JP6245889B2 - 位置決め方法および位置決め装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態による位置決め装置の概略を示す構成図である。
ただし、ラグランジュ補間は、データ点数が多くなると、補間結果が波打つ傾向(ルンゲの現象)があるので、速度方向のデータベースは5点以下程度が望ましい。速度方向のデータベース点数を5点以下にするためには、対数刻みのような非線形なデータベースにすることによりデータ点数の低減を行うと良い。なお、対数刻みのデータベースを有する場合には、上記のスプライン補間とラグランジュ補間も対数空間に正規化して、補間演算を行う必要がある。ここで、求めたい変位と速度がデータベースの範囲を超える場合には、範囲を超える前の最後の値を補間結果として保持し続けることで駆動力を連続的に変化させることができる。
2 ベース
3 レール
4 キャリッジ
5 テーブル
6 リニアモータ
7 位置センサ
8 制御部
9 ドライバ
10 駆動演算部
11 補間演算部
12 テータベース部
Claims (9)
- 予め定められた位置指令値に対応する駆動力によってモータを駆動しステージを移動させて位置決めする位置決め方法において、
前記位置指令値から、前記ステージの移動方向が反転する位置および前記反転する位置からの変位および速度を求める工程と、
複数の変位および速度に対する駆動力を予め求めておく工程と、
前記予め求めておいた駆動力から、前記位置指令値から求めた変位および速度に対する駆動力を求める工程と、
前記求めた駆動力によって前記モータの駆動力を補正し、前記補正した駆動力によって前記モータを駆動することを特徴とする、位置決め方法。 - 前記複数の変位および速度に対する駆動力を予め求めておく工程は、前記ステージの移動方向が反転する位置からの変位と速度を変化させて、前記変化させた変位と速度に対する駆動力を測定して求めておくことを特徴とする、請求項1に記載の位置決め方法。
- 前記変位が小さいほど密に測定を行なうことを特徴とする、請求項2に記載の位置決め方法。
- 前記速度が小さいほど密に測定を行なうことを特徴とする、請求項2または3に記載の位置決め方法。
- 前記変位を対数刻みとすることを特徴とする、請求項3に記載の位置決め方法。
- 前記速度を対数刻みとすることを特徴とする、請求項4に記載の位置決め方法。
- 前記測定した値と値の間はラグランジュ補間により求めることを特徴とする、請求項2乃至6のいずれか一項に記載の位置決め方法。
- 前記駆動力の補正は、前記求めた駆動力を前記反転する位置における前記モータの駆動力に加えることで行なうことを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の位置決め方法。
- 入力される位置指令値に対応する駆動力によってモータを駆動し、ステージを移動させる位置決め装置において、
位置指令値から、前記ステージの移動方向が反転する位置および前記反転する位置からの変位および速度を求める演算部と、
予め求めておいた複数の変位および速度に対する駆動力から、前記位置指令値から求めた変位および速度に対する駆動力を出力する演算部と、を有し、
前記モータは、前記出力された駆動力によって補正された駆動力によって駆動され前記ステージを移動させることを特徴とする、位置決め装置。
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