JP6234836B2 - 基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、長板状に構成された一対の挟持部材で基板の外周部を挟持する基板挟持機構、その基板挟持機構を備えて基板を固定する基板固定装置、およびその基板固定装置を備えて基板を検査可能な基板検査装置に関するものである。

この種の基板検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、測定装置、基板保持部および移動機構を備えて、回路基板を検査可能に構成されている。この回路基板検査装置では、基板保持部によって保持されている回路基板に対して、移動機構が測定用プローブを移動させて回路基板にプロービングさせ、測定装置が測定用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて回路基板の良否を検査する。また、基板保持部は、保持板と、保持板に取り付けられて回路基板の端部を挟み込んで固定するクランプ機構（挟持装置）とを備えて、回路基板を保持する。

この場合、上記の基板検査装置を含む出願人が開発している基板検査装置では、回路基板の外周部を一対の長板状の挟持部材で挟み込むように構成されたクランプ機構が採用されている。このクランプ機構は、一方の挟持部材（上側に位置する挟持部材）における長さ方向の両端部を他方の挟持部材（下側に位置する挟持部材）に向けてエアシリンダで押圧することによって回路基板の挟み込みを行うように構成されている。

特開２０１０−２８６４５１号公報（第４−６頁、第１図）

ところが、上記のクランプ機構には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このクランプ機構では、一方の挟持部材における長さ方向の両端部を他方の挟持部材に向けてエアシリンダで押圧することによって回路基板の挟み込みが行われる。この場合、長板状の部材では、長さ方向の中央部に向かうに従って剛性が低くなる。このため、挟持部材における長さ方向の両端部を押圧する上記のクランプ機構では、長さ方向の両端部においては、十分な力（挟持力）で回路基板を挟持することができるものの、長さ方向の中央部では、挟持力が不足して、回路基板を確実に固定することが困難となるおそれがある。この場合、大型のエアシリンダを用いて両端部に加える押圧力を十分に強めることで、中央部の挟持力を強める構成が考えられる。しかしながら、回路基板の外周に対してプロービングを行う際のプローブとエアシリンダとの衝突を防止するために、エアシリンダの大型化は制限される。また、回路基板検査装置を小形化するためには、クランプ機構を全体として小形化する必要があり、この観点からも、エアシリンダの大型化は制限される。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、小形化を図りつつ基板を確実に挟持し得る基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の基板挟持機構は、長板状にそれぞれ構成されると共に互いに対向するように配設されて長さ方向に沿った各々の縁部で基板の外周部を挟持可能な一対の挟持部材と、前記各縁部が前記外周部を挟持する挟持力を前記各挟持部材の両端部に対して作用させる一対のエアシリンダとを備えた基板挟持機構であって、前記各挟持部材における長さ方向の中央部には、当該中央部に対して前記挟持力を作用させる駆動機構が設けられ、前記駆動機構は、前記各挟持部材のいずれか一方における前記中央部に形成されて外部から供給される圧縮空気を貯留可能な空気室と、前記各挟持部材同士が接離する向きに移動可能に前記空気室内に配設されると共に前記各挟持部材の他方に先端部が取り付けられたプランジャとを備えて、前記空気室に対する前記圧縮空気の供給に伴って前記プランジャが前記他方の挟持部材を前記いずれか一方の挟持部材に対して相対的に引っ張る力を前記挟持力として前記中央部に対して作用させる。

また、請求項２記載の基板挟持機構は、請求項１記載の基板挟持機構において、前記空気室は、前記各挟持部材のうちの前記基板における前記外周部の下面側を挟持する挟持部材に形成されている。

また、請求項３記載の基板挟持機構は、請求項１または２記載の基板挟持機構において、前記各エアシリンダは、前記各挟持部材の前記各縁部同士を離間させる動作が可能に構成されている。

また、請求項４記載の基板固定装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板挟持機構と、当該基板挟持機構が配設される基台とを備えて、前記基板挟持機構によって挟持された前記基板を前記基台に固定可能に構成された。

また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項４記載の基板固定装置と、当該基板固定装置に固定された前記基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えている。

請求項１記載の基板挟持機構、請求項４記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置によれば、各挟持部材における長さ方向の中央部に対して挟持力を作用させる駆動機構を中央部に設けたことにより、各エアシリンダの押圧力を挟持力として各挟持部材の両端部に対して作用させることに加えて、駆動機構の引っ張り力を挟持力として各挟持部材の中央部に対して作用させることができる。このため、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置によれば、各挟持部材の両端部に対して作用させる挟持力だけで基板の外周部を挟持する構成とは異なり、大型のエアシリンダを用いることなく、各挟持部材の中央部に対して十分な挟持力を作用させることができる。また、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置では、挟持部材の中央部に形成した空気室と、空気室内に配設されたプランジャとを備えて駆動機構が構成されている。つまり、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置では、駆動機構が挟持部材の一部（挟持部材の内部構造）として構成されている。このため、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置によれば、挟持部材とは別体の（挟持部材から独立した）駆動機構を中央部に配設する構成とは異なり、基板挟持機構を小形化（薄型化）することができる。したがって、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置によれば、小形化を図りつつ基板の外周部を確実に挟持することができる。

また、請求項２記載の基板挟持機構、請求項４記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置では、基板における外周部の下面側を挟持する挟持部材に空気室が形成されている。この場合、一般的に、外周部の上面側を挟持する挟持部材（上側の挟持部材）は、外周部の下面側を挟持する挟持部材（下側の挟持部材）に対して移動させる必要があるため、基板固定装置の基台に固定される下側の挟持部材と比較して小型に構成されている。つまり、下側の挟持部材は、上側の挟持部材よりも大型に構成されている。このため、この基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置によれば、下側の挟持部材に空気室を形成することで、上側の挟持部材に空気室を形成する構成と比較して、空気室を大型化することができ、その分、挟持部材の中央部に対して大きな挟持力を作用させることができる結果、基板の外周部をより確実に挟持することができる。

また、請求項３記載の基板挟持機構、請求項４記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置によれば、各挟持部材の縁部同士を離間させる動作が可能に各エアシリンダを構成したことにより、縁部同士を離間させるためのバネなどの付勢部材を不要とすることができるため、その分、各挟持部材の構造を簡略化することができる結果、さらなる小形化を図ることができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 基板固定装置２の構成を示す斜視図である。 基板挟持機構１２ａ，１２ｂの構成を示す斜視図である。 基板挟持機構１２ａ，１２ｂの分解斜視図である。 駆動機構３３の構成を示す分解斜視図である。 図３におけるＸ面断面図である。 基板挟持機構１２ａ，１２ｂの動作を説明する第１の説明図である。 基板挟持機構１２ａ，１２ｂの動作を説明する第２の説明図である。

以下、基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、基板検査装置の一例であって、同図に示すように、基板固定装置２、プロービング装置３および処理部４を備えて、基板１００（図７参照）に対する電気的な検査を実行可能に構成されている。この場合、基板１００は、一例として、表面に導体パターン（図示せず）が形成されて、全体として矩形に構成されている。

基板固定装置２は、基板固定装置の一例であって、図２に示すように、基台１１および基板挟持機構１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「基板挟持機構１２」ともいう）を備えて構成されている。

基台１１は、図２に示すように、一例として、複数（この例では、８本）の柱状部材を連結して構成されている。また、基台１１の上部を構成する２つの柱状部材の上面には、基板挟持機構１２ａを移動させるためのレール２１ａ，２１ｂがそれぞれ配設されている。また、レール２１ａ，２１ｂには、同図に示すように、レール２１ａ，２１ｂに沿って移動（スライド）するスライダ２２ａ，２２ｂがそれぞれ配設され、さらに、スライダ２２ａ，２２ｂには、基板挟持機構１２ａの両端部を支持する支持部材２３ａ，２３ｂがそれぞれ取り付けられている。また、基台１１の上部を構成する２つの柱状部材の上面には、基板挟持機構１２ｂの両端部を支持する支持部材２３ｃ，２３ｄがそれぞれ配設されている。

この場合、この基板固定装置２では、図外の移動機構によってスライダ２２ａ，２２ｂがレール２１ａ，２１ｂに沿って移動させられ、これによってスライダ２２ａ，２２ｂに取り付けられた支持部材２３ａ，２３ｂ、および支持部材２３ａ，２３ｂに支持されている基板挟持機構１２ａが、基板挟持機構１２ｂに近接する向き、および基板挟持機構１２ｂから離反する向きに移動させられる。

基板挟持機構１２ａ，１２ｂは、図３，４に示すように、互いに対向するように配設された挟持部材３１ａ，３１ｂ（以下、区別しないときには「挟持部材３１」ともいう）、エアシリンダ３２ａ，３２ｂ（以下、区別しないときには「エアシリンダ３２」ともいう）、および駆動機構３３をそれぞれ備えて、図８に示すように、基板１００の外周部１０１を挟持可能に構成されている。なお、基板挟持機構１２ａ，１２ｂは、同様に構成されているため、以下の説明においては、基板挟持機構１２ａ，１２ｂを代表して基板挟持機構１２ａの構成について説明する。

挟持部材３１ａは、図３，４に示すように、本体部４１、挟持部４２ａ〜４２ｄ（以下、区別しないときには「挟持部４２」ともいう）およびガイド部４３ａ，４３ｂ（以下、区別しないときには「ガイド部４３」ともいう）を備えて全体として長板状（梁状）に構成されている。

本体部４１は、図３，４に示すように、断面が矩形の棒状に形成されている。挟持部４２は、両図に示すように、平面視略長方形の板状に形成されて、先端部が本体部４１から突出するようにして、基端部が本体部４１に固定されている（図６も参照）。また、挟持部４２は、図８に示すように、基板１００の外周部１０１を挟持する際に、各々の先端部の縁部Ｅ１（挟持部材３１ａの長さ方向に沿った縁部）が外周部１０１の下面１０２に当接するように構成されている。

ガイド部４３は、図３，４に示すように、平面視略長方形の板状に形成されて、先端部が本体部４１から突出するようにして、基端部が本体部４１に固定されている。このガイド部４３は、基板１００が基板固定装置２に搬入される際、および基板固定装置２から搬出される際に、各々の先端部の縁部Ｅ２で基板１００における外周部１０１の下面１０２をスライドさせてガイドする機能を有している。

挟持部材３１ｂは、図３，４に示すように、本体部５１および挟持部５２ａ〜５２ｃ（以下、区別しないときには「挟持部５２」ともいう）を備えて全体として長板状（梁状）に構成されている。

本体部５１は、図３，４に示すように、断面が矩形の棒状に形成されている。挟持部５２は、両図に示すように、平面視略長方形の板状に形成されて、先端部が本体部５１から突出するようにして、基端部が本体部５１に固定されている（図６も参照）。また、挟持部５２は、図８に示すように、基板１００の外周部１０１を挟持する際に、各々の先端部の縁部Ｅ３（挟持部材３１ｂの長さ方向に沿った縁部）が外周部１０１の上面１０３に当接するように構成されている。

エアシリンダ３２ａ，３２ｂは、図３に示すように、挟持部材３１ａの本体部４１における長さ方向の端部４１ａ，４１ｂにシリンダ部が取り付けられると共に、挟持部材３１ｂの本体部５１における長さ方向の端部５１ａ，５１ｂにピストンの先端部が取り付けられている。また、エアシリンダ３２ａ，３２ｂは、図外のエア供給装置から供給されるエア（圧縮空気）によって作動する。

この場合、エアシリンダ３２ａ，３２ｂは、図３，４に示すように、２つのエア供給口（エアカプラ）７１，７２を備え、エア供給口７１にエアが供給されたときにピストンを下向きに移動させることにより、挟持部材３１ａ（各挟持部材３１のいずれか一方）に向けて、挟持部材３１ｂ（各挟持部材３１の他方）における長さ方向の両端部（本体部４１の端部４１ａ，４１ｂ）をそれぞれ押圧する。これにより、各挟持部材３１ａ，３１ｂの縁部Ｅ１，Ｅ３が基板１００の外周部１０１を挟持する挟持力が発生する。つまり、エアシリンダ３２ａ，３２ｂは、挟持力としての押圧力を各挟持部材３１の両端部に作用させる。また、エアシリンダ３２ａ，３２ｂは、エア供給口７２にエアが供給されたときにピストンを上向きに移動させることにより、挟持部材３１ａ，３１ｂの各縁部Ｅ１，Ｅ３同士が離間する向きの力を各挟持部材３１ａ，３１ｂに対して作用させる動作が可能に構成されている。

駆動機構３３は、図３に示すように、各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに設けられて、中央部Ｃに対して挟持力を作用させる機構であって、図５に示すように、凹部６１、閉塞部材６２およびプランジャ６３を備えて構成されている。

凹部６１は、図５，６に示すように、挟持部材３１ａ（各挟持部材３１のいずれか一方）の本体部４１における長さ方向の中央部４１ｃ（挟持部材３１の中央部Ｃに相当する）に形成されている。なお、中央部４１ｃの位置は、本体部４１における長さ方向の中心であってもよいし、中心からややずれた位置であってもよい。この場合、凹部６１は、円筒状に形成されている。また、図６に示すように、凹部６１を構成する内壁には、挟持部材３１ａに取り付けられているエア供給口（エアカプラ）６５を介して外部（図外のエア供給装置）から供給されるエア（圧縮空気）の流入、エアの排出を行うための通気口６１ａが形成されている。

閉塞部材６２は、図５に示すように、凹部６１の開口部を閉塞可能な円板状に構成されて、図６に示すように、凹部６１の開口部を覆った状態で固定ねじ６４によって本体部４１に固定されている。また、閉塞部材６２の中心部には、図５に示すように、プランジャ６３の軸部６３ｂを挿通させる挿通孔６２ａが形成されている。この場合、図６に示すように、凹部６１と閉塞部材６２とにより、エア供給口６５を介して外部から供給されるエアを貯留可能な空気室Ｓが構成される。

プランジャ６３は、図５，６に示すように、本体部６３ａと軸部６３ｂとを備えて構成されている。また、プランジャ６３は、凹部６１と閉塞部材６２とによって構成される空気室Ｓ内に本体部６３ａが位置し、閉塞部材６２の挿通孔６２ａに軸部６３ｂが挿通するように配設されている。また、図６に示すように、軸部６３ｂの先端部は、固定ねじ６６によって挟持部材３１ｂ（各挟持部材３１の他方）における長さ方向の中央部（挟持部５２ｂの中央部）に取り付けられている。

このプランジャ６３は、空気室Ｓ内における本体部６３ａよりも閉塞部材６２側の領域に通気口６１ａからエアが供給されることによって本体部６３ａが下向き（凹部６１の底部向き）に押圧されて、下向きに移動する。また、プランジャ６３の移動により、軸部６３ｂの先端部が取り付けられている挟持部材３１ｂにおける長さ方向の中央部が下向き（各挟持部材３１ａ，３１ｂが互いに近接する向き）に引っ張られ、この引っ張り力が挟持力として各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに対して作用する。

プロービング装置３は、基板固定装置２によって固定されている基板１００に対して図外のプローブをプロービングさせるプロービング処理を実行する。

処理部４は、基板固定装置２における図外の移動機構を制御して、基板挟持機構１２ｂに近接する向き、および基板挟持機構１２ｂから離反する向きに基板挟持機構１２ａを移動させる。また、処理部４は、図外のエア供給装置を制御して、基板固定装置２の各基板挟持機構１２における各エアシリンダ３２のエア供給口７１，７２に対するエアの供給および停止を行わせる。また、処理部４は、エア供給装置を制御して、駆動機構３３に対するエアの供給および停止を行わせる。さらに、処理部４は、プロービング装置３によるプロービング処理を制御する。また、処理部４は、検査部として機能して、プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する検査処理を実行する。

次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。なお、初期状態では、基板挟持機構１２ａ，１２ｂが互いに近接しているものとする。

まず、検査対象の基板１００を基板固定装置２に固定させる。具体的には、図外の操作部を操作して、基板１００の大きさ等の各種設定値を入力する。次いで、処理部４が、基板固定装置２における図外の移動機構を制御して、基板挟持機構１２ｂから離反する向きに基板挟持機構１２ａを移動させ、入力した基板１００の大きさに応じた距離だけ基板挟持機構１２ａが移動した時点で移動を停止させる。

続いて、処理部４は、図外のエア供給装置を制御して、基板固定装置２の各基板挟持機構１２における各エアシリンダ３２のエア供給口７１に対してエアを供給させる。この際に、エア供給口７１に対するエアの供給によって各エアシリンダ３２のピストンが上向きに移動し、これにより、図６に示すように、挟持部材３１ａ，３１ｂの各縁部Ｅ１，Ｅ３同士が離間する。

次いで、図外の基板搬送装置が基板固定装置２に基板１００を搬入する。この場合、基板１００は、各基板挟持機構１２の挟持部材３１ａにおけるガイド部４３ａの縁部Ｅ２上に外周部１０１の下面１０２が支持されるように、図１における左上側（搬入側）から搬入され、ガイド部４３ａの縁部Ｅ２上をスライドして、図７に示すように、挟持部４２ａ〜４２ｄの各縁部Ｅ１にガイドされる。

続いて、処理部４は、エア供給装置を制御して、各基板挟持機構１２における各エアシリンダ３２のエア供給口７１に対するエアの供給を停止させると共に、各エアシリンダ３２のエア供給口７２に対してエアを供給させる。この際に、各エアシリンダ３２のピストンが下向きに移動して挟持部材３１ａ（各挟持部材３１のいずれか一方）に向けて、挟持部材３１ｂ（各挟持部材３１の他方）における長さ方向の両端部（本体部４１の端部４１ａ，４１ｂ）をそれぞれ押圧する。これにより、図８に示すように、挟持部材３１ａ，３１ｂの各縁部Ｅ１，Ｅ３同士が近接して、各縁部Ｅ１，Ｅ３が基板１００における外周部１０１の下面１０２および上面１０３にそれぞれ当接し、各エアシリンダ３２の押圧力が挟持力として各挟持部材３１の両端部に対して作用する。これにより、外周部１０１が各挟持部材３１の各縁部Ｅ１，Ｅ３によって挟持される。

また、処理部４は、エア供給装置を制御して、駆動機構３３に対してエアを供給させる。この際に、エア供給装置から供給されるエアが、挟持部材３１ａに取り付けられているエア供給口６５（図５，６参照）を介して、凹部６１と閉塞部材６２とによって構成される空気室Ｓ内における本体部６３ａよりも閉塞部材６２側の領域に供給される。

このため、プランジャ６３の本体部６３ａが、下向き（凹部６１の底部向き）に押圧されて、下向きに移動する。また、プランジャ６３の移動により、軸部６３ｂの先端部が取り付けられている挟持部材３１ｂにおける長さ方向の中央部が下向き（各挟持部材３１ａ，３１ｂが互いに近接する向き）に引っ張られ、この引っ張り力が挟持力として各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに対して作用する。

この基板挟持機構１２では、上記したように、各エアシリンダ３２の押圧力が挟持力として各挟持部材３１の両端部に対して作用することに加えて、駆動機構３３の引っ張り力が挟持力として各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに対して作用する。このため、この基板挟持機構１２では、各挟持部材３１の両端部に対して作用する挟持力だけで基板１００の外周部１０１を挟持する構成とは異なり、大型のエアシリンダを用いることなく、長さ方向の中央部Ｃに対して十部な挟持力を作用させることが可能となっている。したがって、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１では、小形化を図りつつ基板１００を確実に挟持することが可能となっている。

次いで、処理部４は、プロービング装置３を制御してプロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、プロービング装置３は、基板１００の上面１０３において予め規定されているプロービング位置にプローブをプロービング（接触）させる。

この場合、上記したように、基板固定装置２によって基板１００が確実に固定されて、基板１００の位置ずれが確実に防止されている。このため、プロービング位置にプロービングを確実にプロービングさせることが可能となっている。

続いて、処理部４は、プローブを介して入出力する電気信号に基づき、基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。この場合、上記したように、基板１００の検査対象ポイントに対してプローブが確実にプロービングされているため、基板１００の検査が正確に行われる。

次いで、検査処理が終了したときには、処理部４は、プロービング装置３を制御して、プローブを初期位置に移動させる。続いて、処理部４は、エア供給装置を制御して、各基板挟持機構１２における各エアシリンダ３２のエア供給口７２に対するエアの供給を停止させる。これにより、各挟持部材３１の両端部に対する各エアシリンダ３２による押圧が停止して、各挟持部材３１の両端部に対して作用していた挟持力が消失（または低下）する。

また、処理部４は、エア供給装置を制御して、駆動機構３３（エア供給口６５）に対するエアの供給を停止させる。これにより、駆動機構３３による挟持部材３１ｂの引っ張りが停止して、各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに対して作用していた挟持力が消失（または低下）する。

次いで、処理部４は、エア供給装置を制御して、各エアシリンダ３２のエア供給口７１に対してエアを供給させる。この際に、エア供給口７１に対するエアの供給によって各エアシリンダ３２のピストンが上向きに移動し、これにより、図７に示すように、挟持部材３１ａ，３１ｂの各縁部Ｅ１，Ｅ３同士が離間する。

続いて、基板搬送装置が基板固定装置２から基板１００を搬出する。この場合、基板１００は、外周部１０１の下面１０２がガイド部４３ｂの縁部Ｅ２上をスライドして図１における右下側（搬出側）にガイドされて搬出される。以上により、基板１００の検査が終了する。次いで、他の基板１００を検査する際には、処理部４および基板搬送装置が上記した各処理を実行する。

このように、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、各挟持部材３１における長さ方向の中央部Ｃに対して挟持力を作用させる駆動機構３３を中央部Ｃに設けたことにより、各エアシリンダ３２の押圧力を挟持力として各挟持部材３１の両端部に対して作用させることに加えて、駆動機構３３の引っ張り力を挟持力として各挟持部材３１の中央部Ｃに対して作用させることができる。このため、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、各挟持部材３１の両端部に対して作用させる挟持力だけで基板１００の外周部１０１を挟持する構成とは異なり、大型のエアシリンダを用いることなく、各挟持部材３１の中央部Ｃに対して十分な挟持力を作用させることができる。また、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１では、挟持部材３１ａにおける本体部４１の中央部４１ｃに形成した空気室Ｓと、空気室Ｓ内に配設されたプランジャ６３とを備えて駆動機構３３が構成されている。つまり、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１では、駆動機構３３が挟持部材３１の一部（挟持部材３１の内部構造）として構成されている。このため、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、挟持部材３１とは別体の（挟持部材３１から独立した）駆動機構３３を中央部Ｃに配設する構成とは異なり、基板挟持機構１２を小形化（薄型化）することができる。したがって、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、小形化を図りつつ基板１００の外周部１０１を確実に挟持することができる。

また、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１では、基板１００における外周部１０１の下面１０２側を挟持する挟持部材３１ａに空気室Ｓが形成されている。この場合、一般的に、外周部１０１の上面１０３側を挟持する挟持部材３１ｂは、挟持部材３１ａに対して移動させる必要があるため、基台１１に固定される挟持部材３１ａと比較して小型に構成されている。つまり、挟持部材３１ａは、挟持部材３１ｂよりも大型に構成されている。このため、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、挟持部材３１ａに空気室Ｓを形成することで、挟持部材３１ｂに空気室Ｓを形成する構成と比較して、空気室Ｓを大型化することができ、その分、挟持部材３１の中央部Ｃに対して大きな挟持力を作用させることができる結果、基板１００の外周部１０１をより確実に挟持することができる。

また、この基板挟持機構１２、基板固定装置２および基板検査装置１によれば、各挟持部材３１の縁部Ｅ１，Ｅ３同士を離間させる動作が可能に各エアシリンダ３２を構成したことにより、縁部Ｅ１，Ｅ３同士を離間させるためのバネなどの付勢部材を不要とすることができるため、その分、各挟持部材３１の構造を簡略化することができる結果、さらなる小形化を図ることができる。

なお、基板挟持機構、基板固定装置および基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、１つの駆動機構３３を設けた例について上記したが、複数の駆動機構３３を設ける構成を採用することもできる。

また、挟持部材３１ａに空気室Ｓ（凹部６１）を形成した例について上記したが、挟持部材３１ｂ（例えば、挟持部５２ｂの中央部）に空気室Ｓを形成する構成を採用することもできる。

また、凹部６１、閉塞部材６２およびプランジャ６３の形状は、上記した形状に限定されず、任意に変更することができる。例えば、断面形状（平面視形状）が多角形や楕円形をなす凹部６１および閉塞部材６２、並びにその凹部６１および閉塞部材６２によって構成される空気室Ｓ内で移動可能な形状のプランジャ６３で駆動機構３３を構成することができる。

また、凹部６１を構成する内壁に、上記した通気口６１ａに加えて、プランジャ６３を上向き移動させるための通気口をさらに形成し、基板１００の搬入および搬出を行う際に、挟持部材３１ａ，３１ｂの各縁部Ｅ１，Ｅ３同士が離間する向きの力を各挟持部材３１に対して作用させるように駆動機構３３を構成することもできる。

１ 基板検査装置
２ 基板固定装置
３ プロービング装置
４ 処理部
１１ 基台
１２ａ，１２ｂ 基板挟持機構
３１ａ，３１ｂ 挟持部材
３２ａ，３２ｂ エアシリンダ
３３ 駆動機構
６１ 凹部
６２ 閉塞部材
６３ プランジャ
１００ 基板
１０１ 外周部
１０２ 下面
Ｃ 中央部
Ｓ 空気室

Claims (5)

1. 長板状にそれぞれ構成されると共に互いに対向するように配設されて長さ方向に沿った各々の縁部で基板の外周部を挟持可能な一対の挟持部材と、前記各縁部が前記外周部を挟持する挟持力を前記各挟持部材の両端部に対して作用させる一対のエアシリンダとを備えた基板挟持機構であって、
   前記各挟持部材における長さ方向の中央部には、当該中央部に対して前記挟持力を作用させる駆動機構が設けられ、
   前記駆動機構は、前記各挟持部材のいずれか一方における前記中央部に形成されて外部から供給される圧縮空気を貯留可能な空気室と、前記各挟持部材同士が接離する向きに移動可能に前記空気室内に配設されると共に前記各挟持部材の他方に先端部が取り付けられたプランジャとを備えて、前記空気室に対する前記圧縮空気の供給に伴って前記プランジャが前記他方の挟持部材を前記いずれか一方の挟持部材に対して相対的に引っ張る力を前記挟持力として前記中央部に対して作用させる基板挟持機構。
2. 前記空気室は、前記各挟持部材のうちの前記基板における前記外周部の下面側を挟持する挟持部材に形成されている請求項１記載の基板挟持機構。
3. 前記各エアシリンダは、前記各挟持部材の前記各縁部同士を離間させる動作が可能に構成されている請求項１または２記載の基板挟持機構。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の基板挟持機構と、当該基板挟持機構が配設される基台とを備えて、前記基板挟持機構によって挟持された前記基板を前記基台に固定可能に構成された基板固定装置。
5. 請求項４記載の基板固定装置と、当該基板固定装置に固定された前記基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。

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