JP6194519B2 - 入口組立体 - Google Patents
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Description
本発明の第1態様によればバーナ用入口組立体が提供され、該入口組立体は入口孔および同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドは、入口孔と出口孔との間で長手方向軸線に沿って延びているノズルボアを備え、該ノズルボアは、入口孔に連結できる入口パイプからの流出ガスを出口孔に搬送して前記バーナの燃焼チャンバに供給し、ノズルボア内に収容されたノズルボアスクレーパと、該ノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させるべく作動するアクチュエータとを更に有し、前記ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間を前記長手方向軸線に沿って往復動して、ノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させる。
本発明の実施形態をより詳細に説明する前に、最初に概要について述べる。本発明の幾つかの実施形態はバーナの入口組立体を提供するものである。以下の実施形態は放射バーナの使用について説明するが、本発明の入口組立体は、例えば乱流炎バーナまたは電気加熱型オキシダイザ等の任意の種々のバーナに使用できることは理解されよう。放射バーナは、上記特許文献1に開示されているように従来技術において良く知られている。シラン、クロロシランおよびオルガノシラン等の流出ガスを処理すると、SiO2および(NH4)2SiF6等の固体副生成物が生成される。これらは、流出ガスが接触する表面上に堆積する傾向を有する。これらの固体副生成物は特に硬くかつ放射バーナの燃焼チャンバからの熱により引き起こされる焼結により固着される。放射バーナの入口組立体は浄化機構を有し、該浄化機構は、放射バーナにより処理される流出ガスにより、流出ガスを受入れかつこれを処理する放射バーナの燃焼チャンバに搬送する放射バーナ入口組立体の入口ノズル上に堆積された残留物を浄化する。ノズルは真直ボアを有し、該真直ボアは、方向が変化しているノズルボアに比べて、堆積物が形成される傾向を低下させる補助をする。また、このアライメントは、ガス流を、方向を変える必要なくほぼ真直に流れさせる。この浄化機構はスクレーパを有し、該スクレーパは、ノズル内の堆積物の存在を低減させるため、アクチュエータの作動によりボア内で移動する。スクレーパが出口孔に向かって移動すると、ノズルボア内の堆積物がノズルボアから除去される。ノズル内の堆積物が低減されると、放射バーナの信頼性が改善される。なぜならば、堆積物が存在すると、燃焼チャンバ内への流出ガスの流れが減少されるからである。また、ノズル内に堆積すると、流出ガスを処理する化学的性質に影響を与える。更に、ノズルを浄化しかつメインテナンスを行うことにより、処理の休止時間が短縮される。アクチュエータは、ノズルの入口、ノズルの出口、またはノズルの長手方向軸線のいずれかから偏心して配置される。
図1および図2は、本発明の一実施形態による、放射バーナ用の入口組立体(全体を参照番号16で示す)の構成を概略的に示すものである。入口組立体16は、真空ポンプシステム(図示せず)により、例えば半導体またはフラットパネルディスプレイのプロセスツールからポンピングされる流出ガス流を受入れる入口パイプ14を連結する。図示の断面図には2つの入口パイプ14のみが示されているが、この例示実施形態では4つの入口パイプ14が設けられている。入口パイプ14は、それぞれの入口孔19と係合している。出口孔21が設けられており、該出口孔21は入口孔19と同心状に配置されている。入口孔19と出口孔21との間には、長手方向ボア20が延びている。すなわち、ノズルボア20は、入口マニホルド18に普通の円筒状空所を形成し、入口孔19の中心点は出口孔21の中心点と整合し、かつ入口孔19の中心点と出口孔21の中心点との間の線はノズルボア20の長手方向軸線を形成する。以下の実施形態では、ノズルボア20はマニホルド18の交差面から垂直に延びているが、ノズルボア20は、非垂直角度に配置できることは理解されよう。非垂直角度に配置されてはいるが、入口孔と出口孔との間に形成されるノズルボアは、真直平行壁を有する円筒状である。マニホルド18は、一般に、セラミック耐熱材料からなる。
図3および図4には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Aで概略的に示されている。この実施形態は図1および図2に示した実施形態と同様であり、図3にはスクレーパ25Aが後退位置すなわち休止位置にあるところが示され、図4にはスクレーパ25Aが作動位置すなわち伸長位置にあるところが示されている。
図5には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Bで概略的に示されている。この実施形態は窒素源34を使用しており、該窒素源34は弁38に連結され、該弁38は導管36を介して、アクチュエータ28を収容する空所32に窒素ガスを供給する。窒素を空所32に常時供給または周期的に供給することにより、空所32内への流出ガスの流入を防止または低減させ、いかなる流出ガスも空所32内に蓄積することを防止する。これにより、いかなる流出ガス堆積物もアクチュエータ28の作動を妨げることを防止する。また、窒素ガスは、スクレーパ25Aとノズルボア20との間の界面をパージすることを補助し、かつ特にスクレーパが後退位置すなわち休止位置にあるときに前記界面に残留物が蓄積することを防止する補助をする。
図6には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Cで概略的に示されている。この入口組立体16Cは、2つ以上のスクレーパ25Aを同時に往復動させるのに使用される共通アクチュエータ28Aを用いている。理解されようが、共通アクチュエータ28Aは、カップリング30Aを用いて各スクレーパ25Aに連結されている。
図7には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Dで概略的に示されている。この構造は図4に示した構造と同様であるが、中空円筒状のスクレーパ25Aを用いる代わりに、コイルスプリング25Bが使用されている。この構造は、上記ガスパージ構造を設けると特に有利なことは理解されよう。なぜならば、コイルスプリング25Bのみが設けられている場合には、アクチュエータを収容する空所内に流出ガスが自由に流入してしまうからである。
図8および図9には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Eで概略的に示されている。この実施形態では、入口パイプ14Bが、マニホルド18Eから離れるにドッグレッグ状移行部を形成しており、流出ガスを供給するプロセスツールへの連結を容易にしている。ノズルボアはノズルスリーブ20Aにより内張りされており、該ノズルスリーブ20A内には同心状ランス50が設けられ、更に該ランス50内にはノズルスクレーパ25Cが配置されている。ランス50は、燃焼チャンバへの入口で流出ガス流と混合される他の流体を導入するのに使用される。ノズルスクレーパ25Cは、図8に示す保持位置すなわち休止位置から図9に示す押出し位置すなわち作動位置まで、カップリング30Bを介してアクチュエータ28Bにより直線移動される。
図10および図11には、本発明の一実施形態による放射バーナの入口組立体の全体が、参照番号16Fで概略的に示されている。この実施形態では、ノズルボアはノズルスリーブ20Bにより内張りされており、該ノズルスリーブ20B内には同心状ランス50Aが設けられ、更に該ランス50A内にはノズルスクレーパ25Dが配置されている。ランス50Aは、燃焼チャンバへの入口で流出ガス流と混合される他の流体を導入するのに使用される。ノズルスクレーパ25Dは、図8に示す保持位置すなわち休止位置から図9に示す押出し位置すなわち作動位置まで、カップリング30Cを介してアクチュエータ28Cにより直線移動される
14、14A、14B、14C 入口パイプ
16、16A、16B、16C、16D、16E、16F 入口組立体
18、18A、18B、18C、18E 入口マニホルド
20 ノズルボア
25、25A、25C、25D ノズルスクレーパ
25B コイルスプリング
28、28A、28B、28C アクチュエータ
30、30A、30B、30C カップリング
32 空所
50、50A ランス
Claims (15)
- バーナ用入口組立体において、入口組立体が、
入口孔および同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドが、入口孔と出口孔との間で長手方向軸線に沿って延びている真直状かつ円筒状のノズルボアを備え、該ノズルボアは、入口パイプからの流出ガスを出口孔に搬送して前記バーナの燃焼チャンバに供給し、
ノズルボア内に収容された中空のノズルボアスクレーパと、
前記ノズルの入口、前記ノズルの出口、又は前記ノズルの長手方向軸線のいずれかから偏心して位置し、該ノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させるべく作動するアクチュエータとを更に有し、前記ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間を前記長手方向軸線に沿って往復動して、ノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とするバーナ用入口組立体。 - 前記ノズルボアスクレーパは、作動位置において出口孔から突出することを特徴とする請求項1記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパは、少なくともノズルボアの直径に等しい距離を隔てた休止位置においてノズルボア内に保持されることを特徴とする請求項1または2記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパは中空であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパは、シリンダおよびコイルスプリングの一方であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパは、休止位置と作動位置との間を移動するときにノズルボア内の流出ガス堆積物を離脱させる成形された切削端を有していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパの外径は、ノズルボアの内径に一致することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパは、前記入口孔から延びかつ前記入口パイプにスライド可能に連結されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパおよび入口パイプの一方は、他方の中にスライド可能に受入れられることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパとノズルボアとの間にパージ流体を供給すべく作動できるパージ装置を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記ノズルボアスクレーパ内に収容されかつノズルボアスクレーパに対して往復動して、ノズルボアスクレーパ内の流出ガス堆積物を低減させるように作動する2次スクレーパを有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項記載の入口組立体。
- 前記2次スクレーパはノズルボア内に保持され、ノズルボアに対するノズルボアスクレーパの往復動により、ノズルボアスクレーパ内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とする請求項11記載の入口組立体。
- 前記2次スクレーパはコイルスプリングであることを特徴とする請求項11または12記載の入口組立体。
- 前記コイルスプリングは、前記ランスと係合保持するための第1端部の内径と、ノズルボアスクレーパの内径と一致する第2端部の外径とを有していることを特徴とする請求項13記載の入口組立体。
- バーナ用入口組立体のノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させる方法であって、前記入口組立体が、入口孔およびこれと同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドが、入口孔と出口孔との間の長手方向軸線に沿って延びている、入口孔に連結可能な入口パイプからの流出ガスを搬送するための真直状かつ円筒状のノズルボアを備えているバーナ用入口組立体のノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させる方法において、
中空のノズルボアスクレーパをノズルボア内に収容する段階と、
前記ノズルの入口、前記ノズルの出口、又は前記ノズルの長手方向軸線のいずれかから偏心して位置するアクチュエータを用いてノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させる段階とを有し、ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間で長手方向軸線に沿って往復動してノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1213373.2A GB2504468B (en) | 2012-07-27 | 2012-07-27 | Burner Nozzle Reciprocating Scraper Arrangement for Reducing Effluent Gas Deposits |
GB1213373.2 | 2012-07-27 | ||
PCT/GB2013/051625 WO2014016553A1 (en) | 2012-07-27 | 2013-06-20 | Inlet assembly |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015528096A JP2015528096A (ja) | 2015-09-24 |
JP2015528096A5 JP2015528096A5 (ja) | 2016-06-30 |
JP6194519B2 true JP6194519B2 (ja) | 2017-09-13 |
Family
ID=46881243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015523605A Active JP6194519B2 (ja) | 2012-07-27 | 2013-06-20 | 入口組立体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10018354B2 (ja) |
EP (1) | EP2877783B1 (ja) |
JP (1) | JP6194519B2 (ja) |
GB (1) | GB2504468B (ja) |
TW (1) | TWI591294B (ja) |
WO (1) | WO2014016553A1 (ja) |
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- 2013-06-20 US US14/416,457 patent/US10018354B2/en active Active
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EP2877783B1 (en) | 2018-12-26 |
JP2015528096A (ja) | 2015-09-24 |
EP2877783A1 (en) | 2015-06-03 |
GB2504468A (en) | 2014-02-05 |
GB2504468B (en) | 2017-03-22 |
TW201408954A (zh) | 2014-03-01 |
US10018354B2 (en) | 2018-07-10 |
WO2014016553A1 (en) | 2014-01-30 |
TWI591294B (zh) | 2017-07-11 |
US20150176838A1 (en) | 2015-06-25 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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