JP6191558B2 - シリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法、シリコン基板の再結合ライフタイム測定方法、及びシリコン基板のパッシベーション処理方法 - Google Patents
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Description
前記シリコン基板をアスコルビン酸水溶液に浸すことにより、前記シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行うシリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法を提供する。
前記シリコン基板に対して、上記の前処理方法によって前処理を行った後、該前処理を行ったシリコン基板の再結合ライフタイムを測定するシリコン基板の再結合ライフタイム測定方法を提供する。
前記シリコン基板をアスコルビン酸水溶液に浸すことにより、前記シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行うシリコン基板のパッシベーション処理方法を提供する。
前記シリコン基板をアスコルビン酸水溶液に浸すことにより、前記シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行うシリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法である。
P型のシリコン基板を複数枚準備し、濃度を変えたアスコルビン酸水溶液を用いてそれぞれのシリコン基板のパッシベーション処理を行った後、再結合ライフタイム値を測定した結果をプロットし、アスコルビン酸水溶液の濃度と再結合ライフタイム測定値の関係(濃度依存性)を求めたグラフを図1に示す。図1に示されるように、濃度が0.005mol/L以上では再結合ライフタイム値が安定しており、十分な処理濃度であると推定される。なお、これより濃度を大きくしても再結合ライフタイム値の向上は見られないことから、濃度の上限は経済性等を考慮して、0.05mol/Lとするのが好ましい。これ以上の濃度でも効果はあると推定されるが、費用が嵩みコスト高になる。
シリコン基板に対して、上記の前処理方法によって前処理を行った後、該前処理を行ったシリコン基板の再結合ライフタイムを測定する方法を提供する。
まず、抵抗率10Ω・cmのボロンドープ(P型)及びリンドープ(N型)直径200mmのシリコンウェーハを材料として準備した。次に、アスコルビン酸(C6H8O6:176.1241g/mol)8.806gを10Lの水に溶解させ、濃度が0.005mol/Lのアスコルビン酸水溶液を調製した。次に、調製したアスコルビン酸水溶液を10mLマイクロピペットで採取し、ビニール袋に上記のP型又はN型シリコンウェーハと一緒に入れて封をし、ウェーハを浸すことでパッシベーション処理(前処理)を行った後、再結合ライフタイム(WLT)の測定を行った。結果を表1に示す。
まず、実施例1と全く同様にして作製された抵抗率10Ω・cmのボロンドープ(P型)及びリンドープ(N型)直径200mmのシリコンウェーハを材料として準備した。次に、ヨウ素(I:126.904g/mol)6.345gを10Lのエタノールに溶解させ、濃度が0.005mol/Lのヨウ素/エタノール溶液を調製した。次に、調製したヨウ素/エタノール溶液を10mLマイクロピペットで採取し、ビニール袋に上記のP型又はN型シリコンウェーハと一緒に入れて封をし、ウェーハを浸すことでパッシベーション処理(前処理)を行った後、再結合ライフタイム(WLT)の測定を行った。結果を表1に示す。
まず、実施例1と全く同様にして作製された抵抗率10Ω・cmのボロンドープ(P型)及びリンドープ(N型)直径200mmのシリコンウェーハを材料として準備した。次に、ヒドロキノン(1,4−ヒドロキシベンゼン;C6H6O2:110.11g/mol)5.506gを10Lのエタノールに溶解させ、濃度が0.005mol/Lのヒドロキノン/エタノール溶液を調製した。次に、調製したヒドロキノン/エタノール溶液を10mLマイクロピペットで採取し、ビニール袋に上記のP型又はN型シリコンウェーハと一緒に入れて封をし、ウェーハを浸すことでパッシベーション処理(前処理)を行った後、再結合ライフタイム(WLT)の測定を行った。結果を表1に示す。
Claims (4)
- シリコン基板の再結合ライフタイムを測定する前に行う前処理方法において、
前記シリコン基板をアスコルビン酸水溶液に浸すことにより、前記シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行うことを特徴とするシリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法。 - 前記アスコルビン酸水溶液の濃度を、0.005mol/L以上0.05mol/L以下とすることを特徴とする請求項1に記載のシリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法。
- シリコン基板の再結合ライフタイムを測定する方法であって、
前記シリコン基板に対して、請求項1又は請求項2に記載の前処理方法によって前処理を行った後、該前処理を行ったシリコン基板の再結合ライフタイムを測定することを特徴とするシリコン基板の再結合ライフタイム測定方法。 - シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行う方法であって、
前記シリコン基板をアスコルビン酸水溶液に浸すことにより、前記シリコン基板の表面に対してパッシベーション処理を行うことを特徴とするシリコン基板のパッシベーション処理方法。
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