JP6258146B2 - プラズマ放電状態検知装置 - Google Patents
プラズマ放電状態検知装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6258146B2 JP6258146B2 JP2014147742A JP2014147742A JP6258146B2 JP 6258146 B2 JP6258146 B2 JP 6258146B2 JP 2014147742 A JP2014147742 A JP 2014147742A JP 2014147742 A JP2014147742 A JP 2014147742A JP 6258146 B2 JP6258146 B2 JP 6258146B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- plasma discharge
- image
- divided
- image processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 71
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 20
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 12
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 2
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 2
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 2
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012538 light obscuration Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Description
(1)プラズマ発生装置のプラズマ発生領域でDBDプラズマ放電が正常に行われているか、あるいは、異常が発生しているかを検知することができ、異常が発生している場合は、その異常が発生している状態を、出力装置の出力により報知させることができる。
(2)又、プラズマ発生装置について、異常が発生している個所を特定することもできる。よって、プラズマ発生装置については、必要に応じた点検、保守を適宜実施することができて、プラズマ発生装置の正常状態での運用を効率よく行わせることができる。
2 撮像装置
3 画像処理装置
4,4a 画像
5 ディスプレイ(出力装置)
6 バンドパスフィルタ
100 プラズマ発生装置
101a〜101i 電極
103 処理対象ガス
105a〜105i 電極
106a〜106i 電極
Claims (4)
- プラズマ発生装置を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置により撮影されたプラズマ発生装置の画像が入力される画像処理装置と、
前記画像処理装置によるDBDプラズマ放電状態の検知結果を出力する出力装置を備え、
且つ前記画像処理装置は、
前記プラズマ発生装置の画像に、少なくとも前記プラズマ発生装置におけるDBDプラズマ放電が発生する各プラズマ発生領域が写る部分に分割領域を設定する機能と、
前記プラズマ発生領域が写る分割領域を監視対象に設定して、該監視対象の分割領域の画像の濃淡を数値化した濃淡情報を得る機能と、
前記監視対象の分割領域の濃淡情報の値を基に、前記プラズマ発生装置のプラズマ発生領域における該分割領域に対応する個所でDBDプラズマ放電が正常に発生しているか、又は、異常が発生しているかを判断する機能と、
前記分割領域に異常が発生している場合は、その異常発生の状態を、前記出力装置による出力により報知させる機能と備えてなる構成を有すること
を特徴とするプラズマ放電状態検知装置。 - 前記画像処理装置は、監視対象の分割領域の濃淡情報の値が、予め正常なDBDプラズマ放電に対応する画像の濃淡を数値化した基準値より、高輝度側に予め設定された或る濃淡情報の値の変化幅よりも大きく変化した場合、及び、低輝度側に予め設定された或る濃淡情報の値の変化幅よりも大きく変化した場合に、プラズマ発生装置のプラズマ発生領域における該分割領域に対応する個所に異常が発生していると判断するものとした
請求項1記載のプラズマ放電状態検知装置。 - 前記画像処理装置は、監視対象の分割領域のうち、プラズマ発生装置における或る電極の画像の両側に沿う配置となるすべての分割領域で、濃淡情報の値が、基準値より低輝度側に予め設定された或る濃淡情報の値の変化幅よりも大きく変化した場合に、前記或る電極に、通電不良による消灯が生じていると判断し、その結果を報知させる機能を有するものとした
請求項2記載のプラズマ放電状態検知装置。 - 前記撮像装置は、プラズマ発生装置のプラズマ発生領域に存在している処理対象ガスに依存して決まるDBDプラズマ放電の発光色の特性波長に対応するバンドパスフィルタを装着した構成とする
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ放電状態検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014147742A JP6258146B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | プラズマ放電状態検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014147742A JP6258146B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | プラズマ放電状態検知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016024936A JP2016024936A (ja) | 2016-02-08 |
JP6258146B2 true JP6258146B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=55271542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014147742A Active JP6258146B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | プラズマ放電状態検知装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6258146B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6524753B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-06-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び記憶媒体 |
JP6858441B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2021-04-14 | ダイハツ工業株式会社 | プラズマリアクタの異常検出装置 |
CN113727509B (zh) * | 2021-09-02 | 2023-08-18 | 南通三信塑胶装备科技股份有限公司 | 放电发生结构及基于其的平面式等离子放电发生装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000252097A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Toppan Printing Co Ltd | プラズマ計測装置および計測方法 |
JP2001284099A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Toray Ind Inc | 放電装置およびこれを用いた物体の放電処理方法ならびに絶縁性連続体の製造方法 |
DE60313864T2 (de) * | 2003-08-14 | 2008-01-17 | Fujifilm Manufacturing Europe B.V. | Anordnung, Verfahren und Elektrode zur Erzeugung eines Plasmas |
KR101297711B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2013-08-20 | 한국과학기술원 | 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 |
JP5002578B2 (ja) * | 2008-12-19 | 2012-08-15 | ダイハツ工業株式会社 | 排気ガス浄化装置 |
US8773018B2 (en) * | 2011-01-25 | 2014-07-08 | Paul F. Hensley | Tuning a dielectric barrier discharge cleaning system |
-
2014
- 2014-07-18 JP JP2014147742A patent/JP6258146B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016024936A (ja) | 2016-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6258146B2 (ja) | プラズマ放電状態検知装置 | |
US20190187019A1 (en) | Method of indicating gas movement in a scene | |
KR102133619B1 (ko) | 전기 방전을 측정 및 검출하기 위한 장치, 방법 및 시스템 | |
US11099008B2 (en) | Capture device assembly, three-dimensional shape measurement device, and motion detection device | |
JP2010266430A (ja) | 鋼板表面欠陥検査方法および装置 | |
JP2018518933A5 (ja) | ||
JP6419042B2 (ja) | X線発生装置及びx線検査装置 | |
KR101054522B1 (ko) | 광학렌즈가 부착된 자외선 센서를 이용한 전력설비 코로나 방전 측정 장치 및 방법 | |
JP2008039462A (ja) | 表示パネル検査装置及び方法 | |
JP2013127747A (ja) | 物体検出装置及び物体検出方法 | |
CN110620887B (zh) | 图像生成装置和图像生成方法 | |
JP2007300191A (ja) | 赤外線画像処理装置および赤外線画像処理方法 | |
US10458924B2 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
CN111385447A (zh) | 摄像装置及其驱动方法 | |
US20200232914A1 (en) | Substance detection device and substance detection method | |
JP2008232837A (ja) | 欠陥強調・欠陥検出の方法および装置、プログラム | |
WO2018110036A1 (ja) | ガス状態判別方法とそれに用いる画像処理装置及び画像処理プログラム | |
JP2020068411A5 (ja) | 位置検出装置、表示システム、及び、位置検出方法 | |
JP6459550B2 (ja) | 機械設備の異常検出方法および異常検出装置 | |
CN114930801A (zh) | 信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法和存储介质 | |
JP2019128151A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2012213130A (ja) | 赤外線撮像装置、赤外線温度測定装置 | |
JP2012063320A (ja) | 紙カップの検査装置およびその方法 | |
JP5272821B2 (ja) | 放射線撮像装置 | |
JP2006262173A (ja) | 画像入力装置及び画像評価装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6258146 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |