JP6189199B2 - Contact inspection apparatus, contact inspection method, and electronic component - Google Patents

Contact inspection apparatus, contact inspection method, and electronic component Download PDF

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本発明は、コンタクト検査装置、コンタクト検査方法及び電子部品に関する。   The present invention relates to a contact inspection apparatus, a contact inspection method, and an electronic component.

従来、2端子デバイスの静特性試験を行う場合において、順方向と逆方向を別々の測定ステーションで試験を行う場合、順方向試験は大電流を印加するために試験機と測定電極とを4線式で接続していた。この場合は各端子に2本のケーブルが接続されるので、その2本のケーブルを使って電極の接触状態を確認することが可能である。   Conventionally, when performing a static characteristic test of a two-terminal device, when testing in the forward direction and the reverse direction at different measurement stations, the forward test is performed by connecting a tester and a measurement electrode in four lines in order to apply a large current. We were connected by a formula. In this case, since two cables are connected to each terminal, it is possible to confirm the contact state of the electrodes using the two cables.

しかし、逆方向試験を行う場合、印加電圧が高いものの試験電流が小さいため、試験機と測定電極とを2線式で接続する試験となり各端子には1本のケーブルしか接続されない。そこで、従来の逆方向試験では、整流特性を有する検査対象素子に対して順方向にバイアス電圧をかけて規定の電流が流れるかを確認することで、検査電極と検査対象素子との接触状態を確認していた。   However, when the reverse direction test is performed, the test current is small although the applied voltage is high, so that the test machine and the measurement electrode are connected in a two-wire system, and only one cable is connected to each terminal. Therefore, in the conventional reverse direction test, the contact state between the test electrode and the test target element is confirmed by applying a bias voltage in the forward direction to the test target element having a rectifying characteristic to check whether a specified current flows. I was checking.

具体的には、従来のコンタクト検査装置は、定電圧源に直列に電流制定用抵抗及び一方の検査電極が順に接続され、他方の検査電極と直列に接続された検出抵抗の検出部の電圧を検出することで、検査電極と検査対象素子との接触状態を確認していた。   Specifically, the conventional contact inspection apparatus is configured such that a current establishing resistor and one inspection electrode are sequentially connected in series to a constant voltage source, and the voltage of the detection part of the detection resistor connected in series with the other inspection electrode is obtained. By detecting, the contact state of a test | inspection electrode and a test object element was confirmed.

特開2013−15356号公報JP 2013-15356 A

従来のコンタクト検査装置は、検査電極と検査対象素子との接触抵抗が上昇すると、接触抵抗、定電圧源、電流制定用抵抗及び検出抵抗を含む直列回路全体の抵抗が大きくなる。その場合、この直列回路に流れる電流が小さくなることにより、検出抵抗の検出部の電圧が小さくなるので、従来のコンタクト検査装置は、検査電極と検査対象素子の接触が不良であると判定し、検査者は、検査電極を新しい検査電極に交換していた。   In the conventional contact inspection apparatus, when the contact resistance between the inspection electrode and the element to be inspected increases, the resistance of the entire series circuit including the contact resistance, the constant voltage source, the current establishment resistance, and the detection resistance increases. In that case, since the voltage of the detection part of the detection resistor is reduced by reducing the current flowing in the series circuit, the conventional contact inspection apparatus determines that the contact between the inspection electrode and the element to be inspected is poor, The inspector had replaced the test electrode with a new test electrode.

しかし、このように接触不良と判定された検査電極を用いて、逆方向試験で検査対象素子に対して逆バイアス電圧を印加した場合でも、検査対象素子に流れる電流が小さいので、接触抵抗における電圧降下が無視できるほど小さい。このため、逆方向試験にはほとんど影響を与えない。このように、従来では、まだ検査電極が逆方向試験で使用できる範囲の接触抵抗の値であっても、コンタクト検査装置で接触不良と判定された場合、検査電極を交換していたので、検査電極の交換頻度が高くなるという問題があった。   However, even when a reverse bias voltage is applied to the element to be inspected in the reverse test using the inspection electrode determined to have poor contact in this way, since the current flowing through the element to be inspected is small, the voltage at the contact resistance The descent is so small that it can be ignored. For this reason, it has little influence on the reverse direction test. Thus, in the past, even if the inspection electrode was still in the range of contact resistance that could be used in the reverse direction test, if the contact inspection device determined that the contact was defective, the inspection electrode was replaced. There was a problem that the exchange frequency of the electrode increased.

そこで、本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、逆方向試験に用いる検査電極の交換頻度を削減することを可能とするコンタクト検査装置、コンタクト検査方法及び電子部品を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a contact inspection apparatus, a contact inspection method, and an electronic component that can reduce the replacement frequency of inspection electrodes used in a reverse direction test. And

本発明の一態様に係るコンタクト検査装置は、
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる。
A contact inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes:
A constant current source having one end connected to a power source and outputting a predetermined constant current;
A sense resistor with one end grounded;
A first inspection electrode that can be electrically connected to one end of an inspection target element having rectification characteristics;
A second inspection electrode electrically connectable to the other end of the inspection target element;
A first conduction state in which the first inspection electrode and the other end of the detection resistor are in conduction, and a connection between the first inspection electrode and the high-potential side terminal of the reverse direction test apparatus are in conduction. A first changeover switch capable of switching between the second conduction state;
A third conduction state in which the second inspection electrode and the output of the constant current source are conducted, and a conduction between the second inspection electrode and the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus are conducted. A second changeover switch capable of switching between the fourth conduction state,
Comparison of detecting the contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element based on the comparison result by comparing the voltage of the detection portion of the detection resistor with a predetermined reference voltage. A detection unit;
With
In contact inspection in which a current is applied in a forward direction to the inspection target element, the inspection is performed between the first inspection electrode and the second inspection electrode having a higher potential than the first inspection electrode. In the state where the target element is connected in the forward direction, the first changeover switch is changed to the first conduction state, and the second changeover switch is changed to the third conduction state, the comparison detection unit Detecting the contact state;
In a reverse direction test in which a voltage is applied to the element to be inspected in the reverse direction, the first changeover switch is changed to the second conduction state, and the second changeover switch is changed to the fourth conduction state.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記比較検出部は、前記比較結果に基づいて、前記検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が、所定の許容値以下か否か検出し、
前記許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記定電流源が出力する電流の値と前記検出抵抗の値が決められている。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The comparison detection unit, based on the comparison result, sums the value of the contact resistance between the inspection target element and the first inspection electrode and the value of the contact resistance between the inspection target element and the second inspection electrode. Is less than or equal to a predetermined tolerance,
Based on the allowable value and the voltage of the power source, the value of the current output from the constant current source and the value of the detection resistor are determined.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極と接続された第1の接点と、前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続された第2の接点と、第3の接点と、を備え、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極と接続された第4の接点と、前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続された第5の接点と、第6の接点と、を備え、
一端が前記定電流源の出力に接続され他端が前記第6の接点に接続され、前記定電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1スイッチと、
一端が前記第3の接点に接続され他端が前記検出抵抗の検出部に接続され、前記第3の接点と前記検出抵抗の検出部との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2スイッチと、
を更に備える。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The first changeover switch includes a first contact connected to the first inspection electrode, a second contact connected to a high potential side terminal of the reverse direction test apparatus, and a third contact. With
The second changeover switch includes a fourth contact connected to the second inspection electrode, a fifth contact connected to a low potential side terminal of the reverse direction testing device, a sixth contact, With
One end is connected to the output of the constant current source, the other end is connected to the sixth contact, and the conduction state between the output of the constant current source and the sixth contact is not conductive. A first switch for switching between a non-conductive state;
One end is connected to the third contact, the other end is connected to the detection resistor detection unit, and the third contact point and the detection resistor detection unit are not connected to the conduction state. A second switch for switching between the non-conductive state;
Is further provided.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2スイッチを導通状態にさせる制御部
を更に備える。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
A control unit is further provided for controlling the first switch and the second switch, causing the first switch to be in a conductive state and causing the second switch to be in a conductive state during the contact inspection.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記制御部は、前記第1の切替スイッチ及び前記第2の切替スイッチを制御し、コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを第1導通状態にさせ、前記第2の切替スイッチを第3導通状態にさせ、逆方向試験のときに、第1の切替スイッチを第2導通状態にさせ、第2の切替スイッチを第4導通状態にさせる。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The control unit controls the first changeover switch and the second changeover switch, causes the first changeover switch to be in a first conduction state during contact inspection, and sets the second changeover switch to the first changeover state. In the reverse direction test, the first changeover switch is set in the second conduction state, and the second changeover switch is set in the fourth conduction state.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記検査対象素子は、ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The inspection target element is a diode, the cathode of the diode is connected to the first inspection electrode, and the anode of the diode is connected to the second inspection electrode.

本発明の一態様に係るコンタクト検査装置は、
一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源と、
一端が前記電源に接続され、前記第1検査用電流源が出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源と、
整流特性を有する第1検査対象素子の一端または整流特性を有し該第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記第1検査対象素子の他端または前記第2検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
一端が接地された第1検査用検出抵抗と、
一端が接地され前記第1検査用検出抵抗よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗と、前記第1の検査電極と前記第1検査用検出抵抗の他端または前記第2検査用検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記第1検査用電流源の他端または前記第2検査用電流源の他端との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記第1検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、前記第1接触状態を検出し、前記第2検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第2接触状態を検査する場合、前記第2検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、前記第2接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記第1接触状態または前記第2接触状態を検出し、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる。
A contact inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes:
A first inspection current source having one end connected to a power source and outputting a first constant current;
A second inspection current source having one end connected to the power source and outputting a second constant current greater than a current output by the first inspection current source;
A first test electrode that can be electrically connected to one end of a first test target element having a rectification characteristic or one end of a second test target element having a rectification characteristic and having a leakage current larger than that of the first test target element;
A second inspection electrode electrically connectable to the other end of the first inspection target element or the other end of the second inspection target element;
A first inspection detection resistor having one end grounded;
A second inspection detection resistor having one end grounded and having a resistance value smaller than that of the first inspection detection resistor; the first inspection electrode; the other end of the first inspection detection resistor; or the second inspection detection resistor. It is possible to switch between a first conduction state in which the other end of the device is conducted and a second conduction state in which the first inspection electrode and the high potential side terminal of the reverse direction testing device are conducted. A first changeover switch;
A third conduction state in which the second inspection electrode and the other end of the first inspection current source or the other end of the second inspection current source are electrically connected; the second inspection electrode; A second changeover switch capable of switching between a fourth conduction state in which electrical connection is established with the low potential side terminal of the reverse direction test device;
When inspecting a first contact state that is a contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the first inspection target element, a voltage of a detection unit of the first inspection detection resistor and a predetermined first 1st reference voltage is compared and based on the 1st comparison result obtained by comparison, the 1st contact state is detected, and the 1st inspection electrode and the 2nd inspection electrode with respect to the 2nd inspection object element In the case of inspecting the second contact state that is the contact state of the second, based on the second comparison result obtained by comparing the voltage of the detection portion of the detection resistor for second inspection with a predetermined second reference voltage A comparison detection unit for detecting the second contact state;
With
In contact inspection in which a current is applied in the forward direction to the first inspection target element or the second inspection target element, the first inspection electrode and the second inspection electrode having a higher potential than the first inspection electrode. The first inspection target element or the second inspection target element is connected in a forward direction between the inspection electrode, the first changeover switch is changed to the first conduction state, and the second changeover switch is provided. Is switched to the third conduction state, the comparison detection unit detects the first contact state or the second contact state,
In a reverse test in which a voltage is applied in the reverse direction to the first inspection target element or the second inspection target element, the first changeover switch is switched to the second conduction state, and the second changeover switch is It is switched to the fourth conduction state.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記比較検出部は、前記第1比較結果に基づいて、前記第1検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第1検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第1許容値以下か否か検出し、前記第2比較結果に基づいて、前記第2検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第2検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第2許容値以下か否か検出し、
前記第1の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第1検査用電流源が出力する電流の値と前記第1検査用検出抵抗の値が決められており、
前記第2の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第2検査用電流源が出力する電流の値と前記第2検査用検出抵抗の値が決められている。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The comparison detection unit, based on the first comparison result, a value of a contact resistance between the first inspection object element and the first inspection electrode, and the first inspection object element and the second inspection electrode. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined first allowable value, and based on the second comparison result, the value of the contact resistance between the second inspection target element and the first inspection electrode, and the Detecting whether the sum of the contact resistance values of the second inspection target element and the second inspection electrode is equal to or less than a predetermined second allowable value;
Based on the first allowable value and the voltage of the power source, the value of the current output from the first inspection current source and the value of the first inspection detection resistor are determined,
Based on the second allowable value and the voltage of the power supply, the value of the current output from the second inspection current source and the value of the second inspection detection resistor are determined.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記第1基準電圧と前記第2基準電圧は等しく、前記第2検査用検出抵抗の値に対する前記第1検査用検出抵抗の値の比は、前記第1検査用電流源が出力する電流の値に対する前記第2検査用電流源が出力する電流の値の比に等しい。
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極に接続された第1の接点と前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続されている第2の接点とが導通している前記第1導通状態と、前記第1の接点と第3の接点が導通している前記第2導通状態とを切替可能であり、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極に接続された第4の接点と前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続されている第5の接点とが導通している前記第3導通状態と、前記第4の接点と第6の接点が導通している前記第4導通状態とを切替可能であり、
前記第1検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第1スイッチと、
前記第2検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第1スイッチと、
前記第3の接点と前記第1検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第2スイッチと、
前記第3の接点と前記第2検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第2スイッチと、
を備え、
前記コンタクト検査のときに、前記第1検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、
前記逆方向試験のときに、前記第1検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが導通状態に切替られる。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The first reference voltage and the second reference voltage are equal, and the ratio of the value of the first inspection detection resistor to the value of the second inspection detection resistor is a value of a current output from the first inspection current source. Is equal to the ratio of the value of the current output by the second inspection current source.
In the first changeover switch, the first contact connected to the first inspection electrode and the second contact connected to the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus are electrically connected. Switchable between one conduction state and the second conduction state in which the first contact and the third contact are conducted;
In the second changeover switch, the fourth contact connected to the second inspection electrode and the fifth contact connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus are electrically connected. 3 conductive states and the fourth conductive state in which the fourth contact and the sixth contact are conductive can be switched,
A first switch for first inspection that switches between a conductive state in which the output of the first inspection current source and the sixth contact point are conductive and a non-conductive state in which the sixth contact point is not conductive;
A first switch for second inspection that switches between a conductive state in which the output of the second inspection current source and the sixth contact point are conductive and a non-conductive state in which the sixth contact point is not conductive;
A first inspection second switch for switching between a conductive state in which the third contact and the first detection detection resistor are conductive and a non-conductive state in which the third contact is not conductive;
A second switch for second inspection that switches between a conductive state and a non-conductive state in which the third contact and the second detection detection resistor are conductive;
With
During the contact inspection, the first inspection first switch is switched to a conductive state, the first inspection second switch is switched to a conductive state, and the second inspection first switch is switched to a non-conductive state. Switched, the second switch for second inspection is switched to a non-conductive state,
During the reverse test, the first inspection first switch is switched to a non-conductive state, the first inspection second switch is switched to a non-conductive state, and the second inspection first switch is conductive. Is switched to the state, and the second switch for second inspection is switched to the conductive state.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記第1検査用第1スイッチ、前記第1検査用第2スイッチ、前記第2検査用第1スイッチ及び第2検査用第2スイッチを制御する制御部
を更に備え、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第2接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを導通状態にさせる。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
A control unit for controlling the first inspection first switch, the first inspection second switch, the second inspection first switch, and the second inspection second switch;
When the first inspection state is inspected by the contact inspection, the control unit causes the first inspection first switch to be in a conduction state, causes the first inspection second switch to be in a conduction state, and the second inspection state. Making the first switch for inspection non-conductive, making the second switch for second inspection non-conductive,
When the second contact state is inspected by the contact inspection, the control unit makes the first inspection first switch non-conductive, makes the first inspection second switch non-conductive, The second test first switch is turned on, and the second test second switch is turned on.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記制御部は、前記第1の切替スイッチと前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを前記第1導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第3導通状態にし、前記逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチを前記第2導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第4導通状態にする。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The control unit controls the first changeover switch and the second changeover switch, sets the first changeover switch to the first conduction state, and sets the second changeover switch at the time of the contact inspection. In the third conduction state, the first changeover switch is brought into the second conduction state and the second changeover switch is brought into the fourth conduction state during the reverse test.

本発明の一態様は、前記コンタクト検査装置において、
前記第1検査対象素子は、前記第1の検査電極には前記第1ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される第1ダイオードであり、
前記第2検査対象素子は、前記第1ダイオードより漏れ電流が大きい第2ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第2ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第2ダイオードのアノードが接続される。
One aspect of the present invention is the contact inspection apparatus,
The first inspection target element is a first diode in which a cathode of the first diode is connected to the first inspection electrode and an anode of the diode is connected to the second inspection electrode.
The second inspection target element is a second diode having a leakage current larger than that of the first diode, the cathode of the second diode is connected to the first inspection electrode, and the second inspection electrode is connected to the second inspection electrode. The anode of the second diode is connected.

本発明の一態様に係るコンタクト検査方法は、
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、一端が接地された検出抵抗と、整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、を備え、前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となる前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続されるコンタクト検査装置が実行するコンタクト検査方法であって、
第1の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間を導通させるステップと、
第2の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間を導通させるステップと、
比較検出部が、前記コンタクト検査のときに、前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出するステップと、
前記第1の切替スイッチが、前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間を導通させるステップと、
前記第2の切替スイッチが、前記逆方向試験のときに前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間を導通させるステップと、
を有する。
A contact inspection method according to an aspect of the present invention includes:
A constant current source having one end connected to a power source and outputting a predetermined constant current; a detection resistor having one end grounded; and a first test electrode electrically connectable to one end of an inspection target element having rectification characteristics; A second inspection electrode that can be electrically connected to the other end of the inspection target element, and when performing a contact inspection in which a current is applied to the inspection target element in a forward direction, the first inspection electrode A contact inspection method executed by a contact inspection apparatus in which the element to be inspected is connected in a forward direction between the second inspection electrode and a potential higher than that of the first inspection electrode,
A step of causing the first changeover switch to conduct between the first inspection electrode and the detection resistance detection unit during the contact inspection;
A second changeover switch conducting between the second inspection electrode and the output of the constant current source during the contact inspection;
The comparison detection unit compares the voltage of the detection unit of the detection resistor with a predetermined reference voltage at the time of the contact inspection, and based on the comparison result, the first inspection electrode for the inspection target element and the Detecting a contact state of the second inspection electrode;
A step of causing the first changeover switch to conduct between the first inspection electrode and a high potential side terminal of the reverse direction test apparatus during a reverse direction test in which a voltage is applied to the inspection target element in a reverse direction; ,
The second changeover switch conducting between the second inspection electrode and the low potential side terminal of the reverse direction test device during the reverse direction test;
Have

本発明の一態様に係る電子部品は、
整流特性を有する電子部品であって、
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
当該電子部品の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
当該電子部品の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られ、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られるコンタクト検査装置によって、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に順方向に接続された後に前記コンタクト検査が行われた電子部品。
An electronic component according to an aspect of the present invention is provided.
An electronic component having rectifying characteristics,
A constant current source having one end connected to a power source and outputting a predetermined constant current;
A sense resistor with one end grounded;
A first inspection electrode that can be electrically connected to one end of the electronic component;
A second inspection electrode that can be electrically connected to the other end of the electronic component;
The first conduction state in which the first inspection electrode and the detection part of the detection resistor are in conduction, and the first inspection electrode and the high-potential side terminal of the reverse direction test apparatus are in conduction. A first changeover switch capable of switching between the second conduction state;
A third conduction state in which the second inspection electrode and the output of the constant current source are conducted, and a conduction between the second inspection electrode and the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus are conducted. A second changeover switch capable of switching between the fourth conduction state,
Comparison of detecting the contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element based on the comparison result by comparing the voltage of the detection portion of the detection resistor with a predetermined reference voltage. A detection unit;
With
During contact inspection in which a current is applied to the inspection target element in a forward direction, the first changeover switch is switched to the first conduction state, and the second changeover switch is changed to the third conduction state. The comparison detection unit detects the contact state;
In a reverse test in which a voltage is applied in the reverse direction to the element to be inspected, the first changeover switch is changed to the second conduction state, and the second changeover switch is changed to the fourth conduction state. The contact inspection is performed after the contact inspection apparatus is connected in the forward direction between the first inspection electrode and the second inspection electrode having a higher potential than the first inspection electrode. Electronic components.

したがって、本発明の一態様に係るコンタクト検査装置は、検出抵抗に流れるバイアス電流を決める手段を電源と定電流源の組み合わせで構成することで、定電流源の出力抵抗をほぼ無限大にすることができる。このため、検査対象素子に対する第1の検査電極及び第2の検査電極の接触状態を検査する場合、第1の検査電極の接触抵抗と第2の検査電極の接触抵抗の和が所定の許容値の範囲で大きくなったとしても、検出抵抗に流れる電流が一定であるため、検出抵抗の検出部の電圧は一定である。   Therefore, the contact inspection apparatus according to one aspect of the present invention makes the output resistance of the constant current source almost infinite by configuring the means for determining the bias current flowing through the detection resistor by a combination of the power source and the constant current source. Can do. Therefore, when inspecting the contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element, the sum of the contact resistance of the first inspection electrode and the contact resistance of the second inspection electrode is a predetermined allowable value. Even if it becomes large in the range, since the current flowing through the detection resistor is constant, the voltage of the detection part of the detection resistor is constant.

これにより、第1の検査電極の接触抵抗値と第2の検査電極の接触抵抗値の和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検出抵抗の検出部の電圧は常に所定の基準電圧以上になるので、比較検出部は、この接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検査対象素子に対する第1の検査電極及び第2の検査電極の接触を検出することができる。その結果、第1の検査電極及び第2の使用可能期間が長くなり、第1の検査電極及び第2の検査電極の交換頻度を削減することができる。   As a result, even if the sum of the contact resistance value of the first inspection electrode and the contact resistance value of the second inspection electrode increases within a predetermined allowable range, the voltage of the detection portion of the detection resistance is always the predetermined reference voltage. As described above, the comparison detection unit can detect the contact of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element even when the contact resistance sum increases within a predetermined allowable range. . As a result, the first inspection electrode and the second usable period become longer, and the replacement frequency of the first inspection electrode and the second inspection electrode can be reduced.

したがって、本発明の一態様に係るコンタクト検査方法は、検出抵抗に流れるバイアス電流を決める手段を電源と定電流源の組み合わせで構成することで、定電流源の出力抵抗をほぼ無限大にすることができる。このため、検査対象素子に対する第1の検査電極及び第2の検査電極の接触状態を検査する場合、第1の検査電極の接触抵抗と第2の検査電極の接触抵抗の和が所定の許容値の範囲で大きくなったとしても、検出抵抗に流れる電流が一定であるため、検出抵抗の検出部の電圧は一定である。   Therefore, the contact inspection method according to one aspect of the present invention makes the output resistance of the constant current source almost infinite by configuring the means for determining the bias current flowing through the detection resistor by a combination of the power source and the constant current source. Can do. Therefore, when inspecting the contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element, the sum of the contact resistance of the first inspection electrode and the contact resistance of the second inspection electrode is a predetermined allowable value. Even if it becomes large in the range, since the current flowing through the detection resistor is constant, the voltage of the detection part of the detection resistor is constant.

これにより、第1の検査電極の接触抵抗値と第2の検査電極の接触抵抗値の和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検出抵抗の検出部の電圧は常に所定の基準電圧以上になるので、比較検出部は、この接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検査対象素子に対する第1の検査電極及び第2の検査電極の接触を検出することができる。その結果、第1の検査電極及び第2の使用可能期間が長くなり、第1の検査電極及び第2の検査電極の交換頻度を削減することができる。   As a result, even if the sum of the contact resistance value of the first inspection electrode and the contact resistance value of the second inspection electrode increases within a predetermined allowable range, the voltage of the detection portion of the detection resistance is always the predetermined reference voltage. As described above, the comparison detection unit can detect the contact of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element even when the contact resistance sum increases within a predetermined allowable range. . As a result, the first inspection electrode and the second usable period become longer, and the replacement frequency of the first inspection electrode and the second inspection electrode can be reduced.

図1は、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1の構成の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a configuration of a contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment. 図2は、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置2の構成の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the configuration of the contact inspection apparatus 2 according to the second embodiment. 図3は、比較例に係るコンタクト検査装置100の構成の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the contact inspection apparatus 100 according to the comparative example.

<比較例>
各実施形態に係るコンタクト検査装置について説明する前に、各実施形態の特徴を明確にするために、比較対象として説明する比較例に係るコンタクト検査装置100について説明する。比較例に係るコンタクト検査装置100は、整流特性を有する検査対象素子に対する検査電極の接触状態を検査する。この比較例では、一例として検査対象素子はダイオードDである。
<Comparative example>
Before describing the contact inspection apparatus according to each embodiment, in order to clarify the features of each embodiment, a contact inspection apparatus 100 according to a comparative example described as a comparison target will be described. The contact inspection apparatus 100 according to the comparative example inspects the contact state of the inspection electrode with respect to the inspection target element having rectification characteristics. In this comparative example, the element to be inspected is a diode D as an example.

図3に示すように、コンタクト検査装置100は、陰極が接地された電圧源VGenと、一端が電圧源VGenの陽極に接続された電流制定用抵抗Rと、を備える。
更に、コンタクト検査装置100は、一端が電流制定用抵抗Rに接続され、電圧+Vが入力され、制御信号Sxが入力された第1スイッチSW1を備える。
As shown in FIG. 3, the contact inspection device 100 includes a voltage source V Gen the cathode is grounded, and the current established for the resistance R B of which one end is connected to the anode of the voltage source V Gen, a.
Further, the contact inspection device 100 has one end connected to the current established for the resistor R B, a voltage + V is input, and a first switch SW1 the control signal Sx is inputted.

更に、コンタクト検査装置100は、第5の接点Nd5が逆方向試験装置IDTの低電位側端子と接続され、第6の接点Nd6が第1スイッチSW1の他端に接続された第2の切替スイッチRL2を備える。ここで、逆方向試験装置IDTは、ダイオードDに逆方向に電圧を印加する装置である。   Further, the contact inspection apparatus 100 has a second changeover switch in which the fifth contact Nd5 is connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT, and the sixth contact Nd6 is connected to the other end of the first switch SW1. RL2 is provided. Here, the reverse direction test apparatus IDT is an apparatus that applies a voltage to the diode D in the reverse direction.

更に、コンタクト検査装置100は、第2の端子T2を介してダイオードDのアノードに接続可能で、第2の切替スイッチRL2の第4の接点Nd4に接続された第2の検査電極E2を備える。一例として、コンタクト検査及び逆方向検査の際に、第2の検査電極E2の先端が第2の端子T2に接続される。
更に、コンタクト検査装置100は、第1の端子T1を介してダイオードDのカソードに接続可能で、第1の切替スイッチRL1の第1の接点Nd1に接続された第1の検査電極E1を備える。一例として、コンタクト検査及び逆方向検査の際に、第1の検査電極E1の先端が第1の端子T1に接続される。
Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a second inspection electrode E2 that can be connected to the anode of the diode D via the second terminal T2 and is connected to the fourth contact Nd4 of the second changeover switch RL2. As an example, the tip of the second inspection electrode E2 is connected to the second terminal T2 during the contact inspection and the reverse inspection.
Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a first inspection electrode E1 that can be connected to the cathode of the diode D via the first terminal T1 and is connected to the first contact Nd1 of the first changeover switch RL1. As an example, the tip of the first inspection electrode E1 is connected to the first terminal T1 during contact inspection and reverse inspection.

更に、コンタクト検査装置100は、第2の接点Nd2が逆方向試験装置IDTの高電位側端子と接続され、第3の接点Nd3が第2のスイッチSW2の一端に接続された第1の切替スイッチRL1を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a first changeover switch in which the second contact Nd2 is connected to the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT, and the third contact Nd3 is connected to one end of the second switch SW2. RL1 is provided.

更に、コンタクト検査装置100は、電圧+Vが入力され、制御信号Sxが入力された第2スイッチSW2を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a second switch SW2 to which a voltage + V is input and a control signal Sx is input.

更に、コンタクト検査装置100は、一端が第2スイッチSW2の他端に接続され、他端が接地された検出抵抗Rを備える。
更に、コンタクト検査装置100は、入力が検出抵抗Rの一端と接続された比較検出部CMPを備える。
Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a detection resistor RS having one end connected to the other end of the second switch SW2 and the other end grounded.
Furthermore, the contact inspection apparatus 100 includes a comparison detection unit CMP whose input is connected to one end of the detection resistor RS .

続いて、各部の処理について説明する。   Subsequently, processing of each unit will be described.

第1スイッチSW1は、この制御信号Sxに応じて第1スイッチSW1の一端と他端との導通及び非導通を切り替える。第1スイッチSW1は、例えばゲートが制御部CONの第1出力に接続されたトランジスタである。
第2スイッチSW2は、制御信号Sxに応じて第2スイッチSW2の一端と他端との導通及び非導通を切り替える。第2スイッチSW2は、例えばゲートが制御部CONの第1出力に接続されたトランジスタである。
The first switch SW1 switches between conduction and non-conduction between one end and the other end of the first switch SW1 according to the control signal Sx. The first switch SW1 is, for example, a transistor whose gate is connected to the first output of the control unit CON.
The second switch SW2 switches between conduction and non-conduction between one end and the other end of the second switch SW2 according to the control signal Sx. The second switch SW2 is, for example, a transistor whose gate is connected to the first output of the control unit CON.

比較検出部CMPは、検出抵抗Rの一端の電圧と所定の閾値電圧とを比較し、この比較結果に応じて、ダイオードDと第1の検査電極E1との接触及びダイオードDと第2の検査電極E2との接触状態を判定する。 The comparison detection unit CMP compares the voltage at one end of the detection resistor RS with a predetermined threshold voltage, and according to the comparison result, the contact between the diode D and the first inspection electrode E1 and the diode D and the second threshold voltage. The contact state with the inspection electrode E2 is determined.

具体的には、比較検出部CMPは、検出抵抗Rの一端の電圧が、所定の閾値以上の場合、ダイオードDと第1の検査電極E1との接触及びダイオードDと第2の検査電極E2との接触が良好であると判定する。一方、比較検出部CMPは、検出抵抗Rの一端の電圧が、所定の閾値未満の場合、ダイオードDと第1の検査電極E1との接触及びダイオードDと第2の検査電極E2との接触が不良であると判定する。 Specifically, when the voltage at one end of the detection resistor RS is equal to or higher than a predetermined threshold, the comparison detection unit CMP contacts the diode D and the first inspection electrode E1, and the diode D and the second inspection electrode E2. It is determined that the contact with is good. On the other hand, when the voltage at one end of the detection resistor RS is less than a predetermined threshold, the comparison detection unit CMP contacts the diode D and the first inspection electrode E1 and contacts the diode D and the second inspection electrode E2. Is determined to be defective.

ダイオードDと第1の検査電極E1との接触抵抗とダイオードDと第2の検査電極E2との接触抵抗の和が上昇すると、接触抵抗と電圧源VGenに直列に接続された電流制定用抵抗Rと検出抵抗Rを含む直列回路全体の抵抗が大きくなる。そうすると、その直列回路に流れる電流が小さくなるので、検出抵抗Rの検出部の電圧が小さくなる。そして、比較検出部CMPは、ダイオードDと第1の検査電極E1との接触及びダイオードDと第2の検査電極E2との接触が不良であると判定してしまう。その場合、検査者は、検査電極を交換することになる。 When the sum of the contact resistance between the diode D and the first test electrode E1 and the contact resistance between the diode D and the second test electrode E2 increases, the current establishing resistance connected in series with the contact resistance and the voltage source VGen. The resistance of the entire series circuit including R B and the detection resistor R S is increased. Then, since the current flowing through the series circuit is reduced, the voltage of the detection unit of the detection resistor RS is reduced. Then, the comparison detection unit CMP determines that the contact between the diode D and the first inspection electrode E1 and the contact between the diode D and the second inspection electrode E2 are defective. In that case, the inspector will replace the inspection electrode.

しかし、この場合であっても、逆方向試験では、検査対象素子に対して逆バイアスで電圧を印加しかつ検査対象素子に流れる電流が小さい。このため、接触抵抗Rにおける電圧降下が無視できるほど小さくなり、逆方向試験にはほとんど影響を与えない。このように、まだ検査電極が逆方向試験で使用できる範囲の接触抵抗の値であっても、コンタクト検査装置100で接触不良と判定された場合、検査電極を交換していたので、検査電極の使用可能期間が短くなるという問題がある。 However, even in this case, in the reverse direction test, a voltage is applied to the inspection target element with a reverse bias, and the current flowing through the inspection target element is small. For this reason, the voltage drop in the contact resistance RS becomes so small that it can be ignored, and has little effect on the reverse direction test. In this way, even if the inspection electrode has a contact resistance value in a range that can be used in the reverse direction test, if the contact inspection apparatus 100 determines that the contact is defective, the inspection electrode has been replaced. There is a problem that the usable period is shortened.

その問題に対し、検査電極の寿命を延ばすために、上述した閾値を下げることが考えられる。これは、ダイオードDと第1の検査電極E1との接触抵抗値とダイオードDと第2の検査電極E2との接触抵抗値の和が大きくなっても比較検出部CMPが接触が良好であると判定するようにするためである。   To solve this problem, it is conceivable to lower the above-described threshold value in order to extend the life of the inspection electrode. This is because the comparison detection unit CMP is in good contact even when the sum of the contact resistance value between the diode D and the first inspection electrode E1 and the contact resistance value between the diode D and the second inspection electrode E2 increases. This is to make a determination.

しかし、この接触抵抗値の和が大きくなると、検出抵抗Rに流れるバイアス電流が小さくなる。このため、検出抵抗Rの検出部の検出信号のSN比が悪くなり、比較検出部CMPが検出信号の電圧値を正確に取得できなくなり、誤判定の可能性が高くなるという新たな問題が生じてしまう。 However, when the sum of the contact resistance values increases, the bias current flowing through the detection resistor RS decreases. For this reason, the S / N ratio of the detection signal of the detection unit of the detection resistor RS is deteriorated, the comparison detection unit CMP cannot accurately acquire the voltage value of the detection signal, and a new problem that the possibility of erroneous determination is increased. It will occur.

そこで、以下では、逆方向試験に用いる検査電極の使用可能期間を長くすることを可能とする実施形態に係るコンタクト検査装置、コンタクト検査方法及び電子部品について説明する。以下、本発明に係る各実施形態について図面に基づいて説明する。   Therefore, hereinafter, a contact inspection apparatus, a contact inspection method, and an electronic component according to an embodiment that can extend the usable period of the inspection electrode used in the reverse direction test will be described. Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

<第1の実施形態>
第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、整流特性を有する電子部品(以下、検査対象素子という)に対する検査電極の接触状態を検査する。検査対象素子は、例えば、ダイオードまたはMOSトランジスタなどである。各実施形態において、一例として検査対象素子は、ダイオードDである。なお、各実施形態において、検査対象素子は、パッケージされていないチップ状態の検査対象素子であってもよいし、パッケージされた製品状態の検査対象素子であってもよい。
<First Embodiment>
The contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment inspects a contact state of an inspection electrode with respect to an electronic component having a rectifying characteristic (hereinafter referred to as an inspection target element). The inspection target element is, for example, a diode or a MOS transistor. In each embodiment, the element to be inspected is a diode D as an example. In each embodiment, the inspection target element may be an unpackaged chip state inspection target element or a packaged product state inspection target element.

図1に示すように、コンタクト検査装置1は、一端が電源(不図示)に接続され、所定の定電流を出力する定電流源CCCを備える。ここで、電源は、一例として電圧+Vfを出力する電圧源である。また定電流源CCCは、一例として、所定の定電流を出力する定電流ダイオードCRDで、アノードが電源に接続されている。   As shown in FIG. 1, the contact inspection apparatus 1 includes a constant current source CCC that has one end connected to a power source (not shown) and outputs a predetermined constant current. Here, the power source is, for example, a voltage source that outputs a voltage + Vf. The constant current source CCC is, for example, a constant current diode CRD that outputs a predetermined constant current, and has an anode connected to a power source.

更に、コンタクト検査装置1は、一端が定電流源CCCの出力(ここでは、一例として定電流ダイオードCRDのカソード)に接続され、他端が後述する第2の切替スイッチRL2の第6の接点Nd6に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第1出力に接続された第1スイッチSW1を備える。これにより、第1スイッチSW1の電源端子に電圧+Vが供給される。   Further, the contact inspection apparatus 1 has one end connected to the output of the constant current source CCC (here, the cathode of the constant current diode CRD as an example), and the other end connected to a sixth contact Nd6 of a second changeover switch RL2 described later. , A power supply terminal is connected to a power supply (not shown), and a control terminal is provided with a first switch SW1 connected to a first output of the control unit CON. As a result, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the first switch SW1.

更に、コンタクト検査装置1は、第4の接点Nd4が第2検査電極E2の他端に接続され、第5の接点Nd5が逆方向試験装置IDTの低電位側端子と接続され、第6の接点Nd6が第1スイッチSW1の他端に接続され、不図示の制御端子が制御部CONの第3出力に接続された第2の切替スイッチRL2を備える。ここで、逆方向試験装置IDTは、ダイオードDに逆方向に電圧を印加する装置である。   Further, in the contact inspection apparatus 1, the fourth contact Nd4 is connected to the other end of the second inspection electrode E2, the fifth contact Nd5 is connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT, and the sixth contact Nd6 is connected to the other end of the first switch SW1, and a second changeover switch RL2 whose control terminal (not shown) is connected to the third output of the control unit CON is provided. Here, the reverse direction test apparatus IDT is an apparatus that applies a voltage to the diode D in the reverse direction.

更に、コンタクト検査装置1は、第1の端子T1を介してダイオードDのカソードに接続可能で、第1の切替スイッチRL1の第1の接点Nd1に接続された第1の検査電極E1を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a first inspection electrode E1 that can be connected to the cathode of the diode D via the first terminal T1 and is connected to the first contact Nd1 of the first changeover switch RL1.

更に、コンタクト検査装置1は、第2の端子T2を介してダイオードDのアノードに接続可能で、第2の切替スイッチRL2の第4の接点Nd4に接続された第2の検査電極E2を備える。このように、コンタクト検査のときに、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、検査対象素子が順方向に接続される。   Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a second inspection electrode E2 that can be connected to the anode of the diode D via the second terminal T2 and is connected to the fourth contact Nd4 of the second changeover switch RL2. In this way, during the contact inspection, the inspection target element is in the forward direction between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. Connected.

更に、コンタクト検査装置1は、第1の接点Nd1が第1の検査電極E1に接続され、第2の接点Nd2が逆方向試験装置IDTの高電位側端子と接続され、第3の接点Nd3が第2スイッチSW2の一端に接続され、制御端子が制御部CONの第2出力に接続された第1の切替スイッチRL1を備える。   Further, in the contact inspection apparatus 1, the first contact Nd1 is connected to the first inspection electrode E1, the second contact Nd2 is connected to the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT, and the third contact Nd3 is connected. A first changeover switch RL1 is provided which is connected to one end of the second switch SW2 and whose control terminal is connected to the second output of the control unit CON.

更に、コンタクト検査装置1は、一端が第1の切替スイッチRL1の第3の接点Nd3に接続され、他端が後述する検出抵抗Rの他端に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第1出力に接続された第2スイッチSW2を備える。これにより、第2スイッチSW2の電源端子に電圧+Vが供給される。 Further, the contact inspection apparatus 1 has one end connected to a third contact Nd3 of the first changeover switch RL1, the other end connected to the other end of a detection resistor RS described later, and a power terminal connected to a power source (not shown). And a second switch SW2 having a control terminal connected to the first output of the control unit CON. As a result, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the second switch SW2.

更に、コンタクト検査装置1は、一端が接地され、他端が第2スイッチSW2の他端に接続された検出抵抗Rを備える。
更に、コンタクト検査装置1は、一端が検出抵抗Rの他端と接続された比較検出部CMPを備える。
Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a detection resistor RS having one end grounded and the other end connected to the other end of the second switch SW2.
Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a comparison detection unit CMP having one end connected to the other end of the detection resistor RS .

更に、コンタクト検査装置1は、第1出力が第1スイッチSW1の制御端子及び第2スイッチSW2の制御端子に接続され、第2出力が第1の切替スイッチRL1の制御端子に接続され、第3出力が第2の切替スイッチRL2の制御端子に接続された制御部CONを更に備える。   Further, the contact inspection apparatus 1 has a first output connected to the control terminal of the first switch SW1 and the control terminal of the second switch SW2, a second output connected to the control terminal of the first changeover switch RL1, It further includes a control unit CON whose output is connected to the control terminal of the second changeover switch RL2.

続いて、各部の処理について説明する。   Subsequently, processing of each unit will be described.

第1スイッチSW1は、この制御信号Sxに応じて第1スイッチSW1の一端と他端との導通及び非導通を切り替える。これにより、第1スイッチSW1は、定電流源CCCの他端と第2の切替スイッチRL2の第6の接点Nd6との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。   The first switch SW1 switches between conduction and non-conduction between one end and the other end of the first switch SW1 according to the control signal Sx. Accordingly, the first switch SW1 switches between a conductive state where the other end of the constant current source CCC and the sixth contact Nd6 of the second changeover switch RL2 are conductive and a non-conductive state which is not conductive. .

第2スイッチSW2は、この制御信号Sxに応じて第2スイッチSW2の一端と他端との導通及び非導通を切り替える。これにより、第2スイッチSW2は、第1の切替スイッチRL1の第3の接点Nd3と検出抵抗Rの他端との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。 The second switch SW2 switches between conduction and non-conduction between one end and the other end of the second switch SW2 according to the control signal Sx. Accordingly, the second switch SW2 switches between a conductive state in which the third contact Nd3 of the first switch RL1 and the other end of the detection resistor RS are conductive and a non-conductive state in which the second switch SW2 is not conductive. .

第1の切替スイッチRL1は、第1の検査電極E1と検出抵抗Rの他端との間が導通している第1導通状態と、第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能である。 The first changeover switch RL1 includes a first conduction state in which the first inspection electrode E1 and the other end of the detection resistor RS are in conduction, and the first inspection electrode E1 and the reverse test apparatus IDT. It is possible to switch between the second conduction state in which the potential side terminal is conducting.

第2の切替スイッチRL2は、第2の検査電極E2と定電流源CCCの他端との間が導通している第3導通状態と、第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能である。   The second changeover switch RL2 includes a third conduction state in which the second inspection electrode E2 and the other end of the constant current source CCC are electrically connected, and the second inspection electrode E2 and the reverse test apparatus IDT. It is possible to switch between the fourth conduction state in which the potential side terminal is conducting.

制御部CONは、第1スイッチSW1へ制御信号Sxを出力し、第1スイッチSW1を制御する。また、制御部CONは、第2スイッチSW2へ制御信号Sxを出力し、第2スイッチSW2を制御する。   The control unit CON outputs a control signal Sx to the first switch SW1 and controls the first switch SW1. Further, the control unit CON outputs a control signal Sx to the second switch SW2 to control the second switch SW2.

また、制御部CONは、第1の切替スイッチRL1に第1切替スイッチ制御信号SR1を出力し、第1の切替スイッチRL1を制御する。
また、制御部CONは、第2の切替スイッチRL2に第2切替スイッチ制御信号SR2を出力し、第2の切替スイッチRL2を制御する。
Further, the control unit CON outputs the first changeover switch control signal SR1 to the first changeover switch RL1 to control the first changeover switch RL1.
Further, the control unit CON outputs a second changeover switch control signal SR2 to the second changeover switch RL2, and controls the second changeover switch RL2.

続いて、比較検出部CMPの処理について説明する。検出抵抗Rの一端は接地されているので、検出抵抗Rの他端の電圧は検出抵抗Rsの検出部の電圧に等しい。これにより、比較検出部CMPは、一例として検出抵抗Rの他端の電圧を検出することにより、検出抵抗Rsの検出部の電圧を検出する。 Next, the process of the comparison detection unit CMP will be described. Since one end of the detection resistor R S is grounded, the voltage of the other end of the detection resistor R S is equal to the voltage of the detection portion of the detection resistor Rs. Thus, comparing the detection unit CMP, by detecting the other end of the voltage of the detection resistor R S as an example, to detect the voltage of the detection portion of the detection resistor Rs.

比較検出部CMPは、検出抵抗Rの検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検出する。 The comparison detection unit CMP compares the voltage of the detection unit of the detection resistor RS with a predetermined reference voltage, and based on the comparison result, the first inspection electrode E1 for the inspection target element (here, the diode D as an example). The contact state of the second inspection electrode E2 is detected.

例えば、比較検出部CMPは、この比較結果に基づいて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)と第1の検査電極E1との接触抵抗値と検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)と第2の検査電極E2との接触抵抗値の和(以下、接触抵抗和という)が、所定の許容値以下か否か検出する。   For example, based on the comparison result, the comparison detection unit CMP determines the contact resistance value between the inspection target element (here, the diode D) and the first inspection electrode E1 and the inspection target element (here, the diode D). It is detected whether the sum of the contact resistance values (hereinafter referred to as the contact resistance sum) between the first and second test electrodes E2 is equal to or less than a predetermined allowable value.

なお、この許容値は、逆方向試験の際に許容できる最大の接触抵抗和の抵抗値である。より詳細には、この許容値は、逆方向試験の際に、検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗における電圧降下と、検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗における電圧降下の和が許容できる最大電圧降下量となる抵抗値である。これにより、逆方向試験の際に、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に最低限印加すべき電圧を印加することができる。   This allowable value is the maximum resistance value of the contact resistance that can be allowed in the reverse direction test. More specifically, this allowable value is determined by the voltage drop in the contact resistance between the inspection target element and the first inspection electrode E1 and the contact resistance between the inspection target element and the second inspection electrode E2 during the reverse test. Is the resistance value that is the maximum amount of voltage drop allowed. Thereby, at the time of a reverse direction test, the voltage which should be applied at the minimum to a to-be-inspected element (here diode D as an example) can be applied.

ここで、電源の電圧Vf、定電流源CCCが出力する電流の値I、上述した許容値RMAX、及び検出抵抗の値Rの関係は、Vf=I(RMAX+R)で表される。本実施形態では、一例として、逆方向試験の際に二つの接触抵抗で許容できる最大の合計電圧降下量と第1検査対象素子の漏れ電流から、接触抵抗和の許容値RMAXが予め決められている。そして、この許容値RMAX及び電源の電圧Vfに基づいて、定電流源CCCが出力する電流の値と検出抵抗Rの値が決められている。 Here, the relationship between the power supply voltage Vf, the current value I output from the constant current source CCC, the above-described allowable value R MAX , and the detection resistance value R S is expressed as Vf = I (R MAX + R S ). The In the present embodiment, as an example, the allowable value R MAX of the contact resistance sum is determined in advance from the maximum total voltage drop that can be allowed by the two contact resistances in the reverse test and the leakage current of the first inspection target element. ing. Based on the allowable value R MAX and the power supply voltage Vf, the value of the current output from the constant current source CCC and the value of the detection resistor RS are determined.

ここで、接触抵抗和が所定の許容値以下である場合、定電流源CCCは所定の定電流を出力することができるので、検出抵抗Rにはこの定電流が流れ、検出抵抗Rの検出部の電圧は、一定となる。 Here, when the contact resistance sum is equal to or less than a predetermined allowable value, the constant current source CCC can output a predetermined constant current, the constant current flows through the sensing resistor R S, the detection resistor R S The voltage of the detection unit is constant.

一方、接触抵抗和が所定の許容値を超える場合、定電流源CCCは上述した所定の定電流よりも小さい電流を出力するので、検出抵抗Rにはこの小さい電流が流れる。その結果、接触抵抗和が所定の許容値を超える場合、検出抵抗Rの検出部の電圧は、接触抵抗和が所定の許容値以下である場合の電圧よりも小さくなる。更に、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の少なくともいずれかが検査対象素子に接触していない場合、検出抵抗Rには電流が流れないので、検出抵抗Rの検出部の電圧は0Vである。 On the other hand, when the sum of the contact resistances exceeds a predetermined allowable value, the constant current source CCC outputs a current smaller than the predetermined constant current described above, and thus this small current flows through the detection resistor RS . As a result, when the contact resistance sum exceeds a predetermined allowable value, the voltage of the detection unit of the detection resistor RS becomes smaller than the voltage when the contact resistance sum is equal to or less than the predetermined allowable value. Furthermore, when at least one of the first test electrodes E1 and second test electrodes E2 is not in contact with the test object element, since no current flows through the sensing resistor R S, the detection portion of the detection resistor R S The voltage is 0V.

これらを踏まえると、比較検出部CMPは、例えば、以下のようにして接触状態を検出する。例えば、比較検出部CMPは、検出抵抗Rの検出部の電圧が所定の基準電圧以上の場合、接触状態は良好であり、接触抵抗和が所定の許容値以下であることを検出する。 Considering these, the comparison detection unit CMP detects the contact state as follows, for example. For example, the comparison detection unit CMP detects that the contact state is good when the voltage of the detection unit of the detection resistor RS is equal to or higher than a predetermined reference voltage, and the contact resistance sum is equal to or lower than a predetermined allowable value.

一方、比較検出部CMPは、例えば、検出抵抗Rの検出部の電圧が0Vを超えかつ所定の基準電圧未満の場合、接触状態は不良であり、接触抵抗和が所定の許容値を超えていることを検出する。 On the other hand, in the comparison detection unit CMP, for example, when the voltage of the detection unit of the detection resistor RS exceeds 0 V and is lower than a predetermined reference voltage, the contact state is bad and the contact resistance sum exceeds the predetermined allowable value. Detect that

一方、比較検出部CMPは、例えば、検出抵抗Rの検出部の電圧が0Vの場合、第1の検査電極E1と第2の検査電極E2の少なくともいずれかが検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に接触していないことを検出する。 On the other hand, in the comparison detection unit CMP, for example, when the voltage of the detection unit of the detection resistor RS is 0 V, at least one of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is an inspection target element (here, as an example) It is detected that no contact is made with the diode D).

<コンタクト検査のときの各部の処理>
続いて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときの各部の処理について説明する。
<Processing of each part during contact inspection>
Subsequently, processing of each unit in contact inspection in which a current is applied in a forward direction to an inspection target element (here, diode D as an example) will be described.

コンタクト検査において、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、検査対象素子が順方向に接続される。そして、第1の切替スイッチRL1が第1導通状態に切替られ、かつ第2の切替スイッチRL2が第3導通状態に切替られた状態で、比較検出部CMPが上記接触状態を検出する。   In the contact inspection, the inspection target element is connected in the forward direction between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. Then, the comparison detection unit CMP detects the contact state in a state where the first changeover switch RL1 is switched to the first conduction state and the second changeover switch RL2 is switched to the third conduction state.

その際、コンタクト検査のときに、制御部CONは、第1の切替スイッチRL1を第1導通状態にさせ、第2の切替スイッチRL2を第3導通状態にさせる。更に、制御部CONは、第1スイッチSW1を導通状態にさせ、第2スイッチSW2を導通状態にさせる。これにより、定電流源CCCの他端と第2検査電極E2が導通し、第1検査電極E1と検出抵抗Rの他端が導通する。このため、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に順方向に定電流源CCCが生成する電流を印加することができる。 At that time, at the time of contact inspection, the control unit CON causes the first changeover switch RL1 to be in the first conduction state, and causes the second changeover switch RL2 to be in the third conduction state. Further, the control unit CON makes the first switch SW1 conductive and makes the second switch SW2 conductive. Thereby, the other end of the constant current source CCC and the second inspection electrode E2 are conducted, and the other end of the first inspection electrode E1 and the detection resistor RS is conducted. For this reason, the current generated by the constant current source CCC can be applied to the inspection target element (here, the diode D as an example) in the forward direction.

<逆方向試験のときの各部の処理>
続いて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときの処理について説明する。
<Processing of each part during reverse test>
Subsequently, processing in a reverse test in which a voltage is applied in the reverse direction to the element to be inspected (here, diode D as an example) will be described.

逆方向試験において、制御部CONは、第1の切替スイッチRL1を第2導通状態にさせ、第2の切替スイッチRL2を第4導通状態にさせる。これにより、第1の切替スイッチRL1が第2導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第4導通状態に切替られる。   In the reverse direction test, the control unit CON causes the first changeover switch RL1 to be in the second conduction state, and causes the second changeover switch RL2 to be in the fourth conduction state. Thereby, 1st changeover switch RL1 is switched to the 2nd conduction state, and 2nd changeover switch RL2 is switched to the 4th conduction state.

逆方向試験のときに、制御部CONは、第1スイッチSW1を非導通状態にさせ、かつ第2スイッチSW2を非導通状態にさせてもよい。   During the reverse test, the control unit CON may cause the first switch SW1 to be in a non-conductive state and cause the second switch SW2 to be in a non-conductive state.

<第1の実施形態の効果>
以上のように、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源CCCと、一端が接地された検出抵抗Rと、を備える。
<Effect of the first embodiment>
As described above, the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment includes the constant current source CCC that has one end connected to the power source and outputs a predetermined constant current, and the detection resistor RS that has one end grounded. Prepare.

更に、コンタクト検査装置1は、整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極E1と、この検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極E2と、を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a first inspection electrode E1 that can be electrically connected to one end of an inspection target element having rectification characteristics, and a second inspection that can be electrically connected to the other end of the inspection target element. An electrode E2.

更に、コンタクト検査装置1は、第1の検査電極E1と検出抵抗Rの他端との間が導通している第1導通状態と、第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチRL1を備える。 Furthermore, the contact inspection apparatus 1 includes a first conduction state in which the first inspection electrode E1 and the other end of the detection resistor RS are electrically connected, and the first inspection electrode E1 and the reverse direction test apparatus IDT. A first changeover switch RL1 capable of switching between a second conduction state in which the potential side terminal is conducted is provided.

更に、コンタクト検査装置1は、第2の検査電極E2と定電流源CCCの他端との間が導通している第3導通状態と、第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチRL2を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 1 has a third conductive state in which the second inspection electrode E2 and the other end of the constant current source CCC are electrically connected, and the second inspection electrode E2 and the reverse direction test apparatus IDT are low. A second changeover switch RL2 capable of switching between a fourth conduction state in which the potential side terminal is conducted is provided.

更に、コンタクト検査装置1は、コンタクト検査のときに、検出抵抗Rの検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検出する比較検出部CMPを備える。 Further, the contact inspection device 1, when the contact test, compares the voltage with a predetermined reference voltage of the detection portion of the detection resistor R S, based on the comparison result, the first test electrode with respect to the inspection target element E1 And a comparison detection unit CMP for detecting a contact state of the second inspection electrode E2.

検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、検査対象素子が順方向に接続される。そして、第1の切替スイッチRL1が第1導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第3導通状態に切替られる。
一方、検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに、第1の切替スイッチRL1が第2導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第4導通状態に切替られる。
In the contact inspection in which a current is applied to the inspection target element in the forward direction, the inspection target is between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. The elements are connected in the forward direction. Then, the first changeover switch RL1 is switched to the first conduction state, and the second changeover switch RL2 is switched to the third conduction state.
On the other hand, in the reverse direction test in which a voltage is applied to the element to be inspected in the reverse direction, the first changeover switch RL1 is switched to the second conduction state, and the second changeover switch RL2 is switched to the fourth conduction state.

上述した第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1の構成によれば、検出抵抗Rに流れるバイアス電流を決める手段を電源と定電流源CCCの組み合わせで構成することで、定電流源CCCの出力抵抗をほぼ無限大にすることができる。このため、検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検査する場合、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなったとしても、検出抵抗Rに流れる電流が一定であるため、検出抵抗Rの検出部の電圧は一定である。 According to the configuration of the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment described above, the means for determining the bias current flowing through the detection resistor RS is configured by a combination of the power source and the constant current source CCC, so that the constant current source CCC The output resistance can be made almost infinite. For this reason, when inspecting the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the element to be inspected, even if the sum of contact resistances increases within a predetermined allowable range, the detection resistance RS Since the flowing current is constant, the voltage of the detection part of the detection resistor RS is constant.

これにより、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検出抵抗Rの検出部の電圧は常に所定の基準電圧以上になるので、比較検出部CMPは、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触を検出することができる。その結果、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の寿命が長くなり、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の交換頻度を削減することができる。 As a result, even if the contact resistance sum is increased within the range of the predetermined allowable value, the voltage of the detection unit of the detection resistor RS is always equal to or higher than the predetermined reference voltage. Therefore, the comparison detection unit CMP has a predetermined contact resistance sum. Even when the allowable value is larger, the contact of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with the inspection target element can be detected. As a result, the lifetimes of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 are extended, and the replacement frequency of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 can be reduced.

また、比較例におけるコンタクト検査装置100における比較検出部CMPは、接触抵抗和が大きくなると誤判定の可能性があった。それに対し、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなったとしても、検出抵抗Rの検出部の電圧は一定であるため、比較検出部CMPによる誤判定の確率を低減することができる。 Further, the comparison detection unit CMP in the contact inspection apparatus 100 in the comparative example may be erroneously determined when the contact resistance sum is increased. On the other hand, in the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment, the voltage of the detection unit of the detection resistor R S is constant even if the sum of the contact resistances increases within a predetermined allowable value range. The probability of erroneous determination by the part CMP can be reduced.

更に、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、定電流源CCCを用いることで、逆方向試験における漏れ電流による接触抵抗での電圧降下に起因する接触抵抗の許容範囲のみの制約で、定電流源CCCの電流値と検出抵抗Rの値を決めることができる。その結果、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、ユーザによる定電流源CCCの電流値と検出抵抗Rの値の設定を容易にすることができる。 Furthermore, the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment uses the constant current source CCC, and is limited only by the allowable range of the contact resistance due to the voltage drop at the contact resistance due to the leakage current in the reverse test. The current value of the constant current source CCC and the value of the detection resistor RS can be determined. As a result, the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment can facilitate the setting of the current value of the constant current source CCC and the value of the detection resistor RS by the user.

また、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1の比較検出部CMPは、この比較結果に基づいて、この検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗の値とこの検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗の値の和が、所定の許容値以下か否か検出する。ここで、この許容値及び電源の電圧Vfに基づいて、定電流源CCCが出力する電流の値と検出抵抗Rの値が決められている。 Further, the comparison detection unit CMP of the contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment, based on the comparison result, the value of the contact resistance between the inspection target element and the first inspection electrode E1, the inspection target element, It is detected whether or not the sum of the contact resistance values with the second inspection electrode E2 is equal to or less than a predetermined allowable value. Here, based on the allowable value and the voltage Vf of the power source, the value of the current output from the constant current source CCC and the value of the detection resistor RS are determined.

これにより、逆方向試験のときに所定の電圧が検査対象素子にかかる範囲内で、検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗値と検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗値の和を許容することができる。このため、逆方向試験を行ったときに、漏れ電流によって検査電極と検査対象素子との接触抵抗による電圧降下が生じたとしても、検査対象素子に最低限印加すべき電圧が印加されたことを確実にすることができる。   As a result, the contact resistance value between the inspection target element and the first inspection electrode E1, the inspection target element, and the second inspection electrode E2 within a range in which a predetermined voltage is applied to the inspection target element during the reverse direction test. The sum of the contact resistance values can be allowed. For this reason, when a reverse test is performed, even if a voltage drop due to the contact resistance between the inspection electrode and the inspection target element occurs due to the leakage current, the minimum voltage to be applied to the inspection target element is applied. Can be sure.

<第2の実施形態>
続いて、第2の実施形態について説明する。第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、一種類の検査対象素子に対する検査電極の接触状態を検査可能で、電流源CCCの電流値と検出抵抗RSの値を一組としていた。
<Second Embodiment>
Next, the second embodiment will be described. The contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment can inspect the contact state of the inspection electrode with respect to one type of inspection target element, and sets the current value of the current source CCC and the value of the detection resistor RS as one set.

それに対し、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置2は、整流特性を有する第1検査対象素子と、整流特性を有しかつこの第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の二種類の検査対象素子に対して検査電極の接触状態を検査可能である。そして、コンタクト検査装置2は、検査対象素子の種類に応じて、電流源の電流値と検出抵抗の値の組を切り替える。これにより、コンタクト検査装置2は、検査対象素子の漏れ電流の大きさに応じて、逆方向試験の際に許容できる最大の接触抵抗和を切り替えることができる。   On the other hand, the contact inspection apparatus 2 according to the second embodiment includes a first inspection target element having a rectification characteristic, and a second inspection target element having a rectification characteristic and having a leakage current larger than that of the first inspection target element. The contact state of the inspection electrode can be inspected with respect to two types of inspection target elements. Then, the contact inspection apparatus 2 switches between a set of the current value of the current source and the value of the detection resistance according to the type of the element to be inspected. Thereby, the contact inspection apparatus 2 can switch the maximum contact resistance sum allowable in the reverse direction test according to the magnitude of the leakage current of the element to be inspected.

本実施形態では、第1検査対象素子は一例として第1ダイオードD1で、ある。第2検査対象素子は一例として第1ダイオードD1より漏れ電流が大きい第2ダイオードD2である。更に、本実施形態では一例として第2ダイオードD2は第1ダイオードよりも低耐圧である。第1ダイオードD1には、例えばPN接合ダイオードなどがある。第2ダイオードD2には、例えばショットキーバリアダイオードなどがある。   In the present embodiment, the first element to be inspected is the first diode D1 as an example. The second inspection target element is, for example, the second diode D2 having a leakage current larger than that of the first diode D1. Furthermore, in the present embodiment, as an example, the second diode D2 has a lower withstand voltage than the first diode. Examples of the first diode D1 include a PN junction diode. Examples of the second diode D2 include a Schottky barrier diode.

図2に示すように、コンタクト検査装置2は、一端が電圧+Vfを出力する電源(不図示)に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源FCSを備える。ここで、電源は、一例として電圧+Vfを出力する電圧源である。また、第1検査用電流源FCSは、一例として、アノードがその電源に接続され、第1の定電流を出力する定電流ダイオードである。   As shown in FIG. 2, the contact inspection apparatus 2 includes a first inspection current source FCS that is connected to a power source (not shown) that outputs a voltage + Vf at one end and outputs a first constant current. Here, the power source is, for example, a voltage source that outputs a voltage + Vf. The first inspection current source FCS is, for example, a constant current diode that has an anode connected to the power source and outputs a first constant current.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が電圧+Vfを出力する電源(不図示)に接続され、第1検査用電流源FCSが出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源SCSを備える。ここで第2検査用電流源SCSは、一例として、アノードがその電源に接続され、第2の定電流を出力する定電流ダイオードである。   Further, the contact inspection apparatus 2 is connected to a power source (not shown) that outputs a voltage + Vf at one end, and outputs a second constant current that is larger than the current output from the first inspection current source FCS. A source SCS is provided. Here, as an example, the second inspection current source SCS is a constant current diode whose anode is connected to its power source and outputs a second constant current.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が第1検査用電流源FCSに接続され、他端が第2の切替スイッチRL2の第6の接点Nd6に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第1出力に接続された第1検査用第1スイッチFSW1を備える。これにより、第1検査用第1スイッチFSW1の電源端子に電圧+Vが供給される。   Further, the contact inspection device 2 has one end connected to the first inspection current source FCS, the other end connected to the sixth contact Nd6 of the second changeover switch RL2, and a power supply terminal connected to a power supply (not shown). And a first inspection first switch FSW1 whose control terminal is connected to the first output of the control unit CON. As a result, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the first test first switch FSW1.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が第2検査用電流源SCSに接続され、他端が第2の切替スイッチRL2の第6の接点Nd6に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第2出力に接続された第2検査用第1スイッチSSW1を備える。これにより、第2検査用第1スイッチSSW1の電源端子に電圧+Vが供給される。   Further, the contact inspection device 2 has one end connected to the second inspection current source SCS, the other end connected to the sixth contact Nd6 of the second changeover switch RL2, and a power supply terminal connected to a power supply (not shown). And a second inspection first switch SSW1 having a control terminal connected to the second output of the control unit CON. Thus, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the second test first switch SSW1.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が第1の切替スイッチRL1の第3の接点Nd3に接続され、他端が後述する第1検査用検出抵抗R1の他端に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第1出力に接続された第1検査用第2スイッチFSW2を備える。これにより、第1検査用第2スイッチFSW2の電源端子に電圧+Vが供給される。 Furthermore, the contact inspection apparatus 2 has one end connected to a third contact Nd3 of the first changeover switch RL1, the other end connected to the other end of a first inspection detection resistor R S1 described later, and a power supply terminal The first inspection second switch FSW2 is connected to a power source (not shown) and the control terminal is connected to the first output of the control unit CON. As a result, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the first inspection second switch FSW2.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が第1の切替スイッチRL1の第3の接点Nd3に接続され、他端が後述する第2検査用検出抵抗R2の他端に接続され、電源端子が電源(不図示)に接続され、制御端子が制御部CONの第2出力に接続された第2検査用第2スイッチSSW2を備える。これにより、第2検査用第2スイッチSSW2の電源端子に電圧+Vが供給される。 Furthermore, the contact inspection apparatus 2 has one end connected to a third contact Nd3 of the first changeover switch RL1, the other end connected to the other end of a second inspection detection resistor R S2 described later, and a power supply terminal The second inspection second switch SSW2 is connected to a power source (not shown) and the control terminal is connected to the second output of the control unit CON. As a result, the voltage + V is supplied to the power supply terminal of the second switch for inspection 2 SSW2.

更に、コンタクト検査装置2は、第1の接点Nd1が第1の検査電極E1に接続され、第2の接点Nd2が逆方向試験装置IDTの高電位側端子に接続され、第3の接点Nd3が第1検査用第2スイッチFSW2の一端及び第2検査用第2スイッチSSW2に接続され、不図示の制御端子が制御部CONの第3出力に接続された第1の切替スイッチRL1を備える。ここで、逆方向試験装置IDTは、第1検査対象素子または第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する装置である。   Further, in the contact inspection device 2, the first contact Nd1 is connected to the first inspection electrode E1, the second contact Nd2 is connected to the high potential side terminal of the reverse direction test device IDT, and the third contact Nd3 is connected. A first changeover switch RL1 is connected to one end of the first inspection second switch FSW2 and the second inspection second switch SSW2, and a control terminal (not shown) is connected to the third output of the control unit CON. Here, the reverse direction test apparatus IDT is an apparatus that applies a voltage in the reverse direction to the first inspection target element or the second inspection target element.

更に、コンタクト検査装置2は、第4の接点Nd4が第2の検査電極E2と接続され、第5の接点Nd5が逆方向試験装置IDTの低電位側端子と接続され、第6の接点Nd6が第1検査用第1スイッチFSW1の一端及び第2検査用第1スイッチSSW1の一端に接続され、不図示の制御端子が制御部CONの第4出力に接続され第2の切替スイッチRL2を備える。   Further, in the contact inspection apparatus 2, the fourth contact Nd4 is connected to the second inspection electrode E2, the fifth contact Nd5 is connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT, and the sixth contact Nd6 is Connected to one end of the first inspection first switch FSW1 and one end of the second inspection first switch SSW1, a control terminal (not shown) is connected to the fourth output of the control unit CON, and includes a second changeover switch RL2.

更に、コンタクト検査装置2は、第1出力が第1検査用第1スイッチFSW1及び第1検査用第2スイッチFSW2と接続され、第2出力が第2検査用第1スイッチSSW1及び第2検査用第2スイッチSSW2と接続され、第3出力が第1の切替スイッチRL1の制御端子と接続され、第4出力が第2の切替スイッチRL2の制御端子と接続された制御部CONを備える。   Further, in the contact inspection apparatus 2, the first output is connected to the first inspection first switch FSW1 and the first inspection second switch FSW2, and the second output is the second inspection first switch SSW1 and the second inspection. The control unit CON is connected to the second switch SSW2, the third output is connected to the control terminal of the first changeover switch RL1, and the fourth output is connected to the control terminal of the second changeover switch RL2.

更に、コンタクト検査装置2は、第1の端子T1を介して第1検査対象素子の一端(ここでは第1ダイオードD1のカソード)または第2検査対象素子の一端(一例として第2ダイオードD2のカソード)に接続可能で、第1の切替スイッチRL1の第1の接点Nd1に接続された第1の検査電極E1を備える。   Furthermore, the contact inspection apparatus 2 has one end of the first inspection target element (here, the cathode of the first diode D1) or one end of the second inspection target element (as an example, the cathode of the second diode D2) via the first terminal T1. And a first inspection electrode E1 connected to the first contact Nd1 of the first changeover switch RL1.

なお、図2に示すように、第1検査対象素子の一例である第1ダイオードD1に対するコンタクト検査及び逆方向試験を行う場合、第1ダイオードD1のカソードが第1の検査電極E1に接続され、第1ダイオードD1のアノードが第2の検査電極E2に接続される。
一方、第2検査対象素子の一例である第2ダイオードD2に対するコンタクト検査及び逆方向試験を行う場合、第2ダイオードD1のカソードが第1の検査電極E1に接続され、第2ダイオードD1のアノードが第2の検査電極E2に接続される。
As shown in FIG. 2, when performing a contact inspection and a reverse direction test on the first diode D1, which is an example of the first inspection target element, the cathode of the first diode D1 is connected to the first inspection electrode E1, The anode of the first diode D1 is connected to the second inspection electrode E2.
On the other hand, when the contact inspection and the reverse direction test are performed on the second diode D2, which is an example of the second inspection target element, the cathode of the second diode D1 is connected to the first inspection electrode E1, and the anode of the second diode D1 is Connected to the second inspection electrode E2.

更に、コンタクト検査装置2は、第2の端子T2を介して第1検査対象素子の他端または第2検査対象素子の他端に接続可能で、第2の切替スイッチRL2の第4の接点Nd4に接続された第2の検査電極E2を備える。このように、コンタクト検査のときに、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、第1検査対象素子または第2検査対象素子が順方向に接続される。   Furthermore, the contact inspection apparatus 2 can be connected to the other end of the first inspection target element or the other end of the second inspection target element via the second terminal T2, and the fourth contact Nd4 of the second changeover switch RL2. And a second inspection electrode E2 connected to the. In this way, during the contact inspection, the first inspection target element or the first inspection electrode E1 is interposed between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. Two elements to be inspected are connected in the forward direction.

更に、コンタクト検査装置2は、一端が接地され他端が第1検査用第2スイッチFSW2の他端に接続された第1検査用検出抵抗R1を備える。
更に、コンタクト検査装置2は、一端が接地され他端が第2検査用第2スイッチSSW2の他端に接続され、第1検査用検出抵抗R1よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗R2を備える。
Further, the contact inspection device 2 includes a first inspection detection resistor R S 1 having one end grounded and the other end connected to the other end of the first inspection second switch FSW2.
Further, the contact inspection apparatus 2 has one end grounded and the other end connected to the other end of the second inspection second switch SSW2, and has a resistance value smaller than the first inspection detection resistor R S1. A resistor R S 2 is provided.

更に、コンタクト検査装置2は、第1入力が第1検査用検出抵抗R1の他端に接続され第2入力が第2検査用検出抵抗R2の他端に接続された比較検出部CMPを備える。 Further, the contact inspection apparatus 2 includes a comparison detection unit in which a first input is connected to the other end of the first inspection detection resistor R S 1 and a second input is connected to the other end of the second inspection detection resistor R S 2. Provide CMP.

続いて、各部の処理について説明する。   Subsequently, processing of each unit will be described.

第1検査用第1スイッチFSW1は、制御部CONから出力された第1制御信号Sx1に基づいて、第1検査用電流源FCSの出力と第6の接点Nd6との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。第1検査用第1スイッチFSW1は、例えばゲートが制御部CONの第1出力に接続されたトランジスタである。   The first inspection first switch FSW1 is electrically connected between the output of the first inspection current source FCS and the sixth contact Nd6 based on the first control signal Sx1 output from the control unit CON. Switch between a non-conductive state and a non-conductive state. The first test first switch FSW1 is, for example, a transistor whose gate is connected to the first output of the control unit CON.

第1検査用第2スイッチFSW2は、制御部CONから出力された第1制御信号Sx1に基づいて、第3の接点Nd3と第1検査用検出抵抗R1との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。第1検査用第2スイッチFSW2は、例えばゲートが制御部CONの第1出力に接続されたトランジスタである。 The first inspection second switch FSW2 is electrically connected between the third contact Nd3 and the first inspection detection resistor R S 1 based on the first control signal Sx1 output from the control unit CON. Switch between a non-conductive state and a non-conductive state. The first inspection second switch FSW2 is, for example, a transistor whose gate is connected to the first output of the control unit CON.

第2検査用第1スイッチSSW1は、制御部CONから出力された第2制御信号Sx2に基づいて、第2検査用電流源SCSの出力と第6の接点Nd6との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。第2検査用第1スイッチSSW1は、例えばゲートが制御部CONの第2出力に接続されたトランジスタである。   The second inspection first switch SSW1 is electrically connected between the output of the second inspection current source SCS and the sixth contact Nd6 based on the second control signal Sx2 output from the control unit CON. Switch between a non-conductive state and a non-conductive state. The second test first switch SSW1 is, for example, a transistor whose gate is connected to the second output of the control unit CON.

第2検査用第2スイッチSSW2は、制御部CONから出力された第2制御信号Sx2に基づいて、第3の接点Nd3と第2検査用検出抵抗R2との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える。第2検査用第2スイッチSSW2は、例えばゲートが制御部CONの第2出力に接続されたトランジスタである。 Second switch SSW2 for the second test, based on the second control signal Sx2 output from the control unit CON, conduction between is conducting the third contact Nd3 for inspection detecting resistor R S 2 second Switch between a non-conductive state and a non-conductive state. The second test second switch SSW2 is, for example, a transistor whose gate is connected to the second output of the control unit CON.

第1の切替スイッチRL1は、第1の検査電極E1と第1検査用検出抵抗R1の他端または第2検査用検出抵抗R2の他端との間が導通している第1導通状態と、第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能である。
より詳細には、第1の切替スイッチRL1は、第1の検査電極E1に接続された第1の接点Nd1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子と接続されている第2の接点Nd2とが導通している第1導通状態と、第1の接点Nd1と第3の接点Nd3が導通している第2導通状態とを切替可能である。
The first changeover switch RL1 is electrically connected between the first inspection electrode E1 and the other end of the first inspection detection resistor R S 1 or the other end of the second inspection detection resistor R S 2. It is possible to switch between a conduction state and a second conduction state in which the first inspection electrode E1 and the high-potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT are conducting.
More specifically, the first changeover switch RL1 includes a first contact Nd1 connected to the first inspection electrode E1, and a second contact Nd2 connected to the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT. Can be switched between a first conduction state in which is conducting and a second conduction state in which the first contact Nd1 and the third contact Nd3 are conducting.

第2の切替スイッチRL2は、第2の検査電極E2と第1検査用電流源FCSの他端または第2検査用電流源SCSの他端との間が導通している第3導通状態と、第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能である。
より詳細には、第2の切替スイッチRL2は、第2の検査電極E2に接続された第4の接点Nd4と逆方向試験装置IDTの低電位側端子と接続されている第5の接点Nd5とが導通している第3導通状態と、第4の接点Nd4と第6の接点Nd6が導通している第4導通状態とを切替可能である。
The second changeover switch RL2 has a third conduction state in which the second inspection electrode E2 and the other end of the first inspection current source FCS or the other end of the second inspection current source SCS are electrically connected; It is possible to switch between a fourth conduction state in which the second inspection electrode E2 and the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT are conducting.
More specifically, the second changeover switch RL2 includes a fourth contact Nd4 connected to the second inspection electrode E2, and a fifth contact Nd5 connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT. Can be switched between a third conduction state in which is conducting and a fourth conduction state in which the fourth contact Nd4 and the sixth contact Nd6 are conducting.

制御部CONは、例えば、第1検査用第1スイッチFSW1及び第1検査用第2スイッチFSW2へ第1制御信号Sx1を出力する。これにより、制御部CONは、第1検査用第1スイッチFSW1及び第1検査用第2スイッチFSW2を制御する。   For example, the control unit CON outputs the first control signal Sx1 to the first inspection first switch FSW1 and the first inspection second switch FSW2. Accordingly, the control unit CON controls the first inspection first switch FSW1 and the first inspection second switch FSW2.

また、制御部CONは、例えば、第2検査用第1スイッチSSW1及び第2検査用第2スイッチSSW2へ第2制御信号Sx2を出力する。これにより、制御部CONは、第2検査用第1スイッチSSW1及び第2検査用第2スイッチSSWを制御する。   Further, the control unit CON outputs the second control signal Sx2 to the second inspection first switch SSW1 and the second inspection second switch SSW2, for example. Accordingly, the control unit CON controls the second switch for inspection 1 SSW1 and the second switch for inspection 2 SSW.

また、制御部CONは、第1の切替スイッチRL1に第1切替スイッチ制御信号SR1を出力し、第1の切替スイッチRL1を制御する。より詳細には、制御部CONは、第1の切替スイッチRL1における第1の接点Nd1と第2の接点Nd2との導通、第1の接点Nd1と第3の接点Nd3との導通の切り替えを制御する。   Further, the control unit CON outputs the first changeover switch control signal SR1 to the first changeover switch RL1 to control the first changeover switch RL1. More specifically, the control unit CON controls switching of conduction between the first contact Nd1 and the second contact Nd2 and conduction between the first contact Nd1 and the third contact Nd3 in the first changeover switch RL1. To do.

また、制御部CONは、第2の切替スイッチRL2に第2切替スイッチ制御信号SR2を出力し、第2の切替スイッチRL2を制御する。より詳細には、制御部CONは、第2の切替スイッチRL2における第4の接点Nd4と第5の接点Nd5との導通、第4の接点Nd4と第6の接点Nd6との導通の切り替えを制御する。   Further, the control unit CON outputs a second changeover switch control signal SR2 to the second changeover switch RL2, and controls the second changeover switch RL2. More specifically, the control unit CON controls switching of conduction between the fourth contact Nd4 and the fifth contact Nd5 and conduction between the fourth contact Nd4 and the sixth contact Nd6 in the second changeover switch RL2. To do.

比較検出部CMPは、第1検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第1接触状態を検査する場合、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、この第1接触状態を検出する。 When the comparison detection unit CMP inspects the first contact state that is the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the first inspection target element, both ends of the first inspection detection resistor R S 1 The first contact state is detected based on the first comparison result obtained by comparing the voltage applied to the first reference voltage with a predetermined first reference voltage.

また、比較検出部CMPは、第2検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第2接触状態を検査する場合、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、この第2接触状態を検出する。 Further, when the comparison detection unit CMP inspects the second contact state that is the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the second inspection target element, the second inspection detection resistor R S 2 The second contact state is detected on the basis of the second comparison result obtained by comparing the voltage applied to both ends of the first and second reference voltages with a predetermined second reference voltage.

その一例として、比較検出部CMPは、第1比較結果に基づいて、第1検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗値と第1検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗値の和が所定の第1許容値以下か否か検出する。   As an example, the comparison detection unit CMP determines the contact resistance value between the first inspection target element and the first inspection electrode E1, the first inspection target element, and the second inspection electrode E2 based on the first comparison result. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined first allowable value.

なお、この第1許容値は、第1検査対象素子について逆方向試験の際に許容できる最大の接触抵抗和である。より詳細には、この第1許容値は、逆方向試験の際に、第1検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗における電圧降下と、第1検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗における電圧降下の和が許容できる最大電圧降下量となる抵抗値である。これにより、逆方向試験の際に、第1検査対象素子に最低限印加すべき電圧を印加することができる。   The first allowable value is the maximum sum of contact resistances that can be permitted in the reverse direction test for the first inspection target element. More specifically, the first tolerance value is determined by the voltage drop in the contact resistance between the first inspection target element and the first inspection electrode E1, the first inspection target element, and the second inspection during the reverse test. The sum of the voltage drops in the contact resistance with the electrode E2 is a resistance value that is an allowable maximum voltage drop amount. Thereby, at the time of a reverse direction test, the voltage which should be applied to the 1st test object element at the minimum can be applied.

また、比較検出部CMPは、例えば、第2比較結果に基づいて、第2検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗値と第2検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗値の和が所定の第2許容値以下か否か検出する。   Further, the comparison detection unit CMP, for example, based on the second comparison result, the contact resistance value between the second inspection target element and the first inspection electrode E1, and the second inspection target element and the second inspection electrode E2 are compared. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined second allowable value.

なお、この第2許容値は、第2検査対象素子について逆方向試験の際に許容できる最大の接触抵抗和である。より詳細にはこの第2許容値は、逆方向試験の際に、第2検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗における電圧降下と、第2検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗における電圧降下の和が許容できる最大電圧降下量となる抵抗値である。これにより、逆方向試験の際に、第2検査対象素子に最低限印加すべき電圧を印加することができる。   The second allowable value is the maximum sum of contact resistances that can be allowed in the reverse direction test for the second inspection target element. More specifically, the second tolerance value is determined by the voltage drop in the contact resistance between the second inspection target element and the first inspection electrode E1, the second inspection target element, and the second inspection electrode during the reverse test. The sum of the voltage drops in the contact resistance with E2 is a resistance value that is an allowable maximum voltage drop. Thereby, at the time of a reverse direction test, the voltage which should be applied to the 2nd test object element at the minimum can be applied.

ここで、電源の電圧Vf、第1検査用電流源FCSが出力する電流の値I1、上述した第1許容値RMAX1、及び第1検査用検出抵抗の値R1の関係は、Vf=I1(RMAX1+R1)で表される。 Here, the relationship among the power supply voltage Vf, the current value I1 output from the first inspection current source FCS, the first allowable value R MAX 1 described above, and the first inspection detection resistor value R S 1 is expressed as Vf = I1 (R MAX 1 + R S 1).

一方、電源の電圧Vf、第2検査用電流源SCSが出力する電流の値I2、上述した第2許容値RMAX2、及び第2検査用検出抵抗の値R2の関係は、Vf=I2(RMAX1+R2)で表される。 On the other hand, the relationship between the power supply voltage Vf, the current value I2 output from the second inspection current source SCS, the above-described second allowable value R MAX 2, and the second inspection detection resistor value R S2 is expressed as Vf = It is represented by I2 (R MAX 1 + R S 2).

例えば、電源の電圧Vfが5V、第1検査用電流源FCSの電流値1mA、第1検査用検出抵抗R1が2.5kΩの場合、Vf=I1(RMAX1+R1)の関係から、第1検査対象素子の接触抵抗和の許容値RMAXは、2500(=5/0.001−2500)Ωである。 For example, when the power supply voltage Vf is 5 V, the current value of the first inspection current source FCS is 1 mA, and the first inspection detection resistor R S 1 is 2.5 kΩ, Vf = I1 (R MAX 1 + R S 1) The allowable value R MAX of the contact resistance sum of the first inspection target element is 2500 (= 5 / 0.001-2500) Ω.

一方、例えば、電圧源の電圧Vfが5V、第2検査用電流源SCSの電流値10mA、第1検査用検出抵抗R1が250Ωの場合、Vf=I2(RMAX2+R)2の関係から、第2検査対象素子の接触抵抗和の許容値RMAXは、250(=5/0.01−250)Ωである。この例の場合、第2検査対象素子の接触抵抗和の許容値RMAXは、第1検査対象素子の接触抵抗和の許容値RMAXの10分の1である。 On the other hand, for example, when the voltage Vf of the voltage source is 5 V, the current value 10 mA of the second inspection current source SCS, and the first inspection detection resistor R S 1 is 250Ω, the relationship of Vf = I2 (R MAX 2 + R S ) Therefore, the allowable value R MAX of the contact resistance sum of the second inspection target element is 250 (= 5 / 0.01−250) Ω. In this example, the allowable value R MAX of the contact resistance sum of the second inspection target element is one tenth of the allowable value R MAX of the contact resistance sum of the first inspection target element.

本実施形態では、一例として、逆方向試験の際に二つの接触抵抗で許容できる最大の合計電圧降下量と第1検査対象素子の漏れ電流から、接触抵抗和の第1許容値RMAX1が予め決められている。そして、この第1許容値RMAX1及び電源の電圧Vfに基づいて、第1検査用電流源FCSの電流値と第1検査用検出抵抗R1の値が決められている。 In the present embodiment, as an example, the first allowable value R MAX 1 of the contact resistance sum is obtained from the maximum total voltage drop that can be allowed by the two contact resistances in the reverse test and the leakage current of the first inspection target element. It is decided in advance. Based on the first allowable value R MAX 1 and the voltage Vf of the power source, the current value of the first inspection current source FCS and the value of the first inspection detection resistor R S 1 are determined.

また、一例として、逆方向試験の際に二つの接触抵抗で許容できる最大の合計電圧降下量と第2検査対象素子の漏れ電流から、接触抵抗和の第2許容値RMAX2が予め決められている。そして、この第2許容値RMAX2及び電源の電圧Vfに基づいて、第2検査用電流源SCSの電流値と第2検査用検出抵抗R2の値が決められている。 Further, as an example, a second allowable value R MAX 2 of the contact resistance sum is determined in advance from the maximum total voltage drop that can be allowed by the two contact resistances in the reverse test and the leakage current of the second inspection target element. ing. Based on the second allowable value R MAX 2 and the voltage Vf of the power source, the current value of the second inspection current source SCS and the value of the second inspection detection resistor R S 2 are determined.

その際、本実施形態では、一例として、比較検出部CMPが用いる第1基準電圧と第2基準電圧は等しく、第2検査用検出抵抗R2の値に対する第1検査用検出抵抗R1の値の比は、第1検査用電流源FCSが出力する電流の値に対する第2検査用電流源SCSが出力する電流の値の比に等しくなるように設定されている。 At this time, in the present embodiment, as an example, the first reference voltage used by the comparison detection unit CMP is equal to the second reference voltage, and the first inspection detection resistor R S 1 with respect to the value of the second inspection detection resistor R S 2. Is set to be equal to the ratio of the current value output from the second inspection current source SCS to the current value output from the first inspection current source FCS.

これにより、接触抵抗和が許容値以内の場合、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧と第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧とが等しくなるので、比較検出部CMPは、常に同じ基準電位と比較することができる。このため、比較検出部CMPは、検査対象素子の種類が変わるごとに、基準電位を変更しなくてもよいので、処理が簡単になる。また、ユーザは、どちらの種類の検査対象素子を検査するかをコンタクト検査装置2に入力する必要がないので、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検査する際の手間を軽減することができる。 Accordingly, when the sum of the contact resistances is within an allowable value, the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is equal to the voltage applied to both ends of the second inspection detection resistor R S 2. The part CMP can always be compared with the same reference potential. For this reason, since the comparison detection unit CMP does not need to change the reference potential every time the type of the element to be inspected changes, the process becomes simple. Further, since the user does not need to input to the contact inspection apparatus 2 which type of inspection target element is to be inspected, the user can inspect the contact state between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2. Time and effort can be reduced.

ここで、接触抵抗和が第1許容値以下である場合、第1検査用電流源FCSは第1の定電流を出力することができるので、第1検査用検出抵抗R1にはこの第1の定電流が流れ、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧は一定となる。 Here, when the contact resistance sum is equal to or smaller than the first allowable value, the first inspection current source FCS can output the first constant current, and therefore the first inspection detection resistor R S 1 includes the first constant current. 1 constant current flows, and the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is constant.

一方、接触抵抗和が第1許容値を超える場合、第1検査用電流源FCSが出力する電流は上述した所定の定電流よりも小さくなるので、第1検査用検出抵抗R1にはこの小さい電流が流れる。その結果、接触抵抗和が第1許容値を超える場合、第1検査用検出抵抗R1の一端の電圧は、接触抵抗和が第1許容値以下である場合の電圧よりも小さくなる。
更に、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第1検査対象素子に接触していない場合、第1検査用検出抵抗R1には電流が流れないので、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧は0Vである。
On the other hand, when the contact resistance sum exceeds the first allowable value, the current output from the first inspection current source FCS is smaller than the predetermined constant current described above, and therefore the first inspection detection resistor R S 1 has this A small current flows. As a result, when the contact resistance sum exceeds the first allowable value, the voltage at one end of the first inspection detection resistor R S 1 becomes smaller than the voltage when the contact resistance sum is equal to or less than the first allowable value.
Furthermore, when at least one of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is not in contact with the first inspection target element, no current flows through the first inspection detection resistor R S 1. The voltage applied to both ends of the detection resistor R S 1 for 1 inspection is 0V.

これらを踏まえると、比較検出部CMPは、第1検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第1接触状態を検査する場合、例えば、以下のようにして接触状態を検出する。   Considering these, the comparison detection unit CMP, when inspecting the first contact state that is the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the first inspection target element, is performed as follows, for example. To detect the contact state.

例えば、比較検出部CMPは、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧が所定の第1基準電圧以上の場合、接触状態は良好であり、接触抵抗和が所定の第1許容値以下であることを検出する。 For example, when the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is equal to or higher than a predetermined first reference voltage, the comparison detection unit CMP has a good contact state, and the contact resistance sum has a predetermined first allowable value. Detect that:

一方、比較検出部CMPは、例えば、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧が0Vを超えかつ所定の第1基準電圧未満の場合、接触状態は不良であり、接触抵抗和が所定の第1許容値を超えていることを検出する。 On the other hand, for example, when the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 exceeds 0 V and is lower than the predetermined first reference voltage, the comparison detection unit CMP has a poor contact state, and the contact resistance sum is It is detected that a predetermined first allowable value is exceeded.

一方、比較検出部CMPは、例えば、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧が0Vの場合、第1の検査電極E1と第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第1検査対象素子に接触していないことを検出する。 On the other hand, for example, when the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is 0 V, the comparison detection unit CMP determines whether at least one of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is the first inspection. Detect that the target element is not touched.

上述した論理と同様の論理で、接触抵抗和が第2許容値以下である場合、第2検査用電流源SCSは第2の定電流を出力することができるので、第2検査用検出抵抗R2にはこの第2の定電流が流れ、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧は、一定となる。 When the sum of the contact resistances is equal to or smaller than the second allowable value in the same logic as described above, the second inspection current source SCS can output the second constant current, and thus the second inspection detection resistor R the second constant current flows through the S 2, the voltage applied to the detection across the resistor R S 2 for the second test is constant.

一方、接触抵抗和が第2許容値を超える場合、第2検査用電流源SCSが出力する電流は上述した第2の定電流よりも小さくなるので、第2検査用検出抵抗R2にはこの小さい電流が流れる。その結果、接触抵抗和が第2許容値を超える場合、第2検査用検出抵抗R2の一端の電圧は、接触抵抗和が第2許容値以下である場合の電圧よりも小さくなる。
更に、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第2検査対象素子に接触していない場合、第2検査用検出抵抗R2には電流が流れないので、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧は0Vである。
On the other hand, when the contact resistance sum exceeds the second allowable value, the current output from the second inspection current source SCS is smaller than the above-described second constant current, so that the second inspection detection resistor R S 2 includes This small current flows. As a result, when the contact resistance sum exceeds the second allowable value, the voltage at one end of the second inspection detection resistor R S 2 becomes smaller than the voltage when the contact resistance sum is equal to or lower than the second allowable value.
Furthermore, when at least one of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is not in contact with the second inspection target element, no current flows through the second inspection detection resistor R S2 . 2 The voltage applied to both ends of the detection resistor R S 2 is 0V.

これらを踏まえると、比較検出部CMPは、第2検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第2接触状態を検査する場合、例えば、以下のようにして接触状態を検出する。   Based on these, the comparison detection unit CMP, when inspecting the second contact state that is the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the second inspection target element, is performed as follows, for example. To detect the contact state.

例えば、比較検出部CMPは、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧が所定の第2基準電圧以上の場合、接触状態は良好であり、接触抵抗和が所定の第2許容値以下であることを検出する。 For example, when the voltage applied to both ends of the second inspection detection resistor R S 2 is equal to or higher than a predetermined second reference voltage, the comparison detection unit CMP has a good contact state, and the contact resistance sum is a predetermined second allowable value. Detect that:

一方、比較検出部CMPは、例えば、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧が0Vを超えかつ所定の第2基準電圧未満の場合、接触状態は不良であり、接触抵抗和が所定の第2許容値を超えていることを検出する。 On the other hand, the comparison detection unit CMP, for example, when the voltage applied to both ends of the second inspection detection resistor R S 2 exceeds 0 V and is lower than the predetermined second reference voltage, the contact state is poor and the contact resistance sum is It is detected that a predetermined second allowable value is exceeded.

一方、比較検出部CMPは、例えば、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧が0Vの場合、第1の検査電極E1と第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第2検査対象素子に接触していないことを検出する。 On the other hand, for example, when the voltage applied to both ends of the second inspection detection resistor R S 2 is 0 V, the comparison detection unit CMP determines that at least one of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is the second inspection electrode. Detect that the target element is not touched.

<コンタクト検査のときの各部の処理>
続いて、第1検査対象素子または第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときの各部の処理について説明する。コンタクト検査において、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、第1検査対象素子または第2検査対象素子が順方向に接続される。
<Processing of each part during contact inspection>
Subsequently, processing of each part at the time of contact inspection in which a current is applied in the forward direction to the first inspection target element or the second inspection target element will be described. In the contact inspection, the first inspection target element or the second inspection target element is sequentially placed between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. Connected in the direction.

制御部CONは、第1の切替スイッチRL1を第1導通状態にし、第2の切替スイッチRL2を第3導通状態にする。これにより、第1の切替スイッチRL1が第1導通状態に切替られ、かつ第2の切替スイッチRL2が第3導通状態に切替られた状態で、比較検出部CMPが第1接触状態または第2接触状態を検出する。   The control unit CON sets the first changeover switch RL1 to the first conduction state, and sets the second changeover switch RL2 to the third conduction state. Thereby, the comparison detection unit CMP is in the first contact state or the second contact in a state where the first changeover switch RL1 is changed to the first conduction state and the second changeover switch RL2 is changed to the third conduction state. Detect state.

制御部CONは、コンタクト検査で第1検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態(第1接触状態)を検査する場合、第1検査用第1スイッチFSW1を導通状態にさせ、第1検査用第2スイッチFSW2を導通状態にさせ、第2検査用第1スイッチSSW1を非導通状態にさせ、第2検査用第2スイッチSSW2を非導通状態にさせる。   In the contact inspection, when the contact state inspects the contact state (first contact state) of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the first inspection target element, the control unit CON switches the first inspection first switch FSW1. The first inspection second switch FSW2 is turned on, the second inspection first switch SSW1 is turned off, and the second inspection second switch SSW2 is turned off.

一方、制御部CONは、コンタクト検査で第2検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態(第2接触状態)を検査する場合、第1検査用第1スイッチFSW1を非導通状態にさせ、第1検査用第2スイッチFSW2を非導通状態にさせ、第2検査用第1スイッチSSW1を導通状態にさせ、かつ第2検査用第2スイッチSSW2を導通状態にさせる。   On the other hand, when the control unit CON inspects the contact state (second contact state) of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the second inspection target element in the contact inspection, the first switch for the first inspection. The FSW1 is turned off, the first inspection second switch FSW2 is turned off, the second inspection first switch SSW1 is turned on, and the second inspection second switch SSW2 is turned on. Let

<逆方向試験のときの各部の処理>
続いて、第1検査対象素子または第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときの各部の処理について説明する。本実施形態では一例として、コンタクト検査が終わった後に逆方向試験を行う。その際、第1検査対象素子または第2検査対象素子は、コンタクト検査の際に接続された状態が維持されたまま、逆方向試験が行われる。
<Processing of each part during reverse test>
Subsequently, processing of each unit in a reverse direction test in which a voltage is applied in the reverse direction to the first inspection target element or the second inspection target element will be described. In this embodiment, as an example, the reverse direction test is performed after the contact inspection is completed. At that time, the first test target element or the second test target element is subjected to the reverse direction test while being connected in the contact test.

逆方向試験のとき、第1検査用第1スイッチFSW1の一端と他端が非導通状態に切替られ、第1検査用第2スイッチFSW2の一端と他端が非導通状態に切替られ、第2検査用第1スイッチSSW1の一端と他端が導通状態に切替られ、第2検査用第2スイッチSSW2の一端と他端が導通状態に切替られる。   In the reverse direction test, one end and the other end of the first inspection first switch FSW1 are switched to a non-conducting state, and one end and the other end of the first inspection second switch FSW2 are switched to a non-conducting state. One end and the other end of the first inspection switch SSW1 are switched to the conductive state, and one end and the other end of the second inspection second switch SSW2 are switched to the conductive state.

制御部CONは、逆方向試験のときに、第1の切替スイッチRL1を第2導通状態にし、第2の切替スイッチRL2を第4導通状態にする。これにより、逆方向試験のとき、第1の切替スイッチRL1は第2導通状態となり、第2の切替スイッチRL2は第4導通状態となる。   The control unit CON sets the first changeover switch RL1 to the second conduction state and the second changeover switch RL2 to the fourth conduction state during the reverse direction test. Thereby, at the time of a reverse direction test, 1st changeover switch RL1 will be in the 2nd conduction state, and 2nd changeover switch RL2 will be in the 4th conduction state.

<第2の実施形態の効果>
以上のように、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置2は、一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源FCSと、一端がこの電源に接続され、第1検査用電流源FCSが出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源SCSと、を備える。
<Effects of Second Embodiment>
As described above, the contact inspection apparatus 2 according to the second embodiment has one end connected to the power source and the first inspection current source FCS that outputs the first constant current, and one end connected to the power source. A second inspection current source SCS that outputs a second constant current larger than a current output from the first inspection current source FCS.

更に、コンタクト検査装置2は、整流特性を有する第1検査対象素子の一端または整流特性を有し該第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極E1を備える。   Further, the contact inspection apparatus 2 can be electrically connected to one end of the first inspection target element having the rectification characteristic or one end of the second inspection target element having the rectification characteristic and having a leakage current larger than that of the first inspection target element. A first inspection electrode E1 is provided.

更に、コンタクト検査装置2は、第1検査対象素子の他端または第2検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極E2と、一端が接地された第1検査用検出抵抗R1と、一端が接地され第1検査用検出抵抗R1よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗R2と、を備える。 Furthermore, the contact inspection apparatus 2 includes a second inspection electrode E2 that can be electrically connected to the other end of the first inspection target element or the other end of the second inspection target element, and a first inspection detection whose one end is grounded. A resistor R S 1 and a second inspection detection resistor R S 2 having one end grounded and a resistance value smaller than that of the first inspection detection resistor R S 1 are provided.

更に、コンタクト検査装置2は、第1の検査電極E1と第1検査用検出抵抗R1の他端または第2検査用検出抵抗R2の他端との間が導通している第1導通状態と、第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチRL1を備える。 Further, in the contact inspection apparatus 2, the first inspection electrode E1 and the other end of the first inspection detection resistor R S 1 or the other end of the second inspection detection resistor R S 2 are electrically connected to each other. A first changeover switch RL1 capable of switching between a conduction state and a second conduction state in which the first inspection electrode E1 and the high-potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT are conducted is provided.

更に、コンタクト検査装置2は、第2の検査電極E2と第1検査用電流源FCSの他端または第2検査用電流源SCSの他端との間が導通している第3導通状態と、第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチRL2を備える。   Further, the contact inspection apparatus 2 has a third conduction state in which the second inspection electrode E2 and the other end of the first inspection current source FCS or the other end of the second inspection current source SCS are electrically connected; A second changeover switch RL2 is provided that can switch between the second inspection electrode E2 and the fourth conduction state in which the low-potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT is conducted.

更に、コンタクト検査装置2は、第1検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第1接触状態を検査する場合、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、この第1接触状態を検出する比較検出部CMPを備える。 Further, when the contact inspection apparatus 2 inspects the first contact state that is the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the first inspection target element, the first inspection detection resistor R S 1 And a comparison detection unit CMP for detecting the first contact state based on a first comparison result obtained by comparing a voltage applied to both ends of the first reference voltage with a predetermined first reference voltage.

この比較検出部CMPは、第2検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態である第2接触状態を検査する場合、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、この第2接触状態を検出する。 When the comparison detection unit CMP inspects the second contact state that is the contact state between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the second inspection target element, the second inspection detection resistor R S 2 The voltage applied to both ends is compared with a predetermined second reference voltage, and the second contact state is detected based on the second comparison result obtained by comparison.

コンタクト検査において、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、第1検査対象素子または第2検査対象素子が順方向に接続される。そして、第1の切替スイッチRL1が第1導通状態に切替られ、かつ第2の切替スイッチRL2が第3導通状態に切替られた状態で、比較検出部CMPが上記第1接触状態または上記第2接触状態を検出する。   In the contact inspection, the first inspection target element or the second inspection target element is sequentially placed between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. Connected in the direction. Then, in a state in which the first changeover switch RL1 is switched to the first conduction state and the second changeover switch RL2 is switched to the third conduction state, the comparison detection unit CMP is in the first contact state or the second contact state. Detect contact status.

一方、逆方向試験において、第1の切替スイッチRL1が第2導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第4導通状態に切替られる。   On the other hand, in the reverse direction test, the first changeover switch RL1 is switched to the second conduction state, and the second changeover switch RL2 is switched to the fourth conduction state.

上述した第2の実施形態に係るコンタクト検査装置1の構成によれば、第1検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検査する場合に、接触抵抗和が第1許容値の範囲で大きくなったとしても、第1検査用検出抵抗R1に流れる電流は一定である。このため、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧は一定である。 According to the configuration of the contact inspection apparatus 1 according to the second embodiment described above, when the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the first inspection target element is inspected, the contact resistance sum is calculated. Even if becomes larger in the range of the first allowable value, the current flowing through the first inspection detection resistor R S 1 is constant. For this reason, the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is constant.

これにより、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、第1検査用検出抵抗R1の両端にかかる電圧は常に第1基準電圧以上となる。このため、比較検出部CMPは、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2と検査対象素子との接触を検出することができる。その結果、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の寿命が長くなり、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の交換頻度を削減することができる。 As a result, even when the contact resistance sum increases within a predetermined allowable range, the voltage applied to both ends of the first inspection detection resistor R S 1 is always equal to or higher than the first reference voltage. For this reason, the comparison detection unit CMP can detect the contact between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 and the inspection target element even if the contact resistance sum increases within a predetermined allowable range. it can. As a result, the lifetimes of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 are extended, and the replacement frequency of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 can be reduced.

同様に、第2検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検査する場合に、接触抵抗和が第2許容値の範囲で大きくなったとしても、第2検査用検出抵抗R2に流れる電流は一定である。このため、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧は、第2検査用電流源SCSが出力する電流の値と第2検査用検出抵抗R2の値の積で一定となる。 Similarly, when the contact state of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 with respect to the second inspection target element is inspected, even if the contact resistance sum increases within the range of the second allowable value, the second The current flowing through the inspection detection resistor R S 2 is constant. Therefore, the voltage applied to the second ends of the test detection resistor R S 2 is constant by the product value and a second value of the test detection resistor R S 2 of the current second inspection current source SCS outputs .

これにより、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、第2検査用検出抵抗R2の両端にかかる電圧は常に第2基準電圧以上となる。このため比較検出部CMPは、接触抵抗和が所定の許容値の範囲で大きくなっても、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2と検査対象素子との接触を検出することができる。その結果、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の寿命が長くなり、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の交換頻度を削減することができる。 As a result, even when the contact resistance sum is increased within a predetermined allowable range, the voltage applied to both ends of the second inspection detection resistor R S 2 is always equal to or higher than the second reference voltage. Therefore, the comparison detection unit CMP can detect the contact between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 and the inspection target element even when the contact resistance sum is increased within a predetermined allowable value range. . As a result, the lifetimes of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 are extended, and the replacement frequency of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 can be reduced.

以上のことから、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置2は、第1の実施形態の効果に加えて、漏れ電流が異なる二つの検査対象素子いずれに対してもコンタクト検査及び逆方向試験を行うことができ、かつ第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の交換頻度を削減することができる。   From the above, in addition to the effects of the first embodiment, the contact inspection apparatus 2 according to the second embodiment performs contact inspection and reverse direction testing on any two inspection target elements having different leakage currents. This can be performed, and the replacement frequency of the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 can be reduced.

また、比較検出部CMPは、上記第1比較結果に基づいて、第1検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗の値と第1検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗の値の和が所定の第1許容値以下か否か検出する。更に、比較検出部CMPは、上記第2比較結果に基づいて、第2検査対象素子と第1の検査電極E1との接触抵抗の値と第2検査対象素子と第2の検査電極E2との接触抵抗の値の和が所定の第2許容値以下か否か検出する。ここで、第1の許容値及び電源の電圧+Vfに基づいて、第1検査用電流源FCSが出力する電流の値と第1検査用検出抵抗R1の値が決められている。また、第2の許容値及び電源の電圧+Vfに基づいて、第2検査用電流源SCSが出力する電流の値と第2検査用検出抵抗R2の値が決められている。 Further, the comparison detection unit CMP determines the contact resistance value between the first inspection target element and the first inspection electrode E1, the first inspection target element, and the second inspection electrode E2 based on the first comparison result. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined first allowable value. Further, the comparison detection unit CMP determines the contact resistance value between the second inspection target element and the first inspection electrode E1 and the second inspection target element and the second inspection electrode E2 based on the second comparison result. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined second allowable value. Here, based on the first allowable value and the power supply voltage + Vf, the value of the current output from the first inspection current source FCS and the value of the first inspection detection resistor R S 1 are determined. Further, the value of the current output from the second inspection current source SCS and the value of the second inspection detection resistor R S 2 are determined based on the second allowable value and the power supply voltage + Vf.

これにより、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、コンタクト検査装置2は、検査対象素子の漏れ電流の大きさに応じて、電流源の電流値と検出抵抗の値の組を切り替えることができる。このため、第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子に対してコンタクト試験を行う場合、第1検査対象素子より接触抵抗和の最大許容値を小さくすることができる。その結果、逆方向試験を行う場合に、第2検査対象素子の漏れ電流が大きくても、その漏れ電流による接触抵抗による電圧降下を、所定の許容範囲内に収めることができる。従って、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、第1の実施形態の効果に加えて、漏れ電流が異なる二つの検査対象素子いずれに対して逆方向試験を行った場合でも、検査対象素子に最低限印加すべき電圧を確実に印加することができる。   Thereby, in the contact inspection apparatus 1 according to the second embodiment, the contact inspection apparatus 2 switches the set of the current value of the current source and the value of the detection resistance in accordance with the magnitude of the leakage current of the element to be inspected. Can do. For this reason, when performing a contact test with respect to the 2nd test object element whose leakage current is larger than the 1st test object element, the maximum allowable value of contact resistance sum can be made smaller than the 1st test object element. As a result, when the reverse direction test is performed, even if the leakage current of the second inspection target element is large, the voltage drop due to the contact resistance due to the leakage current can be kept within a predetermined allowable range. Therefore, in addition to the effect of the first embodiment, the contact inspection apparatus 1 according to the second embodiment is an inspection target even when a reverse direction test is performed on any two inspection target elements having different leakage currents. A voltage that should be applied to the element at a minimum can be applied reliably.

なお、制御部CONは、検査対象素子が所定の基準よりも漏れ電流が小さい素子の場合、第1検査用第1スイッチFSW1の一端と他端との間、及び第1検査用第2スイッチFSW2の一端と他端との間を導通させ、検査対象素子が所定の基準以上の漏れ電流を有する素子の場合、第2検査用第1スイッチSSW1の一端と他端との間、及び第2検査用第2スイッチSSW2の一端と他端との間を導通させてもよい。
その場合、コンタクト検査装置2は、ユーザが入力した漏れ電流の値を受け付ける入力部を更に備え、制御部CONは、例えば、この入力部が受け付けた漏れ電流の値を取得してもよい。
In addition, when the inspection target element is an element whose leakage current is smaller than a predetermined reference, the control unit CON includes a first inspection second switch FSW2 between one end and the other end of the first inspection first switch FSW1. When the inspection target element is an element having a leakage current greater than or equal to a predetermined reference, the second inspection first switch SSW1 is connected between one end and the other end, and the second inspection. The second switch SSW2 may be electrically connected between one end and the other end.
In that case, the contact inspection apparatus 2 may further include an input unit that receives the value of the leakage current input by the user, and the control unit CON may acquire the value of the leakage current received by the input unit, for example.

また、本発明の一態様に係るコンタクト検査方法は、一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源CCCと、一端が接地された検出抵抗Rと、整流特性を有する検査対象素子の一端に接続可能な第1の検査電極E1と、この検査対象素子の他端に接続可能な第2の検査電極E2と、を備え、このコンタクト検査のときに、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、この検査対象素子が順方向に接続されるコンタクト検査装置が実行するコンタクト検査方法であって、以下の手順を有する。 The contact inspection method according to one aspect of the present invention includes a constant current source CCC that has one end connected to a power source and outputs a predetermined constant current, a detection resistor RS that has one end grounded, and an inspection having a rectifying characteristic. A first test electrode E1 connectable to one end of the target element; and a second test electrode E2 connectable to the other end of the test target element. This is a contact inspection method executed by a contact inspection apparatus in which the element to be inspected is connected in the forward direction between E1 and a second inspection electrode E2 having a higher potential than the first inspection electrode E1. And has the following procedure.

(第1ステップ)第1の切替スイッチRL1が、この検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに第1の検査電極E1と前記検出抵抗Rの他端との間を導通させる。 (First Step) The first changeover switch RL1 conducts between the first inspection electrode E1 and the other end of the detection resistor RS at the time of contact inspection in which a current is applied to the inspection target element in the forward direction. Let

(第2ステップ)第1のステップと並行して、または第1のステップ前後に、第2の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに第2の検査電極E2と定電流源CCCの他端との間を導通させる。   (Second Step) In parallel with the first step or before and after the first step, the second changeover switch is connected to the second inspection electrode E2 and the other end of the constant current source CCC during the contact inspection. Between the two.

(第3ステップ)比較検出部CMPが、このコンタクト検査のときに、検出抵抗Rの検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、この検査対象素子に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検出する。 (Third step) comparing detector CMP is, when the contact test, compares the voltage with a predetermined reference voltage of the detection portion of the detection resistor R S, based on the comparison result, the for this inspection object element The contact state between the first inspection electrode E1 and the second inspection electrode E2 is detected.

(第4ステップ)第1の切替スイッチRL1が、この検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間を導通させる。   (Fourth step) When the first changeover switch RL1 performs a reverse test in which a voltage is applied to the device under test in the reverse direction, the first test electrode E1 and the high potential side terminal of the reverse test device IDT Conduct between them.

(第5ステップ)第4のステップと並行して、または第4のステップ前後に、第2の切替スイッチRL2が、この逆方向試験のときに第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間を導通させる。   (Fifth Step) In parallel with the fourth step or before and after the fourth step, the second changeover switch RL2 is connected to the second inspection electrode E2 and the reverse direction test apparatus IDT during the reverse direction test. Conduction between the low potential side terminals.

また、本発明の一態様に係る電子部品は、整流特性を有し、以下の構成を有するコンタクト検査装置によって、第1検査電極E1と該第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に順方向に接続された後にコンタクト検査が行われた電子部品である。このコンタクト検査装置は、一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源CCCと、一端が接地された検出抵抗Rと、を備える。更に、このコンタクト検査装置は、一端が当該電子部品の一端に接続可能な第1の検査電極E1と、当該電子部品の他端に接続可能な第2の検査電極E2と、を備える。更に、このコンタクト検査装置は、当該電子部品に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに第1の検査電極E1と検出抵抗Rの他端との間を導通させ、当該電子部品に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに第1の検査電極E1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子との間を導通させる第1の切替スイッチRL1を備える。更に、このコンタクト検査装置は、このコンタクト検査のときに第2の検査電極E2と定電流源CCCの他端との間を導通させ、この逆方向試験のときに第2の検査電極E2と逆方向試験装置IDTの低電位側端子との間を導通させる第2の切替スイッチRL2を備える。更に、このコンタクト検査装置は、このコンタクト検査のときに、検出抵抗Rの検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、当該電子部品に対する第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の接触状態を検出する比較検出部CMPを備える。このコンタクト検査装置は、当該電子部品に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、第1の切替スイッチRL1が第1導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第3導通状態に切替られ、比較検出部CMPが接触状態を検出する。また、このコンタクト検査装置は、当該電子部品に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに、第1の切替スイッチRL1が第2導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第4導通状態に切替られる。 In addition, the electronic component according to one embodiment of the present invention has a rectifying characteristic and has a higher potential than the first inspection electrode E1 and the first inspection electrode E1 by a contact inspection apparatus having the following configuration. This is an electronic component subjected to contact inspection after being connected in the forward direction with the second inspection electrode E2. The contact inspection apparatus includes a constant current source CCC that is connected to a power source at one end and outputs a predetermined constant current, and a detection resistor RS that is grounded at one end. The contact inspection apparatus further includes a first inspection electrode E1 whose one end can be connected to one end of the electronic component, and a second inspection electrode E2 which can be connected to the other end of the electronic component. Further, the contact inspection apparatus conducts electrical conduction between the first inspection electrode E1 and the other end of the detection resistor RS during contact inspection in which a current is applied to the electronic component in the forward direction, and is reverse to the electronic component. A first changeover switch RL1 that conducts between the first inspection electrode E1 and the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus IDT during a reverse direction test in which a voltage is applied in the direction is provided. Further, the contact inspection apparatus conducts electrical connection between the second inspection electrode E2 and the other end of the constant current source CCC during the contact inspection, and reverses the second inspection electrode E2 during the reverse direction test. A second changeover switch RL2 that conducts between the low potential side terminal of the direction test apparatus IDT is provided. Further, the contact inspection apparatus compares the voltage of the detection part of the detection resistor RS with a predetermined reference voltage at the time of the contact inspection, and based on the comparison result, the first inspection electrode for the electronic component is compared. A comparison detection unit CMP for detecting a contact state between E1 and the second inspection electrode E2 is provided. In the contact inspection device, the first changeover switch RL1 is switched to the first conduction state and the second changeover switch RL2 is set to the third conduction state during contact inspection in which a current is applied to the electronic component in the forward direction. The comparison detection unit CMP detects the contact state. In the contact inspection device, the first changeover switch RL1 is switched to the second conduction state and the second changeover switch RL2 is set to the fourth in the reverse direction test in which a voltage is applied to the electronic component in the reverse direction. It is switched to the conductive state.

なお、各実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。   Each embodiment is an exemplification, and the scope of the invention is not limited thereto.

1、2、100 コンタクト検査装置
Gen 電圧源
電流制定用抵抗
RL1 第1の切替スイッチ
RL2 第2の切替スイッチ
Nd1 第1の接点
Nd2 第2の接点
Nd3 第3の接点
Nd4 第4の接点
Nd5 第5の接点
Nd6 第6の接点
SW1 第1スイッチ
SW2 第2スイッチ
E1 第1の検査電極
E2 第2の検査電極
T1 第1の端子
T2 第2の端子
D ダイオード
検出抵抗
IDT 逆方向試験装置
CCC 定電流源
CRD 定電流ダイオード
CON 制御部
CMP 比較検出部
FCS 第1検査用電流源
SCS 第2検査用電流源
FSW1 第1検査用第1スイッチ
SSW1 第2検査用第1スイッチ
FSW2 第1検査用第2スイッチ
SSW2 第2検査用第2スイッチ
1 第1検査用検出抵抗
2 第2検査用検出抵抗
D1 第1ダイオード
D2 第2ダイオード
1,2,100 contact inspection device V Gen voltage source R B current established resistor RL1 first changeover switch RL2 second changeover switch Nd1 first contact Nd2 second contact Nd3 third contact Nd4 fourth contact Nd5 5th contact Nd6 6th contact SW1 1st switch SW2 2nd switch E1 1st inspection electrode E2 2nd inspection electrode T1 1st terminal T2 2nd terminal D Diode RS Detection resistance IDT Reverse direction test Device CCC Constant current source CRD Constant current diode CON Control unit CMP Comparison detection unit FCS First inspection current source SCS Second inspection current source FSW1 First inspection first switch SSW1 Second inspection first switch FSW2 First inspection Second switch SSW2 second inspection second switch R S 1 first inspection detection resistor R S 2 second inspection detection resistor D1 first diode Diode D2 second diode

Claims (14)

一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる
コンタクト検査装置。
A constant current source having one end connected to a power source and outputting a predetermined constant current;
A sense resistor with one end grounded;
A first inspection electrode that can be electrically connected to one end of an inspection target element having rectification characteristics;
A second inspection electrode electrically connectable to the other end of the inspection target element;
The first conduction state in which the first inspection electrode and the detection part of the detection resistor are in conduction, and the first inspection electrode and the high-potential side terminal of the reverse direction test apparatus are in conduction. A first changeover switch capable of switching between the second conduction state;
A third conduction state in which the second inspection electrode and the output of the constant current source are conducted, and a conduction between the second inspection electrode and the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus are conducted. A second changeover switch capable of switching between the fourth conduction state,
Comparison of detecting the contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the inspection target element based on the comparison result by comparing the voltage of the detection portion of the detection resistor with a predetermined reference voltage. A detection unit;
With
In contact inspection in which a current is applied in a forward direction to the inspection target element, the inspection is performed between the first inspection electrode and the second inspection electrode having a higher potential than the first inspection electrode. In the state where the target element is connected in the forward direction, the first changeover switch is changed to the first conduction state, and the second changeover switch is changed to the third conduction state, the comparison detection unit Detecting the contact state;
In a reverse test in which a voltage is applied in the reverse direction to the element to be inspected, the first changeover switch is switched to the second conduction state, and the second changeover switch is switched to the fourth conduction state. Contact inspection apparatus.
前記比較検出部は、前記比較結果に基づいて、前記検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が、所定の許容値以下か否か検出し、
前記許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記定電流源が出力する電流の値と前記検出抵抗の値が決められている
請求項1に記載のコンタクト検査装置。
The comparison detection unit, based on the comparison result, sums the value of the contact resistance between the inspection target element and the first inspection electrode and the value of the contact resistance between the inspection target element and the second inspection electrode. Is less than or equal to a predetermined tolerance,
The contact inspection apparatus according to claim 1, wherein a value of a current output from the constant current source and a value of the detection resistor are determined based on the allowable value and the voltage of the power source.
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極と接続された第1の接点と、前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続された第2の接点と、第3の接点と、を備え、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極と接続された第4の接点と、前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続された第5の接点と、第6の接点と、を備え、
一端が前記定電流源の出力に接続され他端が前記第6の接点に接続され、前記定電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1スイッチと、
一端が前記第3の接点に接続され他端が前記検出抵抗の検出部に接続され、前記第3の接点と前記検出抵抗の検出部との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2スイッチと、
を更に備える請求項1または2に記載のコンタクト検査装置。
The first changeover switch includes a first contact connected to the first inspection electrode, a second contact connected to a high potential side terminal of the reverse direction test apparatus, and a third contact. With
The second changeover switch includes a fourth contact connected to the second inspection electrode, a fifth contact connected to a low potential side terminal of the reverse direction testing device, a sixth contact, With
One end is connected to the output of the constant current source, the other end is connected to the sixth contact, and the conduction state between the output of the constant current source and the sixth contact is not conductive. A first switch for switching between a non-conductive state;
One end is connected to the third contact, the other end is connected to the detection resistor detection unit, and the third contact point and the detection resistor detection unit are not connected to the conduction state. A second switch for switching between the non-conductive state;
The contact inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2スイッチを導通状態にさせる制御部
を更に備える請求項3に記載のコンタクト検査装置。
4. The control unit according to claim 3, further comprising: a control unit that controls the first switch and the second switch, causes the first switch to be in a conductive state, and causes the second switch to be in a conductive state during the contact inspection. Contact inspection device.
前記制御部は、前記第1の切替スイッチ及び前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを第1導通状態にさせ、前記第2の切替スイッチを第3導通状態にさせ、前記逆方向試験のときに、第1の切替スイッチを第2導通状態にさせ、第2の切替スイッチを第4導通状態にさせる
請求項4に記載のコンタクト検査装置。
The control unit controls the first changeover switch and the second changeover switch, causes the first changeover switch to be in a first conduction state during the contact inspection, and sets the second changeover switch to The contact inspection apparatus according to claim 4, wherein the third switching state is set, the first changeover switch is set to the second conduction state, and the second changeover switch is set to the fourth conduction state during the reverse direction test.
前記検査対象素子は、ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される
請求項1から5のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。
The inspection target element is a diode, the cathode of the diode is connected to the first inspection electrode, and the anode of the diode is connected to the second inspection electrode. The contact inspection apparatus according to one item.
一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源と、
一端が前記電源に接続され、前記第1検査用電流源が出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源と、
整流特性を有する第1検査対象素子の一端または整流特性を有し該第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記第1検査対象素子の他端または前記第2検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
一端が接地された第1検査用検出抵抗と、
一端が接地され前記第1検査用検出抵抗よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗と、前記第1の検査電極と前記第1検査用検出抵抗の他端または前記第2検査用検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記第1検査用電流源の他端または前記第2検査用電流源の他端との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記第1検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、前記第1接触状態を検出し、前記第2検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第2接触状態を検査する場合、前記第2検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、前記第2接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記第1接触状態または前記第2接触状態を検出し、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる
コンタクト検査装置。
A first inspection current source having one end connected to a power source and outputting a first constant current;
A second inspection current source having one end connected to the power source and outputting a second constant current greater than a current output by the first inspection current source;
A first test electrode that can be electrically connected to one end of a first test target element having a rectification characteristic or one end of a second test target element having a rectification characteristic and having a leakage current larger than that of the first test target element;
A second inspection electrode electrically connectable to the other end of the first inspection target element or the other end of the second inspection target element;
A first inspection detection resistor having one end grounded;
A second inspection detection resistor having one end grounded and having a resistance value smaller than that of the first inspection detection resistor; the first inspection electrode; the other end of the first inspection detection resistor; or the second inspection detection resistor. It is possible to switch between a first conduction state in which the other end of the device is conducted and a second conduction state in which the first inspection electrode and the high potential side terminal of the reverse direction testing device are conducted. A first changeover switch;
A third conduction state in which the second inspection electrode and the other end of the first inspection current source or the other end of the second inspection current source are electrically connected; the second inspection electrode; A second changeover switch capable of switching between a fourth conduction state in which electrical connection is established with the low potential side terminal of the reverse direction test device;
When inspecting a first contact state that is a contact state of the first inspection electrode and the second inspection electrode with respect to the first inspection target element, a voltage of a detection unit of the first inspection detection resistor and a predetermined first 1st reference voltage is compared and based on the 1st comparison result obtained by comparison, the 1st contact state is detected, and the 1st inspection electrode and the 2nd inspection electrode with respect to the 2nd inspection object element In the case of inspecting the second contact state that is the contact state of the second, based on the second comparison result obtained by comparing the voltage of the detection portion of the detection resistor for second inspection with a predetermined second reference voltage A comparison detection unit for detecting the second contact state;
With
In contact inspection in which a current is applied in the forward direction to the first inspection target element or the second inspection target element, the first inspection electrode and the second inspection electrode having a higher potential than the first inspection electrode. The first inspection target element or the second inspection target element is connected in a forward direction between the inspection electrode, the first changeover switch is changed to the first conduction state, and the second changeover switch is provided. Is switched to the third conduction state, the comparison detection unit detects the first contact state or the second contact state,
In a reverse test in which a voltage is applied in the reverse direction to the first inspection target element or the second inspection target element, the first changeover switch is switched to the second conduction state, and the second changeover switch is A contact inspection device that is switched to a fourth conduction state.
前記比較検出部は、前記第1比較結果に基づいて、前記第1検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第1検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第1許容値以下か否か検出し、前記第2比較結果に基づいて、前記第2検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第2検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第2許容値以下か否か検出し、
前記第1の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第1検査用電流源が出力する電流の値と前記第1検査用検出抵抗の値が決められており、
前記第2の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第2検査用電流源が出力する電流の値と前記第2検査用検出抵抗の値が決められている
請求項7に記載のコンタクト検査装置。
The comparison detection unit, based on the first comparison result, a value of a contact resistance between the first inspection object element and the first inspection electrode, and the first inspection object element and the second inspection electrode. It is detected whether the sum of the contact resistance values is equal to or less than a predetermined first allowable value, and based on the second comparison result, the value of the contact resistance between the second inspection target element and the first inspection electrode, and the Detecting whether the sum of the contact resistance values of the second inspection target element and the second inspection electrode is equal to or less than a predetermined second allowable value;
Based on the first allowable value and the voltage of the power source, the value of the current output from the first inspection current source and the value of the first inspection detection resistor are determined,
The contact according to claim 7, wherein a value of a current output from the second inspection current source and a value of the second inspection detection resistor are determined based on the second allowable value and the voltage of the power source. Inspection device.
前記第1基準電圧と前記第2基準電圧は等しく、前記第2検査用検出抵抗の値に対する前記第1検査用検出抵抗の値の比は、前記第1検査用電流源が出力する電流の値に対する前記第2検査用電流源が出力する電流の値の比に等しい
請求項7または8に記載のコンタクト検査装置。
The first reference voltage and the second reference voltage are equal, and the ratio of the value of the first inspection detection resistor to the value of the second inspection detection resistor is a value of a current output from the first inspection current source. The contact inspection apparatus according to claim 7, wherein the second inspection current source is equal to a ratio of a current value output from the second inspection current source.
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極に接続された第1の接点と前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続されている第2の接点とが導通している前記第1導通状態と、前記第1の接点と第3の接点が導通している前記第2導通状態とを切替可能であり、 前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極に接続された第4の接点と前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続されている第5の接点とが導通している前記第3導通状態と、前記第4の接点と第6の接点が導通している前記第4導通状態とを切替可能であり、 前記第1検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第1スイッチと、
前記第2検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第1スイッチと、
前記第3の接点と前記第1検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第2スイッチと、
前記第3の接点と前記第2検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第2スイッチと、
を備え、
前記コンタクト検査のときに、前記第1検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、
前記逆方向試験のときに、前記第1検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが導通状態に切替られる
請求項7から9のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。
In the first changeover switch, the first contact connected to the first inspection electrode and the second contact connected to the high potential side terminal of the reverse direction test apparatus are electrically connected. It is possible to switch between one conductive state and the second conductive state in which the first contact and the third contact are conductive, and the second switch is connected to the second inspection electrode. The third contact state in which the fourth contact and the fifth contact connected to the low potential side terminal of the reverse direction test apparatus are connected, and the fourth contact and the sixth contact are connected. The fourth conduction state can be switched, and the conduction state between the output of the first inspection current source and the sixth contact is switched between the conduction state and the non-conduction state that is not conduction. A first switch for first inspection;
A first switch for second inspection that switches between a conductive state in which the output of the second inspection current source and the sixth contact point are conductive and a non-conductive state in which the sixth contact point is not conductive;
A first inspection second switch for switching between a conductive state in which the third contact and the first detection detection resistor are conductive and a non-conductive state in which the third contact is not conductive;
A second switch for second inspection that switches between a conductive state and a non-conductive state in which the third contact and the second detection detection resistor are conductive;
With
During the contact inspection, the first inspection first switch is switched to a conductive state, the first inspection second switch is switched to a conductive state, and the second inspection first switch is switched to a non-conductive state. Switched, the second switch for second inspection is switched to a non-conductive state,
During the reverse test, the first inspection first switch is switched to a non-conductive state, the first inspection second switch is switched to a non-conductive state, and the second inspection first switch is conductive. The contact inspection apparatus according to claim 7, wherein the second inspection switch is switched to a conductive state.
前記第1検査用第1スイッチ、前記第1検査用第2スイッチ、前記第2検査用第1スイッチ及び第2検査用第2スイッチを制御する制御部
を更に備え、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第2接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、 前記第2検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを導通状態にさせる
請求項10に記載のコンタクト検査装置。
A control unit for controlling the first inspection first switch, the first inspection second switch, the second inspection first switch, and the second inspection second switch;
When the first inspection state is inspected by the contact inspection, the control unit causes the first inspection first switch to be in a conduction state, causes the first inspection second switch to be in a conduction state, and the second inspection state. Making the first switch for inspection non-conductive, making the second switch for second inspection non-conductive,
When the contact inspection inspects the second contact state, the control unit causes the first inspection first switch to be in a non-conduction state, causes the first inspection second switch to be in a non-conduction state, The contact inspection apparatus according to claim 10, wherein the second inspection first switch is turned on, and the second inspection second switch is turned on.
前記制御部は、前記第1の切替スイッチと前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを前記第1導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第3導通状態にし、前記逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチを
前記第2導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第4導通状態にする
請求項11に記載のコンタクト検査装置。
The control unit controls the first changeover switch and the second changeover switch, sets the first changeover switch to the first conduction state, and sets the second changeover switch at the time of the contact inspection. The contact according to claim 11, wherein the third switching state is set, and the first changeover switch is set to the second conduction state and the second changeover switch is set to the fourth conduction state during the reverse direction test. Inspection device.
前記第1検査対象素子は、第1ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第1ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第1ダイオードのアノードが接続され、
前記第2検査対象素子は、前記第1ダイオードより漏れ電流が大きい第2ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第2ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第2ダイオードのアノードが接続される
請求項7から12のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。
The first inspection target element is a first diode, a cathode of the first diode is connected to the first inspection electrode, an anode of the first diode is connected to the second inspection electrode,
The second inspection target element is a second diode having a leakage current larger than that of the first diode, the cathode of the second diode is connected to the first inspection electrode, and the second inspection electrode is connected to the second inspection electrode. The contact inspection apparatus according to claim 7, wherein an anode of the second diode is connected.
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、一端が接地された検出抵抗と、整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、を備え、前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となる前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続されるコンタクト検査装置が実行するコンタクト検査方法であって、
第1の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間を導通させるステップと、
第2の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間を導通させるステップと、
比較検出部が、前記コンタクト検査のときに、前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出するステップと、
前記第1の切替スイッチが、前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間を導通させるステップと、
前記第2の切替スイッチが、前記逆方向試験のときに前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間を導通させるステップと、
を有するコンタクト検査方法。
A constant current source having one end connected to a power source and outputting a predetermined constant current; a detection resistor having one end grounded; and a first test electrode electrically connectable to one end of an inspection target element having rectification characteristics; A second inspection electrode that can be electrically connected to the other end of the inspection target element, and when performing a contact inspection in which a current is applied to the inspection target element in a forward direction, the first inspection electrode A contact inspection method executed by a contact inspection apparatus in which the element to be inspected is connected in a forward direction between the second inspection electrode and a potential higher than that of the first inspection electrode,
A step of causing the first changeover switch to conduct between the first inspection electrode and the detection resistance detection unit during the contact inspection;
A second changeover switch conducting between the second inspection electrode and the output of the constant current source during the contact inspection;
The comparison detection unit compares the voltage of the detection unit of the detection resistor with a predetermined reference voltage at the time of the contact inspection, and based on the comparison result, the first inspection electrode for the inspection target element and the Detecting a contact state of the second inspection electrode;
A step of causing the first changeover switch to conduct between the first inspection electrode and a high potential side terminal of the reverse direction test apparatus during a reverse direction test in which a voltage is applied to the inspection target element in a reverse direction; ,
The second changeover switch conducting between the second inspection electrode and the low potential side terminal of the reverse direction test device during the reverse direction test;
A contact inspection method.
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JP3259370B2 (en) * 1992-10-19 2002-02-25 株式会社村田製作所 Capacitor insulation resistance measuring device
JP4124895B2 (en) * 1999-01-18 2008-07-23 日本インター株式会社 Electronic component characteristic inspection method
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