JP6213254B2 - Method for manufacturing organic electroluminescence device - Google Patents

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Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」とも記載する。)の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as “organic EL element”).

有機EL素子は、有機化合物の発光層を含む有機機能層と第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の2つの電極で挟持した構成の有機EL構造体がガラス等の素子基板上に配置されている。そして、陽極及び陰極間に電流を供給することにより、発光層が発光する。   The organic EL element is composed of an organic functional layer including a light emitting layer of an organic compound and an organic EL structure having a structure sandwiched between two electrodes, a first electrode (anode) and a second electrode (cathode), on an element substrate such as glass. Has been placed. The light emitting layer emits light by supplying a current between the anode and the cathode.

有機EL素子を構成する有機EL構造体は、水分や酸素による影響を受けやすく、空気中に放置すると水分や酸素により発光性能の低下を招く。このため、有機EL素子の製造過程では、外界の影響を低減するための封止する層を有機EL構造体上に形成する工程が行われている。   The organic EL structure constituting the organic EL element is easily affected by moisture and oxygen, and if left in the air, the light emission performance is reduced by moisture and oxygen. For this reason, in the manufacturing process of an organic EL element, the process of forming the layer to seal on the organic EL structure for reducing the influence of the external field is performed.

近年は、有機EL素子の用途の拡大等に伴い、樹脂フィルム等の可撓性を有する素子基板に有機EL構造体を形成し、バリアフィルムや金属箔等の可撓性のある封止部材を接着剤で面接着して封止する固体封止タイプの有機EL素子の製造方法が開発され、耐湿性に優れた薄型で軽量の有機EL素子の製造方法として実用化が進められている。   In recent years, with the expansion of the use of organic EL elements, etc., an organic EL structure is formed on a flexible element substrate such as a resin film, and a flexible sealing member such as a barrier film or a metal foil is provided. A manufacturing method of a solid-sealing type organic EL element that is sealed by adhesive bonding with an adhesive has been developed, and is being put to practical use as a manufacturing method of a thin and lightweight organic EL element having excellent moisture resistance.

封止工程は、有機EL構造体を蒸着等の真空プロセスで形成する場合、当該真空プロセス工程と連続して真空圧下で行うことが生産性の観点から提案されている。真空圧下で連続して行うことで、空気中の水分や酸素による発光性能の低下や、有機EL構造体表面へのパーティクル付着を防止することができ、有機EL素子性能を向上させることが可能である。   When the organic EL structure is formed by a vacuum process such as vapor deposition, it has been proposed from the viewpoint of productivity that the sealing process is performed under vacuum pressure continuously with the vacuum process. By performing the process continuously under vacuum pressure, it is possible to prevent light emission performance from deteriorating due to moisture and oxygen in the air, and to prevent particles from adhering to the surface of the organic EL structure, thereby improving the performance of the organic EL element. is there.

また、有機EL素子を安価に効率良く量産するための製造方法として、長尺な可撓性の基板上に有機機能層及び電極の成膜を行い、ロールtoロール方式により長尺な素子基板を連続的または間欠的に走行させながら行う方法が考えられている。   In addition, as a manufacturing method for efficiently mass-producing organic EL elements at low cost, an organic functional layer and an electrode are formed on a long flexible substrate, and a long element substrate is formed by a roll-to-roll method. A method is considered that is performed while continuously or intermittently running.

ロールtoロール方式は有機EL構造体の形成のみならず、長尺な可撓性の基板をセパレータフィルムとして用い、この上に封止部材を形成することに用いることができ、長尺なセパレータフィルム上に形成された封止部材と有機EL構造体を接着剤を介して面接着する、上述した固体封止方式の封止にも用いることができる。   The roll-to-roll method can be used not only for forming an organic EL structure but also for forming a sealing member on a long flexible substrate as a separator film. The sealing member formed above and the organic EL structure can also be used for the above-described solid sealing method in which surface bonding is performed with an adhesive.

さらには、ロールtoロール方式による製造方式は連続生産が可能なため、生産効率、歩留まりを向上させることができるという利点を有する。   Furthermore, the roll-to-roll manufacturing method has the advantage that production efficiency and yield can be improved because continuous production is possible.

ロールtoロール方式による有機EL素子の製造は、有機EL構造体表面へのパーティクル付着を防止するため、真空圧下で、素子基板上に有機EL構造体を形成した後に、連続して接着剤を介して封止部材と有機EL構造体を貼合して固体封止することが好ましい。固体封止後は、素子基板、有機EL構造体、接着剤層、封止部材、セパレータフィルムの順に積層された多層基板となる。ロールtoロールで作製された長尺の多層基板は、ロールに巻き取り、保存、または他の工程に移送される。   In order to prevent the adhesion of particles to the surface of the organic EL structure, the organic EL element is manufactured by the roll-to-roll method, after forming the organic EL structure on the element substrate under vacuum pressure, and continuously through an adhesive. It is preferable that the sealing member and the organic EL structure are bonded and solid-sealed. After solid sealing, it becomes a multilayer substrate in which an element substrate, an organic EL structure, an adhesive layer, a sealing member, and a separator film are laminated in this order. A long multilayer substrate produced by a roll-to-roll is wound up on a roll, stored, or transferred to another process.

特許文献1は、長尺な素子基板上に有機EL構造体を形成した後に、連続して接着剤層を介して封止部材と有機EL構造体を貼合して固体封止を行う、有機EL素子のロールtoロール方式による製造方法が記載されている。また、特許文献1では、固体封止して多層基板を形成した後に、接着剤の硬化処理を行い、接着剤層を形成する接着剤が硬化した多層基板を巻き取ることが記載されている。   In Patent Document 1, an organic EL structure is formed on a long element substrate, and then a sealing member and an organic EL structure are continuously bonded via an adhesive layer to perform solid sealing. A method for manufacturing an EL element by a roll-to-roll method is described. Patent Document 1 describes that after forming a multilayer substrate by solid-sealing, the adhesive is cured, and the multilayer substrate on which the adhesive forming the adhesive layer is cured is taken up.

そして、多層基板を巻き取る際には、多層基板の端部へ補助部材を付与、または多層基板に補助部材を重ね合わせて巻き取ることで、素子基板とセパレータフィルムの表面が接触することを防止し、有機EL素子の膜面が傷つくのを抑制する多層基板の巻き取り方法が記載されている。   When winding the multilayer substrate, an auxiliary member is applied to the end of the multilayer substrate, or the auxiliary member is superimposed on the multilayer substrate and wound to prevent contact between the element substrate and the surface of the separator film. In addition, a winding method of a multilayer substrate that suppresses damage to the film surface of the organic EL element is described.

特開2006−294536号公報JP 2006-294536 A

しかしながら、特許文献1に記載の製造方法では、真空圧下において接着剤を硬化させた後に、長尺の多層基板を巻き取っているために、真空圧による巻き締まりや、ロール状の多層基板を真空圧下から大気圧下へ移行した時の圧力差による巻き締まりにより、硬化した接着剤層の押圧が生じ、封止部材および接着剤層からなる封止材の剥離及び有機EL素子表面に圧痕の発生が発生するといった問題があることがわかった。封止材の剥離や圧痕の発生が顕著に生じると、封止性能の劣化や発光欠点の発生等の有機EL素子性能の低下、有機EL素子品質が低下するということが起きることがわかった。   However, in the manufacturing method described in Patent Document 1, since the long multilayer substrate is wound after the adhesive is cured under vacuum pressure, tightening due to vacuum pressure or roll-shaped multilayer substrate is not vacuumed. Tightening due to the pressure difference when the pressure is changed from atmospheric pressure to atmospheric pressure causes pressing of the cured adhesive layer, peeling of the sealing material composed of the sealing member and the adhesive layer, and generation of indentations on the surface of the organic EL element It was found that there was a problem that occurred. It has been found that when the peeling of the sealing material and the occurrence of indentation are remarkably generated, the performance of the organic EL element is deteriorated such as the deterioration of the sealing performance and the occurrence of light emitting defects, and the quality of the organic EL element is deteriorated.

さらに、真空圧下で接着剤が硬化した多層基板に補助部材を付与して巻き取る方法では、補助部材を支点として生じる多層基板の変形により、素子基板から封止材の剥離や、有機EL素子表面に圧痕が顕著に発生し、有機EL素子品質が大幅に低下することがわかった。特に、封止材が剥離すると、十分な封止性能が得られず、発光欠点が生じる等の有機EL素子性能の劣化が生じる要因となる。   Further, in the method in which the auxiliary member is applied to the multilayer substrate in which the adhesive is cured under a vacuum pressure and wound, the sealing material is peeled off from the element substrate or the surface of the organic EL element due to the deformation of the multilayer substrate generated using the auxiliary member as a fulcrum. As a result, it was found that the indentation was remarkably generated, and the quality of the organic EL element was significantly lowered. In particular, if the sealing material is peeled off, sufficient sealing performance cannot be obtained, which causes deterioration in organic EL element performance such as a light emitting defect.

したがって、本発明の課題は、ロールtoロール方式を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、巻き締まりによる封止材の剥離や圧痕の発生が防止され、封止性能の劣化や発光欠点の発生等の有機EL素子性能の低下を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することである。   Therefore, the object of the present invention is to prevent the peeling of the sealing material and the generation of indentation due to the tightening in the manufacturing method of the organic electroluminescence element using the roll-to-roll method, and the deterioration of the sealing performance and the occurrence of light emitting defects. It is providing the manufacturing method of the organic electroluminescent element which suppressed the fall of organic EL element performances, such as.

そこで本発明は、上記問題を解決するために、以下の様な手段を用いた。   Therefore, the present invention uses the following means in order to solve the above problems.

1.ロールtoロール方式を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、真空チャンバー内で、
長尺な可撓性基板上に少なくとも封止部材及び接着剤層の順で形成された封止材と、長尺な素子基板上に少なくとも陽極、有機機能層及び陰極が形成された有機エレクトロルミネッセンス構造体と、を貼合した後、貼合された前記封止材と前記有機エレクトロルミネッセンス構造体とを巻き取り、その後、前記真空チャンバーの外で、前記接着剤層を硬化させることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
1. In the manufacturing method of an organic electroluminescence device using the roll-to-roll method, in vacuum Ji Yanba,
At least the sealing member and a sealing material formed in this order adhesive layer, at least an anode, an organic electroluminescent organic functional layer and the cathode are formed in the elongated element on a substrate elongated flexible substrate after pasting the luminescent structure, and Ri taken winding and a pasted the said sealing material said organic electroluminescent structure, then, outside of the vacuum chamber, a curing the adhesive layer A method for producing an organic electroluminescence device characterized in that:

2.前記巻き取りは、100N/m以下の張力で行うことを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   2. 2. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to 1 above, wherein the winding is performed with a tension of 100 N / m or less.

本発明によれば、ロールtoロール方式を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、巻き締まりによる封止材の剥離や圧痕の発生が防止され、封止性能の劣化や発光欠点の発生等の有機EL素子性能の低下を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, in the method for manufacturing an organic electroluminescence element using a roll-to-roll method, peeling of the sealing material due to tightening and generation of indentation are prevented, deterioration of sealing performance, generation of light emitting defects, etc. The manufacturing method of the organic electroluminescent element which suppressed the fall of organic EL element performance can be provided.

有機EL素子の構成の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of the configuration of an organic EL element 多層基板の構成を示す概要断面図Outline sectional view showing the structure of the multilayer substrate 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造工程の一例を示す概略図Schematic showing an example of a manufacturing process of an organic electroluminescence element

本発明は、ロールtoロール方式を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、真空チャンバー内で、長尺なセパレータフィルム上に封止部材、接着剤層の順で形成された封止材と、長尺な素子基板上に少なくとも陽極、有機機能層及び陰極が形成された有機EL構造体とを貼合して多層基板とし、作製した多層基板を巻き取り、その後、前記真空チャンバーの外で、前記接着剤層を硬化させることで、巻き締まりによる封止材の剥離及び圧痕の発生を抑制でき、封止性能の劣化や発光欠点の発生等の有機EL素子性能の低下、有機EL素子品質が低下するということを抑制できることができる。 The present invention provides a method of manufacturing an organic electroluminescence device using the roll-to-roll method, in vacuum Ji Yanba, the sealing member to the elongated separator film on, which is formed in the order of an adhesive layer sealant When, at least an anode, stuck an organic EL structure organic functional layer and the cathode are formed as a multilayer board with the elongated element substrate, Ri taken up the multi-layer substrate prepared, then, the vacuum chamber Outside, by curing the adhesive layer, it is possible to suppress the peeling of the sealing material and the generation of indentation due to the tightening, the deterioration of the organic EL element performance such as the deterioration of the sealing performance and the occurrence of light emitting defects, the organic EL It can suppress that element quality falls.

非常に薄い膜で脆い有機EL構造体を固体封止する形態においては、接着剤層を硬化させる前に巻き取ることが非常に重要であることがわかった。固体封止タイプの有機EL素子の製造方法においては、有機EL構造体と封止材が密に密着する。このような固体封止の形態において、接着剤を硬化させた状態でロール状に巻き取ると、巻き締まりによって有機EL構造体が、硬化した接着剤層により押圧される。非常に薄い膜で脆い有機EL構造体が押圧されると、有機EL素子性能の劣化が生じる要因となる。さらに、巻き締まりにより硬化した接着剤の押圧が大きくなると、有機EL構造体のみならず、素子基板や封止材にも影響を及ぼし、有機EL素子表面に圧痕の発生、または、封止材の剥離が生じる。特に、真空圧下では、その傾向が顕著に現れることがわかった。   It was found that in a form in which a brittle organic EL structure is solid-sealed with a very thin film, it is very important to wind up the adhesive layer before it is cured. In the manufacturing method of the solid sealing type organic EL element, the organic EL structure and the sealing material are closely adhered. In such a form of solid sealing, when the adhesive is cured and wound in a roll shape, the organic EL structure is pressed by the cured adhesive layer by tightening. When a fragile organic EL structure is pressed with a very thin film, the organic EL element performance is deteriorated. Furthermore, when the pressure of the adhesive cured by tightening is increased, it affects not only the organic EL structure but also the element substrate and the sealing material. Peeling occurs. In particular, it was found that the tendency appears remarkably under vacuum pressure.

≪有機EL素子≫
以下に、図1を用いて本実施形態の有機EL素子の構成について、より詳細に説明する。発明は、その特徴を含む範囲で以下の実施形態に限定されず、各種の変形形態も包含する。
≪Organic EL element≫
Below, the structure of the organic EL element of this embodiment is demonstrated in detail using FIG. The invention is not limited to the following embodiments within a range including the characteristics, and includes various modifications.

図1は有機EL素子の構成の一例を示す概略断面図である。本実施形態の有機EL素子1においては、有機EL素子内の有機EL構造体2を低湿度環境に保ち、外部環境から遮断・保護するために、有機EL構造体2は、封止材3によって挟まれて密閉し封止されている。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of an organic EL element. In the organic EL element 1 of the present embodiment, the organic EL structure 2 is sealed by a sealing material 3 in order to keep the organic EL structure 2 in the organic EL element in a low humidity environment and to shield and protect it from the external environment. It is sandwiched and sealed and sealed.

ここで、封止材3は接着剤層14が表面に形成された封止部材15を有しており、接着剤層14が有機EL構造体に密着して接着することによって、有機EL構造体を封止している。   Here, the sealing material 3 has a sealing member 15 having an adhesive layer 14 formed on the surface, and the adhesive layer 14 adheres to and adheres to the organic EL structure, whereby the organic EL structure. Is sealed.

また、有機EL構造体2は少なくとも、素子基板16上に形成された第1電極11、当該第1電極11上に形成されかつ発光層を含む有機機能層12及び当該有機機能層12上に形成された第2電極13を有しており、薄膜状である。この有機EL素子1の両電極間に電圧が印加されることによって発光層が発光する。   The organic EL structure 2 is formed on at least the first electrode 11 formed on the element substrate 16, the organic functional layer 12 formed on the first electrode 11 and including the light emitting layer, and the organic functional layer 12. The second electrode 13 is provided and is in the form of a thin film. When a voltage is applied between both electrodes of the organic EL element 1, the light emitting layer emits light.

本発明に係る有機EL素子1は、有機EL構造体2が表面に形成された素子基板16と、接着剤層14が表面に形成された封止部材15とを、それぞれ該素子基板16の有機EL構造体2が形成された面と当該封止部材15の接着剤層14が形成された面において、貼合することによって形成される多層構造を有している。   The organic EL element 1 according to the present invention includes an element substrate 16 having an organic EL structure 2 formed on the surface and a sealing member 15 having an adhesive layer 14 formed on the surface. It has a multilayer structure formed by bonding on the surface where the EL structure 2 is formed and the surface where the adhesive layer 14 of the sealing member 15 is formed.

[素子基板]
ここで、本発明に係る素子基板について説明する。
[Element substrate]
Here, the element substrate according to the present invention will be described.

素子基板は、有機EL素子を形成するときのベースとなる基板である。素子基板は、可撓性であり、機械的強度、素子基板上に有機EL素子を製造する際の耐熱性、水蒸気や酸素に対するガスバリア性等を有していることが好ましい。また、素子基板は、発光した光を透過させるため、透明樹脂により構成されることが好ましい。   The element substrate is a substrate serving as a base when forming an organic EL element. The element substrate is preferably flexible and has mechanical strength, heat resistance when an organic EL element is produced on the element substrate, gas barrier properties against water vapor and oxygen, and the like. The element substrate is preferably made of a transparent resin in order to transmit the emitted light.

素子基板を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロハン(登録商標)、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート(TAC)、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリル酸エステル、ポリアリレート、アートン(登録商標、JSR社製)あるいはアペル(登録商標、三井化学社製)等のシクロオレフィン系樹脂、等が挙げられる。また、発光した光を封止部材より透過する場合は、透明樹脂以外の材料も選択可能であり、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、金、ニッケル、チタン、ステンレス、スズ等の金属が挙げられる。これらは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を混合したり、多層化したりして用いてもよい。   Examples of the material constituting the element substrate include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane (registered trademark), cellulose diacetate, cellulose triacetate (TAC), and cellulose acetate butyrate. Rate, cellulose acetate propionate (CAP), cellulose acetates such as cellulose acetate phthalate, cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, poly Methyl pentene, polyether ketone, polyimide, polyether sulfone (PES), polyphenylene sulfi , Polysulfone, polyetherimide, polyetherketoneimide, polyamide, fluororesin, polymethylmethacrylate, polyacrylic ester, polyarylate, arton (registered trademark, manufactured by JSR) or appel (registered trademark, manufactured by Mitsui Chemicals) And cycloolefin-based resins. In addition, when the emitted light is transmitted from the sealing member, a material other than the transparent resin can be selected. For example, a metal such as copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, gold, nickel, titanium, stainless steel, and tin. Is mentioned. One of these may be used alone, or two or more of these may be mixed or multilayered.

素子基板の厚さは、特に制限されないものの、成形加工性、取扱性等を考慮すると、50〜500μmが好ましい。なお、素子基板の厚さは、マイクロメータを使用して測定可能である。   Although the thickness of the element substrate is not particularly limited, it is preferably 50 to 500 μm in view of molding processability, handleability, and the like. The thickness of the element substrate can be measured using a micrometer.

有機EL素子は、素子基板の表面に形成されている。有機EL素子は、素子基板の少なくとも片側の表面に形成されてあればよい。そして、素子基板の有機EL素子が形成された面と封止材の接着剤層が形成された面において貼合することによって、有機EL素子を封止・密閉することができる。また、有機EL素子を素子基板の両側の表面に形成して、2枚の封止材を当該素子基板の両側から貼合して、両側の面の有機EL素子を封止・密閉することもできる。   The organic EL element is formed on the surface of the element substrate. The organic EL element only needs to be formed on the surface of at least one side of the element substrate. And an organic EL element can be sealed and sealed by bonding in the surface in which the organic EL element of the element substrate was formed, and the surface in which the adhesive bond layer of the sealing material was formed. In addition, the organic EL element may be formed on both sides of the element substrate, and two sealing materials may be bonded from both sides of the element substrate to seal and seal the organic EL elements on both sides. it can.

(ガスバリア層)
素子基板と発光層との間には、防湿の観点から、1層又は2層以上のガスバリア層が形成されることが好ましい。
(Gas barrier layer)
It is preferable that one or two or more gas barrier layers are formed between the element substrate and the light emitting layer from the viewpoint of moisture resistance.

ガスバリア層を形成する材料としては、特に制限はされないものの、例えば、無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料が好ましく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素等の金属酸化物、窒化珪素等の金属窒化物等を用いることができる。さらに、ガスバリア層の強度をより向上させるために、無機層と有機機能層とからなる層の積層構造とすることが好ましい。無機層と有機機能層との積層順は特に制限されないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。   The material for forming the gas barrier layer is not particularly limited, and examples thereof include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. A material having a function of suppressing entry of an element that causes deterioration of the element such as moisture or oxygen is preferable. For example, a metal oxide such as silicon oxide or silicon dioxide, a metal nitride such as silicon nitride, or the like can be used. Furthermore, in order to further improve the strength of the gas barrier layer, it is preferable to have a layered structure of an inorganic layer and an organic functional layer. The stacking order of the inorganic layer and the organic functional layer is not particularly limited, but it is preferable to stack both layers alternately several times.

[有機EL構造体]
有機EL構造体は、有機化合物の有機機能層を、第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の2つの電極で挟持した構成を有する。有機機能層には少なくとも1層の発光層が含まれている。
[Organic EL structure]
The organic EL structure has a configuration in which an organic functional layer of an organic compound is sandwiched between two electrodes, a first electrode (anode) and a second electrode (cathode). The organic functional layer includes at least one light emitting layer.

(第1電極)
第1電極(陽極)は、有機機能層(具体的には発光層)に正孔を供給(注入)する電極膜である。第1電極の材料の種類や物性は特に制限されず、任意に設定できる。例えば、第1電極は、仕事関数の大きい(4eV以上)材料、例えば、金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物等の電極材料で形成可能である。また、第1電極は、酸化インジウムスズ(ITO)や酸化インジウム亜鉛等の光透過性を有する材料(透明電極)により構成されていてもよい。
(First electrode)
The first electrode (anode) is an electrode film that supplies (injects) holes to the organic functional layer (specifically, the light emitting layer). The material type and physical properties of the first electrode are not particularly limited and can be set arbitrarily. For example, the first electrode can be formed of a material having a high work function (4 eV or more), for example, an electrode material such as a metal, an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof. The first electrode may be made of a light-transmitting material (transparent electrode) such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide.

第1電極(陽極)としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。   The sheet resistance as the first electrode (anode) is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

(有機機能層)
有機機能層を構成する各層について以下に説明するが、これらの有機機能層の各層の具体的な材料等は公知の材料等を適用することが可能であるため、その説明を省略する。また、有機機能層を形成する方法についても、蒸着法、塗布法等、公知の方法を適用することが可能であるため、その説明を省略する。
(Organic functional layer)
Each layer constituting the organic functional layer will be described below. However, since a specific material or the like of each layer of the organic functional layer can be a known material, the description thereof is omitted. In addition, since a known method such as a vapor deposition method or a coating method can be applied to the method for forming the organic functional layer, the description thereof is omitted.

有機機能層の好ましい積層例は以下の通りである。なお、以下の(1)〜(6)において、通常は、先に記載された層が第1電極(陽極)側に設けられ、以下、記載の順番で第2電極(陰極)側に積層される。
(1)発光層/電子輸送層
(2)正孔輸送層/発光層/電子輸送層
(3)正孔輸送層/発光層/電子注入層
(4)正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層
(5)正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層(陰極バッファー層)
(6)正孔注入層(陽極バッファー層)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層
(7)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層
(発光層)
発光層は、第1電極から直接、又は第1電極から正孔輸送層等を介して注入される正孔と、第2電極(陰極)から直接、又は第2電極から電子輸送層等を介して注入される電子とが再結合することにより、発光する層である。なお、発光する部分は、発光層の内部であってもよいし、発光層とそれに隣接する層との間の界面であってもよい。
Preferred examples of the lamination of the organic functional layer are as follows. In the following (1) to (6), the layer described above is usually provided on the first electrode (anode) side, and is then laminated on the second electrode (cathode) side in the order described below. The
(1) Light emitting layer / electron transport layer (2) Hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer (3) Hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer (4) Hole transport layer / light emitting layer / hole Blocking layer / electron transport layer (5) hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / electron injection layer (cathode buffer layer)
(6) Hole injection layer (anode buffer layer) / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / electron injection layer (7) Hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron Transport layer / electron injection layer (light emitting layer)
The light emitting layer is directly injected from the first electrode or from the first electrode through the hole transport layer and the like, and directly from the second electrode (cathode) or from the second electrode through the electron transport layer or the like. This is a layer that emits light by recombination with the injected electrons. Note that the portion that emits light may be inside the light emitting layer, or may be an interface between the light emitting layer and a layer adjacent thereto.

発光層は、ホスト化合物(ホスト材料)と、発光材料(発光ドーパント化合物)とを含む有機発光性材料で形成することが好ましい。発光層をこのように構成すると、発光材料の発光波長や含有させる発光材料の種類等を適宜調整することにより、任意の発光色を得ることができる。また、発光層をこのように構成することにより、発光層中の発光材料において発光させることができる。   The light emitting layer is preferably formed of an organic light emitting material including a host compound (host material) and a light emitting material (light emitting dopant compound). When the light emitting layer is configured in this way, an arbitrary emission color can be obtained by appropriately adjusting the emission wavelength of the light emitting material, the type of the light emitting material to be contained, and the like. In addition, by configuring the light emitting layer in this way, light can be emitted from the light emitting material in the light emitting layer.

発光層の膜厚の総和は、所望の発光特性等に応じて適宜設定することができる。例えば、発光層の均質性、発光時における不必要な高電圧の印加の防止、及び駆動電流に対する発光色の安定性向上等の観点から、発光層の膜厚の総和は、1nm以上200nm以下とすることが好ましい。特に、低駆動電圧の観点からは、発光層の膜厚の総和は、30nm以下とすることが好ましい。   The total thickness of the light emitting layers can be set as appropriate according to desired light emission characteristics and the like. For example, the total thickness of the light emitting layer is 1 nm or more and 200 nm or less from the viewpoints of uniformity of the light emitting layer, prevention of unnecessary application of a high voltage during light emission, and improvement of stability of light emission color with respect to driving current. It is preferable to do. In particular, from the viewpoint of a low driving voltage, the total thickness of the light emitting layers is preferably 30 nm or less.

発光層に含まれるホスト化合物としては、室温(25℃)における燐光発光の燐光量子収率として、0.1以下である化合物が好ましく、0.01以下の化合物がより好ましい。   The host compound contained in the light emitting layer is preferably a compound having a phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission at room temperature (25 ° C.) of 0.1 or less, and more preferably 0.01 or less.

また、発光層中のホスト化合物の体積比は、発光層に含まれる各種化合物うち、50%以上とすることが好ましい。   The volume ratio of the host compound in the light emitting layer is preferably 50% or more of various compounds contained in the light emitting layer.

発光層に含まれる発光材料としては、例えば、燐光発光材料(燐光性化合物、燐光発光性化合物)、蛍光発光材料等を用いることができる。なお、一つの発光層には、一種類の発光材料を含有させてもよいし、発光極大波長が互いに異なる複数種の発光材料を含有させてもよい。複数種の発光材料を用いることにより、発光波長の異なる複数の光を混合させて発光させることができ、これにより、任意の発光色の光を得ることができる。具体的には例えば、青色発光材料、緑色発光材料及び赤色発光材料(3種類の発光材料)を発光層に含有させることにより、白色光を得ることができる。   As the light-emitting material contained in the light-emitting layer, for example, a phosphorescent light-emitting material (phosphorescent compound or phosphorescent compound), a fluorescent light-emitting material, or the like can be used. Note that one light emitting layer may contain one kind of light emitting material, or may contain a plurality of kinds of light emitting materials having different light emission maximum wavelengths. By using a plurality of types of light emitting materials, a plurality of lights having different emission wavelengths can be mixed to emit light, whereby light of any emission color can be obtained. Specifically, for example, white light can be obtained by including a blue light emitting material, a green light emitting material, and a red light emitting material (three kinds of light emitting materials) in the light emitting layer.

(注入層(正孔注入層、電子注入層))
注入層は、駆動電圧の低下や発光輝度の向上を図るための層である。注入層は、通常は、電極及び発光層の間に設けられる。注入層は、通常は2つに大別される。即ち、注入層は、正孔(キャリア)を注入する正孔注入層、及び電子(キャリア)を注入する電子注入層に大別される。正孔注入層(陽極バッファー層)は、第1電極と、発光層又は正孔輸送層との間に設けられる。また、電子注入層(陰極バッファー層)は、第2電極と、発光層又は電子輸送層との間に設けられる。
(Injection layer (hole injection layer, electron injection layer))
The injection layer is a layer for reducing the drive voltage and improving the light emission luminance. The injection layer is usually provided between the electrode and the light emitting layer. The injection layer is generally roughly divided into two. That is, the injection layer is roughly classified into a hole injection layer that injects holes (carriers) and an electron injection layer that injects electrons (carriers). The hole injection layer (anode buffer layer) is provided between the first electrode and the light emitting layer or the hole transport layer. The electron injection layer (cathode buffer layer) is provided between the second electrode and the light emitting layer or the electron transport layer.

(阻止層(正孔阻止層、電子阻止層))
阻止層は、キャリア(正孔、電子)の輸送を阻止するための層である。阻止層は、通常は2つに大別される。即ち、阻止層は、正孔(キャリア)の輸送を阻止する正孔阻止層と、電子(キャリア)の輸送を阻止する電子阻止層とに大別される。
(Blocking layer (hole blocking layer, electron blocking layer))
The blocking layer is a layer for blocking the transport of carriers (holes, electrons). The blocking layer is generally roughly divided into two. That is, the blocking layer is broadly classified into a hole blocking layer that blocks hole (carrier) transport and an electron blocking layer that blocks electron (carrier) transport.

正孔阻止層は、広い意味で、後記する電子輸送層の機能(電子輸送機能)を有する層である。正孔阻止層は、電子輸送機能を有しつつ、正孔の輸送能力が小さい材料で形成される。このような正孔阻止層が設けられることにより、発光層に対する正孔及び電子間の注入バランスを好適なものにすることができる。また、これにより、電子と正孔との再結合確率を向上させることができる。   The hole blocking layer is a layer having the function of an electron transport layer (electron transport function) described later in a broad sense. The hole blocking layer is formed of a material having an electron transport function and a small hole transport capability. By providing such a hole blocking layer, the injection balance between holes and electrons in the light emitting layer can be made suitable. Thereby, the recombination probability of electrons and holes can be improved.

なお、正孔阻止層としては、必要に応じて、後記する電子輸送層の構成が同様に適用可能である。さらに、正孔阻止層が設けられる場合、正孔阻止層は、発光層に隣接して設けられることが好ましい。   In addition, as a hole-blocking layer, the structure of the electron carrying layer mentioned later is applicable similarly as needed. Further, when a hole blocking layer is provided, the hole blocking layer is preferably provided adjacent to the light emitting layer.

一方、電子阻止層は、広い意味で、後記する正孔輸送層の機能(正孔輸送機能)を有する層である。電子阻止層は、正孔輸送機能を有しつつ、電子の輸送能力が小さい材料で形成される。このような電子阻止層が設けられることにより、発光層に対する正孔及び電子間の注入バランスを好適なものにすることができる。また、これにより、電子と正孔との再結合確率を向上させることができる。なお、電子阻止層としては、必要に応じて、後記する正孔輸送層の構成が同様に適用可能である。   On the other hand, the electron blocking layer is a layer having a function of a hole transport layer (hole transport function) described later in a broad sense. The electron blocking layer is formed of a material having a hole transport function and a small electron transport capability. By providing such an electron blocking layer, the injection balance between holes and electrons in the light emitting layer can be made favorable. Thereby, the recombination probability of electrons and holes can be improved. In addition, as an electron blocking layer, the structure of the positive hole transport layer mentioned later is similarly applicable as needed.

阻止層の膜厚は特に制限されないが、好ましくは3nm以上、より好ましくは5nm以上であり、また好ましくは100nm以下、より好ましくは30nm以下である。   The thickness of the blocking layer is not particularly limited, but is preferably 3 nm or more, more preferably 5 nm or more, and preferably 100 nm or less, more preferably 30 nm or less.

(輸送層(正孔輸送層、電子輸送層))
輸送層は、キャリア(正孔及び電子)を輸送する層である。輸送層は、通常は2つに大別される。即ち、輸送層は、正孔(キャリア)を輸送する正孔輸送層と、電子(キャリア)を輸送する電子輸送層とに大別される。
(Transport layer (hole transport layer, electron transport layer))
The transport layer is a layer that transports carriers (holes and electrons). The transport layer is generally roughly divided into two. That is, the transport layer is roughly classified into a hole transport layer that transports holes (carriers) and an electron transport layer that transports electrons (carriers).

正孔輸送層は、第1電極から供給された正孔を発光層に輸送(注入)する層である。正孔輸送層は、第1電極又は正孔注入層と発光層との間に設けられる。また、正孔輸送層は、第2電極側からの電子の流入を阻止する障壁としても作用する。それゆえ、正孔輸送層という用語は、広い意味で、正孔注入層及び/又は電子阻止層を含む意味で用いられることもある。なお、正孔輸送層は、一層だけ設けてもよいし、複数層設けてもよい。   The hole transport layer is a layer that transports (injects) holes supplied from the first electrode to the light emitting layer. The hole transport layer is provided between the first electrode or the hole injection layer and the light emitting layer. The hole transport layer also acts as a barrier that prevents the inflow of electrons from the second electrode side. Therefore, the term hole transport layer may be used in a broad sense to include a hole injection layer and / or an electron blocking layer. Note that only one hole transport layer may be provided or a plurality of layers may be provided.

電子輸送層は、第2電極から供給された電子を発光層に輸送(注入)する層である。電子輸送層は、第2電極又は電子注入層と発光層との間に設けられる。また、電子輸送層は、第1電極側からの正孔の流入を阻止する障壁としても作用する。それゆえ、電子輸送層という用語は、広い意味で、電子注入層及び/又は正孔阻止層を含む意味で用いられることもある。なお、電子輸送層は、一層だけ設けてもよいし、複数層設けてもよい。   The electron transport layer is a layer that transports (injects) electrons supplied from the second electrode to the light emitting layer. The electron transport layer is provided between the second electrode or electron injection layer and the light emitting layer. The electron transport layer also acts as a barrier that prevents the inflow of holes from the first electrode side. Therefore, the term electron transport layer may be used in a broad sense to include an electron injection layer and / or a hole blocking layer. Note that only one electron transport layer or a plurality of electron transport layers may be provided.

電子輸送層(電子輸送層を一層構造とする場合には当該電子輸送層、電子輸送層を複数設ける場合には最も発光層側に位置する電子輸送層)に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねることがある)は、特に制限されない。ただし、電子輸送層に用いられる電子材料は、通常は、第2電極より注入された電子を発光層に伝達(輸送)する機能を有する材料を適用可能である。   Electron transport material (hole blocking) used in the electron transport layer (when the electron transport layer has a single layer structure, the electron transport layer, and when multiple electron transport layers are provided, the electron transport layer located closest to the light emitting layer) There are no particular restrictions on the material that may also serve as a material. However, as the electronic material used for the electron transport layer, a material having a function of transmitting (transporting) electrons injected from the second electrode to the light emitting layer is usually applicable.

(第2電極)
第2電極(陰極)は、発光層に電子を供給(注入)する電極膜である。第2電極を構成する材料は特に制限されないが、通常は、仕事関数の小さい(4eV以下)材料、例えば、金属(電子注入性金属)、合金、電気伝導性化合物、及びこれらの混合物等の電極材料で形成される。
(Second electrode)
The second electrode (cathode) is an electrode film that supplies (injects) electrons to the light emitting layer. The material constituting the second electrode is not particularly limited, but is usually an electrode such as a material having a small work function (4 eV or less), for example, a metal (electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof. Formed of material.

有機EL素子において、第2電極側から光を取り出す場合、第2電極は、第1電極と同様に、光透過性を有する電極材料で形成可能である。この場合、例えば1nm以上20nm以下の膜厚になるように陰極形成用電極材料からなる金属膜を形成した後、この金属膜上に、第1電極で説明した導電性透明材料からなる膜を形成することにより、透明又は半透明の第2電極を形成することができる。   In the organic EL element, when light is extracted from the second electrode side, the second electrode can be formed of a light-transmitting electrode material, like the first electrode. In this case, for example, after forming a metal film made of an electrode material for forming a cathode so as to have a film thickness of 1 nm or more and 20 nm or less, a film made of a conductive transparent material described in the first electrode is formed on this metal film. Thus, a transparent or translucent second electrode can be formed.

[封止材]
本発明において、封止材とは、少なくとも封止部材と接着剤層を含んで構成されており、可撓性の封止部材上に接着剤が形成される。封止材を有機EL構造体に貼合することで、外部環境から遮断または保護することができる。封止材は、長尺な可撓性の基板上に少なくとも封止部材及び接着剤層の順で形成されている。可撓性の基板としては、前記した素子基板と同じものを用いることができる。
[Encapsulant]
In the present invention, the sealing material includes at least a sealing member and an adhesive layer, and an adhesive is formed on the flexible sealing member. By sticking the sealing material to the organic EL structure, it can be blocked or protected from the external environment. The sealing material is formed on a long flexible substrate in the order of at least a sealing member and an adhesive layer. As the flexible substrate, the same substrate as the element substrate described above can be used.

封止材は有機EL構造体に対応した形状に加工することができる。形状は、所望の封止性能が得られればよく、特に制限がない。封止材の形状を加工し、有機EL構造体に貼合することで、生産性の向上が期待できる。   The sealing material can be processed into a shape corresponding to the organic EL structure. The shape is not particularly limited as long as a desired sealing performance can be obtained. Improvement in productivity can be expected by processing the shape of the sealing material and pasting it onto the organic EL structure.

(封止部材)
次に、本発明に係る封止部材について説明する。
(Sealing member)
Next, the sealing member according to the present invention will be described.

封止部材は、外部環境から有機EL素子等を遮断・保護するためのものである。封止部材は、可撓性であり、機械的強度、水蒸気や酸素に対するガスバリア性等を有していることが好ましい。   The sealing member is for blocking and protecting the organic EL element and the like from the external environment. The sealing member is preferably flexible and has mechanical strength, gas barrier properties against water vapor and oxygen, and the like.

封止部材を構成する材料としては、例えば、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ナイロン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂等の硬化性樹脂、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、金、ニッケル、チタン、ステンレス、スズ等の金属が挙げられる。   Examples of the material constituting the sealing member include thermoplastics such as ethylene tetrafluoroethylene copolymer, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polymethyl methacrylate, nylon, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyimide, and polyethersulfone. Resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, curable resin such as acrylic resin, copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, gold, nickel, titanium, stainless steel And metals such as tin.

これらの材料は、1種類を単独で用いてもよく、必要に応じて、複数種類の材料を混合したり、貼合、押出しラミネート、共押出し等によって組み合わせた多層シートとして使用することも可能である。さらに、所望の物性を得るために、使用するシートの厚さ、密度、分子量等を種々組み合わせて作製することも可能である。   These materials may be used alone or as a multi-layer sheet in which a plurality of types of materials are mixed or pasted, extruded, co-extruded, etc., if necessary. is there. Furthermore, in order to obtain desired physical properties, it is possible to produce various combinations of the thickness, density, molecular weight, and the like of the sheet to be used.

封止部材の厚さは、特に制限されないものの、成形加工性、取扱性等やガスバリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮すると、10μm以上300μm以下が好ましい。なお、ここでいう封止部材の厚さは、マイクロメータを使用して測定可能である。   The thickness of the sealing member is not particularly limited, but is preferably 10 μm or more and 300 μm or less in consideration of molding processability, handleability, stress cracking resistance of the gas barrier layer, and the like. In addition, the thickness of the sealing member here can be measured using a micrometer.

封止部材として上記の熱可塑性樹脂や硬化性樹脂を用いる場合は、封止部材上に蒸着法やコーティング法でガスバリア層を形成することが好ましい。ガスバリア層としては、例えば、金属蒸着膜、無機蒸着膜、金属箔が挙げられる。金属蒸着膜、無機蒸着膜としては、薄膜ハンドブックp879〜p901(日本学術振興会)、真空技術ハンドブックp502〜p509、p612、p810(日刊工業新聞社)、真空ハンドブック増訂版p132〜p134(ULVAC 日本真空技術K.K)に記載されている如き蒸着膜が挙げられる。例えば、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni、W等の金属、MgO、SiO、SiO、Al、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe、Y、TiO、Cr、Si(x=1、y=1.5〜2.0)、Ta、ZrN、SiC、TiC、PSG、Si、SiN、単結晶Si、アモルファスSi等が挙げられる。又、金属箔の材料としては、例えば、アルミニウム、銅、ニッケルなどの金属材料や、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料等が挙げられるが、加工性やコストの面でアルミニウムが好ましい。これらは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせと比率で用いてもよい。 When using the above thermoplastic resin or curable resin as the sealing member, it is preferable to form a gas barrier layer on the sealing member by a vapor deposition method or a coating method. Examples of the gas barrier layer include a metal vapor deposition film, an inorganic vapor deposition film, and a metal foil. As metal vapor deposition film and inorganic vapor deposition film, thin film handbook p879-p901 (Japan Society for the Promotion of Science), vacuum technology handbook p502-p509, p612, p810 (Nikkan Kogyo Shimbun), vacuum handbook revised edition p132-p134 (ULVAC Japan) Examples thereof include vapor-deposited films as described in Vacuum Technology KK). For example, metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, Al, Ti, Ni, W, MgO, SiO, SiO 2 , Al 2 O 3 , GeO, NiO, CaO, BaO, Fe 2 O 3 , Y 2 O 3 , TiO 2 , Cr 2 O 3 , Si x O y (x = 1, y = 1.5 to 2.0), Ta 2 O 3 , ZrN, SiC, TiC, PSG, Si 3 N 4 , SiN, single crystal Si, amorphous Si, and the like. Examples of the metal foil material include metal materials such as aluminum, copper, and nickel, and alloy materials such as stainless steel and aluminum alloy. Aluminum is preferable in terms of workability and cost. One of these may be used alone, or two or more may be used in any combination and ratio.

金属蒸着膜、無機蒸着膜の膜厚は、蒸着膜の形成のし易さの観点から、通常5nm以上、好ましくは10nm以上、また、通常1000nm以下、好ましくは300nm以下である。金属箔の膜厚は、製造時の取り扱い性及びパネルの薄板化の観点から、1〜100μm、好ましくは10μm〜50μmである。また、製造時の取り扱いを容易にするために、ポリエチレンテレフタレート、ナイロンなどの樹脂フィルムを予めラミネートしておいてもよい。更に、ガスバリア層の上に熱可塑性樹脂からなる保護層を設けてもよい。   The film thickness of the metal vapor-deposited film and the inorganic vapor-deposited film is usually 5 nm or more, preferably 10 nm or more, and usually 1000 nm or less, preferably 300 nm or less, from the viewpoint of easy formation of the vapor-deposited film. The film thickness of the metal foil is 1 to 100 μm, preferably 10 μm to 50 μm, from the viewpoint of handling at the time of manufacture and thinning of the panel. In order to facilitate handling during production, a resin film such as polyethylene terephthalate or nylon may be laminated in advance. Furthermore, a protective layer made of a thermoplastic resin may be provided on the gas barrier layer.

(接着剤層)
接着剤層は封止部材の表面に形成されており、封止部材の少なくとも片側の表面に形成されてあればよい。そして、封止部材の接着剤層が形成された面と素子基板の有機EL素子が形成された面において貼合することによって、有機EL素子を封止・密閉することができる。また、長尺の接着剤層を封止部材の両側の表面に形成して、2枚の素子基板を当該封止部材の両側から貼合して、両側の面の有機EL素子を封止・密閉することもできる。
(Adhesive layer)
The adhesive layer is formed on the surface of the sealing member, and may be formed on the surface of at least one side of the sealing member. And an organic EL element can be sealed and sealed by bonding in the surface in which the adhesive bond layer of the sealing member was formed, and the surface in which the organic EL element of the element substrate was formed. In addition, a long adhesive layer is formed on both sides of the sealing member, and two element substrates are bonded from both sides of the sealing member to seal the organic EL elements on both sides. It can also be sealed.

接着剤層を構成する接着剤としては、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも使用することができる。耐湿性、耐水性に優れ、揮発成分が少なく、硬化時の収縮が少ない樹脂を用いることが好ましい。   As the adhesive constituting the adhesive layer, any of thermosetting resins, photocurable resins, and thermoplastic resins can be used. It is preferable to use a resin that is excellent in moisture resistance and water resistance, has less volatile components, and has less shrinkage during curing.

熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂系、アクリル樹脂系、シリコーン樹脂系、ユリア樹脂系、メラミン樹脂系、フェノール樹脂系、レゾルシノール樹脂系、不飽和ポリエステル樹脂系、ポリウレタン樹脂系等の熱硬化性樹脂が挙げられる。   As the thermosetting resin, for example, epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, etc. Resin.

光硬化性樹脂としては、例えば、エステルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、メラミンアクリレート、アクリル樹脂アクリレート等の各種アクリレート、又はウレタンポリエステル等の樹脂を用いたラジカル系光硬化性樹脂、エポキシ、ビニルエーテル等の樹脂を用いたカチオン系光硬化性樹脂、等が挙げられる。   Examples of the photocurable resin include radical curable resins such as ester acrylates, urethane acrylates, epoxy acrylates, melamine acrylates, acrylic resin acrylates, etc., or radical photocurable resins using resins such as urethane polyesters, epoxies, vinyl ethers, and the like. Examples thereof include a cationic photocurable resin using a resin.

熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリビニルアルコール(PVA)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、塩化ビニリデン(PVDC)、アイオノマー等の使用が可能である。中でも、基板との接着性に優れたポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体などのポリオレフィンの酸変性物、エチレン・酢酸ビニル共重合体の酸変性物、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、などが好ましい。特に、有機EL素子を劣化させるアウトガス成分が少ないポリエチレン、ポリプロピレンの酸変性物が好ましい。   Examples of the thermoplastic resin include polyethylene, polypropylene, polyamide, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl alcohol (PVA), ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), ethylene-propylene copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer. Polymers, ethylene-methacrylic acid copolymers, vinylidene chloride (PVDC), ionomers and the like can be used. Among them, acid modified products of polyolefins such as polyethylene, polypropylene, and ethylene-propylene copolymer, which have excellent adhesion to the substrate, acid modified products of ethylene / vinyl acetate copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene- A methacrylic acid copolymer is preferred. In particular, acid-modified products of polyethylene and polypropylene that have few outgas components that degrade the organic EL element are preferable.

当該アウトガスとは、接着剤層を形成する接着剤を硬化させるために加えるエネルギーにより、封止材を形成する材料中に混在する溶媒や水または反応生成ガスなどが気化、または、真空圧となっている空間(チャンバー内)が昇温しチャンバー壁面やロール等の周辺機器からの水分脱離により放出されるガスである。アウトガスに含まれる水分や酸により、有機EL構造体と水が反応することによる発光欠点の発生や、電極表面が酸化による駆動電圧の上昇等が生じ、有機EL素子性能が劣化する要因となる。   The outgas refers to the energy applied to cure the adhesive forming the adhesive layer, and the solvent, water, or reaction product gas mixed in the material forming the sealing material is vaporized or becomes a vacuum pressure. This is a gas released by moisture desorption from peripheral devices such as a chamber wall surface and a roll when the temperature of the space (inside the chamber) rises. Moisture and acid contained in the outgas cause a light emission defect due to a reaction between the organic EL structure and water, and causes an increase in driving voltage due to oxidation of the electrode surface, causing deterioration of the organic EL element performance.

アウトガスは、接着剤を硬化させる工程の前後で、ピラニー真空計または電離真空計等を用いて真空度を測定し、接着剤を硬化させる工程の前後の真空度を比較することでアウトガスの発生を確認することができる。また、ガス分析計(4重極形質量分析計:Qmass)により、アウトガスの成分をイオン化し、アウトガスに含まれる成分を特定することができる。   Outgas is measured by using a Pirani vacuum gauge or ionization vacuum gauge before and after the step of curing the adhesive, and comparing the vacuum levels before and after the step of curing the adhesive. Can be confirmed. In addition, a gas analyzer (quadrupole mass spectrometer: Qmass) can ionize outgas components and identify components contained in the outgas.

接着剤層の厚さは、封止性能及びパネルの薄板化の観点から、1μm〜100μmが好ましい。封止部材上への接着剤層の形成方法としては、接着剤層を構成する接着剤の種類に応じて、グラビアコート、ロールコート、バーコート、ダイコート、ナイフコート、ホットメルトコート、ディッピング、スピンコート、スプレーコートなどのコーティング法、スクリーン印刷などの印刷法を用いることができる。また、接着剤層内部の含有水分を除去するために、酸化バリウムや酸化カルシウムなどの乾燥剤を混入してもよい。   The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm to 100 μm from the viewpoint of sealing performance and panel thinning. As a method of forming an adhesive layer on the sealing member, gravure coating, roll coating, bar coating, die coating, knife coating, hot melt coating, dipping, spin depending on the type of adhesive constituting the adhesive layer. Coating methods such as coating and spray coating, and printing methods such as screen printing can be used. Moreover, in order to remove moisture contained in the adhesive layer, a desiccant such as barium oxide or calcium oxide may be mixed.

接着剤層を構成する接着剤には必要に応じてフィラーを添加することが好ましい。フィラーの添加量としては、接着力を考慮し、5〜70体積%が好ましい。又、添加するフィラーの大きさは、接着力、貼合後の接着剤層の厚さ等を考慮し、1μm〜100μmが好ましい。添加するフィラーの種類としては特に限定はなく、例えばソーダガラス、無アルカリガラス或いはシリカ、二酸化チタン、酸化アンチモン、チタニア、アルミナ、ジルコニアや酸化タングステン等の金属酸化物等が挙げられる。   It is preferable to add a filler to the adhesive constituting the adhesive layer as necessary. The addition amount of the filler is preferably 5 to 70% by volume in consideration of adhesive strength. Moreover, the magnitude | size of the filler to add considers adhesive force, the thickness of the adhesive bond layer after bonding, etc., and 1 micrometer-100 micrometers are preferable. The kind of filler to be added is not particularly limited, and examples thereof include soda glass, non-alkali glass, or silica, titanium dioxide, antimony oxide, titania, alumina, zirconia, tungsten oxide, and other metal oxides.

≪有機EL素子の製造方法≫
本発明の有機EL素子の製造方法は、真空圧チャンバー内で、長尺な可撓性の基板(セパレータフィルム)上に封止部材、接着材層の順で形成された封止材と、長尺な素子基板上に少なくとも陽極、有機機能層及び陰極が形成された有機EL構造体とを貼合して形成された多層基板を、巻き取り、その後、前記真空チャンバーの外で、前記接着剤層を硬化させることを特徴としている。
≪Method for manufacturing organic EL element≫
The organic EL device manufacturing method of the present invention includes a sealing material formed in the order of a sealing member and an adhesive layer on a long flexible substrate (separator film) in a vacuum chamber, at least an anode to scale an element substrate, the organic functional layer and bonded combined multilayer substrate formed by an organic EL structure cathode is formed, Ri preparative wound, then, outside of the vacuum chamber, the adhesive It is characterized by curing the agent layer .

そのため、本発明の有機EL素子の製造工程は、少なくとも、封止材が形成された長尺のセパレータフィルムを繰り出す工程と、長尺の素子基板をロールから繰り出す工程と、素子基板上に有機EL構造体を形成する工程と、素子基板上に形成された有機EL構造体とセパレータフィルム上に形成された封止材とを封止材の接着剤層が形成された面を貼合し、多層基板を形成する工程と、接着剤層を硬化させる前に、多層基板をロール状に巻き取る工程を有する。   Therefore, the manufacturing process of the organic EL device of the present invention includes at least a step of feeding a long separator film on which a sealing material is formed, a step of feeding a long device substrate from a roll, and an organic EL on the device substrate. The step of forming the structure, the organic EL structure formed on the element substrate, and the sealing material formed on the separator film are bonded to the surface on which the adhesive layer of the sealing material is formed. A step of forming the substrate and a step of winding the multilayer substrate into a roll before the adhesive layer is cured.

本発明に係る多層基板の概要構造を図2に示した。多層基板29は長尺で可撓性を有する素子基板16およびセパレータフィルム17の間に有機EL構造体2と封止材3が積層され、均一間隔で配置された構造を有する。   A schematic structure of the multilayer substrate according to the present invention is shown in FIG. The multilayer substrate 29 has a structure in which the organic EL structure 2 and the sealing material 3 are laminated between the long and flexible element substrate 16 and the separator film 17 and arranged at a uniform interval.

本発明において、セパレータフィルムは、可撓性を有すれば特に制限はないが、有機EL構造体または封止材を支持、または保護するという観点から、可撓性のフィルムであることが望ましい。多孔性フィルム、またはガス透過率が高いフィルム等を使用することができるが、フィルムの強度、封止材面の保護等の観点から、樹脂フィルムが好ましい。また、セパレータフィルムは封止部材または素子基板と同じ材料を用いることもできる。封止部材または素子基板と同じ材料を用いることで、製造コストを抑えることができる。   In the present invention, the separator film is not particularly limited as long as it has flexibility, but it is preferably a flexible film from the viewpoint of supporting or protecting the organic EL structure or the sealing material. A porous film or a film having a high gas permeability can be used, but a resin film is preferable from the viewpoint of the strength of the film and the protection of the sealing material surface. The separator film can be made of the same material as the sealing member or the element substrate. By using the same material as the sealing member or the element substrate, the manufacturing cost can be suppressed.

セパレータフィルムに使用する材料は、1種類を単独で用いてもよく、必要に応じて、複数種類の材料を混合したり、貼合、押出しラミネート、共押出し等によって組み合わせた多層長尺シートとして使用することが可能である。さらに、所望の物性を得るために、使用する長尺シートの厚さ、密度、分子量等を種々組み合わせて作製することも可能であり、多層構造を有してもよい。   The material used for the separator film may be used alone or as a multi-layered long sheet that is mixed by mixing, pasting, extrusion laminating, coextrusion, etc. Is possible. Furthermore, in order to obtain desired physical properties, it is possible to produce various combinations of the thickness, density, molecular weight, and the like of the long sheet to be used, and it may have a multilayer structure.

長尺で可撓性のフィルムをセパレータフィルムとして使用することで、可撓性のフィルムを連続的に走行させながら生産する、ロールtoロール方式による封止フィルムの製造や有機EL素子の製造が可能となる。   By using a long and flexible film as a separator film, it is possible to produce roll-to-roll sealing films and organic EL devices that produce flexible films while running continuously. It becomes.

また、セパレータフィルム上に粘着層を設けてもよい。セパレータフィルム上に形成される粘着層は特に制限はないが、生産コスト、取扱簡易性の観点からアクリル樹脂を使用することが好ましい。また、接着剤層と同じ材料を用いることもできる。   Moreover, you may provide an adhesion layer on a separator film. The pressure-sensitive adhesive layer formed on the separator film is not particularly limited, but it is preferable to use an acrylic resin from the viewpoint of production cost and handling ease. The same material as the adhesive layer can also be used.

以下に、図3を用いて、本発明の熱硬化性の接着剤を接着材層に用いた場合における有機EL素子の製造工程について、より詳細に説明する。本発明は、その特徴を含む範囲で以下の実施形態に限定されず、各種の変形形態も包含する。   Below, the manufacturing process of the organic EL element in the case where the thermosetting adhesive of the present invention is used for the adhesive layer will be described in more detail with reference to FIG. The present invention is not limited to the following embodiments as long as the characteristics are included, and includes various modifications.

[繰り出し工程]
繰り出し工程は、長尺の素子基板が巻かれたロールから素子基板を繰り出す工程、または、封止材が形成された長尺のセパレータフィルムが巻かれたロールからセパレータフィルムを繰り出す工程である。
[Feeding process]
The unwinding step is a step of unwinding the element substrate from a roll wound with a long element substrate, or a step of unwinding the separator film from a roll wound with a long separator film on which a sealing material is formed.

図3は有機EL素子をロールtoロール方式で製造する一例を示した概略図である。長尺の素子基板が巻かれたロール21とロール21から繰り出される素子基板16をガイドするためのガイドローラー22とを備える第1繰り出し部20が設置されている。素子基板16は、ロール21からガイドローラー22を経て繰り出される。   FIG. 3 is a schematic view showing an example of manufacturing an organic EL element by a roll-to-roll method. A first feeding unit 20 including a roll 21 around which a long element substrate is wound and a guide roller 22 for guiding the element substrate 16 fed out from the roll 21 is installed. The element substrate 16 is drawn out from the roll 21 via the guide roller 22.

さらに、片面に封止材が形成された長尺のセパレータフィルム17が巻かれたロール24とロール24から繰り出されるセパレータフィルム17をガイドするためのガイドローラー25とを備える第2繰り出し部23が設置されている。セパレータフィルム17は、ロール24からガイドローラー25を経て繰り出される。このとき、接着剤層は封止材3のセパレータフィルム17と接しない側の封止部材表面に形成されている。   Furthermore, the 2nd delivery part 23 provided with the guide roller 25 for guiding the separator film 17 drawn | fed out from the roll 24 with which the long separator film 17 with which the sealing material was formed in the single side | surface is wound, and roll 24 is installed. Has been. Separator film 17 is fed from roll 24 through guide roller 25. At this time, the adhesive layer is formed on the surface of the sealing member on the side not in contact with the separator film 17 of the sealing material 3.

[有機EL構造体の形成工程]
図3の有機EL構造体形成部26では第1繰り出し部から繰り出された素子基板16の洗浄および乾燥工程、有機EL構造体の各構成層を形成する工程である。本発明に係る有機EL構造体の形成工程において、真空圧に特に制限はないが、10−4Pa以下の真空圧で有機EL構造体を形成することが望ましい。
[Formation process of organic EL structure]
The organic EL structure forming unit 26 in FIG. 3 is a step of cleaning and drying the element substrate 16 drawn out from the first drawing-out unit and forming each constituent layer of the organic EL structure. In the step of forming the organic EL structure according to the present invention, the vacuum pressure is not particularly limited, but it is desirable to form the organic EL structure at a vacuum pressure of 10 −4 Pa or less.

(素子基板準備工程)
基板準備工程では、例えば、ロール状に巻かれた素子基板16は、洗浄部に繰り出されて、超音波洗浄槽に浸して超音波洗浄を行った後、リンス槽で純水により洗浄液のリンス、シャワーヘッドですすぎを行い、乾燥部で乾燥される。
(Element substrate preparation process)
In the substrate preparation step, for example, the element substrate 16 wound in a roll shape is drawn out to the cleaning unit, immersed in an ultrasonic cleaning tank and subjected to ultrasonic cleaning, and then rinsed with pure water in the rinse tank, Rinse with a shower head and dry in the drying section.

その後、バッファ部により後工程との搬送速度が調整され、予備室a、予備室bを通って、プラズマ槽に搬送される(いずれも図示省略)。各予備室入り口、予備室間、予備室とプラズマ槽間には素子基板16を通過させるゲートバルブが備えられている。ゲートバルブは素子基板16表面、特に有機EL構造体2形成側となる表面が無接触で丁度通り抜けるだけのオリフィス(バルブを形成しており、間隙を調整できるようになっていることが好ましい)を備えており、これにより、素子基板16は、減圧予備室、更にもう1つの減圧予備室と、差動排気によってそれぞれ減圧度が調整されプラズマ槽に搬入される。   After that, the transfer speed with the subsequent process is adjusted by the buffer unit, and is transferred to the plasma tank through the preliminary chamber a and the preliminary chamber b (both not shown). Gate valves for allowing the element substrate 16 to pass are provided at the entrances of the respective spare chambers, between the spare chambers, and between the spare chambers and the plasma tank. The gate valve has an orifice (a valve is formed so that the gap can be adjusted) so that the surface of the element substrate 16, particularly the surface on the organic EL structure 2 formation side, can pass through without contact. As a result, the element substrate 16 is carried into the plasma chamber with the degree of decompression adjusted by the differential decompression by the decompression preliminary chamber and the further decompression preliminary chamber.

各減圧予備室及びプラズマ槽は、それぞれ備えられた真空ポンプ(図示省略)によって差動排気されており、プラズマ槽までに大気圧下環境下から、プラズマ槽で必要とされる真空環境下になるよう調整される。   Each decompression preparatory chamber and the plasma chamber are differentially evacuated by a vacuum pump (not shown) respectively provided, and from the atmospheric pressure environment to the plasma chamber, the vacuum environment required for the plasma chamber is reached. It is adjusted as follows.

プラズマ槽おいて素子基板16は、例えば、10−4Paの真空圧下で酸素プラズマによる洗浄が行われる。 In the plasma tank, the element substrate 16 is cleaned with oxygen plasma under a vacuum pressure of 10 −4 Pa, for example.

洗浄が行われた後、次に、素子基板16は第1電極形成工程に搬送される。   After the cleaning, the element substrate 16 is then transferred to the first electrode forming process.

(第1電極形成工程)
第1電極形成工程では、例えば、パターンマスクを用いたスパッタリング法で、取り出し電極部を有する第1電極11(陽極)が形成される。この方法では、例えば、第1電極11(陽極)の材料としてITOをスパッタリング法で素子基板16の上に成膜する際、予め必要とする形状のマスクを使用し成膜する方法である。
(First electrode forming step)
In the first electrode formation step, for example, the first electrode 11 (anode) having the extraction electrode portion is formed by a sputtering method using a pattern mask. In this method, for example, when a film of ITO is formed on the element substrate 16 by a sputtering method as a material of the first electrode 11 (anode), the film is formed using a mask having a necessary shape in advance.

(正孔輸送層形成工程)
次に、正孔輸送層形成工程では、例えば、パターンマスクを用いた真空蒸着法により電極となる部分を除き、第1電極11(陽極)の全面に有機化合物である正孔輸送層が積層される。
(Hole transport layer forming process)
Next, in the hole transport layer forming step, for example, a hole transport layer that is an organic compound is laminated on the entire surface of the first electrode 11 (anode) except for a portion that becomes an electrode by a vacuum deposition method using a pattern mask. The

そして、上記形成した正孔輸送層上に、後記するように、発光層、電子注入層、及び、第2電極13(陰極)を形成して有機EL構造体2が作製される。   Then, as described later, the light emitting layer, the electron injection layer, and the second electrode 13 (cathode) are formed on the hole transport layer formed as described above, and the organic EL structure 2 is manufactured.

(発光層形成工程)
発光層形成工程では、正孔輸送層までが形成された素子基板16の取り出し電極部を除いた正孔輸送層上に真空蒸着法により発光層が形成される。
(Light emitting layer forming step)
In the light emitting layer forming step, the light emitting layer is formed by vacuum deposition on the hole transport layer excluding the extraction electrode portion of the element substrate 16 on which the hole transport layer is formed.

(電子注入層形成工程)
電子注入層形成工程では、繰出し部から連続的に供給されてくる素子基板16に既に形成されている発光層上に電子注入層を、例えば、真空蒸着法により成膜する。電子注入層の厚さは、0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。
(Electron injection layer forming process)
In the electron injection layer forming step, the electron injection layer is formed by, for example, a vacuum evaporation method on the light emitting layer already formed on the element substrate 16 continuously supplied from the feeding portion. The thickness of the electron injection layer is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm.

(第2電極形成工程)
第2電極形成工程では、例えば、電子注入層形成工程から連続的に供給されてくる素子基板16に取り出し電極を有する第2電極13(陰極)を、既に形成されている電子注入層上にマスクパターン成膜する。第2電極13(陰極)としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。この段階で、第1電極(陽極)/正孔輸送層/発光層/電子注入層/第2電極(陰極)の構成を有する有機EL構造体2が素子基板16上に作製される。
(Second electrode forming step)
In the second electrode formation step, for example, the second electrode 13 (cathode) having an extraction electrode on the element substrate 16 continuously supplied from the electron injection layer formation step is masked on the already formed electron injection layer. A pattern is formed. The sheet resistance as the second electrode 13 (cathode) is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. At this stage, the organic EL structure 2 having the configuration of the first electrode (anode) / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / second electrode (cathode) is fabricated on the element substrate 16.

第2電極(陰極)形成工程、電子注入層(陰極バッファー層)形成工程の上記説明では蒸着装置の場合を示したが、第2電極13(陰極)及び電子注入層(陰極バッファー層)の形成方法については、特に限定はなく、例えば、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧下プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来る。   In the above description of the second electrode (cathode) forming step and the electron injecting layer (cathode buffer layer) forming step, the case of the vapor deposition apparatus is shown. However, the second electrode 13 (cathode) and the electron injecting layer (cathode buffer layer) are formed. The method is not particularly limited. For example, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma polymerization method, plasma CVD method, laser A CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.

第2電極まで形成された有機EL構造体2を有する素子基板16は、次工程に搬送される。   The element substrate 16 having the organic EL structure 2 formed up to the second electrode is transported to the next step.

[貼合工程]
貼合工程は、真空圧下で、接着剤層を硬化手段を用いて軟化させ、素子基板上に形成された有機EL構造体とセパレータフィルム上に形成された封止材とを封止材の接着剤層が形成された面を貼合して、多層基板を形成する工程である。
[Bonding process]
In the bonding step, the adhesive layer is softened using a curing means under vacuum pressure, and the organic EL structure formed on the element substrate and the sealing material formed on the separator film are bonded to each other. In this step, the surface on which the agent layer is formed is bonded to form a multilayer substrate.

接着剤層の軟化とは、軟化手段を用いて接着剤層を構成する接着剤の粘度を10Pa・s以上5000Pa・s未満とすることである。有機EL構造体と接着剤層を貼合する場合、接着剤層を構成する接着剤の粘度は、好ましくは50〜200Pa・sである。   The softening of the adhesive layer means that the viscosity of the adhesive constituting the adhesive layer is set to 10 Pa · s or more and less than 5000 Pa · s using the softening means. When the organic EL structure and the adhesive layer are bonded, the viscosity of the adhesive constituting the adhesive layer is preferably 50 to 200 Pa · s.

接着剤層を構成する接着剤が熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂であるときは、貼合する前に、接着剤を軟化処理することで、接着剤に粘着性を持たせることが必要である。接着剤を軟化させることによって、素子基板と封止部材が粘接着され、有機EL構造体は両基板間に密閉・封止される。   When the adhesive constituting the adhesive layer is a thermosetting resin or a photocurable resin, it is necessary to soften the adhesive before bonding so that the adhesive has tackiness. is there. By softening the adhesive, the element substrate and the sealing member are adhered to each other, and the organic EL structure is hermetically sealed between both substrates.

接着剤層を構成する接着剤が、熱硬化性樹脂であるときは、軟化工程における接着剤の軟化手段は接着剤の硬化開始温度よりも低温で加熱であることが好ましい。接着剤層を構成する接着剤が、光硬化性樹脂であるときは、光照射による架橋・硬化されていない粘着性を有する半固体であることが好ましい。貼合時に接着剤が予め粘接着可能な粘着性を有する場合は、軟化手段を要さない。   When the adhesive constituting the adhesive layer is a thermosetting resin, it is preferable that the softening means of the adhesive in the softening step is heated at a temperature lower than the curing start temperature of the adhesive. When the adhesive constituting the adhesive layer is a photocurable resin, it is preferably a semi-solid having tackiness that has not been crosslinked or cured by light irradiation. A softening means is not required when the adhesive has tackiness that can be pre-adhered at the time of bonding.

本発明に係る有機EL構造体と封止材の貼合工程において、真空圧に特に制限はないが、封止材が損傷や変形することがない範囲である10Pa以下の真空圧で有機EL構造体と封止材を貼合することが望ましい。真空圧下で貼合することで、空気などを巻き込むことがなく、また、上記した真空圧下範囲で有機EL構造体と封止材を貼合することで、封止材の厚さが均一となるため、密着性よく貼合できる。従って、貼合面で均一な封止性能が得られ、有機EL素子性能の向上が期待できる。   In the bonding step of the organic EL structure and the sealing material according to the present invention, the vacuum pressure is not particularly limited, but the organic EL structure is at a vacuum pressure of 10 Pa or less which is a range in which the sealing material is not damaged or deformed. It is desirable to paste the body and the sealing material. By bonding under vacuum pressure, air or the like is not involved, and the thickness of the sealing material becomes uniform by bonding the organic EL structure and the sealing material within the above-described vacuum pressure range. Therefore, it can bond with adhesiveness. Therefore, uniform sealing performance can be obtained on the bonding surface, and improvement in organic EL element performance can be expected.

貼合する方式は、貼合ロールによる加熱圧着方式であるが、貼合する手段は、特に限定されるわけではない。ロールラミネート、平板貼合、ダイヤフラム貼合、等種々の手段を用いることができる。本実施形態においては、代表的な貼合手段として、貼合ロールを用いている。   The method of bonding is a thermocompression bonding method using a bonding roll, but the means for bonding is not particularly limited. Various means such as roll lamination, flat plate bonding, and diaphragm bonding can be used. In this embodiment, the bonding roll is used as a typical bonding means.

図3において、有機EL構造体形成部26で基板上有機EL構造体が形成された素子基板16とロール24から繰り出されたセパレータフィルム17上の封止材3は、それぞれ繰り出し部を出た後、貼合されるため、貼合部27に搬送される。貼合部27は、真空圧下に、素子基板16と封止材3とを貼合する貼合ローラー28とを備えている。   In FIG. 3, the element substrate 16 on which the organic EL structure on the substrate is formed in the organic EL structure forming unit 26 and the sealing material 3 on the separator film 17 fed out from the roll 24 are respectively discharged from the feeding unit. Since it is bonded, it is conveyed to the bonding unit 27. The bonding unit 27 includes a bonding roller 28 that bonds the element substrate 16 and the sealing material 3 under vacuum pressure.

封止材3の片面に形成された接着剤層は、貼合ローラー28の加熱により軟化された状態で、貼合ローラー28によって貼合される。貼合ローラー28を加熱することで、多層基板に熱が加わる時間を貼合ローラー28の間を通過する時間にとどめることができ、また、貼合ロール12の温度は接着剤の硬化開始温度よりも低温とすることで、アウトガスの発生を制御することが可能である。   The adhesive layer formed on one surface of the sealing material 3 is bonded by the bonding roller 28 while being softened by the heating of the bonding roller 28. By heating the laminating roller 28, the time during which heat is applied to the multilayer substrate can be limited to the time passing between the laminating rollers 28, and the temperature of the laminating roll 12 is higher than the curing start temperature of the adhesive. Also, it is possible to control the generation of outgas by making the temperature low.

接着剤層を構成する接着剤が、貼合ローラー28直前において、粘度が10Pa・s以上5000Pa・s未満であれば、特段の処理は任意である。但し、接着剤層を構成する接着剤が、熱硬化性樹脂であるときは、加熱温度が硬化開始温度を超えないように留意する。   If the adhesive constituting the adhesive layer has a viscosity of 10 Pa · s or more and less than 5000 Pa · s immediately before the bonding roller 28, special treatment is optional. However, when the adhesive which comprises an adhesive bond layer is a thermosetting resin, attention is paid so that heating temperature may not exceed hardening start temperature.

接着剤層を構成する接着剤の粘度は、通常の高分子用粘度計であれば測定可能である。例えば、REOLOGICA社製レオメータDAR−100を用いて測定することができる。測定対象である接着剤層を構成する接着剤と同一の樹脂サンプルを用いて、貼合時と同じ雰囲気(温度等)温度に置いたときの粘度を測定することによって、貼合時の粘度と認定することができる。   The viscosity of the adhesive composing the adhesive layer can be measured with a normal polymer viscometer. For example, it can be measured using a rheometer DAR-100 manufactured by REOLOGICA. Using the same resin sample as the adhesive that makes up the adhesive layer that is the object to be measured, by measuring the viscosity when placed in the same atmosphere (temperature, etc.) temperature as at the time of bonding, Can be certified.

また、熱硬化性樹脂の硬化開始温度とは、DSCを用いて、窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で熱硬化性樹脂を加熱していったときの、硬化による発熱ピークの立ち上がりの温度でもって定義される。   Moreover, the curing start temperature of the thermosetting resin is the rise of the exothermic peak due to curing when the thermosetting resin is heated at a heating rate of 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere using DSC. Defined with temperature.

貼合ローラー28は、上下対のローラーから構成される、いわゆるニップローラーである。素子基板16と封止材3とが貼合され、軟化された接着剤層によって有機EL素子が密閉・封止された多層基板29が形成される。ローラーの数は1対の2本であってもよいし、必要に応じてさらに2対の4本等と増やしても構わない。またニップ圧やローラーの回転速度は、素子基板16と封止材3とを貼合でき、有機EL素子を損傷しないような条件に適宜設定する。   The laminating roller 28 is a so-called nip roller composed of a pair of upper and lower rollers. The element substrate 16 and the sealing material 3 are bonded to each other, and a multilayer substrate 29 in which the organic EL element is sealed and sealed with the softened adhesive layer is formed. The number of rollers may be two in a pair, or may be further increased to four in two pairs as necessary. Further, the nip pressure and the rotation speed of the roller are appropriately set to such a condition that the element substrate 16 and the sealing material 3 can be bonded and the organic EL element is not damaged.

硬化工程で生じるアウトガスが、貼合前(固体封止前)の有機EL素子に影響を及ぼし、有機EL素子性能が劣化することを防ぐために、接着剤の硬化処理を貼合工程を行う真空チャンバーは分離し、異なるチャンバーで行う。 In order to prevent the outgas generated in the curing process from affecting the organic EL element before pasting (before solid sealing) and degrading the performance of the organic EL element, a vacuum chamber in which the adhesive curing process is performed. were separated, intends row in different chambers.

また、生産性または、貼合工程を行う真空チャンバー内の環境や真空度を保持する観点から貼合工程で作製された多層基板は接着剤層を硬化させる前に、多層基板を巻き取り、多層基板の巻き取りを行ったチャンバーとは異なる場所で接着剤の硬化処理を行う。 In addition, from the viewpoint of maintaining productivity or the environment in the vacuum chamber in which the bonding process is performed and the degree of vacuum, the multilayer substrate manufactured in the bonding process is wound up before the adhesive layer is cured. It intends rows curing the adhesive at a different location from the chamber was carried out the winding of the substrate.

[巻き取り工程]
巻き取り工程は、真空圧が10Pa以下で、接着剤層を硬化させる前に、多層基板をロール状に巻き取る工程である。
[Winding process]
The winding process is a process in which the multilayer substrate is wound into a roll before the adhesive layer is cured at a vacuum pressure of 10 Pa or less.

図3において、巻き取り部30は、ガイドローラー31と巻き取りロール32とを備えている。巻き取り部30にて、接着剤層を硬化させる前の多層基板29は、巻き取り張力100N/m以下で巻き取りロール32に巻き取られる。   In FIG. 3, the winding unit 30 includes a guide roller 31 and a winding roll 32. The multilayer substrate 29 before the adhesive layer is cured at the winding unit 30 is wound around the winding roll 32 with a winding tension of 100 N / m or less.

巻き取り張力とは、ロールを巻き取り始める際の、巻き取りロール32にかかる張力である。巻き取り張力としては、の観点から、好ましくは100N/m以下、より好ましくは10〜50N/mである。巻き取り張力は、テンション検出器(エー・アンド・デイ社製のAD−4820−53)を用いて、測定することができる。巻き取り速度は生産速度に応じて可変であるが、巻き取り張力が100N/m以下で巻き取る時の多層基板の端部の巻きずれを防止するため1m/min以下が好ましい。より好ましくは0.2m/min以下である。   The winding tension is the tension applied to the winding roll 32 when starting to wind the roll. The winding tension is preferably 100 N / m or less, more preferably 10 to 50 N / m, from the viewpoint of winding. The winding tension can be measured using a tension detector (AD-4820-53 manufactured by A & D). Although the winding speed is variable depending on the production speed, it is preferably 1 m / min or less in order to prevent the winding edge of the multilayer substrate from being displaced when the winding tension is 100 N / m or less. More preferably, it is 0.2 m / min or less.

ここでいう巻きずれとは、巻き取りロール32に巻き取られる多層基板の端部の位置が一定の位置ではなく、ずれて巻き取られることを指す。ずれ幅が大きいと、素子基板表面に擦り傷が発生し、有機EL素子基板の商品価値が無くなり、生産歩留まりが低下する。   The term “winding misalignment” as used herein means that the position of the end portion of the multilayer substrate wound around the take-up roll 32 is not fixed and is wound while being shifted. When the deviation width is large, scratches are generated on the element substrate surface, the commercial value of the organic EL element substrate is lost, and the production yield is lowered.

巻きずれは、3mm未満が好ましく、より好ましくは0.5mm未満である。   The winding deviation is preferably less than 3 mm, more preferably less than 0.5 mm.

また、巻き取りロール32の軸のトルクを制御することで巻き取り張力を調整することができる。巻き取り張力を100N/m以上とすると巻き締まりが顕著に生じ、封止材の剥離や変形が発生して封止性能が著しく低下する。接着剤層を硬化させる前の巻き取りにおいては、接着剤層の変形が生じやすい。したがって、100N/m以下の張力で多層基板の巻き取りを行うことで、封止材の剥離や変形が抑制されて、封止性能の低下、発光欠点等の有機EL素子性能の低下を防ぐことができる。   Further, the winding tension can be adjusted by controlling the torque of the shaft of the winding roll 32. When the winding tension is 100 N / m or more, winding tightening occurs remarkably, peeling and deformation of the sealing material occur, and the sealing performance is remarkably lowered. In the winding before the adhesive layer is cured, the adhesive layer is likely to be deformed. Therefore, by winding up the multilayer substrate with a tension of 100 N / m or less, peeling and deformation of the sealing material are suppressed, and deterioration of the organic EL element performance such as deterioration of sealing performance and light emitting defects is prevented. Can do.

素子基板やセパレータフィルムの表面が滑りやすく、多層基板の端部をそろえて巻き取ることが困難な場合は、多層基板の端部位置を規制する、フランジを巻き取りロール32に設置しても良い。   When the surface of the element substrate or the separator film is slippery and it is difficult to wind up with the end portions of the multilayer substrate, a flange that regulates the position of the end portions of the multilayer substrate may be installed on the winding roll 32. .

[硬化工程]
硬化工程は、真空圧下で接着剤が硬化していない状態で多層基板13を巻き取る工程の後にあって、接着剤を硬化させる工程である。
[Curing process]
The curing step is a step of curing the adhesive after the step of winding the multilayer substrate 13 in a state where the adhesive is not cured under vacuum pressure.

接着剤の硬化とは、硬化手段を用いて接着剤層を構成する接着剤の粘度を5000Pa・s以上とする工程である。硬化した接着剤層の粘度は好ましくは、10000Pa・s以上である。   The curing of the adhesive is a process in which the viscosity of the adhesive constituting the adhesive layer is set to 5000 Pa · s or more using a curing means. The viscosity of the cured adhesive layer is preferably 10,000 Pa · s or more.

接着剤層を構成する接着剤が、熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂であるときは、貼合工程の後に、接着剤を硬化処理することで、有機EL構造体の形態を固定し、安定化させることが必要である。接着剤を硬化させることによって、素子基板と封止部材が強固に接着され、有機EL構造体は両基板間に密閉・封止されて、耐久性に優れた有機EL素子とすることができる。   When the adhesive that constitutes the adhesive layer is a thermosetting resin or a photocurable resin, the adhesive is cured after the bonding step, so that the form of the organic EL structure is fixed and stable. It is necessary to make it. By curing the adhesive, the element substrate and the sealing member are firmly bonded, and the organic EL structure is hermetically sealed between both the substrates, so that an organic EL element having excellent durability can be obtained.

接着剤層を構成する接着剤が、熱硬化性樹脂であるときは、硬化工程における接着剤の硬化手段は加熱であることが好ましい。接着剤層を構成する接着剤が、光硬化性樹脂であるときは、硬化工程における接着剤の硬化手段は光照射であることが好ましい。   When the adhesive composing the adhesive layer is a thermosetting resin, it is preferable that the adhesive curing means in the curing step is heating. When the adhesive constituting the adhesive layer is a photocurable resin, the curing means for the adhesive in the curing step is preferably light irradiation.

硬化工程においては、硬化手段で用いられる熱や光照射により発生するアウトガスによる有機EL素子性能が劣化を防止するという観点から、有機EL構造体の形成工程または貼合工程と分離することが好ましい。硬化工程と有機EL構造体の形成工程または貼合工程を分離する方法は特に制限ないが、複数のチャンバーを用いて多層基板を連続的に移送しようとすると、各工程を行える範囲がチャンバーの長さに限られてしまう。また、随時チャンバーを開閉する必要があり、チャンバー内の環境劣化または真空度の低下が懸念されるため、生産性向上の観点から、貼合工程を行ったチャンバー内で多層基板を巻き取りことが好ましい。   In a hardening process, it is preferable to isolate | separate from the formation process or the bonding process of an organic EL structure from a viewpoint that the organic EL element performance by the outgas which generate | occur | produces by the heat and light irradiation which are used with a hardening means prevents deterioration. A method for separating the curing process and the organic EL structure forming process or the bonding process is not particularly limited. However, when a multi-layer substrate is continuously transferred using a plurality of chambers, the range in which each process can be performed is the length of the chamber. It will be limited. In addition, it is necessary to open and close the chamber at any time, and there is concern about environmental degradation or a decrease in vacuum in the chamber. Therefore, from the viewpoint of improving productivity, the multilayer substrate can be wound in the chamber where the bonding process has been performed. preferable.

以下に、これら本発明の効果を確認した実施例について説明する。なお、本発明はこの実施例に限定されるものではない。   Examples in which the effects of the present invention are confirmed will be described below. In addition, this invention is not limited to this Example.

≪実施例1≫
[第1繰り出し工程]
第1繰り出し部にて、素子基板として長さ30m、幅1000mm、厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、以下適宜PETと略する)を繰り出した。
Example 1
[First feeding process]
At the first feeding portion, a polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin DuPont Films, Ltd., hereinafter abbreviated as PET as appropriate) having a length of 30 m, a width of 1000 mm, and a thickness of 100 μm was fed as an element substrate.

第1繰り出し部から排出された素子基板は、続けて有機EL構造体形成部に搬送した。   The element substrate discharged from the first feeding portion was subsequently transferred to the organic EL structure forming portion.

[有機EL構造体形成工程]
有機EL素子の製造工程は真空圧10−4Pa以下のチャンバー内で行った。
[Organic EL structure forming step]
The manufacturing process of the organic EL element was performed in a chamber having a vacuum pressure of 10 −4 Pa or less.

(素子基板準備)
可撓性の基板の第1電極を形成する側の全面に、特開2004−68143号に記載の構成からなる大気圧下プラズマ放電処理装置を用いて連続して、素子基板上に、SiOxからなる無機物のガスバリア膜を厚さが500nmとなる様に形成した。これにより、酸素透過度が0.001ml/m/day以下であり、水蒸気透過度が0.001ml/m/day以下であるガスバリア性の可撓性の基板を作製した。
(Element board preparation)
The entire surface of the flexible substrate on the side on which the first electrode is formed is continuously formed on the element substrate from SiOx by using an atmospheric pressure plasma discharge treatment apparatus having the configuration described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-68143. An inorganic gas barrier film was formed to a thickness of 500 nm. Thus, a gas barrier flexible substrate having an oxygen permeability of 0.001 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 0.001 ml / m 2 / day or less was produced.

(第1電極の形成)
スパッタリング法により5×10−1Paの真空条件下でガスバリア性の可撓性の基板上にITO(酸化インジウムスズ)からなる第1電極を厚さが120nmとなるように形成した。
(Formation of the first electrode)
A first electrode made of ITO (indium tin oxide) was formed to a thickness of 120 nm on a gas barrier flexible substrate under a vacuum condition of 5 × 10 −1 Pa by sputtering.

(正孔輸送層の形成)
蒸着法(気相堆積法)により5×10−4Paの真空条件下で正孔輸送層形成材料としてN,N’‐ジフェニル‐N,N’−m−トリル−4,4’−ジアミノ−1,1’−ビフェニルを第1電極上に堆積して厚さ30nmの正孔輸送層を形成した。
(Formation of hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N, N′-m-tolyl-4,4′-diamino- as a hole transport layer forming material under vacuum conditions of 5 × 10 −4 Pa by vapor deposition (vapor phase deposition) 1,1′-biphenyl was deposited on the first electrode to form a 30 nm thick hole transport layer.

そして、上記形成した正孔輸送層上に、以下に示す条件に従って、発光層、電子注入層、第2電極を積層して有機EL構造体を作製し、ロール状に巻き取った。   Then, a light emitting layer, an electron injection layer, and a second electrode were laminated on the formed hole transport layer according to the following conditions to produce an organic EL structure, which was wound into a roll.

(発光層の形成)
ホスト化合物としてCBP、発光材料としてIr(ppy)を共蒸着法によりドープ濃度が6%で、厚さ40nmとなるように積層した。なお、本実施例では緑色の発光を有する材料を用いたが、更に青色、赤色、及び、発光材料を使用し積層させることで、白色の有機EL素子を作製することが可能である。
(Formation of light emitting layer)
CBP as a host compound and Ir (ppy) 3 as a light emitting material were laminated by a co-evaporation method so that the doping concentration was 6% and the thickness was 40 nm. Note that although a material having green light emission is used in this embodiment, a white organic EL element can be manufactured by further stacking layers using blue, red, and light emitting materials.

(電子注入層の形成)
続いて、形成した発光層上に蒸着法(気相堆積法)により5×10−4Paの真空条件下で電子注入層形成材料としてLiFを発光層上に堆積して厚さ0.5nmの電子注入層(LiF層)を形成した。
(Formation of electron injection layer)
Subsequently, LiF was deposited on the light emitting layer as a material for forming an electron injection layer under a vacuum condition of 5 × 10 −4 Pa on the formed light emitting layer by a vapor deposition method (vapor phase deposition method). An electron injection layer (LiF layer) was formed.

(第2電極の形成)
続いて、形成した電子注入層上に蒸着法(気相堆積法)により第2電極形成材料としてアルミニウムを使用して、取り出し電極を有するようにマスクパターン成膜にて電子注入層上に堆積して厚さ100nmの第2電極層を形成し、有機EL構造体を作製した。
(Formation of second electrode)
Subsequently, aluminum is used as the second electrode forming material on the formed electron injection layer by vapor deposition (vapor phase deposition method), and is deposited on the electron injection layer by mask pattern film formation so as to have an extraction electrode. A second electrode layer having a thickness of 100 nm was formed to produce an organic EL structure.

正孔輸送層、発光層、電子注入層が48mm×48mmの範囲内に配置されるようにマスクパターン成膜を行った。第1電極(陽極)は48mm×54mm、第2電極(陰極)は幅50mm×長さ54mmとなるようにマスクパターン成膜を行った。   Mask pattern film formation was performed so that the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron injection layer were disposed within a range of 48 mm × 48 mm. The mask pattern was formed such that the first electrode (anode) was 48 mm × 54 mm and the second electrode (cathode) was 50 mm wide × 54 mm long.

有機EL構造体形成部から排出された有機EL構造体が形成された素子基板は、続けて貼合部に搬送した。   The element board | substrate with which the organic EL structure discharged | emitted from the organic EL structure formation part was formed was continuously conveyed to the bonding part.

[第2繰り出し工程]
第2繰り出し部にて、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製)と、厚さ7.0μmの導電性材料のアルミ箔との2層構成の封止部材と、厚さ20μmの熱硬化性接着剤(株式会社スリーボンド製1600シリーズ)を用いた接着剤層からなる封止材が形成された長さ30m、幅1000mm、厚さ100μmのセパレータフィルムを繰り出した。
[Second feeding process]
At the second feeding portion, a sealing member having a two-layer structure of a polyethylene terephthalate film (made by Teijin DuPont Films Ltd.) having a thickness of 50 μm and an aluminum foil made of a conductive material having a thickness of 7.0 μm, and a thickness of 20 μm A separator film having a length of 30 m, a width of 1000 mm, and a thickness of 100 μm on which a sealing material composed of an adhesive layer using a thermosetting adhesive (1600 series manufactured by Three Bond Co., Ltd.) was formed was drawn out.

[貼合工程]
有機EL構造体と封止材の貼合は、一対の密着ロール間に有機EL構造体と封止材を重ねて密着する構造である。48mm×48mmで成膜された有機EL構造体と50mm×50mmに加工された封止材の接着剤層とを、真空圧10Pa以下のチャンバー内にて貼合ロールで貼合し、封止幅2mmとなる、有機EL素子を形成した。封止幅とは、素子基板において、有機機能層(正孔輸送層、発光層、電子注入層)の端部から封止材の端部までの距離のことで、封止材直下に有機機能層が存在しない構造となっているため、素子基板と封止部材の間を伝わってくる水分以外は侵入が抑制された構造となっている。
[Bonding process]
The bonding of the organic EL structure and the sealing material is a structure in which the organic EL structure and the sealing material are stacked and adhered between a pair of adhesion rolls. The organic EL structure formed into a film of 48 mm × 48 mm and the adhesive layer of the sealing material processed to 50 mm × 50 mm are bonded with a bonding roll in a chamber having a vacuum pressure of 10 Pa or less, and the sealing width An organic EL element having a thickness of 2 mm was formed. The sealing width is the distance from the end of the organic functional layer (hole transport layer, light emitting layer, electron injection layer) to the end of the sealing material in the element substrate, and the organic function directly under the sealing material. Since the layer does not exist, the invasion is suppressed except for moisture transmitted between the element substrate and the sealing member.

貼合部は、上貼合ロールと下貼合ロールを有する。上下貼合ロール間を通過する素子基板、および封止材を均一に連続加圧できる様に、貼合ロール同士が一定圧力で接触加圧しながら回転する構造となっている。貼合ロールの表面はゴムライニングし、ゴム硬度(JIS K 6253)は70度、外径はφ100mmとした。   A pasting part has an upper pasting roll and a lower pasting roll. It has a structure in which the bonding rolls rotate while contacting and pressing at a constant pressure so that the element substrate passing between the upper and lower bonding rolls and the sealing material can be uniformly and continuously pressed. The surface of the bonding roll was rubber-lined, the rubber hardness (JIS K 6253) was 70 degrees, and the outer diameter was φ100 mm.

貼合部は、貼合ロール温度が上下とも30℃になるよう調温し、貼合ロールの圧力が有機EL構造体にかかる面圧で0.3MPaになるよう調整した。貼合部の搬送速度は1m/分とした。なお、面圧は富士フィルムのプレスケール(極超低圧用)を用い、ロールが常温常湿(23℃相対湿度50%)で測定した。   The bonding part was temperature-controlled so that the bonding roll temperature was 30 ° C. both above and below, and the pressure of the bonding roll was adjusted to 0.3 MPa as the surface pressure applied to the organic EL structure. The conveyance speed of the bonding part was 1 m / min. The surface pressure was measured using a Fuji film prescale (for ultra-low pressure) and a roll at normal temperature and humidity (23 ° C., relative humidity 50%).

貼合部から排出された封止材が密着された有機EL構造体が形成された多層基板は、続けて巻き取り部に搬送される。   The multilayer substrate on which the organic EL structure in which the sealing material discharged from the bonding part is adhered is formed is continuously conveyed to the winding part.

[巻き取り工程]
真空圧が10Pa以下で、巻き取り張力が100N/mとなるように巻き取りロール軸のトルクを制御し、多層基板を巻き取った。
[Winding process]
The multilayer substrate was wound up by controlling the torque of the winding roll shaft so that the vacuum pressure was 10 Pa or less and the winding tension was 100 N / m.

[硬化工程]
真空圧10Pa以下のチャンバーから、巻き取られた多層基板を取り出し、熱硬化搬送炉内で硬化処理される。炉内雰囲気が100℃に昇温された熱硬化炉内を、1m/minの速度で、2時間搬送し、熱硬化処理を行った。
[Curing process]
The wound multilayer substrate is taken out from the chamber having a vacuum pressure of 10 Pa or less and cured in a thermosetting transport furnace. The inside of the thermosetting furnace whose temperature in the furnace was raised to 100 ° C. was transported at a speed of 1 m / min for 2 hours to perform thermosetting treatment.

熱硬化処理を行った後、長尺の多層基板を断裁して、各有機EL素子を製造した。   After performing the thermosetting process, the long multilayer substrate was cut to manufacture each organic EL element.

≪実施例2≫
巻き取り張力を50N/mとした以外は、実施例1と同様の条件で有機EL素子2を作製した。
<< Example 2 >>
An organic EL element 2 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the winding tension was 50 N / m.

≪実施例3≫
巻き取り張力を10N/mとした以外は、実施例1と同様の条件で有機EL素子3を作製した。
Example 3
An organic EL device 3 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the winding tension was 10 N / m.

≪実施例4≫
巻き取り張力を8N/mとした以外は、実施例1と同様の条件で有機EL素子4を作製した。
Example 4
An organic EL element 4 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the winding tension was 8 N / m.

≪実施例5≫
巻き取り張力を200N/mとした以外は、実施例1と同様の条件で有機EL素子5を作製した。
Example 5
An organic EL element 5 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the winding tension was 200 N / m.

≪実施例6≫
巻き取り張力を300N/mとした以外は、実施例1と同様の条件で有機EL素子6を作製した。
Example 6
An organic EL element 6 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the winding tension was 300 N / m.

≪比較例1≫
実施例1と同様の条件で有機EL構造体と封止材を貼合して多層基板を形成し、貼合部から排出した後、巻き取り工程を行わず、貼合工程を行ったチャンバー内で実施例1と同様の条件で硬化処理を行った。硬化処理後、硬化処理を行ったチャンバー内で実施例2と同様の条件で多層基板を巻き取った。その後、チャンバーから、巻き取られた多層基板を取り出し、実施例1と同様の条件で長尺の多層基板を断裁して、各有機EL素子7を製造した。
≪Comparative example 1≫
In the chamber in which the organic EL structure and the sealing material were bonded under the same conditions as in Example 1 to form a multilayer substrate, and after discharging from the bonding part, the winding process was not performed and the bonding process was performed. The curing treatment was performed under the same conditions as in Example 1. After the curing treatment, the multilayer substrate was wound up under the same conditions as in Example 2 in the chamber subjected to the curing treatment. Thereafter, the wound multilayer substrate was taken out of the chamber, and the long multilayer substrate was cut under the same conditions as in Example 1 to manufacture each organic EL element 7.

≪比較例2≫
硬化処理後の巻き取り張力を10N/mとした以外は、比較例3と同様の条件で有機EL素子8を作製した。
≪Comparative example 2≫
An organic EL element 8 was produced under the same conditions as in Comparative Example 3, except that the winding tension after the curing treatment was 10 N / m.

[評価]
各々の有機EL素子を、雰囲気温度85℃、雰囲気湿度85%に維持された恒温恒湿機(エスペック製、PHP−3型)内に500時間放置し、その前後で、水分の影響により生じる有機ELの発光欠点距離を測定して、封止幅2mmの有機EL封止構造体における、素子基板と封止部材の間を伝わって浸入する水分の浸入具合、封止性能を評価した。
[Evaluation]
Each organic EL element is allowed to stand for 500 hours in a thermo-hygrostat (manufactured by ESPEC, PHP-3 type) maintained at an atmospheric temperature of 85 ° C. and an atmospheric humidity of 85%. The light emission defect distance of EL was measured, and the penetration of moisture that penetrates between the element substrate and the sealing member and the sealing performance in the organic EL sealing structure having a sealing width of 2 mm were evaluated.

評価ランク
◎:1mm以上の発光欠点の発生する確率10%未満
○:1mm以上の発光欠点の発生する確率10%以上20%未満
×:1mm以上の発光欠点の発生する確率20%以上
[評価]
接着剤の硬化処理後の各々の有機EL素子において、接着剤が硬化していない状態で多層基板を巻き取った際に生じる封止材の剥離、および巻き取りによりの押圧により生じる圧痕の欠陥発生確率を評価した。
Evaluation rank ◎: Probability of occurrence of light emission defects of 1 mm or more Less than 10% ○ Probability of occurrence of light emission defects of 1 mm or more 10% or more but less than 20% × Probability of occurrence of light emission defects of 1 mm or more 20% or more [Evaluation]
In each organic EL element after the adhesive curing process, the occurrence of indentation defects caused by the peeling of the sealing material that occurs when the multilayer substrate is wound up in a state where the adhesive is not cured, and the pressure due to the winding up Probability was evaluated.

評価ランク
◎:欠陥発生率1未満%
○:欠陥発生率1%以上〜3%未満
×:欠陥発生率3%以上
[評価]
真空圧10Pa以下のチャンバーから、巻き取られた多層基板を取り出す際に、多層基板の巻きずれを評価した。巻きずれは、巻き取り方向に垂直な多層基板の幅の1/2部分を初期の巻き取り中心として巻き取り、巻き取り中心から実際に巻き取られた多層基板の端部までの距離を計測し、理想値(巻き取り方向に垂直な多層基板の幅を1/2した値)からのずれを評価した。
Evaluation rank A: Defect occurrence rate less than 1%
○: Defect occurrence rate 1% to less than 3% ×: Defect occurrence rate 3% or more [Evaluation]
When taking out the wound multilayer substrate from the chamber having a vacuum pressure of 10 Pa or less, the winding deviation of the multilayer substrate was evaluated. Winding deviation is measured by taking the half of the width of the multilayer substrate perpendicular to the winding direction as the initial winding center, and measuring the distance from the winding center to the end of the multilayer substrate actually wound. The deviation from the ideal value (a value obtained by halving the width of the multilayer substrate perpendicular to the winding direction) was evaluated.

評価ランク
◎:巻きずれ0.5mm未満
○:巻きずれ0.5mm以上〜1mm未満
△:巻きずれ1mm以上〜3mm未満
×:巻きずれ3mm以上

Figure 0006213254
Evaluation rank ◎: Winding deviation less than 0.5 mm ○: Winding deviation 0.5 mm to less than 1 mm △: Winding deviation 1 mm to less than 3 mm ×: Winding deviation 3 mm or more
Figure 0006213254

100N/m以下で巻き取った有機EL素子1〜6は、真空圧下において接着剤が硬化していない状態で多層基板を巻き取った時、発光欠点の発生および剥離や圧痕等の欠陥発生や巻きずれが抑制され、安定した有機EL素子性能、有機EL素子品質が得られることが確認された。   When the organic EL elements 1 to 6 wound at 100 N / m or less are wound on the multilayer substrate in a state where the adhesive is not cured under vacuum pressure, the occurrence of light emitting defects and the occurrence of defects such as peeling and indentation and winding It was confirmed that deviation was suppressed and stable organic EL element performance and organic EL element quality were obtained.

接着剤の硬化処理を行った後に真空チャンバー内で多層基板を巻き取った有機EL素子7と8は、発光欠点および欠陥の発生が確認された。本発明の有効性が確認された。   It was confirmed that the organic EL elements 7 and 8 in which the multilayer substrate was wound up in the vacuum chamber after curing the adhesive were caused to emit light defects and defects. The effectiveness of the present invention was confirmed.

1 有機EL素子
2 有機EL構造体
3 封止材
11 第1電極
12 有機機能層
13 第2電極
14 接着剤層
15 封止部材
16 素子基板
17 セパレータフィルム
20 第1繰り出し部
21 第1繰り出しロール
22 第1ガイドローラー
23 第2繰り出し部
24 第2繰り出しロール
25 第2ガイドローラー
26 有機EL構造体形成部
27 貼合部
28 貼合ローラー
29 多層基板
30 巻き取り部
31 巻き取りガイドローラー
32 巻き取りロール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL element 2 Organic EL structure 3 Sealing material 11 1st electrode 12 Organic functional layer 13 2nd electrode 14 Adhesive layer 15 Sealing member 16 Element board | substrate 17 Separator film 20 1st delivery part 21 1st delivery roll 22 1st guide roller 23 2nd feeding part 24 2nd feeding roll 25 2nd guide roller 26 Organic EL structure forming part 27 Laminating part 28 Laminating roller 29 Multilayer substrate 30 Winding part 31 Winding guide roller 32 Winding roll

Claims (2)

ロールtoロール方式を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、真空チャンバー内で、
長尺な可撓性の基板上に少なくとも封止部材及び接着剤層の順で形成された封止材と、
長尺な素子基板上に少なくとも陽極、有機機能層及び陰極が形成された有機エレクトロルミネッセンス構造体と、を貼合した後、
貼合された前記封止材と前記有機エレクトロルミネッセンス構造体とを巻き取り、
その後、前記真空チャンバーの外で、前記接着剤層を硬化させることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the manufacturing method of an organic electroluminescence device using the roll-to-roll method, in vacuum Ji Yanba,
A sealing material formed on a long flexible substrate in the order of at least a sealing member and an adhesive layer;
After laminating at least the anode, the organic functional layer and the organic electroluminescent structure formed on the long element substrate,
Ri preparative winding and pasted the said sealing material and said organic electroluminescent structure,
Then, the said adhesive bond layer is hardened outside the said vacuum chamber, The manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by the above-mentioned .
前記巻き取りは、100N/m以下の張力で行うことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the winding is performed with a tension of 100 N / m or less.
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