリイミドなどからなるフレキシブル基板４４１の主面上においてストリップ状に形成され、ストリップ状の配線パターン４４２を構成することが必要である。 However, the flexible wiring board 44 is electrically connected so that adjacent pads 11-1B etc. in the radiation detector unit 11-1 etc. and adjacent pads 13A etc. in the wiring board 13 do not interfere electrically. As shown in FIG. 8, the wiring pattern to be performed is formed in a strip shape on the main surface of a flexible substrate 441 made of, for example, polyimide or the like, and it is necessary to form a strip-shaped wiring pattern 442.

したがって、フレキシブル配線基板４４は、ストリップ状配線パターン４４２が、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２のパッド１１−１Ｂ等と配線基板１３のパッド１３Ｂ等とを電気的に接続できるように、ストリップ状配線パターン４４２の長さ方向が、放射線検出器ユニットの１１−１〜１１−１２のパッド１１−１Ｂ等及び配線基板４４のパッド１３Ｂ等間の線分方向と一致するようにして配置する。 Therefore, the flexible wiring board 44 is configured so that the strip-like wiring pattern 442 can electrically connect the pads 11-1B and the like of the radiation detector units 11-1 to 11-12 and the pads 13B and the like of the wiring board 13 with each other. The strip-like wiring pattern 442 is arranged so that the length direction thereof coincides with the line segment direction between the pads 11-1B and the like of the radiation detector units 11-1 to 11-12 and the pads 13B and the like of the wiring board 44. .

一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２のパッド１１−１Ｂ等及び配線基板１３のパッド１３Ｂ等に対するフレキシブル配線基板４４の接合力は低いので、例えば図７に示すように、異方性導電樹脂４６を介在させて、フレキシブル配線基板４４の、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２のパッド１１−１Ｂ等及び配線基板１３のパッド１３Ｂ等に対する接合力を向上させることが好ましい。 On the other hand, since the bonding force of the flexible wiring board 44 to the pads 11-1B and the like of the radiation detector units 11-1 to 11-12 and the pads 13B and the like of the wiring board 13 is low, for example, as shown in FIG. It is preferable to improve the bonding force of the flexible wiring board 44 to the pads 11-1B of the radiation detector units 11-1 to 11-12 and the pads 13B of the wiring board 13 with the conductive resin 46 interposed.

なお、本実施形態においても、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２には、配線基板１３のコネクター１８に接続された外部高電圧系からの高電圧印加が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂ、フレキシブル配線基板４４を介して行われ、一方、放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の放射線から得た信号が、配線基板１３に内蔵された配線パターン（図示せず）並びにパッド１３Ａ及び１３Ｂ、フレキシブル配線基板４４を介して外部信号読み出し回路等へ伝達されるようになる。 Also in this embodiment, the radiation detector units 11-1 to 11-12 incorporate a high voltage application from the external high voltage system connected to the connector 18 of the wiring board 13 in the wiring board 13. The wiring pattern (not shown), the pads 13A and 13B, and the flexible wiring board 44 are used. On the other hand, signals obtained from the radiation of the radiation detector units 11-1 to 11-12 are built in the wiring board 13. The signal is transmitted to an external signal readout circuit or the like via the wiring pattern (not shown), the pads 13A and 13B, and the flexible wiring board 44.

また、第１の放射線検出器ユニット１１−１及び第１２の放射線検出器ユニット１１−１２の外縁に形成された第１のパッド１１−１Ａ及び第１２のパッド１１−１２Ａ、並びに各放射線検出器ユニットの外縁に形成された第２のパッド１１−１Ｂ〜１１−１２Ｂは、配線基板１３のパッド１３Ａ及び１３Ｂにフレキシブル配線基板４４で電気的に接続されており、隣接する放射線検出器ユニット１１−１〜１１−１２の、隣接する第１のパッド１１−１Ａ〜１１−１２Ａも、フレキシブル配線基板４４で電気的に接続されている。 Further, the first pad 11-1A and the twelfth pad 11-12A formed on the outer edges of the first radiation detector unit 11-1 and the twelfth radiation detector unit 11-12, and each radiation detector. The second pads 11-1B to 11-12B formed on the outer edge of the unit are electrically connected to the pads 13A and 13B of the wiring board 13 by the flexible wiring board 44, and are adjacent to the radiation detector unit 11-. The adjacent first pads 11-1A to 11-12A of 1 to 11-12 are also electrically connected by the flexible wiring board 44.

以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 The present invention has been described in detail based on the above specific examples. However, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.

１０，４０放射線検出器
１１−１第１の放射線検出器ユニット
１１−２第２の放射線検出器ユニット
１１−３第３の放射線検出器ユニット
１１−４第４の放射線検出器ユニット
１１−５第５の放射線検出器ユニット
１１−６第６の放射線検出器ユニット
１１−７第７の放射線検出器ユニット
１１−８第８の放射線検出器ユニット
１１−９第９の放射線検出器ユニット
１１−１０第１０の放射線検出器ユニット
１１−１１第１１の放射線検出器ユニット
１１−１２第１２の放射線検出器ユニット
１３配線基板
１４−１第１のワイヤー
１４−２第２のワイヤー
１７封止樹脂
１８コネクター
１９保護カバー
２１絶縁部材
２２第１の電極パターン
２３第２の電極パターン
２４第２の電極パターンの凸状部
２５層間接続体
４４フレキシブル配線基板
４６異方性導電樹脂 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,40 Radiation detector 11-1 1st radiation detector unit 11-2 2nd radiation detector unit 11-3 3rd radiation detector unit 11-4 4th radiation detector unit 11-5 1st 5-7 Radiation detector unit 11-6 6th radiation detector unit 11-7 7th radiation detector unit 11-8 8th radiation detector unit 11-9 9th radiation detector unit 11-10 1st 10 radiation detector units 11-11 eleventh radiation detector unit 11-12 twelfth radiation detector unit 13 wiring board 14-1 first wire 14-2 second wire 17 sealing resin 18 connector 19 Protective cover 21 Insulating member 22 First electrode pattern 23 Second electrode pattern 24 Convex part of second electrode pattern 25 Layer indirect Body 44 flexible wiring board 46 anisotropic conductive resin

Claims

A first electrode pattern formed on the first surface of the insulating member and having a plurality of circular openings, and a second surface located on the opposite side of the first surface of the insulating member And a plurality of pixel types including a second electrode pattern that has a convex portion formed through the insulating member and having a tip exposed at a substantially central portion of the opening of the first electrode pattern. A plurality of radiation detector units each having an electrode; and
A wiring board disposed in the same direction on a plane such that the plurality of radiation detector units are adjacent to each other;
A first conductive member for electrically connecting each of the plurality of radiation detector units to the wiring board;
A second conductive member for electrically connecting the adjacent radiation detector units;
A protective cover provided to cover the plurality of detector units;
With
The radiation detector unit includes a first pad formed so as to extend from the first electrode pattern, and an interlayer connector formed so as to penetrate the insulating member from the second electrode pattern. And a second pad formed on the first surface of the insulating member,
The wiring board has a third pad provided on the first surface so as to face the first pad or the second pad;
The first conductive member connects the first pad or the second pad to the third pad,
The radiation detector using gas amplification, wherein the second conductive member connects the first pads of adjacent radiation detector units.

The radiation detector using gas amplification according to claim 1, wherein the plurality of detector units covered by the protective cover are arranged in a mixed gas atmosphere of argon and ethane. .

The radiation detector using gas amplification according to claim 2, wherein an aluminum plate is provided on an upper surface of the protective cover.