JP6236546B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
2 検査プローブ
3 励磁装置
4 表示装置
5 入力装置
11 全体制御部
12 磁場分布データ生成部
13 磁場分布データ記憶部
14 表面形状データ生成部
15 表面形状データ記憶部
16 差分演算部
17 データ分離部
21 レーザ光源
22 空間フィルタ
23 コリメーションレンズ
24 1/4波長板
25 ビームスプリッタ
26 空間光位相変調器
27 カメラ
28 変調信号生成器
29 変調切換部
31 励磁コイル
32 交流励磁電源
100 被検査体(検査対象物)
Claims (8)
- 空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体の表面形状を計測する表面形状計測部と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体を磁化する励磁装置により磁化された前記被検査体の表面の磁場分布を計測する磁場分布計測部と、
前記表面形状計測部により得られた前記被検査体の表面形状の計測結果である表面形状データに基づいて、前記磁場分布計測部により得られた前記被検査体の磁場分布の計測結果である磁場分布データから前記被検査体の表面に存在する磁場特異部のデータを分離するデータ分離部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記磁場分布計測部は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射された光を整形する空間フィルタと、
前記空間フィルタからの光を平行光に調整するコリメーションレンズと、
前記コリメーションレンズからの平行光を円偏光ビームに変換する1/4波長板と、
入射された光を透過光と反射光に分割するビームスプリッタと、
前記1/4波長板から前記ビームスプリッタを透過して入射された円偏光ビームの位相の空間分布を変調する空間光位相変調器と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光の前記被検査体からの反射光であって、前記空間光位相変調器を介して前記ビームスプリッタで反射された光を撮像するカメラと、
前記被検査体を磁化する励磁コイルと、前記励磁コイルに励磁電流を印加する交流励磁電源とを有する励磁装置と、
前記カメラで撮像された画像の輝度データとして得られる反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体の表面の磁場分布データを生成する磁場分布データ生成部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記表面形状計測部は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射された光を整形する空間フィルタと、
前記空間フィルタからの光を平行光に調整するコリメーションレンズと、
前記コリメーションレンズからの平行光を円偏光ビームに変換する1/4波長板と、
入射された光を透過光と反射光に分割するビームスプリッタと、
前記1/4波長板から前記ビームスプリッタを透過して入射された円偏光ビームの位相の空間分布を変調する空間光位相変調器と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光の前記被検査体からの反射光であって、前記空間光位相変調器を介して前記ビームスプリッタで反射された光を撮像するカメラと、
前記カメラで撮像された画像の輝度データとして得られる反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体の表面の表面形状データを生成する表面形状データ生成部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記データ分離部は、
前記表面形状計測部により得られた前記被検査体の表面形状データを記憶する表面形状データ記憶部と、
前記磁場分布計測部により得られた前記被検査体の磁場分布データを記憶する磁場分布データ記憶部と、
前記磁場分布データと前記表面形状データとの差分演算を行う差分演算部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記磁場分布計測部及び前記表面形状計測部は、
レーザ光源からの光を平行光に調整するコリメーションレンズと、平行光を円偏光ビームに変換する1/4波長板とを介して入射された光を透過光と反射光に分割するビームスプリッタと、
前記1/4波長板から前記ビームスプリッタを透過して入射された円偏光ビームの位相の空間分布を変調する空間光位相変調器と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射され、前記被検査体から物体光及び参照光として反射された光であって、前記空間光位相変調器を介して前記ビームスプリッタで反射された光を撮像するカメラとを備え、
表面形状計測部及び磁場分布計測部は、前記被検査体からの物体光及び参照光の干渉状態に基づいて前記被検査体の表面形状及び磁場分布を計測することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3記載の欠陥検査装置において、
前記空間光位相変調器を制御し、前記被検査体に照射される光の変調の有無を切り換える変調切換制御部を備え、
前記空間光位相変調器による光の変調を行わない状態での前記被検査体への光の照射により、前記被検査体の光軸方向の位置を取得する距離計測機能を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射された光を整形する空間フィルタと、
前記空間フィルタからの光を平行光に調整するコリメーションレンズと、
前記コリメーションレンズからの平行光を円偏光ビームに変換する1/4波長板と、
入射された光を透過光と反射光に分割するビームスプリッタと、
前記1/4波長板から前記ビームスプリッタを透過して入射された円偏光ビームの位相の空間分布を変調する空間光位相変調器と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光の前記被検査体からの反射光であって、前記空間光位相変調器を介して前記ビームスプリッタで反射された光を撮像するカメラと、
前記被検査体を磁化する励磁装置と、
前記励磁装置を制御し、前記被検査体の磁化の有無を切り換える磁化切換制御部と、
前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて前記被検査体の表面形状を計測する表面形状計測部により得られた前記被検査体の表面形状の計測結果である表面形状データに基づいて、前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて前記被検査体の表面の磁場分布を計測する磁場分布計測部により得られた前記被検査体の磁場分布の計測結果である磁場分布データから前記被検査体の表面に存在する磁場特異部のデータを分離するデータ分離部と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体の表面形状を計測する表面形状計測ステップと、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体を磁化する励磁装置により磁化された前記被検査体の表面の磁場分布を計測する磁場分布計測ステップと、
前記被検査体の表面形状の計測結果である表面形状データに基づいて、前記被検査体の磁場分布の計測結果である磁場分布データから前記被検査体の表面に存在する磁場特異部のデータを分離するデータ分離ステップと
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
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