JP6226533B2 - Organic electroluminescence device - Google Patents

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本発明は、有機電界発光素子に関する。より詳しくは、電子機器の表示部等の表示装置や照明装置等としての利用可能な有機電界発光素子に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescent device. More specifically, the present invention relates to an organic electroluminescent element that can be used as a display device such as a display unit of an electronic device, a lighting device, or the like.

表示用デバイスや照明に適用できる新しい発光素子として有機電界発光素子(有機EL素子)が期待されている。
有機EL素子は、陽極と陰極との間に発光性有機化合物を含んで形成される発光層を含む1種または複数種の層を挟んだ構造を持ち、陽極から注入されたホールと陰極から注入された電子が再結合する時のエネルギーを利用して発光性有機化合物を励起させ、発光を得るものである。有機EL素子は電流駆動型の素子であり、流れる電流をより効率的に活用するため、素子構造が種々改良され、また、素子を構成する層の材料についても種々検討されている。
An organic electroluminescent element (organic EL element) is expected as a new light emitting element applicable to a display device or illumination.
An organic EL element has a structure in which one or more layers including a light emitting layer formed by including a light emitting organic compound are sandwiched between an anode and a cathode, and is injected from holes and cathodes injected from the anode. The light-emitting organic compound is excited using the energy when the generated electrons recombine to obtain light emission. The organic EL element is a current-driven element, and in order to utilize the flowing current more efficiently, various element structures have been improved, and various materials for the layers constituting the element have been studied.

陽極から注入されたホールと陰極から注入された電子との再結合時のエネルギーを利用して発光性有機化合物を励起させ、発光を得る有機電界発光素子では、陽極からのホール注入、陰極からの電子注入がともにスムーズに行われることが重要であるため、よりスムーズなホール注入、電子注入が行われるよう、正孔注入層、電子注入層の材料についても種々検討され、最近では塗布できる電子注入層の材料として、ポリエチレンイミンやポリエチレンイミンを修飾した化合物を用いた順構造の有機電界発光素子が報告されている(非特許文献1〜3参照。)。 In an organic electroluminescence device that emits light by exciting the light-emitting organic compound by utilizing the energy at the time of recombination of holes injected from the anode and electrons injected from the cathode, hole injection from the anode, Since it is important that both electron injections be performed smoothly, various materials have been studied for the hole injection layer and the electron injection layer so that the hole injection and electron injection can be performed more smoothly. A normal structure organic electroluminescent element using polyethyleneimine or a compound modified with polyethyleneimine has been reported as a layer material (see Non-Patent Documents 1 to 3).

ところで、陰極と陽極との間の層が全て有機化合物で形成された有機電界発光素子は、結果として酸素や水によって劣化しやすく、これらの侵入を防ぐために厳密な封止が不可欠である。このことは、有機電界発光素子の製造工程を煩雑なものとする原因となっている。これに対し、陰極と陽極との間の層の一部が無機酸化物で形成された有機無機ハイブリッド型の電界発光素子(HOILED素子)が提案されている(特許文献1参照。)。この素子では、正孔輸送層、電子輸送層を無機酸化物に変えることで、陰極として導電性酸化物電極であるFTOやITO、陽極として金を使用することが可能になった。このことは素子駆動の観点からは電極に対する制約がなくなったことを意味する。結果、アルカリ金属やアルカリ金属化合物等、仕事関数の小さな金属を用いる必要がなくなり、厳密な封止無しで発光させることが可能となっている。加えてこのHOILED素子は、陰極が基板直上にあることが標準であり、上部電極に陽極がくる逆構造という特徴を有している。酸化物TFTの発展に伴い、大型有機ELディスプレイへの適用が検討される中、n型である酸化物TFTの特徴から逆構造の有機ELが注目されて来ている。本HOILED素子は逆構造有機EL素子の候補として発展が期待されている。 By the way, the organic electroluminescent element in which the layers between the cathode and the anode are all formed of an organic compound is likely to be deteriorated by oxygen or water as a result, and strict sealing is indispensable to prevent these intrusions. This causes a complicated manufacturing process of the organic electroluminescent element. On the other hand, an organic-inorganic hybrid electroluminescent element (HOILED element) in which a part of a layer between a cathode and an anode is formed of an inorganic oxide has been proposed (see Patent Document 1). In this element, by changing the hole transport layer and the electron transport layer to inorganic oxides, it became possible to use FTO or ITO which is a conductive oxide electrode as a cathode and gold as an anode. This means that there are no restrictions on the electrodes from the viewpoint of element driving. As a result, it is not necessary to use a metal having a small work function such as an alkali metal or an alkali metal compound, and light can be emitted without strict sealing. In addition, this HOILED element is characterized in that the cathode is directly above the substrate, and the reverse structure is such that the anode comes to the upper electrode. Along with the development of oxide TFTs, while application to large organic EL displays is being studied, organic ELs having a reverse structure have attracted attention because of the characteristics of n-type oxide TFTs. This HOILED element is expected to develop as a candidate for an inverted organic EL element.

特開2009−70954号公報JP 2009-70954 A

タオ シオン(Tao Xiong)外3名「アプライド フィジクス レターズ(Applied Physics Letters)」93巻、2008年、pp123310−1Three people outside Tao Xiong, “Applied Physics Letters” 93, 2008, pp123310-1 インファ ジョウ(Yinhua Zhou)外21名「サイエンス(Science)」336号、2012年、pp32721 people from Yinhua Zhou, “Science” 336, 2012, pp327 ジャンシャン チェン(Jianshan Chen)外6名「ジャーナル オブ マテリアルズ ケミストリー(Journal or Materials Chemistry)」2012年、22巻、pp51646 people from Jiangshan Chen, “Journal of Materials Chemistry”, 2012, Volume 22, pp5164

上記のように、厳密な封止を必要としない有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子が提案されている。しかしながら、有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子では、陽極からの正孔の注入に比べて陰極からの電子の注入が少なく、陽極から注入される正孔を発光のために充分に活用できていないという課題がある。
表示装置や照明装置等の用途への利用の拡大が期待される有機電界発光素子は、製造しやすいことも重要な要素であるため、厳密な封止を必要としない有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子への期待は高く、有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子の発光効率および寿命を更に高める方法が求められている。加えて、ディスプレイ用途においては、逆構造を有するHOILED素子は回路上有用であり、その発展が待ち望まれている。
As described above, organic-inorganic hybrid type organic electroluminescent elements that do not require strict sealing have been proposed. However, in the organic-inorganic hybrid organic electroluminescent device, the injection of electrons from the cathode is less than the injection of holes from the anode, and the holes injected from the anode cannot be fully utilized for light emission. There is a problem.
Organic electroluminescent elements, which are expected to be used more widely in applications such as display devices and lighting devices, are also an important factor for their ease of manufacture, so organic-inorganic hybrid organic electric fields that do not require strict sealing Expectations for light emitting elements are high, and a method for further increasing the light emission efficiency and lifetime of organic-inorganic hybrid organic electroluminescent elements is required. In addition, in a display application, a HOILED element having an inverse structure is useful on a circuit, and its development is awaited.

本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、製造しやすく、また、発光効率および寿命にも優れた有機電界発光素子を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described present situation, and an object thereof is to provide an organic electroluminescent element that is easy to manufacture and has excellent luminous efficiency and lifetime.

本発明者は、厳密な封止を必要としない有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子の発光効率および寿命を更に高める方法について種々検討したところ、陽極と陰極との間に有する金属酸化物層上に所定の厚みの窒素含有膜を形成すると、電子注入特性が向上し、素子が長寿命化することを見出した。中でも、窒素含有膜を構成する原子中の窒素原子比率が高い窒素含有膜や窒素含有化合物を分解させて窒素含有膜を形成する方法により形成した窒素含有膜を有するものがより好適であることも見出し、さらに、窒素含有化合物の分解により形成され、かつ、窒素含有膜を構成する原子中の窒素原子比率が高いものが更に好適であることを見いだした。本発明者は、有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子を構成する層としてこのような窒素含有膜を用いると、発光効率に優れるだけでなく、駆動安定性が高く、駆動寿命の長い有機電界発光素子となることを見いだし、本発明に到達したものである。 The present inventor has conducted various studies on methods for further increasing the luminous efficiency and lifetime of organic-inorganic hybrid organic electroluminescent devices that do not require strict sealing. It was found that forming a nitrogen-containing film having a predetermined thickness improves the electron injection characteristics and prolongs the lifetime of the device. Among these, a nitrogen-containing film having a high nitrogen atom ratio in the atoms constituting the nitrogen-containing film or a nitrogen-containing film formed by a method of decomposing a nitrogen-containing compound to form a nitrogen-containing film may be more preferable. Further, the inventors found that a material formed by decomposition of a nitrogen-containing compound and having a high nitrogen atom ratio in atoms constituting the nitrogen-containing film is more suitable. When the present inventor uses such a nitrogen-containing film as a layer constituting an organic / inorganic hybrid type organic electroluminescence device, the present inventor not only has excellent luminous efficiency but also has high driving stability and long driving life. It has been found that it becomes an element, and has reached the present invention.

すなわち本発明は、陽極と、基板上に形成された陰極との間に複数の層が積層された構造を有する有機電界発光素子であって、上記有機電界発光素子は、陽極と陰極との間に金属酸化物層を有し、上記金属酸化物層上に、窒素含有膜からなり、平均厚さが3〜150nmの層を有することを特徴とする有機電界発光素子である。
以下に本発明を詳述する。
なお、以下において記載する本発明の個々の好ましい形態を2つ以上組み合わせたものもまた、本発明の好ましい形態である。
That is, the present invention relates to an organic electroluminescent device having a structure in which a plurality of layers are laminated between an anode and a cathode formed on a substrate, wherein the organic electroluminescent device is provided between the anode and the cathode. The organic electroluminescence device is characterized in that it comprises a metal oxide layer, and comprises a layer containing a nitrogen-containing film and an average thickness of 3 to 150 nm on the metal oxide layer.
The present invention is described in detail below.
A combination of two or more preferred embodiments of the present invention described below is also a preferred embodiment of the present invention.

本発明の有機電界発光素子は、陽極と、基板上に形成された陰極との間に複数の層が積層された構造を有する逆構造の有機電界発光素子であって、陽極と陰極との間に金属酸化物層を有し、該金属酸化物層上に、窒素含有膜からなり、平均厚さが3〜150nmの層を有するものである限り、他の層の数、他の層を構成する材料や積層する順番は特に制限されないが、金属酸化物層と窒素含有化合物層とが、陰極と発光層との間にあることが好ましい。窒素含有化合物は、電子注入特性に優れたものであり、このような層構成を有する有機電界発光素子は、高い電子注入特性を有することになり、発光効率に優れた素子となる。 The organic electroluminescent device of the present invention is an organic electroluminescent device having an inverted structure having a structure in which a plurality of layers are laminated between an anode and a cathode formed on a substrate, and is between the anode and the cathode. As long as it has a metal oxide layer and a nitrogen-containing film on the metal oxide layer and has an average thickness of 3 to 150 nm, the number of other layers and other layers are configured. There are no particular restrictions on the materials used or the order of lamination, but it is preferable that the metal oxide layer and the nitrogen-containing compound layer are between the cathode and the light-emitting layer. Nitrogen-containing compounds have excellent electron injection characteristics, and an organic electroluminescence device having such a layer structure has high electron injection characteristics, and thus has excellent luminous efficiency.

本発明の有機電界発光素子に用いられる窒素含有膜には、(1)金属酸化物層上で窒素含有化合物により形成された窒素含有膜、(2)金属酸化物層上で窒素含有化合物により形成された高窒素含有膜、(3)金属酸化物層上で窒素含有化合物を分解させることで形成された窒素含有膜、(4)金属酸化物層上で窒素含有化合物を分解させることで形成された高窒素含有膜の合計4種類が存在する。
このような膜を形成することで有機電界発光素子の性能が向上する理由については以下のように推定される。
まず第一に窒素原子を含む場合、その孤立電子対は基材中の金属原子と結合を作る傾向にある。その金属-窒素結合間の分極が、強い電子注入特性を発現することになる。上記(1)〜(4)全ての窒素含有膜において、それは満たされる。より好適には、孤立電子対を有する窒素原子比率が高い上記(2)が適している。
上記(3)、(4)では、膜生成に関わる分解の現象により高密度に窒素原子が基材上に存在する膜となる事が期待され、結果として、多彩な金属−窒素結合が出現することが期待される。そしてその中には、従来よりも強固な金属−窒素結合も存在すると考えられる。さらに、分解の状況によっては、不要な炭素等の他の成分が消失する事により、相対的に窒素原子分率が上昇し、結果として、より好適な環境が実現される場合もある(4)。これらの窒素含有膜では、主たる窒素の起源が金属−窒素結合になることから、通常の分子の物理吸着よりも高密度に窒素原子が集積されていると期待される。これらの要因により、このような窒素含有膜を有することで、有機電界発光素子が、発光効率に優れ、素子駆動安定性と素子寿命に優れたものとなると考えられる。実際、上記窒素含有化合物の分解に起因する現象は、表面分析手法の一つであるX線光電子分光法により立証できる。具体的な結果は実施例で示すが、窒素含有化合物として窒素と炭素とを構成元素として含む化合物を用い、この化合物を分解させる処理をすることにより、炭素:窒素比(CN比)が2:1から1:1にまで高窒素比率になっている事が観測されている。また同時に、上記処理により、窒素のスペクトルの半値幅の増加が観測されており、この事は、化学環境の広がりを示しており、より強固な金属−窒素結合の出現も示唆されている。
したがって、窒素含有膜からなる層の下地が金属元素を含む膜であることも上記のような本発明の有機電界発光素子が奏する効果の発現に大きく寄与していると考えられる。
The nitrogen-containing film used in the organic electroluminescent device of the present invention includes (1) a nitrogen-containing film formed with a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer, and (2) formed with a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer. A high nitrogen-containing film formed, (3) a nitrogen-containing film formed by decomposing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer, and (4) formed by decomposing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer. There are a total of four types of high nitrogen-containing films.
The reason why the performance of the organic electroluminescent element is improved by forming such a film is estimated as follows.
First of all, when a nitrogen atom is included, the lone pair tends to form a bond with a metal atom in the substrate. The polarization between the metal-nitrogen bonds exhibits strong electron injection characteristics. In all the nitrogen-containing films (1) to (4) above, it is satisfied. More preferably, the above (2) having a high ratio of nitrogen atoms having a lone electron pair is suitable.
In the above (3) and (4), it is expected that a film in which nitrogen atoms are present on the base material at high density due to the phenomenon of decomposition related to film formation, and as a result, various metal-nitrogen bonds appear. It is expected. Among them, it is considered that there is also a stronger metal-nitrogen bond than before. Furthermore, depending on the state of decomposition, other components such as unnecessary carbon disappear, and thus the nitrogen atom fraction is relatively increased. As a result, a more favorable environment may be realized (4). . In these nitrogen-containing films, since the main source of nitrogen is a metal-nitrogen bond, it is expected that nitrogen atoms are accumulated at a higher density than physical adsorption of ordinary molecules. Due to these factors, it is considered that by having such a nitrogen-containing film, the organic electroluminescent element is excellent in luminous efficiency, excellent in element driving stability and element lifetime. In fact, the phenomenon resulting from the decomposition of the nitrogen-containing compound can be verified by X-ray photoelectron spectroscopy, which is one of surface analysis techniques. Specific results will be shown in the examples. By using a compound containing nitrogen and carbon as constituent elements as a nitrogen-containing compound and treating this compound, the carbon: nitrogen ratio (CN ratio) is 2: It has been observed that the nitrogen ratio is high from 1: 1 to 1: 1. At the same time, an increase in the half-value width of the nitrogen spectrum was observed by the above treatment, which indicates the spread of the chemical environment, suggesting the appearance of a stronger metal-nitrogen bond.
Therefore, it can be considered that the foundation of the layer made of a nitrogen-containing film is a film containing a metal element, which greatly contributes to the manifestation of the effect of the organic electroluminescence device of the present invention as described above.

上記(1)、(2)の窒素含有膜は、金属酸化物層上に形成された窒素含有化合物からなる膜、すなわち、窒素含有化合物が分解することなく膜を形成したものである。上記(2)の窒素含有膜は、窒素含有化合物として、窒素含有化合物を構成する全原子数に対する窒素原子数の割合が高いものを用いて形成されるものである。
上記(1)、(2)の窒素含有膜の形成方法は特に制限されないが、窒素含有化合物の溶液を金属酸化物層上に塗布した後、溶媒を揮発させる方法が好適に用いられる。
The nitrogen-containing films of the above (1) and (2) are films made of a nitrogen-containing compound formed on the metal oxide layer, that is, films formed without decomposition of the nitrogen-containing compound. The nitrogen-containing film of (2) is formed using a nitrogen-containing compound having a high ratio of the number of nitrogen atoms to the total number of atoms constituting the nitrogen-containing compound.
The method for forming the nitrogen-containing film of the above (1) and (2) is not particularly limited, but a method of volatilizing the solvent after applying a solution of the nitrogen-containing compound on the metal oxide layer is suitably used.

上記(3)、(4)の窒素含有膜は、金属酸化物層上で窒素含有化合物を分解させることで形成される膜であるが、窒素含有化合物の一部に分解されないものが残っていてもよい。好ましくは、窒素含有化合物の全てが分解されることである。
上記(3)、(4)の窒素含有膜の形成方法は特に制限されないが、窒素含有化合物の溶液を金属酸化物層上に塗布した後、窒素含有化合物を分解して形成する方法が好適に用いられる。
The nitrogen-containing films of the above (3) and (4) are films formed by decomposing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer, but some of the nitrogen-containing compound remains undecomposed. Also good. Preferably, all of the nitrogen-containing compound is decomposed.
The method for forming the nitrogen-containing film in the above (3) and (4) is not particularly limited, but a method in which the nitrogen-containing compound is decomposed and formed after applying a solution of the nitrogen-containing compound on the metal oxide layer is preferable. Used.

上記窒素含有膜は、金属酸化物層上に窒素含有化合物を含む溶液を塗布する工程を含む方法により形成されたものであることが好ましい。このような工程を含む方法で窒素含有膜を形成することで、以下のような効果も得られる。
有機電界発光素子の金属酸化物層は、後述するようにスプレー熱分解法、ゾルゲル法、スパッタ法等の方法で成膜され、表面は平滑ではなく凹凸を持つ。この金属酸化物層の上に、真空蒸着等の方法で発光層を成膜した場合、発光層の原料となる成分の種類によっては、金属酸化物層の表面の凹凸が結晶核となり、金属酸化物層に接する発光層を形成する材料の結晶化が促進される。このため、有機電界発光素子を完成させたとしても、大きなリーク電流が流れ、発光面が不均一化して、実用に耐える素子が得られない場合がある。
しかし、溶液を塗布して層を形成すると、表面の平滑な層を形成することができるため、金属酸化物層と発光層との間に塗布により窒素含有化合物層を形成すると、発光層を形成する材料の結晶化が抑制され、これによって、金属酸化物層を有する有機電界発光素子がリーク電流の抑制と、均一な面発光を得ることができることになる。
The nitrogen-containing film is preferably formed by a method including a step of applying a solution containing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer. By forming the nitrogen-containing film by a method including such steps, the following effects can be obtained.
The metal oxide layer of the organic electroluminescent element is formed by a method such as a spray pyrolysis method, a sol-gel method, or a sputtering method as will be described later, and the surface is not smooth but has irregularities. When a light-emitting layer is formed on the metal oxide layer by a method such as vacuum deposition, depending on the type of components used as the raw material of the light-emitting layer, the unevenness on the surface of the metal oxide layer becomes crystal nuclei, and metal oxidation The crystallization of the material forming the light emitting layer in contact with the physical layer is promoted. For this reason, even if the organic electroluminescent element is completed, a large leak current flows, the light emitting surface becomes non-uniform, and an element that can withstand practical use may not be obtained.
However, when a layer is formed by applying a solution, a smooth surface layer can be formed. Therefore, when a nitrogen-containing compound layer is formed by coating between a metal oxide layer and a light emitting layer, a light emitting layer is formed. Thus, the crystallization of the material to be suppressed is suppressed, whereby the organic electroluminescent element having the metal oxide layer can suppress the leakage current and obtain uniform surface light emission.

上記窒素含有膜は、膜を構成する元素として窒素元素と炭素元素とを含み、該膜を構成する窒素原子と炭素原子との存在比率が
窒素原子数/(窒素原子数+炭素原子数)>1/8
の関係を満たすことが好ましい。
このように窒素含有膜中における窒素原子数の割合が高いと、金属−窒素結合の総数が増加し、結果としてより強い分極により電子注入特性が更に高いものとなる。窒素含有膜における窒素原子数/(窒素原子数+炭素原子数)は、1/5より大きいことがより好ましい。
窒素含有膜中における窒素元素、炭素元素の存在比率は、光電子分光法(XPS)により測定することができる。
The nitrogen-containing film contains a nitrogen element and a carbon element as elements constituting the film, and the abundance ratio of nitrogen atoms and carbon atoms constituting the film is the number of nitrogen atoms / (number of nitrogen atoms + number of carbon atoms)> 1/8
It is preferable to satisfy the relationship.
Thus, when the ratio of the number of nitrogen atoms in the nitrogen-containing film is high, the total number of metal-nitrogen bonds increases, and as a result, electron injection characteristics are further improved due to stronger polarization. The number of nitrogen atoms / (number of nitrogen atoms + number of carbon atoms) in the nitrogen-containing film is more preferably larger than 1/5.
The abundance ratio of nitrogen element and carbon element in the nitrogen-containing film can be measured by photoelectron spectroscopy (XPS).

上記(3)、(4)の窒素含有膜は、金属酸化物層上で窒素含有化合物を分解させることで形成されるものである限り、窒素含有化合物を分解させる方法は特に制限されないが、窒素含有化合物を加熱により分解させることで形成されるものであることが好ましい。
窒素含有化合物を加熱により分解させると、金属酸化物層中の金属原子と窒素原子との結合が強化され、これにより、有機電界発光素子が、より長期にわたって高い駆動安定性を発揮するものとなる。
As long as the nitrogen-containing films of the above (3) and (4) are formed by decomposing the nitrogen-containing compound on the metal oxide layer, the method for decomposing the nitrogen-containing compound is not particularly limited. It is preferably formed by decomposing the contained compound by heating.
When the nitrogen-containing compound is decomposed by heating, the bond between the metal atom and the nitrogen atom in the metal oxide layer is strengthened, whereby the organic electroluminescent device exhibits high driving stability over a longer period of time. .

したがって、上記窒素含有膜は、金属酸化物層上に窒素含有化合物を含む溶液を塗布した後、窒素含有化合物を加熱により分解させることで形成する方法により形成されるものが最も好ましく、このような方法で形成することで、リーク電流の抑制と、均一な面発光を得る効果、及び、有機電界発光素子が、より長期にわたって高い駆動安定性を発揮するものとする効果が得られることになる。
このようなHOILED素子の製造方法、すなわち、陽極と、基板上に形成された陰極との間に複数の層が積層された構造を有する有機電界発光素子の製造方法であって、上記製造方法は、金属酸化物層上に、窒素含有化合物を含む溶液を塗布する工程と、該窒素含有化合物が分解する温度で加熱処理をして本発明の窒素含有膜からなる層を製造する工程とを含む有機電界発光素子の製造方法もまた、本発明の1つである。
Accordingly, the nitrogen-containing film is most preferably formed by a method in which a solution containing a nitrogen-containing compound is applied on the metal oxide layer, and then the nitrogen-containing compound is decomposed by heating. By forming by this method, the effect of suppressing leakage current, obtaining uniform surface light emission, and the effect that the organic electroluminescence device exhibits high driving stability over a longer period of time can be obtained.
A method of manufacturing such a HOILED device, that is, a method of manufacturing an organic electroluminescent device having a structure in which a plurality of layers are laminated between an anode and a cathode formed on a substrate, And a step of applying a solution containing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer, and a step of producing a layer comprising the nitrogen-containing film of the present invention by heat treatment at a temperature at which the nitrogen-containing compound is decomposed. A method for producing an organic electroluminescent element is also one aspect of the present invention.

上記窒素含有化合物を分解させるための加熱処理は、大気下で行うことが好ましい。大気下で行うことで、窒素含有化合物の分解を充分に促進し、有機電界発光素子を長期にわたってより高い駆動安定性を発揮するものとすることができる。
上記窒素含有化合物を分解させるための加熱処理の温度は、80〜200℃であることが好ましく、時間は、1〜30分であることが好ましい。
加熱処理の温度や時間は、上記範囲の中で、窒素含有化合物の種類により適宜設定すればよい。例えば、窒素含有化合物として下記ポリアルキレンイミン構造を主鎖骨格に有する重合体を用いる場合、重合体の分子量が大きくなるほど分解温度は高くなるため、重合体の分子量を考慮し、後述する実施例での加熱処理条件を参考にして加熱処理の温度、及び、時間を適宜設定することができる。
窒素含有化合物が分解しているか否かはX線光電子分光法(XPS)測定により確認することができる。
The heat treatment for decomposing the nitrogen-containing compound is preferably performed in the atmosphere. By carrying out under air | atmosphere, decomposition | disassembly of a nitrogen-containing compound is fully accelerated | stimulated and an organic electroluminescent element can exhibit higher driving stability over a long period of time.
The temperature of the heat treatment for decomposing the nitrogen-containing compound is preferably 80 to 200 ° C., and the time is preferably 1 to 30 minutes.
What is necessary is just to set the temperature and time of heat processing suitably according to the kind of nitrogen-containing compound in the said range. For example, when using a polymer having the following polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton as a nitrogen-containing compound, the decomposition temperature increases as the molecular weight of the polymer increases. The temperature and time of the heat treatment can be appropriately set with reference to the heat treatment conditions.
Whether or not the nitrogen-containing compound is decomposed can be confirmed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) measurement.

上記窒素含有膜は、金属酸化物層上で窒素含有化合物を分解させる工程を行った後に、エタノール、メトキシエタノール等の有機溶媒で膜の表面を洗浄する工程を行って形成されるものであってもよい。 The nitrogen-containing film is formed by performing a step of decomposing a nitrogen-containing compound on the metal oxide layer and then performing a step of cleaning the surface of the film with an organic solvent such as ethanol or methoxyethanol. Also good.

上記窒素含有化合物としては、例えば、ポリビニルピロリドンのようなピロリドン類、ポリピロールのようなピロール類又はポリアニリンのようなアニリン類、又はポリビニルピリジンのようなピリジン類、同様に、ピロリジン類、イミダゾール類、ピペリジン類、ピリミジン類、トリアジン類などの含窒素複素環を有する化合物や、アミン化合物が挙げられる。その中でも、窒素含有率の多い化合物が好ましく、ポリアミン類又はトリアジン環含有化合物が好ましい。
ポリアミン類は、化合物を構成する全原子数に対する窒素原子数の比率が高いため、有機電界発光素子を高い電子注入性と駆動安定性を有するものとする点から適している。
ポリアミン類としては、塗布により層を形成することができるものが好ましく、低分子化合物であっても高分子化合物であってもよい。低分子化合物としては、ジエチレントリアミンのようなポリアルキレンポリアミンが好適に用いられ、高分子化合物では、ポリアルキレンイミン構造を有する重合体が好適に用いられる。特にポリエチレンイミンが好ましい。
なお、ここで低分子化合物とは、高分子化合物(重合体)ではない化合物を意味し、分子量の低い化合物を必ずしも意味するものではない。
Examples of the nitrogen-containing compound include pyrrolidones such as polyvinyl pyrrolidone, pyrroles such as polypyrrole or anilines such as polyaniline, or pyridines such as polyvinyl pyridine, as well as pyrrolidines, imidazoles, and piperidines. , Pyrimidines, triazines and other compounds having a nitrogen-containing heterocycle, and amine compounds. Of these, compounds having a high nitrogen content are preferred, and polyamines or triazine ring-containing compounds are preferred.
Polyamines are suitable because the ratio of the number of nitrogen atoms to the total number of atoms constituting the compound is high, so that the organic electroluminescent device has high electron injection properties and driving stability.
As the polyamines, those capable of forming a layer by coating are preferable, and they may be low molecular compounds or high molecular compounds. A polyalkylene polyamine such as diethylenetriamine is preferably used as the low molecular compound, and a polymer having a polyalkyleneimine structure is preferably used as the high molecular compound. Polyethyleneimine is particularly preferable.
In addition, a low molecular compound means the compound which is not a high molecular compound (polymer) here, and does not necessarily mean a compound with a low molecular weight.

上記ポリアミン類の中でも、ポリアルキレンイミン構造を主鎖骨格に有する直鎖状構造の重合体を用いることは、本発明の好適な実施形態の1つである。
ポリアミン類の中でも、このような構造の重合体を用いることで、素子駆動安定性と素子寿命により優れたものとなる。これは、このようなポリアルキレンイミン構造を主鎖骨格に有する重合体は直鎖状構造であることから固体であり、これにより、デバイス中で安定に存在することによるものと推定される。
このようなポリアルキレンイミン構造を主鎖骨格に有する直鎖状構造の重合体によって金属酸化物層上に形成された窒素含有膜は、上記(1)の窒素含有膜となる。
なお、ポリアルキレンイミン構造を主鎖骨格に有する直鎖状構造の重合体は、主鎖骨格を形成するポリアルキレンイミン構造の大半が直鎖状に連結したものであればよく、一部に分岐構造を有するものであってもよい。好ましくは、主鎖骨格を形成するポリアルキレンイミン構造の80%以上が直鎖状に連結したものであり、より好ましくは、90%以上が直鎖状に連結したものであり、更に好ましくは、95%以上が直鎖状に連結したものであり、最も好ましくは、主鎖骨格を形成するポリアルキレンイミン構造の100%以上が直鎖状に連結したものである。
Among the polyamines described above, the use of a linear polymer having a polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton is one of the preferred embodiments of the present invention.
Among the polyamines, by using a polymer having such a structure, the device driving stability and the device lifetime are improved. This is presumed to be because the polymer having such a polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton is a solid because it has a linear structure, and thus exists stably in the device.
The nitrogen-containing film formed on the metal oxide layer by the polymer having a linear structure having such a polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton becomes the nitrogen-containing film (1).
In addition, the polymer having a linear structure having a polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton may be one in which most of the polyalkyleneimine structures forming the main chain skeleton are linearly linked and partially branched. It may have a structure. Preferably, 80% or more of the polyalkyleneimine structures forming the main chain skeleton are linearly connected, more preferably 90% or more are linearly connected, and more preferably, More than 95% are linearly linked, and most preferably, 100% or more of the polyalkyleneimine structure forming the main chain skeleton is linearly linked.

上記ポリアルキレンイミン構造を有する重合体のポリアルキレンイミン構造は、炭素数2〜4のアルキレンイミンにより形成された構造であることが好ましい。より好ましくは、炭素数2又は3のアルキレンイミンにより形成された構造である。 The polyalkyleneimine structure of the polymer having the polyalkyleneimine structure is preferably a structure formed of an alkyleneimine having 2 to 4 carbon atoms. More preferably, it is a structure formed by alkyleneimine having 2 or 3 carbon atoms.

上記ポリアルキレンイミン構造を有する重合体は、主鎖骨格にポリアルキレンイミン構造を有するものであればよく、ポリアルキレンイミン構造以外の構造を有する共重合体であってもよい。 The polymer having the polyalkyleneimine structure may be any polymer having a polyalkyleneimine structure in the main chain skeleton, and may be a copolymer having a structure other than the polyalkyleneimine structure.

上記ポリアルキレンイミン構造を有する重合体がポリアルキレンイミン構造以外の構造を有する場合、ポリアルキレンイミン構造以外の構造の原料となる単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、アセチレン、アクリル酸、スチレン、又は、ビニルカルバゾール等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を用いることができる。また、これらの単量体の炭素原子に結合した水素原子が他の有機基に置換された構造のものも好適に用いることができる。水素原子と置換する他の有機基としては、例えば、酸素原子、窒素原子、硫黄原子からなる群より選択される少なくとも1種の原子を含んでいてもよい炭素数1〜10の炭化水素基等が挙げられる。 When the polymer having a polyalkyleneimine structure has a structure other than the polyalkyleneimine structure, examples of the monomer that is a raw material for a structure other than the polyalkyleneimine structure include ethylene, propylene, butene, acetylene, and acrylic acid. , Styrene, vinyl carbazole, or the like, and one or more of these can be used. Moreover, the thing of the structure where the hydrogen atom couple | bonded with the carbon atom of these monomers was substituted by the other organic group can also be used suitably. Examples of the other organic group substituted with a hydrogen atom include a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms that may contain at least one atom selected from the group consisting of an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom. Is mentioned.

上記ポリアルキレンイミン構造を有する重合体は、重合体の主鎖骨格を形成する単量体成分100質量%のうち、ポリアルキレンイミン構造を形成する単量体が50質量%以上であることが好ましい。より好ましくは、66質量%以上であり、更に好ましくは、80質量%以上である。最も好ましくは、ポリアルキレンイミン構造を形成する単量体が100質量%であること、すなわち、ポリアルキレンイミン構造を有する重合体がポリアルキレンイミンのホモポリマーであることである。 The polymer having a polyalkyleneimine structure is preferably 50% by mass or more of the monomer that forms a polyalkyleneimine structure out of 100% by mass of the monomer component that forms the main chain skeleton of the polymer. . More preferably, it is 66 mass% or more, More preferably, it is 80 mass% or more. Most preferably, the monomer forming the polyalkyleneimine structure is 100% by mass, that is, the polymer having the polyalkyleneimine structure is a homopolymer of polyalkyleneimine.

上記ポリアルキレンイミン構造を有する重合体は、重量平均分子量が100000以下であることが好ましい。このような重量平均分子量のものを用い、重合体が分解する温度での加熱処理を行って層を形成することで、有機電界発光素子をより駆動安定性に優れたものとすることができる。より好ましくは、10000以下であり、更に好ましくは、100〜1000である。
また、ポリアルキレンイミン構造を有する重合体が上述した直鎖状構造の重合体である場合には、重合体の重量平均分子量は、より好ましくは、250000以下であり、更に好ましくは、10000〜50000である。
重量平均分子量は、以下の条件でGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定により求めることができる。
測定機器:Waters Alliance(2695)(商品名、Waters社製)
分子量カラム:TSKguard column α、TSKgel α−3000、TSKgel α−4000、TSKgel α−5000(いずれも東ソー社製)を直列に接続して使用
溶離液:100mMホウ酸水溶液14304gに50mM水酸化ナトリウム水溶液96gとアセトニトリル3600gを混合した溶液
検量線用標準物質:ポリエチレングリコール(東ソー社製)
測定方法:測定対象物を固形分が約0.2質量%となるように溶離液に溶解し、フィルターにてろ過した物を測定サンプルとして分子量を測定する。
The polymer having a polyalkyleneimine structure preferably has a weight average molecular weight of 100,000 or less. By using a material having such a weight average molecular weight and performing a heat treatment at a temperature at which the polymer is decomposed to form a layer, the organic electroluminescent device can be made more excellent in driving stability. More preferably, it is 10,000 or less, More preferably, it is 100-1000.
Further, when the polymer having a polyalkyleneimine structure is a polymer having a linear structure as described above, the weight average molecular weight of the polymer is more preferably 250,000 or less, and still more preferably 10,000 to 50,000. It is.
The weight average molecular weight can be determined by GPC (gel permeation chromatography) measurement under the following conditions.
Measuring instrument: Waters Alliance (2695) (trade name, manufactured by Waters)
Molecular weight column: TSKguard column α, TSKgel α-3000, TSKgel α-4000, TSKgel α-5000 (all manufactured by Tosoh Corporation) are connected in series. Eluent: 100 mM boric acid aqueous solution 14304 g and 50 mM sodium hydroxide aqueous solution 96 g Standard material for solution calibration curve in which 3600 g of acetonitrile is mixed: Polyethylene glycol (manufactured by Tosoh Corporation)
Measurement method: The molecular weight is measured by dissolving the object to be measured in the eluent so that the solid content is about 0.2% by mass, and using the product filtered through a filter as the measurement sample.

上記トリアジン環含有化合物としては、メラミンやグアナミン類が、窒素含有環状化合物であって、化合物を構成する全原子数に対する窒素原子数の比率が高いことと、剛直であることにより適している。金属酸化物層上にメラミンやグアナミン類からなる膜を形成した場合、上記(2)の高窒素含有膜となる。 As the above-mentioned triazine ring-containing compound, melamine and guanamines are more suitable because they are nitrogen-containing cyclic compounds, and the ratio of the number of nitrogen atoms to the total number of atoms constituting the compound is high and they are rigid. When a film made of melamine or guanamine is formed on the metal oxide layer, the above-described high nitrogen-containing film (2) is obtained.

上記トリアジン環含有化合物としては、メラミンやベンゾグアナミン/アセトグアナミン等のグアナミン類の他、メチロール化されたメラミンやグアナミン類、メラミン樹脂/グアナミン樹脂等のメラミン/グアナミン骨格を有する化合物の1種又は2種以上を用いることができるが、これらの中でも、化合物を構成する全原子中の窒素原子の割合が高い点でメラミンが好ましい。 As said triazine ring containing compound, 1 type or 2 types of compounds which have melamine / guanamine skeletons, such as melamine and guanamines, such as melamine and benzoguanamine / acetoguanamine, methylolated melamine and guanamine, melamine resin / guanamine resin Although the above can be used, among these, a melamine is preferable at a point with the high ratio of the nitrogen atom in all the atoms which comprise a compound.

また上記含窒素複素環を有する化合物やアミン化合物としては、下記式(1)〜(9)で表される構造の繰り返し単位を有する重合体や、式(10)のトリエチルアミン、式(11)のエチレンジアミンも好適に用いることができる。 Moreover, as a compound and amine compound which have the said nitrogen-containing heterocyclic ring, the polymer which has a repeating unit of the structure represented by following formula (1)-(9), the triethylamine of Formula (10), Formula (11) Ethylenediamine can also be suitably used.

Figure 0006226533
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また、金属酸化物層上でこれら窒素含有化合物を分解させると、上記(3)の窒素含有膜や(4)の高窒素含有膜となる。窒素含有化合物として、ポリアミン類やトリアジン環含有化合物等のような窒素含有割合の高い化合物を用いることで金属酸化物層上に窒素含有化合物の分解物をより緻密に堆積させることができると考えられる。このような金属酸化物上の窒素含有薄膜も本特許の発明の一つである。窒素含有薄膜については、更に後で述べる。 Further, when these nitrogen-containing compounds are decomposed on the metal oxide layer, the nitrogen-containing film (3) or the high nitrogen-containing film (4) is obtained. It is considered that the decomposition product of the nitrogen-containing compound can be deposited more densely on the metal oxide layer by using a compound having a high nitrogen-containing ratio such as a polyamine or a triazine ring-containing compound as the nitrogen-containing compound. . Such a nitrogen-containing thin film on a metal oxide is also one of the inventions of this patent. The nitrogen-containing thin film will be described later.

本発明における窒素含有膜の平均厚さは、3〜150nmである。窒素含有膜がこのような平均厚さであると、上述した窒素含有膜を有することの効果を良好に発揮することができる。窒素含有膜の平均厚さは、5〜100nmであることが好ましい。より好ましくは5〜50nmである。特に窒素含有化合物が分解してなる窒素含有膜である場合には、5〜100nmであることが好ましく、より好ましくは5〜50nmである。
窒素含有膜の平均厚さは、接触式段差計により成膜時に測定することができる。接触式段差計は、極薄膜の測定時、測定環境に大きく依存して、測定値のバラツキが大きくなる。そのため、本特許内の平均厚さを測定する際は、複数回の測定の平均値により決定している。
The average thickness of the nitrogen-containing film in the present invention is 3 to 150 nm. When the nitrogen-containing film has such an average thickness, the above-described effect of having the nitrogen-containing film can be satisfactorily exhibited. The average thickness of the nitrogen-containing film is preferably 5 to 100 nm. More preferably, it is 5 to 50 nm. In particular, in the case of a nitrogen-containing film obtained by decomposing a nitrogen-containing compound, the thickness is preferably 5 to 100 nm, more preferably 5 to 50 nm.
The average thickness of the nitrogen-containing film can be measured at the time of film formation by a contact type step meter. The contact level difference meter greatly depends on the measurement environment when measuring an ultra-thin film, resulting in large variations in measurement values. Therefore, when measuring the average thickness in this patent, it is determined by the average value of a plurality of measurements.

本発明の有機電界発光素子は、陽極および陰極と、前記陽極と前記陰極とに挟まれた1層または複数層の有機化合物層とを有し、前記陰極と前記有機化合物層との間に、金属酸化物層を有し、更に、前記金属酸化物層と前記有機化合物層との間に本発明の窒素含有膜からなる層を有することが好ましい。ここで有機化合物層は、発光層を含み、必要に応じてその他に電子輸送層や正孔輸送層を含む層である。
その中でも、本発明の有機電界発光素子は、基板上に隣接して陰極が形成され、陽極と陰極との間に金属酸化物層を有する有機無機ハイブリッド型の有機電界発光素子であって、発光層と陽極とを有し、陰極と発光層との間に、電子注入層と、必要に応じて電子輸送層とを有し、陽極と発光層との間に正孔輸送層及び/又は正孔注入層を有する構成の素子であることが好ましい。本発明の有機電界発光素子は、これらの各層の間に他の層を有していてもよいが、これらの各層のみから構成される素子であることが好ましい。すなわち、陰極、電子注入層、必要に応じて電子輸送層、発光層、正孔輸送層及び/又は正孔注入層、陽極の各層がこの順に隣接して積層された素子であることが好ましい。なお、これらの各層は、1層からなるものであってもよく、2層以上からなるものであってもよい。
上述したように、窒素含有膜は、電子注入特性に優れたものであるから、電子注入側、つまり陰極側に用いられることが好ましい。また金属酸化物層は、後述するように、陰極の一部若しくは電子注入層の一層、及び/又は、陽極の一部若しくは正孔注入層の一層として積層されることが好ましい。
上記構成の有機電界素子において、素子が電子輸送層を有さない場合は、電子注入層と発光層とが隣接することになる。また、素子が正孔輸送層、正孔注入層のいずれか一方のみを有する場合には、当該一方の層が発光層と陽極とに隣接して積層されることになり、素子が正孔輸送層と正孔注入層の両方を有する場合には、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、陽極の順にこれらの層が隣接して積層されることになる。
The organic electroluminescent element of the present invention has an anode and a cathode, and one or more organic compound layers sandwiched between the anode and the cathode, and between the cathode and the organic compound layer, It is preferable to have a metal oxide layer and further to have a layer comprising the nitrogen-containing film of the present invention between the metal oxide layer and the organic compound layer. Here, the organic compound layer is a layer including a light emitting layer and, if necessary, an electron transport layer and a hole transport layer.
Among them, the organic electroluminescent device of the present invention is an organic-inorganic hybrid organic electroluminescent device having a cathode formed adjacent to a substrate and having a metal oxide layer between the anode and the cathode, and emitting light. A layer and an anode, an electron injection layer between the cathode and the light emitting layer, and an electron transport layer as necessary, and a hole transport layer and / or a positive layer between the anode and the light emitting layer. An element having a hole injection layer is preferable. Although the organic electroluminescent element of this invention may have another layer between these each layer, it is preferable that it is an element comprised only from these each layer. That is, it is preferably an element in which a cathode, an electron injection layer, and if necessary, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer and / or a hole injection layer, and an anode are laminated in this order. Each of these layers may be composed of one layer, or may be composed of two or more layers.
As described above, since the nitrogen-containing film has excellent electron injection characteristics, it is preferably used on the electron injection side, that is, the cathode side. Further, as described later, the metal oxide layer is preferably laminated as a part of the cathode or one layer of the electron injection layer and / or as a part of the anode or one layer of the hole injection layer.
In the organic electric field element having the above configuration, when the element does not have an electron transport layer, the electron injection layer and the light emitting layer are adjacent to each other. When the device has only one of a hole transport layer and a hole injection layer, the one layer is stacked adjacent to the light emitting layer and the anode, and the device transports the hole. When both the layer and the hole injection layer are provided, these layers are laminated adjacently in the order of the light emitting layer, the hole transport layer, the hole injection layer, and the anode.

本発明の有機電界発光素子において、発光層を形成する材料としては、発光層の材料として通常用いることができるいずれの化合物も用いるができ、低分子化合物であっても高分子化合物であってもよく、これらを混合して用いてもよい。
なお、本発明において低分子材料とは、高分子材料(重合体)ではない材料を意味し、分子量が低い有機化合物を必ずしも意味するものではない。
In the organic electroluminescent element of the present invention, as a material for forming the light emitting layer, any compound that can be usually used as the material of the light emitting layer can be used, whether it is a low molecular compound or a high molecular compound. It is also possible to use a mixture of these.
In the present invention, the low molecular weight material means a material that is not a polymer material (polymer), and does not necessarily mean an organic compound having a low molecular weight.

上記発光層を形成する高分子材料としては、例えば、トランス型ポリアセチレン、シス型ポリアセチレン、ポリ(ジ−フェニルアセチレン)(PDPA)、ポリ(アルキル,フェニルアセチレン)(PAPA)のようなポリアセチレン系化合物;ポリ(パラ−フェンビニレン)(PPV)、ポリ(2,5−ジアルコキシ−パラ−フェニレンビニレン)(RO−PPV)、シアノ−置換−ポリ(パラ−フェンビニレン)(CN−PPV)、ポリ(2−ジメチルオクチルシリル−パラ−フェニレンビニレン)(DMOS−PPV)、ポリ(2−メトキシ,5−(2’−エチルヘキソキシ)−パラ−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)のようなポリパラフェニレンビニレン系化合物;ポリ(3−アルキルチオフェン)(PAT)、ポリ(オキシプロピレン)トリオール(POPT)のようなポリチオフェン系化合物;ポリ(9,9−ジアルキルフルオレン)(PDAF)、ポリ(ジオクチルフルオレン−アルト−ベンゾチアジアゾール)(F8BT)、α,ω−ビス[N,N’−ジ(メチルフェニル)アミノフェニル]−ポリ[9,9−ビス(2−エチルヘキシル)フルオレン−2,7−ジル](PF2/6am4)、ポリ(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニル−オルト−コ(アントラセン−9,10−ジイル)のようなポリフルオレン系化合物;ポリ(パラ−フェニレン)(PPP)、ポリ(1,5−ジアルコキシ−パラ−フェニレン)(RO−PPP)のようなポリパラフェニレン系化合物;ポリ(N−ビニルカルバゾール)(PVK)のようなポリカルバゾール系化合物;ポリ(メチルフェニルシラン)(PMPS)、ポリ(ナフチルフェニルシラン)(PNPS)、ポリ(ビフェニリルフェニルシラン)(PBPS)のようなポリシラン系化合物;更には特願2010−230995号、特願2011−6457号に記載のホウ素化合物系高分子材料等が挙げられる。 Examples of the polymer material for forming the light emitting layer include polyacetylene compounds such as trans-type polyacetylene, cis-type polyacetylene, poly (di-phenylacetylene) (PDPA), and poly (alkyl, phenylacetylene) (PAPA); Poly (para-phenvinylene) (PPV), poly (2,5-dialkoxy-para-phenylenevinylene) (RO-PPV), cyano-substituted-poly (para-phenvinylene) (CN-PPV), poly ( Polyparaphenylene vinylenes such as 2-dimethyloctylsilyl-para-phenylene vinylene (DMOS-PPV), poly (2-methoxy, 5- (2′-ethylhexoxy) -para-phenylene vinylene) (MEH-PPV) Compound; poly (3-alkylthiophene) (PAT), poly (oxy) Polythiophene compounds such as propylene) triol (POP); poly (9,9-dialkylfluorene) (PDAF), poly (dioctylfluorene-alt-benzothiadiazole) (F8BT), α, ω-bis [N, N ′ -Di (methylphenyl) aminophenyl] -poly [9,9-bis (2-ethylhexyl) fluorene-2,7-zyl] (PF2 / 6am4), poly (9,9-dioctyl-2,7-divinylene) Polyfluorene-based compounds such as fluorenyl-ortho-co (anthracene-9,10-diyl); poly (para-phenylene) (PPP), poly (1,5-dialkoxy-para-phenylene) (RO— Polyparaphenylene compounds such as PPP); polycarbazo such as poly (N-vinylcarbazole) (PVK) A polysilane compound such as poly (methylphenylsilane) (PMPS), poly (naphthylphenylsilane) (PNPS), poly (biphenylylphenylsilane) (PBPS); and further, Japanese Patent Application No. 2010-230995, Examples thereof include boron compound polymer materials described in Japanese Patent Application No. 2011-6457.

上記発光層を形成する低分子材料としては、例えば、配位子に2,2’−ビピリジン−4,4’−ジカルボン酸を持つ、3配位のイリジウム錯体、ファクトリス(2−フェニルピリジン)イリジウム(Ir(ppy))、8−ヒドロキシキノリン アルミニウム(Alq)、トリス(4−メチル−8キノリノレート) アルミニウム(III)(Almq)、8−ヒドロキシキノリン 亜鉛(Znq)、(1,10−フェナントロリン)−トリス−(4,4,4−トリフルオロ−1−(2−チエニル)−ブタン−1,3−ジオネート)ユーロピウム(III)(Eu(TTA)(phen))、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィン プラチナム(II)のような各種金属錯体;ジスチリルベンゼン(DSB)、ジアミノジスチリルベンゼン(DADSB)のようなベンゼン系化合物;ナフタレン、ナイルレッドのようなナフタレン系化合物;フェナントレンのようなフェナントレン系化合物;クリセン、6−ニトロクリセンのようなクリセン系化合物;ペリレン、N,N’−ビス(2,5−ジ−t−ブチルフェニル)−3,4,9,10−ペリレン−ジ−カルボキシイミド(BPPC)のようなペリレン系化合物;コロネンのようなコロネン系化合物;アントラセン、ビススチリルアントラセンのようなアントラセン系化合物;ピレンのようなピレン系化合物;4−(ジ−シアノメチレン)−2−メチル−6−(パラ−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM)のようなピラン系化合物;アクリジンのようなアクリジン系化合物;スチルベンのようなスチルベン系化合物;2,5−ジベンゾオキサゾールチオフェンのようなチオフェン系化合物;ベンゾオキサゾールのようなベンゾオキサゾール系化合物;ベンゾイミダゾールのようなベンゾイミダゾール系化合物;2,2’−(パラ−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾールのようなベンゾチアゾール系化合物;ビスチリル(1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン)、テトラフェニルブタジエンのようなブタジエン系化合物;ナフタルイミドのようなナフタルイミド系化合物;クマリンのようなクマリン系化合物;ペリノンのようなペリノン系化合物;オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物;アルダジン系化合物;1,2,3,4,5−ペンタフェニル−1,3−シクロペンタジエン(PPCP)のようなシクロペンタジエン系化合物;キナクリドン、キナクリドンレッドのようなキナクリドン系化合物;ピロロピリジン、チアジアゾロピリジンのようなピリジン系化合物;2,2’,7,7’−テトラフェニル−9,9’−スピロビフルオレンのようなスピロ化合物;フタロシアニン(HPc)、銅フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物;更には特開2009−155325号公報および特願2010−230995号、特願2011−6458号に記載のホウ素化合物材料等が挙げられる。 Examples of the low molecular weight material forming the light emitting layer include a tricoordinate iridium complex having 2,2′-bipyridine-4,4′-dicarboxylic acid as a ligand, and factory (2-phenylpyridine). Iridium (Ir (ppy) 3 ), 8-hydroxyquinoline aluminum (Alq 3 ), tris (4-methyl-8 quinolinolate) aluminum (III) (Almq 3 ), 8-hydroxyquinoline zinc (Znq 2 ), (1, 10-phenanthroline) -tris- (4,4,4-trifluoro-1- (2-thienyl) -butane-1,3-dionate) europium (III) (Eu (TTA) 3 (phen)), 2, Various metal complexes such as 3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-21H, 23H-porphine platinum (II); Benzene compounds such as zen (DSB) and diamino distyryl benzene (DADSB); naphthalene compounds such as naphthalene and nile red; phenanthrene compounds such as phenanthrene; chrysene compounds such as chrysene and 6-nitrochrysene A perylene compound such as perylene, N, N′-bis (2,5-di-t-butylphenyl) -3,4,9,10-perylene-di-carboximide (BPPC); Coronene compounds; anthracene compounds such as anthracene and bisstyrylanthracene; pyrene compounds such as pyrene; 4- (di-cyanomethylene) -2-methyl-6- (para-dimethylaminostyryl) -4H-pyran (DCM) pyran compounds; acridine compounds such as acridine Compound; stilbene compound such as stilbene; thiophene compound such as 2,5-dibenzoxazole thiophene; benzoxazole compound such as benzoxazole; benzimidazole compound such as benzimidazole; 2,2′- Benzothiazole compounds such as (para-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole; butadiene compounds such as bistyryl (1,4-diphenyl-1,3-butadiene) and tetraphenylbutadiene; naphthalimides such as naphthalimide Phthalimide compounds; coumarin compounds such as coumarin; perinone compounds such as perinone; oxadiazole compounds such as oxadiazole; aldazine compounds; 1,2,3,4,5-pentaphenyl-1 , 3-Cyclopentadiene Cyclopentadiene compounds such as PPCP); quinacridone compounds such as quinacridone and quinacridone red; pyridine compounds such as pyrrolopyridine and thiadiazolopyridine; 2,2 ′, 7,7′-tetraphenyl-9, Spiro compounds such as 9′-spirobifluorene; metal or metal-free phthalocyanine compounds such as phthalocyanine (H 2 Pc) and copper phthalocyanine; and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-155325 and Japanese Patent Application No. 2010-230995, Examples thereof include boron compound materials described in Japanese Patent Application No. 2011-6458.

上記発光層の平均厚さは、特に限定されないが、10〜150nmであることが好ましい。より好ましくは、20〜100nmであり、更に好ましくは、40〜100nmである。
発光層の平均厚さは、低分子化合物の場合は水晶振動子膜厚計により、高分子化合物の場合は接触式段差計により測定することができる。
Although the average thickness of the said light emitting layer is not specifically limited, It is preferable that it is 10-150 nm. More preferably, it is 20-100 nm, More preferably, it is 40-100 nm.
The average thickness of the light emitting layer can be measured with a quartz oscillator thickness meter in the case of a low molecular compound, and with a contact-type step meter in the case of a polymer compound.

本発明の有機電界発光素子が、電子輸送層を有する場合、その材料としては、電子輸送層の材料として通常用いることができるいずれの化合物も用いるができ、これらを混合して用いてもよい。
電子輸送層の材料として用いることができる化合物の例としては、トリス−1,3,5−(3’−(ピリジン−3’’−イル)フェニル)ベンゼン(TmPyPhB)のようなピリジン誘導体、(2−(3−(9−カルバゾリル)フェニル)キノリン(mCQ))のようなキノリン誘導体、2−フェニル−4,6−ビス(3,5−ジピリジルフェニル)ピリミジン(BPyPPM)のようなピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、バソフェナントロリン(BPhen)のようなフェナントロリン誘導体、2,4−ビス(4−ビフェニル)−6−(4’−(2−ピリジニル)−4−ビフェニル)−[1,3,5]トリアジン(MPT)のようなトリアジン誘導体、3−フェニル−4−(1’−ナフチル)−5−フェニル−1,2,4−トリアゾール(TAZ)のようなトリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル−1,3,4−オキサジアゾール)(PBD)のようなオキサジアゾール誘導体、2,2’,2’’−(1,3,5−ベントリイル)−トリス(1−フェニル−1−H−ベンズイミダゾール)(TPBI)のようなイミダゾール誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(Zn(BTZ))、トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム(Alq3)などに代表される各種金属錯体、2,5−ビス(6’−(2’,2’’−ビピリジル))−1,1−ジメチル−3,4−ジフェニルシロール(PyPySPyPy)等のシロール誘導体に代表される有機シラン誘導体等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を用いることができる。
これらの中でも、Alqのような金属錯体、TmPyPhBのようなピリジン誘導体が好ましい。
When the organic electroluminescent element of the present invention has an electron transport layer, as the material, any compound that can be usually used as a material for the electron transport layer can be used, or a mixture thereof may be used.
Examples of compounds that can be used as the material for the electron transport layer include pyridine derivatives such as tris-1,3,5- (3 ′-(pyridin-3 ″ -yl) phenyl) benzene (TmPyPhB), ( Quinoline derivatives such as 2- (3- (9-carbazolyl) phenyl) quinoline (mCQ)), pyrimidine derivatives such as 2-phenyl-4,6-bis (3,5-dipyridylphenyl) pyrimidine (BPyPPM), Pyrazine derivatives, phenanthroline derivatives such as bathophenanthroline (BPhen), 2,4-bis (4-biphenyl) -6- (4 ′-(2-pyridinyl) -4-biphenyl)-[1,3,5] triazine Triazine derivatives such as (MPT), 3-phenyl-4- (1′-naphthyl) -5-phenyl-1,2,4-triazole (T A triazole derivative such as Z), an oxazole derivative, an oxadiazole derivative such as 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl-1,3,4-oxadiazole) (PBD), Imidazole derivatives such as 2,2 ′, 2 ″-(1,3,5-bentriyl) -tris (1-phenyl-1-H-benzimidazole) (TPBI), aromatic ring tetracarboxylic such as naphthalene and perylene Various metal complexes represented by acid anhydride, bis [2- (2-hydroxyphenyl) benzothiazolate] zinc (Zn (BTZ) 2 ), tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum (Alq3), 2,5- Shiro such as bis (6 ′-(2 ′, 2 ″ -bipyridyl))-1,1-dimethyl-3,4-diphenylsilole (PyPySPyPy) An organosilane derivative represented by a ruthenium derivative can be used, and one or more of these can be used.
Among these, a metal complex such as Alq 3 and a pyridine derivative such as TmPyPhB are preferable.

本発明の有機電界発光素子が、正孔輸送層を有する場合、正孔輸送層として用いる正孔輸送性有機材料には、各種p型の高分子材料や、各種p型の低分子材料を単独または組み合わせて用いることができる。
p型の高分子材料(有機ポリマー)としては、例えば、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはその誘導体等が挙げられる。
またこれらの化合物は、他の化合物との混合物として用いることもできる。一例として、ポリチオフェンを含有する混合物としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン/スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等が挙げられる。
When the organic electroluminescent element of the present invention has a hole transport layer, various p-type high molecular materials and various p-type low molecular materials are used alone as the hole transport organic material used as the hole transport layer. Or they can be used in combination.
Examples of the p-type polymer material (organic polymer) include polyarylamine, fluorene-arylamine copolymer, fluorene-bithiophene copolymer, poly (N-vinylcarbazole), polyvinylpyrene, polyvinylanthracene, polythiophene, Examples thereof include polyalkylthiophene, polyhexylthiophene, poly (p-phenylene vinylene), polytinylene vinylene, pyrene formaldehyde resin, ethylcarbazole formaldehyde resin, and derivatives thereof.
These compounds can also be used as a mixture with other compounds. As an example, the polythiophene-containing mixture includes poly (3,4-ethylenedioxythiophene / styrene sulfonic acid) (PEDOT / PSS).

上記p型の低分子材料としては、例えば、1,1−ビス(4−ジ−パラ−トリアミノフェニル)シクロへキサン、1,1’−ビス(4−ジ−パラ−トリルアミノフェニル)−4−フェニル−シクロヘキサンのようなアリールシクロアルカン系化合物、4,4’,4’’−トリメチルトリフェニルアミン、N,N,N’,N’−テトラフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD1)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD2)、N,N,N’,N’−テトラキス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD3)、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(α−NPD)、TPTEのようなアリールアミン系化合物、N,N,N’,N’−テトラフェニル−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(パラ−トリル)−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(メタ−トリル)−メタ−フェニレンジアミン(PDA)のようなフェニレンジアミン系化合物、カルバゾール、N−イソプロピルカルバゾール、N−フェニルカルバゾールのようなカルバゾール系化合物、スチルベン、4−ジ−パラ−トリルアミノスチルベンのようなスチルベン系化合物、OZのようなオキサゾール系化合物、トリフェニルメタン、m−MTDATAのようなトリフェニルメタン系化合物、1−フェニル−3−(パラ−ジメチルアミノフェニル)ピラゾリンのようなピラゾリン系化合物、ベンジン(シクロヘキサジエン)系化合物、トリアゾールのようなトリアゾール系化合物、イミダゾールのようなイミダゾール系化合物、1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ジ(4−ジメチルアミノフェニル)−1,3,4−オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アントラセン、9−(4−ジエチルアミノスチリル)アントラセンのようなアントラセン系化合物、フルオレノン、2,4,7−トリニトロ−9−フルオレノン、2,7−ビス(2−ヒドロキシ−3−(2−クロロフェニルカルバモイル)−1−ナフチルアゾ)フルオレノンのようなフルオレノン系化合物、ポリアニリンのようなアニリン系化合物、シラン系化合物、1,4−ジチオケト−3,6−ジフェニル−ピロロ−(3,4−c)ピロロピロールのようなピロール系化合物、フローレンのようなフローレン系化合物、ポルフィリン、金属テトラフェニルポルフィリンのようなポルフィリン系化合物、キナクリドンのようなキナクリドン系化合物、フタロシアニン、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン、鉄フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、銅ナフタロシアニン、バナジルナフタロシアニン、モノクロロガリウムナフタロシアニンのような金属または無金属のナフタロシアニン系化合物、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン、N,N,N’,N’−テトラフェニルベンジジンのようなベンジジン系化合物等が挙げられる。 Examples of the p-type low molecular weight material include 1,1-bis (4-di-para-triaminophenyl) cyclohexane, 1,1′-bis (4-di-para-tolylaminophenyl)- Arylcycloalkane compounds such as 4-phenyl-cyclohexane, 4,4 ′, 4 ″ -trimethyltriphenylamine, N, N, N ′, N′-tetraphenyl-1,1′-biphenyl-4, 4′-diamine, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD1), N, N′-diphenyl-N , N′-bis (4-methoxyphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD2), N, N, N ′, N′-tetrakis (4-methoxyphenyl) -1,1 '-Biphenyl-4,4'-diamine (TPD3), N N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (α-NPD), arylamine compounds such as TPTE, N, N, N ', N'-tetraphenyl-para-phenylenediamine, N, N, N', N'-tetra (para-tolyl) -para-phenylenediamine, N, N, N ', N'-tetra (meta-tolyl) ) -Phenylenediamine compounds such as meta-phenylenediamine (PDA), carbazole compounds such as carbazole, N-isopropylcarbazole, N-phenylcarbazole, stilbenes, and stilbenes such as 4-di-para-tolylaminostilbene. system compounds, oxazole-based compounds such as O x Z, triphenylmethane, triphenylmethane compounds such as m-MTDATA, 1-off Pyrazoline compounds such as nil-3- (para-dimethylaminophenyl) pyrazoline, benzine (cyclohexadiene) compounds, triazole compounds such as triazole, imidazole compounds such as imidazole, 1,3,4-oxa Diazole, oxadiazole compounds such as 2,5-di (4-dimethylaminophenyl) -1,3,4-oxadiazole, anthracene, anthracene such as 9- (4-diethylaminostyryl) anthracene Compound, fluorenone, 2,4,7-trinitro-9-fluorenone, fluorenone compound such as 2,7-bis (2-hydroxy-3- (2-chlorophenylcarbamoyl) -1-naphthylazo) fluorenone, polyaniline Aniline compounds, silane compounds Pyrrole compounds such as 1,4-dithioketo-3,6-diphenyl-pyrrolo- (3,4-c) pyrrolopyrrole, fluorene compounds such as florene, porphyrins, porphyrins such as metal tetraphenylporphyrin Compounds, quinacridone compounds such as quinacridone, phthalocyanine, copper phthalocyanine, tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, metal or metal-free phthalocyanine compounds such as iron phthalocyanine, copper naphthalocyanine, vanadyl naphthalocyanine, monochlorogallium naphthalocyanine Of metal or metal-free naphthalocyanine compounds such as N, N′-di (naphthalen-1-yl) -N, N′-diphenyl-benzidine, N, N, N ′, N′-tetraphenylbenzidine Benzidine compounds like And the like.

本発明の有機電界発光素子が、電子輸送層や正孔輸送層を有する場合、これらの層の平均厚さは、特に限定されないが、10〜150nmであることが好ましい。より好ましくは、20〜100nmであり、更に好ましくは、40〜100nmである。
電子輸送層や正孔輸送層の平均厚さは、低分子化合物の場合は水晶振動子膜厚計により、高分子化合物の場合は接触式段差計により測定することができる。
When the organic electroluminescent element of the present invention has an electron transport layer or a hole transport layer, the average thickness of these layers is not particularly limited, but is preferably 10 to 150 nm. More preferably, it is 20-100 nm, More preferably, it is 40-100 nm.
The average thickness of the electron transport layer and the hole transport layer can be measured with a quartz oscillator film thickness meter in the case of a low molecular compound, and with a contact step meter in the case of a polymer compound.

本発明の有機電界発光素子は、陰極から発光層までの間、陽極から発光層までの間のいずれか又は両方に金属酸化物層を有することになるが、陰極から発光層までの間との発光層から陽極までの間の両方に金属酸化物層を有することが好ましい。陰極から発光層までの間の金属酸化物層を第1の金属酸化物層、陽極から発光層までの間の金属酸化物層を第2の金属酸化物層とし、本発明の有機電界発光素子の好ましい素子の構成の一例を表すと、陰極、第1の金属酸化物層、窒素含有膜からなる層、発光層、正孔輸送層、第2の金属酸化物層、陽極がこの順に隣接して積層された構成である。なお、窒素含有膜からなる層と、発光層との間に必要に応じて電子輸送層を有していてもよい。金属酸化物層の重要性は、第1の金属酸化物層の方が高く、第2の金属酸化物層は、最低非占有分子軌道の極端に深い有機材料、例えば、HATCNでも置き換える事ができる。 The organic electroluminescent element of the present invention has a metal oxide layer either from the cathode to the light emitting layer, or from the anode to the light emitting layer, or both. It is preferable to have a metal oxide layer both between the light emitting layer and the anode. The metal oxide layer between the cathode and the light emitting layer is the first metal oxide layer, and the metal oxide layer between the anode and the light emitting layer is the second metal oxide layer, and the organic electroluminescent device of the present invention An example of the configuration of the preferred element is that the cathode, the first metal oxide layer, the layer comprising a nitrogen-containing film, the light emitting layer, the hole transport layer, the second metal oxide layer, and the anode are adjacent in this order. It is a laminated structure. In addition, you may have an electron carrying layer between the layer which consists of a nitrogen-containing film | membrane, and a light emitting layer as needed. The importance of the metal oxide layer is higher in the first metal oxide layer, and the second metal oxide layer can be replaced by an organic material extremely deep in the lowest unoccupied molecular orbital, for example, HATCN. .

上記第1の金属酸化物層は、単体の金属酸化物膜の一層からなる層、もしくは、単体又は二種類以上の金属酸化物を積層及び/又は混合した層である半導体もしくは絶縁体積層薄膜の層である。金属酸化物を構成する金属元素としては、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、インジウム、ガリウム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、カドミウム、アルミニウム、ケイ素からなる群から選ばれる。これらのうち、積層又は混合金属酸化物層を構成する金属元素の少なくとも一つが、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、ジルコニウム、ハフニウム、ケイ素、チタン、亜鉛からなる層であることが好ましく、その中でも単体の金属酸化物ならば、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化亜鉛からなる群から選ばれる金属酸化物を含むことが好ましい。 The first metal oxide layer is a layer composed of a single layer of a single metal oxide film, or a layer of a semiconductor or insulator stacked thin film that is a single layer or a layer in which two or more types of metal oxides are stacked and / or mixed. Is a layer. The metal elements constituting the metal oxide include magnesium, calcium, strontium, barium, titanium, zirconium, hafnium, vanadium, niobium, tantalum, chromium, molybdenum, tungsten, manganese, indium, gallium, iron, cobalt, nickel, copper , Zinc, cadmium, aluminum, and silicon. Among these, it is preferable that at least one of the metal elements constituting the laminated or mixed metal oxide layer is a layer made of magnesium, aluminum, calcium, zirconium, hafnium, silicon, titanium, zinc, and among them, a single metal If it is an oxide, it is preferable to include a metal oxide selected from the group consisting of magnesium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, silicon oxide, titanium oxide, and zinc oxide.

上記単体又は二種類以上の金属酸化物を積層及び/又は混合した層の例としては、酸化チタン/酸化亜鉛、酸化チタン/酸化マグネシウム、酸化チタン/酸化ジルコニウム、酸化チタン/酸化アルミニウム、酸化チタン/酸化ハフニウム、酸化チタン/酸化ケイ素、酸化亜鉛/酸化マグネシウム、酸化亜鉛/酸化ジルコニウム、酸化亜鉛/酸化ハフニウム、酸化亜鉛/酸化ケイ素、酸化カルシウム/酸化アルミニウムなどの金属酸化物の組合せを積層及び/又は混合したものや、酸化チタン/酸化亜鉛/酸化マグネシウム、酸化チタン/酸化亜鉛/酸化ジルコニウム、酸化チタン/酸化亜鉛/酸化アルミニウム、酸化チタン/酸化亜鉛/酸化ハフニウム、酸化チタン/酸化亜鉛/酸化ケイ素、酸化インジウム/酸化ガリウム/酸化亜鉛などの三種の金属酸化物の組合せを積層及び/又は混合したものなどが挙げられる。これらの中には、特殊な組成として良好な特性を示す酸化物半導体であるIGZOやエレクトライドである12CaO・7Alも含まれる。
これら第1の金属酸化物層は、電子注入層ともいえ、また、電極(陰極)ともいえる。
なお、本発明においては、シート抵抗が100Ω/□より低い物は導電体、シート抵抗が100Ω/□より高い物は半導体または絶縁体として分類される。従って、透明電極として知られているITO(錫ドープ酸化インジウム)、ATO(アンチモンドープ酸化インジウム)、IZO(インジウムドープ酸化亜鉛)、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)、FTO(フッ素ドープ酸化インジウム)等の薄膜は、導電性が高く半導体または絶縁体の範疇に含まれないことから本発明の第1の金属酸化物層を構成する一層に該当しない。
Examples of the layer obtained by laminating and / or mixing the single substance or two or more kinds of metal oxides include titanium oxide / zinc oxide, titanium oxide / magnesium oxide, titanium oxide / zirconium oxide, titanium oxide / aluminum oxide, titanium oxide / Lamination and / or combination of metal oxides such as hafnium oxide, titanium oxide / silicon oxide, zinc oxide / magnesium oxide, zinc oxide / zirconium oxide, zinc oxide / hafnium oxide, zinc oxide / silicon oxide, calcium oxide / aluminum oxide Mixed, titanium oxide / zinc oxide / magnesium oxide, titanium oxide / zinc oxide / zirconium oxide, titanium oxide / zinc oxide / aluminum oxide, titanium oxide / zinc oxide / hafnium oxide, titanium oxide / zinc oxide / silicon oxide, Such as indium oxide / gallium oxide / zinc oxide Like those laminating and / or mixing a combination of species of metal oxides. These include IGZO, which is an oxide semiconductor that exhibits good characteristics as a special composition, and 12CaO.7Al 2 O 3 , which is an electride.
These first metal oxide layers can be said to be electron injection layers and electrodes (cathodes).
In the present invention, an object having a sheet resistance lower than 100Ω / □ is classified as a conductor, and an object having a sheet resistance higher than 100Ω / □ is classified as a semiconductor or an insulator. Therefore, ITO (tin-doped indium oxide), ATO (antimony-doped indium oxide), IZO (indium-doped zinc oxide), AZO (aluminum-doped zinc oxide), FTO (fluorine-doped indium oxide), etc., known as transparent electrodes The thin film does not correspond to one layer constituting the first metal oxide layer of the present invention because it has high conductivity and is not included in the category of semiconductor or insulator.

上記第2の金属酸化物層を形成する金属酸化物としては、特に制限されないが、酸化バナジウム(V)、酸化モリブテン(MoO)、酸化タングステン(WO)、酸化ルテニウム(RuO)等の1種又は2種以上を用いることができる。これらの中でも、酸化バナジウム又は酸化モリブテンを主成分とするものが好ましい。第2の金属酸化物層が酸化バナジウム又は酸化モリブテンを主成分とするものにより構成されると、第2の金属酸化物層が陽極から正孔を注入して発光層又は正孔輸送層へ輸送するという正孔注入層としての機能により優れたものとなる。また、酸化バナジウム又は酸化モリブテンは、それ自体の正孔輸送性が高いため、陽極から発光層又は正孔輸送層への正孔の注入効率が低下するのを好適に防止することもできるという利点がある。より好ましくは、酸化バナジウム及び/又は酸化モリブテンから構成されるものである。 The metal oxide that forms the second metal oxide layer is not particularly limited, but vanadium oxide (V 2 O 5 ), molybdenum oxide (MoO 3 ), tungsten oxide (WO 3 ), ruthenium oxide (RuO 2 ). 1 type or 2 types or more can be used. Among these, those containing vanadium oxide or molybdenum oxide as a main component are preferable. When the second metal oxide layer is composed mainly of vanadium oxide or molybdenum oxide, the second metal oxide layer injects holes from the anode and transports them to the light emitting layer or the hole transport layer. The function as the hole injection layer is excellent. In addition, vanadium oxide or molybdenum oxide has its own high hole transport property, so that it is possible to suitably prevent the efficiency of hole injection from the anode to the light emitting layer or the hole transport layer from being lowered. There is. More preferably, it is composed of vanadium oxide and / or molybdenum oxide.

上記第1の金属酸化物層の平均厚さは、1nmから数μm程度まで許容できるが、低電圧で駆動できる有機電界発光素子とする点から、1〜1000nmであることが好ましい。より好ましくは、2〜100nmである。
上記第2の金属酸化物層の平均厚さは、特に限定されないが、1〜1000nmであることが好ましい。より好ましくは、5〜50nmである。
第1の金属酸化物層の平均厚さは、触針式段差計、分光エリプソメトリーにより測定することができる。
第2の金属酸化物層の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
The average thickness of the first metal oxide layer is acceptable from 1 nm to about several μm, but is preferably 1 to 1000 nm from the viewpoint of an organic electroluminescent device that can be driven at a low voltage. More preferably, it is 2 to 100 nm.
The average thickness of the second metal oxide layer is not particularly limited, but is preferably 1 to 1000 nm. More preferably, it is 5-50 nm.
The average thickness of the first metal oxide layer can be measured by a stylus profilometer or spectroscopic ellipsometry.
The average thickness of the second metal oxide layer can be measured at the time of film formation with a crystal oscillator thickness meter.

本発明の有機電界発光素子において、陽極及び陰極としては、公知の導電性材料を適宜用いることができるが、光取り出しのために少なくともいずれか一方は透明であることが好ましい。公知の透明導電性材料の例としてはITO(錫ドープ酸化インジウム)、ATO(アンチモンドープ酸化インジウム)、IZO(インジウムドープ酸化亜鉛)、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)、FTO(フッ素ドープ酸化インジウム)などが上げられる。不透明な導電性材料の例としては、カルシウム、マグネシウム、アルミニウム、錫、インジウム、銅、銀、金、白金やこれらの合金などが挙げられる。
陰極としては、この中でも、ITO、IZO、FTOが好ましい。
陽極としては、これらの中でも、Au、Ag、Alが好ましい。
上記のように、一般に陽極に用いられる金属を陰極及び陽極に用いる事ができる事から、上部電極からの光の取り出しを想定する場合(トップエミッション構造の場合)も容易に実現でき、上記電極を種々選んでそれぞれの電極に用いる事ができる。例えば、下部電極としてAl、上部電極にITOなどである。
In the organic electroluminescent element of the present invention, as the anode and the cathode, known conductive materials can be used as appropriate, but at least one of them is preferably transparent for light extraction. Examples of known transparent conductive materials include ITO (tin-doped indium oxide), ATO (antimony-doped indium oxide), IZO (indium-doped zinc oxide), AZO (aluminum-doped zinc oxide), and FTO (fluorine-doped indium oxide). Is raised. Examples of the opaque conductive material include calcium, magnesium, aluminum, tin, indium, copper, silver, gold, platinum, and alloys thereof.
Among these, ITO, IZO, and FTO are preferable as the cathode.
Among these, Au, Ag, and Al are preferable as the anode.
As described above, since the metal generally used for the anode can be used for the cathode and the anode, it is possible to easily realize light extraction from the upper electrode (in the case of a top emission structure). Various selections can be made for each electrode. For example, Al is used for the lower electrode and ITO is used for the upper electrode.

上記陰極の平均厚さは、特に制限されないが、10〜500nmであることが好ましい。より好ましくは、100〜200nmである。陰極の平均厚さは、触針式段差計、分光エリプソメトリーにより測定することができる。
上記陽極の平均厚さは、特に限定されないが、10〜1000nmであることが好ましい。より好ましくは、30〜150nmである。また、不透過な材料を用いる場合でも、例えば平均厚さを10〜30nm程度にすることで、トップエミッション型及び透明型の陽極として使用することができる。
陽極の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
The average thickness of the cathode is not particularly limited, but is preferably 10 to 500 nm. More preferably, it is 100-200 nm. The average thickness of the cathode can be measured by a stylus profilometer or spectroscopic ellipsometry.
The average thickness of the anode is not particularly limited, but is preferably 10 to 1000 nm. More preferably, it is 30-150 nm. Even when an opaque material is used, for example, by setting the average thickness to about 10 to 30 nm, it can be used as a top emission type or transparent type anode.
The average thickness of the anode can be measured at the time of film formation with a crystal oscillator thickness meter.

本発明の有機電界発光素子において、有機化合物から形成される層の成膜方法は特に限定されず、材料の特性に合わせて種々の方法を適宜用いることができるが、溶液にして塗布できる場合はスピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法、スリットコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、インクジェット印刷法等の各種塗布法を用いて成膜することができる。このうち、膜厚をより制御しやすいという点でスピンコート法やスリットコート法が好ましい。塗布しない場合や溶媒溶解性が低い場合は真空蒸着法や、ESDUS(Evaporative Spray Deposition from Ultra−dilute Solution)法などが好適な例として挙げられる。 In the organic electroluminescent device of the present invention, the method for forming the layer formed from the organic compound is not particularly limited, and various methods can be appropriately used according to the characteristics of the material. Spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, slit coating method, dip coating method, spray coating method, screen printing method, flexographic printing method, offset The film can be formed using various coating methods such as a printing method and an ink jet printing method. Among these, the spin coat method and the slit coat method are preferable because the film thickness can be more easily controlled. When not applied or when the solvent solubility is low, a vacuum deposition method, an ESDUS (Evaporative Spray Deposition Ultra-dilute Solution) method, or the like can be cited as a suitable example.

上記有機化合物から形成される層を、有機化合物溶液を塗布して形成する場合、有機化合物を溶解するために用いる溶媒としては、例えば、硝酸、硫酸、アンモニア、過酸化水素、水、二硫化炭素、四塩化炭素、エチレンカーボネイト等の無機溶媒や、メチルエチルケトン(MEK)、アセトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)、メチルイソプロピルケトン(MIPK)、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール(DEG)、グリセリン等のアルコール系溶媒、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、1,2−ジメトキシエタン(DME)、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)、テトラヒドロピラン(THP)、アニソール、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグリム)、ジエチレングリコールエチルエーテル(カルビトール)等のエーテル系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、フェニルセロソルブ等のセロソルブ系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒、トルエン、キシレン、ベンゼン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、クロロベンゼン、ジクロロメタン、クロロホルム、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化合物系溶媒、酢酸エチル、酢酸メチル、ギ酸エチル等のエステル系溶媒、ジメチルスルホキシド(DMSO)、スルホラン等の硫黄化合物系溶媒、アセトニトリル、プロピオニトリル、アクリロニトリル等のニトリル系溶媒、ギ酸、酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸等の有機酸系溶媒のような各種有機溶媒、または、これらを含む混合溶媒等が挙げられる。
これらの中でも、溶媒としては、非極性溶媒が好適であり、例えば、キシレン、トルエン、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒等が挙げられ、これらを単独または混合して用いることができる。
When the layer formed from the organic compound is formed by applying an organic compound solution, examples of the solvent used for dissolving the organic compound include nitric acid, sulfuric acid, ammonia, hydrogen peroxide, water, carbon disulfide. , Inorganic solvents such as carbon tetrachloride, ethylene carbonate, ketone solvents such as methyl ethyl ketone (MEK), acetone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone (MIBK), methyl isopropyl ketone (MIPK), cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropanol, Alcohol solvents such as ethylene glycol, diethylene glycol (DEG), glycerin, diethyl ether, diisopropyl ether, 1,2-dimethoxyethane (DME), 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF), tetrahydropyran (T P), ether solvents such as anisole, diethylene glycol dimethyl ether (diglyme), diethylene glycol ethyl ether (carbitol), cellosolv solvents such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, phenyl cellosolve, aliphatic carbonization such as hexane, pentane, heptane, cyclohexane Hydrogen solvents, aromatic hydrocarbon solvents such as toluene, xylene, benzene, aromatic heterocyclic compounds solvents such as pyridine, pyrazine, furan, pyrrole, thiophene, methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide (DMF), Amide solvents such as N, N-dimethylacetamide (DMA), halogen compound solvents such as chlorobenzene, dichloromethane, chloroform, 1,2-dichloroethane, ethyl acetate, methyl acetate, ethyl formate, etc. Tellurium solvents, sulfur compound solvents such as dimethyl sulfoxide (DMSO), sulfolane, nitrile solvents such as acetonitrile, propionitrile, acrylonitrile, organic acid solvents such as formic acid, acetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid Various organic solvents, mixed solvents containing these, etc. are mentioned.
Among these, as the solvent, a nonpolar solvent is suitable, for example, an aromatic hydrocarbon solvent such as xylene, toluene, cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene, pyridine, pyrazine, furan, Examples include aromatic heterocyclic compound solvents such as pyrrole, thiophene, and methylpyrrolidone, and aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, pentane, heptane, and cyclohexane. These can be used alone or in combination.

上記窒素含有化合物として、ポリアミン類を用いる場合、窒素含有化合物を含む溶液の溶媒として水又は低級アルコールを用いることができる。低級アルコールとしては、炭素数1〜4のアルコールを用いることが好ましく、メタノール、エタノール、プロパノール、エトキシエタノール、メトキシエタノール等を単独または混合して用いることができる。 When polyamines are used as the nitrogen-containing compound, water or a lower alcohol can be used as a solvent for the solution containing the nitrogen-containing compound. As the lower alcohol, an alcohol having 1 to 4 carbon atoms is preferably used, and methanol, ethanol, propanol, ethoxyethanol, methoxyethanol or the like can be used alone or in combination.

上記陰極、陽極、及び、酸化物層は、スパッタ法、真空蒸着法、ゾルゲル法、スプレー熱分解(SPD)法、原子層堆積(ALD)法、気相成膜法、液相成膜法等により形成することができる。陽極、陰極の形成には、金属箔の接合も用いることができる。これらの方法は各層の材料の特性に応じて選択するのが好ましく、層ごとに作製方法が異なっていても良い。第2の金属酸化物層は、これらの中でも、気相製膜法を用いて形成するのがより好ましい。気相製膜法によれば、有機化合物層の表面を壊すことなく清浄にかつ陽極と接触よく形成することができ、その結果、上述したような第2の金属酸化物層を有することによる効果がより顕著なものとなる。 The cathode, anode, and oxide layer can be formed by sputtering, vacuum deposition, sol-gel, spray pyrolysis (SPD), atomic layer deposition (ALD), vapor deposition, liquid deposition, etc. Can be formed. Metal foil bonding can also be used to form the anode and cathode. These methods are preferably selected according to the characteristics of the material of each layer, and the manufacturing method may be different for each layer. Among these, it is more preferable to form the second metal oxide layer using a vapor deposition method. According to the vapor deposition method, the surface of the organic compound layer can be formed cleanly and in good contact with the anode, and as a result, the effect of having the second metal oxide layer as described above. Becomes more prominent.

本発明の有機電界発光素子の特性をさらに向上させる等の理由から、必要に応じて例えば正孔阻止層、電子素子層などを有していてもよい。これらの層を形成するための材料としては、これらの層を形成するために通常用いられる材料を用い、また、これらの層を形成するために通常用いられる方法により層を形成することができる。 For the purpose of further improving the characteristics of the organic electroluminescent device of the present invention, for example, a hole blocking layer, an electronic device layer and the like may be included as necessary. As a material for forming these layers, materials usually used for forming these layers can be used, and the layers can be formed by a method usually used for forming these layers.

本発明の有機電界発光素子は、素子を構成する全ての層が有機化合物で構成された有機電界発光素子に比べると厳密な封止は必要ないが、必要であれば封止を施しても良い。封止工程としては、通常の方法を適宜使用できる。例えば、不活性ガス中で封止容器を接着する方法や、有機EL素子の上に直接封止膜を形成する方法などが挙げられる。これらに加えて、水分吸収材を封入する方法を併用してもよい。 The organic electroluminescent device of the present invention does not require strict sealing as compared with an organic electroluminescent device in which all layers constituting the device are composed of an organic compound, but may be sealed if necessary. . As the sealing step, a normal method can be used as appropriate. For example, a method of adhering a sealing container in an inert gas, a method of forming a sealing film directly on the organic EL element, or the like can be given. In addition to these, a method of enclosing a moisture absorbing material may be used in combination.

本発明の有機電界発光素子は、基板上に陰極が隣接して形成される逆構造の有機電界発光素子である。本発明の有機電界発光素子は、基板がある側とは反対側に光を取り出すトップエミッション型のものであってもよく、基板がある側に光を取り出すボトムエミッション型のものであってもよい。
上記基板の材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を用いることができる。
また、トップエミッション型の場合には、不透明基板も用いることができ、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜(絶縁膜)を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等も用いることができる。
The organic electroluminescent element of the present invention is an organic electroluminescent element having an inverted structure in which a cathode is formed adjacent to a substrate. The organic electroluminescence device of the present invention may be a top emission type that extracts light to the side opposite to the side where the substrate is present, or may be a bottom emission type that extracts light to the side where the substrate is present. .
As the material of the substrate, resin materials such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, cycloolefin polymer, polyamide, polyethersulfone, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyarylate, quartz glass, soda glass, etc. A glass material etc. are mentioned, These 1 type (s) or 2 or more types can be used.
In the case of the top emission type, an opaque substrate can be used. For example, an oxide film (insulating film) is formed on the surface of a ceramic substrate such as alumina or a metal substrate such as stainless steel. A substrate made of a resin material or the like can also be used.

上記基板の平均厚さは、0.1〜30mmであることが好ましい。より好ましくは、0.1〜10mmである。
基板の平均厚さはデジタルマルチメーター、ノギスにより測定することができる。
The average thickness of the substrate is preferably 0.1 to 30 mm. More preferably, it is 0.1-10 mm.
The average thickness of the substrate can be measured with a digital multimeter or a caliper.

本発明の電界発光素子は、陽極と陰極との間に電圧(通常は15ボルト以下)を印加することによって発光させることができる。通常は直流電圧を印加するが、交流成分が含まれていても良い。
本発明の有機電界発光素子は、有機化合物層の材料を適宜選択することによって発光色を変化させることができるし、カラーフィルター等を併用して所望の発光色を得ることもできる。そのため、表示装置の発光部位や照明装置として好適に用いることができる。特に、逆構造という特性から、酸化物TFTと組み合わせた表示装置が好適である。
このような、本発明の有機電界発光素子を備えることを特徴とする表示装置や、本発明の有機電界発光素子を備えることを特徴とする照明装置もまた、本発明の1つである。
The electroluminescent element of the present invention can emit light by applying a voltage (usually 15 volts or less) between the anode and the cathode. Normally, a DC voltage is applied, but an AC component may be included.
The organic electroluminescent element of the present invention can change the emission color by appropriately selecting the material of the organic compound layer, and can also obtain a desired emission color by using a color filter or the like in combination. Therefore, it can be suitably used as a light emitting part of a display device or a lighting device. In particular, a display device combined with an oxide TFT is preferable because of its reverse structure.
Such a display device including the organic electroluminescent element of the present invention and an illumination device including the organic electroluminescent element of the present invention are also one aspect of the present invention.

本発明の有機電界発光素子は、上述したとおり、金属酸化物層上に窒素含有膜からなる層を有することで、電子注入特性が向上して発光効率に優れるとともに、素子の駆動安定性及び素子寿命にも優れたものとなる。
このような電子注入特性向上の効果は、有機電界発光素子に限らず、太陽電池や有機半導体等の他の光電子デバイスにおいても、性能向上に寄与する有益なものである。このような光電子デバイスの性能向上に寄与する窒素含有膜、すなわち、
窒素を含有する膜であって、該膜は、金属を含有する基材上に形成され、固体の窒素含有化合物で形成されるか、又は、膜を構成する元素として窒素元素と炭素元素とを含み、該膜を構成する窒素原子と炭素原子との存在比率が
窒素原子数/(窒素原子数+炭素原子数)>1/8
の関係を満たすことを特徴とする窒素含有膜もまた、本発明の1つである。
本発明の窒素含有膜の好ましい形態や製造方法は、上述した本発明の有機電界発光素子における窒素含有膜からなる層と同様である。
As described above, the organic electroluminescent device of the present invention has a layer made of a nitrogen-containing film on the metal oxide layer, so that the electron injection characteristics are improved and the luminous efficiency is excellent, and the driving stability of the device and the device are improved. The service life is also excellent.
Such an effect of improving the electron injection characteristics is beneficial not only for organic electroluminescence elements but also for other optoelectronic devices such as solar cells and organic semiconductors, which contributes to performance improvement. Nitrogen-containing films that contribute to the performance improvement of such optoelectronic devices, that is,
A film containing nitrogen, the film being formed on a metal-containing substrate and formed of a solid nitrogen-containing compound, or nitrogen and carbon elements as elements constituting the film The abundance ratio of nitrogen atoms and carbon atoms constituting the film is the number of nitrogen atoms / (number of nitrogen atoms + number of carbon atoms)> 1/8
A nitrogen-containing film characterized by satisfying this relationship is also one aspect of the present invention.
The preferable form and manufacturing method of the nitrogen-containing film of the present invention are the same as those of the layer made of the nitrogen-containing film in the organic electroluminescence device of the present invention described above.

本発明の有機電界発光素子は、上述の構成よりなり、厳密な封止を必要としない有機無機ハイブリッド型の逆構造を有した有機電界発光素子であって、発光効率に優れるとともに、発光の繰り返し安定性と発光の均一性に優れた高い駆動安定性を有し、素子の寿命も長いものである。これらの特徴を有する本発明の有機電界発光素子は、表示装置や証明装置等に好適に用いることができる。 The organic electroluminescent element of the present invention is an organic electroluminescent element having an organic-inorganic hybrid type reverse structure that has the above-described configuration and does not require strict sealing, has excellent luminous efficiency, and repeats light emission. It has high driving stability with excellent stability and uniformity of light emission, and has a long device life. The organic electroluminescent element of the present invention having these characteristics can be suitably used for a display device, a certification device, and the like.

本発明で示される有機電界発光素子の積層構造の一例を示した概略図である。It is the schematic which showed an example of the laminated structure of the organic electroluminescent element shown by this invention. 実施例1で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 1, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例1で作製した有機電界発光素子の(c−1)定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性、及び、(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。(C-1) Continuous drive characteristics under constant current density (equivalent to 100 cd / m 2 ) of the organic electroluminescent device produced in Example 1, and (c-2) under constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2) It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic in). 比較例1で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in the comparative example 1, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例2で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 2, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例2で作製した有機電界発光素子の(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-2) constant current density (equivalent to 1000 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 2. FIG. 実施例3で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 3, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例3で作製した有機電界発光素子の(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-2) constant current density (equivalent to 1000 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 3. FIG. 実施例4で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(c−1)定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。The measurement results of (a) voltage-current density / luminance characteristics and (c-1) continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 100 cd / m 2 ) of the organic electroluminescence device fabricated in Example 4 are shown. It is a figure. 実施例5で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 5, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例5で作製した有機電界発光素子(c−1)定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic in the organic electroluminescent element (c-1) produced in Example 5 under a constant current density (equivalent to 100 cd / m < 2 >). 実施例6で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 6, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例6で作製した有機電界発光素子の(c−1)定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-1) constant current density (equivalent to 100 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 6. FIG. 実施例7で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 7, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例7で作製した有機電界発光素子の(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-2) constant current density (equivalent to 1000 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 7. FIG. 実施例8で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 8, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例8で作製した有機電界発光素子の(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-2) constant current density (equivalent to 1000 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 8. 実施例9で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 9, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例9で作製した有機電界発光素子の(c−1)定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-1) constant current density (equivalent to 100 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 9. FIG. 実施例10で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 10, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例10で作製した有機電界発光素子の(c−2)定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of the continuous drive characteristic under the (c-2) constant current density (equivalent to 1000 cd / m < 2 >) of the organic electroluminescent element produced in Example 10. FIG. 製造例1で作製した窒素含有膜の光電子分光測定を行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having performed the photoelectron spectroscopy measurement of the nitrogen containing film | membrane produced in manufacture example 1. FIG. 製造例2で作製した窒素含有膜の光電子分光測定を行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having performed the photoelectron spectroscopy measurement of the nitrogen-containing film | membrane produced in manufacture example 2. FIG. 製造例3で作製した窒素含有膜の光電子分光測定を行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having performed the photoelectron spectroscopy measurement of the nitrogen-containing film | membrane produced in manufacture example 3. FIG. 製造例4で作製した窒素含有膜の光電子分光測定を行った結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having performed the photoelectron spectroscopy measurement of the nitrogen containing film | membrane produced in manufacture example 4. FIG. 実施例11−1で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 11-1, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例11−2で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 11-2, and (b) current density-current efficiency characteristic. 実施例12で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in Example 12, and (b) current density-current efficiency characteristic. 比較例2で作製した有機電界発光素子の(a)電圧−電流密度・輝度特性、及び、(b)電流密度−電流効率特性の測定結果を示した図である。It is the figure which showed the measurement result of (a) voltage-current density and a brightness | luminance characteristic of the organic electroluminescent element produced in the comparative example 2, and (b) current density-current efficiency characteristic.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は「重量部」を、「%」は「質量%」を意味するものとする。 The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to these examples. Unless otherwise specified, “part” means “part by weight” and “%” means “mass%”.

(有機電界発光素子の作製)
(実施例1)
[1]市販されている平均厚さ0.7mmのITO電極層付き透明ガラス基板1を用意した。この時、基板のITO電極2は幅2mmにパターニングされているものを用いた。この基板をアセトン中、イソプロパノール中でそれぞれ10分間超音波洗浄後、イソプロパノール中で5分間煮沸した。この基板をイソプロパノール中から取り出し、窒素ブローにより乾燥させ、UVオゾン洗浄を20分行った。
[2]この基板を、亜鉛金属ターゲットを持つミラトロンスパッタ装置の基板ホルダーに再度固定した。約1×10−4Paまで減圧した後、アルゴンと酸素を導入した状態でスパッタし、第1の金属酸化物層3として、膜厚約2nmの酸化亜鉛層を作成した。この時にメタルマスクを併用して、電極取り出しのためITO電極の一部は酸化亜鉛が成膜されないようにした。
[3]この基板を、再度[1]の洗浄工程(アセトン中、イソプロパノール中でそれぞれ10分間超音波洗浄後、イソプロパノール中で5分間煮沸、その後窒素ブローにより乾燥させ、UVオゾン洗浄を20分行う)の後、400℃のホットプレート上で1時間アニールを行った。
[4]次に窒素含有膜の層4を形成するため、日本触媒社製ポリエチレンイミン(登録商標:エポミン)をエタノールにより0.5重量%に希釈したものを2000rpm、30秒の条件でスピンコートした。
ここで用いたエポミンは分子量300のsp003であった。
[5][4]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、5分間アニールを行った。アニール後に測定した窒素含有膜の層の平均厚みは5nmであった。
[6]次に、[5]の処理を行った基板を真空装置に導入し、1×10−4Pa以下まで減圧する。有機化合物層5として、発光層としてAlqを正孔輸送層としてα−NPDをそれぞれ順番に32.5nm、60nm真空蒸着法により積層した。
[7]次に、有機化合物層5の上に、第2の金属酸化物層6を形成した。ここでは、酸化モリブデンを10nm気相製膜法である真空蒸着法により形成した。
[8]次に、最終工程として第2の金属酸化物層6上に陽極7を形成した。ここでは、アルミニウムを150nm真空蒸着法により製膜した。
[9]下記(有機電界発光素子の発光特性測定)および(有機電界発光素子の寿命特性測定)により有機電界発光素子特性(電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、定電流密度下(100cd/m相当、1000cd/m相当)での連続駆動特性)を測定した。測定結果をそれぞれ図2−1、2−2の(a)、(b)、(c−1)及び(c−2)に示す。
(Production of organic electroluminescence device)
Example 1
[1] A commercially available transparent glass substrate 1 with an ITO electrode layer having an average thickness of 0.7 mm was prepared. At this time, the ITO electrode 2 of the substrate used was patterned to a width of 2 mm. This substrate was subjected to ultrasonic cleaning in acetone and isopropanol for 10 minutes, and then boiled in isopropanol for 5 minutes. This substrate was taken out from isopropanol, dried by nitrogen blowing, and UV ozone cleaning was performed for 20 minutes.
[2] This substrate was fixed again to the substrate holder of the Miratron sputtering apparatus having a zinc metal target. After reducing the pressure to about 1 × 10 −4 Pa, sputtering was performed with argon and oxygen introduced, and a zinc oxide layer having a thickness of about 2 nm was formed as the first metal oxide layer 3. At this time, a metal mask was used in combination so that a portion of the ITO electrode was not deposited with zinc oxide for electrode extraction.
[3] The substrate is again cleaned in [1] (ultrasonic cleaning in acetone and isopropanol for 10 minutes, boiled in isopropanol for 5 minutes, then dried by nitrogen blowing, and UV ozone cleaning is performed for 20 minutes. After that, annealing was performed on a hot plate at 400 ° C. for 1 hour.
[4] Next, in order to form the layer 4 of the nitrogen-containing film, a polyethyleneimine (registered trademark: Epomin) manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. diluted to 0.5% by weight with ethanol was spin-coated under the conditions of 2000 rpm and 30 seconds. did.
The epomin used here was sp003 having a molecular weight of 300.
[5] The thin film (substrate) produced in [4] was annealed at 150 ° C. for 5 minutes on a hot plate in the atmosphere. The average thickness of the nitrogen-containing film layer measured after annealing was 5 nm.
[6] Next, the substrate subjected to the processing of [5] is introduced into a vacuum apparatus, and the pressure is reduced to 1 × 10 −4 Pa or less. As the organic compound layer 5, 32.5 nm of Alq 3 on each turn alpha-NPD as a hole transport layer as a light emitting layer was deposited by 60nm vacuum deposition method.
[7] Next, the second metal oxide layer 6 was formed on the organic compound layer 5. Here, molybdenum oxide was formed by a vacuum evaporation method which is a 10 nm vapor phase film forming method.
[8] Next, an anode 7 was formed on the second metal oxide layer 6 as a final step. Here, aluminum was formed into a film by a 150 nm vacuum evaporation method.
[9] Organic electroluminescence device characteristics (voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, constant current density) by the following (measurement of light emission characteristics of organic electroluminescence elements) and (measurement of lifetime characteristics of organic electroluminescence elements) The lower (equivalent to 100 cd / m 2 , continuous drive characteristics at 1000 cd / m 2 ) was measured. The measurement results are shown in FIGS. 2-1 and 2-2, respectively (a), (b), (c-1) and (c-2).

(有機電界発光素子の発光特性測定)
ケースレー社製の「2400型ソースメーター」により、素子への電圧印加と、電流測定を行った。トプコン社製の「BM−7」により、発光輝度を測定した。測定はアルゴン雰囲気下で行った。
(有機電界発光素子の寿命特性測定)
システム技研社製の「有機EL寿命測定装置」により、素子への電圧印加と、相対輝度測定を行った。この装置では素子に一定電流が流れるように電圧を自動的に調整しながら、フォトダイオードによる相対輝度測定が行える。測定開始時の輝度が100cd/mおよび1000cd/mになるように素子ごとに電流値を設定した。これらの結果をそれぞれの実施例および比較例において(c−1)、(c−2)に示す。
なお、図(c−1)、(c−2)の欄外の例えば、「t1/2=200h@1000cd/m」等の記載は、半減寿命を表し、上記の場合、初期1000cd/m相当の電流密度を定電流で与え続けた時の輝度半減寿命が200時間であることを意味する。
(Measurement of light emission characteristics of organic electroluminescence device)
Voltage application to the device and current measurement were performed using a “2400 type source meter” manufactured by Keithley. Luminance was measured with “BM-7” manufactured by Topcon Corporation. The measurement was performed in an argon atmosphere.
(Measurement of lifetime characteristics of organic electroluminescent devices)
Application of voltage to the element and measurement of relative luminance were performed using an “organic EL lifetime measuring device” manufactured by System Giken. This device can measure relative luminance by a photodiode while automatically adjusting the voltage so that a constant current flows through the element. The current value was set for each element so that the luminance at the start of measurement was 100 cd / m 2 and 1000 cd / m 2 . These results are shown in (c-1) and (c-2) in the respective examples and comparative examples.
In addition, the description such as “t 1/2 = 200h @ 1000 cd / m 2 ” outside the column of FIGS. (C-1) and (c-2) represents a half-life, and in the above case, the initial 1000 cd / m This means that the luminance half-life when the current density equivalent to 2 is continuously applied at a constant current is 200 hours.

(比較例1)
実施例1の工程[4][5]を省略した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、及び、電流密度−電流効率特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図3(a)、(b)に示す。
(Comparative Example 1)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that steps [4] and [5] in Example 1 were omitted, and the voltage-current density / luminance characteristics and current density of the organic electroluminescent device were obtained in the same manner as in Example 1. -Current efficiency characteristics were measured. These results are shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), respectively.

(実施例2)
実施例1の工程[4]の工程を以下の[4−2]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図4−1、4−2の(a)、(b)及び(c−2)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、6nmであった。
[4−2]次に窒素含有膜の層4を形成するため、日本触媒社製ポリエチレンイミン(登録商標:エポミン)をエタノールにより0.5重量%に希釈したものを2000rpm、30秒の条件でスピンコートする。ここで用いたエポミンは分子量70000のP1000である。
(Example 2)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [4] in Example 1 was changed to the following [4-2], and the voltage-current density of the organic electroluminescent device in the same manner as in Example 1 was obtained. The luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 4-1 and 4-2 (a), (b) and (c-2), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film was 6 nm.
[4-2] Next, in order to form the layer 4 of the nitrogen-containing film, a polyethyleneimine (registered trademark: epomine) manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. was diluted to 0.5% by weight with ethanol under the condition of 2000 rpm for 30 seconds. Spin coat. The epomin used here is P1000 having a molecular weight of 70,000.

(実施例3)
実施例1の工程[4][5]の工程を以下の[4−3][5−3]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図5−1、5−2の(a)、(b)及び(c−2)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、5nmであった。
[4−3]次に窒素含有膜の層4を形成するため、ジエチレントリアミンをエタノールにより1.0重量%に希釈したものを2000rpm30秒の条件でスピンコートする。
[5−3][4−3]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で100℃、2分間アニールを行った。
(Example 3)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 1 except that the steps [4] and [5] in Example 1 were changed to [4-3] and [5-3] below. The voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2 ) of the light-emitting element were measured. These results are shown in FIGS. 5-1, 5-2 (a), (b) and (c-2), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 5 nm.
[4-3] Next, in order to form the layer 4 of the nitrogen-containing film, a solution obtained by diluting diethylenetriamine to 1.0% by weight with ethanol is spin-coated at 2000 rpm for 30 seconds.
[5-3] The thin film (substrate) produced in [4-3] was annealed at 100 ° C. for 2 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例4)
実施例1の工程[5]を省略した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、及び、定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図6(a)及び(c−1)に示す。なお、窒素含有膜の層の膜厚は、アニールを行っていないため、本薄膜は固化しておらず測定できなかったが、実施例1におけるアニール後の窒素含有膜の層の膜厚および大気下のアニールにより膜厚が減少することがわかっていることから、10nm程度と推測される。
Example 4
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [5] of Example 1 was omitted, and the voltage-current density / luminance characteristics and constant current density of the organic electroluminescent device were reduced in the same manner as in Example 1 ( The continuous drive characteristics at 100 cd / m 2 were measured. These results are shown in FIGS. 6 (a) and (c-1), respectively. The film thickness of the nitrogen-containing film layer was not measured because it was not annealed, and the thin film was not solidified and could not be measured. Since it is known that the film thickness is reduced by the lower annealing, it is estimated to be about 10 nm.

(実施例5)
実施例1の工程[4]の工程を上記[4−2]に変更し、[5]の工程を以下の[5−5]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図7−1、7−2の(a)、(b)及び(c−1)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、8nmであった。
[5−5][4−2]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で100℃、10分間アニールを行った。
(Example 5)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [4] in Example 1 was changed to the above [4-2] and the step [5] was changed to the following [5-5]. In the same manner as in Example 1, the voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 100 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 7-1 and 7-2 (a), (b) and (c-1), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film was 8 nm.
[5-5] The thin film (substrate) produced in [4-2] was annealed at 100 ° C. for 10 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例6)
実施例1の工程[4]の工程を上記[4−2]に変更し、[5]の工程を以下の[5−6]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図8−1、8−2の(a)、(b)及び(c−1)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、7nmであった。
[5−6][4−2]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、10分間アニールを行った。
(Example 6)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [4] in Example 1 was changed to the above [4-2] and the step [5] was changed to the following [5-6]. In the same manner as in Example 1, the voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 100 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 8-1 and 8-2 (a), (b) and (c-1), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film was 7 nm.
[5-6] The thin film (substrate) produced in [4-2] was annealed at 150 ° C. for 10 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例7)
実施例1の工程[4]の工程を上記[4−2]に変更し、[5]の工程を以下の[5−7]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図9−1、9−2の(a)、(b)及び(c−2)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、5nmであった。
[5−7][4−2]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、30分間アニールを行った。
(Example 7)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner except that the step [4] in Example 1 was changed to [4-2] and the step [5] was changed to [5-7] below. In the same manner as in Example 1, the voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous driving characteristics under a constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 9-1 and 9-2 (a), (b) and (c-2), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 5 nm.
[5-7] The thin film (substrate) produced in [4-2] was annealed at 150 ° C. for 30 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例8)
実施例1の工程[5]の工程を以下の[5−8]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図10−1、10−2の(a)、(b)及び(c−2)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、5nmであった。
[5−8][4]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で100℃、30分間アニールを行った。
(Example 8)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [5] of Example 1 was changed to the following [5-8], and the voltage-current density / voltage of the organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 1. The luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 10-1 and 10-2 (a), (b) and (c-2), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 5 nm.
[5-8] The thin film (substrate) produced in [4] was annealed at 100 ° C. for 30 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例9)
実施例1の工程[4]の工程を上記[4−2]に変更し、[5]の工程を以下の[5−9]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(100cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図11−1、11−2の(a)、(b)及び(c−1)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、8nmであった。
[5−9][4−2]で作製された薄膜(基板)を、窒素下ホットプレート上で150℃、10分間アニールを行った。
Example 9
An organic electroluminescent element was produced in the same manner except that the step [4] in Example 1 was changed to [4-2] and the step [5] was changed to [5-9] below. In the same manner as in Example 1, the voltage-current density / luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 100 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 11-1 and 11-2 (a), (b) and (c-1), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film was 8 nm.
[5-9] The thin film (substrate) produced in [4-2] was annealed at 150 ° C. for 10 minutes on a hot plate under nitrogen.

(実施例10)
実施例1の工程[5]の工程を以下の[5−11]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性、及び、定電流密度下(1000cd/m相当)での連続駆動特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図12−1、12−2の(a)、(b)及び(c−2)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、5nmであった。
[5−11][4]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、5分間アニールを行った。その後、エタノールにてリンスを行った。
(Example 10)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner except that the step [5] in Example 1 was changed to the following [5-11], and the voltage-current density / voltage of the organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 1. The luminance characteristics, current density-current efficiency characteristics, and continuous drive characteristics under a constant current density (equivalent to 1000 cd / m 2 ) were measured. These results are shown in FIGS. 12-1 and 12-2 (a), (b) and (c-2), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 5 nm.
[5-11] The thin film (substrate) produced in [4] was annealed at 150 ° C. for 5 minutes on a hot plate in the atmosphere. Thereafter, rinsing was performed with ethanol.

(製造例1)
実施例1の[1]〜[5]までの操作で得られた窒素含有膜について、下記光電子分光測定を行った。
炭素1S軌道および窒素1S軌道の測定を同時期に行う事で定量分析を行った。
これらを図13(d)、(e)に示す。
(Production Example 1)
The following photoelectron spectroscopy measurement was performed on the nitrogen-containing film obtained by the operations from [1] to [5] in Example 1.
Quantitative analysis was performed by measuring carbon 1S orbital and nitrogen 1S orbital at the same time.
These are shown in FIGS. 13 (d) and (e).

(X線光電子分光法の測定)
日本電子製(JPS−9000MX)の光電子分光測定装置を用いて、以下の条件化で測定を行った。
X線源:MgKα
ビーム出力(加速電圧―電流量):10kV−10mA
PassEnergy:10eV
Step:0.1eV
(Measurement of X-ray photoelectron spectroscopy)
Using a JEOL (JPS-9000MX) photoelectron spectrometer, measurement was performed under the following conditions.
X-ray source: MgKα
Beam output (acceleration voltage-current amount): 10 kV-10 mA
PassEnergy: 10eV
Step: 0.1 eV

(製造例2)
実施例1の[1]〜[4]までの操作で得られた窒素含有膜について、上記光電子分光測定を行った。
炭素1S軌道および窒素1S軌道の測定を同時期に行う事で定量分析を行った。
これらを図14(d)、(e)に示す。
(Production Example 2)
The above-mentioned photoelectron spectroscopic measurement was performed on the nitrogen-containing film obtained by the operations from [1] to [4] in Example 1.
Quantitative analysis was performed by measuring carbon 1S orbital and nitrogen 1S orbital at the same time.
These are shown in FIGS. 14 (d) and (e).

(製造例3)
実施例1の[1]〜[3]の工程と下記[4−12]および[5−12]の工程により作製された窒素含有膜について、上記光電子分光測定を行った。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、10nmであった。
[4−12]次に窒素含有膜の層4を形成するため、アルドリッチ製ポリエチレンイミンエトキシレート(分子量:70000)をエトキシエタノールにより0.4重量%に希釈したものを5000rpm、60秒の条件でスピンコートする。
[5−12][4−12]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で100℃、10分間アニールを行った。
炭素1S軌道および窒素1S軌道の測定を同時期に行う事で定量分析を行った。
これらを図15(d)、(e)に示す。
(Production Example 3)
The above-mentioned photoelectron spectroscopic measurement was performed on the nitrogen-containing film produced by the steps [1] to [3] of Example 1 and the following steps [4-12] and [5-12]. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 10 nm.
[4-12] Next, Aldrich polyethyleneimine ethoxylate (molecular weight: 70000) diluted to 0.4% by weight with ethoxyethanol was formed at 5000 rpm for 60 seconds to form layer 4 of the nitrogen-containing film. Spin coat.
[5-12] The thin film (substrate) produced in [4-12] was annealed at 100 ° C. for 10 minutes on a hot plate in the atmosphere.
Quantitative analysis was performed by measuring carbon 1S orbital and nitrogen 1S orbital at the same time.
These are shown in FIGS. 15 (d) and 15 (e).

(製造例4)
実施例1の[1]〜[3]、以下に示す[4−13]、そして[5]までの操作を順次行い、得られた窒素含有膜について、上記光電子分光測定を行った。なお、窒素含有膜の層の膜厚は複数回の測定によっても平均膜厚を見積もることができないぐらいの膜厚であった。このことから、3nm未満であると推察される。
[4−13]次に窒素含有膜の層4を形成するため、日本触媒社製ポリエチレンイミン(登録商標:エポミン)をエタノールにより0.125重量%に希釈したものを2000rpm、30秒の条件でスピンコートする。ここで用いたエポミンは分子量70000のP1000である。
炭素1S軌道および窒素1S軌道の測定を同時期に行う事で定量分析を行った。
これらを図16(d)、(e)に示す。
(Production Example 4)
[1] to [3] of Example 1, [4-13] and [5] shown below were sequentially performed, and the above-mentioned photoelectron spectroscopy measurement was performed on the obtained nitrogen-containing film. The film thickness of the nitrogen-containing film layer was such that the average film thickness could not be estimated by multiple measurements. From this, it is guessed that it is less than 3 nm.
[4-13] Next, in order to form the layer 4 of the nitrogen-containing film, polyethyleneimine (registered trademark: epomine) manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. was diluted to 0.125% by weight with ethanol under the condition of 2000 rpm for 30 seconds. Spin coat. The epomin used here is P1000 having a molecular weight of 70,000.
Quantitative analysis was performed by measuring carbon 1S orbital and nitrogen 1S orbital at the same time.
These are shown in FIGS. 16 (d) and 16 (e).

(実施例11−1)
実施例1の工程[4]および[5]の工程を以下の[4−18][5−18]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図17(a)および(b)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、10nmであった。
[4−18]次に窒素含有膜の層4を形成するため、直鎖ポリエチレンイミン(ポリサイエンス社より購入、分子量:25000)をエタノールにより0.1重量%に希釈したものを2000rpm30秒の条件でスピンコートする。
[5−18][4−18]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、5分間アニールを行った。
(Example 11-1)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 1 except that the steps [4] and [5] in Example 1 were changed to the following [4-18] [5-18]. The voltage-current density / brightness characteristics and current density-current efficiency characteristics of the electroluminescent element were measured. These results are shown in FIGS. 17 (a) and (b), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 10 nm.
[4-18] Next, in order to form the layer 4 of the nitrogen-containing film, a linear polyethyleneimine (purchased from Polysciences, molecular weight: 25000) diluted to 0.1% by weight with ethanol was conditioned at 2000 rpm for 30 seconds. Spin coat with.
[5-18] The thin film (substrate) produced in [4-18] was annealed at 150 ° C. for 5 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(実施例11−2)
実施例11−1の工程[5−18]を省略した以外はすべて同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図18(a)および(b)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、12nmであった。
(Example 11-2)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner except that step [5-18] in Example 11-1 was omitted. The voltage-current density / luminance characteristics and current density of the organic electroluminescent element were the same as in Example 1. -Current efficiency characteristics were measured. These results are shown in FIGS. 18 (a) and 18 (b), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film was 12 nm.

(実施例12)
実施例1の工程[4]および[5]の工程を以下の[4−20][5−20]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図19(a)および(b)に示す。なお、窒素含有膜の層の平均膜厚は、10nmであった。
[4−20]次に窒素含有膜の層4を形成するための窒素含有化合物としてメラミン樹脂を適用するため、メラミンおよびホルムアルデヒドを1:3で混合し、メタノール:水=1:1の混合溶媒に0.1重量%で溶解させたものを2000rpm30秒の条件でスピンコートする。
[5−20][4−20]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で80℃、60分間アニールを行った。
Example 12
An organic electroluminescence device was produced in the same manner as in Example 1 except that the steps [4] and [5] in Example 1 were changed to the following [4-20] [5-20]. The voltage-current density / brightness characteristics and current density-current efficiency characteristics of the electroluminescent element were measured. These results are shown in FIGS. 19 (a) and 19 (b), respectively. The average film thickness of the nitrogen-containing film layer was 10 nm.
[4-20] Next, in order to apply a melamine resin as a nitrogen-containing compound for forming the layer 4 of the nitrogen-containing film, melamine and formaldehyde are mixed 1: 3, and a mixed solvent of methanol: water = 1: 1 The material dissolved in 0.1 wt% is spin-coated under the condition of 2000 rpm for 30 seconds.
[5-20] The thin film (substrate) produced in [4-20] was annealed at 80 ° C. for 60 minutes on a hot plate in the atmosphere.

(比較例2)
実施例1の工程[4]および[5]の工程を以下の[4−21][5−21]に変更した以外は同様にして有機電界発光素子を作製し、実施例1と同様に有機電界発光素子の電圧−電流密度・輝度特性、電流密度−電流効率特性を測定した。これらの結果をそれぞれ図20(a)および(b)に示す。
[4−21]次に窒素含有膜の層4の代わりに、窒素を含有しない有機膜としてポリスチレン膜(10nm)を、トルエンを用いてスピンコートにより製膜した。
[5−21][4−21]で作製された薄膜(基板)を、大気下ホットプレート上で150℃、5分間アニールを行った。
(Comparative Example 2)
An organic electroluminescent device was produced in the same manner as in Example 1 except that the steps [4] and [5] in Example 1 were changed to the following [4-21] [5-21]. The voltage-current density / brightness characteristics and current density-current efficiency characteristics of the electroluminescent element were measured. These results are shown in FIGS. 20 (a) and (b), respectively.
[4-21] Next, instead of the layer 4 of the nitrogen-containing film, a polystyrene film (10 nm) was formed by spin coating using toluene as an organic film not containing nitrogen.
[5-21] The thin film (substrate) produced in [4-21] was annealed at 150 ° C. for 5 minutes on a hot plate in the atmosphere.

図2〜図12および図17〜図20について、(a)〜(c)は、それぞれ以下の内容を示す。
(a)電圧−電流密度(黒丸)・輝度(白丸)特性である。第一に、輝度が高いことがよいことである。第二に、より低電圧で高い輝度を発現できる方が良い。
(b)電流密度−電流効率(黒菱形)特性である。第一に、電流効率(以下、「効率」と表現)が高いことが良い事である。第二に、それが一定であることも良い事である。特に高電流密度領域(高輝度領域)において高く一定であることは良い事である。
(c)一定電流下(ここでは初期輝度1000cd/mとなる電流値)での電圧経時変化および相対輝度経時変化を示したものである。第一に、相対輝度経時変化が小さい(長い時間初期の輝度が維持できる)もの(以下、「寿命が長い」と表現)の方が良い。これに関連する内容だが、第二に、その間の電圧上昇が小さい方が良い。
輝度、効率、寿命の3要素全てが重要であるが、その中でも実用上、寿命は第一に優先すべき事である。
2 to 12 and FIGS. 17 to 20, (a) to (c) show the following contents, respectively.
(A) Voltage-current density (black circle) / luminance (white circle) characteristics. First, high brightness is good. Second, it is better to be able to express high luminance at a lower voltage.
(B) Current density-current efficiency (black rhombus) characteristics. First, it is good that the current efficiency (hereinafter referred to as “efficiency”) is high. Second, it is good that it is constant. In particular, it is good to be high and constant in a high current density region (high luminance region).
(C) shows a change with time of voltage and a change with time of relative luminance under a constant current (here, a current value with an initial luminance of 1000 cd / m 2 ). First, it is better to use a material that has a small change in relative luminance with time (it can maintain the initial luminance for a long time) (hereinafter referred to as “long life”). The content related to this, but secondly, it is better that the voltage rise between them is small.
All three elements of brightness, efficiency, and lifetime are important, but among them, lifetime is the first priority in practical use.

上記を前提として、図2〜12の結果を説明していく。
図2:低電圧(2Vあたり)から発光し、6Vでは3000cd/mという高輝度に到達している。効率も総じて高く4cd/A以上である。また、長期変化に関しても、輝度が半減するまで200時間程度と高い信頼性を実現できた。初期輝度100cd/mの別駆動条件において、数千時間の半減寿命を有すると見積もられたことから、再現性も高いことが明らかとなった。
図3:図3は、金属酸化物層と発光層との間に層を有さない素子での測定結果である。輝度、効率ともに図2の1/10以下であることがわかる。図4以下の測定結果では、必ずこの図3の値より勝っている事から、窒素含有膜の層を有することに効果がある事が示される。
図4:効率は図2(実施例1の素子)に勝るものの、初期数時間での輝度の落ち込みがはげしく、寿命の点では、図2のほうが優れる結果となった。この結果から、膜としての酸化還元下における安定性では、実施例1の素子のほうが優れることが推察される。
図5:輝度、効率ともに図2(実施例1の素子)に匹敵する。寿命においても、初期10時間程度までの推移は図2と同等である。しかしながら、その後急激な劣化が起る結果となっている。
図4、5の結果から、分子量の異なるポリエチレンイミンを用いても初期の特性には大幅な差が生じず、いずれも窒素含有膜を有さないものに比べて優れた結果となっている。しかし、長期安定性については差が生じる結果となっている。
Based on the above assumption, the results of FIGS.
FIG. 2: Light is emitted from a low voltage (around 2V), and reaches a high luminance of 3000 cd / m 2 at 6V. The efficiency is generally high and is 4 cd / A or more. In addition, regarding long-term changes, high reliability of about 200 hours was realized until the luminance was reduced to half. Under different driving conditions with an initial luminance of 100 cd / m 2 , it was estimated to have a half-life of several thousand hours, and thus it was revealed that reproducibility was also high.
FIG. 3: FIG. 3 shows the measurement results of an element having no layer between the metal oxide layer and the light emitting layer. It can be seen that both the luminance and the efficiency are 1/10 or less of FIG. In the measurement results shown in FIG. 4 and the subsequent figures, the values shown in FIG.
FIG. 4: Although the efficiency is superior to that of FIG. 2 (the device of Example 1), the brightness declines rapidly in the initial few hours, and FIG. 2 is superior in terms of life. From this result, it is presumed that the device of Example 1 is superior in terms of stability under oxidation-reduction as a film.
FIG. 5: Both luminance and efficiency are comparable to FIG. 2 (element of Example 1). Also in the lifetime, the transition up to about initial 10 hours is equivalent to FIG. However, after that, rapid deterioration occurs.
From the results of FIGS. 4 and 5, even when polyethyleneimines having different molecular weights are used, there is no significant difference in the initial characteristics, and both are superior to those having no nitrogen-containing film. However, there is a difference in long-term stability.

図6〜図12(実施例4〜10)では、窒素含有化合物を塗布して製膜した後のプロセス(アニール条件(温度、時間、雰囲気)およびリンス)の素子特性への影響(プロセス依存性)を確認した。加えて、それらに対する、分子量依存性を示した。
図6:液状である分岐ポリエチレンイミン(低分子量)をアニール無しで用いた場合の素子特性の測定結果である。ほとんど発光は見られず、特性と呼べる水準にない。
図7および図8:液状である分岐ポリエチレンイミン(高分子量)を用い、アニール温度を変えて得られた素子の特性を測定した結果である。温度が高い方が、輝度、効率共に良好な結果を得ている。アニール温度の影響は寿命においてやや顕著であり、半減寿命で2倍以上高温でのアニールの方が良好な結果を得ている。その差は、高温でのアニールの方が初期の輝度落ち込みが小さい事に起因しているように見える。図6を含め、このことは、アニールが長寿命化、つまり酸化還元の長期安定性に効果があることを示唆している。ここには記していないが、200℃でアニール行った場合、茶色に変色したため素子測定は行わなかった。このことから、アニールの温度に関しては最適値が存在する事が推察される。
図9:実施例7は、実施例4〜6(図6〜8)の結果から得られたアニール温度の最良値である150℃において、アニール時間を変えて窒素含有膜の作製を行った結果である。輝度・効率ともに図8(実施例6)に比べてやや低下している。また、寿命曲線に関しても、やや初期の劣化が強めに現れ始めていることがわかる。これらのことから、アニール時間についても最適値が存在することが推察される。
In FIGS. 6 to 12 (Examples 4 to 10), the influence (process dependence) of the process (annealing conditions (temperature, time, atmosphere) and rinsing) after applying a nitrogen-containing compound to form a film is affected. )It was confirmed. In addition, they showed molecular weight dependence on them.
FIG. 6: Measurement results of device characteristics when liquid branched polyethyleneimine (low molecular weight) is used without annealing. There is almost no light emission, and it is not at a level that can be called a characteristic.
FIG. 7 and FIG. 8 are the results of measuring the characteristics of the element obtained by changing the annealing temperature using a liquid branched polyethyleneimine (high molecular weight). The higher the temperature, the better the brightness and efficiency. The influence of the annealing temperature is somewhat remarkable in the lifetime, and a better result is obtained when annealing at a high temperature more than twice the half-life. The difference seems to be due to the fact that the initial brightness drop is smaller when annealing at a high temperature. This, including FIG. 6, suggests that annealing is effective in extending the life, that is, the long-term stability of redox. Although not shown here, when the annealing was performed at 200 ° C., the element was not measured because it turned brown. From this, it can be inferred that there is an optimum value for the annealing temperature.
FIG. 9: Example 7 shows the result of producing a nitrogen-containing film by changing the annealing time at 150 ° C., which is the best annealing temperature obtained from the results of Examples 4 to 6 (FIGS. 6 to 8). It is. Both luminance and efficiency are slightly lower than in FIG. 8 (Example 6). It can also be seen that the initial deterioration is beginning to appear slightly stronger with respect to the life curve. From these facts, it is presumed that there is an optimum value for the annealing time.

図11:最後に、アニールを行う雰囲気について、上記最良条件において検討を加えた結果である。図8(実施例6)の条件による窒素含有膜の作製を窒素下で行った場合、初期特性(輝度・効率)には図8との間に大きな差は見られない。このことから、ここでの窒素含有膜を有することの効果は、化学吸着ではない物理吸着での金属−窒素間の分極ならびに分子中の炭素−窒素間の分極による電子吸引効果であると推察される。注目すべきは、寿命が図11では極端に短くなっている事である。このことから、長寿命化を引き起こす本発明中のアニールプロセスは、脱溶媒やモルフォロジーの変化だけではなく、化学的な変化を伴っている可能性が高いと考えられる。(どのような化学変化であるかについては後述する)
図10:上記考察の結果から、アニール条件は、材料は元より分子量にも依存すると推察される事から、それを検討した結果である。
液状である分岐ポリエチレンイミン(低分子量)について、最良温度よりも低い温度にて長時間アニールを行った結果、初期特性において、輝度・効率ともに、図2に近い結果を得たが、発光以前の電圧において、また、逆バイアスにおいて、電流密度値が高い事を観測した。このことは、発光に寄与しない無駄な電流の流れ(以下、「リーク電流」と表現)が有る事を意味しており、多くの場合、長期安定性に問題を抱える。今回も、寿命は、初期から輝度が激しく落ちるなど短く、上記リーク電流が原因と考えられる。
この結果から、アニール条件の最良値は、材料は元より分子量にも依存することが明らかとなった。加えて、このように最良温度以下で長時間のアニールを行っても良い特性を得られない事から、材料や分子量に依存した温度の閾値も存在する事が示唆された。
図12:上記最良条件(実施例1の条件)下でのリンス効果を確認すると、初期特性(輝度・効率)は、図2(実施例1)とほぼ同等であるが、ややリーク電流が大きい。これが、図2(実施例1)よりも寿命特性を悪くしている要因と考えられる。しかしながら、この図には現れていないが、作製素子間の特性のばらつきが小さくなっており、再現性という点で向上している。このことは、実用化の観点から重要なプロセスと考えられる。寿命においても、よりよいリンス条件を見いだす事で改善すると考えられる。
FIG. 11: Finally, the results of investigations under the above-mentioned best conditions for the atmosphere in which annealing is performed. When the production of the nitrogen-containing film under the conditions shown in FIG. 8 (Example 6) is performed under nitrogen, the initial characteristics (luminance / efficiency) are not significantly different from those in FIG. From this, it can be inferred that the effect of having a nitrogen-containing film here is an electron-attracting effect due to metal-nitrogen polarization and physical-carbon-nitrogen polarization in physisorption rather than chemical adsorption. The It should be noted that the lifetime is extremely short in FIG. From this, it is considered that the annealing process in the present invention that causes a long life is likely to be accompanied by not only solvent removal and morphological changes, but also chemical changes. (What kind of chemical change will be described later)
FIG. 10: From the result of the above consideration, it is presumed that the annealing condition depends on the molecular weight as well as the material.
As a result of annealing the liquid branched polyethyleneimine (low molecular weight) for a long time at a temperature lower than the best temperature, the results were similar to those in FIG. It was observed that the current density value was high in voltage and in reverse bias. This means that there is a wasteful current flow (hereinafter referred to as “leakage current”) that does not contribute to light emission, and in many cases, there is a problem with long-term stability. This time as well, the lifetime is short, such as a sharp drop in brightness from the beginning, which is considered to be due to the leakage current.
From this result, it was clarified that the best value of the annealing condition depends not only on the material but also on the molecular weight. In addition, it is suggested that there is a temperature threshold depending on the material and molecular weight because good characteristics cannot be obtained even if annealing is performed for a long time below the optimum temperature.
FIG. 12: When the rinsing effect under the above best conditions (conditions of Example 1) is confirmed, the initial characteristics (luminance / efficiency) are almost the same as those of FIG. 2 (Example 1), but the leakage current is slightly large. . This is considered to be a factor that makes the life characteristics worse than in FIG. 2 (Example 1). However, although it does not appear in this figure, the variation in the characteristics between the manufacturing elements is reduced, and the reproducibility is improved. This is considered an important process from the viewpoint of practical application. In terms of life, it can be improved by finding better rinsing conditions.

図17および図18:窒素含有化合物として、直鎖ポリエチレンイミンを用いた結果である。アニール処理の有無を問わず、いずれも良好な初期特性(輝度・効率)を示している。このことは、分岐ポリエチレンイミンとは異なり、固体である事が要因であると考えている。つまり、アニールの効果は、以下の3点であると推察される。(i)固化させる。(ii)金属−窒素結合の多彩化により、強固な結合種を用意する。(iii)炭素元素:窒素元素比を変化させ、相対的に窒素元素存在比率を向上させる。
これらアニールの効果については、更に後述する。
FIG. 17 and FIG. 18 are results of using linear polyethyleneimine as the nitrogen-containing compound. Regardless of the presence or absence of annealing treatment, all show good initial characteristics (brightness and efficiency). Unlike branched polyethyleneimine, this is considered to be due to the fact that it is solid. That is, the effect of annealing is assumed to be the following three points. (I) Solidify. (Ii) Prepare strong bond species by diversifying metal-nitrogen bonds. (Iii) The carbon element: nitrogen element ratio is changed to relatively improve the nitrogen element abundance ratio.
The effects of these annealing will be further described later.

図19:窒素比率の高い材料として、メラミン樹脂の適用を検討した結果である。図3に比べて、良好な結果を得ており、効果がある事は確認できた。発光にムラも存在する事から、詳細な良い条件が見いだせれば、より良好な結果が得られると考えられる。
図20:窒素を含有しない有機膜を適用した結果である。初期特性においても輝度・効率ともに図3よりも劣る事がわかる。このことから、この有機膜は、単なる絶縁層として機能したと考えられる。また、本素子の寿命は数分と極端に短く、電子注入の機構が発光層での電荷蓄積により発光層のバンド曲がりによるものと予想される。条件の詳細検討により、ポリスチレンにおいても初期特性の改善は可能だと思われるが、駆動機構は上記に示した通りのため、長期信頼性は本発明の素子のようには期待できないと考えられる。
FIG. 19 shows the result of studying application of melamine resin as a material having a high nitrogen ratio. Compared to FIG. 3, good results were obtained and it was confirmed that there was an effect. Since there is unevenness in light emission, it is considered that better results can be obtained if detailed detailed conditions can be found.
FIG. 20 shows the result of applying an organic film that does not contain nitrogen. It can be seen that the luminance and efficiency are inferior to those of FIG. 3 in the initial characteristics. From this, it is considered that this organic film functions as a simple insulating layer. In addition, the lifetime of this element is extremely short, such as several minutes, and it is expected that the electron injection mechanism is due to band bending of the light emitting layer due to charge accumulation in the light emitting layer. From the detailed examination of the conditions, it seems that the initial characteristics can be improved also in polystyrene, but since the driving mechanism is as described above, it is considered that long-term reliability cannot be expected as in the element of the present invention.

次に、図13〜16(製造例1〜4)について説明する。
製造例1〜4において、窒素含有膜のアニール前においては、液状である分岐ポリエチレンイミンの全ての場合において、測定不能であった。一方、アニールにより測定は可能になった。このことから、アニールが何らかの効果(この結果だけからは分解であるといった結論には至ることはできない)により固化した事が示唆された(上記効果(i))。
図13〜16の炭素1s軌道のX線光電子分光測定の結果(d)および窒素1s軌道のX線光電子分光測定の結果(e)は、全てアニール後の測定結果である。アニール前は、図15を除いて、全てC:N≒2:1であることは確認されている。図15は、アニール前C:N≒4:1である。これらの比率は、化学構造から見積もられる化学両論比に一致した値である。この元素存在比率は、それぞれの軌道のピーク面積の比率から見積もっている。図13および図14の比較において、アニールの有無により比率の変化が有るものと無いものがあることが確認された。アニールにより、炭素および窒素ともにピーク面積は小さくなっているが、炭素ピークの現象の方が大きく、相対的に窒素元素比率の向上につながっている。図15において、アニール後もアニール前と(化学両論比と)変化が無い事から、大きな化学変化は無い事がわかる。このことは、上記非特許文献1〜3中に記されている、ポリエチレンイミンやポリエチレンイミンを修飾した化合物から形成された薄膜は、本発明内で行う液状である分岐ポリエチレンイミン(低分子量)をアニールにより変化させた薄膜による効果とは同等ではない事が示唆された。図16は、液状である分岐ポリエチレンイミン(高分子量)を低分子量のものと同等以上に薄膜化する事により、同様のアニール処理を行った結果である。本結果においても、高分子量ポリエチレンイミンは、元素存在比率が変化していない。このことから、炭素元素:窒素元素の存在比率は、ある条件下、例えば低分子量下でないと起らない事が示唆された(上記効果(iii))。
図13〜15の(f)は、窒素1s軌道のX線光電子分光測定の結果についてピーク分割を行った結果を示した図である。本系において、窒素原子の結合の種類は、炭素−窒素結合と金属−窒素結合の2種類が想定される。過去の文献より、最も低エネルギー側のピークが金属−窒素結合であると帰属されている。さらに、次にもう一つのピークに関しては炭素−窒素結合と帰属すると、全ての二つのピーク間のエネルギー差は0.6eV〜0.7eVとほぼ一致しており、これらのピーク分割と帰属が正しい事が示唆される。
なお、ここに示されていないが、アニール前は全ての図13〜図15の実施例において、半値幅は、全て1.2eVである。この事から、図13および図15の場合において半値幅は増大しており、これが長寿命化につながっていると考えられる(上記効果(ii))。
以上から、図13のケースでは、上記(i)〜(iii)全ての効果が発現されており、初期特性(輝度・効率)および長期信頼性(寿命)を実現できていると考えられる。図15においては、(i)と(ii)で初期特性とある程度の寿命が、同様に、図14においては、(i)の効果で、初期特性とまたある程度の寿命が実現できると推察される。これらのことは、X線光電子分光測定の結果はないものの、図17および図18で用いられた固体である直鎖ポリエチレンイミンは、(i)が実現されている事から、アニールの効果がなくともある程度の寿命を実現できると考えられる。図19においても、同様である。
Next, FIGS. 13 to 16 (Production Examples 1 to 4) will be described.
In Production Examples 1 to 4, before annealing of the nitrogen-containing film, measurement was impossible in all cases of liquid branched polyethyleneimine. On the other hand, measurement became possible by annealing. From this, it was suggested that the annealing solidified due to some effect (the result cannot be concluded as a decomposition from this result alone) (the above effect (i)).
The results (d) of the carbon 1s orbital X-ray photoelectron spectroscopy measurement and the nitrogen 1s orbital X-ray photoelectron spectroscopy measurement results (e) in FIGS. 13 to 16 are all the measurement results after annealing. Prior to annealing, it was confirmed that all C: N≈2: 1 except for FIG. FIG. 15 shows C: N≈4: 1 before annealing. These ratios correspond to the stoichiometric ratio estimated from the chemical structure. This element abundance ratio is estimated from the ratio of the peak area of each orbit. In comparison between FIG. 13 and FIG. 14, it was confirmed that there was a change in the ratio depending on the presence or absence of annealing and a change in ratio. By annealing, the peak areas of both carbon and nitrogen are reduced, but the phenomenon of the carbon peak is larger, leading to a relatively improved nitrogen element ratio. In FIG. 15, it can be seen that there is no significant chemical change since there is no change after annealing (with the stoichiometric ratio). This is because the thin film formed from polyethyleneimine or a compound modified with polyethyleneimine described in Non-Patent Documents 1 to 3 described above is a branched polyethylenimine (low molecular weight) that is liquid in the present invention. It was suggested that the effect of the thin film changed by annealing is not equivalent. FIG. 16 shows the result of the same annealing treatment by thinning the liquid branched polyethyleneimine (high molecular weight) to a thickness equal to or higher than that of the low molecular weight. Also in this result, the high molecular weight polyethyleneimine does not change the element abundance ratio. From this, it was suggested that the abundance ratio of carbon element: nitrogen element does not occur unless under certain conditions, for example, low molecular weight (the above effect (iii)).
(F) of FIGS. 13-15 is the figure which showed the result of having peak-divided about the result of the X-ray photoelectron spectroscopy measurement of the nitrogen 1s orbit. In this system, two types of nitrogen atom bonds are assumed, a carbon-nitrogen bond and a metal-nitrogen bond. From the past literature, it is attributed that the peak on the lowest energy side is a metal-nitrogen bond. Furthermore, when the second peak is assigned to the carbon-nitrogen bond, the energy difference between all the two peaks is almost equal to 0.6 eV to 0.7 eV, and these peak splits and assignments are correct. Things are suggested.
Although not shown here, the full width at half maximum is 1.2 eV in all the examples of FIGS. 13 to 15 before annealing. From this, in the case of FIG. 13 and FIG. 15, the full width at half maximum is increased, which is considered to lead to a longer life (the above effect (ii)).
From the above, in the case of FIG. 13, all the effects (i) to (iii) are exhibited, and it is considered that initial characteristics (luminance / efficiency) and long-term reliability (lifetime) can be realized. In FIG. 15, it is assumed that (i) and (ii) can realize the initial characteristics and a certain lifetime, and similarly, in FIG. 14, the effects (i) can realize the initial characteristics and a certain lifetime. . Although there is no result of the X-ray photoelectron spectroscopy measurement, the solid linear polyethyleneimine used in FIGS. 17 and 18 has no effect of annealing because (i) is realized. It is thought that a certain lifetime can be realized. The same applies to FIG.

以上の結果から、以下の事が明らかとなった。
図3と他の図との比較から、窒素含有薄膜が下部陰極上にある酸化物上に配した場合、輝度や効率などの有機電界発光素子の特性向上につながることが確認された。アニール処理については、図18より、材料によってはアニールを必要としない場合もあり、必ずしも必須ではないことが確認された。しかしながら、アニールを行う事により、多くの場合で長期信頼性に相当する寿命特性が向上している事が確認された。また、使用材料についても、ポリエチレンイミン(分子量が異なる、または形状が異なる<直鎖と分岐>)、ジエチレントリアミン、メラミン樹脂といった多彩な窒素含有化合物の使用が可能である事が確認された。また、それらは、材料だけではなく、分子量や形状に依存してプロセスを選ぶ必要が有る事も確認された。特に、直鎖のポリエチレンイミンは他のポリエチレンイミンとは異なり、固体である事から、アニールがなくとも効果が発現していると考えられる。また、製膜後リンスをすることも効果的である事も確認された。
From the above results, the following became clear.
From a comparison between FIG. 3 and other figures, it was confirmed that when the nitrogen-containing thin film was disposed on the oxide on the lower cathode, the characteristics of the organic electroluminescent device such as luminance and efficiency were improved. With respect to the annealing treatment, it was confirmed from FIG. 18 that annealing may not be necessary depending on the material, and is not necessarily required. However, it was confirmed that the life characteristics corresponding to long-term reliability were improved in many cases by annealing. As for the materials used, it was confirmed that various nitrogen-containing compounds such as polyethyleneimine (with different molecular weights or different shapes <linear and branched>), diethylenetriamine, and melamine resin can be used. It was also confirmed that it was necessary to select the process depending on the molecular weight and shape as well as the material. In particular, since linear polyethyleneimine is solid unlike other polyethyleneimines, it is considered that the effect is exhibited even without annealing. It was also confirmed that rinsing after film formation was effective.

1:基板
2:陰極
3:第1の金属酸化物層
4:窒素含有膜の層
5:有機化合物層
6:第2の金属酸化物層
7:陽極
1: Substrate 2: Cathode 3: First metal oxide layer 4: Nitrogen-containing film layer 5: Organic compound layer 6: Second metal oxide layer 7: Anode

Claims (3)

陽極と、基板に接して形成された陰極との間に複数の層が積層された構造を有する有機電界発光素子であって、
該有機電界発光素子は、陽極と陰極との間に金属酸化物層と、発光層を含む有機化合物層と、該金属酸化物層上に接して、窒素含有膜からなり、平均厚さが3〜150nmの層を有し、陰極、金属酸化物層、窒素含有膜からなる層、発光層を含む有機化合物層がこの順に積層されてなり、
該窒素含有膜は、窒素含有化合物で形成されるか、又は、膜を構成する元素として窒素元素と炭素元素とを含み、該窒素含有膜を構成する窒素原子と炭素原子との存在比率が
窒素原子数/(窒素原子数+炭素原子数)>1/8
の関係を満たすことを特徴とする有機電界発光素子。
An organic electroluminescent device having a structure in which a plurality of layers are laminated between an anode and a cathode formed in contact with a substrate,
The organic electroluminescent element comprises a metal oxide layer between an anode and a cathode, an organic compound layer including a light emitting layer , a nitrogen-containing film in contact with the metal oxide layer, and an average thickness of 3 and a layer of ~150Nm, cathode, metal oxide layer, a layer made of a nitrogen-containing layer, the organic compound layer including a light-emitting layer stacked in this order,
Nitrogen-containing layer is either formed with a nitrogen-containing compound, or, and a nitrogen element and a carbon element as an element constituting the membrane, the presence ratio of nitrogen atoms to carbon atoms constituting the nitrogen-containing film nitrogen Number of atoms / (number of nitrogen atoms + number of carbon atoms)> 1/8
An organic electroluminescent element characterized by satisfying the relationship:
前記窒素含有膜は、窒素含有化合物の分解物を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the nitrogen-containing film includes a decomposition product of a nitrogen-containing compound. 前記窒素含有化合物は、ポリアミン類又はトリアジン環含有化合物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the nitrogen-containing compound is a polyamine or a triazine ring-containing compound.
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