JP6214691B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6214691B2 JP6214691B2 JP2016013140A JP2016013140A JP6214691B2 JP 6214691 B2 JP6214691 B2 JP 6214691B2 JP 2016013140 A JP2016013140 A JP 2016013140A JP 2016013140 A JP2016013140 A JP 2016013140A JP 6214691 B2 JP6214691 B2 JP 6214691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition
- pixel array
- color filter
- width
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
102 基板
102F 表面
102R 裏面
104 配線層
106 フォトダイオード
107 パッシベーション層
108 隔壁グリッド
108’ 部分隔壁グリッド
108P、108P−1、108P−2、108P−3、108P−4、108P−5、108P−CL、108P−E 隔壁
108P−A 隔壁
108P−B 隔壁
110 画素アレイ
120 カラーフィルタ層
120−S、120−A、120−B、120−C、120−D カラーフィルタセグメント
130 マイクロレンズ構造
140、141 入射光線
150 ユニット
P、Pixel 画素
C、center 画素アレイの中心部
E、edge 画素アレイの端部
CL 画素アレイの中心線
WCL、WE、TW1、TW2、TW3、TW4、TW5、TWA、TWB 上部幅
BW1、BW2、BW3、BW4、BW5、BWA、BWB 底部幅
H、H1、H2、H3、H4、H5 高さ
A1 第1の領域
A2 第2の領域
Claims (7)
- 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、2つの隣接するカラーフィルタセグメントの間に配置された隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記隔壁は、前記画素アレイの中心線に配置された第1の隔壁と前記画素アレイの端部に配置された第2の隔壁を含み、前記第2の隔壁は、垂直側壁と、前記第1の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有し、
前記隔壁グリッドは、前記カラーフィルタ層の屈折率より低い屈折率を有し、
前記画素アレイの前記中心線から前記端部の隔壁は、互いに異なる高さを有し、前記隔壁の高さは、前記画素アレイの中心線から端部へ徐々に増加する固体撮像装置。 - 前記画素アレイの前記中心線から前記端部の隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、前記隔壁の上部幅は、前記画素アレイの中心線から端部へ徐々に増加する請求項1に記載の固体撮像装置。
- 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、2つの隣接するカラーフィルタセグメントの間に配置された隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記隔壁は、前記画素アレイの中心線に配置された第1の隔壁と前記画素アレイの端部に配置された第2の隔壁を含み、前記第2の隔壁は、垂直側壁と、前記第1の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有し、
前記隔壁グリッドは、前記カラーフィルタ層の屈折率より低い屈折率を有し、
前記画素アレイの第1の領域に配置された前記隔壁は、第1の上部幅を有し、前記画素アレイの第2の領域に配置された前記隔壁は、第2の上部幅を有し、入射光は、0から±20度の角度で前記第1の領域を照射し、前記入射光は、±20度より大きい角度で前記第2の領域を照射し、前記第2の上部幅は、前記第1の上部幅より大きく、前記画素アレイの前記第1の領域に配置された前記隔壁は、第1の底部幅を有し、前記画素アレイの前記第2の領域に配置された前記隔壁は、第2の底部幅を有し、前記第1の上部幅は、前記第1の領域の前記第1の底部幅より小さく、前記第2の上部幅は、前記第2の領域の前記第2の底部幅と等しい固体撮像装置。 - 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、2つの隣接するカラーフィルタセグメントの間に配置された隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記隔壁は、前記画素アレイの中心線に配置された第1の隔壁と前記画素アレイの端部に配置された第2の隔壁を含み、前記第2の隔壁は、垂直側壁と、前記第1の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有し、
前記隔壁グリッドは、前記カラーフィルタ層の屈折率より低い屈折率を有し、
前記画素アレイの第1の領域に配置された前記隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、前記画素アレイの第2の領域に配置された前記隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、入射光は、0から±20度の角度で前記第1の領域を照射し、前記入射光は、±20度より大きい角度で前記第2の領域を照射し、前記第2の領域の前記隔壁の前記上部幅は、前記第1の領域の前記隔壁の前記上部幅より大きく、前記第1の領域と前記第2の領域の隔壁の前記上部幅は、前記画素アレイの中心線から端部の方向に沿って徐々に増加し、
前記画素アレイの前記第1の領域の前記隔壁の各々は、前記隔壁の前記上部幅より大きい底部幅を有し、前記画素アレイの前記第2の領域の前記隔壁の各々は、前記隔壁の前記上部幅と等しい底部幅を有する固体撮像装置。 - 前記隔壁の各々は、前記上部幅対底部幅の比率を有し、前記隔壁の比率は、前記画素アレイの前記中心線から前記端部へ徐々に増加し、前記画素アレイの前記端部にある前記隔壁の比率は、1に等しい請求項1に記載の固体撮像装置。
- 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、1つのカラーフィルタセグメントを囲む隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記隔壁グリッドは、前記カラーフィルタ層の屈折率より低い屈折率を有し、
前記カラーフィルタ層は、複数のカラーフィルタセグメントのユニットを有し、前記ユニットの1つのカラーフィルタセグメントは、第1の隔壁で囲まれ、前記ユニットのもう1つのカラーフィルタセグメントは、第2の隔壁で囲まれ、前記第2の隔壁の上部幅対底部幅の比率が1より小さく、前記第1の隔壁の上部幅対底部幅の比率は1に等しい固体撮像装置。 - 前記隔壁グリッドの材料は、ケイ素酸化物または有機フォトレジストを含む請求項1に記載の固体撮像装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP201414267480 | 2014-05-01 | ||
US14/861,378 | 2015-09-22 | ||
US14/861,378 US9634049B2 (en) | 2014-05-01 | 2015-09-22 | Solid-state imaging devices with enhanced angular response |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017063171A JP2017063171A (ja) | 2017-03-30 |
JP6214691B2 true JP6214691B2 (ja) | 2017-10-18 |
Family
ID=58448232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013140A Active JP6214691B2 (ja) | 2014-05-01 | 2016-01-27 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6214691B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018181276A1 (ja) | 2017-03-28 | 2020-02-06 | 学校法人慶應義塾 | ヒト組織幹細胞及びその使用 |
JP7310130B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2023-07-19 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
US11631709B2 (en) * | 2020-03-10 | 2023-04-18 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state image sensor |
US20220149097A1 (en) * | 2020-11-12 | 2022-05-12 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state image sensor |
US20230110102A1 (en) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state image sensor |
WO2023068172A1 (ja) * | 2021-10-20 | 2023-04-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
WO2023119860A1 (ja) * | 2021-12-22 | 2023-06-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5478043B2 (ja) * | 2008-09-11 | 2014-04-23 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2010192705A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Sony Corp | 固体撮像装置、電子機器、および、その製造方法 |
JP5736755B2 (ja) * | 2010-12-09 | 2015-06-17 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP4872023B1 (ja) * | 2011-04-22 | 2012-02-08 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP4872024B1 (ja) * | 2011-04-22 | 2012-02-08 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US9093579B2 (en) * | 2011-04-28 | 2015-07-28 | Semiconductor Components Industries, Llc | Dielectric barriers for pixel arrays |
WO2013031160A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2013156463A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
JP2013251292A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
TW201415613A (zh) * | 2012-08-02 | 2014-04-16 | Sony Corp | 固體攝像裝置、固體攝像裝置之製造方法及電子機器 |
US9502453B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-11-22 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state imaging devices |
US20140339606A1 (en) * | 2013-05-16 | 2014-11-20 | Visera Technologies Company Limited | Bsi cmos image sensor |
JP6262496B2 (ja) * | 2013-11-08 | 2018-01-17 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2016
- 2016-01-27 JP JP2016013140A patent/JP6214691B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017063171A (ja) | 2017-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI591811B (zh) | 固態成像裝置 | |
JP6214691B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US10054719B2 (en) | Methods for farbricating double-lens structures | |
US9349766B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP6242022B2 (ja) | イメージセンサ | |
US9704901B2 (en) | Solid-state imaging devices | |
JP5856587B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP6141024B2 (ja) | 撮像装置および撮像システム | |
US10170511B1 (en) | Solid-state imaging devices having a microlens layer with dummy structures | |
US10804306B2 (en) | Solid-state imaging devices having flat microlenses | |
JP2009026808A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2006303468A (ja) | 固体撮像素子及び撮像装置 | |
KR102497910B1 (ko) | 솔리드-스테이트 이미지 센서 | |
JP6445048B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US20120261731A1 (en) | Image sensor | |
TWI813643B (zh) | 攝像元件及攝像裝置 | |
JP2017050467A (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 | |
JP2014239183A (ja) | 光電変換装置 | |
JPWO2022220271A5 (ja) | ||
JP2008010879A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2014165226A (ja) | 固体撮像素子及び撮像装置 | |
JP2011187990A (ja) | 固体撮像素子及び撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170919 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6214691 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |