JP2015010880A - Insulation inspection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To correctly inspect an insulation state of an inspection target by preventing erroneous detection of a spark occurrence without being influenced by a capacitance value of a capacitance connected to an output terminal of a power source part.SOLUTION: An insulation inspection device includes: a power source part 4 for supplying an inspecting voltage V2 of a specified DC voltage value between a pair of conductor pattern groups PG by outputting a DC voltage V1 from an output terminal 4a to the pair of conductor pattern groups PG; a current detection part 6 for detecting a DC current I1 flowing between the pair of conductor pattern groups PG; a spark detection part 8 for detecting whether a spark is generated between the pair of conductor pattern groups PG; and a process part 9 for inspecting an insulation state of between the pair of conductor pattern groups PG on the basis of presence of detecting a spark by the spark detection part 8 and a resistance value Rm between the pair of conductor pattern groups PG. Further, the process part 9 applies control to the power source part 4 so as to lower a rate of increasing the DC voltage V1 until when the inspecting voltage V2 reaches the specified DC voltage value proportionately as a capacitance value C of the capacitance connected to the output terminal 4a.

Description

本発明は、検査対象の絶縁抵抗値を測定すると共にこの絶縁抵抗値に基づいて検査対象の絶縁状態を検査する絶縁検査装置に関するものである。   The present invention relates to an insulation inspection apparatus that measures an insulation resistance value to be inspected and inspects an insulation state of the inspection object based on the insulation resistance value.

この種の絶縁検査装置として、特許第3546046号公報に開示された絶縁検査装置が知られている。この絶縁検査装置は、可変電圧源、電圧計、回路基板の配線パターンに接続されたスイッチ回路、電流計、制御部およびスパーク検出回路などを備えて構成されている。この絶縁検査装置では、可変電圧源から出力される所定の直流電圧(試験電圧)を印加した配線パターン(検査対象)間の絶縁抵抗値を、電圧計の検出電圧値と電流計の検出電流値とから算出してしきい値と比較することにより、その配線パターン間の絶縁状態の良否を判定し、絶縁状態が不良な配線パターンが存在するときには、回路基板が不良品であると判定する。   As this type of insulation inspection apparatus, an insulation inspection apparatus disclosed in Japanese Patent No. 3546046 is known. This insulation inspection apparatus includes a variable voltage source, a voltmeter, a switch circuit connected to a wiring pattern on a circuit board, an ammeter, a control unit, a spark detection circuit, and the like. In this insulation inspection device, the insulation resistance value between the wiring patterns (inspection object) to which a predetermined DC voltage (test voltage) output from a variable voltage source is applied, is detected voltage value of voltmeter and detected current value of ammeter By calculating from the above and comparing with the threshold value, the quality of the insulation state between the wiring patterns is judged. When there is a wiring pattern with a poor insulation state, the circuit board is judged to be defective.

また、この絶縁検査装置では、絶縁検査中において、直流電圧の印加によって配線パターン間で放電(スパーク)が発生したときには、スパーク検出回路がその放電を検出して、配線パターンの絶縁状態が不良である(つまり、回路基板が不良品である)と判定する。この場合、スパーク検出回路は、スパークの発生時には可変電圧源の出力電圧(試験電圧)が急低下するので、この電圧変化を検出することによりスパークの発生を検出している。   Also, in this insulation inspection apparatus, when a discharge (spark) occurs between the wiring patterns due to the application of a DC voltage during the insulation inspection, the spark detection circuit detects the discharge and the insulation state of the wiring pattern is defective. It is determined that there is (that is, the circuit board is defective). In this case, since the output voltage (test voltage) of the variable voltage source suddenly drops when the spark occurs, the spark detection circuit detects the occurrence of the spark by detecting this voltage change.

特許第3546046号公報(第5−6頁、第1図)Japanese Patent No. 3546046 (page 5-6, FIG. 1)

ところが、上記した従来の絶縁検査装置には、以下の課題が存在している。すなわち、この種の絶縁検査装置では、通常、スイッチ回路は、複数のケーブルを介して複数の配線パターンに同時に接続され、複数の配線パターンのうちの絶縁状態を判別する配線パターンを選択的に可変電圧源と電流計とに接続する。この場合、各ケーブルには浮遊容量が存在しているため、可変電圧源の出力端子には、スイッチ回路を介してこの浮遊容量が接続される。また、各配線パターン間には、相互間の距離やそれぞれの面積に応じた容量値の静電容量が形成されているため、この静電容量もスイッチ回路を介して、可変電圧源の出力端子に接続されている。これにより、この絶縁検査装置では、このようにして出力端子に接続されている静電容量の合計容量値が大きい場合に、可変電圧源が試験電圧の出力を開始したときに、この静電容量を充電させるための電流が電流値の大きな状態で短時間に(ピーク値の大きなパルス状の電流として)流れるという現象が生じる。したがって、この絶縁検査装置には、この電流が電流値の大きな状態で流れることに起因して、試験電圧の低下が発生し、スパーク検出回路がこの試験電圧の低下を誤ってスパークの発生として検出することがあり、これに基づいて回路基板を不良品であると誤って判別するという解決すべき課題が存在している。   However, the following problems exist in the conventional insulation inspection apparatus described above. That is, in this type of insulation inspection apparatus, normally, the switch circuit is simultaneously connected to a plurality of wiring patterns via a plurality of cables, and the wiring pattern for determining the insulation state among the plurality of wiring patterns is selectively variable. Connect to voltage source and ammeter. In this case, since each cable has a stray capacitance, the stray capacitance is connected to the output terminal of the variable voltage source via a switch circuit. In addition, since capacitances having capacitance values according to the distances and areas between each other are formed between the wiring patterns, this capacitance is also output via the switch circuit to the output terminal of the variable voltage source. It is connected to the. Thus, in this insulation inspection apparatus, when the total capacitance value of the capacitances connected to the output terminals in this way is large, when the variable voltage source starts outputting the test voltage, the capacitance is A phenomenon occurs in which a current for charging the battery flows in a short time (as a pulsed current having a large peak value) in a state where the current value is large. Therefore, in this insulation inspection device, a drop in the test voltage occurs due to this current flowing in a state where the current value is large, and the spark detection circuit erroneously detects this drop in the test voltage as the occurrence of a spark. There is a problem to be solved that erroneously determines that a circuit board is defective based on this.

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、電源部の出力端子に接続される静電容量の容量値に影響を受けることなくスパークの発生の誤検出を回避して、検査対象の絶縁状態を正確に検査し得る絶縁検査装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and avoids erroneous detection of occurrence of a spark without being affected by the capacitance value of the capacitance connected to the output terminal of the power supply unit, and is an inspection object. It is a main object of the present invention to provide an insulation inspection apparatus capable of accurately inspecting the insulation state.

上記目的を達成すべく請求項1記載の絶縁検査装置は、直流電圧を出力端子から検査対象に出力することによって当該検査対象に規定の直流電圧値の検査用電圧を供給する電源部と、前記検査用電圧の供給時に前記検査対象に流れる直流電流を検出する電流検出部と、前記検査用電圧の供給時に前記検査対象にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、前記規定の直流電圧値および検出された前記直流電流の電流値に基づいて前記検査対象の抵抗値を測定すると共に測定した当該抵抗値および前記スパーク検出部での前記スパークの検出の有無に基づいて当該検査対象の絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記規定の直流電圧値に達するまでの前記直流電圧の上昇率を前記出力端子に接続されている静電容量の容量値が大きくなるに従い低下させる制御を前記電源部に対して実行することにより、前記直流電圧の供給開始時において前記静電容量を充電する前記直流電流の前記電流値を予め規定された電流しきい値未満に抑制する。   In order to achieve the above object, the insulation inspection apparatus according to claim 1, wherein a power supply unit supplies a test voltage having a specified DC voltage value to the test object by outputting a DC voltage from an output terminal to the test object; A current detection unit that detects a direct current flowing through the inspection target when the inspection voltage is supplied; a spark detection unit that detects whether or not a spark has occurred in the inspection target when the inspection voltage is supplied; Based on the DC voltage value and the detected current value of the DC current, the resistance value of the inspection object is measured, and the inspection object is determined based on the measured resistance value and whether or not the spark is detected by the spark detection unit. A processing unit that performs an insulation inspection process for inspecting an insulation state of the first DC voltage, and the processing unit supplies a rate of increase of the DC voltage until the specified DC voltage value is reached to the output terminal. The current of the DC current that charges the capacitance at the start of the supply of the DC voltage by executing control for the power supply unit to reduce the capacitance value as the capacitance value of the continued capacitance increases. Suppresses the value below a predefined current threshold.

また、請求項2記載の絶縁検査装置は、請求項1記載の絶縁検査装置において、回路基板に形成されている複数の導体パターンに規定された複数の検査ポイントに同時に接触させられる複数のプローブピンと、前記複数の導体パターンのうちから前記検査対象として選択された一対の導体パターン群を当該一対の導体パターン群間に前記検査用電圧を供給可能に前記電源部の前記出力端子に接続すると共に、前記直流電流の電流経路内に前記電流検出部を接続するスイッチ部とを備え、前記処理部は、前記検査対象として選択されて前記出力端子に接続される前記一対の導体パターン群間の静電容量の容量値を前記容量値として前記上昇率についての前記制御を前記電源部に対して実行し、前記絶縁検査処理において、前記一対の導体パターン群間の抵抗値を前記抵抗値として測定する。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the insulation inspection apparatus according to the first aspect, wherein the plurality of probe pins are simultaneously brought into contact with the plurality of inspection points defined in the plurality of conductor patterns formed on the circuit board. Connecting a pair of conductor patterns selected as the inspection target from the plurality of conductor patterns to the output terminal of the power supply unit so that the inspection voltage can be supplied between the pair of conductor patterns; A switch unit that connects the current detection unit in the current path of the direct current, and the processing unit is electrostatically connected between the pair of conductor patterns selected as the inspection target and connected to the output terminal. The control of the rate of increase is performed on the power supply unit using the capacitance value of the capacitance as the capacitance value, and the pair of conductor patterns are obtained in the insulation inspection process. Measuring the resistance value between the groups as the resistance value.

また、請求項3記載の絶縁検査装置は、請求項2記載の絶縁検査装置において、前記出力端子に接続されている前記静電容量の前記容量値を測定する容量測定部を備え、前記処理部は、前記一対の導体パターン群が新たに選択される都度、前記容量測定部に対して前記容量値を測定させる。   The insulation inspection apparatus according to claim 3, further comprising a capacitance measurement unit that measures the capacitance value of the capacitance connected to the output terminal in the insulation inspection device according to claim 2. Causes the capacitance measuring unit to measure the capacitance value each time the pair of conductor pattern groups is newly selected.

また、請求項4記載の絶縁検査装置は、請求項2記載の絶縁検査装置において、前記処理部は、前記一対の導体パターン群が新たに選択される都度、当該一対の導体パターン群に接触させられている前記プローブピンの本数を検出すると共に、検出した当該本数が多くなるに従い前記静電容量の前記容量値が大きくなっているとして前記上昇率についての前記制御を前記電源部に対して実行する。   The insulation inspection apparatus according to claim 4 is the insulation inspection apparatus according to claim 2, wherein each time the pair of conductor pattern groups is newly selected, the processing unit is brought into contact with the pair of conductor pattern groups. The number of probe pins being detected is detected, and the control for the rate of increase is performed on the power supply unit assuming that the capacitance value of the capacitance increases as the number of detected probe pins increases. To do.

請求項1記載の絶縁検査装置では、検査用電圧が規定の直流電圧値に達するまでの直流電圧の上昇率を出力端子に接続されている静電容量の容量値が大きくなるに従い低下させる制御を処理部が電源部に対して実行することにより、直流電圧の供給開始時において静電容量を充電する際にパルス状に流れる直流電流の電流値を予め規定された電流しきい値未満に抑制する。したがって、この絶縁検査装置によれば、スパーク検出部が、このパルス状に流れる直流電流に基づいて検査対象でスパークが発生したと誤って検出する事態を回避しつつ、検査対象でのスパークの有無を正確に検出することができる。したがって、この絶縁検査装置によれば、処理部が、算出した検査対象の抵抗値とスパーク検出部でのスパークの検出の有無とに基づいて、検査対象の絶縁状態を正確に検査することができる。   In the insulation inspection apparatus according to claim 1, control is performed to decrease the rate of increase of the DC voltage until the inspection voltage reaches a specified DC voltage value as the capacitance value of the capacitance connected to the output terminal increases. When the processing unit executes the power supply unit, the current value of the direct current flowing in a pulsed manner when charging the capacitance at the start of the supply of the DC voltage is suppressed to be less than a predetermined current threshold value. . Therefore, according to this insulation inspection apparatus, the presence or absence of a spark in the inspection object is avoided while avoiding a situation in which the spark detection unit erroneously detects that a spark has occurred in the inspection object based on the direct current flowing in a pulse shape. Can be accurately detected. Therefore, according to this insulation inspection apparatus, the processing unit can accurately inspect the insulation state of the inspection target based on the calculated resistance value of the inspection target and whether or not the spark detection unit detects the spark. .

請求項2記載の絶縁検査装置によれば、直流電圧の供給開始時においてパルス状に流れる直流電流の電流値を電流しきい値未満に抑制することができるため、スパーク検出部が、このパルス状に流れる直流電流に基づいて検査対象として選択された一対の導体パターン群間でスパークが発生したと誤って検出する事態を回避しつつ、この一対の導体パターン群間でのスパークの有無を正確に検出することができる。したがって、この絶縁検査装置によれば、処理部が、算出した一対の導体パターン群間の抵抗値とスパーク検出部でのスパークの検出の有無とに基づいて、検査対象とする一対の導体パターン群間の絶縁状態を正確に検査することができる。   According to the insulation inspection apparatus of the second aspect, since the current value of the direct current flowing in a pulsed manner at the start of the supply of the direct current voltage can be suppressed to be less than the current threshold value, the spark detecting unit The presence or absence of a spark between the pair of conductor pattern groups is accurately avoided while avoiding erroneous detection that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups selected as an inspection object based on the direct current flowing through Can be detected. Therefore, according to this insulation inspection apparatus, the processing unit has a pair of conductor pattern groups to be inspected based on the calculated resistance value between the pair of conductor pattern groups and the presence or absence of the detection of the spark in the spark detection unit. It is possible to accurately inspect the insulation state between them.

請求項3記載の絶縁検査装置では、容量測定部が、電源部の出力端子に実際に接続されている一対の導体パターン群の静電容量の容量値を測定する。これにより、この絶縁検査装置によれば、処理部が、容量測定部によって測定された実際の静電容量の容量値に基づいて、直流電圧の適切な上昇率、すなわち、出力端子に接続されている静電容量を充電する際に流れるパルス状の直流電流の電流値を電流しきい値未満に確実に抑制できる範囲内で、できる限り高い上昇率を算出することができる。したがって、この絶縁検査装置によれば、一対の導体パターン群間でスパークが発生したとスパーク検出部が誤って検出する事態の発生をより確実に回避しつつ、検査用電圧を規定の直流電圧値に一層短時間で上昇させることができるため、一対の導体パターン群間の絶縁状態をより正確に検査しつつ、絶縁検査に要する時間を短縮することができる。   In the insulation inspection apparatus according to the third aspect, the capacitance measuring unit measures the capacitance value of the capacitance of the pair of conductor pattern groups actually connected to the output terminal of the power supply unit. Thereby, according to this insulation inspection apparatus, the processing unit is connected to the appropriate rate of increase of the DC voltage, that is, the output terminal, based on the capacitance value of the actual capacitance measured by the capacitance measuring unit. It is possible to calculate a rate of increase as high as possible within a range in which the current value of the pulsed direct current that flows when charging a certain electrostatic capacity can be reliably suppressed below the current threshold value. Therefore, according to this insulation inspection device, the inspection voltage is regulated to the specified DC voltage value while more reliably avoiding the occurrence of a situation in which the spark detection unit erroneously detects that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups. Thus, the time required for the insulation inspection can be shortened while more accurately inspecting the insulation state between the pair of conductor pattern groups.

請求項4記載の絶縁検査装置によれば、スパーク検出部において一対の導体パターン群間でのスパークの発生を正確に検出することができるため、処理部が、算出した一対の導体パターン群間の抵抗値とスパーク検出部で検出されたスパークの発生の有無とに基づいて、検査対象としている一対の導体パターン群間の絶縁状態を正確に検査することができる。また、この絶縁検査装置によれば、一対の導体パターン群についての静電容量の容量値を予め測定したり、容量測定部を設けて容量値を測定したりする必要がないため、実験等による容量値の測定の手間を省いたり、装置構成の複雑化を回避したりすることができる。   According to the insulation inspection apparatus of the fourth aspect, since it is possible to accurately detect the occurrence of a spark between the pair of conductor pattern groups in the spark detection unit, the processing unit can calculate between the calculated pair of conductor pattern groups. Based on the resistance value and the presence / absence of the occurrence of a spark detected by the spark detector, it is possible to accurately inspect the insulation state between the pair of conductor pattern groups to be inspected. Further, according to this insulation inspection apparatus, it is not necessary to measure the capacitance value of the capacitance for the pair of conductor pattern groups in advance or to measure the capacitance value by providing a capacitance measurement unit. It is possible to save the trouble of measuring the capacitance value and to avoid complication of the apparatus configuration.

絶縁検査装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of an insulation inspection device 1. 回路基板100の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit board 100. FIG. 各導体パターン群PGを構成する導体パターンPを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the conductor pattern P which comprises each conductor pattern group PG. 各導体パターン群PGの容量値を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the capacitance value of each conductor pattern group PG.

以下、絶縁検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of an insulation inspection apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、絶縁検査装置1の構成について説明する。   First, the configuration of the insulation inspection apparatus 1 will be described.

図1に示す絶縁検査装置1は、基板保持部2、プローブユニット3、電源部4、電圧検出部5、電流検出部6、スイッチ部7、スパーク検出部8、処理部9および出力部10を備え、基板保持部2によって保持されている回路基板100に形成されている複数の導体パターン(本例では一例として、図2に示すように10個の導体パターンP1〜P10。特に区別しないときには導体パターンPともいう)の一部でそれぞれ構成される一対の導体パターン群PGを検査対象として、導体パターン群PG間の絶縁状態を検査する。   1 includes a substrate holding unit 2, a probe unit 3, a power supply unit 4, a voltage detection unit 5, a current detection unit 6, a switch unit 7, a spark detection unit 8, a processing unit 9, and an output unit 10. And a plurality of conductor patterns formed on the circuit board 100 held by the board holding part 2 (in this example, as an example, ten conductor patterns P1 to P10 as shown in FIG. The insulation state between the conductor pattern groups PG is inspected using a pair of conductor pattern groups PG each formed of a part of the pattern P) as an inspection target.

基板保持部2は、不図示のフィクスチャを備え、表面に配設された回路基板100を所定の位置に保持する。プローブユニット3は、複数のプローブピン11を備えて治具型に構成されている。この場合、各プローブピン11は、回路基板100の各導体パターンP1〜P10上に規定された検査ポイントTP1〜TP10(特に区別しないときには、検査ポイントTPともいう)の数および位置に対応して、プローブユニット3における基板保持部2との対向面に立設されている。また、プローブユニット3は、処理部9の制御に従って作動する不図示の移動機構により、基板保持部2に対して接離動させられることで、複数のプローブピン11を回路基板100の対応する検査ポイントTPに接触させるプロービングを実行する。   The board holding unit 2 includes a fixture (not shown) and holds the circuit board 100 disposed on the surface at a predetermined position. The probe unit 3 includes a plurality of probe pins 11 and has a jig shape. In this case, each probe pin 11 corresponds to the number and position of inspection points TP1 to TP10 (also referred to as inspection points TP when not particularly distinguished) defined on the conductor patterns P1 to P10 of the circuit board 100, The probe unit 3 is erected on the surface facing the substrate holder 2. In addition, the probe unit 3 is moved toward and away from the substrate holding unit 2 by a moving mechanism (not shown) that operates according to the control of the processing unit 9, so that a plurality of probe pins 11 are inspected corresponding to the circuit board 100. Probing to contact the point TP is executed.

電源部4は、処理部9の制御に従い、直流電圧V1を基準電位(本例ではグランド電位)Gを基準として生成して、出力端子4aから出力する。この際に、電源部4は、処理部9によって設定された上昇率α(=dV/dt)で、かつ処理部9によって設定された目標電圧値Vt(一例として50V〜1000Vの範囲内の直流電圧値から選択された所望の直流電圧値)に達するまで直流電圧V1を上昇させる。また、電源部4は、処理部9の制御に従い、直流電圧V1を目標電圧値Vtから基準電位まで、一例として上記の上昇率αと絶対値が同じ降下率で降下させる。   Under the control of the processing unit 9, the power supply unit 4 generates the DC voltage V1 based on the reference potential (in this example, the ground potential) G and outputs it from the output terminal 4a. At this time, the power supply unit 4 has a rate of increase α (= dV / dt) set by the processing unit 9 and a target voltage value Vt set by the processing unit 9 (as an example, a direct current within a range of 50 V to 1000 V). The DC voltage V1 is increased until a desired DC voltage value selected from the voltage value is reached. In addition, the power supply unit 4 drops the DC voltage V1 from the target voltage value Vt to the reference potential according to the control of the processing unit 9, for example, at the same rate of decrease as the above increase rate α.

電圧検出部5は、一対の入力端子5a,5b間に入力される直流電圧を検出すると共に所定の周波数でサンプリングすることにより、検出した直流電圧の電圧波形を示す波形データDvを生成して、処理部9に出力する。具体的には、電圧検出部5は、後述するように、スイッチ部7を介して、一対の導体パターン群PGのうちの一方の導体パターン群PGが入力端子5aに接続されると共に、他方の導体パターン群PGが入力端子5bに接続される。これにより、電圧検出部5は、電源部4が直流電圧V1を出力しているときに、スイッチ部7を介して一対の導体パターン群PG間に供給されている検査用電圧V2を検出して、その波形データDvを処理部9に出力する。   The voltage detector 5 detects the DC voltage input between the pair of input terminals 5a and 5b and samples at a predetermined frequency to generate waveform data Dv indicating the voltage waveform of the detected DC voltage, Output to the processing unit 9. Specifically, as will be described later, the voltage detection unit 5 is configured such that one conductor pattern group PG of the pair of conductor pattern groups PG is connected to the input terminal 5a via the switch unit 7, and the other Conductive pattern group PG is connected to input terminal 5b. As a result, the voltage detection unit 5 detects the inspection voltage V2 supplied between the pair of conductor pattern groups PG via the switch unit 7 when the power supply unit 4 outputs the DC voltage V1. The waveform data Dv is output to the processing unit 9.

なお、導体パターン群PGとは、複数の導体パターンPのうちから検査対象として選択された1または2以上の導体パターンPで構成される導体パターンPの組であり、一対の導体パターン群PGとは、このようにして選択された互いに異なる導体パターンPで構成される2つの導体パターン群の組である。本例では、図3に示すように、導体パターン群PGが導体パターン群PG1〜PG6の6つ規定されている。また、図4に示すように、一対の導体パターン群PGとする2つの導体パターン群の組が5組規定されていると共に、一対の導体パターン群PGを構成する2つの導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cが例えば実験などで予め求められて、一対の導体パターン群PG毎に規定されている。   The conductor pattern group PG is a set of conductor patterns P composed of one or more conductor patterns P selected as an inspection target from among the plurality of conductor patterns P. Is a set of two conductor pattern groups composed of different conductor patterns P selected in this way. In this example, as shown in FIG. 3, six conductor pattern groups PG1 to PG6 are defined. Further, as shown in FIG. 4, five sets of two conductor pattern groups as a pair of conductor pattern groups PG are defined, and two conductor pattern groups PG constituting the pair of conductor pattern groups PG are defined. The capacitance value C of the electrostatic capacitance is obtained in advance by, for example, an experiment, and is defined for each pair of conductor pattern groups PG.

この2つの導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cとは、この2つの導体パターン群PGが検査対象として選択されて電源部4の出力端子4aと後述する電流検出部6の入力端子6aとの間に接続されたときに、電源部4の出力端子4aに接続される静電容量の容量値であって、回路基板100において2つの導体パターン群PG間に形成される静電容量の容量値と、プローブユニット3の各プローブピン11とスイッチ部7とを接続する後述のケーブル間に形成される浮遊容量の容量値との合計容量値である。   The capacitance value C of the electrostatic capacity for the two conductor pattern groups PG means that the two conductor pattern groups PG are selected as inspection targets, and an output terminal 4a of the power supply unit 4 and an input terminal of a current detection unit 6 described later. 6a, which is a capacitance value of the capacitance connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 when connected between the two conductor pattern groups PG in the circuit board 100. And a capacitance value of a stray capacitance formed between cables to be described later that connect each probe pin 11 of the probe unit 3 and the switch unit 7.

電流検出部6は、一対の入力端子6a,6b間に入力される直流電流を検出すると共に所定の周波数(例えば電圧検出部5のサンプリング周波数と同じ周波数)でサンプリングすることにより、検出した直流電流の電流波形を示す波形データDiを生成して、スパーク検出部8および処理部9に出力する。具体的には、検査対象として選択された1つの一対の導体パターン群PGのうちの一方の導体パターン群PGはスイッチ部7を介して電源部4の出力端子4aに接続され、他方の導体パターン群PGはスイッチ部7を介して電流検出部6の入力端子6aに接続される。また、電流検出部6の入力端子6bは、基準電位Gに接続される。   The current detector 6 detects the direct current input between the pair of input terminals 6a and 6b and samples the DC current detected by sampling at a predetermined frequency (for example, the same frequency as the sampling frequency of the voltage detector 5). The waveform data Di indicating the current waveform is generated and output to the spark detection unit 8 and the processing unit 9. Specifically, one conductor pattern group PG of one pair of conductor pattern groups PG selected as an inspection target is connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 via the switch unit 7, and the other conductor pattern group PG is selected. The group PG is connected to the input terminal 6 a of the current detection unit 6 via the switch unit 7. Further, the input terminal 6 b of the current detection unit 6 is connected to the reference potential G.

これにより、電流検出部6は、電源部4による直流電圧V1の出力時(一対の導体パターン群PG間への検査用電圧V2の供給時)に検査対象としての一対の導体パターン群PGに流れる直流電流I1の電流経路(電源部4の出力端子4aから、スイッチ部7、プローブユニット3、一対の導体パターン群PGのうちの一方の導体パターン群PG、他方の導体パターン群PG、プローブユニット3およびスイッチ部7を経由して基準電位Gに至る図1において破線で示す電流経路)内に接続されて、直流電流I1を検出し、その波形データDiをスパーク検出部8および処理部9に出力する。   Thereby, the current detection unit 6 flows to the pair of conductor pattern groups PG as the inspection target when the DC voltage V1 is output by the power source unit 4 (when the inspection voltage V2 is supplied between the pair of conductor pattern groups PG). Current path of the direct current I1 (from the output terminal 4a of the power supply unit 4 to the switch unit 7, the probe unit 3, one conductor pattern group PG of the pair of conductor pattern groups PG, the other conductor pattern group PG, the probe unit 3 And a current path indicated by a broken line in FIG. 1 that reaches the reference potential G via the switch unit 7, detects the DC current I 1, and outputs the waveform data Di to the spark detection unit 8 and the processing unit 9. To do.

なお、電流検出部6を含む通常の電流計では、一対の入力端子6a,6b間のインピーダンスは低い値に維持されている。このため、スイッチ部7を介して電流検出部6の入力端子6aに接続された他方の導体パターン群PGは、低電位側の導体パターン群PGとして、ほぼ基準電位Gに規定される(つまり、他方の導体パターン群PGを構成する導体パターンPは同じ低電位に規定される)。一方、スイッチ部7を介して電源部4の出力端子4aに接続された一方の導体パターン群PGは、高電位側の導体パターン群PGとして、ほぼ直流電圧V1に規定される(つまり、一方の導体パターン群PGを構成する導体パターンPは同じ高電位に規定される)。   In a normal ammeter including the current detection unit 6, the impedance between the pair of input terminals 6a and 6b is maintained at a low value. For this reason, the other conductor pattern group PG connected to the input terminal 6a of the current detection unit 6 via the switch unit 7 is almost defined as the reference potential G as the low-potential side conductor pattern group PG (that is, The conductor pattern P constituting the other conductor pattern group PG is defined to have the same low potential). On the other hand, one conductor pattern group PG connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 through the switch unit 7 is defined as a high-potential-side conductor pattern group PG substantially at the DC voltage V1 (that is, one of the conductor pattern groups PG). The conductor patterns P constituting the conductor pattern group PG are defined at the same high potential).

スイッチ部7は、複数のスイッチ(図示せず)を備えてスキャナとして構成されている。また、スイッチ部7は、複数のプローブピン11と不図示のケーブルを介して接続されると共に、電源部4の出力端子4a、電圧検出部5の一対の入力端子5a,5bおよび電流検出部6の入力端子6aとも不図示のケーブルを介して接続されている。また、スイッチ部7は、処理部9の制御に従い、各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、検査対象とする一対の導体パターン群PGを、その一対の導体パターン群PG間に直流電圧V1を供給可能に電源部4に接続すると共に、電源部4から出力される直流電流I1の電流経路内に電流検出部6を接続する。   The switch unit 7 includes a plurality of switches (not shown) and is configured as a scanner. The switch unit 7 is connected to the plurality of probe pins 11 via a cable (not shown), and also includes an output terminal 4a of the power supply unit 4, a pair of input terminals 5a and 5b of the voltage detection unit 5, and a current detection unit 6. The input terminal 6a is also connected via a cable (not shown). In addition, the switch unit 7 switches each switch to an on state or an off state according to the control of the processing unit 9, thereby causing a pair of conductor pattern groups PG to be inspected to be DC-connected between the pair of conductor pattern groups PG. The voltage detector V1 is connected to the power supply unit 4 so that the voltage V1 can be supplied, and the current detection unit 6 is connected to the current path of the direct current I1 output from the power supply unit 4.

具体的には、スイッチ部7は、処理部9の制御に従い、図4に示す複数(本例では5つ)の一対の導体パターン群PGのうちから選択された検査対象とする1つの一対の導体パターン群PGを構成する一方の導体パターン群PGをプローブピン11およびケーブルを介して電源部4の出力端子4aに接続すると共に、他方の導体パターン群PGをプローブピン11およびケーブルを介して電流検出部6の入力端子6aに接続する。また、スイッチ部7は、処理部9の制御に従い、この一方の導体パターン群PGをプローブピン11およびケーブルを介して電圧検出部5の入力端子5aに接続すると共に、この他方の導体パターン群PGをプローブピン11およびケーブルを介して電圧検出部5の入力端子5bに接続する。   Specifically, the switch unit 7 controls the pair of conductor patterns PG selected from a plurality (five in this example) of a pair of conductor pattern groups PG shown in FIG. One conductor pattern group PG constituting the conductor pattern group PG is connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 via the probe pin 11 and the cable, and the other conductor pattern group PG is connected to the current via the probe pin 11 and the cable. Connected to the input terminal 6 a of the detection unit 6. The switch unit 7 connects the one conductor pattern group PG to the input terminal 5a of the voltage detection unit 5 through the probe pin 11 and the cable according to the control of the processing unit 9, and the other conductor pattern group PG. Is connected to the input terminal 5b of the voltage detector 5 via the probe pin 11 and the cable.

スパーク検出部8は、検査対象として選択された一対の導体パターン群PG間への検査用電圧V2の供給時に、この一対の導体パターン群PG間にスパーク(放電)が発生したか否かを検出すると共に、スパークの発生を検出したときには、検出信号S1を処理部9に出力する。本例では一例として、スパーク検出部8は、電流検出部6から出力される波形データDiで表される直流電流I1の電流値と、予め規定された電流しきい値Ithとを比較して、直流電流I1の電流値が電流しきい値Ith以上になったときにスパークが発生したと判別して、検出信号S1を所定の時間だけ出力する。   The spark detector 8 detects whether or not a spark (discharge) has occurred between the pair of conductor pattern groups PG when the inspection voltage V2 is supplied between the pair of conductor pattern groups PG selected as the inspection target. In addition, when the occurrence of a spark is detected, a detection signal S1 is output to the processing unit 9. In this example, as an example, the spark detection unit 8 compares the current value of the direct current I1 represented by the waveform data Di output from the current detection unit 6 with a predetermined current threshold Ith, When the current value of the direct current I1 becomes equal to or greater than the current threshold value Ith, it is determined that a spark has occurred, and the detection signal S1 is output for a predetermined time.

なお、一対の導体パターン群PG間への検査用電圧V2の供給時に、この一対の導体パターン群PG間にスパーク(放電)が発生したときには、上記のように電流しきい値Vthi以上の電流値の直流電流I1が短時間に流れるため、これに起因して電源部4から出力されている直流電圧V1の電圧波形が一時的に立ち下がり、これに伴い、検査用電圧V2の電圧波形にも一時的な立ち下がりが発生する。したがって、スパーク検出部8が、波形データDiに代えて波形データDvを入力し、最新の波形データDvとその直前の波形データDvとを比較しながら、最新の波形データDvが直前の波形データDvよりも大きく低下したことを検出したときに、スパークが発生したとして検出信号S1を出力する構成を採用することもできる。   When a spark (discharge) occurs between the pair of conductor pattern groups PG when the inspection voltage V2 is supplied between the pair of conductor pattern groups PG, the current value is equal to or greater than the current threshold value Vthi as described above. Since the direct current I1 flows in a short time, the voltage waveform of the DC voltage V1 output from the power supply unit 4 temporarily falls due to this, and accordingly, the voltage waveform of the inspection voltage V2 also appears. A temporary fall occurs. Therefore, the spark detection unit 8 receives the waveform data Dv instead of the waveform data Di, and compares the latest waveform data Dv with the waveform data Dv immediately before the latest waveform data Dv. It is also possible to adopt a configuration that outputs a detection signal S1 when a spark is generated when it is detected that the voltage has greatly decreased.

処理部9は、一例としてCPUおよびメモリ(いずれも図示せず)を備えて構成されて、上記した不図示の移動機構、電源部4およびスイッチ部7に対する制御を実行する。また、処理部9は、電圧検出部5から出力される波形データDv、電流検出部6から出力される波形データDi、およびスパーク検出部8からの検出信号S1の出力の有無に基づいて、この一対の導体パターン群PG間の絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する。また、処理部9は、絶縁検査処理の結果を出力部10に出力する出力処理を実行する。   The processing unit 9 includes a CPU and a memory (both not shown) as an example, and executes control on the above-described moving mechanism (not shown), the power supply unit 4 and the switch unit 7. Further, the processing unit 9 is based on the waveform data Dv output from the voltage detection unit 5, the waveform data Di output from the current detection unit 6, and the presence / absence of output of the detection signal S <b> 1 from the spark detection unit 8. An insulation inspection process for inspecting the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG is executed. In addition, the processing unit 9 executes an output process for outputting the result of the insulation inspection process to the output unit 10.

また、処理部9のメモリには、上記した図3に示す導体パターン群PGについての情報と、図4に示す一対の導体パターン群PGについての情報と、電流しきい値Ithと、抵抗しきい値Rthとが予め記憶されている。   Further, the memory of the processing unit 9 includes information on the conductor pattern group PG shown in FIG. 3, information on the pair of conductor pattern groups PG shown in FIG. 4, a current threshold Ith, and a resistance threshold. A value Rth is stored in advance.

出力部10は、一例としてLCDなどの表示装置で構成されて、処理部9によって実行された絶縁検査処理の結果を表示する。   The output unit 10 is configured by a display device such as an LCD as an example, and displays the result of the insulation inspection process executed by the processing unit 9.

次に、絶縁検査装置1の動作について図面を参照して説明する。なお、基板保持部2には、回路基板100がフィクスチャで保持された状態で予め載置されているものとする。   Next, the operation of the insulation inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. It is assumed that the circuit board 100 is previously placed on the board holding unit 2 in a state of being held by the fixture.

まず、処理部9は、移動機構を制御してプローブユニット3を回路基板100方向へ移動させることで、プローブユニット3の各プローブピン11の先端部を各導体パターンP1〜P10上の対応する検査ポイントTPに接触(プロービング)させる。   First, the processing unit 9 controls the moving mechanism to move the probe unit 3 in the direction of the circuit board 100, so that the tip end of each probe pin 11 of the probe unit 3 corresponds to the corresponding inspection on each conductor pattern P1 to P10. Contact (probing) the point TP.

次いで、処理部9は、図4に示す複数の一対の導体パターン群PGについての絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部9は、同図に示すようにメモリに記憶されている複数の一対の導体パターン群PGのうちから最初の検査対象として選択した1つの一対の導体パターン群PGについての情報(一対の導体パターン群PGを構成する2つの導体パターン群PGの情報、およびこの一対の導体パターン群PGについての容量値C)を読み出す。本例では一例として、図4に示す番号順に一対の導体パターン群PGを検査対象とする。これにより、処理部9は、まず、一対の導体パターン群PGを構成する2つの導体パターン群PGの情報(導体パターン群PG1,PG2を特定する情報)、およびこの一対の導体パターン群PG1,PG2についての容量値C1とを読み出す。   Next, the processing unit 9 performs an insulation inspection process for a plurality of pairs of conductor pattern groups PG shown in FIG. In this insulation inspection process, the processing unit 9 performs processing for one pair of conductor pattern groups PG selected as the first inspection target from among a plurality of pairs of conductor pattern groups PG stored in the memory as shown in FIG. (Information on the two conductor pattern groups PG constituting the pair of conductor pattern groups PG and the capacitance value C for the pair of conductor pattern groups PG) are read out. In this example, as an example, a pair of conductor pattern groups PG are to be inspected in the order of numbers shown in FIG. Thereby, the processing unit 9 firstly has information on the two conductor pattern groups PG constituting the pair of conductor pattern groups PG (information specifying the conductor pattern groups PG1, PG2), and the pair of conductor pattern groups PG1, PG2. The capacitance value C1 is read out.

続いて、処理部9は、検査対象とする一対の導体パターン群PGを構成する2つの導体パターン群PGをそれぞれ構成する導体パターン(構成導体パターン)Pを、図3に示す導体パターン群PGについての情報を参照して特定する。この場合、2つの導体パターン群PGは、導体パターン群PG1,PG2であるため、処理部9は、図3を参照することにより、一方の導体パターン群PG1は、導体パターンP1で構成され、他方の導体パターン群PG2は、導体パターンP2で構成されていることを特定する。   Subsequently, the processing unit 9 converts the conductor patterns (constituting conductor patterns) P constituting the two conductor pattern groups PG constituting the pair of conductor pattern groups PG to be inspected into the conductor pattern group PG shown in FIG. Identify by referring to the information. In this case, since the two conductor pattern groups PG are the conductor pattern groups PG1 and PG2, the processing unit 9 refers to FIG. 3 so that one conductor pattern group PG1 is constituted by the conductor pattern P1, and the other It is specified that the conductor pattern group PG2 is composed of the conductor pattern P2.

次いで、処理部9は、スイッチ部7に対する制御を実行することにより、検査対象とする一対の導体パターン群PGのうちの一方の導体パターン群PG(一方の導体パターン群PGを構成する各導体パターンP)を電源部4の出力端子4aに接続すると共に、電圧検出部5の入力端子5aに接続する。また、処理部9は、スイッチ部7に対する制御を実行することにより、この一対の導体パターン群PGのうちの他方の導体パターン群PG(他方の導体パターン群PGを構成する各導体パターンP)を電流検出部6の入力端子6aに接続すると共に、電圧検出部5の入力端子5bに接続する。本例では、2つの導体パターン群PGは、導体パターン群PG1,PG2であるため、一方の導体パターン群PG(例えば、導体パターン群PG1)を構成する導体パターンP1を、電源部4の出力端子4aと電圧検出部5の入力端子5aとに接続し、他方の導体パターン群PG(例えば、導体パターン群PG2)を構成する導体パターンP2を、電流検出部6の入力端子6aと電圧検出部5の入力端子5bとに接続する。   Next, the processing unit 9 executes control on the switch unit 7 to thereby perform one conductor pattern group PG (each conductor pattern constituting one conductor pattern group PG) of the pair of conductor pattern groups PG to be inspected. P) is connected to the output terminal 4 a of the power supply unit 4 and to the input terminal 5 a of the voltage detection unit 5. In addition, the processing unit 9 executes control on the switch unit 7 to change the other conductor pattern group PG (each conductor pattern P constituting the other conductor pattern group PG) of the pair of conductor pattern groups PG. In addition to being connected to the input terminal 6 a of the current detector 6, it is connected to the input terminal 5 b of the voltage detector 5. In this example, since the two conductor pattern groups PG are the conductor pattern groups PG1 and PG2, the conductor pattern P1 constituting one conductor pattern group PG (for example, the conductor pattern group PG1) is connected to the output terminal of the power supply unit 4. 4a and the input terminal 5a of the voltage detector 5, and the conductor pattern P2 constituting the other conductor pattern group PG (for example, conductor pattern group PG2) is connected to the input terminal 6a of the current detector 6 and the voltage detector 5 To the input terminal 5b.

続いて、処理部9は、メモリから読み出した検査対象とする一対の導体パターン群PG1,PG2についての容量値C1と、メモリに記憶されている電流しきい値Ithとに基づいて、電源部4から出力させる直流電圧V1の上昇率αを算出する。   Subsequently, the processing unit 9 is based on the capacitance value C1 of the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 to be inspected read from the memory and the current threshold value Ith stored in the memory. The rate of increase α of the DC voltage V1 to be output from is calculated.

具体的には、電源部4が直流電圧V1の出力を開始した場合、直流電圧V1の電圧値は、電源部4の出力端子4aに接続されている導体パターン群PG1,PG2についての静電容量への充電に伴って上昇するが、この充電時に流れる直流電流I1はパルス状の電流になり、この直流電流I1のピーク電流値I1pは、検査対象としての一対の導体パターン群PG1,PG2についての静電容量の容量値をCとしたときに、式I1p=C×αで表される。処理部9は、このピーク電流値I1pに基づいて、この充電時における直流電流I1のピーク電流値I1pが電流しきい値Ith未満になる上昇率αを算出する。この場合、最初の検査対象としての一対の導体パターン群PG1,PG2についての静電容量の容量値はC1であるため、処理部9は、この容量値C1に基づいて上昇率αを算出する。   Specifically, when the power supply unit 4 starts to output the DC voltage V1, the voltage value of the DC voltage V1 is the capacitance of the conductor pattern groups PG1 and PG2 connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4. However, the DC current I1 flowing during the charging becomes a pulsed current, and the peak current value I1p of the DC current I1 is about the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 to be inspected. When the capacitance value of the capacitance is C, it is expressed by the formula I1p = C × α. Based on the peak current value I1p, the processing unit 9 calculates an increase rate α at which the peak current value I1p of the direct current I1 during charging is less than the current threshold value Ith. In this case, since the capacitance value of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 as the first inspection target is C1, the processing unit 9 calculates the increase rate α based on the capacitance value C1.

なお、上昇率αが小さいときには、直流電圧V1が目標電圧値Vtに達するまでの時間が長くなり、絶縁検査に要する時間が長くなる。このため、充電時における直流電流I1のピーク電流値I1pが電流しきい値Ithを超えない範囲内で、上昇率αをできる限り大きくするのが好ましい。   When the rate of increase α is small, the time until the DC voltage V1 reaches the target voltage value Vt becomes longer, and the time required for the insulation test becomes longer. For this reason, it is preferable to increase the increase rate α as much as possible within a range where the peak current value I1p of the direct current I1 during charging does not exceed the current threshold value Ith.

次いで、処理部9は、電源部4に対して、算出した上昇率αでの直流電圧V1の出力を開始させて、直流電圧V1を目標電圧値Vtまで上昇させる(検査用電圧V2を規定の直流電圧値まで上昇させる)。これにより、電源部4の出力端子4aから、スイッチ部7、プローブユニット3、プローブピン11、一対の導体パターン群PGのうちの一方の導体パターン群PG1、他方の導体パターン群PG2、プローブピン11、プローブユニット3、スイッチ部7および電流検出部6を経由して基準電位Gに至る上記の電流経路内に直流電流I1が流れる。電流検出部6は、この直流電流I1を検出し、その波形データDiをスパーク検出部8および処理部9に出力する。   Next, the processing unit 9 starts the output of the DC voltage V1 at the calculated rate of increase α to the power supply unit 4 to increase the DC voltage V1 to the target voltage value Vt (the inspection voltage V2 is set to a specified value). Increase to DC voltage). Thus, from the output terminal 4a of the power supply unit 4, the switch unit 7, the probe unit 3, the probe pin 11, one conductor pattern group PG1 of the pair of conductor pattern groups PG, the other conductor pattern group PG2, and the probe pin 11 The DC current I1 flows in the current path that reaches the reference potential G via the probe unit 3, the switch unit 7, and the current detection unit 6. The current detector 6 detects the direct current I1 and outputs the waveform data Di to the spark detector 8 and the processor 9.

直流電圧V1が目標電圧値Vtに達した状態(直流電流I1の電流値は通常極めて小さいため、検査用電圧V2が目標電圧値Vtと略等しい規定の直流電圧値に達した状態)において、処理部9は、電圧検出部5から出力されている波形データDvと、電流検出部6から出力されている波形データDiとを取得して、波形データDvに基づいて一対の導体パターン群PG1,PG2間に供給されている検査用電圧V2の電圧値を算出すると共に、波形データDiに基づいて一対の導体パターン群PG1,PG2間に流れている直流電流I1の電流値を算出する。また、処理部9は、算出した検査用電圧V2の規定の直流電圧値(直流電圧V1が目標電圧値Vtのときの電圧値)と直流電流I1の電流値とに基づいて、一対の導体パターン群PG1,PG2間の抵抗値(この場合、絶縁抵抗値)Rmを算出すると共に、メモリに記憶されている抵抗しきい値Rthと比較して、算出した抵抗値Rmが抵抗しきい値Rth以上のときには、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態は良好である可能性が高いと判別し、算出した抵抗値Rmが抵抗しきい値Rth未満のときには、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態は不良であると判別する。また、処理部9は、抵抗値Rmの算出が完了した時点で、電源部4に対する制御を実行して、直流電圧V1の電圧値を目標電圧値Vtからゼロボルトに低下させる。   In the state where the DC voltage V1 has reached the target voltage value Vt (the current value of the DC current I1 is usually extremely small, the inspection voltage V2 has reached a specified DC voltage value substantially equal to the target voltage value Vt). The unit 9 acquires the waveform data Dv output from the voltage detection unit 5 and the waveform data Di output from the current detection unit 6, and based on the waveform data Dv, a pair of conductor pattern groups PG1, PG2 A voltage value of the inspection voltage V2 supplied therebetween is calculated, and a current value of the direct current I1 flowing between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is calculated based on the waveform data Di. Further, the processing unit 9 generates a pair of conductor patterns based on the specified DC voltage value (voltage value when the DC voltage V1 is the target voltage value Vt) of the calculated inspection voltage V2 and the current value of the DC current I1. The resistance value Rm between the groups PG1 and PG2 (in this case, the insulation resistance value) Rm is calculated, and compared with the resistance threshold value Rth stored in the memory, the calculated resistance value Rm is equal to or greater than the resistance threshold value Rth. In this case, it is determined that there is a high possibility that the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is good. When the calculated resistance value Rm is less than the resistance threshold value Rth, the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 It is determined that the insulation state between them is defective. In addition, when the calculation of the resistance value Rm is completed, the processing unit 9 executes control on the power supply unit 4 to reduce the voltage value of the DC voltage V1 from the target voltage value Vt to zero volts.

また、処理部9は、電源部4による直流電圧V1の出力の開始直後から、抵抗値Rmに基づく絶縁状態の判別が完了するまでの間において、スパーク検出部8から検出信号S1が出力されるか否かを検出することにより、検出信号S1の出力を検出したときには、一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生したことを検出し、検出信号S1の出力を検出しないときには、一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生していなかったことを検出する。   The processing unit 9 outputs the detection signal S1 from the spark detection unit 8 immediately after the start of the output of the DC voltage V1 by the power supply unit 4 until the determination of the insulation state based on the resistance value Rm is completed. By detecting whether or not the output of the detection signal S1 is detected, it is detected that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2, and when the output of the detection signal S1 is not detected, It is detected that no spark has occurred between the conductor pattern groups PG1 and PG2.

この場合、一対の導体パターン群PG1,PG2間への検査用電圧V2の印加に起因して、この検査用電圧V2の上昇途中および規定の直流電圧値に達した状態において、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態が一時的に変化するという不具合が発生することがある。例えば、一対の導体パターン群PG1,PG2の一方から他方に延びるひげ状のパターンが回路基板100に存在しているときには、検査用電圧V2の上昇途中および規定の直流電圧値に達した状態において、一対の導体パターン群PG1,PG2間の電圧が一定の電圧に達した時点で、このひげ状のパターンを介して一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生する。このスパークの発生により、ひげ状のパターンが焼き切れるため、その後の一対の導体パターン群PG1,PG2間の抵抗値Rmが抵抗しきい値Rth以上になることがあるが、スパークの発生によって回路基板100は損傷を受ける。したがって、処理部9は、検出信号S1の出力を検出したとき(つまり、スパークが発生したとき)には、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態は不良であると判別する。   In this case, due to the application of the inspection voltage V2 between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2, the pair of conductor pattern groups in the middle of the increase of the inspection voltage V2 and in a state where the specified DC voltage value is reached. There may be a problem that the insulation state between PG1 and PG2 changes temporarily. For example, when a whisker-like pattern extending from one to the other of the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is present on the circuit board 100, in the middle of the increase of the inspection voltage V2 and in a state where the specified DC voltage value is reached, When the voltage between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 reaches a constant voltage, a spark is generated between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 via the whisker-like pattern. Since the whisker-like pattern burns out due to the occurrence of this spark, the resistance value Rm between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 thereafter may be equal to or greater than the resistance threshold value Rth. 100 is damaged. Therefore, when detecting the output of the detection signal S1 (that is, when a spark is generated), the processing unit 9 determines that the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is defective.

なお、スパーク検出部8は、波形データDiで表される直流電流I1の電流値と電流しきい値Ithとを比較することでスパークの発生の有無を検出しているが、一対の導体パターン群PG1,PG2間の静電容量(容量値C1)の充電時に流れる直流電流I1のピーク電流値I1pは、直流電圧V1の上昇率αが上記のようにして算出された上昇率であるため、電流しきい値Ith未満に抑えられている。これにより、この充電時(直流電圧V1が目標電圧値Vtに達するまでの間)において、スパーク検出部8がパルス状に流れる直流電流I1の波形データDiに基づいて一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生したと誤って検出するという事態の発生が回避されている。したがって、処理部9は、スパーク検出部8からの検出信号S1の有無に基づいて、一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生したか否かを正確に検出することが可能になっている。   The spark detection unit 8 detects the occurrence of spark by comparing the current value of the direct current I1 represented by the waveform data Di and the current threshold value Ith, but a pair of conductor pattern groups The peak current value I1p of the direct current I1 that flows during charging of the capacitance (capacitance value C1) between PG1 and PG2 is the increase rate that the increase rate α of the DC voltage V1 is calculated as described above. It is suppressed below the threshold value Ith. As a result, during this charging (until the DC voltage V1 reaches the target voltage value Vt), the pair of conductor pattern groups PG1, PG2 based on the waveform data Di of the DC current I1 in which the spark detector 8 flows in a pulsed manner. Occurrence of an accidental detection that a spark has occurred in the meantime is avoided. Accordingly, the processing unit 9 can accurately detect whether or not a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 based on the presence or absence of the detection signal S1 from the spark detection unit 8. Yes.

続いて、処理部9は、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態についての、抵抗値Rmに基づく上記の判別結果と、スパークの発生の有無に基づく上記の判別結果とに基づいて、算出した抵抗値Rmが抵抗しきい値Rth以上のときであって、かつ一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークは発生していないと判別したときに、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態は良好であると判別する。一方、処理部9は、算出した抵抗値Rmが抵抗しきい値Rth未満であったり、また一対の導体パターン群PG1,PG2間にスパークが発生したことを検出したときには、一対の導体パターン群PG1,PG2間の絶縁状態は不良であると判別する。処理部9は、この判別結果を一対の導体パターン群PG1,PG2に関連付けてメモリに記憶する。これにより、1つの一対の導体パターン群PG1,PG2間についての絶縁検査処理が完了する。   Subsequently, the processing unit 9 is based on the above determination result based on the resistance value Rm and the above determination result based on the presence or absence of occurrence of sparks for the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2. When the calculated resistance value Rm is greater than or equal to the resistance threshold value Rth and when it is determined that no spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2, the distance between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 It is determined that the insulation state is good. On the other hand, when the processing unit 9 detects that the calculated resistance value Rm is less than the resistance threshold value Rth or that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2, the pair of conductor pattern groups PG1. , PG2 is determined to be defective. The processing unit 9 stores the determination result in the memory in association with the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2. Thereby, the insulation inspection process between one pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is completed.

その後、処理部9は、図4に示す一対の導体パターン群PGのうちの残りの一対の導体パターン群PGを、一対の導体パターン群PG2,PG3、一対の導体パターン群PG2,PG4、・・・というように検査対象として順次選択しつつ、図3を参照して、選択した一対の導体パターン群PGの各導体パターンPを特定すると共に、この一対の導体パターン群PGうちの一方の導体パターン群PGを構成する各導体パターンPを電源部4の出力端子4aと電圧検出部5の入力端子5aとに接続し、かつ他方の導体パターン群PGを構成する各導体パターンPを電流検出部6の入力端子6aと電圧検出部5の入力端子5bとに接続して、上記した一対の導体パターン群PG1,PG2を検査対象としたときと同様にして、検査対象とした一対の導体パターン群PGに対する絶縁検査処理を実行する。   Thereafter, the processing unit 9 converts the remaining pair of conductor pattern groups PG of the pair of conductor pattern groups PG shown in FIG. 4 into a pair of conductor pattern groups PG2, PG3, a pair of conductor pattern groups PG2, PG4,. In this manner, while sequentially selecting as inspection targets, each conductor pattern P of the selected pair of conductor pattern groups PG is specified with reference to FIG. 3, and one conductor pattern of the pair of conductor pattern groups PG is specified. Each conductor pattern P constituting the group PG is connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 and the input terminal 5a of the voltage detection unit 5 and each conductor pattern P constituting the other conductor pattern group PG is connected to the current detection unit 6. A pair of test objects connected to the input terminal 6a and the input terminal 5b of the voltage detection unit 5 in the same manner as when the pair of conductor pattern groups PG1 and PG2 is set as the test target. Executing the insulation test process for the conductive pattern group PG.

この場合、処理部9は、検査対象とする一対の導体パターン群PGを新たに選択する都度、検査対象とした一対の導体パターン群PGについての容量値C2(C3,C4,C5)に基づいて、一対の導体パターン群PG間の静電容量を充電する(直流電圧V1をゼロボルトから目標電圧値Vtに上昇させる)際の直流電圧V1の上昇率αを上記のようにして算出すると共に、電源部4に対してこの上昇率αで直流電圧V1を上昇させる。これにより、この直流電圧V1の上昇率αは、一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cが大きくなるに従い低下するように処理部9によって制御される。   In this case, each time the processing unit 9 newly selects a pair of conductor pattern groups PG to be inspected, based on the capacitance value C2 (C3, C4, C5) for the pair of conductor pattern groups PG to be inspected. And calculating the rate of increase α of the DC voltage V1 when charging the capacitance between the pair of conductor pattern groups PG (increasing the DC voltage V1 from zero volts to the target voltage value Vt) as described above, The DC voltage V1 is increased with respect to the portion 4 at the increase rate α. Thus, the increase rate α of the DC voltage V1 is controlled by the processing unit 9 so as to decrease as the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG increases.

以上のようにして、図4に示すすべての一対の導体パターン群PGに対する絶縁検査処理が完了したときに、処理部9は、出力処理を実行して、各一対の導体パターン群PGについての絶縁状態の検査結果(絶縁検査処理の結果)を出力部10に出力させる。これにより、回路基板100の検査が完了する。   As described above, when the insulation inspection process for all the pair of conductor pattern groups PG shown in FIG. 4 is completed, the processing unit 9 executes the output process to insulate each pair of conductor pattern groups PG. The state inspection result (insulation inspection processing result) is output to the output unit 10. Thereby, the inspection of the circuit board 100 is completed.

この絶縁検査装置1では、上記したように、処理部9が、検査対象として選択されて電源部4の出力端子4aに接続される一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cに基づき、この容量値Cが大きくなるに従い直流電圧V1の上昇率αを低下させる制御を電源部4に対して実行する。   In this insulation inspection apparatus 1, as described above, the processing unit 9 sets the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG selected as the inspection target and connected to the output terminal 4 a of the power supply unit 4. Based on this, as the capacitance value C increases, the power supply unit 4 is controlled to decrease the rate of increase α of the DC voltage V1.

したがって、この絶縁検査装置1によれば、直流電圧V1をゼロボルトから目標電圧値Vtに達するまで上昇させて、検査用電圧V2を規定の直流電圧値まで上昇させる(一対の導体パターン群PG間の静電容量を充電させる)際に、一対の導体パターン群PG間の静電容量にパルス状に流れる直流電流I1の電流値が電流しきい値Ith以上になることを確実に防止することができる。これにより、直流電流I1の電流値とこの電流しきい値Ithとに基づいて一対の導体パターン群PG間でのスパークの有無を検出するスパーク検出部8が、このパルス状に流れる直流電流I1に基づいて一対の導体パターン群PG間でスパークが発生したと誤って検出する事態を回避しつつ、一対の導体パターン群PG間でのスパークの有無を正確に検出して検出信号S1を出力することができる。したがって、この絶縁検査装置1によれば、処理部9が、算出した一対の導体パターン群PG間の抵抗値Rmと検出信号S1の有無とに基づいて、検査対象としている一対の導体パターン群PG間の絶縁状態を正確に検査することができる。   Therefore, according to the insulation inspection apparatus 1, the DC voltage V1 is increased from zero volts until the target voltage value Vt is reached, and the inspection voltage V2 is increased to a specified DC voltage value (between a pair of conductor pattern groups PG). When charging the electrostatic capacity), it is possible to reliably prevent the current value of the direct current I1 flowing in a pulsed manner from the pair of conductor pattern groups PG from exceeding the current threshold value Ith. . As a result, the spark detection unit 8 that detects the presence or absence of a spark between the pair of conductor pattern groups PG based on the current value of the DC current I1 and the current threshold value Ith generates the pulsed DC current I1. The detection signal S1 is output by accurately detecting the presence / absence of a spark between the pair of conductor pattern groups PG while avoiding an erroneous detection that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG. Can do. Therefore, according to the insulation inspection apparatus 1, the processing unit 9 performs a pair of conductor pattern groups PG to be inspected based on the calculated resistance value Rm between the pair of conductor pattern groups PG and the presence / absence of the detection signal S1. It is possible to accurately inspect the insulation state between them.

なお、絶縁検査装置1では、検査対象とする一対の導体パターン群PG間の静電容量の容量値Cを実験などで予め求めて、図4に示すように、各一対の導体パターン群PGに対応させてメモリに記憶させる構成を採用しているが、図1において破線で示すように、電源部4の出力端子4aと基準電位Gとの間の静電容量を測定する容量測定部21を配設して、電源部4の出力端子4aに接続する一対の導体パターン群PGを新たに選択する(検査対象とする一対の導体パターン群PGを変更する)都度、この出力端子4aに新たに接続された一対の導体パターン群PG間の静電容量の容量値Cを測定して処理部9に出力する構成を採用することもできる。   In the insulation inspection apparatus 1, the capacitance value C of the capacitance between the pair of conductor pattern groups PG to be inspected is obtained in advance by experiments or the like, and as shown in FIG. A configuration in which the data is stored in the memory in correspondence is adopted, but as shown by a broken line in FIG. 1, a capacitance measuring unit 21 that measures the capacitance between the output terminal 4 a of the power supply unit 4 and the reference potential G is provided. Each time a pair of conductor pattern groups PG are newly selected and connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4 (a pair of conductor pattern groups PG to be inspected is changed), a new one is added to the output terminal 4a. A configuration in which the capacitance value C of the capacitance between the pair of connected conductor pattern groups PG is measured and output to the processing unit 9 may be employed.

この構成を採用した絶縁検査装置では、処理部9が、電源部4の出力端子4aに実際に接続されている一対の導体パターン群PGの静電容量の容量値Cに基づいて、直流電圧V1の適切な上昇率α、すなわち、出力端子4aに接続されている静電容量を充電する際に流れるパルス状の直流電流I1の電流値を電流しきい値Ith未満に確実に抑制できる範囲内で、できる限り高い上昇率αを算出することができる。したがって、この絶縁検査装置によれば、一対の導体パターン群PG間でスパークが発生したとスパーク検出部8が誤って検出する事態の発生をより確実に回避しつつ、直流電圧V1を目標電圧値Vt(結果として、検査用電圧V2を規定の直流電圧値)に一層短時間で上昇させることができるため、一対の導体パターン群PG間の絶縁状態をより正確に検査しつつ、絶縁検査に要する時間を短縮することができる。   In the insulation inspection apparatus adopting this configuration, the processing unit 9 is based on the capacitance value C of the capacitance of the pair of conductor pattern groups PG actually connected to the output terminal 4a of the power supply unit 4, and the DC voltage V1. In the range in which the current value of the pulsed direct current I1 that flows when charging the capacitance connected to the output terminal 4a can be reliably suppressed below the current threshold Ith. It is possible to calculate an increase rate α that is as high as possible. Therefore, according to this insulation inspection apparatus, the DC voltage V1 is set to the target voltage value while more reliably avoiding the occurrence of a situation in which the spark detection unit 8 erroneously detects that a spark has occurred between the pair of conductor pattern groups PG. Since Vt (as a result, the inspection voltage V2 can be increased to a prescribed DC voltage value) in a shorter time, it is necessary for the insulation inspection while more accurately inspecting the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG. Time can be shortened.

また、一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cは、上記したように、回路基板100において2つの導体パターン群PG間に形成される静電容量の容量値と、プローブユニット3の各プローブピン11とスイッチ部7とを接続するケーブル間に形成される浮遊容量の容量値との合計容量値である。また、検査対象として選択する一対の導体パターン群PGを変えた場合に、浮遊容量の容量値はそれ程変化しないのに対して、一対の導体パターン群PGの静電容量の容量値Cは、一対の導体パターン群PGを構成する導体パターンPの数が増加するのに伴って増加する傾向がある。このため、一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cは、一対の導体パターン群PGを構成する導体パターンPの数が増加するのに伴って増加する。また、一対の導体パターン群PGを構成する導体パターンPの数が増加した場合には、この導体パターンPの数の増加に伴い、この導体パターンPに接触させるプローブピン11の本数も増加する。   Further, the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG is equal to the capacitance value of the capacitance formed between the two conductor pattern groups PG in the circuit board 100 and the probe unit 3 as described above. The total capacitance value of the stray capacitance formed between the cables connecting the probe pins 11 and the switch unit 7. Further, when the pair of conductor pattern groups PG selected as the inspection target is changed, the capacitance value of the stray capacitance does not change so much, whereas the capacitance value C of the capacitance of the pair of conductor pattern groups PG is a pair. As the number of conductor patterns P constituting the conductor pattern group PG increases, the number tends to increase. For this reason, the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG increases as the number of conductor patterns P constituting the pair of conductor pattern groups PG increases. Further, when the number of conductor patterns P constituting a pair of conductor pattern groups PG increases, the number of probe pins 11 brought into contact with the conductor patterns P increases as the number of conductor patterns P increases.

これにより、上記した一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cに基づいて直流電圧V1の上昇率αを制御する構成に代えて、一対の導体パターン群PGを構成する導体パターンPの数(すなわち、一対の導体パターン群PGを構成する導体パターンPに接触させるプローブピン11の本数)に基づいて、この数(本数)が多くなるに従い上昇率αを低下させる制御を電源部4に対して実行する構成を採用することもできる。   Thereby, instead of the configuration in which the rate of increase α of the DC voltage V1 is controlled based on the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG described above, the conductor pattern P that configures the pair of conductor pattern groups PG. (Ie, the number of probe pins 11 brought into contact with the conductor pattern P constituting the pair of conductor pattern groups PG), the power supply unit 4 controls the power supply unit 4 to reduce the increase rate α as the number (number) increases. It is also possible to adopt a configuration that executes the above.

この構成を採用した絶縁検査装置によれば、上記の2つの実施の形態と比較して、処理部9が一対の導体パターン群PGの静電容量の正確な容量値Cを取得できない分だけ、余裕を見て上昇率αを低めに設定することから、直流電圧V1を目標電圧値Vtにまで上昇させるに要する時間が若干長くなり、この結果として絶縁検査に要する時間も若干は長くなる。しかしながら、この絶縁検査装置においても、上記の2つの実施の形態と同様にして、スパーク検出部8において一対の導体パターン群PG間でのスパークの発生を正確に検出することができるため、処理部9が、算出した一対の導体パターン群PG間の抵抗値Rmと検出信号S1の有無とに基づいて、検査対象としている一対の導体パターン群PG間の絶縁状態を正確に検査することができる。また、この絶縁検査装置によれば、一対の導体パターン群PGについての静電容量の容量値Cを予め測定したり、容量測定部21を設けて容量値Cを測定したりする必要がないため、実験等による容量値Cの測定の手間を省いたり、装置構成の複雑化を回避したりすることができる。   According to the insulation inspection apparatus adopting this configuration, as compared with the above two embodiments, the processing unit 9 cannot acquire the accurate capacitance value C of the capacitance of the pair of conductor pattern groups PG. Since the increase rate α is set low with a margin, the time required to raise the DC voltage V1 to the target voltage value Vt is slightly longer, and as a result, the time required for the insulation test is also slightly longer. However, also in this insulation inspection apparatus, since the spark detection unit 8 can accurately detect the occurrence of a spark between the pair of conductor pattern groups PG, similarly to the above two embodiments, the processing unit 9 can accurately inspect the insulation state between the pair of conductor pattern groups PG to be inspected based on the calculated resistance value Rm between the pair of conductor pattern groups PG and the presence or absence of the detection signal S1. Further, according to this insulation inspection apparatus, it is not necessary to measure the capacitance value C of the capacitance for the pair of conductor pattern groups PG in advance or to measure the capacitance value C by providing the capacitance measuring unit 21. Thus, it is possible to save the trouble of measuring the capacitance value C by experiment or the like, or to avoid complication of the apparatus configuration.

また、上記の例では、スパーク検出部8を処理部9と別体に配設する構成を採用しているが、処理部9がスパーク検出部8としても機能する構成を採用することもできる。また、上記の例では、電圧検出部5を用いて検査対象としての一対の導体パターン群PG間に実際に供給される検査用電圧V2を検出し、この検査用電圧V2を使用して抵抗値Rmを算出する好ましい構成を採用しているが、検査用電圧V2は電源部4が出力する直流電圧V1とほぼ等しいため、直流電圧V1を使用して抵抗値Rmを算出する簡易な構成を採用することもできる。また、上記の例では、回路基板100に形成された導体パターンPを検査対象としているが、検査対象はこれに限定されるものではなく、電気機器の導体部を検査対象とすることができるのは勿論である。   In the above example, a configuration in which the spark detection unit 8 is disposed separately from the processing unit 9 is employed, but a configuration in which the processing unit 9 also functions as the spark detection unit 8 can be employed. In the above example, the voltage detector 5 is used to detect the inspection voltage V2 that is actually supplied between the pair of conductor pattern groups PG to be inspected, and the resistance value is determined using the inspection voltage V2. Although a preferred configuration for calculating Rm is adopted, since the inspection voltage V2 is substantially equal to the DC voltage V1 output from the power supply unit 4, a simple configuration is used in which the resistance value Rm is calculated using the DC voltage V1. You can also In the above example, the conductor pattern P formed on the circuit board 100 is an inspection target. However, the inspection target is not limited to this, and the conductor portion of the electrical device can be the inspection target. Of course.

1 絶縁検査装置
4 電源部
4a 出力端子
6 電流検出部
7 スイッチ部
8 スパーク検出部
9 処理部
11 プローブピン
21 容量測定部
I1 直流電流
P 導体パターン
PG 導体パターン群
S1 検出信号
V1 直流電圧
Vt 目標電圧値
α 上昇率
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulation inspection apparatus 4 Power supply part 4a Output terminal 6 Current detection part 7 Switch part 8 Spark detection part 9 Processing part 11 Probe pin 21 Capacitance measurement part I1 DC current P Conductor pattern PG Conductor pattern group S1 Detection signal V1 DC voltage Vt Target voltage Value α rate of increase

Claims (4)

直流電圧を出力端子から検査対象に出力することによって当該検査対象に規定の直流電圧値の検査用電圧を供給する電源部と、前記検査用電圧の供給時に前記検査対象に流れる直流電流を検出する電流検出部と、前記検査用電圧の供給時に前記検査対象にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、前記規定の直流電圧値および検出された前記直流電流の電流値に基づいて前記検査対象の抵抗値を測定すると共に測定した当該抵抗値および前記スパーク検出部での前記スパークの検出の有無に基づいて当該検査対象の絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備え、
前記処理部は、前記規定の直流電圧値に達するまでの前記直流電圧の上昇率を前記出力端子に接続されている静電容量の容量値が大きくなるに従い低下させる制御を前記電源部に対して実行することにより、前記直流電圧の供給開始時において前記静電容量を充電する前記直流電流の前記電流値を予め規定された電流しきい値未満に抑制する絶縁検査装置。
A power supply unit that supplies an inspection voltage having a specified DC voltage value to the inspection object by outputting a DC voltage from the output terminal to the inspection object, and detects a direct current that flows through the inspection object when the inspection voltage is supplied Based on a current detection unit, a spark detection unit that detects whether or not a spark has occurred in the inspection target when the inspection voltage is supplied, and the specified DC voltage value and the detected current value of the DC current A processing unit that measures the resistance value of the inspection object and performs an insulation inspection process that inspects the insulation state of the inspection object based on the measured resistance value and the presence or absence of detection of the spark by the spark detection unit; Prepared,
The processing unit controls the power supply unit to reduce the rate of increase of the DC voltage until the specified DC voltage value is reached as the capacitance value of the capacitance connected to the output terminal increases. An insulation inspection apparatus that suppresses the current value of the DC current that charges the capacitance at a start of supply of the DC voltage to less than a predetermined current threshold value when executed.
回路基板に形成されている複数の導体パターンに規定された複数の検査ポイントに同時に接触させられる複数のプローブピンと、
前記複数の導体パターンのうちから前記検査対象として選択された一対の導体パターン群を当該一対の導体パターン群間に前記検査用電圧を供給可能に前記電源部の前記出力端子に接続すると共に、前記直流電流の電流経路内に前記電流検出部を接続するスイッチ部とを備え、
前記処理部は、前記検査対象として選択されて前記出力端子に接続される前記一対の導体パターン群間の静電容量の容量値を前記容量値として前記上昇率についての前記制御を前記電源部に対して実行し、前記絶縁検査処理において、前記一対の導体パターン群間の抵抗値を前記抵抗値として測定する請求項1記載の絶縁検査装置。
A plurality of probe pins that are simultaneously brought into contact with a plurality of inspection points defined in a plurality of conductor patterns formed on the circuit board;
A pair of conductor pattern groups selected as the inspection target from among the plurality of conductor patterns are connected to the output terminal of the power supply unit so that the inspection voltage can be supplied between the pair of conductor pattern groups, and A switch unit for connecting the current detection unit in the current path of the direct current,
The processing unit controls the power supply unit to control the increase rate with the capacitance value of the capacitance between the pair of conductor pattern groups selected as the inspection target and connected to the output terminal as the capacitance value. The insulation inspection apparatus according to claim 1, wherein the insulation inspection apparatus performs the insulation inspection process and measures a resistance value between the pair of conductor pattern groups as the resistance value in the insulation inspection process.
前記出力端子に接続されている前記静電容量の前記容量値を測定する容量測定部を備え、
前記処理部は、前記一対の導体パターン群が新たに選択される都度、前記容量測定部に対して前記容量値を測定させる請求項2記載の絶縁検査装置。
A capacitance measuring unit for measuring the capacitance value of the capacitance connected to the output terminal;
The insulation inspection apparatus according to claim 2, wherein the processing unit causes the capacitance measuring unit to measure the capacitance value each time the pair of conductor pattern groups is newly selected.
前記処理部は、前記一対の導体パターン群が新たに選択される都度、当該一対の導体パターン群に接触させられている前記プローブピンの本数を検出すると共に、検出した当該本数が多くなるに従い前記静電容量の前記容量値が大きくなっているとして前記上昇率についての前記制御を前記電源部に対して実行する請求項2記載の絶縁検査装置。   The processing unit detects the number of the probe pins that are in contact with the pair of conductor pattern groups each time the pair of conductor pattern groups is newly selected, and as the detected number increases, The insulation inspection apparatus according to claim 2, wherein the control for the rate of increase is performed on the power supply unit on the assumption that the capacitance value of the capacitance is large.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109307826A (en) * 2017-07-27 2019-02-05 日本电产理德股份有限公司 Insulation inspecting device and insulation inspecting method
CN110361056A (en) * 2019-08-22 2019-10-22 中车青岛四方车辆研究所有限公司 Super capacitor comprehensive parameters detection system
KR20210127874A (en) * 2020-04-15 2021-10-25 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 Inspection device and inspection method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52101083A (en) * 1976-02-20 1977-08-24 Nippon Seimitsu Keisoku Kk Nonndestructive insulation testing method
JP3546046B2 (en) * 2001-09-26 2004-07-21 日本電産リード株式会社 Circuit board insulation inspection apparatus and insulation inspection method
US20060038573A1 (en) * 2004-05-04 2006-02-23 Sarkozi Janos G Low current ac partial discharge diagnostic system for wiring diagnostics
JP2009109379A (en) * 2007-10-31 2009-05-21 Hioki Ee Corp Insulation inspecting apparatus
JP2010286451A (en) * 2009-06-15 2010-12-24 Hioki Ee Corp Measuring device and measurement method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52101083A (en) * 1976-02-20 1977-08-24 Nippon Seimitsu Keisoku Kk Nonndestructive insulation testing method
JP3546046B2 (en) * 2001-09-26 2004-07-21 日本電産リード株式会社 Circuit board insulation inspection apparatus and insulation inspection method
US20060038573A1 (en) * 2004-05-04 2006-02-23 Sarkozi Janos G Low current ac partial discharge diagnostic system for wiring diagnostics
JP2009109379A (en) * 2007-10-31 2009-05-21 Hioki Ee Corp Insulation inspecting apparatus
JP2010286451A (en) * 2009-06-15 2010-12-24 Hioki Ee Corp Measuring device and measurement method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109307826A (en) * 2017-07-27 2019-02-05 日本电产理德股份有限公司 Insulation inspecting device and insulation inspecting method
KR20190013483A (en) 2017-07-27 2019-02-11 니혼덴산리드가부시키가이샤 Insulation checking device and insulation checking method
CN110361056A (en) * 2019-08-22 2019-10-22 中车青岛四方车辆研究所有限公司 Super capacitor comprehensive parameters detection system
KR20210127874A (en) * 2020-04-15 2021-10-25 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 Inspection device and inspection method
KR102648218B1 (en) * 2020-04-15 2024-03-18 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 Inspection device and inspection method

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