JP6201424B2 - 移動機構、アクチュエーター、および搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、移動機構、アクチュエーターおよび搬送装置に関する。

例えば、第１の位置にある被搬送物をつまみ上げ、第２の位置まで移送し、その第２の位置に被搬送物を下ろす一連の作業（ピックアンドプレース作業とも言う）を行う搬送装置が知られている。この搬送装置としては、例えば、移動体が被搬送物を保持した状態で単軸に沿って移動する搬送装置等が挙げられる。

このような搬送装置は、例えば、被搬送物を保持する移動体、この移動体を移動させる駆動機構、この駆動機構を駆動させる駆動源、および移動体の位置および移動経路を規制する案内機構等を備えている。ここで、移動体としては、例えば、スライダーおよびテーブル等が採用される。駆動機構としては、例えば、ボール螺子およびベルト等が採用される。駆動源としては、例えば、電気モーター等が採用される。案内機構としては、例えば、一方向に伸びる案内機構等が採用され得る。そして、案内機構によって、図５８の矢印で示される、移動方向Ｄｘおよび移動方向Ｄｘに直交する２方向Ｄｙ，Ｄｚならびに３方向Ｄｘ，Ｄｙ，Ｄｚに沿った仮想的な回転軸を中心とする３つの回転方向ＲＤｘ〜ＲＤｚにおける移動体の位置精度が決定される。

このような案内機構を有する搬送装置として、例えば、案内機構としての直線状のレールの溝と、移動体に設けられた直線状の溝との間にボールが転動可能に収容された直動案内装置が提案されている（例えば、特許文献１等）。この技術によれば、移動体と案内機構との隙間が小さく、移動体の位置精度が高まり得る。また、テーパーピンが、垂直方向に移動されて、移動体としての物体のピン受け部に嵌合されることで、移動後の移動体の位置決めが精度良く行われる位置決め装置が提案されている（例えば、特許文献２等）。

特開平６−２７２７１３号公報 特開平６−１４４５６０号公報

ところで、ピックアンドプレース作業等を行う搬送装置では、移動体を停止すべき位置が２ヵ所以上の特定位置に限定される場合が一般的である。なお、２ヵ所以上の特定位置は、例えば、案内機構に沿って移動体が移動可能な範囲（移動可能範囲とも言う）の両端近傍の２ヵ所である場合が挙げられる。

しかしながら、上記特許文献１の技術では、移動体と案内機構との相対的な位置関係に拘わらず、移動可能範囲の全域に渡って、移動体と案内機構との間に常に略一定の大きな摩擦力と摩擦熱が発生する。これにより、移動体の高速移動が阻害され得る。また、上記特許文献２の技術では、移動体が、テーパーピンが設けられている特定の位置でのみ精度良く位置決められる。このため、搬送装置が設置される状況等に合わせて、移動体を精度良く停止させる位置を微調整することができない。すなわち、上記特許文献１，２の技術では、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体が停止する位置（停止位置とも言う）を高精度に調整することが難しい。

このような問題は、移動体を移動させる移動機構一般、該移動機構を含むアクチュエーター一般および該アクチュエーターを含む搬送装置一般にそれぞれ共通する。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することができる移動機構、アクチュエーターおよび搬送装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、第１の態様に係る移動機構は、移動体と、予め設定されている移動経路に沿って前記移動体を移動させる駆動機構と、前記移動経路を構成する１以上の第１区間および該１以上の第１区間とは異なる１以上の第２区間のうちの前記１以上の第１区間のみに沿って配されており、該第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記移動経路と交差する交差方向における前記移動体の動きを規制するとともに、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に摩擦力を生じさせることで、前記移動体に対して前記移動経路に沿った移動方向とは反対方向に制動力を付与する制動部と、前記移動経路に沿って配されており、前記移動経路に沿った前記移動体の移動を案内するとともに、前記交差方向における前記移動体の動きを規制する案内部と、を備え、前記制動部が、前記移動経路のうちの前記第２区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記案内部と前記移動体との間に生じる第１摩擦力よりも大きな第２摩擦力を、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に生じさせることで、前記移動体に対して前記制動力を付与し、前記第１区間において前記制動部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第１許容量が、前記第２区間において前記案内部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第２許容量よりも小さく、前記移動体が、前記案内部が前記移動方向に貫通する貫通孔を有しており、前記制動部が、前記案内部上の領域および前記移動方向における前記案内部の端部に接する領域のうちの少なくとも一方の領域に配されている。
第２の態様に係る移動機構は、移動体と、予め設定されている移動経路に沿って前記移動体を移動させる駆動機構と、前記移動経路を構成する１以上の第１区間および該１以上の第１区間とは異なる１以上の第２区間のうちの前記１以上の第１区間のみに沿って配されており、該第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記移動経路と交差する交差方向における前記移動体の動きを規制するとともに、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に摩擦力を生じさせることで、前記移動体に対して前記移動経路に沿った移動方向とは反対方向に制動力を付与する制動部と、を備え、前記制動部が、前記移動経路と交差する２以上の交差方向における前記移動体の動きを規制する。

第３の態様に係る移動機構は、第２の態様に係る移動機構であって、前記移動経路に沿って配されており、前記移動経路に沿った前記移動体の移動を案内するとともに、前記交差方向における前記移動体の動きを規制する案内部を更に備え、前記制動部が、前記移動経路のうちの前記第２区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記案内部と前記移動体との間に生じる第１摩擦力よりも大きな第２摩擦力を、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に生じさせることで、前記移動体に対して前記制動力を付与し、前記第１区間において前記制動部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第１許容量が、前記第２区間において前記案内部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第２許容量よりも小さい。

第４の態様に係る移動機構は、第１から第３の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動方向に延在し且つ前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分が位置する方向に開口を有する凹部を有し、前記他方の部分が、前記移動方向に延在する凸部を有しており、前記第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に、前記凹部に前記凸部が嵌合することで前記交差方向における前記移動体の動きが規制されるとともに、前記凹部と前記凸部との間に摩擦力が生じることで前記制動部によって前記移動体に対して前記反対方向に前記制動力が付与される。

第５の態様に係る移動機構は、第４の態様に係る移動機構であって、前記凹部が凹んでいる凹方向および前記凸部が突起している凸方向は、前記移動方向および前記交差方向の少なくとも１つの方向を含む。

第６の態様に係る移動機構は、第１から第５の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分に対して、前記交差方向に押圧力を付与する。

第７の態様に係る移動機構は、第６の態様に係る移動機構であって、前記制動部が、前記移動体に対して前記交差方向に押圧力を付与する押圧部を有する。

第８の態様に係る移動機構は、第６または第７の態様に係る移動機構であって、前記移動体が、前記制動部に対して前記交差方向に押圧力を付与する押圧部を有する。

第９の態様に係る移動機構は、第１から第８の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分を引き付ける引き付け部を含む。

第１０の態様に係る移動機構は、第１から第９の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記制動部が、前記移動体のうちの、該移動体の重心を通り且つ前記移動方向に垂直な仮想的な平面上に位置する部分に対して、前記交差方向において当接する。

第１１の態様に係る移動機構は、第２または第３の態様に係る移動機構であって、前記制動部が、前記２以上の交差方向のうちの第１交差方向における前記移動体の動きを規制する第１制動部と、前記２以上の交差方向のうちの前記第１交差方向とは異なる第２交差方向における前記移動体の動きを規制する第２制動部とを含む。

第１２の態様に係る移動機構は、第１１の態様に係る移動機構であって、前記移動体が、前記移動方向に移動する際に、前記第１制動部に当接する第１タイミングと、前記第２制動部に当接する第２タイミングとが異なる。

第１３の態様に係る移動機構は、第１から第１２の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記１以上の第１区間が、２以上の前記第１区間を含む。

第１４の態様に係る移動機構は、第１から第１３の何れか１つの態様に係る移動機構であって、前記移動経路が、直線状の移動経路を含む。

第１５の態様に係るアクチュエーターは、第１から第１４の何れか１つの態様に係る移動機構と、前記駆動機構を駆動させる駆動源とを備える。

第１６の態様に係る搬送装置は、第１５の態様に係るアクチュエーターと、前記移動体に取り付けられている、被搬送物を保持する保持機構とを備える。

第１から第１４の何れの態様に係る移動機構によっても、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することができる。

第１および第３の何れの態様に係る移動機構によっても、制動部が配されていない区間における移動体のぶれが低減されるため、移動体が安定して移動され得る。

第１の態様に係る移動機構によれば、制動部の配置に要するスペースが低減されるため、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することが容易に実現され得る。

第４の態様に係る移動機構によれば、制動部の配置の自由度が高まるため、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することが容易に実現され得る。

第１０の態様に係る移動機構によれば、移動体のぶれが低減されるため、移動体の停止位置がさらに高精度に調整され得る。

第２の態様に係る移動機構によれば、移動経路に交差する方向における移動体のぶれがさらに低減されるため、移動体の停止位置がさらに高精度に調整され得る。また、例えば、案内部が設けられる場合には、案内部による規制の程度が低くても良く、案内部の製造が容易となり得る。

第１１の態様に係る移動機構によれば、制動部の配置の自由度が高まるため、移動体の停止位置が容易かつ高精度に調整され得る。

第１２の態様に係る移動機構によれば、移動体が２以上の制動部に順に当接するため、移動体の移動方向における移動が円滑に行われ得る。

第１３の態様に係る移動機構によれば、２以上の区間において、移動体の停止位置が精度良く調整され得る。

第１５の態様に係るアクチュエーターによれば、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することができる。

第１６の態様に係る搬送装置によれば、移動体の移動速度を向上させつつ、移動体の停止位置を高精度に調整することができるため、被搬送物が迅速かつ精度良く搬送され得る。

第１実施形態に係る搬送装置の外観を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態に係る搬送装置の外観を模式的に示す平面図である。 第１実施形態に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す平面図である。 第１実施形態に係る第１区間およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態に係る第１区間およびその周辺を模式的に示す平面図である。 第１実施形態に係る制動部によって移動体が規制される態様を示す図である。 第１実施形態に係る制動部によって移動体が規制される態様を示す図である。 第１実施形態に係る制動部によって移動体が規制される態様を示す図である。 第１実施形態の第１変形例に係る制動部によって移動体が規制される態様を示す図である。 第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態の第２変形例に係る案内部によって移動体が規制される様子を示す図である。 第１実施形態の第３変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態の第４変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第１実施形態の第４変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す平面図である。 第１実施形態の第４変形例に係るボール螺子の構造を模式的に示す図である。 第１実施形態の第４変形例に係るボール螺子の構造を模式的に示す図である。 第１実施形態の第５変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態に係る制動部およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態に係る制動部の外観を模式的に示す正面図である。 第２実施形態に係る移動体の外観を模式的に示す正面図である。 第２実施形態に係る移動体の動きが制動部によって規制される態様を示す図である。 第２実施形態の第１変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態の第１変形例に係る制動部およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態の第１変形例に係る移動体の外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態の第１変形例に係る移動体が制動部に嵌合する様子を示す図である。 第２実施形態の第２変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態の第２変形例に係る移動体の構造を模式的に示す断面図である。 第２実施形態の第２変形例に係る制動部が移動体に嵌合する様子を示す断面図である。 第２実施形態の第２変形例に係る制動部によって移動体が規制される態様を示す図である。 第２実施形態の第３変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第２実施形態の第３変形例に係る移動体の構造を模式的に示す断面図である。 第２実施形態の第３変形例に係る制動部が移動体に嵌合する様子を示す断面図である。 第２実施形態の第４変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態に係る制動部およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態に係る制動部の外観を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態に係る制動部が移動体を押圧する前の様子を示す図である。 第３実施形態に係る制動部が移動体を押圧する様子を示す図である。 第３実施形態に係る案内部が移動体を規制する態様を示す図である。 第３実施形態に係る制動部が移動体を規制する態様を示す図である。 第３実施形態の第１変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態の第１変形例に係る制動部およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態の第１変形例に係る制動部が移動体を押圧する様子を示す断面図である。 第３実施形態の第２変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第３実施形態の第２変形例に係る移動体が制動部を押圧する前の様子を示す図である。 第３実施形態の第２変形例に係る移動体が制動部を押圧している様子を示す図である。 第４実施形態に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 第４実施形態に係る移動体およびその周辺を模式的に示す斜視図である。 第４実施形態に係る制動部と移動体との間に力が働く様子を示す図である。 第４実施形態に係る制動部に移動体が当接する前の様子を示す図である。 第４実施形態に係る制動部に移動体が当接している様子を示す図である。 他の一変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 他の一変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す平面図である。 他の一変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す斜視図である。 他の一変形例に係るアクチュエーターの外観を模式的に示す断面図である。 移動体の位置精度を決定する６つの要素を模式的に示す図である。

以下、本発明の各種実施形態ならびに各種変形例を図面に基づいて説明する。図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。なお、図１から図５７には、移動機構２１，２１Ａ〜２１Ｏにおいて移動体２１１，２１１Ｅ〜２１１Ｊ，２１１Ｌ，２１１Ｍが移動する方向（移動方向とも言う）を±Ｘ方向とする右手系のＸＹＺ座標系が付されている。

＜(１)第１実施形態＞
＜(１−１)搬送装置＞
図１は、第１実施形態に係る搬送装置１の外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、第１実施形態に係る搬送装置１の外観を模式的に示す平面図である。図１および図２で示されるように、搬送装置１は、アクチュエーター２、保持機構３、供給装置４および受付部５を備えている。

アクチュエーター２は、主に移動機構２１、駆動源２２および制御部２３を備えている。

移動機構２１は、移動体２１１、駆動機構２１２、第１支持部２１３、第２支持部２１４および台板２１５を備えている。

移動体２１１は、例えば、略直方体状のスライダーテーブル等であれば良い。

駆動機構２１２は、予め設定されている移動経路Ｔｒ１に沿って移動体２１１を移動させる。本実施形態では、移動経路Ｔｒ１は、Ｘ方向に伸びる直線状の領域である。駆動機構２１２は、例えば、駆動ローラーＲ１、従動ローラーＲ２、第１および第２回転軸Ｒｓ１，Ｒｓ２および搬送用ベルトＢｔ１を備えている。この場合、例えば、Ｘ方向に離れて配置されている駆動ローラーＲ１と従動ローラーＲ２との間に円環状に架設されるように搬送用ベルトＢｔ１が掛け回されている。具体的には、円環状の搬送用ベルトＢｔ１の内周面に接するように駆動ローラーＲ１と従動ローラーＲ２とが配置されている。そして、搬送用ベルトＢｔ１にその延在方向に張力が付与された状態で、搬送用ベルトＢｔ１が、駆動ローラーＲ１の外周面から従動ローラーＲ２の外周面にかけて架設され、該従動ローラーＲ２の外周面から駆動ローラーＲ１の外周面にかけて架設されている。

また、搬送用ベルトＢｔ１の予め設定された位置に移動体２１１が取り付けられている。ここで、予め設定された位置は、搬送用ベルトＢｔ１の外周面上の位置であれば良い。また、駆動ローラーＲ１は、Ｙ方向に延在する第１回転軸Ｒｓ１を介して第１支持部２１３に回転自在に取り付けられている。また、従動ローラーＲ２は、Ｙ方向に延在する第２回転軸Ｒｓ２を介して第２支持部２１４に回動自在に取り付けられている。そして、第１支持部２１３および第２支持部２１４は、例えば、台板２１５上のＸ方向に相互に離れた位置に配されている。

第１支持部２１３は、例えば、移動体２１１の移動経路Ｔｒ１上の一端部およびその近傍を少なくとも挟むように配されていれば良い。本実施形態では、例えば、移動経路Ｔｒ１の一端部が、移動経路Ｔｒ１の＋Ｘ方向の端部であれば良い。ここでは、第１支持部２１３は、ＸＺ平面に沿った盤面を有し且つ移動経路Ｔｒ１を挟んで対向する２つの板状の部分と、該２つの板状の部分の＋Ｘ方向の端部同士を繋ぎ且つＹＺ平面に沿った盤面を有する板状の部分とを有している。つまり、第１支持部２１３は、Ｚ方向から上面視した場合に、−Ｘ方向に開口を有するＵ字状の内壁面および−Ｘ方向に開口を有するＵ字状の外壁面を備えており、−Ｘ方向に開口を有するＵ字状の構成を有している。

また、第１支持部２１３には、移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する内壁面上に制動部Ｂ１が取り付けられている。具体的には、移動経路Ｔｒ１のＹ方向に制動部Ｂ１ａが配され、移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に制動部Ｂ１ｂが配されている。このため、駆動機構２１２によって移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１が制動部Ｂ１ａと制動部Ｂ１ｂとの間隙に入り込んだ状態で移動することで、移動体２１１が第１支持部２１３に挟まれている予め設定された位置に精度良く停止され得る。

第２支持部２１４は、例えば、移動体２１１の移動経路Ｔｒ１上の他端部およびその近傍を少なくとも挟むように配されていれば良い。本実施形態では、例えば、移動経路Ｔｒ１の他端部は、移動経路Ｔｒ１の−Ｘ方向の端部であれば良い。ここでは、第２支持部２１４は、ＸＺ平面に沿った盤面を有し且つ移動経路Ｔｒ１を挟んで対向する２つの板状の部分と、該２つの板状の部分の−Ｘ方向の端部同士を繋ぎ且つＹＺ平面に沿った盤面を有する板状の部分とを有している。つまり、第２支持部２１４は、Ｚ方向から上面視した場合に、Ｘ方向に開口を有するＵ字状の内壁面とＸ方向に開口を有するＵ字状の外壁面とを備えており、Ｘ方向に開口を有するＵ字状の構成を有している。

また、第２支持部２１４には、移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する内壁面上に制動部Ｂ１が取り付けられている。具体的には、移動経路Ｔｒ１のＹ方向に制動部Ｂ１ｃが配され、移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に制動部Ｂ１ｄが配されている。このため、駆動機構２１２によって移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１が制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に入り込んだ状態で移動することで、移動体２１１が第２支持部２１４に挟まれている予め設定された位置に精度良く停止され得る。

台板２１５は、例えば、高い剛性を有する板状の部材であれば良い。なお、本実施形態では、台板２１５上に駆動源２２および制御部２３が取り付けられている。

駆動源２２は、駆動機構２１２を駆動させるものである。例えば、駆動源２２が、ステッピングモーターであれば、例えば、ステッピングモーターのロッドが、駆動ローラーＲ１の回転軸Ｒｓ１と連結されていれば良い。また、回転軸Ｒｓ１がステッピングモーターのロッドであっても良い。ここでは、例えば、制御部２３から入力されるパルス信号に応じて、ステッピングモーターが駆動ローラーＲ１を回転させる。このとき、駆動ローラーＲ１の回転方向に応じて、駆動ローラーＲ１に掛け回されている搬送用ベルトＢｔ１が回転する。これにより、搬送用ベルトＢｔ１の回転方向に応じて、搬送用ベルトＢｔ１に取り付けられている移動体２１１がＸ方向あるいは−Ｘ方向に移動する。なお、このとき、搬送用ベルトＢｔ１の回転に応じて、搬送用ベルトＢｔ１が掛け回されている従動ローラーＲ２も回転する。

制御部２３は、駆動源２２および保持機構３の動作を制御する。制御部２３は、例えば、プロセッサー、ＲＡＭおよびＲＯＭ等を内蔵しており、駆動源２２に対するパルス信号の出力、および保持機構３に対する信号の出力を行う。

保持機構３は、移動体２１１に取り付けられており、被搬送物９を保持する。保持機構３としては、例えば、アーム３１の先端部に２つの爪部を有する把持部３２が取り付けられた構成が採用されれば良い。この場合、例えば、制御部２３からの信号に応じて、把持部３２の２つの爪部が近づく方向に動いた状態（閉状態とも言う）あるいは２つの爪部が離れる方向に動いた状態（開状態とも言う）に設定される。これにより、開状態から閉状態に移行することで被搬送物９が把持部３２によって把持され、閉状態から開状態に移行することで被搬送物９が把持部３２から開放され得る。

供給装置４は、保持機構３に対して被搬送物９を供給する。供給装置４としては、例えば、ベルトコンベア等の搬送部によって被搬送物９を保持機構３に供給するものであれば良い。この場合、例えば、供給装置４によって被搬送物９が第１支持部２１３の近傍の予め設定された位置まで搬送される。このとき、保持機構３の把持部３２の２つの爪部によって被搬送物９が把持される。次に、把持部３２に被搬送物９が把持されている状態で、保持機構３が取り付けられた移動体２１１が、移動経路Ｔｒ１に沿って−Ｘ方向に移動されることで、被搬送物９が第２支持部２１４の近傍の予め設定された位置まで搬送される。そして、把持部３２の２つの爪部が開状態とされることで、被搬送物９が把持部３２から開放されて、受付部５に被搬送物９が受け渡される。

受付部５は、アクチュエーター２および保持機構３によって搬送されてきた被搬送物９を受け付ける部分である。例えば、受付部５が水平方向の断面が矩形である筒状の部材である場合、予め設定された中空部分に被搬送物９が受け付けられることで、受付部５内に被搬送物９が配置される。

そして、本実施形態では、供給装置４および受付部５の位置に合わせて、移動体２１１および保持機構３を精度良く停止させることができる。

＜(１−２)移動機構＞
図３は、本実施形態に係る移動機構２１の外観を模式的に示す斜視図であり、図４は、本実施形態に係る移動機構２１の外観を模式的に示す平面図である。

図３および図４で示されるように、移動体２１１の移動経路Ｔｒ１は、２つの第１区間Ｚ１および該２つの第１区間Ｚ１とは異なる第２区間Ｚ２を有している。そして、２つの第１区間Ｚ１には、Ｘ方向の第１区間Ｚ１１と−Ｘ方向の第１区間Ｚ１２とが含まれている。そして、制動部Ｂ１は、第１区間Ｚ１のみに沿って配されている。例えば、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂは、第１区間Ｚ１１に沿って配されており、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄは、第１区間Ｚ１２に沿って配されている。

図５は、本実施形態に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す斜視図であり、図６は、本実施形態に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す平面図である。なお、移動機構２１のうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成は、略同一である。

図５および図６で示されるように、各制動部Ｂ１は、Ｌ字状のＹＺ断面を有しており、Ｘ方向に予め設定された長さを有している板（Ｌ字板とも言う）である。そして、制動部Ｂ１ａと制動部Ｂ１ｂとは、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。また、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとは、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂと同様に、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。

制動部Ｂ１は、第１区間Ｚ１を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、移動経路Ｔｒ１と交差する方向（交差方向とも言う）における移動体２１１の動きを規制する。ここでは、交差方向には、第１交差方向としてのＹ方向と、該第１交差方向とは異なる第２交差方向としてのＺ方向が含まれる。例えば、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂは、第１区間Ｚ１１を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、交差方向における移動体２１１の動きを規制する。また、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄは、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂと同様に、第１区間Ｚ１２を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、交差方向における移動体２１１の動きを規制する。ここで、交差方向における移動体２１１の動きには、例えば、±Ｙ方向の動き、±Ｚ方向の動き、Ｘ軸に略平行な仮想的な軸を中心とする回転、Ｙ軸に略平行な仮想的な軸を中心とする回転、およびＺ軸に略平行な仮想的な軸を中心とする回転等が含まれる。このように、第１区間Ｚ１において移動方向以外における移動体２１１の動きが規制されることで、移動体２１１が所望の位置に停止され得る。

また、第１区間Ｚ１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、制動部Ｂ１に対して摺動する。例えば、第１区間Ｚ１１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂに対して摺動し、第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄに対して摺動する。このとき、制動部Ｂ１と移動体２１１との間に摩擦力が生じる。これにより、制動部Ｂ１によって、移動体２１１に対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動方向とは反対方向に制動力が付与される。例えば、第１区間Ｚ１１を移動体２１１が移動している際には、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂによって、移動体２１１に対して制動力が付与される。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動体２１１が移動している際には、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによって、移動体２１１に対して制動力が付与される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１が停止する位置（停止位置とも言う）が高精度に調整され得る。例えば、本実施形態では、２つの第１区間Ｚ１１，Ｚ１２において、移動体２１１の停止位置が精度良く調整され得る。

一方、第２区間Ｚ２では、移動体２１１と、制動部Ｂ１とが接触しないため、移動体２１１は搬送用ベルトＢｔ１のみによって支持される。このとき、移動体２１１の移動方向以外の交差方向における位置は、搬送用ベルトＢｔ１が撓む量に応じて変動し得る。

ここで、移動方向としての±Ｘ方向以外の方向における移動体２１１の動きの制動部Ｂ１による規制ならびに移動方向としての±Ｘ方向における移動体２１１の停止位置の調整について具体的に説明する。本実施形態では、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂの組と、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの組とが同様な構成および機能を有している。このため、ここでは、移動方向としての±Ｘ方向以外の方向における制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによる移動体２１１の動きの規制ならびに移動方向としての±Ｘ方向における移動体２１１の停止位置の調整を一例として挙げて説明する。

まず、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによる移動体２１１の左右方向としての±Ｙ方向における動きの規制について説明する。

図５および図６で示されるように、制動部Ｂ１ｃは、−Ｙ方向に向いた第１面Ｓ１ａ、＋Ｚ方向に向いた第２面Ｓ２ａ、ならびに第１面Ｓ１ａおよび第２面Ｓ２ａと制動部Ｂ１ｃの＋Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ａを有している。また、制動部Ｂ１ｄは、Ｙ方向に向いた第１面Ｓ１ｂ、＋Ｚ方向に向いた第２面Ｓ２ｂ、ならびに第１面Ｓ１ｂおよび第２面Ｓ２ｂと制動部Ｂ１ｄの＋Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ｂを有している。また、移動体２１１は、移動体２１１の＋Ｙ方向を向いた第１側面Ｓｓ１、移動体２１１の−Ｙ方向を向いた第２側面Ｓｓ２および移動体２１１の−Ｘ方向を向いた第３側面Ｓｓ３を有している。さらに、移動体２１１は、第１側面Ｓｓ１と第３側面Ｓｓ３とを接続する面取り部Ｃ３ａおよび第２側面Ｓｓ２と第３側面Ｓｓ３とを接続する面取り部Ｃ３ｂを有している。

ここでは、図６で示されるように、制動部Ｂ１ｃの第１面Ｓ１ａと制動部Ｂ１ｄと第１面Ｓ１ｂとの間隔をＷ１とし、移動体２１１のＹ方向の幅をＷ２とする。また、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄにおける面取り部Ｃ１ａ，Ｃ１ｂのＸＹ断面における曲率半径をρ１とし、移動体２１１における面取り部Ｃ３ａ，Ｃ３ｂのＸＹ断面における曲率半径をρ３とする。さらに、搬送用ベルトＢｔ１に取り付けられた移動体２１１が搬送用ベルトＢｔ１の撓みによって左右方向である±Ｙ方向にそれぞれ移動する量（移動量とも言う）をＴｄ１とする。

この場合、移動体２１１が、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に入り込むためには、式（１）の関係を満たす必要がある。

Ｗ１＞Ｗ２ ・・・（１）

図７および図８は、制動部Ｂ１ｃによって移動体２１１が規制される様子を模式的に示す図である。

制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙のＹ方向の略中央に移動体２１１が入り込む場合、図７で示されるように、Ｙ方向における制動部Ｂ１ｃと移動体２１１との間隙をＧａ１とすると、式（２）の関係が成立する。

Ｇａ１＝（Ｗ１−Ｗ２）／２ ・・・（２）

また、搬送用ベルトＢｔ１の撓みによる移動体２１１の左右方向における移動量Ｔｄ１が０であれば、制動部Ｂ１ｃの面取り部Ｃ１ａの曲率中心Ｃｐ１と、移動体２１１の面取り部Ｃ３ａの曲率中心Ｃｐ３とのＹ方向における距離Ｄｃ１は、式（３）で示される。

Ｄｃ１＝Ｇａ１＋（ρ１＋ρ３） ・・・（３）

ここで、搬送用ベルトＢｔ１の撓みによる左右方向における移動量Ｔｄ１が０よりも大きければ、曲率中心Ｃｐ１と曲率中心Ｃｐ３とのＹ方向における距離Ｄｃ１’は、式（４）で示される。

Ｄｃ１’＝Ｇａ１＋（ρ１＋ρ３）−Ｔｄ１＝Ｄｃ１−Ｔｄ１ ・・・（４）

また、図８で示されるように、制動部Ｂ１ｃの面取り部Ｃ１ａと移動体２１１の面取り部Ｃ３ａとが接触する際における曲率中心Ｃｐ１と曲率中心Ｃｐ３との距離Ｄｒ１は、式（５）で示される。

Ｄｒ１＝ρ１＋ρ３ ・・・（５）

このとき、曲率中心Ｃｐ１と曲率中心Ｃｐ３とを仮想的に結ぶ直線と、移動体２１１の移動方向としての−Ｘ方向に仮想的に伸びる直線とが成す角度θは、式（６）で示される。

θ＝ｓｉｎ^−１（Ｄｃ１’／Ｄｒ１） ・・・（６）

ここで、角度θが４５°以上であれば、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に移動体２１１が円滑に入り込み得る。そして、第１区間Ｚ１では、左右方向である±Ｙ方向にそれぞれ移動体２１１が移動する量、すなわち制動部Ｂ１ｃによって左右方向における移動体２１１の動きが許容される量（動き許容量とも言う）が、移動量Ｔｄ１よりも小さい条件を満たす必要がある。このため、この条件と式（１）〜（６）とから、式（７）の関係が導き出される。

Ｔｄ１−（ρ１＋ρ３）×（１−１／√２）＜（Ｗ１−Ｗ２）／２＜Ｔｄ１ ・・・（７）

なお、ここでは、θが４５°以上であれば、式（６）から式（６−１）が導出される。

１／√２＞Ｄｃ１’／Ｄｒ１ ・・・（６−１）

式（６−１）および式（５）から式（６−２）が導出される。

１／√２＞Ｄｃ１’／（ρ１＋ρ３） ・・・（６−２）

式（６−２）および式（４）から式（６−３）が導出される。

１／√２＞｛Ｇａ１＋（ρ１＋ρ３）−Ｔｄ１｝／（ρ１＋ρ３） ・・・（６−３）

式（６−３）および式（２）から式（６−４）が導出される。

１／√２＞｛（Ｗ１−Ｗ２）／２＋（ρ１＋ρ３）−Ｔｄ１｝／（ρ１＋ρ３） ・・・（６−４）

式（６−４）を変形することで、式（６−５）が導出される。

（ρ１＋ρ３）×（１−１／√２）＋Ｔｄ１＜（Ｗ１−Ｗ２）／２ ・・・（６−５）

また、上述したように、左右方向における移動体２１１の動き許容量は、移動量Ｔｄ１よりも小さい場合、式（６−６）が成立する。

（Ｗ１−Ｗ２）／２＜Ｔｄ１ ・・・（６−６）

そして、式（６−５）と式（６−６）とを組み合わせることで、式（７）が導出される。

次に、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによる移動体２１１の上下方向としての±Ｚ方向における動きの規制ならびに移動方向としての±Ｘ方向における移動体２１１の停止位置の調整について説明する。

図９は、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによって移動体２１１が規制される様子を模式的に示す図である。

ここでは、図９で示されるように、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄにおける面取り部Ｃ１ａ，Ｃ１ｂのＸＺ断面における曲率半径をρ１ｈとし、移動体２１１における面取り部Ｃ３ｃのＸＺ断面における曲率半径をρ３ｈとする。ところで、移動体２１１には下向きとしての−Ｚ方向に常に重力Ｇ_１が働く。そして、第２区間Ｚ２においては、重力Ｇ_１と、張力Ｇ_２で張られた搬送用ベルトＢｔ１において撓みによって生じる張力Ｇ_２の垂直成分Ｇ_２−１とが釣り合う。このとき、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂは、移動体２１１の−Ｚ側の底面Ｓｓ４よりも高さＨ１高い位置に配される。このとき、式（８）の関係が成立していれば、移動体２１１が第１区間Ｚ１に進入する際に、移動体２１１の底面Ｓｓ４が、第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ上に円滑に乗り上げる。

０＜Ｈ１＜（ρ１ｈ＋ρ３ｈ）／√２ ・・・（８）

このとき、移動体２１１が第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂによって支持される。このため、第２区間Ｚ２における張力Ｇ_２の垂直成分Ｇ_２−１が減少する。つまり、重力Ｇ_１と張力Ｇ_２の垂直成分Ｇ_２−１とが、Ｇ_１＞Ｇ_２−１の関係を有しており、第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂに対して、移動体２１１の底面Ｓｓ４が押し付けられる。このため、移動体２１１が第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際には、移動体２１１が制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ上を摺動する。これにより、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄと移動体２１１との間に摩擦力が生じ、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによって、移動体２１１に対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動方向とは反対方向に制動力が付与される。その結果、第１区間Ｚ１２では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

また、式（７）および式（８）を満足するように、各パラメーターが設定されることで、第１区間Ｚ１において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得るとともに、移動体２１１が制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に円滑に入り込み得る。ここで、例えば、式（７）の中央に記載された（Ｗ１−Ｗ２）／２の値が小さくなるように、間隔Ｗ１および幅Ｗ２の値が設定されれば、移動体２１１の左右方向としての±Ｙ方向における動きがより狭い範囲内に規制される。つまり、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとによって左右方向における移動体２１１の動きが許容される許容量が低減される。これにより、移動体２１１の左右方向における停止位置がより高精度に調整され得る。また、例えば、式（８）の中央に記載されたＨ１の値が大きくなれば大きくなる程、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂに移動体２１１が押し付けられる力が大きくなり得る。これにより、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄ上を移動体２１１が移動する際に、移動体２１１の姿勢が安定し、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

ところで、第２区間Ｚ２では、移動体２１１と制動部Ｂ１とが接触せず、移動体２１１と制動部Ｂ１との間には摩擦力が生じない。このため、第２区間Ｚ２における移動体２１１の移動速度を、第１区間Ｚ１における移動体２１１の移動速度よりも容易に高めることができる。つまり、第２区間Ｚ２では、移動体２１１の高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

また、例えば、制動部Ｂ１と移動体２１１との接触の程度が必要最小限にとどめられれば、制動部Ｂ１および移動体２１１の摩耗量が低減され得る。接触の程度には、例えば、制動部Ｂ１と移動体２１１とが接触し合う面（接触面とも言う）の面積、および接触面同士が押し合う力の大きさ等が含まれる。また、例えば、接触面における摩擦係数が低減されることで、制動部Ｂ１および移動体２１１の摩耗量が低減されても良い。接触面の摩擦係数は、例えば、表面加工および素材等によって低減され得る。

また、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂの組および制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの組のうちの一方が、移動体２１１の重心Ｃｇ１を通り且つ移動方向としての±Ｘ方向に垂直な仮想的な平面Ｓｃ１上に位置する部分に当接していれば、移動体２１１の姿勢が安定し得る。つまり、移動体２１１のぶれが低減されるため、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。このため、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂ，Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの移動体２１１と接触する第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂにおける移動経路Ｔｒ１に沿った長さは、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得るＸ方向における範囲の長さと略同一となる。

＜(１−３)第１実施形態のまとめ＞
以上のように、第１実施形態に係る移動機構２１によれば、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１のみに沿って制動部Ｂ１が配されている。このため、第２区間Ｚ２では、移動体２１１の高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動経路Ｔｒ１に沿ったＸ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。すなわち、移動体２１１の移動速度を向上させつつ、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。また、第１実施形態に係るアクチュエーター２によっても、移動体２１１の移動速度を向上させつつ、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。さらに、第１実施形態に係る搬送装置１によれば、移動体２１１の移動速度が向上されつつ、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得るため、被搬送物９が迅速かつ精度良く搬送され得る。

また、本実施形態では、制動部Ｂ１によって、移動経路Ｔｒ１と交差する２つの交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における移動体２１１の動きが規制されるため、２つの交差方向における移動体２１１のぶれがさらに低減され得る。これにより、移動体２１１が停止する位置がさらに高精度に調整され得る。

＜(１−４)第１実施形態の変形例＞
＜(１−４−１)第１変形例＞
上記第１実施形態に係る制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄにおける面取り部Ｃ１ａ，Ｃ１ｂおよび移動体２１１の面取り部Ｃ３ａが丸みを有していたが、これに限られない。例えば、図１０で示されるように、面取り部Ｃ１ａ，Ｃ１ｂおよび面取り部Ｃ３ａが、面取り角度（θ１およびθ２）が略一定とされたものであっても良い。この場合、例えば、距離Ｄｃ１Ａを用いて、式（９）の関係を有していれば、移動体２１１が、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に円滑に入り込み得る。

０°＜θ１＝θ２＜４５°，Ｔｄ１＜Ｄｃ１Ａ ・・・（９）

なお、距離Ｄｃ１Ａは、制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙のＹ方向の略中央に移動体２１１が入り込む場合に、面取り部Ｃ１ａの一端部と面取り部Ｃ３ａの他端部とのＹ方向における距離である。面取り部Ｃ１ａの一端部は、面取り部Ｃ１ａのうちの移動体２１１からＹ方向に最も離れた部分である。面取り部Ｃ３ａの他端部は、面取り部Ｃ３ａのうちの制動部Ｂ１ｃから−Ｙ方向に最も離れた部分である。

＜(１−４−２)第２変形例＞
上記第１実施形態に係る搬送装置１において、例えば、移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動を案内する部分（案内部とも言う）が付加されても良い。このような構成では、上記第１実施形態と同様な効果が得られる上に、第２区間Ｚ２における移動体２１１のぶれが低減されるため、移動体２１１が安定して移動され得る。

図１１は、第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａの外観を模式的に示す斜視図である。ここでは、上記第１実施形態に係る搬送装置１のうちのアクチュエーター２の代わりに、アクチュエーター２Ａが採用されている。そして、アクチュエーター２Ａでは、上記第１実施形態に係る移動機構２１の代わりに、移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動を案内する案内部としてのガイド軸２１６が付加された移動機構２１Ａが採用されている。移動機構２１Ａは、上記第１実施形態に係る移動機構２１がベースとされて、移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動を案内するガイド軸２１６が付加されたものである。ガイド軸２１６は、移動経路Ｔｒ１に沿って配されており、移動経路Ｔｒ１と交差する交差方向における移動体２１１の動きを規制する。

図１１で示されるように、ガイド軸２１６は、第１ガイド軸２１６ａおよび第２ガイド軸２１６ｂを有している。ここでは、第１および第２ガイド軸２１６ａ，２１６ｂは、それぞれ移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向に沿って延在し且つ断面が略円形のガイド軸である。そして、第１および第２ガイド軸２１６ａ，２１６ｂは、支持部２１３，２１４によって支持されている。具体的には、第１および第２ガイド軸２１６ａ，２１６ｂのＸ方向の各端部は、支持部２１３のＹＺ平面に沿った盤面を有する板状の部分に固定されていれば良い。また、第１および第２ガイド軸２１６ａ，２１６ｂの−Ｘ方向の各端部は、支持部２１４のＹＺ平面に沿った盤面を有する板状の部分に固定されていれば良い。

また、図１１で示されるように、各ガイド軸２１６は、移動体２１１に設けられたＸ方向に延在する貫通孔Ｔ１を貫通するように配されている。貫通孔Ｔ１には、第１貫通孔Ｔ１ａおよび第２貫通孔Ｔ１ｂが含まれている。そして、例えば、第１ガイド軸２１６ａが、Ｘ方向に延在する第１貫通孔Ｔ１ａを介して移動体２１１を貫通するように配されており、第２ガイド軸２１６ｂが、Ｘ方向に延在する第２貫通孔Ｔ１ｂを介して移動体２１１を貫通するように配されている。なお、第１ガイド軸２１６ａと第２ガイド軸２１６ｂとが略同一の構成を有し、第１貫通孔Ｔ１ａと第２貫通孔Ｔ１ｂとが略同一の構成を有していれば良い。つまり、第１ガイド軸２１６ａによる移動体２１１の交差方向における動きの規制と、第２ガイド軸２１６ｂによる移動体２１１の交差方向における動きの規制とが、同様なものであれば良い。

図１２は、第１実施形態の第２変形例に係るガイド軸２１６によって移動体２１１が規制される様子を示す図である。ここで、図１２で示されるように、第２貫通孔Ｔ１ｂの中心に第２ガイド軸２１６ｂが配されている場合、第２ガイド軸２１６ｂの上下左右方向に、第２貫通孔Ｔ１ｂの内壁と第２ガイド軸２１６ｂとの間に略同一の距離Ｔｄ２を有する間隙が生じるものとする。ここでは、距離Ｔｄ２と、第２ガイド軸２１６ｂの径ｄ１と、第２貫通孔Ｔ１ｂの径Ｄｈ１との間には、式（１０）の関係が成立する。

Ｔｄ２＝（Ｄｈ１−ｄ１）／２ ・・・（１０）

この場合、搬送用ベルトＢｔ１に取り付けられた移動体２１１が搬送用ベルトＢｔ１の撓みによって上下左右方向に移動することができる量（移動可能量とも言う）が距離Ｔｄ２となる。このため、上記第１実施形態における移動量Ｔｄ１が、移動可能量としての距離Ｔｄ２に置換されば良い。その上で、径Ｄｈ１，ｄ１等の各パラメーターが設定されることで、第１区間Ｚ１において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得るとともに、移動体２１１が制動部Ｂ１ｃと制動部Ｂ１ｄとの間隙に円滑に入り込み得る。なお、第１貫通孔Ｔ１ａと第２貫通孔Ｔ１ｂとの距離は、長ければ長い程、Ｘ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１の動きがより狭い範囲内に規制される。

また、ガイド軸２１６が配される場合、移動経路Ｔｒ１のうちの第２区間Ｚ２を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、ガイド軸２１６と移動体２１１との間に摩擦力（第１摩擦力とも言う）が生じる。一方、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際には、制動部Ｂ１と移動体２１１との間に摩擦力（第２摩擦力とも言う）が生じる。そして、第２摩擦力が第１摩擦力よりも大きくなるように設定されれば、第２区間Ｚ２では、移動体２１１の高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

なお、例えば、ガイド軸２１６の外周面の表面状態および素材等によってガイド軸２１６の外周面における摩擦係数が低減されれば、第１摩擦力が低減され得る。また、例えば、制動部Ｂ１の表面状態および素材等によって制動部Ｂ１の表面における摩擦係数が増大されれば、第２摩擦力が増大し得る。さらに、例えば、式（８）の中央に記載されたＨ１の値が大きくなれば大きくなる程、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄの第２面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂに移動体２１１が押し付けられる力が大きくなり、第２摩擦力が増大し得る。そして、第１摩擦力よりも第２摩擦力の方がある程度大きければ、第２区間Ｚ２における移動体２１１の高速移動と、第１区間Ｚ１における移動体２１１の停止位置の高精度な調整とが図られる。

また、ガイド軸２１６が配される場合、第２区間Ｚ２では、ガイド軸２１６によって移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１の動きが規制される。つまり、本変形例に係る移動機構２１Ａによれば、制動部Ｂ１が配されていない第２区間Ｚ２における移動体２１１のぶれが低減されるため、移動体２１１が安定して移動され得る。

ここで、第１区間Ｚ１において制動部Ｂ１によって移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１の動きが許容される量を第１許容量とする。また、第２区間Ｚ２においてガイド軸２１６によって移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１の動きが許容される量を第２許容量とする。そして、第１許容量が、第２許容量よりも小さくなるように設定されれば、第１区間Ｚ１では、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

なお、例えば、第２貫通孔Ｔ１ｂの内壁と第２ガイド軸２１６ｂとの間における距離Ｔｄ２よりも、式（７）の中央に記載された（Ｗ１−Ｗ２）／２の値が小さければ、第１許容量が、第２許容量よりも小さくなり得る。そして、（Ｗ１−Ｗ２）／２の値が、距離Ｔｄ２よりも小さければ小さい程、第２区間Ｚ２よりも第１区間Ｚ１において、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

そして、ガイド軸２１６が設けられる本変形例においては、制動部Ｂ１によって、移動経路Ｔｒ１と交差する２つの交差方向としてのＸ方向およびＹ方向における移動体２１１の動きが規制される。このため、ガイド軸２１６の寸法精度および取り付け精度が低くても良い。これにより、ガイド軸２１６の製造および取り付けが容易となり得る。

＜(１−４−３)第３変形例＞
上記第１実施形態に係る搬送装置１において、例えば、第１および第２支持部２１３，２１４の構成が変更されても良い。このような構成でも、上記第１実施形態と同様な効果が得られる。

図１３は、第１実施形態の第３変形例に係るアクチュエーター２Ｂの外観を模式的に示す斜視図である。ここでは、上記第１実施形態に係る搬送装置１のうちのアクチュエーター２の代わりに、アクチュエーター２Ｂが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｂでは、上記第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａのうちの移動機構２１Ａの代わりに、移動機構２１Ｂが採用されている。移動機構２１Ｂは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａがベースとされて、第１および第２支持部２１３，２１４が２つの部材を有する第１および第２支持部２１３Ｂ，２１４Ｂにそれぞれ置換されたものである。

例えば、第１支持部２１３Ｂは、第１部材２１３１と第２部材２１３２とを有しており、第２支持部２１４Ｂは、第１部材２１４１と第２部材２１４２とを有している。ここでは、第１部材２１３１，２１４１は、それぞれＹＺ平面に略平行な盤面を有する板状の部材である。そして、ガイド軸２１６のＸ方向の端部が第１部材２１３１に固定されており、ガイド軸２１６の−Ｘ方向の端部が第１部材２１４１に固定されている。また、第２部材２１３２，２１４２は、それぞれ、ＸＺ平面に沿った盤面を有し且つ移動経路Ｔｒ１を挟んで対向する２つの板状の部分と、該２つの板状の部分の−Ｚ方向の端部同士を繋ぎ且つＸＹ平面に沿った盤面を有する板状の部分とを有している。つまり、第２部材２１３２，２１４２は、±Ｘ方向から平面視した場合に、Ｚ方向に開口を有するＵ字状の内壁面とＺ方向に開口を有するＵ字状の外壁面とを有し、Ｚ方向に開口を有するＵ字状の構成を有している。そして、第２部材２１３２のうちの移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する一対の内壁面上に制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂがそれぞれ取り付けられている。また、第２部材２１４２のうちの移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する一対の内壁面上に制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄがそれぞれ取り付けられている。

＜(１−４−４)第４変形例＞
上記第１実施形態およびその第１〜３変形例において、例えば、移動機構２１，２１Ａ，２１Ｂの構成が変更されても良い。このような構成が採用されても、上記第１実施形態ならびにその第１〜３変形例と同様な効果が得られる。

図１４は、第１実施形態の第４変形例に係るアクチュエーター２Ｃの外観を模式的に示す斜視図であり、図１５は、第１実施形態の第４変形例に係るアクチュエーター２Ｃの外観を模式的に示す平面図である。ここでは、上記第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａの代わりに、アクチュエーター２Ｃが採用されている。アクチュエーター２Ｃでは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａの代わりに、ボール螺子Ｂｓ１が採用された移動機構２１Ｃが採用されている。移動機構２１Ｃは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａがベースとされて、駆動機構２１２が、ボール螺子Ｂｓ１が採用された駆動機構２１２Ｃに置換されたものである。また、上記置換に伴って、上記第１実施形態の第２変形例に係る駆動源２２が、駆動源２２Ｃに置換されている。駆動源２２Ｃは、例えば、サーボモーター等であれば良い。

図１４および図１５で示されるように、ボール螺子Ｂｓ１は、螺子軸部Ｂｓ１ａ、ナット部Ｂｓ１ｂおよび連結部Ｂｓ１ｃを備えている。螺子軸部Ｂｓ１ａは、Ｘ方向に延在する棒状の螺子である。螺子軸部Ｂｓ１ａのＸ方向の端部（一端部とも言う）は、駆動源２２Ｃに連結されている。連結部Ｂｓ１ｃは、第１支持部２１３のＸ方向の板状の部分を貫通するように設けられており、ベアリング等を介して螺子軸部Ｂｓ１ａを回動自在に支持している。螺子軸部Ｂｓ１ａの−Ｘ方向の端部（他端部とも言う）は、ベアリング等を介して、第２支持部２１４によって回動自在に支持されている。また、ナット部Ｂｓ１ｂは、移動体２１１の−Ｚ方向の面（底面とも言う）に取り付けられている。このナット部Ｂｓ１ｂは、Ｘ方向に貫通する貫通孔Ｔ２において螺子軸部Ｂｓ１ａと噛み合っている。なお、駆動源２２Ｃは、第１支持部２１３のＸ方向に取り付けられており、螺子軸部Ｂｓ１ａを回転させる。

ここでは、例えば、制御部２３から任意の回転量に応じた信号が駆動源２２Ｃに入力され、駆動源２２Ｃが螺子軸部Ｂｓ１ａを回転させる。このとき、螺子軸部Ｂｓ１ａと噛み合っているナット部Ｂｓ１ｂが±Ｘ方向に移動し、ナット部Ｂｓ１ｂが取り付けられている移動体２１１が±Ｘ方向に移動する。

図１６および図１７は、本変形例に係るボール螺子Ｂｓ１の構造を模式的に示す図である。図１７は、図１６において細線の円で囲まれた領域Ａｒ１が拡大された図である。図１６および図１７で示されるように、ボール螺子Ｂｓ１では、螺子軸部Ｂｓ１ａの溝部とナット部Ｂｓ１ｂの溝部とが対向するように配されることで、螺子軸部Ｂｓ１ａの外周において螺旋状に延在する空間（螺旋状空間とも言う）Ｓｐｓ１を形成する。この螺旋状空間Ｓｐｓ１については、螺子軸部Ｂｓ１ａの回転の中心となる仮想的な軸を含む仮想的な平面に沿った断面が、径がＤｈ２である略円形となる。そして、螺旋状空間Ｓｐｓ１に、径がｄ２であるボールＢＬ１が嵌合している。

ここでは、径Ｄｈ２と径ｄ２との差が、上記第１実施形態の第２変形例において移動体２１１が搬送用ベルトＢｔ１の撓みによって上下左右方向に移動することができる移動可能量の距離Ｔｄ２の代わりに用いられれば良い。その上で、径Ｄｈ２，ｄ２等の各パラメーターが設定されることで、第１区間Ｚ１において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

＜(１−４−５)第５変形例＞
上記第１実施形態およびその第１〜４変形例において、例えば、移動経路Ｔｒ１のうちの少なくとも１つの第１区間Ｚ１に沿って制動部Ｂ１が設けられれば良い。このような構成が採用されても、上記第１実施形態ならびにその第１〜４変形例と同様な効果が得られる。

図１８は、第１実施形態の第５変形例に係るアクチュエーター２Ｄの外観を模式的に示す斜視図である。この場合、上記第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａの代わりに、アクチュエーター２Ｄが採用されている。アクチュエーター２Ｄでは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａの代わりに、移動機構２１Ｄが採用されている。移動機構２１Ｄは、上記第２変形例に係る移動機構２１Ａがベースとされて、第２支持部２１４および制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄが削除され、従動ローラーＲ２を回転自在に保持する第２回転軸Ｒｓ２をガイド軸２１６が保持する形態に変更されたものである。本変形例では、第１ガイド軸２１６ａの−Ｘ方向の端部に連結された第１連結棒Ｃｓ１ａと、第２ガイド軸２１６ｂの−Ｘ方向の端部に連結された第２連結棒Ｃｓ１ｂとの間に、第２回転軸Ｒｓ２が架設されている。

本変形例では、第１区間Ｚ１が１箇所に設けられており、移動経路Ｔｒ１のうちの１つの第１区間Ｚ１に沿って第１支持部２１３に制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂが設けられている。このような移動機構２１Ｄが採用された搬送装置は、例えば、被搬送物９の搬送経路のうち、１つの停止位置では被搬送物９が精度良く停止され、他の停止位置では被搬送物９が精度良く停止されなくても良い用途に使用され得る。すなわち、１以上の第１区間Ｚ１が設けられれば良い。但し、２以上の第１区間Ｚ１が設けられれば、２以上の第１区間Ｚ１において、移動体２１１が停止する位置が精度良く調整され得る。

＜(１−４−６)その他の変形例＞
なお、上記第１実施形態およびその第１〜５変形例では、１つの制動部Ｂ１によって、第１交差方向としてのＹ方向および第２交差方向としてのＺ方向と言った２つの交差方向における移動体２１１の動きが規制されたが、これに限られない。例えば、１つの制動部Ｂ１が、第１交差方向としてのＹ方向における移動体２１１の動きを規制する部分（第１制動部とも言う）と、第２交差方向としてのＺ方向における移動体２１１の動きを規制する部分（第２制動部とも言う）とに分けられても良い。このような構成では、制動部Ｂ１の配置の自由度が高まるため、移動体２１１の停止位置が容易かつ高精度に調整され得る。

＜(２)第２実施形態＞
上記第１実施形態に係るアクチュエーター２では、移動体２１１が第１区間Ｚ１に進入する際に、移動体２１１の底面Ｓｓ４が、制動部Ｂ１上に乗り上げた。これに対して、第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅは、移動体２１１と制動部Ｂ１とが、相互に嵌合するタイプ（嵌合タイプとも言う）のアクチュエーターとなっている。

図１９は、第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅの外観を模式的に示す斜視図である。図２０は、本実施形態に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す斜視図である。本実施形態では、上記第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａの代わりに、アクチュエーター２Ｅが採用されている。アクチュエーター２Ｅでは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａの代わりに、移動機構２１Ｅが採用されている。

図１９および図２０で示されるように、移動機構２１Ｅは、移動機構２１Ａがベースとされて、移動体２１１が、移動経路Ｔｒ１と交差する交差方向に凹み且つ移動方向としてのＸ方向に延在する凹部Ｄ１を有する移動体２１１Ｅに置換されたものである。この凹部Ｄ１は、移動体２１１Ｅが第２区間Ｚ２に配されている状態で、制動部Ｂ１が位置する方向に開口を有している。このため、移動体２１１Ｅが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に進入し、第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｅが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１が有する移動方向としてのＸ方向に延在する凸部Ｐｅ１が凹部Ｄ１に嵌合する。これにより、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｅの動きが規制される。また、凹部Ｄ１と凸部Ｐｅ１との間に摩擦力が生じることで、制動部Ｂ１によって移動体２１１Ｅに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｅの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。

図２１は、制動部Ｂ１をＸ方向から平面視した図である。なお、移動機構２１Ｅのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成は、略同一である。各制動部Ｂ１は、Ｌ字状のＹＺ断面を有しており、Ｘ方向に予め設定された長さを有している板（Ｌ字板とも言う）である。具体的には、制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｃは、ＸＺ平面に略平行な盤面を有する板状部Ｐｖ１ａと、該板状部Ｐｖ１ａの−Ｚ方向の端部から−Ｙ方向に突出し且つＸＹ平面に略平行な盤面を有する凸部Ｐｅ１としての板状部Ｐｅ１ａとを有している。制動部Ｂ１ｂ，Ｂ１ｄは、ＸＺ平面に略平行な盤面を有する板状部Ｐｖ１ｂと、該板状部Ｐｖ１ｂの−Ｚ方向の端部からＹ方向に突出し且つＸＹ平面に略平行な盤面を有する凸部Ｐｅ１としての板状部Ｐｅ１ｂとを有している。

制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｃは、板状部Ｐｖ１ａの−Ｙ方向に向いた第１面Ｓ１ａ、板状部Ｐｅ１ａのＺ方向に向いた第２面Ｓ２ａ、板状部Ｐｅ１ａの−Ｚ方向に向いた第３面Ｓ３ａおよび面取り部Ｃ１ａを有している。面取り部Ｃ１ａには、第１面Ｓ１ａおよび第２面Ｓ２ａと制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｃの±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ａ、ならびに第３面Ｓ３ａと制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｃの±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ａが含まれる。また、制動部Ｂ１ｂ，Ｂ１ｄは、板状部Ｐｖ１ｂのＹ方向に向いた第１面Ｓ１ｂ、板状部Ｐｅ１ｂのＺ方向に向いた第２面Ｓ２ｂ、板状部Ｐｅ１ｂの−Ｚ方向に向いた第３面Ｓ３ｂおよび面取り部Ｃ１ｂを有している。面取り部Ｃ１ｂには、第１面Ｓ１ｂおよび第２面Ｓ２ｂと制動部Ｂ１ｂ，Ｂ１ｄの±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ｂ、ならびに第３面Ｓ３ｂと制動部Ｂ１ｂ，Ｂ１ｄの±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部Ｃ１ｂが含まれる。

図２２は、移動体２１１ＥをＸ方向から平面視した図である。移動体２１１Ｅは、Ｙ方向を向いた第１側面Ｓｓ１と−Ｙ方向を向いた第２側面Ｓｓ２とを有している。また、移動体２１１Ｅは、第１側面Ｓｓ１と±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部ＣＳ１ａ、ならびに第２側面Ｓｓ２と±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部ＣＳ１ｂを有している。また、凹部Ｄ１ａは、Ｚ方向に対向する上下面ＳＩ１ａ、ならびに該上下面ＳＩ１ａと±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部ＣＩ１ａを有している。また、凹部Ｄ１ｂは、Ｚ方向に対向する上下面ＳＩ１ｂ、ならびに該上下面ＳＩ１ｂと±Ｘ方向の側面とを接続する面取り部ＣＩ１ｂを有している。

ここで、凹部Ｄ１に凸部Ｐｅ１が嵌合している際には、凸部Ｐｅ１の上下面と、凹部Ｄ１の上下面とによって、移動体２１１Ｅの上下方向としての±Ｚ方向における動きが規制される。具体的には、板状部Ｐｅ１ａの第２および第３面Ｓ２ａ，Ｓ３ａ、ならびに凹部Ｄ１ａの上下面ＳＩ１ａによって、移動体２１１Ｅの上下方向としての±Ｚ方向における動きが規制される。また、板状部Ｐｅ１ｂの第２および第３面Ｓ２ｂ，Ｓ３ｂ、ならびに凹部Ｄ１ｂの上下面ＳＩ１ｂによって、移動体２１１Ｅの上下方向としての±Ｚ方向における動きが規制される。

図２３は、制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄによって移動体２１１Ｅの動きが規制される様子を−Ｙ方向から見た図である。制動部Ｂ１による移動体２１１Ｅの±Ｙ方向における動きの規制は、上記第１実施形態と同様であるが、±Ｚ方向における動きの規制の態様が上記第１実施形態とは異なる。

ここでは、板状部Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂのＺ方向の厚さｈ１、凹部Ｄ１ａの上下面ＳＩ１ａ間のＺ方向における間隔ｈ２、面取り部Ｃ１ａ，Ｃ１ｂの曲率半径ρ１ｈおよび面取り部ＣＩ１ａ，ＣＩ１ｂの曲率半径ρ３ｈの間に、式（１１）の関係が成立すれば良い。

Ｔｄ２−（ρ１ｈ＋ρ３ｈ）×（１−１／√２）＜（ｈ２−ｈ１）／２＜Ｔｄ２ ・・・（１１）

なお、式（１１）のＴｄ２は、ガイド軸２１６の存在による規制により、移動体２１１が搬送用ベルトＢｔ１の撓みによって上下左右方向に移動することができる移動可能量としての距離Ｔｄ２である。ここでは、式（１１）を満たすように、各パラメーターが設定されることで、第１区間Ｚ１において移動体２１１Ｅの停止位置が高精度に調整され得るとともに、相互に対向する制動部Ｂ１の間隙に移動体２１１Ｅが円滑に入り込み得る。

＜(２−１)第２実施形態のまとめ＞
以上のように、第２実施形態に係る移動機構２１Ｅによれば、移動体２１１Ｅに設けられた凹部Ｄ１と、制動部Ｂ１に設けられた凸部Ｐｅ１とが嵌合することで、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｅの動きが規制される。また、凹部Ｄ１と凸部Ｐｅ１との間に摩擦力が生じることで、制動部Ｂ１によって移動体２１１Ｅに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｅの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｅの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｅの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｅの停止位置が高精度に調整され得る。すなわち、移動体２１１Ｅの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｅの停止位置が高精度に調整され得る。また、第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅによっても、移動体２１１Ｅの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｅの停止位置が高精度に調整され得る。さらに、第２実施形態に係る搬送装置によれば、移動体２１１Ｅの移動速度が向上されつつ、移動体２１１Ｅの停止位置が高精度に調整され得るため、被搬送物９が迅速かつ精度良く搬送され得る。

そして、凹部Ｄ１および凸部Ｐｅ１の設計によって、制動部Ｂ１の配置の自由度が高まる。このため、移動体２１１Ｅの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｅが停止する位置を高精度に調整することが容易に実現され得る。

＜(２−２)第２実施形態の変形例＞
＜(２−２−１)第１変形例＞
上記第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅにおいては、制動部Ｂ１によって移動経路Ｔｒ１に交差する第１および第２交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における移動体２１１Ｅの動きが規制されたが、これに限られない。例えば、第１交差方向における移動体２１１の動きの規制と、第２交差方向における移動体２１１の動きの規制とが、別々の部材で規制されるような構成に変更されても良い。このような構成でも、上記第２実施形態と同様な効果が得られる。

図２４は、第２実施形態の第１変形例に係るアクチュエーター２Ｆの外観を模式的に示す斜視図である。本変形例では、上記第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅの代わりに、アクチュエーター２Ｆが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｆでは、上記第２実施形態に係る移動機構２１Ｅの代わりに、移動機構２１Ｆが採用されている。移動機構２１Ｆは、上記第２実施形態に係る移動機構２１Ｅがベースとされて、各ガイド軸２１６が、案内部としての案内機構２１６Ｆに置換され、各制動部Ｂ１が、２つの制動部Ｂ１Ｆに置換され、移動体２１１Ｅが移動体２１１Ｆに置換されたものである。

図２４で示されるように、案内機構２１６Ｆは、移動経路Ｔｒ１に沿って配されており、ＹＺ断面がＬ字状であり且つＸ方向に延在する第１および第２案内機構２１６Ｆａ，２１６Ｆｂを有している。第１案内機構２１６Ｆａは、ＸＺ平面に略平行な盤面を有する板状の部分（第１垂直板状部とも言う）および第１垂直板状部の−Ｚ方向の端部から−Ｙ方向に突出し且つＸＹ平面に略平行な盤面を有する板状の部分（第１水平板状部とも言う）を有している。ここで、第１垂直板状部は、移動経路Ｔｒ１のＹ方向に位置し、第１水平板状部は、移動経路Ｔｒ１の−Ｚ方向に位置している。第２案内機構２１６Ｆｂは、ＸＺ平面に略平行な盤面を有する板状の部分（第２垂直板状部とも言う）および第２垂直板状部の−Ｚ方向の端部からＹ方向に突出し且つＸＹ平面に略平行な盤面を有する板状の部分（第２水平板状部とも言う）を有している。ここで、第２垂直板状部は、移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に位置し、第２水平板状部は、移動経路Ｔｒ１の−Ｚ方向に位置している。

また、第１水平板状部の上面と第２水平板状部の上面とがＸＹ平面に略平行であり且つ仮想的な略同一平面上に配されている。そして、移動体２１１Ｆが、案内機構２１６Ｆに対して±Ｘ方向に摺動自在に、第１垂直板状部と第２垂直板状部との間に嵌り込み且つ第１および第２水平板状部の上に載置されている。これにより、案内機構２１６Ｆは、移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｆの移動を案内するとともに、移動経路Ｔｒ１と交差する交差方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する。

第１支持部２１３には、移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する内壁面上に４つの制動部Ｂ１が取り付けられている。これらの各制動部Ｂ１は、第１区間Ｚ１１に沿って配されている。具体的には、移動経路Ｔｒ１のＹ方向に２つの制動部Ｂ１Ｆａ，Ｂ１Ｆｂが配され、移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に２つの制動部Ｂ１Ｆｃ，Ｂ１Ｆｄが配されている。ここでは、駆動機構２１２によって移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｆが、制動部Ｂ１Ｆａ〜Ｂ１Ｆｂと嵌合している状態で移動することで、移動体２１１Ｆが第１支持部２１３に挟まれている予め設定された位置に精度良く停止され得る。

また、第２支持部２１４には、移動経路Ｔｒ１をＹ方向において挟み且つ対向する内壁面上に４つの制動部Ｂ１が取り付けられている。これらの各制動部Ｂ１は、第１区間Ｚ１２に沿って配されている。具体的には、移動経路Ｔｒ１のＹ方向に２つの制動部Ｂ１Ｆｅ，Ｂ１Ｆｆが配され、移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に２つの制動部Ｂ１Ｆｇ，Ｂ１Ｆｈが配されている。ここでは、駆動機構２１２によって移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｆが、制動部Ｂ１Ｆｅ〜Ｂ１Ｆｈと嵌合している状態で移動することで、移動体２１１Ｆが第１支持部２１３に挟まれている予め設定された位置に精度良く停止され得る。

図２５は、本変形例に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す斜視図である。ここでは、移動機構２１Ｆのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とは、略同一である。例えば、移動機構２１Ｆのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、移動機構２１Ｆのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とが、ＹＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。このため、ここでは、移動機構２１Ｆのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成を例に挙げて説明する。

図２５で示されるように、各制動部Ｂ１は、類似の構成を有しており、第２支持部２１４の移動経路Ｔｒ１側の内壁面上からそれぞれ突起する部分（突起部とも言う）と、該突起部の一端部からＸ方向に延在する凸部Ｐｆ１とを有している。例えば、制動部Ｂ１Ｆｅは、第２支持部２１４の−Ｙ方向の内壁面から突起している突起部と、該突起部の−Ｙ方向の端部からＸ方向に延在している第１凸部Ｐｆ１１とを有している。制動部Ｂ１Ｆｆは、第２支持部２１４の−Ｙ方向の内壁面から突起している突起部と該突起部の−Ｙ方向の端部からＸ方向に延在している第２凸部Ｐｆ１２とを有している。ここでは、制動部Ｂ１Ｆｆは制動部Ｂ１Ｆｅよりも−Ｚ方向に配置されている。

また、ここでは、制動部Ｂ１Ｆｅと制動部Ｂ１Ｆｇとは、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。また、制動部Ｂ１Ｆｆと制動部Ｂ１Ｆｈとは、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。このため、例えば、制動部Ｂ１Ｆｇは、第２支持部２１４のＹ方向の内壁面から突起している突起部と該突起部のＹ方向の端部からＸ方向に延在する第３凸部Ｐｆ１３とを有している。制動部Ｂ１Ｆｈは、第２支持部２１４のＹ方向の内壁面から突起している突起部と該突起部のＹ方向の端部からＸ方向に延在する第４凸部Ｐｆ１４とを有している。ここでは、制動部Ｂ１Ｆｈは制動部Ｂ１Ｆｇよりも−Ｚ方向の位置に設けられている。

第１凸部Ｐｆ１１および第３凸部Ｐｆ１３は、それぞれＸＹ平面に略平行な上面と下面とを有している。ここで、第１凸部Ｐｆ１１および第３凸部Ｐｆ１３における延在方向としてのＸ方向に垂直な各断面は、例えば、略矩形状であれば良い。そして、第１凸部Ｐｆ１１および第３凸部Ｐｆ１３のＸ方向の各端部は、例えば、ＸＺ断面がＸ方向に凸形状となるような面取り部を有している。また、第２凸部Ｐｆ１２および第４凸部Ｐｆ１４は、それぞれＸＺ平面に略平行な２つの側面を有している。そして、第２凸部Ｐｆ１２および第４凸部Ｐｆ１４における延在方向に垂直な各断面は、例えば、略矩形状であれば良い。そして、第２凸部Ｐｆ１２および第４凸部Ｐｆ１４のＸ方向の各端部は、例えば、ＸＹ断面がＸ方向に凸形状となるような面取り部を有している。

図２６は、移動体２１１Ｆの外観を示す斜視図である。移動体２１１Ｆは、上記第２実施形態に係る移動体２１１Ｅにおける凹部Ｄ１が、移動方向としてのＸ方向に延在する凹部Ｄ１Ｆに置換されたものである。ここでは、移動体２１１Ｆは、略直方体状の形状を有するとともに、４つの凹部Ｄ１Ｆとしての第１〜４凹部Ｄ１１〜Ｄ１４を有している。第１凹部Ｄ１１は、移動体２１１ＦのＹ方向の側面が−Ｙ方向に凹んでいる部分であり且つＸ方向に延在している。第２凹部Ｄ１２は、移動体２１１Ｆの−Ｚ方向の底面のうちのＹ方向に偏った部分がＺ方向に凹んでいる部分であり且つＸ方向に延在している。第３凹部Ｄ１３は、移動体２１１Ｆの−Ｚ方向の底面のうちの−Ｙ方向に偏った部分がＺ方向に凹んでいる部分であり且つＸ方向に延在している。第４凹部Ｄ１４は、移動体２１１Ｆの−Ｙ方向の側面がＹ方向に凹んでいる部分であり且つＸ方向に延在している。

また、各凹部Ｄ１Ｆは、移動体２１１Ｆが第２区間Ｚ２に配されている状態で、制動部Ｂ１Ｆが位置する方向に開口を有している。そして、第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｆが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１Ｆが有する移動方向としてのＸ方向に延在する凸部Ｐｆ１が凹部Ｄ１Ｆに嵌合する。

図２７は、制動部Ｂ１Ｆと移動体２１１Ｆとが嵌合する様子を示す図である。図２７で示されるように、移動体２１１Ｆが、移動経路Ｔｒ１に沿って第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２に移動すると、各凸部Ｐｆ１と各凹部Ｄ１Ｆとが嵌合する。具体的には、第１凸部Ｐｆ１１が第１凹部Ｄ１１に嵌合し、第２凸部Ｐｆ１２が第２凹部Ｄ１２に嵌合し、第３凸部Ｐｆ１３が第３凹部Ｄ１３に嵌合し、第４凸部Ｐｆ１４が第４凹部Ｄ１４に嵌合する。これにより、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｆの動きが規制される。具体的には、第２および第４凸部Ｐｆ１２，Ｐｆ１４は、第１交差方向としてのＹ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する制動部（第１制動部とも言う）として働く。また、第１および第３凸部Ｐｆ１１，Ｐｆ１３は、第２交差方向としてのＺ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する制動部（第２制動部とも言う）として働く。

このように、第１交差方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する部材と、第２交差方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する部材とが、別々の部材によって構成されていることで、制動部Ｂ１Ｆの配置の自由度が高まる。これにより、移動体２１１Ｆが停止する位置が容易かつ高精度に調整され得る。

また、各凸部Ｐｆ１と各凹部Ｄ１Ｆとが嵌合している状態で、移動体２１１Ｆが移動経路Ｔｒ１に沿って移動すると、凹部Ｄ１Ｆと凸部Ｐｆ１との間に摩擦力が生じる。これにより、制動部Ｂ１Ｆによって移動体２１１Ｆに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｆの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。

ところで、本変形例では、第１区間Ｚ１毎に、２つの交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する４本の制動部Ｂ１Ｆが配されていたが、これに限られない。例えば、第１区間Ｚ１毎に、第１交差方向としてのＹ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する１以上の制動部Ｂ１Ｆと、第２交差方向としてのＺ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する１以上の制動部Ｂ１Ｆとが配されれば良い。例えば、図２７で示される第１凸部Ｐｆ１１と第４凸部Ｐｆ１４との組、および第２凸部Ｐｆ１２と第３凸部Ｐｆ１３との組の何れかが採用される態様が考えられる。この場合、各第１区間Ｚ１における２本の制動部Ｂ１Ｆの間隔が広ければ広い程、移動経路Ｔｒ１に沿った仮想的な回転軸を中心とする回転方向における移動体２１１Ｆの動きがより規制される。なお、仮に、案内機構２１６Ｆによって第２交差方向としてのＺ方向における移動体２１１Ｆの動きがある程度規制される場合には、第１交差方向としてのＹ方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する１つの制動部Ｂ１Ｆのみが設けられる態様も考えられる。

但し、第１区間Ｚ１毎に、２以上のある程度の数の制動部Ｂ１Ｆが設けられれば、移動体２１１Ｆと制動部Ｂ１Ｆとの間に生じる摩擦力が大きくなり、移動方向において移動体２１１Ｆが停止する位置がより高精度に調整され得る。また、制動部Ｂ１Ｆによって、移動経路Ｔｒ１と交差する２つの交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における移動体２１１の動きが規制されることで、移動体２１１Ｆが停止する位置がさらに高精度に調整される。そして、この場合、案内機構２１６Ｆに要求される寸法精度および取り付け精度が低くても良い。これにより、案内部としての案内機構２１６Ｆの製造および取り付けが容易となり得る。したがって、移動経路Ｔｒ１と交差する２以上の交差方向における移動体２１１Ｆの動きを規制する制動部Ｂ１Ｆが設けられれば、移動経路Ｔｒ１に交差する方向における移動体２１１Ｆのぶれがさらに低減される。その結果、移動体２１１Ｆが停止する位置がさらに高精度に調整され得る。

＜(２−２−２)第２変形例＞
上記第２実施形態およびその第１変形例では、制動部Ｂ１，Ｂ１Ｆが、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１に沿って第１および第２支持部２１３，２１４に設けられていたが、これに限られない。例えば、制動部Ｂ１，Ｂ１Ｆが、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１に沿ってガイド軸２１６および支持部２１３，２１４のうちの少なくとも一方に設けられるように変更されても良い。また、上記第２実施形態およびその第１変形例では、凹部Ｄ１，Ｄ１Ｆが凹んでいる方向（凹方向とも言う）が交差方向であり、凸部Ｐｅ１，Ｐｆ１が突起および延在している方向（凸方向とも言う）が、移動経路Ｔｒ１に沿った方向であったが、これに限られない。例えば、凹方向および凸方向は、移動方向および交差方向の少なくとも１つの方向を含んでいれば良い。

図２８は、第２実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ｇの外観を模式的に示す斜視図である。本変形例では、上記第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅの代わりに、アクチュエーター２Ｇが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｇでは、上記第２実施形態に係る移動機構２１Ｅの代わりに、移動機構２１Ｇが採用されている。

移動機構２１Ｇは、移動機構２１Ｅがベースとされて、各制動部Ｂ１が、ガイド軸２１６の各端部から該ガイド軸２１６の延在方向に伸びる延長線に沿った領域に位置する制動部Ｂ１Ｇに置換され、移動体２１１Ｅが移動体２１１Ｇに置換されたものである。ガイド軸２１６の延在方向と、ガイド軸２１６に沿って移動体２１１Ｇが移動する移動方向とは略同一である。

例えば、制動部Ｂ１Ｇには、Ｘ方向に延在する略円柱状の第１〜４制動部Ｂ１Ｇａ〜Ｂ１Ｇｄが含まれる。第１制動部Ｂ１Ｇａおよび第２制動部Ｂ１Ｇｂが、第１支持部２１３のＹＺ平面に略平行な盤面を有する部分の−Ｘ方向の内壁面から−Ｘ方向に延在するように設けられており、相互にＹ方向に離間している。また、第３制動部Ｂ１Ｇｃおよび第４制動部Ｂ１Ｇｄが、第２支持部２１４のＹＺ平面に略平行な盤面を有する部分のＸ方向の内壁面からＸ方向に延在するように設けられており、相互にＹ方向に離間している。各制動部Ｂ１ＧのＹＺ断面の径は、Ｘ方向に位置に拘わらず、略同一であれば良い。そして、第１ガイド軸２１６ａが、第１制動部Ｂ１Ｇａと第３制動部Ｂ１Ｇｃとの間に架設されるように配されており、第２ガイド軸２１６ｂが、第２制動部Ｂ１Ｇｂと第４制動部Ｂ１Ｇｄとの間に架設されるように配されている。

ここでは、例えば、第１ガイド軸２１６ａの一端部に配された雄ねじが、第１制動部Ｂ１Ｇａの先端部に配された雌ねじに嵌め合わせられ、第１ガイド軸２１６ａの他端部に配された雄ねじが、第３制動部Ｂ１Ｇｃの先端部に配された雌ねじに嵌め合わせられる。また、例えば、第２ガイド軸２１６ｂの一端部に配された雄ねじが、第２制動部Ｂ１Ｇｂの先端部に配された雌ねじに嵌め合わせられ、第２ガイド軸２１６ｂの他端部に配された雄ねじが、第４制動部Ｂ１Ｇｄの先端部に配された雌ねじに嵌め合わせられる。

そして、ここでは、第１および第３制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｃの径が第１ガイド軸２１６ａの径よりも大きい。そして、第１および第３制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｃは、第１および第２支持部２１３，２１４から移動体２１１Ｇの移動方向としての±Ｘ方向に延在する凸部としての役割を有する。また、第２および第４制動部Ｂ１Ｇｂ，Ｂ１Ｇｄの径が第２ガイド軸２１６ｂの径よりも大きい。そして、第２および第４制動部Ｂ１Ｇｂ，Ｂ１Ｇｄは、第１および第２支持部２１３，２１４から移動体２１１Ｇの移動方向としての±Ｘ方向に延在する凸部としての役割を有する。

なお、ここでは、ガイド軸２１６の各端部から該ガイド軸２１６の延在方向に伸びる延長線に沿った領域に制動部Ｂ１Ｇが配されたが、これに限られない。例えば、ガイド軸２１６の端部近傍の該ガイド軸２１６上に制動部Ｂ１Ｇが配されても良い。つまり、制動部Ｂ１Ｇは、ガイド軸２１６上の領域およびガイド軸２１６の延在方向における延長線に沿った領域のうちの少なくとも一方の領域に配されていれば良い。このような構成によれば、制動部Ｂ１Ｇの配置に要するスペースが低減される。このため、移動体２１１Ｇの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｇが停止する位置を高精度に調整することが容易に実現され得る。

移動体２１１Ｇは、該移動体２１１Ｇの移動方向としてのＸ方向に延在する貫通孔Ｔ１Ｇを有している。貫通孔Ｔ１ＧのＹＺ断面は、例えば、略円形であれば良い。ここで、各ガイド軸２１６は、Ｘ方向に延在する貫通孔Ｔ１Ｇを介して移動体２１１Ｇを貫通するように配されている。貫通孔Ｔ１Ｇには、第１貫通孔Ｔ１Ｇａおよび第２貫通孔Ｔ１Ｇｂが含まれる。そして、例えば、第１ガイド軸２１６ａが、Ｘ方向に延在する第１貫通孔Ｔ１Ｇａを介して移動体２１１Ｇを貫通するように配されており、第２ガイド軸２１６ｂが、Ｘ方向に延在する第２貫通孔Ｔ１Ｇｂを介して移動体２１１Ｇを貫通するように配されている。なお、第１ガイド軸２１６ａと第２ガイド軸２１６ｂとが略同一の構成を有し、第１貫通孔Ｔ１Ｇａと第２貫通孔Ｔ１Ｇｂとが略同一の構成を有していれば良い。

図２９は、本変形例に係る移動体２１１ＧのＸＺ断面を模式的に示す図である。図２９で示されるように、各貫通孔Ｔ１Ｇは、Ｘ方向から−Ｘ方向に向かって、第１の径を有する第１領域Ｔｚ１と、第２の径を有する第２領域Ｔｚ２と、第３の径を有する第３領域Ｔｚ３とを有している。ここで、第１〜第３の径は、第１〜３領域Ｔｚ１〜Ｔｚ３におけるＹＺ断面の径である。第１〜３領域Ｔｚ１〜Ｔｚ３は、それぞれ円柱状であれば良い。また、ここでは、例えば、第１の径と第３の径とが、略同一であり、第２の径は、第１および第３の径よりも小さい。そして、第１領域Ｔｚ１は、第１および第２制動部Ｂ１Ｇａ、Ｂ１Ｇｂが摺動自在に嵌合する領域である。第２領域Ｔｚ２は、ガイド軸２１６が摺動自在に嵌合する領域である。第３領域Ｔｚ３は、第３および第４制動部Ｂ１Ｇｃ、Ｂ１Ｇｄが摺動自在に嵌合する領域である。

つまり、ここでは、貫通孔Ｔ１Ｇの第１領域Ｔｚ１が、移動体２１１Ｇの移動方向としての±Ｘ方向に延在しており、移動体２１１Ｇが第２区間Ｚ２に存在する場合に第１および第２制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｂが位置する方向に開口を有する凹部となっている。また、貫通孔Ｔ１Ｇの第３領域Ｔｚ３が、移動体２１１Ｇの移動方向としての±Ｘ方向に延在しており、移動体２１１Ｇが第２区間Ｚ２に存在する場合に第３および第４制動部Ｂ１Ｇｃ，Ｂ１Ｇｄが位置する方向に開口を有する凹部となっている。なお、第１領域Ｔｚ１の延在方向の長さは、例えば、第３領域Ｔｚ３の延在方向の長さと略同一であれば良い。

図３０は、本変形例に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す断面図である。ここでは、移動機構２１Ｇのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とは、略同一である。例えば、移動機構２１Ｇのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、移動機構２１Ｇのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とが、ＹＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。このため、ここでは、移動機構２１Ｇのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成を例に挙げて説明する。なお、第１制動部Ｂ１Ｇａと第２制動部Ｂ１Ｇｂとは、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。また、第３制動部Ｂ１Ｇｃと第４制動部Ｂ１Ｇｄとは、第１および第２制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｂと同様に、移動経路Ｔｒ１を通り且つＸＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。

図３０で示されるように、移動体２１１Ｇが、移動経路Ｔｒ１に沿って、第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１内に移動することで、制動部Ｂ１Ｇが、貫通孔Ｔ１Ｇに嵌合する。例えば、移動体２１１Ｇが、移動経路Ｔｒ１に沿って、第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２内に移動することで、第３および第４制動部Ｂ１Ｇｃ，Ｂ１Ｇｄが、第１および第２貫通孔Ｔ１Ｇの第３領域Ｔｚ３にそれぞれ嵌合する。一方、移動体２１１Ｇが、移動経路Ｔｒ１に沿って、第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１１内に移動することで、第１および第２制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｂが、第１および第２貫通孔Ｔ１Ｇの第１領域Ｔｚ１に嵌合する。

図３１は、制動部Ｂ１Ｇによって移動体２１１Ｇの交差方向における動きが規制される態様を示すＸＺ断面である。図３１で示されるように、ここでは、制動部Ｂ１Ｇの径ｄｇ１とガイド軸２１６の径ｄｇ２との間には、式（１２）の関係が成立する。

ｄｇ１＞ｄｇ２ ・・・（１２）

また、貫通孔Ｔ１Ｇにおいて、第３領域Ｔｚ３の径Ｄｇ１と第２領域Ｔｚ２の径Ｄｇ２との間には、式（１３）の関係が成立する。

Ｄｇ１＞Ｄｇ２ ・・・（１３）

ここで、第１区間Ｚ１において制動部Ｂ１Ｇによって移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｇの動きが許容される第１許容量ｃｇ１は、式（１４−１）で示される。また、第２区間Ｚ２においてガイド軸２１６によって移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｇの動きが許容される第２許容量ｃｇ２は、式（１４−２）で示される。

ｃｇ１＝（Ｄｇ１−ｄｇ１）／２ ・・・（１４−１）
ｃｇ２＝（Ｄｇ２−ｄｇ２）／２ ・・・（１４−２）

この場合、式（１５）で示されるように、第１許容量ｃｇ１が第２許容量ｃｇ２よりも小さくなるように設定される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向において移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

ｃｇ１＜ｃｇ２ ・・・（１５）

また、移動体２１１Ｇが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、第２区間Ｚ２においてガイド軸２１６と移動体２１１Ｇとの間に生じる第１摩擦力よりも、第１区間Ｚ１において制動部Ｂ１Ｇと移動体２１１Ｇとの間に生じる第２摩擦力が大きくなるように設定される。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｇの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｇの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｇの停止位置が高精度に調整され得る。

なお、制動部Ｂ１Ｇの先端部の外周部に面取り部が設けられていれば、移動体２１１Ｇの貫通孔Ｔ１Ｇに制動部Ｂ１Ｇが円滑に嵌合し得る。なお、面取り部の形状は、例えば、曲率を有する曲面状であっても良いし、制動部Ｂ１Ｇの先端部の径が徐々に変化するようなテーパー状のものであっても良い。

＜(２−２−３)第３変形例＞
上記第２実施形態およびその第１および第２変形例では、移動体２１１Ｇが移動経路Ｔｒ１に沿って第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に進入する際に、移動体２１１Ｇが複数の制動部Ｂ１Ｇに略同時に嵌合したが、これに限られない。例えば、移動体２１１Ｇが移動経路Ｔｒ１に沿って第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に移動する際に、１つの制動部Ｂ１Ｇに当接する第１タイミングと他の制動部Ｂ１Ｇに当接する第２タイミングとが異なるように変更されても良い。このような構成によれば、上記第２実施形態の第２変形例と同様な効果が得られるとともに、移動体が２以上の制動部に順に当接するため、移動体が移動方向において円滑に移動し得る。

図３２は、第２実施形態の第３変形例に係るアクチュエーター２Ｈの外観を模式的に示す斜視図である。本変形例では、上記第２実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ｇの代わりに、アクチュエーター２Ｈが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｈでは、上記第２実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ｇの代わりに、移動機構２１Ｈが採用されている。

移動機構２１Ｈは、移動機構２１Ｇがベースとされて、複数の制動部Ｂ１Ｇが、延在方向の長さが相互に異なる複数の制動部Ｂ１Ｈに置換され、移動体２１１Ｇが、移動体２１１Ｈに置換されたものである。

例えば、制動部Ｂ１Ｈには、Ｘ方向に延在する略円柱状の第１〜４制動部Ｂ１Ｈａ〜Ｂ１Ｈｄが含まれる。第１および第２制動部Ｂ１Ｈａ，Ｂ１Ｈｂは、上記第２実施形態に係る第１および第２制動部Ｂ１Ｇａ，Ｂ１Ｇｂがベースとされて、延在方向としてのＸ方向の長さが相互に異なるように変更されたものである。図３２には、第１制動部Ｂ１Ｈａの延在方向としてのＸ方向における長さが、第２制動部Ｂ１Ｈｂの延在方向としてのＸ方向における長さよりも短い例が示されている。また、第３および第４制動部Ｂ１Ｈｃ，Ｂ１Ｈｄは、上記第２実施形態に係る第３および第４制動部Ｂ１Ｇｃ，Ｂ１Ｇｄがベースとされて、延在方向としてのＸ方向の長さが相互に異なるように変更されたものである。図３２には、第３制動部Ｂ１Ｈｃの延在方向としてのＸ方向における長さが、第４制動部Ｂ１Ｈｄの延在方向としてのＸ方向における長さよりも長い例が示されている。

つまり、ここでは、第１ガイド軸２１６ａのＸ方向の端部が連結している第１制動部Ｂ１Ｈａは、第１ガイド軸２１６ａの−Ｘ方向の端部が連結している第３制動部Ｂ１Ｈｃよりも短い。また、第２ガイド軸２１６ｂのＸ方向の端部が連結している第２制動部Ｂ１Ｈｂは、第２ガイド軸２１６ｂの−Ｘ方向の端部が連結している第４制動部Ｂ１Ｈｄよりも長い。そして、例えば、第１制動部Ｂ１ＨａのＸ方向における長さと、第４制動部Ｂ１ＨｄのＸ方向における長さとが略同一であり、第２制動部Ｂ１ＨｂのＸ方向における長さと、第３制動部Ｂ１ＨｃのＸ方向における長さとが略同一であれば良い。

図３３は、移動体２１１ＨのＸＹ断面を模式的に示す図である。移動体２１１Ｈは、上記第２実施形態の第２変形例に係る移動体２１１Ｇがベースとされて、第１および第２貫通孔Ｔ１Ｇａ，Ｔ１Ｇｂの第１〜３領域Ｔｚ１〜Ｔｚ３における延在方向の長さが変更された第１および第２貫通孔Ｔ１Ｈａ，Ｔ１Ｈｂを有する。具体的には、第１貫通孔Ｔ１Ｇａの第１〜３領域Ｔｚ１〜Ｔｚ３が、第１貫通孔Ｔ１Ｈａの第１〜３領域Ｔｚ１ａ〜Ｔｚ３ａに変更されている。また、第２貫通孔Ｔ１Ｇｂの第１〜３領域Ｔｚ１〜Ｔｚ３が、第２貫通孔Ｔ１Ｈｂの第１〜３領域Ｔｚ１ｂ〜Ｔｚ３ｂに変更されている。

第１貫通孔Ｔ１Ｈａにおいては、第３領域Ｔｚ３ａの延在方向における長さが、第１領域Ｔｚ１ａの延在方向における長さよりも長い。例えば、第３領域Ｔｚ３ａの延在方向における長さが、第１貫通孔Ｔ１Ｈａの延在方向における全体の長さの半分を超えている。そして、第３領域Ｔｚ３ａは、移動体２１１Ｈの−Ｘ方向の端部から、移動体２１１Ｈの重心Ｃｇ１Ｈを通り且つ移動方向としての±Ｘ方向に垂直な仮想的な平面Ｓｃ１Ｈを超える位置までＸ方向に延在している。なお、第２領域Ｔｚ２ａは、例えば、上記第２領域Ｔｚ２とＸ方向に延在する距離ならびにＹＺ断面の径が略同一のものであれば良い。

第２貫通孔Ｔ１Ｈｂにおいては、第１領域Ｔｚ１ｂの延在方向における長さが、第３領域Ｔｚ３ｂの延在方向における長さよりも長い。例えば、第１領域Ｔｚ１ｂの延在方向における長さが、第２貫通孔Ｔ１Ｈｂの延在方向における全体の長さの半分を超えている。そして、第１領域Ｔｚ１ｂは、移動体２１１ＨのＸ方向の端部から、移動体２１１Ｈの重心Ｃｇ１Ｈを通る仮想的な平面Ｓｃ１Ｈを超える位置まで−Ｘ方向に延在している。なお、第２領域Ｔｚ２ｂは、例えば、上記第２領域Ｔｚ２とＸ方向に延在する距離ならびにＹＺ断面の径が略同一のものであれば良い。

図３４は、本変形例に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す断面図である。ここでは、移動機構２１Ｈのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とは、略同一である。例えば、移動機構２１Ｈのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、移動機構２１Ｈのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とが、ＹＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。このため、ここでは、移動機構２１Ｈのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成を例に挙げて説明する。

図３４で示されるように、移動体２１１Ｈが、移動経路Ｔｒ１に沿って、第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１内に移動することで、制動部Ｂ１Ｈが、貫通孔Ｔ１Ｈに嵌合する。例えば、移動体２１１Ｈが、移動経路Ｔｒ１に沿って第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２内に移動する際に、第３制動部Ｂ１Ｈｃが第１貫通孔Ｔ１Ｇａの第３領域Ｔｚ３ａに嵌合し、その後、第４制動部Ｂ１Ｈｄが第２貫通孔Ｔ１Ｇｂの第３領域Ｔｚ３ｂに嵌合する。このように、移動体２１１Ｈが、第３制動部Ｂ１Ｈｃと第４制動部Ｂ１Ｈｄとに順に嵌合することで、移動体２１１Ｈが第３制動部Ｂ１Ｈｃに嵌合する第１タイミングと、移動体２１１Ｈが第４制動部Ｂ１Ｈｄに嵌合する第２タイミングとが異なる。これにより、第３制動部Ｂ１ＨｃのＸ方向の先端部が移動体２１１Ｈの−Ｘ方向の端部に引っかかるタイミングと、第４制動部Ｂ１ＨｄのＸ方向の先端部が移動体２１１Ｈの−Ｘ方向の端部に引っかかるタイミングとが異なる。その結果、移動体２１１Ｈが移動方向において円滑に移動し得る。

また、図３４で示されるように、第３制動部Ｂ１Ｈｃが、移動体２１１Ｈの重心Ｃｇ１Ｈを通り且つ移動方向としての±Ｘ方向に垂直な仮想的な平面Ｓｃ１Ｈ上に位置する部分に当接していれば、移動体２１１Ｈの姿勢が安定し得る。つまり、移動体２１１のぶれが低減されるため、移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

また、第１区間Ｚ１２では、移動体２１１Ｈと第３および第４制動部Ｂ１Ｈｃ，Ｂ１Ｈｃの双方とが嵌合することで、移動経路Ｔｒ１に沿った仮想的な回転軸を中心とする回転方向における移動体２１１Ｈの動きが規制される。

＜(２−２−４)第４変形例＞
上記第２実施形態およびその第１〜３変形例では、ガイド軸２１６が設けられていたが、これに限られず、ガイド軸２１６がそれぞれ省かれた構成が採用されても良い。この場合、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１のみに沿って制動部Ｂ１，Ｂ１Ｆ，Ｂ１Ｇ，Ｂ１Ｈが配される。このため、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈの移動経路Ｔｒ１に沿ったＸ方向において該移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈの停止位置が高精度に調整され得る。すなわち、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈの停止位置が高精度に調整され得る。そして、その結果、被搬送物９が迅速かつ精度良く搬送され得る。

図３５は、第２実施形態の第４変形例に係るアクチュエーター２Ｉの外観を模式的に示す斜視図である。本変形例では、上記第２実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ｇの代わりに、アクチュエーター２Ｉが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｉでは、上記第２実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ｇの代わりに、移動機構２１Ｉが採用されている。移動機構２１Ｉは、上記第２実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ｇがベースとされて、ガイド軸２１６が取り除かれ、移動体２１１Ｇが移動体２１１Ｉに置換された構成を有している。移動体２１１Ｉは、上記第２実施形態の第２変形例に係る移動体２１１Ｇがベースとされて、貫通孔Ｔ１ＧがＹＺ断面の径がＸ方向の位置に拘わらずＤｇ１で略一定である貫通孔Ｔ１Ｉに置換されたものである。貫通孔Ｔ１Ｉには、第１貫通孔Ｔ１Ｉａおよび第２貫通孔Ｔ１Ｉｂが含まれる。第１貫通孔Ｔ１Ｉａは、上記第２実施形態の第２変形例に係る第１貫通孔Ｔ１Ｇａがベースとされて、ＹＺ断面の径がＸ方向の位置に拘わらずＤｇ１で略一定とされたものである。第２貫通孔Ｔ１Ｉｂは、上記第２実施形態の第２変形例に係る第２貫通孔Ｔ１Ｇｂがベースとされて、ＹＺ断面の径がＸ方向の位置に拘わらずＤｇ１で略一定とされたものである。

＜(２−２−５)その他の変形例＞
例えば、上記第２実施形態およびその第１〜４変形例では、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈが凹部を有しており、制動部Ｂ１Ｅ〜Ｂ１Ｈが凹部と嵌合する凸部を有していたが、これに限られない。例えば、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈおよび制動部Ｂ１Ｅ〜Ｂ１Ｈのうちの一方の部分が凸部を有しており、移動体２１１Ｅ〜２１１Ｈおよび制動部Ｂ１Ｅ〜Ｂ１Ｈのうちの他方の部分が凸部と嵌合する凹部を有していれば良い。

なお、上記第２実施形態およびその第１変形例でも、第１区間Ｚ１で、制動部Ｂ１Ｅ，Ｂ１Ｆが、移動体２１１Ｅ，２１１Ｆの重心を通り且つ移動方向（±Ｘ方向）に垂直な仮想的な平面上に位置する部分に接していれば、移動体２１１Ｅ，２１１Ｆの姿勢が安定し得る。

＜(３)第３実施形態＞
上記第１実施形態に係るアクチュエーター２では、移動体２１１が第１区間Ｚ１に進入する際に、移動体２１１の底面Ｓｓ４が、制動部Ｂ１上に乗り上げた。また、第２実施形態に係るアクチュエーター２Ｅでは、移動体２１１Ｅと制動部Ｂ１とが、相互に嵌合した。これに対して、第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊは、制動部Ｂ１Ｊが、移動体２１１Ｊに対して、移動体２１１Ｊの移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向に押圧力を付与するタイプ（押圧タイプとも言う）のアクチュエーターである。

図３６は、第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊの外観を模式的に示す斜視図である。図３７は、本実施形態に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す斜視図である。本実施形態では、上記第１実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ａの代わりに、アクチュエーター２Ｊが採用されている。アクチュエーター２Ｊでは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａの代わりに、移動機構２１Ｊが採用されている。

なお、ここでは、移動機構２１Ｊのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とは、略同一である。例えば、移動機構２１Ｊのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、移動機構２１Ｊのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成とが、ＹＺ平面に略平行な仮想的な面を対称面とした面対称の関係を有している。このため、以下では、主に移動機構２１Ｊのうちの第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成を例に挙げて説明する。

図３６および図３７で示されるように、移動機構２１Ｊは、移動機構２１Ａがベースとされて、一部の構成が置換されたものである。例えば、４つの制動部Ｂ１が６つの制動部Ｂ１Ｊに置換され、移動体２１１が、移動体２１１Ｊに置換され、第１および第２支持部２１３，２１４が、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊに置換されている。ここでは、第１制動部Ｂ１ａが、第１制動部Ｂ１Ｊ１に置換されており、第２制動部Ｂ１ｂが、第２および第３制動部Ｂ１Ｊ２，Ｂ１Ｊ３に置換されている。また、第３制動部Ｂ１ｃが、第４制動部Ｂ１Ｊ４に置換されており、第４制動部Ｂ１ｄが、第５および第６制動部Ｂ１Ｊ５，Ｂ１Ｊ６に置換されている。

図３８は、制動部Ｂ１Ｊの外観の一例を模式的に示す図である。各制動部Ｂ１Ｊは姿勢が異なるが、略同一の構成を有している。このため、図３８では、第４および第５制動部Ｂ１Ｊ４，Ｂ１Ｊ５が例示されている。

各制動部Ｂ１Ｊは、立方体状の部材の各辺の部分に面取り部が形成された移動体２１１Ｊを押圧するための押圧部ＰＢ１と、該押圧部ＰＢ１の一主面に取り付けられた弾性体としてのばね部Ｓｐ１とを有している。第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６は、第２支持部２１４Ｊのうちの移動経路Ｔｒ１の方向を向いた内壁部に設けられた窪み部Ｃｖ１に取り付けられている。

例えば、第４制動部Ｂ１Ｊ４は、第２支持部２１４Ｊのうちの搬送用ベルトＢｔ１のＹ方向に位置し且つ−Ｚ方向に窪んでいる第４窪み部Ｃｖ１４に取り付けられている。具体的には、第４窪み部Ｃｖ１４の−Ｚ方向の底部にばね部Ｓｐ１が±Ｚ方向に伸縮自在となるように取り付けられている。これにより、第４制動部Ｂ１Ｊ４では、ばね部Ｓｐ１の±Ｚ方向における伸縮によって押圧部ＰＢ１の±Ｚ方向における動きが許容されている。

また、例えば、第５制動部Ｂ１Ｊ５は、第２支持部２１４Ｊのうちの搬送用ベルトＢｔ１の−Ｙ方向に位置し且つ−Ｚ方向に窪んでいる第５窪み部Ｃｖ１５に取り付けられている。具体的には、第５窪み部Ｃｖ１５の−Ｚ方向の底部にばね部Ｓｐ１が±Ｚ方向に伸縮自在となるように取り付けられている。これにより、第５制動部Ｂ１Ｊ５では、ばね部Ｓｐ１の±Ｚ方向における伸縮によって押圧部ＰＢ１の±Ｚ方向における動きが許容されている。

また、例えば、第６制動部Ｂ１Ｊ６は、第２支持部２１４Ｊのうちの移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に位置し且つ−Ｙ方向に窪んでいる第６窪み部Ｃｖ１６に取り付けられている。具体的には、第６窪み部Ｃｖ１６の−Ｙ方向の底部にばね部Ｓｐ１が±Ｙ方向に伸縮自在となるように取り付けられている。これにより、第６制動部Ｂ１Ｊ６では、ばね部Ｓｐ１の±Ｙ方向における伸縮によって押圧部ＰＢ１の±Ｙ方向における動きが許容されている。

なお、第１〜３制動部Ｂ１Ｊ１〜Ｂ１Ｊ３は、第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６と同様な態様で、第１支持部２１３Ｊに取り付けられている。例えば、第１制御部Ｂ１Ｊ１は、第４制御部Ｂ１Ｊ４と同様な態様で、第１支持部２１３Ｊに取り付けられている。第２制御部Ｂ１Ｊ２は、第５制御部Ｂ１Ｊ５と同様な態様で、第１支持部２１３Ｊに取り付けられている。第３制御部Ｂ１Ｊ３は、第６制御部Ｂ１Ｊ６と同様な態様で、第１支持部２１３Ｊに取り付けられている。そして、第１制動部Ｂ１Ｊ１が搬送用ベルトＢｔ１のＹ方向に位置し、第２制動部Ｂ１Ｊ２が搬送用ベルトＢｔ１の−Ｙ方向に位置し、第３制動部Ｂ１Ｊ３が移動経路Ｔｒ１の−Ｙ方向に位置している。

移動体２１１Ｊは、移動経路Ｔｒ１と交差する交差方向に凹み且つ移動方向としてのＸ方向に延在する凹部Ｄ１Ｊを有する。この凹部Ｄ１Ｊは、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２に配されている状態で、制動部Ｂ１Ｊが位置する方向に開口を有している。これにより、第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｊが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊが有する移動方向としてのＸ方向に延在する凸部ＰＪ１が凹部Ｄ１Ｊに嵌合する。

例えば、第１区間Ｚ１１では、移動体２１１ＪのＹ方向に配されている第１凹部Ｄ１Ｊａが第１支持部２１３Ｊの第１凸部ＰＪ１ａに嵌合し、移動体２１１Ｊの−Ｙ方向に配されている第２凹部Ｄ１Ｊｂが第１支持部２１３Ｊの第２凸部ＰＪ１ｂに嵌合する。なお、第１凸部ＰＪ１ａは、第１支持部２１３ＪのＹ方向の上端部において移動経路Ｔｒ１が位置する方向としての−Ｙ方向に突起し且つＸ方向に延在している。第２凸部ＰＪ１ｂは、第１支持部２１３Ｊの−Ｙ方向の上端部において移動経路Ｔｒ１が位置する方向としてのＹ方向に突起し且つＸ方向に延在している。

一方、例えば、第１区間Ｚ１２では、第１凹部Ｄ１Ｊａが第２支持部２１４Ｊの第３凸部ＰＪ１ｃに嵌合し、第２凹部Ｄ１Ｊｂが第２支持部２１４Ｊの第４凸部ＰＪ１ｄに嵌合する。なお、第３凸部ＰＪ１ｃは、第２支持部２１４ＪのＹ方向の上端部において移動経路Ｔｒ１が位置する方向としての−Ｙ方向に突起し且つＸ方向に延在している。第４凸部ＰＪ１ｄは、第２支持部２１４Ｊの−Ｙ方向の上端部において移動経路Ｔｒ１が位置する方向としてのＹ方向に突起し且つＸ方向に延在している。

図３９は、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２に位置している場合における移動体２１１ＪのＹＺ断面ならびに移動機構２１Ｊの他の構成をＸ方向から見た図である。また、図４０は、移動体２１１Ｊが第１区間Ｚ１２に位置している場合における移動体２１１ＪのＹＺ断面ならびに移動機構２１Ｊの他の構成をＸ方向から見た図である。

図３９および図４０で示されるように、例えば、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２に進入すると、移動体２１１Ｊが、ばね部Ｓｐ１の弾性力に抗して第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６を押圧する。このとき、第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６のばね部Ｓｐ１が、伸びていた状態から縮んでいる状態となる。

±Ｙ方向では、図３９および図４０で示されるように、移動体２１１Ｊの−Ｙ方向の側面２１１Ｊｓｂが第６制動部Ｂ１Ｊ６の押圧部ＰＢ１を−Ｙ方向に押すことで、第６制動部Ｂ１Ｊ６のばね部Ｓｐ１が−Ｙ方向に縮む。このとき、第６制動部Ｂ１Ｊ６のばね部Ｓｐ１の弾性力によって、第６制動部Ｂ１Ｊ６の押圧部ＰＢ１が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＹ方向に移動体２１１Ｊの−Ｙ方向の側面２１１Ｊｓｂに対して押圧力を付与する。これにより、移動体２１１ＪのＹ方向の側面２１１Ｊｓａが第２支持部２１４Ｊの制動部の一部として働く内壁部２１４Ｊｓに押し付けられる。その結果、移動体２１１ＪのＹ方向における停止位置が精度良く調整され得る。

そして、ここでは、相互に押圧し合う第６制動部Ｂ１Ｊ６の押圧部ＰＢ１および移動体２１１Ｊの側面２１１ＪｓｂがＸ方向に延在している。また、相互に押圧し合う移動体２１１Ｊの側面２１１Ｊｓａおよび第２支持部２１４Ｊの内壁部２１４ＪｓがＸ方向に延在している。これにより、Ｚ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｊの動きがより確実に規制され得る。その結果、移動体２１１Ｊの停止位置が精度良く調整され得る。

図４１および図４２は、第６制動部Ｂ１Ｊ６の押圧部ＰＢ１によって移動体２１１ＪがＹ方向に押圧される前後の様子を模式的に示す図である。図４１では、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２に位置している状態における第６制動部Ｂ１Ｊ６と移動体２１１Ｊとガイド軸２１６と第２支持部２１４Ｊとの関係が示されている。図４２では、移動体２１１Ｊが第１区間Ｚ１２に位置している状態における第６制動部Ｂ１Ｊ６と移動体２１１Ｊとガイド軸２１６と第２支持部２１４Ｊとの関係が示されている。

図４１で示されるように、各貫通孔Ｔ１の中心にガイド軸２１６が配されている場合、ガイド軸２１６の上下左右方向に、貫通孔Ｔ１の内壁とガイド軸２１６との間に略同一の距離Ｔｄ２を有する間隙が生じる。ここでは、距離Ｔｄ２と、ガイド軸２１６の径ｄ１と、貫通孔Ｔ１の径Ｄｈ１との間には、式（１６）の関係が成立する。

Ｔｄ２＝（Ｄｈ１−ｄ１）／２ ・・・（１６）

ここで、第２区間Ｚ２に位置している移動体２１１ＪをＸ方向から平面視した場合、移動体２１１ＪのＹ方向の側面２１１Ｊｓａと第２支持部２１４Ｊの内壁部２１４Ｊｓとの間に生じる距離Ｇａ２と距離Ｔｄ２との間には、式（１７）の関係が成立すれば良い。

Ｇａ２＜Ｔｄ２ ・・・（１７）

この場合、第１区間Ｚ１において制動部Ｂ１Ｊによって交差方向としてのＹ方向における移動体２１１Ｊの動きが許容される第１許容量が、第２区間Ｚ２においてガイド軸２１６によってＹ方向における移動体２１１Ｊの動きが許容される第２許容量よりも小さい。

±Ｚ方向では、図３９および図４０で示されるように、移動体２１１Ｊの−Ｚ方向の底面２１１Ｊｂが第４および第５制動部Ｂ１Ｊ４，Ｂ１Ｊ５の押圧部ＰＢ１を−Ｚ方向に押し下げつつ、第４および第５制動部Ｂ１Ｊ４，Ｂ１Ｊ５のばね部Ｓｐ１が−Ｚ方向に縮む。

このとき、第４制動部Ｂ１Ｊ４のばね部Ｓｐ１の弾性力によって、第４制動部Ｂ１Ｊ４の押圧部ＰＢ１が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＺ方向に移動体２１１Ｊに対して押圧力を付与する。これにより、移動体２１１Ｊにおける第１凹部Ｄ１ＪａのＺ方向を向いた内側面Ｄ１Ｊａｕが、第２支持部２１４Ｊの第３凸部ＰＪ１ｃの−Ｚ方向を向いた制動部の一部として働く側面ＰＪ１ｃｂに押し付けられる。また、第５制動部Ｂ１Ｊ５のばね部Ｓｐ１の弾性力によって、第５制動部Ｂ１Ｊ５の押圧部ＰＢ１が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＺ方向に移動体２１１Ｊに対して押圧力を付与する。これにより、移動体２１１Ｊにおける第２凹部Ｄ１ＪｂのＺ方向を向いた内側面Ｄ１Ｊｂｕが、第２支持部２１４Ｊの第４凸部ＰＪ１ｄの−Ｚ方向を向いた制動部の一部として働く側面ＰＪ１ｄｂに押し付けられる。その結果、移動体２１１ＪのＺ方向における停止位置が精度良く調整され得る。

なお、ここでは、第１区間Ｚ１において制動部Ｂ１Ｊによって交差方向としてのＺ方向における移動体２１１Ｊの動きが許容される第１許容量が、第２区間Ｚ２においてガイド軸２１６によってＺ方向における移動体２１１Ｊの動きが許容される第２許容量よりも小ければ良い。

そして、ここでは、２つの第４および第５制動部Ｂ１Ｊ４，Ｂ１Ｊ５によって移動体２１１Ｊが押圧される。これによりＸ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｊの動きがより確実に規制され得る。また、ここでは、相互に押圧し合う第４制動部Ｂ１Ｊ４の押圧部ＰＢ１および移動体２１１Ｊの底面２１１ＪｂがＸ方向に延在している。相互に押圧し合う移動体２１１Ｊの内側面Ｄ１Ｊａｕおよび第３凸部ＰＪ１ｃの側面ＰＪ１ｃｂがＸ方向に延在している。相互に押圧し合う第５制動部Ｂ１Ｊ５の押圧部ＰＢ１および移動体２１１Ｊの底面２１１ＪｂがＸ方向に延在している。相互に押圧し合う移動体２１１Ｊの内側面Ｄ１Ｊｂｕおよび第４凸部ＰＪ１ｄの側面ＰＪ１ｄｂがＸ方向に延在している。これにより、Ｙ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｊの動きがより確実に規制され得る。その結果、移動体２１１Ｊの停止位置が精度良く調整され得る。したがって、移動体２１１Ｊが第１区間Ｚ１１の所望の位置に停止され得る。

なお、移動機構２１Ｊでは、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１１に進入する際には、移動体２１１Ｊが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２に進入する際と同様な動作が行われる。

また、第１区間Ｚ１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｊは、制動部Ｂ１Ｊならびに第１支持部２１３Ｊまたは第２支持部２１４Ｊに対して摺動する。例えば、第１区間Ｚ１１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｊは、第１〜３制動部Ｂ１Ｊ１〜Ｂ１Ｊ３および第１支持部２１３Ｊに対して摺動する。また、第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｊは、第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６および第２支持部２１４Ｊに対して摺動する。このとき、制動部Ｂ１Ｊと移動体２１１Ｊとの間、ならびに第１支持部２１３Ｊまたは第２支持部２１４Ｊと移動体２１１Ｊとの間に摩擦力が生じる。

これにより、制動部Ｂ１Ｊによって、移動体２１１Ｊに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｊの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。例えば、第１区間Ｚ１１を移動体２１１Ｊが移動している際には、第１〜３制動部Ｂ１Ｊ１〜Ｂ１Ｊ３によって、移動体２１１Ｊに対して制動力が付与される。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動体２１１Ｊが移動している際には、第４〜６制動部Ｂ１Ｊ４〜Ｂ１Ｊ６によって、移動体２１１Ｊに対して制動力が付与される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｊの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｊが停止する停止位置が高精度に調整され得る。つまり、本実施形態では、２つの第１区間Ｚ１１，Ｚ１２において、移動体２１１Ｊの停止位置が精度良く調整され得る。

また、ここでは、第２区間Ｚ２を移動体２１１Ｊが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、ガイド軸２１６と移動体２１１Ｊとの間に第１摩擦力が生じる。また、第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｊが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１Ｊと移動体２１１Ｊとの間および制動部の一部として働く第１または第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊの表面部と移動体２１１Ｊとの間に第２摩擦力が生じる。そして、この第２摩擦力が第１摩擦力よりも大きい。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｊの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｊの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｊの停止位置が高精度に調整され得る。

但し、押圧部ＰＢ１の移動体２１１Ｊを押圧する面、移動体２１１Ｊの表面ならびに第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊの表面における各摩擦係数は、移動体２１１Ｊが第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊの表面上で摺動可能な値に設定されば良い。つまり、押圧部ＰＢ１と移動体２１１Ｊとの間、ならびに移動体２１１Ｊと第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊとの間で生じる±Ｘ方向の摩擦力が、駆動源２２および駆動機構２１２によって±Ｘ方向に移動体２１１Ｊを駆動させる力よりも小さければ良い。

＜(３−１)第３実施形態のまとめ＞
以上のように、第３実施形態に係る移動機構２１Ｊによれば、制動部Ｂ１Ｊが、移動体２１１Ｊに対して、移動体２１１Ｊの移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＹおよびＺ方向に押圧力を付与する。これにより、移動体２１１Ｊが、Ｙ方向およびＺ方向において制動部Ｂ１Ｊと第１支持部２１３Ｊまたは第２支持部２１４Ｊとの間で挟持される。その結果、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｊの動きが規制される。また、制動部Ｂ１Ｊと移動体２１１Ｊとの間および制動部の一部として働く第１または第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊの表面部と移動体２１１Ｊとの間に摩擦力が生じる。その結果、制動部Ｂ１Ｊによって移動体２１１Ｊに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｊの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。

これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｊの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｊの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｊの停止位置が高精度に調整され得る。すなわち、移動体２１１Ｊの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｊの停止位置が高精度に調整され得る。また、第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊによっても、移動体２１１Ｊの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｊの停止位置が高精度に調整され得る。さらに、第３実施形態に係る搬送装置によれば、移動体２１１Ｊの移動速度が向上されつつ、移動体２１１Ｊの停止位置が高精度に調整され得るため、被搬送物９が迅速かつ精度良く搬送され得る。

＜(３−２)第３実施形態の変形例＞
＜(３−２−１)第１変形例＞
上記第３実施形態では、第１区間Ｚ１において移動体２１１Ｊが第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊに取り付けられている制動部Ｂ１Ｊによって押圧力が付与されたが、これに限られない。例えば、制動部Ｂ１Ｊが、案内部としてのガイド軸２１６に設けられるように、制動部Ｂ１Ｊが設置される位置が変更されても良い。これにより、案内部としてのガイド軸２１６に取り付けられている制動部Ｂ１Ｋによって押圧力が移動体２１１に付与されても良い。このような構成でも、上記第３実施形態と同様な効果が得られる。

図４３は、第３実施形態の第１変形例に係るアクチュエーター２Ｋの外観を模式的に示す斜視図である。また、図４４は、本変形例に係る第１区間Ｚ１２およびその周辺を模式的に示す斜視図である。なお、移動機構２１Ｋのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成は、略同一である。本変形例では、上記第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊの代わりに、アクチュエーター２Ｋが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｋでは、上記第３実施形態に係る移動機構２１Ｊの代わりに、移動機構２１Ｋが採用されている。移動機構２１Ｋは、上記第１実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ａがベースとされて、制動部Ｂ１の代わりに、各ガイド軸２１６に制動部Ｂ１Ｋが設けられたものである。

図４３および図４４で示されるように、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１に沿って案内部としての各ガイド軸２１６に制動部Ｂ１Ｋが設けられている。例えば、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１１に沿って、第１ガイド軸２１６ａに第１制動部Ｂ１Ｋａが設けられているとともに、第２ガイド軸２１６ｂに第２制動部Ｂ１Ｋｂが設けられている。また、例えば、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１２に沿って、第１ガイド軸２１６ａに第３制動部Ｂ１Ｋｃが設けられているとともに、第２ガイド軸２１６ｂに第４制動部Ｂ１Ｋｄが設けられている。

図４５は、移動体２１１が第１区間Ｚ１１に位置している場合における移動体２１１および制動部Ｂ１ＫのＹＺ断面をＸ方向から見た図である。図４４および図４５で示されるように、各制動部Ｂ１Ｋは、ガイド軸２１６の一部が切り取られたような窪み部Ｃｖ１Ｋに該窪み部Ｃｖ１Ｋに嵌合するような形状の押圧部ＰＢ１Ｋと、該押圧部ＰＢ１Ｋに取り付けられた弾性部としてのばね部Ｓｐ１とを有している。また、各制動部Ｂ１Ｋには、ガイド軸２１６と一体化されており、押圧部ＰＢ１Ｋがばね部Ｓｐ１を介して取り付けられている部分（ベース部とも言う）２１６ｕも含まれる。そして、ここでは、各制動部Ｂ１Ｋには、Ｘ方向に断続的に、複数の押圧部ＰＢ１Ｋおよび複数のばね部Ｓｐ１が設けられている。

図４５で示されるように、例えば、移動体２１１が第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１１に進入すると、移動体２１１の貫通孔Ｔ１の内壁面が、ばね部Ｓｐ１の弾性力に抗して第１および第２制動部Ｂ１Ｋａ，Ｂ１Ｋｂを押圧する。これにより、第１および第２制動部Ｂ１Ｋａ，Ｂ１Ｋｂのばね部Ｓｐ１が、伸びていた状態から縮んでいる状態となる。このとき、制動部Ｂ１Ｋａのばね部Ｓｐ１の弾性力によって、制動部Ｂ１Ｋａの押圧部ＰＢ１Ｋが、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＺ方向に移動体２１１の貫通孔Ｔ１のＺ方向の内壁面に対して押圧力を付与する。このため、移動体２１１に対して該移動体２１１をＺ方向に持ち上げる力が付与される。そして、貫通孔Ｔ１の曲面状の下部に、ベース部２１６ｕの−Ｚ方向の曲面状の下部が内接し、貫通孔Ｔ１の曲面状の上部に、押圧部ＰＢ１ＫのＺ方向の曲面状の上部が内接している状態となる。これにより、第１区間Ｚ１を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における移動体２１１の動きが規制される。その結果、移動体２１１の移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としてのＹ方向およびＺ方向における停止位置が精度良く調整され得る。

なお、第１区間Ｚ１で制動部Ｂ１Ｋによって交差方向における移動体２１１の動きが許容される第１許容量が、第２区間Ｚ２でガイド軸２１６によって交差方向における移動体２１１の動きが許容される第２許容量よりも小ければ良い。ここでは、交差方向は、Ｙ方向およびＺ方向である。

そして、ここでは、２本のガイド軸２１６にそれぞれ設けられた制動部Ｂ１Ｋによって、Ｘ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１の動きが規制される。また、１つの第１区間Ｚ１において各ガイド軸２１６に制動部Ｂ１Ｋ１がＸ方向に沿って断続的に設けられていることで、Ｙ軸およびＺ軸にそれぞれ略平行な仮想的な各回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１の動きが規制される。その結果、移動体２１１の停止位置が精度良く調整され得る。

また、第１区間Ｚ１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、制動部Ｂ１Ｋに対して摺動する。例えば、第１区間Ｚ１１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、第１および第２制動部Ｂ１Ｋａ，Ｂ１Ｋｂに対して摺動し、第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１は、第３および第４制動部Ｂ１Ｋｃ，Ｂ１Ｋｄに対して摺動する。このとき、制動部Ｂ１Ｋと移動体２１１との間に摩擦力が生じる。これにより、制動部Ｂ１Ｋによって、移動体２１１に対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１の移動方向とは反対方向に制動力が付与される。例えば、第１区間Ｚ１１を移動体２１１が移動している際には、第１および第２制動部Ｂ１Ｋａ，Ｂ１Ｋｂによって、移動体２１１に対して制動力が付与される。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動体２１１が移動している際には、第３および第４制動部Ｂ１Ｋｃ，Ｂ１Ｋｄによって、移動体２１１に対して制動力が付与される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１が停止する停止位置が高精度に調整され得る。つまり、本変形例では、２つの第１区間Ｚ１１，Ｚ１２において、移動体２１１の停止位置が精度良く調整され得る。

また、ここでは、移動経路Ｔｒ１のうちの第２区間Ｚ２を移動体２１１が移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、ガイド軸２１６と移動体２１１との間に第１摩擦力が生じる。そして、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｊが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１Ｋと移動体２１１との間に生じる第２摩擦力が第１摩擦力よりも大きければ良い。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１の高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１の移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１の停止位置が高精度に調整され得る。

＜(３−２−２)第２変形例＞
上記第３実施形態では、第１区間Ｚ１において移動体２１１Ｊが、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊに取り付けられた制動部Ｂ１Ｊのうちの一部分としての押圧部ＰＢ１によって押圧力が付与されたが、これに限られない。例えば、押圧部ＰＢ１が、移動体２１１Ｊの一部分として設けられ、該押圧部ＰＢ１によって第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊに対して交差方向に押圧力が付与されるように変更されても良い。このような構成でも、上記第３実施形態と同様な効果が得られる。

図４６は、第３実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ｌの外観を模式的に示す斜視図である。なお、移動機構２１Ｌのうちの第１区間Ｚ１１およびその周辺における構成と、第１区間Ｚ１２およびその周辺における構成は、略同一である。本変形例では、上記第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊの代わりに、アクチュエーター２Ｌが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｌでは、上記第３実施形態に係る移動機構２１Ｊの代わりに、移動機構２１Ｌが採用されている。移動機構２１Ｌは、上記第３実施形態に係る移動機構２１Ｊがベースとされて、押圧部ＰＢ１が、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊに取り付けられる代わりに、移動体２１１Ｊに含まれるように変更されたものである。

図４６で示されるように、移動機構２１Ｌは、移動機構２１Ｊがベースとされて、制動部Ｂ１Ｊが制動部Ｂ１Ｌに置換され、移動体２１１Ｊが、押圧部ＰＢ１が弾性体としてのばね部Ｓｐ１を介して取り付けられた移動体２１１Ｌに置換されたものである。

図４７は、移動体２１１Ｌが第２区間Ｚ２に位置している場合における移動体２１１ＬのＹＺ断面ならびに移動機構２１Ｌの他の構成をＸ方向から見た図である。

図４６および図４７で示されるように、例えば、上記第３実施形態に係る第２支持部２１４Ｊに設けられた第４〜６窪み部Ｃｖ１４〜Ｃｖ１６が、第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６とされている。つまり、第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６は、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１２に沿って第２支持部２１４Ｊに設けられている。また、例えば、第１〜３制動部Ｂ１Ｌ１〜Ｂ１Ｌ３は、第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６と同様に、第１支持部２１３Ｊに設けられた窪み部である。つまり、第１〜３制動部Ｂ１Ｌ１〜Ｂ１Ｌ３は、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１１に沿って第１支持部２１３Ｊに設けられている。

図４７で示されるように、例えば、移動体２１１Ｌの−Ｚ方向の底面２１１Ｊｂのうち、Ｙ方向の端部のＸ方向に沿った部分に第１押圧部ＰＢ１１が第１ばね部Ｓｐ１１を介して取り付けられている。ここでは、移動体２１１Ｌに対して第１ばね部Ｓｐ１１が±Ｚ方向に伸縮自在となるように取り付けられているため、第１ばね部Ｓｐ１１の±Ｚ方向における伸縮によって第１押圧部ＰＢ１１の±Ｚ方向における動きが許容されている。また、移動体２１１Ｌの−Ｚ方向の底面２１１Ｊｂのうち、−Ｙ方向の端部のＸ方向に沿った部分に第２押圧部ＰＢ１２が第２ばね部Ｓｐ１２を介して取り付けられている。ここでは、移動体２１１Ｌに対して第２ばね部Ｓｐ１２が±Ｚ方向に伸縮自在となるように取り付けられているため、第２ばね部Ｓｐ１２の±Ｚ方向における伸縮によって第２押圧部ＰＢ１２の±Ｚ方向における動きが許容されている。また、移動体２１１Ｌの−Ｙ方向の側面２１１Ｊｓｂに第３押圧部ＰＢ１３が第３ばね部Ｓｐ１３を介して取り付けられている。ここでは、移動体２１１Ｌに対して第３ばね部Ｓｐ１３が±Ｙ方向に伸縮自在となるように取り付けられているため、第３ばね部Ｓｐ１３の±Ｙ方向における伸縮によって第３押圧部ＰＢ１３の±Ｙ方向における動きが許容されている。そして、第１〜３押圧部ＰＢ１１〜ＰＢ１３は、それぞれ、Ｘ方向に延在し、立方体状の部材の各辺の部分に面取り部が形成された移動体２１１Ｌを押圧するための部材である。

図４８は、移動体２１１Ｌが第１区間Ｚ１２に位置している場合における移動体２１１ＬのＹＺ断面ならびに移動機構２１Ｌの他の構成をＸ方向から見た図である。

図４７および図４８で示されるように、例えば、移動体２１１Ｌが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２に進入すると、第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６によって第１〜３押圧部ＰＢ１１〜ＰＢ１３が押さえつけられる。このとき、第１〜３ばね部Ｓｐ１１〜Ｓｐ１３が伸びていた状態から縮んでいる状態となり、第１〜３ばね部Ｓｐ１１〜Ｓｐ１３の弾性力によって、第１〜３押圧部ＰＢ１１〜ＰＢ１３が第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６を押圧する。つまり、移動体２１１Ｌが、第１〜３ばね部Ｓｐ１１〜Ｓｐ１３の弾性力によって第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６を押圧する。

±Ｙ方向では、図４８で示されるように、移動体２１１Ｌの−Ｙ方向における第３押圧部ＰＢ１３が、第２支持部２１４Ｊに設けられた第６制動部Ｂ１Ｌ６によってＹ方向に押圧されることで、第３ばね部Ｓｐ１３が縮む。このとき、第３ばね部Ｂｐ１３の弾性力によって、第３押圧部ＰＢ１３が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としての−Ｙ方向に、第６制動部Ｂ１Ｌ６に対して押圧力を付与する。つまり、移動体２１１Ｌが、第６制動部Ｂ１Ｌ６に対して押圧力を付与する第３押圧部ＰＢ３を有している。これにより、移動体２１１ＬのＹ方向の側面２１１Ｊｓａが第２支持部２１４Ｊの制動部の一部として働く内壁部２１４Ｊｓに押し付けられる。その結果、移動体２１１ＬのＹ方向における停止位置が精度良く調整され得る。

そして、ここでは、相互に押圧し合う第３押圧部ＰＢ１３および第６制動部Ｂ１Ｌ６がＸ方向に延在し、相互に押圧し合う移動体２１１Ｌの側面２１１Ｊｓａおよび第２支持部２１４Ｊの内壁部２１４ＪｓがＸ方向に延在している。これにより、Ｚ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｌの動きがより確実に規制され得る。その結果、移動体２１１Ｌの停止位置が精度良く調整され得る。

そして、ここでも、第１区間Ｚ１で制動部Ｂ１Ｌによって交差方向としてのＹ方向における移動体２１１Ｌの動きが許容される第１許容量が、第２区間Ｚ２でガイド軸２１６によってＹ方向における移動体２１１Ｌの動きが許容される第２許容量よりも小ければ良い。

±Ｚ方向では、図４８で示されるように、移動体２１１Ｌの−Ｚ方向における第１押圧部ＰＢ１１が、第２支持部２１４Ｊに設けられた第４制動部Ｂ１Ｌ４によってＺ方向に押圧され、第１ばね部Ｓｐ１１が縮む。このとき、第１ばね部Ｂｐ１１の弾性力によって、第１押圧部ＰＢ１１が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としての−Ｚ方向に、第４制動部Ｂ１Ｌ４に対して押圧力を付与する。つまり、移動体２１１Ｌが、第４制動部Ｂ１Ｌ４に対して押圧力を付与する第１押圧部ＰＢ１を有している。これにより、移動体２１１Ｊにおける第１凹部Ｄ１ＪａのＺ方向を向いた内側面Ｄ１Ｊａｕが、支持部２１４Ｊの第３凸部ＰＪ１ｃの−Ｚ方向を向いた制動部の一部として働く側面ＰＪ１ｃｂに押し付けられる。

また、移動体２１１Ｊの−Ｚ方向における第２押圧部ＰＢ１２が、第２支持部２１４Ｊに設けられた第５制動部Ｂ１Ｌ５によってＺ方向に押圧され、第２ばね部Ｓｐ１２が縮む。このとき、第２ばね部Ｂｐ１２の弾性力によって、第２押圧部ＰＢ１２が、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向としての−Ｚ方向に、第５制動部Ｂ１Ｌ５に対して押圧力を付与する。つまり、移動体２１１Ｌが、第５制動部Ｂ１Ｌ５に対して押圧力を付与する第２押圧部ＰＢ１２を有している。これにより、移動体２１１Ｊにおける第２凹部Ｄ１ＪｂのＺ方向を向いた内側面Ｄ１Ｊｂｕが、第２支持部２１４Ｊの第４凸部ＰＪ１ｄの−Ｚ方向を向いた制動部の一部として働く側面ＰＪ１ｄｂに押し付けられる。その結果、移動体２１１ＪのＺ方向における停止位置が精度良く調整され得る。

ここでも、第１区間Ｚ１で制動部Ｂ１Ｌによって交差方向としてのＺ方向における移動体２１１Ｌの動きが許容される第１許容量が、第２区間Ｚ２でガイド軸２１６によってＺ方向における移動体２１１Ｌの動きが許容される第２許容量よりも小ければ良い。

そして、ここでは、２つの第１および第２押圧部ＰＢ１１，ＰＢ１２によって第４および第５制動部Ｂ１Ｌ４，Ｂ１Ｌ５が押圧されることで、Ｘ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｊの動きが確実に規制され得る。また、ここでは、相互に押圧し合う第１押圧部ＰＢ１１および第４制動部Ｂ１Ｌ４がＸ方向に延在し、相互に押圧し合う移動体２１１Ｊの内側面Ｄ１Ｊａｕおよび第３凸部ＰＪ１ｃの側面ＰＪ１ｃｂがＸ方向に延在している。さらに、相互に押圧し合う第２押圧部ＰＢ１２および第５制動部Ｂ１Ｌ５がＸ方向に延在し、相互に押圧し合う移動体２１１Ｊの内側面Ｄ１Ｊｂｕおよび第４凸部ＰＪ１ｄの側面ＰＪ１ｄｂがＸ方向に延在している。これにより、Ｙ軸に略平行な仮想的な回転軸を中心とした回転方向における移動体２１１Ｊの動きがより確実に規制され得る。その結果、移動体２１１Ｌの停止位置が精度良く調整され得る。したがって、移動体２１１Ｌが第１区間Ｚ１２の所望の位置に停止され得る。

なお、移動機構２１Ｌでは、移動体２１１Ｌが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１１に進入する際には、移動体２１１Ｌが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１２に進入する際と同様な動作が行われる。

また、第１区間Ｚ１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｌは、押圧部ＰＢ１において制動部Ｂ１Ｌに対して摺動する。例えば、第１区間Ｚ１１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｌは、第１〜３押圧部ＰＢ１１〜ＰＢ１３において第１〜３制動部Ｂ１Ｌ１〜Ｂ１Ｌ３に対して摺動する。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｌは、第１〜３押圧部ＰＢ１１〜ＰＢ１３において第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６に対して摺動する。このとき、制動部Ｂ１Ｌと移動体２１１Ｌとの間に摩擦力が生じる。

これにより、制動部Ｂ１Ｌによって、移動体２１１Ｌに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｌの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。例えば、第１区間Ｚ１１を移動体２１１Ｌが移動している際には、第１〜３制動部Ｂ１Ｌ１〜Ｂ１Ｌ３によって、移動体２１１Ｌに対して制動力が付与される。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動体２１１Ｌが移動している際には、第４〜６制動部Ｂ１Ｌ４〜Ｂ１Ｌ６によって、移動体２１１Ｌに対して制動力が付与される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｌの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｌが停止する停止位置が高精度に調整され得る。つまり、本実施形態では、２つの第１区間Ｚ１１，Ｚ１２において、移動体２１１Ｌの停止位置が精度良く調整され得る。

また、ここでは、第２区間Ｚ２を移動体２１１Ｌが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、ガイド軸２１６と移動体２１１Ｌとの間に第１摩擦力が生じる。また、第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｌが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１Ｌと移動体２１１Ｌとの間および制動部の一部として働く第１または第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊの表面部と移動体２１１Ｌとの間に第２摩擦力が生じる。そして、第２摩擦力が、第１摩擦力よりも大きい。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｌの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｌの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｌの停止位置が高精度に調整され得る。

なお、押圧部ＰＢ１の制動部Ｂ１Ｌを押圧する部分、制動部Ｂ１Ｌ、移動体２１１Ｌならびに第１および第２支持部２１３Ｊの各表面における各摩擦係数は、押圧部ＰＢ１が制動部Ｂ１Ｌを押圧している状態で移動体２１１Ｌが摺動可能な値に設定されれば良い。つまり、押圧部ＰＢ１と制動部Ｂ１Ｌとの間、ならびに移動体２１１Ｌと第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊとの間で生じる±Ｘ方向の摩擦力が、駆動源２２および駆動機構２１２によって±Ｘ方向に移動体２１１Ｌを駆動させる力よりも小さければ良い。

＜(３−２−３)その他の変形例＞
例えば、上記第３実施形態ならびにその第２変形例では、案内部としてのガイド軸２１６が設けられていたが、これに限られない。例えば、ガイド軸２１６が取り除かれても良い。

なお、上記第３実施形態およびその第１および第２変形例でも、第１区間Ｚ１で、制動部Ｂ１Ｊ，Ｂ１Ｋ，Ｂ１Ｌが、移動体２１１，２１１Ｊ，２１１Ｌの重心を通り且つ移動方向（±Ｘ方向）に垂直な仮想的な平面上に位置する部分に接していれば、移動体２１１，２１１Ｊ，２１１Ｌの姿勢が安定し得る。

＜(４)第４実施形態＞
上記第３実施形態に係るアクチュエーター２Ｊでは、制動部Ｂ１Ｊが、移動体２１１Ｊに対して、移動体２１１Ｊの移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向に押圧力を付与した。これに対して、第４実施形態に係るアクチュエーター２Ｍでは、制動部Ｂ１Ｍが、移動体２１１Ｍを引き付ける部分（引き付け部とも言う）を含む。すなわち、第４実施形態に係るアクチュエーター２Ｍは、制動部Ｂ１Ｍが移動体２１１Ｍを引き付けるタイプ（引き付けタイプとも言う）のアクチュエーターである。

図４９は、第４実施形態に係るアクチュエーター２Ｍの外観を模式的に示す斜視図である。図５０は、本実施形態に係る移動体２１１Ｍならびに第１区間Ｚ１２の周辺を模式的に示す斜視図である。本実施形態では、上記第３実施形態の第２変形例に係るアクチュエーター２Ｌの代わりに、アクチュエーター２Ｍが採用されている。アクチュエーター２Ｍでは、上記第３実施形態の第２変形例に係る移動機構２１Ｌの代わりに、移動機構２１Ｍが採用されている。

図４９および図５０で示されるように、移動機構２１Ｍは、移動機構２１Ｌがベースとされて、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊ、第１，２，４および５制動部Ｂ１Ｌ１，Ｂ１Ｌ２，Ｂ１Ｌ４，Ｂ１Ｌ５ならびに移動体２１１Ｌの構成が変更されたものである。

例えば、第１および第２支持部２１３Ｍ，２１４Ｍは、第１および第２支持部２１３Ｊ，２１４Ｊから凸部ＰＪ１および−Ｚ方向に窪む窪み部Ｃｖ１が削除されたものである。

制動部Ｂ１Ｍは、第１，２，４および第５制動部Ｂ１Ｌ１，Ｂ１Ｌ２，Ｂ１Ｌ４，Ｂ１Ｌ５の代わりにそれぞれ採用されたものである。具体的には、第１制動部Ｂ１Ｌ１が第１制動部Ｂ１Ｍ１に置換され、第２制動部Ｂ１Ｌ２が第２制動部Ｂ１Ｍ２に置換され、第４制動部Ｂ１Ｌ４が第４制動部Ｂ１Ｍ４に置換され、第５制動部Ｂ１Ｌ５が第５制動部Ｂ１Ｍ５に置換されている。そして、各制動部Ｂ１Ｍは、第１および第２支持部２１３Ｍ，２１４Ｍのうちの移動経路Ｔｒ１の方向を向いている内壁部に設けられたＺ方向の主面がＸＹ平面に略平行である磁石である。各制動部Ｂ１Ｍは、例えば、ＸＹ平面に略平行な盤面を有し且つＸ方向に延在する板状の磁石（磁石板とも言う）であれば良い。この磁石板は、例えば、永久磁石を加工することで得られる。そして、各制動部Ｂ１Ｍは、例えば、第２区間Ｚ２側の端部近傍において第２区間Ｚ２に向けてＺ方向の厚さが減少するテーパー状の部分（テーパー部とも言う）Ｔｐ１Ｍを有していれば良い。テーパー部Ｔｐ１Ｍは、ＸＹ平面に略平面な底面とＸＹ平面に対して傾斜している傾斜面とを有している。

移動体２１１Ｍは、移動体２１１Ｌのうち、第１ばね部Ｓｐ１１および第１押圧部ＰＢ１１、ならびに第２ばね部Ｓｐ１２および第２押圧部ＰＢ１２が、それぞれ複数のボールローラー部ＢＲ１に置換され、凹部Ｄ１Ｊが削除された構成を有している。また、例えば、移動体２１１Ｍの本体部ＢＤ１Ｍが磁性体で構成されていれば、制動部Ｂ１Ｍが、移動体２１１Ｍを引き付ける部分としての役割を果たす。そして、本体部ＢＤ１Ｍの底面２１１ＪｂのうちのＹ方向の端部に沿った領域および−Ｙ方向の端部に沿った領域にそれぞれ複数のボールローラー部ＢＲ１が配列されている。

図５１は、移動体２１１Ｍが第１区間Ｚ１２に位置している場合における移動体２１１ＭのＹＺ断面ならびに移動機構２１Ｍの他の構成をＸ方向から見た図である。

ボールローラー部ＢＲ１は、ボール部ＢＲ１１と、該ボール部ＢＲ１１を回転自在に保持するボール保持部ＢＲ１２とを有している。なお、移動体２１１Ｍにおいては、本体部ＢＤ１Ｍの底面２１１ｂに対して、圧入等によって、ボール保持部ＢＲ１２が固定されている。なお、ここでは、ボールローラー部ＢＲ１は、非磁性体であれば良い。

図５２および図５３は、移動体２１１Ｍが制動部Ｂ１Ｍに引き付けられる態様を模式的に示す図である。図５２では、移動体２１１Ｍが第２区間Ｚ２に位置している状態における移動体２１１Ｍ、ガイド軸２１６および制動部Ｂ１ＭのＸＺ断面が模式的に示されている。また、図５３では、移動体２１１Ｍが第１区間Ｚ１に位置している状態における移動体２１１Ｍ、ガイド軸２１６および制動部Ｂ１ＭのＸＺ断面が模式的に示されている。

ここで、図５２で示されるように、移動体２１１Ｍの貫通孔Ｔ１の径Ｄｈ１と、ガイド軸２１６の径ｄ１と、移動体２１１Ｍの貫通孔Ｔ１において本体部ＢＤ１Ｍとガイド軸２１６との隙間のＺ方向における距離Ｔｄ３との間には、式（１８）の関係が成立する。

Ｔｄ３＝Ｄｈ１−ｄ１ ・・・（１８）

また、ここで、移動体２１１Ｍが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に進入する前に、制動部Ｂ１ＭのＺ方向の上面Ｂ１Ｍｕと、ボールローラー部ＢＲ１のボール部ＢＲ１１の最も−Ｚ方向の点（最下点とも言う）との間においてＺ方向における高さの差分Ｔｄ４が生じる。この高さの差分Ｔｄ４と、距離Ｔｄ３との間には、式（１９）の関係が成立する。

Ｔｄ４＜Ｔｄ３ ・・・（１９）

この式（１９）の関係が満たされる場合には、移動体２１１Ｍが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に容易に進入することができる。

さらに、−Ｙ方向から見た場合、テーパー部Ｔｐ１Ｍの傾斜面とＸＹ平面とが成す角度θ３と、ボール部ＢＲ１１および移動体２１１Ｍの双方あるいはボール部ＢＲ１１およびボール保持部ＢＲ１２の双方に接する一接線とＸＹ平面とが成す角度θ４との間には、式（２０−１）および式（２０−２）の関係が成立する。

θ３＜θ４ ・・・（２０−１）
θ３＜４５° ・・・（２０−２）

この式（２０−１）および式（２０−２）の関係が満たされる場合には、移動体２１１Ｍおよびボール保持部ＢＲ１２が、制動部Ｂ１Ｍに引っかかり難いため、移動体２１１Ｍが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に円滑に進入し得る。

また、図５３で示されるように、移動体２１１Ｍが第２区間Ｚ２から第１区間Ｚ１に進入すると、磁性体としての本体部ＢＤ１Ｍが、磁石としての制動部Ｂ１Ｍに引き付けられる。このとき、ボール部ＢＲ１１の−Ｚ方向の最下点と制動部Ｂ１ＭのＺ方向の上面Ｂ１Ｍｕとが接触し、本体部ＢＤ１Ｍによってボールローラー部ＢＲ１が制動部Ｂ１Ｍに対して押し付けられる。この状態で、移動体２１１Ｍが±Ｘ方向に移動されると、ボール部ＢＲ１１のボール保持部ＢＲ１２に対する摺動およびボール部ＢＲ１１の制動部Ｂ１Ｍに対する摺動が生じ得る。これにより、制動部Ｂ１Ｍと移動体２１１Ｍとの間に摩擦力が生じる。なお、例えば、ボール部ＢＲ１１が制動部Ｂ１Ｍに対して摺動しない場合、ボール部ＢＲ１１が移動体２１１Ｍに含まれていないものとみなされれば、移動体２１１Ｍがボール部ＢＲ１１を介して制動部Ｂ１Ｍに対して摺動する。このとき、制動部Ｂ１Ｍと移動体２１１Ｍとの間には、ボール部ＢＲ１１を介して摩擦力が生じる。

換言すれば、例えば、第１区間Ｚ１１を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｍは、ボールローラー部ＢＲ１において、制動部Ｂ１Ｍ１，Ｂ１Ｍ２に対して摺動し得る。また、第１区間Ｚ１２を移動経路Ｔｒ１に沿って移動する移動体２１１Ｍは、ボールローラー部ＢＲ１において、制動部Ｂ１Ｍ４，Ｂ１Ｍ５に対して摺動し得る。そして、このとき、制動部Ｂ１Ｍと移動体２１１Ｍとの間に摩擦力が生じる。その結果、制動部Ｂ１Ｍによって、移動体２１１Ｍに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｍの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。例えば、第１区間Ｚ１１を移動体２１１Ｍが移動している際には、制動部Ｂ１Ｍ１，Ｂ１Ｍ２によって、移動体２１１Ｍに対して制動力が付与される。また、例えば、第１区間Ｚ１２を移動体２１１Ｍが移動している際には、制動部Ｂ１Ｍ４，Ｂ１Ｍ５によって、移動体２１１Ｍに対して制動力が付与される。これにより、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｍの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｍが停止する位置（停止位置とも言う）が高精度に調整され得る。つまり、本実施形態では、２つの第１区間Ｚ１１，Ｚ１２において、移動体２１１Ｍの停止位置が精度良く調整され得る。

また、ここでは、移動経路Ｔｒ１のうちの第２区間Ｚ２を移動体２１１Ｍが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、ガイド軸２１６と移動体２１１Ｍとの間に第１摩擦力が生じる。そして、移動経路Ｔｒ１のうちの第１区間Ｚ１を移動体２１１Ｍが移動経路Ｔｒ１に沿って移動する際に、制動部Ｂ１Ｍと移動体２１１Ｍとの間に生じる第２摩擦力が第１摩擦力よりも大きい。これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｊの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｍの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｍの停止位置が高精度に調整され得る。

＜(４−１)第４実施形態のまとめ＞
以上のように、第４実施形態に係る移動機構２１Ｍによれば、制動部Ｂ１Ｍが、移動体２１１Ｍを引き付ける。これにより、移動体２１１Ｍが、−Ｚ方向において制動部Ｂ１Ｍの上面Ｂ１Ｍｕ上に押し付けられる。その結果、移動経路Ｔｒ１に交差する交差方向における移動体２１１Ｍの動きが規制される。また、制動部Ｂ１Ｍと移動体２１１Ｍとの間に摩擦力が生じることで、制動部Ｂ１Ｍによって移動体２１１Ｍに対して移動経路Ｔｒ１に沿った移動体２１１Ｍの移動方向とは反対方向に制動力が付与される。

これにより、第２区間Ｚ２では、移動体２１１Ｍの高速移動が実現される一方で、第１区間Ｚ１では、移動体２１１Ｍの移動方向としての±Ｘ方向において該移動体２１１Ｍの停止位置が高精度に調整され得る。すなわち、移動体２１１Ｍの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｍの停止位置が高精度に調整され得る。また、第４実施形態に係るアクチュエーター２Ｍによっても、移動体２１１Ｍの移動速度を向上させつつ、移動体２１１Ｍの停止位置が高精度に調整され得る。さらに、第４実施形態に係る搬送装置によれば、移動体２１１Ｍの移動速度が向上されつつ、移動体２１１Ｍの停止位置が高精度に調整され得るため、被搬送物９が迅速かつ精度良く搬送され得る。

＜(４−２)第４実施形態の変形例＞
例えば、上記第４実施形態では、制動部Ｂ１Ｍが、移動体２１１Ｍを引き付ける引き付け部としての役割を果たしていたが、これに限られない。例えば、移動体２１１Ｍおよび制動部Ｂ１Ｍのうちの一方の部分が、移動体２１１Ｍおよび制動部Ｂ１Ｍのうちの一方の部分とは異なる他方の部分を引き付ける引き付け部を含む範囲内であれば、構成上の各種の変更が行われても良い。例えば、制動部Ｂ１Ｍが、磁性体によって構成され、移動体２１１Ｍが、引き付け部としての磁石の部分を含む態様が考えられる。この場合、移動体２１１Ｍが制動部Ｂ１Ｍを引き付けるが、制動部Ｂ１Ｍが固定されていれば、実質的には移動体２１１Ｍが制動部Ｂ１Ｍに引き付けられる。

また、上記第４実施形態では、案内部としてのガイド軸２１６が設けられていたが、これに限られない。例えば、ガイド軸２１６が取り除かれても良い。

なお、上記第４実施形態でも、第１区間Ｚ１で、制動部Ｂ１Ｍが、移動体２１１Ｍの重心を通り且つ移動方向（±Ｘ方向）に垂直な仮想的な平面上に位置する部分に接していれば、移動体２１１Ｍの姿勢が安定し得る。

＜(５)その他＞
なお、本発明は上記第１〜４実施形態および上記各種変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

例えば、上記第１〜４実施形態および上記各種変形例では、１つまたは２つの第１区間Ｚ１が設けられていたが、これに限られない。例えば、３以上の第１区間Ｚ１が設けられても良い。例えば、図５４および図５５で示されるように、第１実施形態に係る移動機構２１の代わりに、該移動機構２１がベースとされて、第２区間Ｚ２のＸ方向における略中央の部分に制動部Ｂ１がさらに設けられた移動機構２１Ｎが採用される態様が考えられる。ここでは、例えば、台板２１５上において第１支持部２１３から第２支持部２１４までＸ方向に沿って直線状に配されている線路部ＲＬ１に、制動部Ｂ１を支持しているＹＺ断面がＵ字状の第３支持部２１７が取り付けられている。また、第３支持部２１７の±Ｙ方向において対向する２面に第５制動部Ｂ１ｅおよび第６制動部Ｂ１ｆがそれぞれ取り付けられている。このような構成が採用される場合、３つの第１区間Ｚ１において、移動体２１１が停止する位置が精度良く調整され得る。

また、上記第１〜４実施形態および上記各種変形例では、移動経路Ｔｒ１が直線状の経路であったが、これに限られない。例えば、移動経路Ｔｒ１が折れ線状あるいは曲線状の種々の形状の経路であっても良い。図５６は、本変形例に係るに係るアクチュエーター２Ｏの外観を模式的に示す斜視図であり、図５７は、本変形例に係るアクチュエーター２ＯのＸＺ断面を−Ｙ方向から見た様子を模式的に示す図である。本変形例では、上記第１実施形態に係るアクチュエーター２の代わりに、アクチュエーター２Ｏが採用されている。そして、アクチュエーター２Ｏでは、上記第１実施形態に係る移動機構２１の代わりに、移動機構２１Ｏが採用されている。

図５６および図５７で示されるように、移動機構２１Ｏでは、駆動ローラーＲ１と従動ローラーＲ２とを結ぶ仮想的な直線状の領域からＺ方向にずらされた位置に従動ローラーＲ３，Ｒ４が配されている。そして、台板２１５の一主面上において−Ｘ方向に駆動源２２および第１〜６支持部２１４ａ〜２１４ｆがこの順に固定されている。第１〜６支持部２１４ａ〜２１４ｆは、それぞれＸＺ平面に略平行な盤面を有し且つ移動経路Ｔｒ１１をＹ方向に挟む一対の板状の部材を有している。ここでは、第１支持部２１４ａにおける一対の板状の部材の移動経路Ｔｒ１１を向いた箇所に一対の制動部Ｂ１（具体的には、第１および第２制動部Ｂ１ａ，Ｂ１ｂ）が設けられている。また、第２支持部２１４ｂにおける一対の板状の部材によってその間隙において従動ローラーＲ４が回動自在に支持されている。また、第３支持部２１４ｃにおける一対の板状の部材の移動経路Ｔｒ１１を向いた箇所に一対の制動部Ｂ１（具体的には、第５および第６制動部Ｂ１ｅ，Ｂ１ｆ）が設けられている。また、第４支持部２１４ｄにおける一対の板状の部材によってその間隙において従動ローラーＲ３が回動自在に支持されている。また、第５支持部２１４ｅにおける一対の板状の部材の移動経路Ｔｒ１１を向いた箇所に一対の制動部Ｂ１（具体的には、第３および第４制動部Ｂ１ｃ，Ｂ１ｄ）が設けられている。

また、搬送用ベルトＢｔ１は、−Ｙ方向から見て、時計回りに、駆動ローラーＲ１、従動ローラーＲ２〜Ｒ４の順に円環状に掛け回されており、円環状の搬送用ベルトＢｔ１の内周面に接するように駆動ローラーＲ１および従動ローラーＲ２〜Ｒ４が配されている。そして、搬送用ベルトＢｔ１に対してその延在方向に張力が付与された状態で、搬送用ベルトＢｔ１が、駆動ローラーＲ１の外周面から従動ローラーＲ２の外周面にかけて−Ｘ方向に架設されている。また、搬送用ベルトＢｔ１が、従動ローラーＲ２の外周面から従動ローラーＲ３の外周面にかけてＸ方向に行くほどＺ方向に上昇する方向に沿って架設されている。また、搬送用ベルトＢｔ１が、駆動ローラーＲ３の外周面から従動ローラーＲ４の外周面にかけてＸ方向に沿って架設されている。また、搬送用ベルトＢｔ１が、従動ローラーＲ４の外周面から駆動ローラーＲ１の外周面にかけてＸ方向に行くほど−Ｚ方向に下降する方向に沿って架設されている。これにより、駆動源２２による搬送用ベルトＢｔ１の回転に応じて移動体２１１が移動する移動経路Ｔｒ１１は、折れ線状の経路となる。

そして、駆動源２２による駆動ローラーＲ１の回転に応じて回転する円環状の搬送用ベルトＢｔ１に移動体２１１が取り付けられているため、予め設定されている移動経路Ｔｒ１１に沿って移動体２１１を移動させる駆動機構２１２Ｏが実現される。また、移動経路Ｔｒ１１のうちの３つの領域をそれぞれＹ方向に挟む一対の制動部Ｂ１が配されている。これにより、移動経路Ｔｒ１１は、３つの第１区間Ｚ１と、その間隙の２つの第２区間Ｚ２とを有する。具体的には、Ｚ方向から平面視した場合、−Ｘ方向に第１区間Ｚ１１、第２区間Ｚ２１、第１区間Ｚ１３、第２区間Ｚ２２および第１区間Ｚ１２がこの順に配されている。

また、上記第１〜４実施形態および上記各種変形例では、円環状に配されていた搬送用ベルトＢｔ１またはボール螺子Ｂｓ１によって移動体２１１，２１１Ｅ〜２１１Ｊ，２１１Ｌ，２１１Ｍを移動経路Ｔｒ１，Ｔｒ１１に沿って移動させたが、これに限られない。例えば、或る点を支点としてシャフトが回転することで、移動体２１１，２１１Ｅ〜２１１Ｊ，２１１Ｌ，２１１Ｍが移動する態様が考えられる。また、例えば、２以上の部材の間に架設されたワイヤーの駆動によって、移動体２１１が移動する態様も考えられる。

また、上記第１〜４実施形態および上記各種変形例では、移動体２１１に取り付けられた保持機構３の把持部３２によって被搬送物９が把持されたが、これに限られない。例えば、保持機構３は、吸引等の別の方法によって被搬送物９を保持するものに置換されても良い。

また、上記第１〜４実施形態および上記各種変形例では、移動体２１１に取り付けられた保持機構３で被搬送物９が搬送されたが、これに限られない。例えば、移動体２１１に各種センサーが取り付けられるような態様が考えられる。すなわち、移動機構およびアクチュエーターの用途は、搬送装置だけには限られず、各種物体を含む移動体を移動経路Ｔｒ１に沿って移動させるものであれば良い。

なお、上記第１〜４実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。例えば、上記嵌合タイプの形態、上記押圧タイプの形態および上記引き付けタイプの形態のうちの２以上の形態が適宜組み合わされても良い。

１ 搬送装置
２，２Ａ〜２Ｏ アクチュエーター
３ 保持機構
９ 被搬送物
２１，２１Ａ〜２１Ｏ 移動機構
２１１，２１１Ｅ〜２１１Ｊ，２１１Ｌ，２１１Ｍ 移動体
２１２，２１２Ｃ，２１２Ｏ 駆動機構
２１６ ガイド軸
２１６Ｆ 案内機構
２２，２２Ｃ 駆動源
Ｂ１，Ｂ１Ｅ〜Ｂ１Ｈ，Ｂ１Ｊ〜Ｂ１Ｍ 制動部
ＢＤ１Ｍ 本体部
ＢＲ１ ボールローラー部
Ｂｓ１ ボール螺子
Ｂｔ１ 搬送用ベルト
Ｃｇ１，Ｃｇ１Ｈ 重心
Ｄ１，Ｄ１Ｆ，Ｄ１Ｊ 凹部
ＰＢ１，ＰＢ１Ｋ 押圧部
Ｐｅ１，Ｐｆ１ 凸部
Ｔ１，Ｔ１Ｇ，Ｔ１Ｈ，Ｔ１Ｉ，Ｔ２ 貫通孔
Ｔｒ１，Ｔｒ１１ 移動経路
Ｚ１，Ｚ１１〜Ｚ１３ 第１区間
Ｚ２，Ｚ２１，Ｚ２２ 第２区間

Claims (16)

1. 移動体と、
   予め設定されている移動経路に沿って前記移動体を移動させる駆動機構と、
   前記移動経路を構成する１以上の第１区間および該１以上の第１区間とは異なる１以上の第２区間のうちの前記１以上の第１区間のみに沿って配されており、該第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記移動経路と交差する交差方向における前記移動体の動きを規制するとともに、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に摩擦力を生じさせることで、前記移動体に対して前記移動経路に沿った移動方向とは反対方向に制動力を付与する制動部と、
   前記移動経路に沿って配されており、前記移動経路に沿った前記移動体の移動を案内するとともに、前記交差方向における前記移動体の動きを規制する案内部と、を備え、
   前記制動部が、
   前記移動経路のうちの前記第２区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記案内部と前記移動体との間に生じる第１摩擦力よりも大きな第２摩擦力を、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に生じさせることで、前記移動体に対して前記制動力を付与し、
   前記第１区間において前記制動部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第１許容量が、前記第２区間において前記案内部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第２許容量よりも小さく、
   前記移動体が、
   前記案内部が前記移動方向に貫通する貫通孔を有しており、
   前記制動部が、
   前記案内部上の領域および前記移動方向における前記案内部の端部に接する領域のうちの少なくとも一方の領域に配されていることを特徴とする移動機構。
2. 移動体と、
   予め設定されている移動経路に沿って前記移動体を移動させる駆動機構と、
   前記移動経路を構成する１以上の第１区間および該１以上の第１区間とは異なる１以上の第２区間のうちの前記１以上の第１区間のみに沿って配されており、該第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記移動経路と交差する交差方向における前記移動体の動きを規制するとともに、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に摩擦力を生じさせることで、前記移動体に対して前記移動経路に沿った移動方向とは反対方向に制動力を付与する制動部と、を備え、
   前記制動部が、
   前記移動経路と交差する２以上の交差方向における前記移動体の動きを規制することを特徴とする移動機構。
3. 請求項２に記載の移動機構であって、
   前記移動経路に沿って配されており、前記移動経路に沿った前記移動体の移動を案内するとともに、前記交差方向における前記移動体の動きを規制する案内部、を更に備え、
   前記制動部が、
   前記移動経路のうちの前記第２区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に前記案内部と前記移動体との間に生じる第１摩擦力よりも大きな第２摩擦力を、前記第１区間を前記移動経路に沿って移動する前記移動体との間に生じさせることで、前記移動体に対して前記制動力を付与し、
   前記第１区間において前記制動部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第１許容量が、前記第２区間において前記案内部によって前記交差方向における前記移動体の動きが許容される第２許容量よりも小さいことを特徴とする移動機構。
4. 請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
   前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動方向に延在し且つ前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分が位置する方向に開口を有する凹部を有し、
   前記他方の部分が、前記移動方向に延在する凸部を有しており、
   前記第１区間を前記移動体が前記移動経路に沿って移動する際に、前記凹部に前記凸部が嵌合することで前記交差方向における前記移動体の動きが規制されるとともに、前記凹部と前記凸部との間に摩擦力が生じることで前記制動部によって前記移動体に対して前記反対方向に前記制動力が付与されることを特徴とする移動機構。
5. 請求項４に記載の移動機構であって、
   前記凹部が凹んでいる凹方向および前記凸部が突起している凸方向は、前記移動方向および前記交差方向の少なくとも１つの方向を含むことを特徴とする移動機構。
6. 請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
   前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分に対して、前記交差方向に押圧力を付与することを特徴とする移動機構。
7. 請求項６に記載の移動機構であって、
   前記制動部が、
   前記移動体に対して前記交差方向に押圧力を付与する押圧部を有することを特徴とする移動機構。
8. 請求項６または請求項７に記載の移動機構であって、
   前記移動体が、
   前記制動部に対して前記交差方向に押圧力を付与する押圧部を有することを特徴とする移動機構。
9. 請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
   前記移動体および前記制動部のうちの一方の部分が、前記移動体および前記制動部のうちの該一方の部分とは異なる他方の部分を引き付ける引き付け部を含むことを特徴とする移動機構。
10. 請求項１から請求項９の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
    前記制動部が、
    前記移動体のうちの、該移動体の重心を通り且つ前記移動方向に垂直な仮想的な平面上に位置する部分に対して、前記交差方向において当接することを特徴とする移動機構。
11. 請求項２または請求項３に記載の移動機構であって、
    前記制動部が、
    前記２以上の交差方向のうちの第１交差方向における前記移動体の動きを規制する第１制動部と、前記２以上の交差方向のうちの前記第１交差方向とは異なる第２交差方向における前記移動体の動きを規制する第２制動部とを含むことを特徴とする移動機構。
12. 請求項１１に記載の移動機構であって、
    前記移動体が、
    前記移動方向に移動する際に、前記第１制動部に当接する第１タイミングと、前記第２制動部に当接する第２タイミングとが異なることを特徴とする移動機構。
13. 請求項１から請求項１２の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
    前記１以上の第１区間が、
    ２以上の前記第１区間を含むことを特徴とする移動機構。
14. 請求項１から請求項１３の何れか１つの請求項に記載の移動機構であって、
    前記移動経路が、
    直線状の移動経路を含むことを特徴とする移動機構。
15. 請求項１から請求項１４の何れか１つの請求項に記載の移動機構と、
    前記駆動機構を駆動させる駆動源と、
    を備えることを特徴とするアクチュエーター。
16. 請求項１５に記載のアクチュエーターと、
    前記移動体に取り付けられている、被搬送物を保持する保持機構と、
    を備えることを特徴とする搬送装置。

Images