JP6211883B2 - 超音波探傷装置及びその探傷ヘッド - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、超音波探傷試験を行うための超音波探傷装置に関し、特に、試験体の探傷面に接して超音波の送受信を行う探触子を複数有する装置に関する。

圧力容器や配管等、試験の対象である試験体の内部に存在する「きず（flaw）」を調べる非破壊試験には、試験体に超音波を伝搬させたときに当該試験体が示す音響的性質を利用するもの、いわゆる超音波探傷試験（ＵＴ：ultrasonic testing）がある。超音波探傷試験を行うための超音波探傷装置は、通常、試験体の探傷面（scanning surface）に接して超音波の送受信を行う機器、いわゆる探触子（probe）を有している。探触子は、通常、電気エネルギと音響エネルギとを相互に変換可能な能動素子である振動子（transducer）を、１個又は複数有している。

このような探触子には、様々な種類のものがある。例えば、下記の特許文献１には、振動子が多数配列されており異なった位相で各振動子が独立して作動可能なもの、いわゆるフェイズドアレイ探触子（phased array probe）や、送信用振動子と受信用振動子が音響的に隔離されて１個のケース内に設けられている、いわゆる二振動子探触子（double transducer probe）が開示されている。

特開２００９−１８６４８９号公報

上述した超音波探傷装置により、圧力容器や配管等を検査する場合、屈折角の異なる複数の探触子を有する装置が用いられることがある。様々な形状の探傷面に対応するためには、屈折角の異なる探触子を替えながら探傷する手法に加えて、屈折角の異なる複数の探触子（probe）が一つのホルダ内に組み込まれた部材（以下、探傷ヘッドと記す）を用いる手法が考えられる。複数の探触子を備える超音波探傷装置においては、各探触子を保持する機構に、各探触子が独立して傾くことを可能にする機構、例えばジンバル機構を用いることで、圧力容器や配管等の湾曲した探傷面に対しても、各探触子を良好に接触させることが可能となる。

しかし、このような機構を設けると、探触子の周辺構造が複雑となってホルダが大型化してしまい、探傷ヘッドの適用可能な探傷面の形状が限られるという問題が生じる。また、探傷面に凹凸がある場合、探傷面と探触子の接触面との間において部分的に空隙が生じることがある。このような空隙が生じると、探触子が受信する波形が乱れてしまい、精度の高いデータを得られない場合がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、様々な形状の探傷面に対して各探触子の接触面を良好に接触させることが可能な超音波探傷装置及び探傷ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の実施形態の超音波探傷装置は、試験体の探傷面に接触面を接触させて超音波の送受信を行う複数の探触子と、複数の探触子を保持するホルダと、を備え、各探触子が、弾性変形可能な弾性部材を介して前記ホルダに結合されている探傷ヘッドを有し、前記弾性部材は、内部を液体が流通可能な連続気泡構造をなしており、前記ホルダには、前記弾性部材に液体を流す液体通路が形成されており、当該液体通路からの液体を、前記弾性部材の内部の気泡を通して前記探傷面に供給することを特徴とする。

また、本発明の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドは、試験体の探傷面に接触面を接触させて超音波の送受信を行う複数の探触子と、複数の探触子を保持するホルダと、を備え、各探触子は、弾性変形可能な弾性部材を介して前記ホルダに結合されており、前記弾性部材は、内部を液体が流通可能な連続気泡構造をなしており、前記ホルダには、前記弾性部材に液体を流す液体通路が形成されており、当該液体通路からの液体を、前記弾性部材の内部の気泡を通して前記探傷面に供給することを特徴とする。

本発明の実施形態によれば、弾性部材が弾性変形することにより、各探触子の接触面を、それぞれ探傷面に沿って独立して傾けて、探傷面と各接触面との間に空隙が形成されることを抑制することができる。

第１の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの断面図であり、図２のＩ−Ｉ線による断面図である。 第１の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドを接触面から見た底面図である。 第１の実施形態の超音波探傷装置が有する探触子の一例を示す断面図である。 第１の実施形態の探傷ヘッドのうち垂直探触子の周辺構造を示す部分断面図である。 第１の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの断面図であり、弾性部材の弾性変形により、探触子の接触面が、それぞれ独立して傾いた状態を示す図である。 第１の実施形態の超音波探傷装置の全体構成を示す模式図であり、試験体が管状をなしている例を示している。 第２の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの側面図であり、ホルダが撓む前の状態を示している。 第２の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの側面図であり、ホルダが撓んだ状態を示している。

以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態により、本発明が限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

〔第１の実施形態〕
第１の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの構成について、図１〜図３を用いて説明する。図１は、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの断面図である。なお、図１は、図２のＩ−Ｉ線による断面図であり、平面状の探傷面に各探触子の接触面を接触させた状態を示している。図２は、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドを接触面から見た底面図である。図３は、本実施形態の超音波探傷装置が有する探触子の一例を示す断面図である。図４は、本実施形態の探傷ヘッドのうち垂直探触子の周辺構造を示す部分断面図である。図５は、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの断面図であり、弾性部材の弾性変形により、探触子の接触面が、それぞれ独立して傾いた状態を示す図である。

図１に示すように、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッド１１は、複数の探触子２０，２１と、これら探触子２０，２１を保持する部材（以下、ホルダと記す）３０とを有している。探触子２０，２１は、弾性変形可能な部材（以下、弾性部材と記す）４０を介してホルダ３０に結合されている。本実施形態において、ホルダ３０は、金属や合成樹脂等により剛体として構成されている。ホルダ３０は、弾性部材４０を介して探触子２０，２１を保持する。

なお、以下の説明において、探触子２０，２１のうち、試験体１の探傷面３と接触する面を「接触面」と記し、ホルダ３０のうち探傷面３と対向する面を「対向面」と記す。ホルダ３０及び弾性部材４０の詳細な構成については、後述する。なお、探傷面３に垂直な方向を、以下に「法線方向」と記し、図１に矢印Ｎで示す。

図１及び図２に示すように、本実施形態において、探傷ヘッド１１は、試験体１の探傷面３に対して垂直に超音波を伝搬させる垂直探触子（normal probe）として構成された探触子２０を１個有している。この探触子２０は、ホルダ３０の対向面３３の略中央に配置されている。

加えて、探傷ヘッド１１は、法線方向に対して所定の屈折角（angle of refraction）を付けた方向に超音波を伝搬させる斜角探触子（angle probe）として構成された探触子２１を４個有している。これら探触子２１は、図２に示すように、ホルダ３０の対向面３３の四隅に配置されている。

なお、探触子２０，２１のうち試験体１の探傷面３と接する面を、以下に「接触面」と記して符号２２で示す。一方、探触子２０のうち接触面２２とは反対側を構成する面を、以下に「探触子背面」と記して符号２８で示す。

以下、垂直探触子である探触子２０を例として、その内部構造を説明する。探触子２０は、図３に示すように、電気エネルギと音響エネルギとを相互に変換可能な能動素子である振動子２４と、振動子２４の背面側（図に矢印Ｂで示す）に設けられた振動子背面材（transducer backing）２５と、振動子２４を保護するための薄い層状の部材（以下、保護材と記す）２６とを有している。さらに、本実施形態においては、振動子２４及び振動子背面材２５を収容する金属製のケース２７を有している。

振動子２４は、図示しない配線等を介して後述するコントローラ８０（図６参照）に電気的に接続されている。振動子２４は、コントローラ８０により制御されて超音波パルス（送信パルス）を送信する。加えて、振動子２４は、試験体１の内部にある「きず」により反射された超音波パルス（受信パルス）を受信する。受信された受信パルスは、振動子２４により電気信号に変換されてコントローラ８０に送出される。なお、振動子２４には、圧電素子やピエゾ素子を用いることができる。

振動子背面材２５は、超音波の伝搬を減衰可能な吸音材として構成されている。振動子背面材２５は、合成樹脂等で構成されている。なお、振動子背面材２５は、弾性変形可能な材料、例えば、エラストマーで構成することも可能である。

保護材２６は、探触子２０のうち振動子２５より試験体１側（図に矢印Ａで示す）を構成している。保護材２６は、アクリル樹脂やポリイミド樹脂等で構成されている。保護材２６のうち振動子２４とは反対側の面が、探傷面３と接触する接触面２２である。接触面２２は、平面状をなしており、その寸法は、本実施形態において１０×１０ｍｍとなっている。なお、接触面２２の寸法は、５×５ｍｍや２０×２０ｍｍであるものとしても良い。

以上に説明した探触子２０は、弾性部材４０を介してホルダ３０に結合される。図４に示すように、ホルダ３０には、対向面３３から探触子背面２８側（図に矢印Ｂで示す）に凹むリセス（recess）が形成されている。なお、当該リセスのうち矢印Ｂで示す探触子背面２８側の底面を、以下に「リセス底面」と記して符号３５で示す。また、当該リセスのうち探傷面３に直交する方向に延びている側面を、以下に「リセス側面」と記して符号３６で示す。

本実施形態において、弾性部材４０は、図４に示すように、リセス底面３５及びリセス側面３６に沿って接合されている。加えて、弾性部材４０のうち探傷面３と対向する面（以下、単に「端面」と記す）４１は、ホルダ３０の対向面３３と連続するように構成されている。

弾性部材４０は、常温付近で弾性を示す高分子材料、いわゆるエラストマーで構成されており、より具体的には、ポリウレタン（いわゆるウレタンゴム）で構成されている。加えて、弾性部材４０は、連続気泡構造（いわゆるスポンジ状）をなしており、内部を液体が流通可能に構成されている。なお、弾性部材４０の内部を流通する液体には、水や油、グリセリン等が用いられる。探触子２０は、弾性部材４０の内側に挿入されて接合される。

以上のようにして、探触子２０は、弾性部材４０を介してホルダ３０に結合されている。探触子２０のうち、接触面２２を含む保護材２６は、対向面３３より試験体１側に突出しており、探傷面３と接触可能となっている。

次に、弾性部材４０が弾性変形していない場合の探傷ヘッド１１の詳細な構造について、図１〜図４を用いて説明する。

図４に示すように、探触子２０の接触面２２は、ホルダ３０の対向面３３と平行に延びている。加えて、接触面２２は、対向面３３に比べて探傷面３側に所定の距離（図４に寸法Ｃで示す）突出している。また、探触子２０は、接触面２２の外縁２２ｅから走査方向（図４に矢印Ｓで示す）外側に向かうに従って、探傷面３との距離が大きくなるよう構成された面（以下、傾斜面と記す）２９が形成されている。傾斜面２９は。接触面２２の外縁２２ｅから弾性部材４０の端面４１の走査方向内側の縁４１ａに向けて延びている。

弾性部材４０の端面４１と、ホルダ３０の対向面３３は、連続しており、且つ接触面２２と平行に延びている。接触面２２は、対向面３３及び端面４１から探傷面３側に０．３〜１．０ｍｍ（図４に寸法Ｃで示す）突出するよう構成されている。

加えて、ホルダ３０には、弾性部材４０に向けて上述した液体を流す通路（以下、液体通路と記す）３７が形成されている。液体通路３７から弾性部材４０に供給された液体は、当該弾性部材４０内の気泡を通って端面４１に向けて流れる。液体通路３７は、液体供給口３８から液体の供給を受ける。液体通路３７からの液体は、弾性部材４０の端面４１から探傷面３上に流出し、当該探傷面３上に液体の膜を形成する。接触面２２は、対向面３３及び端面４１にから０．３〜１．０ｍｍ（図４に寸法Ｃで示す）突出していることにより、探傷面３上に良好に液体の膜を形成することができ、探傷面３と接触面２２との間に空隙ができることを抑制することができる。なお、１．０ｍｍを超える場合は、探傷面３上に良好に液体の膜を形成することが困難となる。また、０．３ｍｍ未満である場合には、弾性部材４０の僅かな弾性変形により対向面３３と探傷面３が接触してしまい、接触面２２を探傷面３に沿って十分に傾けることが困難となる。

以上、探触子２０の内部構造について説明した。なお、斜角探触子である探触子２１については、所定の屈折角（angle of refraction）が付くよう振動子２４が配置されている点を除けば、垂直探触子である探触子２０と略共通の構成を有しているため、詳細な説明を省略する。

なお、ホルダ３０に４個ある探触子２１は、それぞれ異なる方向に超音波が試験体１内を伝搬されるよう、屈折角が設定されている。図１及び図２に示すように、１個の探触子２０と、４個の探触子２１は、それぞれ、弾性部材４０を介してホルダ３０に結合されている。

加えて、ホルダ３０内には、各探触子２０，２１に対応して液体通路３７が形成されている。各液体通路３７は、共通の液体供給口３８から液体の供給を受ける。液体供給口３８には、後述するタンク７０（図６参照）から液体が供給される。

以上のように構成された探傷ヘッド１１は、図５に示すように、凹凸を有する探傷面３に押し付けられると、各探触子２０，２１にそれぞれ対応して設けられた弾性部材４０が弾性変形する。これにより、各探触子２０，２１の接触面２２は、それぞれ接触する探傷面３に沿って独立して傾くことが可能となっている。各接触面２２と探傷面３との間にある空間には、各弾性部材４０の端面４１から液体が供給される。これにより、探傷面３と各接触面２２との間に空隙が形成されることを抑制することができる。

探傷ヘッド１１は、超音波探傷装置１０を構成している。以下に、超音波探傷装置の全体構成の一例について、図１〜図６を用いて説明する。図６は、本実施形態の超音波探傷装置の全体構成を示す模式図である。

なお、図６に示す例において、試験体１は、管状をなしており、探傷面３は、試験体１の外周面である。管状をなす試験体１の軸心を一点鎖線Ｅで示す。以下の説明において、当該軸心に沿う方向を単に「軸方向」と記す。また、当該軸心と直交する方向を単に「径方向」と記す。また、当該軸心を中心とする探傷面３に沿う方向を単に「周方向」と記す。

超音波探傷装置１０は、探傷ヘッド１１を駆動するための機構（以下、駆動機構と記す）６０を有している。駆動機構６０は、探傷面３に沿って試験体１の周方向に延びている第１ガイドレール６１と、第１ガイドレール６１上を移動可能に構成された可動ベース６３と、探傷ヘッド１１が結合されており、可動ベース６３に対して軸方向に移動可能に構成された第２ガイドレール６２とを有している。第１ガイドレール６１には、第１ラック６１ａが設けられており、第２ガイドレール６２には、第２ラック６２ａが設けられている。

可動ベース６３は、第１ラック６１ａと係合するピニオン６５ａを駆動する第１モータ６５と、第２ラック６２ａと係合するピニオン６６ａを駆動する第２モータ６６とを有している。第１モータ６５及び第２モータ６６には、電力を機械的動力に変換する電気モータが用いられている。第１モータ６５が駆動するピニオン６５ａの回転角位置と、第２モータ６６が駆動するピニオン６６ａの回転角位置は、コントローラ８０により制御される。

駆動機構６０は、第１モータ６５がピニオン６５ａを回転駆動することにより、可動ベース６３及び探傷ヘッド１１を、第１ガイドレール６１に沿って試験体１の周方向に移動させることが可能となっている。加えて、第２モータ６６がピニオン６６ａを回転駆動することにより、可動ベース６３に対して探傷ヘッド１１を試験体１の軸方向に移動させることが可能となっている。

超音波探傷装置１０において、コントローラ８０が第１モータ６５及び第２モータ６６を制御することにより、探傷ヘッド１１を機械的かつ自動的に駆動することが可能となっている。

また、超音波探傷装置１０は、探傷ヘッド１１に供給される液体を貯蔵するタンク７０と、タンク７０にある液体を探傷ヘッド１１に向けて圧送するポンプ７２と、ポンプ７２から探傷ヘッド１１に流れる液体の流量を制御する制御弁７４とを有している。ポンプ７２の作動／非作動、及び制御弁７４の開弁／閉弁は、コントローラ８０により制御される。

コントローラ８０は、ポンプ７２を作動させると共に制御弁７４を開弁させて、タンク７０からの液体を探傷ヘッド１１の液体通路３７（図４参照）に供給して、探傷面３のうち探傷ヘッド１１が位置している部位において液体の膜を形成させる。このように液体の膜を形成した状態で、コントローラ８０は、探触子２０，２１に超音波パルス（送信パルス）をそれぞれ発生させる。そして、探触子２０，２１は、試験体１の「きず」等から反射されたパルス、いわゆるエコーをそれぞれ受信する。コントローラ８０は、探触子２０，２１から当該エコーに係る信号をそれぞれ受けて、これらを記録する。

そして、コントローラ８０は、第１モータ６１及び第２モータ６２が制御して、探傷ヘッド１１の位置を所定の走査方向に変位させる。以上の動作を繰り返し行うことにより、超音波探傷装置１０は、探傷面３のうち所定の走査範囲について超音波探傷試験を行うことができる。

以上に説明したように本実施形態の超音波探傷装置１０は、試験体１の探傷面３に接触面２２を接触させて超音波の送受信を行う複数の探触子２０，２１と、これら探触子２０，２１を保持するホルダ３０とを有している。各探触子２０，２１は、弾性変形可能な弾性部材４０を介してホルダ３０に結合されている。弾性部材４０が弾性変形することにより、各探触子２０，２１の接触面２２を、それぞれ探傷面３に沿って独立して傾けることができ、探傷面３と各接触面２２との間に空隙が形成されることを抑制することができる。様々な形状の探傷面に対して各探触子の接触面を良好に接触させることが可能な探傷ヘッドを、簡素な構成により実現することができる。

また、本実施形態において、弾性部材４０は、エラストマーで構成されているものとした。複雑な機構を用いることなく簡素な構成により各探触子２０，２１とホルダ３０との間で弾性変形する構造を実現することができる。また、探触子２０，２１等に不具合が生じた場合には、探触子２０，２１を取り外し、弾性部材４０をホルダ３０のリセスから除去することにより、探触子２０，２１を容易に交換することができる。

なお、上述した実施形態において、弾性部材４０は、エラストマーで構成されているものとしたが、本発明に係る弾性部材の態様は、これに限定されるものではない。例えば、探触子２０，２１の探触子背面２８と、ホルダ３０のリセス底面３５との間に、板ばね等のばね要素を設けることも好適である。この態様によっても、各探触子２０，２１の接触面２２を、それぞれ探傷面３に沿って独立して傾けることができる。

また、本実施形態において、弾性部材４０は、内部を液体が流通可能な連続気泡構造をなしており、且つホルダ３０には、弾性部材４０に液体を流す液体通路３７が形成されている。超音波探傷装置１０は、液体通路３７からの液体を、弾性部材４０の内部の気泡を通して探傷面３に供給する。これにより、探触子２０，２１の近傍から探傷面３に向けて液体を供給して液体の膜を形成し、探傷面３と各接触面２２との間に空隙が形成されることを抑制することができる。これにより、試験体１に液体を事前に塗布する必要がない。

なお、本実施形態において、弾性部材４０は、ホルダ３０に形成されたリセス底面３５及びリセス側面３６に沿って設けられているものとしたが、本発明に係る弾性部材の態様は、これに限定されるものではない。例えば、弾性部材は、リセス底面３５と探触子背面２８との間にのみ配置するものとしても良い。

また、本実施形態において、接触面２２は、ホルダ３０のうち探傷面３と対向する対向面３３と平行に延びており、且つ当該対向面３３から探傷面３側に突出しているものとした。探傷面３と対向面３３との隙間において水膜を形成しつつ、接触面２２を良好に探傷面３に接触させることができる。

また、本実施形態において、各探触子２０，２１には、接触面２２の外縁２２ｅから走査方向外側に向かうに従って探傷面３との距離が大きくなるよう構成された傾斜面２９が形成されているものとした。微細な凹凸を有する探傷面３上を探傷ヘッド１１が所定の走査方向に移動しているときに、各探触子２０，２１が、探傷面３の凹凸に引っかかってしまうことを抑制することができる。

なお、本実施形態において、探触子２０，２１は、超音波パルスを送受信可能な振動子２４をそれぞれ１個有しているものとしたが、本発明に係る探触子の態様は、これに限定されるものではない。本発明に係る探触子は、送信用の振動子と、受信用の振動子との２つの振動子を備える二振動子探触子であるものとしても良い。

また、本実施形態において、探触子２０，２１は、振動子２４及び振動子背面材２５を収容する金属製のケース２７を有するものとしたが、本発明に係る探触子の態様は、これに限定されるものではない。本発明に係る探触子は、ケース２７を有しておらず、探触子２０，２１のうち振動子背面材２５が、弾性部材４０と接合されているものとしても良い。なお、振動子背面材２５を、エラストマーで構成して、弾性変形させることも好適である。

また、本実施形態において、ホルダ３０は、剛体として構成されているものとしたが、本発明に係るホルダの態様は、これに限定されるものではない。ホルダ自体が弾性変形するよう構成されることも好適であり、以下にその一例について説明する。

〔第２の実施形態〕
第２の実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの構成について、図７及び図８を用いて説明する。図７は、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの側面図であり、ホルダが撓む前の状態を示している。図８は、本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドの側面図であり、ホルダが撓んだ状態を示している。本実施形態の超音波探傷装置の探傷ヘッドは、弾性変形により前記探傷面に沿って撓むよう構成されている点で、第１の実施形態と異なっている。第１実施形態と略共通の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

図７及び図８に示すように、本実施形態の探傷ヘッド１１Ｂにおいて、ホルダ３０Ｂは、弾性変形するよう構成されている。ホルダ３０Ｂは、例えば、エラストマーで構成することができる。探傷ヘッド１１Ｂを試験体１にむけて押し当てると、ホルダ３０Ｂが撓んで、図８に示すように、各探触子２０，２１の接触面２２が、それぞれ探傷面３に接触する。このように探傷ヘッド１１Ｂを構成することにより、探傷面３の曲率が比較的大きい試験体１であっても、各探触子２０，２１の接触面２２を、それぞれ良好に探傷面３に接触させることができる。

以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態はその他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１ 試験体
３ 探傷面
１０ 超音波探傷装置
１１，１１Ｂ 探傷ヘッド
２０ 探触子（垂直探触子）
２１ 探触子（斜角探触子）
２２ 接触面
２２ｅ 外縁
２４ 振動子
２５ 振動子背面材
２６ 保護材
２７ ケース
２８ 探触子背面
２９ 傾斜面
３０，３０Ｂ ホルダ
３３ 対向面
３５ リセス底面
３６ リセス側面
３７ 液体通路
３８ 液体供給口
４０ 弾性部材（エラストマー）
４１ 端面
４１ａ 縁
６０ 駆動機構
６１ 第１ガイドレール（駆動機構）
６２ 第２ガイドレール（駆動機構）
６３ 可動ベース（駆動機構）
６５ 第１モータ（駆動機構）
６６ 第２モータ（駆動機構）
７０ タンク
７２ ポンプ
７４ 制御弁
８０ コントローラ

Claims (8)

1. 試験体の探傷面に接触面を接触させて超音波の送受信を行う複数の探触子と、
   複数の探触子を保持するホルダと、
   を備え、各探触子が、弾性変形可能な弾性部材を介して前記ホルダに結合されている探傷ヘッドを有し、
   前記弾性部材は、内部を液体が流通可能な連続気泡構造をなしており、
   前記ホルダには、前記弾性部材に液体を流す液体通路が形成されており、
   当該液体通路からの液体を、前記弾性部材の内部の気泡を通して前記探傷面に供給することを特徴とする超音波探傷装置。
2. 前記弾性部材は、エラストマーで構成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の超音波探傷装置。
3. 前記ホルダは、弾性変形により前記探傷面に沿って撓むよう構成されている
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波探傷装置。
4. 前記接触面は、前記ホルダのうち前記探傷面と対向する面である対向面と平行に延びており、且つ当該対向面から前記探傷面側に突出している
   ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の超音波探傷装置。
5. 前記接触面は、前記対向面から前記探傷面側に０．３〜１．０ｍｍ突出している
   ことを特徴とする請求項４に記載の超音波探傷装置。
6. 各探触子には、前記接触面の外縁から走査方向外側に向かうに従って前記探傷面との距離が大きくなるよう構成された傾斜面が形成されている
   ことを特徴とする請求項５に記載の超音波探傷装置。
7. 前記探傷ヘッドを駆動する駆動機構と、
   当該駆動機構を制御するコントローラと、
   をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の超音波探傷装置。
8. 試験体の探傷面に接触面を接触させて超音波の送受信を行う複数の探触子と、
   複数の探触子を保持するホルダと、
   を備え、
   各探触子は、弾性変形可能な弾性部材を介して前記ホルダに結合されており、
   前記弾性部材は、内部を液体が流通可能な連続気泡構造をなしており、
   前記ホルダには、前記弾性部材に液体を流す液体通路が形成されており、
   当該液体通路からの液体を、前記弾性部材の内部の気泡を通して前記探傷面に供給する
   ことを特徴とする超音波探傷装置の探傷ヘッド。

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