KR102648218B1 - Inspection device and inspection method - Google Patents

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Abstract

전기 케이블에 기생 용량이 있는 경우라도, 회로 패턴 간의 절연 상태를 정밀도 좋게 검사할 수 있는 검사 장치, 및 검사 방법을 제공한다. 검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블과, 상기 전기 케이블의 기생 용량을 캔슬하는 캔슬부와, 상기 전기 케이블을 통해 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 상기 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 상기 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨, 또는 상기 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 판정하는 판정부를 구비한다.Provided is an inspection device and an inspection method that can inspect the insulation state between circuit patterns with high precision even when an electric cable has parasitic capacitance. The circuit pattern obtained by applying an inspection voltage between an electric cable connecting a printed circuit board to be inspected and an inspection device, a cancellation unit that cancels parasitic capacitance of the electric cable, and a circuit pattern of the printed circuit board through the electric cable. It is provided with a determination unit that determines whether the insulation state between the circuit patterns is good or bad, or whether a spark occurs between the circuit patterns, based on the voltage value between the circuit patterns or the current value flowing between the circuit patterns.

Description

검사 장치 및 검사 방법{INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD}Inspection device and inspection method {INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD}

본 발명은, 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection device and an inspection method.

종래, 복수의 배선 패턴을 갖는 프린트 기판에 있어서, 각 배선 패턴에 대하여 다른 배선 패턴과의 절연 상태의 좋고 나쁨(충분한 절연성이 확보되어 있는지 여부)의 판정을 절연 검사 장치로 행함으로써, 프린트 기판이 양품인지 여부를 검사하는 절연 검사가 행해지고 있다(예를 들어, 특허문헌 1).Conventionally, in a printed board having a plurality of wiring patterns, the good or bad state of insulation of each wiring pattern from other wiring patterns (whether or not sufficient insulation is secured) is determined by an insulation inspection device, so that the printed board Insulation inspection is performed to check whether the product is a good product (for example, patent document 1).

특허문헌 1에서는, 프린트 기판에 있어서의 회로 패턴 간에 전압을 인가함으로써, 회로 패턴 간의 절연 상태를 검사한다. 즉, 한쪽의 회로 패턴에 전압을 인가하고, 다른 쪽의 회로 패턴을 흐르는 전류를 검사함으로써, 한쪽의 회로 패턴과 다른 쪽의 회로 패턴의 절연 상태를 검사한다. 이와 같은 절연 검사 장치에서는, 예를 들어 전기 케이블의 선단에 마련된 검사 프로브를 통해 프린트 기판의 회로 패턴을 접속시킨다. 절연 검사 장치는, 전기 케이블과 검사 프로브를 통해 회로 패턴에 검사 전압을 인가한다. 절연 검사 장치는, 회로 패턴 간의 전압값과 전기 케이블에 흐르는 전류값으로부터 산출되는 절연 저항값에 기초하여 절연 상태가 양호한지 여부를 검사한다.In Patent Document 1, the insulation state between circuit patterns on a printed board is inspected by applying a voltage between the circuit patterns. In other words, the insulation state of one circuit pattern and the other circuit pattern is inspected by applying a voltage to one circuit pattern and inspecting the current flowing through the other circuit pattern. In such an insulation inspection device, for example, the circuit pattern of a printed board is connected through an inspection probe provided at the tip of an electric cable. The insulation test device applies a test voltage to the circuit pattern through an electric cable and test probe. The insulation inspection device checks whether the insulation is in good condition based on the insulation resistance value calculated from the voltage value between circuit patterns and the current value flowing through the electric cable.

또한, 절연 검사 장치는, 절연 검사와 동시에 스파크 검출을 행한다. 여기에서의 스파크는, 회로 패턴 간에 발생한 전위차에 의해 절연 파괴가 발생하고, 회로 패턴 간에 순간적으로 전류가 흐르는 현상이다. 절연 검사 장치는, 절연 검사의 과정에 있어서, 소정의 스파크 검출 시간에, 회로 패턴 간의 전압, 또는 회로 패턴 간을 흐르는 전류를 측정한다. 절연 검사 장치는, 회로 패턴 간의 전압이 소정값 이상 저하되는, 소위 드롭 전압이 발생한 경우, 스파크가 발생하였다고 판정한다. 또는, 절연 검사 장치는, 회로 패턴 간을 흐르는 전류가 소정값 이상 증가하는, 소위 스파크 전류가 발생한 경우, 스파크가 발생하였다고 판정한다.Additionally, the insulation inspection device performs spark detection simultaneously with the insulation inspection. Sparking here is a phenomenon in which insulation breakdown occurs due to a potential difference between circuit patterns and current flows instantaneously between circuit patterns. An insulation test device measures the voltage between circuit patterns or the current flowing between circuit patterns at a predetermined spark detection time during the insulation test process. The insulation inspection device determines that a spark has occurred when a so-called drop voltage occurs, in which the voltage between circuit patterns decreases by more than a predetermined value. Alternatively, the insulation inspection device determines that a spark has occurred when a so-called spark current occurs where the current flowing between circuit patterns increases by more than a predetermined value.

일본 특허 제5727976호 공보Japanese Patent No. 5727976 Publication

그러나, 전기 케이블의 기생 용량에 의해, 회로 패턴을 흐르는 전류값, 혹은 회로 패턴에 인가되는 전압값을 정확하게 측정할 수 없는 경우가 있었다. 이 때문에, 절연 상태가 양호한지 여부를 정밀도 좋게 검사하는 것이 곤란해진다는 문제가 있었다.However, there are cases where the current value flowing through the circuit pattern or the voltage value applied to the circuit pattern cannot be accurately measured due to the parasitic capacitance of the electric cable. For this reason, there was a problem that it became difficult to accurately inspect whether the insulation condition was good.

본 발명은, 전기 케이블에 기생 용량이 있는 경우라도, 회로 패턴 간의 절연 상태, 또는 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 정밀도 좋게 검사할 수 있는 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.The present invention provides an inspection device and an inspection method that can accurately inspect the insulation state between circuit patterns or the presence or absence of sparks between circuit patterns even when there is parasitic capacitance in an electric cable.

상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 양태는, 검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블과, 상기 전기 케이블의 기생 용량을 캔슬하는 캔슬부와, 상기 전기 케이블을 통해 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 상기 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 상기 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨, 또는 상기 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 판정하는 판정부를 구비하는 검사 장치이다.In order to solve the above-described problem, one aspect of the present invention includes an electric cable connecting a printed circuit board to be inspected and an inspection device, a cancellation unit that cancels the parasitic capacitance of the electric cable, and the electric cable through the electric cable. Based on the voltage value between the circuit patterns obtained by applying a test voltage between the circuit patterns of the printed board, or the current value flowing between the circuit patterns, whether the insulation state between the circuit patterns is good or bad, or whether sparks are generated between the circuit patterns. It is an inspection device including a determination unit that determines.

또한, 본 발명의 일 양태는, 검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블의 기생 용량을 캔슬하는 캔슬부를 구비하는 검사 장치의 검사 방법이며, 판정부가, 상기 전기 케이블을 통해 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 상기 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 상기 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨, 또는 상기 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 판정하는 검사 방법이다.Furthermore, one aspect of the present invention is an inspection method of an inspection device including a canceling unit that cancels the parasitic capacitance of an electric cable connecting a printed circuit board to be inspected and the inspection device, wherein the determination unit is configured to print the printed circuit board through the electric cable. Based on the voltage value between the circuit patterns obtained by applying a test voltage between the circuit patterns of the board, or the current value flowing between the circuit patterns, the good or bad insulation state between the circuit patterns, or the presence or absence of sparks between the circuit patterns, is determined. It is a testing method for making judgments.

본 발명에 따르면, 회로 패턴 간의 절연 상태, 또는 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 정밀도 좋게 검사할 수 있다.According to the present invention, the state of insulation between circuit patterns or the presence or absence of sparks between circuit patterns can be inspected with high precision.

도 1a, 도 1b는 제1 실시 형태의 절연 검사 시스템(1)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 2a, 도 2b, 도 2c는 제2 실시 형태의 절연 검사 시스템(1A)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 3a, 도 3b는 제3 실시 형태의 절연 검사 시스템(2)의 변형예를 나타내는 블록도이다.
도 4a, 도 4b, 도 4c는 제4 실시 형태의 절연 검사 시스템(2A)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 5는 종래의 절연 검사 시스템(500)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 6은 종래의 절연 검사 시스템(600)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
1A and 1B are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 1 of the first embodiment.
2A, 2B, and 2C are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 1A of the second embodiment.
3A and 3B are block diagrams showing a modified example of the insulation inspection system 2 of the third embodiment.
4A, 4B, and 4C are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 2A of the fourth embodiment.
Figure 5 is a block diagram showing a configuration example of a conventional insulation inspection system 500.
Figure 6 is a block diagram showing a configuration example of a conventional insulation inspection system 600.

이하, 본 발명의 실시 형태를, 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention will be described with reference to the drawings.

(종래의 절연 검사 시스템(500))(Conventional insulation inspection system (500))

우선, 종래의 절연 검사 시스템(500)에 대하여 설명한다. 도 5는, 절연 검사 시스템(500)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 절연 검사 시스템(500)은, 예를 들어 종래형 검사 장치 JS1과 프린트 기판(30)을 구비한다. 프린트 기판(30)은, 절연 검사의 검사 대상이 되는 회로 패턴이 프린트된 기판이다.First, a conventional insulation inspection system 500 will be described. FIG. 5 is a block diagram showing a configuration example of the insulation inspection system 500. The insulation inspection system 500 includes, for example, a conventional inspection device JS1 and a printed board 30. The printed board 30 is a board on which a circuit pattern to be inspected for insulation inspection is printed.

종래형 검사 장치 JS1은, 전기 케이블(110)을 통해 프린트 기판(30)의 회로 패턴(300)과 접속된다. 또한, 종래형 검사 장치 JS1은, 전기 케이블(120)을 통해 프린트 기판(30)의 회로 패턴(310)과 접속된다. 여기서, 회로 패턴(300)과 회로 패턴(310)은, 동일한 프린트 기판(30)에 프린트되어 있는 서로 다른 회로 패턴이다.The conventional inspection device JS1 is connected to the circuit pattern 300 of the printed board 30 through an electric cable 110. Additionally, the conventional inspection device JS1 is connected to the circuit pattern 310 of the printed board 30 through an electric cable 120. Here, the circuit pattern 300 and the circuit pattern 310 are different circuit patterns printed on the same printed board 30.

종래형 검사 장치 JS1은, 예를 들어 전압원 VDD와, 전류계 A1과, 저항 R1과, 전기 케이블(110)과, 전기 케이블(120)과, 전압계 V와, 전류계 A2와, 판정부(150)를 구비한다. 전압원 VDD는, 회로 패턴(300)에 소정의 검사 전압을 인가하는 전압원이며, 예를 들어 가변 전압원이다. 또한, 전압원 VDD 대신에 전류원을 구비하도록 해도 된다. 이 경우, 전류원은, 회로 패턴(300)에 소정의 전류를 공급한다.The conventional inspection device JS1 includes, for example, a voltage source VDD, an ammeter A1, a resistor R1, an electric cable 110, an electric cable 120, a voltmeter V, an ammeter A2, and a determination unit 150. Equipped with The voltage source VDD is a voltage source that applies a predetermined test voltage to the circuit pattern 300, and is, for example, a variable voltage source. Additionally, a current source may be provided instead of the voltage source VDD. In this case, the current source supplies a predetermined current to the circuit pattern 300.

전류계 A1은, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 고전위측(Highside)을 흐르는 전류를 검출한다. 저항 R1은, 전류계 A1과 회로 패턴(300) 사이의 저항이다. 전압계 V는, 회로 패턴(300)에 인가되는 전압을 검출한다. 전기 케이블(110)은, 회로 패턴(300)과, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 고전위측의 측정단(도 5의 검정색 동그라미로 기재한 개소)을 전기적으로 접속한다. 전기 케이블(120)은, 회로 패턴(310)과, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 저전위측(Lowside)의 측정단(도 5의 검정색 동그라미로 기재한 개소)을 전기적으로 접속한다. 전류계 A2는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 저전위측을 흐르는 전류를 검출한다. 또한, 프린트 기판(30)에 있는 복수의 회로 기판에 전압을 인가하는 경우, 복수의 회로 패턴과 다른 복수의 회로 패턴, 하나의 회로 패턴과 다른 복수의 회로 패턴, 복수의 회로 패턴과 다른 하나의 회로 패턴 사이에 전압을 인가하는 경우가 있다.The ammeter A1 detects the current flowing through the high potential side (Highside) in the conventional inspection device JS1. Resistance R1 is the resistance between the ammeter A1 and the circuit pattern 300. The voltmeter V detects the voltage applied to the circuit pattern 300. The electric cable 110 electrically connects the circuit pattern 300 and the high-potential side measurement end (point indicated by a black circle in FIG. 5) in the conventional inspection apparatus JS1. The electric cable 120 electrically connects the circuit pattern 310 and the low-potential side (Lowside) measurement end (point indicated by a black circle in FIG. 5) in the conventional inspection apparatus JS1. The ammeter A2 detects the current flowing through the low-potential side in the conventional inspection device JS1. In addition, when applying a voltage to a plurality of circuit boards on the printed board 30, a plurality of circuit patterns different from the plurality of circuit patterns, a plurality of circuit patterns different from one circuit pattern, or a plurality of circuit patterns different from the plurality of circuit patterns There are cases where voltage is applied between circuit patterns.

전기 케이블(110)은, 중심 도체(111)와, 실드 도체(112)를 구비한다. 중심 도체(111)는, 고전위측의 측정단과 회로 패턴(300)을 접속한다. 중심 도체(111)는 폴리에틸렌 등의 절연체에 의해 절연 피막되어 있다. 실드 도체(112)는, 중심 도체(111)를 절연 피막하고 있는 절연체를 덮도록 통 형상으로 마련된다. 실드 도체(112)는, 접지 GND에 접속(접지)된다.The electric cable 110 includes a central conductor 111 and a shield conductor 112. The central conductor 111 connects the measurement end on the high potential side and the circuit pattern 300. The central conductor 111 is insulated and coated with an insulator such as polyethylene. The shield conductor 112 is provided in a cylindrical shape to cover the insulator covering the central conductor 111 with an insulating film. The shield conductor 112 is connected (grounded) to ground GND.

전기 케이블(120)은, 중심 도체(121)와, 실드 도체(122)를 구비한다. 전기 케이블(120)에 있어서의 중심 도체(121)와, 실드 도체(122)는, 전기 케이블(110)에 있어서의 중심 도체(111)와 실드 도체(112)와 마찬가지의 구조이기 때문에, 그 설명을 생략한다. 중심 도체(121)는, 회로 패턴(310)과 저전위측의 측정단을 접속한다. 실드 도체(122)는, 접지 GND에 접속(접지)된다.The electric cable 120 includes a central conductor 121 and a shield conductor 122. Since the central conductor 121 and the shield conductor 122 in the electric cable 120 have the same structure as the central conductor 111 and the shield conductor 112 in the electric cable 110, the explanation omit. The central conductor 121 connects the circuit pattern 310 and the measurement end on the low-potential side. The shield conductor 122 is connected (grounded) to ground GND.

판정부(150)는, 컴퓨터 장치로서의 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서에 의해, 기억부에 기억된 프로그램이 실행됨으로써 실현된다. 판정부(150)는, 전압원 VDD와 접속해서 전압원 VDD를 제어하는 전압 제어 회로를 포함한다. 판정부(150)는, 전류계 A1, A2의 각각과 접속하고, 전류계 A1, A2에 의해 측정된 전류값을 취득한다. 판정부(150)는, 전압계 V와 접속하고, 전압계 V에 의해 측정된 전압값을 취득한다.The determination unit 150 is realized by executing a program stored in the storage unit by a processor such as a CPU (Central Processing Unit) in the conventional inspection device JS1 as a computer device. The determination unit 150 includes a voltage control circuit that is connected to the voltage source VDD and controls the voltage source VDD. The determination unit 150 is connected to each of the ammeters A1 and A2, and acquires the current values measured by the ammeters A1 and A2. The determination unit 150 is connected to a voltmeter V and acquires the voltage value measured by the voltmeter V.

판정부(150)는, 전기 케이블(110)을 통해 프린트 기판(30)의 회로 패턴 간(회로 패턴(300)과 회로 패턴(310) 사이)에 전압을 인가한다. 판정부(150)는, 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 검출한다. 예를 들어, 회로 패턴(300)과 회로 패턴(310)의 절연 상태가 충분한 경우, 회로 패턴(300)에 전압이 인가되어도, 회로 패턴(310)에는 거의 전류가 흐르지 않는다. 회로 패턴(300)과 회로 패턴(310)의 절연 상태가 불충분한 경우, 회로 패턴(300)에 전압이 인가되면, 회로 패턴(310)에, 절연 상태가 충분한 경우에 비해서 큰 전류가 흐른다. 이 경우, 회로 패턴 간의 절연 저항값은 절연 상태가 충분한 경우에 비해서 낮아진다. 이와 같은 성질을 이용하여, 판정부(150)는 절연 검사를 행한다.The determination unit 150 applies a voltage between circuit patterns of the printed board 30 (between the circuit patterns 300 and 310) through the electric cable 110. The determination unit 150 detects the current value flowing between circuit patterns. For example, when the insulation between the circuit pattern 300 and the circuit pattern 310 is sufficient, even if a voltage is applied to the circuit pattern 300, almost no current flows through the circuit pattern 310. When the insulation state of the circuit pattern 300 and the circuit pattern 310 is insufficient, when a voltage is applied to the circuit pattern 300, a larger current flows through the circuit pattern 310 than when the insulation state is sufficient. In this case, the insulation resistance value between circuit patterns is lower than when the insulation state is sufficient. Using these properties, the determination unit 150 performs an insulation test.

여기서, 판정부(150)는, 절연 검사의 과정에 있어서, 스파크 검출을 행한다. 판정부(150)는, 스파크가 발생할 때 생기는, 회로 패턴 간의 전압 강하, 또는 회로 패턴 간을 흐르는 전류값의 증가를 검지함으로써, 스파크 검출을 행한다. 이하의 설명에서는, 스파크 발생 시에 있어서 순간적으로 증가하는 전류값의 시계열 변화를 나타내는 파형을, 「스파크 파형」이라고 한다. 또한, 스파크 발생 시에 있어서 순간적으로 증가하는 전류값을 「스파크 전류」라고 한다. 또한, 스파크 전류의 최댓값을 「피크 전류」라고 한다.Here, the determination unit 150 performs spark detection in the process of insulation inspection. The determination unit 150 performs spark detection by detecting a voltage drop between circuit patterns or an increase in the current value flowing between circuit patterns, which occurs when a spark occurs. In the following description, the waveform representing the time series change in the current value that increases instantaneously when a spark is generated is referred to as a “spark waveform.” Additionally, the current value that increases instantaneously when a spark occurs is called “spark current.” Additionally, the maximum value of spark current is called “peak current.”

판정부(150)는, 예를 들어 회로 패턴 간에 전압을 인가한 경우에, 소정의 검출 시간에 있어서 회로 패턴 간을 흐르는 피크 전류의 전류값이 소정의 임계값 이상인지 여부를 판정한다. 검출 시간은, 전압 인가 후, 전압이 상승을 개시한 시점을 기점으로 한 소정의 시간 구간이다. 이 경우에 있어서의 전류값은, 전류계 A1, A2 중 어느 쪽에서 검출해도 된다. 또한, 판정부(150)는, 전류계 A1, A2 양쪽의 전류계의 전류값을 기초로 판정을 해도 된다.For example, when a voltage is applied between circuit patterns, the determination unit 150 determines whether the current value of the peak current flowing between circuit patterns at a predetermined detection time is greater than or equal to a predetermined threshold. The detection time is a predetermined time period starting from the point in time when the voltage starts to rise after voltage application. The current value in this case may be detected by either the ammeter A1 or A2. Additionally, the determination unit 150 may make a determination based on the current values of both the ammeters A1 and A2.

판정부(150)는, 임계값 이상의 전류가 흐른 경우, 스파크가 발생하였다고 판정한다. 한편, 판정부(150)는, 회로 패턴 간을 흐르는 전류값이 소정의 임계값 미만인 경우, 스파크가 발생하지 않았다고 판정한다. 즉, 판정부(150)는, 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 회로 패턴 간을 흐르는 전류값에 기초하여, 회로 패턴 간에 있어서의 스파크 발생의 유무를 판정한다.The determination unit 150 determines that a spark has occurred when a current exceeding the threshold value flows. Meanwhile, the determination unit 150 determines that no spark has occurred when the current value flowing between circuit patterns is less than a predetermined threshold value. That is, the determination unit 150 determines whether or not sparks are generated between circuit patterns based on the current value flowing between circuit patterns obtained by applying a test voltage between circuit patterns.

또한, 상기에서는, 판정부(150)가 회로 패턴 간을 흐르는 전류값에 기초하여 스파크 발생의 유무를 판정하는 경우를 예로 들어 설명하였다. 그러나 이에 한정되지는 않는다. 판정부(150)는, 회로 패턴 간에 인가되는 전압값(전압값의 드롭량 등)에 기초하여, 회로 패턴 간에 있어서의 스파크 발생의 유무를 판정하도록 해도 된다.In addition, in the above description, the case where the determination unit 150 determines whether or not a spark has occurred based on the current value flowing between circuit patterns was described as an example. However, it is not limited to this. The determination unit 150 may determine whether sparks are generated between circuit patterns based on the voltage value (drop amount of voltage value, etc.) applied between circuit patterns.

(종래의 절연 검사 시스템(600))(Conventional insulation inspection system (600))

다음으로, 종래의 절연 검사 시스템(600)에 대하여 설명한다. 도 6은, 종래의 절연 검사 시스템(600)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 종래의 절연 검사 시스템(600)에 있어서는, 장치와 프린트 기판(30)을 접속하는 전기 케이블이 2심(중심 도체가 2개) 케이블인 점에 있어서 절연 검사 시스템(500)과 상이하다. 이하의 설명에서는, 절연 검사 시스템(500)과 서로 다른 점에 대해서만 설명하고, 절연 검사 시스템(500)과 마찬가지의 구성에 대해서는 그 설명을 생략한다.Next, a conventional insulation inspection system 600 will be described. FIG. 6 is a block diagram showing a configuration example of a conventional insulation inspection system 600. The conventional insulation inspection system 600 differs from the insulation inspection system 500 in that the electric cable connecting the device and the printed board 30 is a two-core cable (two center conductors). In the following description, only differences from the insulation inspection system 500 will be described, and descriptions of configurations similar to the insulation inspection system 500 will be omitted.

절연 검사 시스템(600)은, 예를 들어 종래형 검사 장치 JS2와 프린트 기판(30)을 구비한다. 종래형 검사 장치 JS2는, 전기 케이블(210)을 통해 프린트 기판(30)의 회로 패턴(300, 310)과 접속된다.The insulation inspection system 600 includes, for example, a conventional inspection device JS2 and a printed board 30. The conventional inspection device JS2 is connected to the circuit patterns 300 and 310 of the printed board 30 through an electric cable 210.

종래형 검사 장치 JS2는, 예를 들어 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전기 케이블(210)과, 전압계 V와, 전류계 A4와, 판정부(250)를 구비한다. 이 중, 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전압계 V와, 전류계 A4와, 판정부(250)의 각 요소는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 전압원 VDD, 전류계 A1, 저항 R1, 전압계 V와, 전류계 A2와, 판정부(150)의 각 요소와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다.The conventional inspection device JS2 includes, for example, a voltage source VDD, an ammeter A3, a resistor R2, an electric cable 210, a voltmeter V, an ammeter A4, and a determination unit 250. Among these, the voltage source VDD, ammeter A3, resistor R2, voltmeter V, ammeter A4, and each element of the determination unit 250 are voltage source VDD, ammeter A1, resistor R1, and It is the same as each element of the voltmeter V, ammeter A2, and determination unit 150. For this reason, the explanation is omitted.

전기 케이블(210)은 2심의 케이블이다. 즉, 전기 케이블(210)은, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서의 고전위측(Highside)의 측정단(도 6의 검정색 동그라미로 기재한 개소)과, 회로 패턴(300)을 전기적으로 접속한다. 또한, 전기 케이블(210)은, 회로 패턴(310)과 종래형 검사 장치 JS2에 있어서의 저전위측(Lowside)의 측정단(도 6의 검정색 동그라미로 기재한 개소)을 전기적으로 접속한다.The electric cable 210 is a two-core cable. That is, the electric cable 210 electrically connects the circuit pattern 300 to the high-potential side measurement end (point indicated by a black circle in FIG. 6) in the conventional inspection apparatus JS2. In addition, the electric cable 210 electrically connects the circuit pattern 310 and the low-potential side (Lowside) measurement end (point indicated by a black circle in FIG. 6) of the conventional inspection device JS2.

전기 케이블(210)은, 고전위측 중심 도체(211)와, 저전위측 중심 도체(212)와, 실드 도체(213)를 구비한다. 고전위측 중심 도체(211)는, 고전위측의 측정단과 회로 패턴(300)을 접속한다. 고전위측 중심 도체(211)는, 폴리에틸렌 등의 절연체에 의해 절연 피막되어 있다. 저전위측 중심 도체(212)는, 회로 패턴(310)과 저전위측의 측정단을 접속한다. 저전위측 중심 도체(212)는, 폴리에틸렌 등의 절연체에 의해 절연 피막되어 있다. 실드 도체(213)는, 고전위측 중심 도체(211)를 절연 피막하고 있는 절연체 및 저전위측 중심 도체(212)를 절연 피막하고 있는 절연체를 함께 덮도록 통 형상으로 마련된다. 실드 도체(213)는, 예를 들어 접지 GND에 접속된다.The electric cable 210 includes a high-potential side central conductor 211, a low-potential side central conductor 212, and a shield conductor 213. The high-potential side central conductor 211 connects the high-potential side measurement end and the circuit pattern 300. The high-potential side central conductor 211 is insulated with an insulator such as polyethylene. The low-potential side central conductor 212 connects the circuit pattern 310 and the low-potential side measurement end. The low-potential side central conductor 212 is insulated with an insulator such as polyethylene. The shield conductor 213 is provided in a cylindrical shape so as to cover both the insulating film on the high-potential side central conductor 211 and the insulating film on the low-potential side central conductor 212. The shield conductor 213 is connected to ground GND, for example.

일반적으로, 전기 케이블에 있어서는, 실드 도체와 중심 도체가 근접해서 마련되어 있다. 이 때문에, 중심 도체와 실드 도체가 의도치 않은 콘덴서로서 기능하는 경우가 있다. 즉, 이 의도치 않은 콘덴서의 용량이, 전기 케이블의 기생 용량이 될 가능성이 있었다. 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 1심(중심 도체가 1개)의 전기 케이블이어도, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서의 2심의 전기 케이블이어도, 전기 케이블에 기생 용량이 발생한다는 점에 있어서는 동일하다.Generally, in an electric cable, a shield conductor and a center conductor are provided close to each other. For this reason, the center conductor and shield conductor may unintentionally function as a condenser. In other words, there was a possibility that this unintended capacitance of the condenser could become a parasitic capacitance of the electric cable. Whether it is a single-core (one center conductor) electric cable in the conventional inspection apparatus JS1 or a two-core electric cable in the conventional inspection apparatus JS2, the fact that parasitic capacitance is generated in the electric cable is the same.

도 5에 있어서, 회로 패턴 간에 검사 전압이 인가된 경우, 기생 용량 때문에, 루트 RT1 외에, 루트 RT2, RT3에 전류가 흘러버리는 것을 생각할 수 있다. 루트 RT1은, 본래 검사 시에 전류가 흐르는 것이 상정되는 경로이다. 루트 RT2는, 전기 케이블(110)의 기생 용량 KY1을 통해 중심 도체(111)로부터 실드 도체(112)로 전류가 흘러버린다고 생각되는 경로이다. 루트 RT3은, 전기 케이블(120)의 기생 용량 KY2를 통해 중심 도체(121)로부터 실드 도체(122)로 전류가 흘러버린다고 생각되는 경로이다.In Fig. 5, when a test voltage is applied between circuit patterns, it is conceivable that current flows through roots RT2 and RT3 in addition to root RT1 due to parasitic capacitance. Route RT1 is a path through which current is originally assumed to flow during inspection. Route RT2 is a path through which current is believed to flow from the central conductor 111 to the shield conductor 112 through the parasitic capacitance KY1 of the electric cable 110. Route RT3 is a path through which current is believed to flow from the central conductor 121 to the shield conductor 122 through the parasitic capacitance KY2 of the electric cable 120.

도 6에 있어서, 회로 패턴 간에 검사 전압이 인가된 경우, 루트 RT10 외에, 루트 RT11, RT12로 전류가 흘러버리는 것을 생각할 수 있다. 루트 RT10은, 본래 검사 시에 전류가 흐르는 것이 상정되는 경로이다. 루트 RT11은, 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213) 사이의 기생 용량 KY3을 통해 고전위측 중심 도체(211)로부터 실드 도체(213)로 전류가 흘러버린다고 생각되는 경로이다. 루트 RT12는, 저전위측 중심 도체(212)와 실드 도체(213) 사이의 기생 용량 KY4를 통해 저전위측 중심 도체(212)로부터 실드 도체(213)로 전류가 흘러버린다고 생각되는 경로이다.In Fig. 6, when a test voltage is applied between circuit patterns, it is possible that current flows through roots RT11 and RT12 in addition to root RT10. Route RT10 is a path through which current is originally assumed to flow during inspection. The route RT11 is a path through which the current is believed to flow from the high-potential side central conductor 211 to the shield conductor 213 through the parasitic capacitance KY3 between the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213. Route RT12 is a path through which current is believed to flow from the low-potential side central conductor 212 to the shield conductor 213 through the parasitic capacitance KY4 between the low-potential side central conductor 212 and the shield conductor 213.

이와 같이, 전기 케이블에 기생 용량이 있음으로써, 검사 시에 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 정확하게 검출하는 것이 곤란하였다. 또한, 전기 케이블에 기생 용량이 있음으로써, 전류값의 변화의 기울기가 둔화되어, 파형이 둔화되어버릴 가능성이 있었다. 이 때문에, 절연 검사에 있어서, 회로 패턴 간을 흐르는 전류가 안정될 때까지 시간이 걸리게 되어, 검사 시간이 증대되는 요인으로 되고 있었다. 또한, 스파크의 발생이 있던 경우라도 기생 용량에 스파크 파형이 묻혀버려, 순간적인 전류값의 증가가 보이지 않아 스파크의 발생을 검출할 수 없는 경우가 있었다.In this way, due to the presence of parasitic capacitance in the electric cable, it was difficult to accurately detect the current value flowing between circuit patterns during inspection. In addition, the presence of parasitic capacitance in the electric cable slowed down the slope of the change in current value, potentially slowing down the waveform. For this reason, in insulation inspection, it takes time for the current flowing between circuit patterns to stabilize, which is a factor in increasing the inspection time. Additionally, even in cases where a spark occurred, there were cases where the spark waveform was buried in the parasitic capacitance and the instantaneous increase in current value was not visible, making it impossible to detect the spark.

이 대책으로서, 본 실시 형태에서는, 전기 케이블의 기생 용량이 외관상 없어지도록 하였다. 즉, 본 실시 형태에서는, 전기 케이블의 기생 용량을 제거하도록(캔슬하도록) 하였다. 이하, 본 실시 형태에 대하여, 제1 실시 형태 내지 제4 실시 형태를 순서대로 설명한다.As a countermeasure to this, in this embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable is made to seemingly disappear. That is, in this embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable is removed (cancelled). Hereinafter, with respect to this embodiment, the first to fourth embodiments will be described in order.

(제1 실시 형태)(First Embodiment)

제1 실시 형태에 따른 절연 검사 시스템(1)에 대하여 설명한다. 도 1a, 도 1b는, 제1 실시 형태의 절연 검사 시스템(1)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 절연 검사 시스템(1)에서는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 전기 케이블(110)의 기생 용량이, 외관상 캔슬되도록 한다.The insulation inspection system 1 according to the first embodiment will be described. 1A and 1B are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 1 of the first embodiment. In the insulation inspection system 1, the parasitic capacitance of the electric cable 110 in the conventional inspection device JS1 is apparently canceled.

도 1a에 도시한 바와 같이, 절연 검사 시스템(1)은, 검사 장치(10)와 프린트 기판(30)을 구비한다. 검사 장치(10)는, 전압원 VDD와, 전류계 A1과, 저항 R1과, 전압계 V와, 접속부(100)와, 버퍼 B와, 전기 케이블(110)과, 전기 케이블(120)과, 전류계 A2와, 판정부(150)를 구비한다. 이 중, 전압원 VDD와, 전류계 A1과, 저항 R1과, 전압계 V와, 전기 케이블(120)과, 전류계 A2와, 판정부(150)의 각 요소는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서 동일한 부호를 부여한 각 요소와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다.As shown in FIG. 1A, the insulation inspection system 1 includes an inspection device 10 and a printed board 30. The inspection device 10 includes a voltage source VDD, an ammeter A1, a resistor R1, a voltmeter V, a connection portion 100, a buffer B, an electric cable 110, an electric cable 120, and an ammeter A2. , and is provided with a determination unit 150. Among these, each element of the voltage source VDD, ammeter A1, resistor R1, voltmeter V, electric cable 120, ammeter A2, and determination unit 150 has the same sign in the conventional inspection device JS1. It is the same as each given element. For this reason, the explanation is omitted.

본 실시 형태에 있어서, 전기 케이블(110)의 중심 도체(111)와 실드 도체(112)가, 버퍼 B를 개재하여 접속부(100)에 의해 접속된다. 즉, 접속부(100)는, 중심 도체(111)와 실드 도체(112)를 접속한다. 여기서, 접속부(100)는, 「캔슬부」의 일례이다.In this embodiment, the central conductor 111 and the shield conductor 112 of the electric cable 110 are connected by the connecting portion 100 via the buffer B. That is, the connection portion 100 connects the central conductor 111 and the shield conductor 112. Here, the connection unit 100 is an example of a “cancellation unit.”

이에 의해, 실드 도체(112)의 전위가, 중심 도체(111)의 전위와 동일한 전위로 된다. 이 때문에, 실드 도체(112)의 전위와, 중심 도체(111)의 전위의 전위차에 기인한 전류가 흐르는 일이 없다. 따라서, 실드 도체(112)와 중심 도체(111) 사이에 발생하는 기생 용량(부호 CM1로 나타낸 용량)을 무시할 수 있어, 기생 용량이 외관상 캔슬된다.As a result, the potential of the shield conductor 112 becomes the same as the potential of the central conductor 111. For this reason, the current resulting from the potential difference between the potential of the shield conductor 112 and the potential of the central conductor 111 does not flow. Therefore, the parasitic capacitance (capacitance indicated by symbol CM1) occurring between the shield conductor 112 and the central conductor 111 can be ignored, and the parasitic capacitance is apparently canceled.

또한, 도 1b에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(110)의 중심 도체(111)와 실드 도체(112)가, 버퍼를 개재하지 않고 직접 접속되어도 된다.Additionally, as shown in FIG. 1B, the central conductor 111 and the shield conductor 112 of the electric cable 110 may be directly connected without a buffer intervening.

전기 케이블(110)의 기생 용량이 캔슬되면, 패턴 간에 검사 전압이 인가된 경우에 있어서, 도 5에 있어서의 루트 RT2의 경로에 전류가 흐르는 일이 없다. 즉, 도 5의 종래의 시스템과 비교하여, 보다 정밀도 좋게, 검사 시에 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 검출하는 것이 가능해진다.If the parasitic capacitance of the electric cable 110 is canceled, no current flows through the path of root RT2 in FIG. 5 when the inspection voltage is applied between patterns. In other words, compared to the conventional system shown in FIG. 5, it becomes possible to detect the current value flowing between circuit patterns during inspection with greater precision.

(제2 실시 형태)(Second Embodiment)

제2 실시 형태에 따른 절연 검사 시스템(1A)에 대하여 설명한다. 도 2a, 도 2b, 도 2c는, 제2 실시 형태의 절연 검사 시스템(1A)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 절연 검사 시스템(1)에서는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서의 전기 케이블(120)의 기생 용량이, 외관상 캔슬되도록 한다.The insulation inspection system 1A according to the second embodiment will be described. 2A, 2B, and 2C are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 1A of the second embodiment. In the insulation inspection system 1, the parasitic capacitance of the electric cable 120 in the conventional inspection device JS1 is apparently canceled.

도 2a에 도시한 바와 같이, 절연 검사 시스템(1A)은, 검사 장치(10A)와 프린트 기판(30)을 구비한다. 검사 장치(10A)는, 전압원 VDD와, 전류계 A1과, 저항 R1과, 전압계 V와, 전기 케이블(110)과, 전기 케이블(120)과, 가상 접지 회로(130)와, 전류계 A20과, 판정부(150)를 구비한다. 이 중, 전압원 VDD와, 전류계 A1과, 저항 R1과, 전압계 V와, 전기 케이블(110)의 각 요소는, 종래형 검사 장치 JS1에 있어서 동일한 부호를 부여한 각 요소와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다. 전류계 A20은, 도 2a에서는, 도 5에 있어서의 전류계 A2와 다른 도형으로 나타내고 있지만, 전류계 A2와 마찬가지의 기능을 갖고, 검사 장치(10A)에 있어서의 저전위측을 흐르는 전류를 검출한다.As shown in FIG. 2A, the insulation inspection system 1A includes an inspection device 10A and a printed board 30. The inspection device 10A includes a voltage source VDD, an ammeter A1, a resistor R1, a voltmeter V, an electric cable 110, an electric cable 120, a virtual ground circuit 130, an ammeter A20, and a plate. Equipped with government (150). Among these, the elements of the voltage source VDD, ammeter A1, resistor R1, voltmeter V, and electric cable 110 are the same as the elements given the same symbols in the conventional inspection device JS1. For this reason, the explanation is omitted. Although the ammeter A20 is shown in a different diagram from the ammeter A2 in FIG. 5 in FIG. 2A, it has the same function as the ammeter A2 and detects the current flowing through the low-potential side of the inspection device 10A.

본 실시 형태에 있어서, 전기 케이블(120)의 중심 도체(121)는, 가상 접지 회로(130)와 접속된다. 가상 접지 회로(130)는, 연산 증폭기를 사용하여 구성되는 부귀환 회로이며, 연산 증폭기의 입력 단자의 전위가 동전위가 되도록 기능하는 회로이다. 가상 접지 회로(130)에 있어서, 연산 증폭기의 비반전 입력 단자(+)는, 접지 GND에 접속된다. 이에 의해, 중심 도체(121)는, 접지 GND와 동전위가 되도록 유지된다. 여기서, 가상 접지 회로(130)는 「캔슬부」의 일례이다.In this embodiment, the central conductor 121 of the electric cable 120 is connected to the virtual ground circuit 130. The virtual ground circuit 130 is a negative feedback circuit constructed using an operational amplifier, and is a circuit that functions so that the potential of the input terminal of the operational amplifier becomes the same potential. In the virtual ground circuit 130, the non-inverting input terminal (+) of the operational amplifier is connected to ground GND. As a result, the central conductor 121 is maintained at the same potential as the ground GND. Here, the virtual ground circuit 130 is an example of a “cancellation unit.”

이에 의해, 중심 도체(121)의 전위가, 실드 도체(122)의 전위와 동일한 전위로 된다. 이 때문에, 중심 도체(121)의 전위와, 실드 도체(122)의 전위의 전위차에 기인한 전류가 흐르는 일이 없다. 따라서, 중심 도체(121)와 실드 도체(122) 사이에 발생하는 기생 용량(부호 CM2로 나타낸 용량)을 무시할 수 있어, 기생 용량이 외관상 캔슬된다.As a result, the potential of the central conductor 121 becomes the same as the potential of the shield conductor 122. For this reason, the current resulting from the potential difference between the potential of the center conductor 121 and the potential of the shield conductor 122 does not flow. Therefore, the parasitic capacitance (capacitance indicated by symbol CM2) occurring between the central conductor 121 and the shield conductor 122 can be ignored, and the parasitic capacitance is apparently canceled.

전기 케이블(120)의 기생 용량이 캔슬되면, 패턴 간에 검사 전압이 인가된 경우에 있어서, 도 5에 있어서의 루트 RT3의 경로에 전류가 흐르는 일이 없다. 즉, 도 5의 종래의 시스템과 비교하여, 보다 정밀도 좋게, 검사 시에 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 검출하는 것이 가능해진다.If the parasitic capacitance of the electric cable 120 is canceled, no current flows through the path of the root RT3 in FIG. 5 when the inspection voltage is applied between patterns. In other words, compared to the conventional system shown in FIG. 5, it becomes possible to detect the current value flowing between circuit patterns during inspection with greater precision.

또한, 절연 검사 시스템(1A)에 도 1a, 도 1b에 도시한 접속부(100)가 마련되어 있어도 된다. 즉, 절연 검사 시스템(1A)은, 전기 케이블(110)의 기생 용량을 캔슬하는 접속부(100)와, 전기 케이블(120)의 기생 용량을 캔슬하는 가상 접지 회로(130)의 양쪽을 구비하는 구성이어도 된다.Additionally, the insulation inspection system 1A may be provided with the connection portion 100 shown in FIGS. 1A and 1B. That is, the insulation inspection system 1A is configured to include both a connection portion 100 that cancels the parasitic capacitance of the electric cable 110 and a virtual ground circuit 130 that cancels the parasitic capacitance of the electric cable 120. You can continue.

또한, 도 2b에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(120)의 기생 용량을 외관상 캔슬하기 위해서, 가상 접지 회로(130)를 마련하는 대신에, 제1 실시 형태의 접속부(100)와 동일한 접속부(100-1)를 저전위측에 마련해도 된다. 즉, 중심 도체(121)와 실드 도체(122)를 버퍼를 개재하여 접속하는 접속부를 마련한다. 이 접속부(100-1)도 「캔슬부」의 일례이다.In addition, as shown in FIG. 2B, in order to apparently cancel the parasitic capacitance of the electric cable 120, instead of providing the virtual ground circuit 130, the same connection portion 100 as the connection portion 100 of the first embodiment is used. -1) may be provided on the low potential side. That is, a connection portion is provided to connect the central conductor 121 and the shield conductor 122 via a buffer. This connection unit 100-1 is also an example of a “cancellation unit.”

또한, 도 2c에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(120)의 기생 용량을 외관상 캔슬하기 위해서, 중심 도체(121)와 실드 도체(122)를 버퍼를 개재하지 않고, 직접 접속하도록 해도 된다.Additionally, as shown in FIG. 2C, in order to apparently cancel the parasitic capacitance of the electric cable 120, the central conductor 121 and the shield conductor 122 may be connected directly without a buffer intervening.

(제3 실시 형태)(Third Embodiment)

제3 실시 형태에 따른 절연 검사 시스템(2)에 대하여 설명한다. 도 3a, 도 3b는, 제3 실시 형태의 절연 검사 시스템(2)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 절연 검사 시스템(2)에서는, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서의 전기 케이블(210)의 기생 용량이, 외관상 캔슬되도록 한다.The insulation inspection system 2 according to the third embodiment will be described. 3A and 3B are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 2 of the third embodiment. In the insulation inspection system 2, the parasitic capacitance of the electric cable 210 in the conventional inspection device JS2 is apparently canceled.

도 3a에 도시한 바와 같이, 절연 검사 시스템(2)은, 검사 장치(20)와 프린트 기판(30)을 구비한다. 검사 장치(20)는, 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전압계 V와, 접속부(200)와, 버퍼 B와, 전기 케이블(210)과, 전류계 A4와, 판정부(250)를 구비한다. 이 중, 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전압계 V와, 판정부(250)의 각 요소는, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서 동일한 부호를 부여한 각 요소와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다.As shown in FIG. 3A, the insulation inspection system 2 includes an inspection device 20 and a printed board 30. The inspection device 20 includes a voltage source VDD, an ammeter A3, a resistor R2, a voltmeter V, a connection unit 200, a buffer B, an electric cable 210, an ammeter A4, and a determination unit 250. Equipped with Among these, the elements of the voltage source VDD, ammeter A3, resistor R2, voltmeter V, and determination unit 250 are the same as the elements given the same symbols in the conventional inspection device JS2. For this reason, the explanation is omitted.

본 실시 형태에 있어서, 전기 케이블(210)의 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213)가, 버퍼 B를 개재하여 접속부(200)에 의해 접속된다. 즉, 접속부(200)는, 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213)를 접속한다. 여기서, 접속부(200)는, 「캔슬부」의 일례이다.In this embodiment, the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213 of the electric cable 210 are connected by the connection portion 200 via the buffer B. That is, the connection portion 200 connects the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213. Here, the connection unit 200 is an example of a “cancellation unit.”

이에 의해, 고전위측 중심 도체(211)의 전위가, 실드 도체(213)의 전위와 동일한 전위로 된다. 이 때문에, 고전위측 중심 도체(211)의 전위와, 실드 도체(213)의 전위의 전위차에 기인한 전류가 흐르는 일이 없다. 따라서, 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213) 사이에 발생하는 기생 용량(부호 CM3으로 나타낸 용량)을 무시할 수 있어, 기생 용량이 외관상 캔슬된다.As a result, the potential of the high-potential side central conductor 211 becomes the same potential as the potential of the shield conductor 213. For this reason, the current resulting from the potential difference between the potential of the high-potential side central conductor 211 and the potential of the shield conductor 213 does not flow. Therefore, the parasitic capacitance (capacitance indicated by symbol CM3) occurring between the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213 can be ignored, and the parasitic capacitance is apparently canceled.

또한, 도 3b에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(210)의 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213)가 버퍼를 개재하지 않고 직접 접속되어도 된다.Additionally, as shown in FIG. 3B, the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213 of the electric cable 210 may be directly connected without a buffer intervening.

전기 케이블(210)의 기생 용량이 캔슬되면, 패턴 간에 검사 전압이 인가된 경우에 있어서, 도 6에 있어서의 루트 RT11의 경로에 전류가 흐르는 일이 없다. 즉, 도 6의 종래 시스템과 비교하여, 보다 정밀도 좋게, 검사 시에 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 검출하는 것이 가능해진다.If the parasitic capacitance of the electric cable 210 is canceled, no current flows through the path of the root RT11 in FIG. 6 when the inspection voltage is applied between patterns. That is, compared to the conventional system shown in FIG. 6, it becomes possible to detect the current value flowing between circuit patterns during inspection with greater precision.

(제4 실시 형태)(Fourth Embodiment)

제4 실시 형태에 따른 절연 검사 시스템(2A)에 대하여 설명한다. 도 4a, 도 4b, 도 4c는, 제4 실시 형태의 절연 검사 시스템(2A)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 절연 검사 시스템(2A)에서는, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서의 전기 케이블(210)의 기생 용량이, 외관상 캔슬되도록 한다.The insulation inspection system 2A according to the fourth embodiment will be described. 4A, 4B, and 4C are block diagrams showing a configuration example of the insulation inspection system 2A of the fourth embodiment. In the insulation inspection system 2A, the parasitic capacitance of the electric cable 210 in the conventional inspection device JS2 is apparently canceled.

도 4a에 도시한 바와 같이, 절연 검사 시스템(2A)은, 검사 장치(20A)와 프린트 기판(30)을 구비한다. 검사 장치(20A)는, 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전압계 V와, 전기 케이블(210)과, 가상 접지 회로(230)와, 전류계 A40을 구비한다. 이 중, 전압원 VDD와, 전류계 A3과, 저항 R2와, 전압계 V의 각 요소는, 종래형 검사 장치 JS2에 있어서 동일한 부호를 부여한 각 요소와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다. 전류계 A40은, 도 4a에서는, 도 6에 있어서의 전류계 A4와 다른 도형으로 나타내고 있지만, 전류계 A4와 마찬가지의 기능을 갖고, 검사 장치(20A)에 있어서의 저전위측을 흐르는 전류를 검출한다.As shown in FIG. 4A, the insulation inspection system 2A includes an inspection device 20A and a printed board 30. The inspection device 20A is provided with a voltage source VDD, an ammeter A3, a resistor R2, a voltmeter V, an electric cable 210, a virtual ground circuit 230, and an ammeter A40. Among these, the elements of the voltage source VDD, ammeter A3, resistor R2, and voltmeter V are the same as the elements given the same symbols in the conventional inspection device JS2. For this reason, the explanation is omitted. Although the ammeter A40 is shown in a different figure from the ammeter A4 in FIG. 6 in FIG. 4A, it has the same function as the ammeter A4 and detects the current flowing through the low-potential side of the inspection device 20A.

본 실시 형태에 있어서, 전기 케이블(210)의 저전위측 중심 도체(212)는, 가상 접지 회로(230)와 접속된다. 가상 접지 회로(230)는, 검사 장치(10A)의 가상 접지 회로(130)와 동일하다. 이 때문에, 그 설명을 생략한다. 가상 접지 회로(230)에 있어서, 연산 증폭기의 비반전 입력 단자(+)는, 접지 GND에 접속된다. 이에 의해, 저전위측 중심 도체(212)는, 접지 GND와 동전위가 되도록 유지된다. 여기서, 가상 접지 회로(230)는, 「캔슬부」의 일례이다.In this embodiment, the low-potential side central conductor 212 of the electric cable 210 is connected to the virtual ground circuit 230. The virtual ground circuit 230 is the same as the virtual ground circuit 130 of the inspection device 10A. For this reason, the explanation is omitted. In the virtual ground circuit 230, the non-inverting input terminal (+) of the operational amplifier is connected to ground GND. As a result, the low-potential side central conductor 212 is maintained at the same potential as the ground GND. Here, the virtual ground circuit 230 is an example of a “cancellation unit.”

이에 의해, 저전위 중침 도체(212)의 전위가, 실드 도체(213)의 전위와 동일한 전위로 된다. 이 때문에, 저전위측 중심 도체(212)의 전위와, 실드 도체(213)의 전위의 전위차에 기인한 전류가 흐르는 일이 없다. 따라서, 저전위측 중심 도체(212)와 실드 도체(213) 사이에 발생하는 기생 용량(부호 CM4로 나타낸 용량)을 무시할 수 있어, 기생 용량이 외관상 캔슬된다.As a result, the potential of the low-potential overlap conductor 212 becomes the same potential as the potential of the shield conductor 213. For this reason, the current resulting from the potential difference between the potential of the low-potential side central conductor 212 and the potential of the shield conductor 213 does not flow. Therefore, the parasitic capacitance (capacitance indicated by symbol CM4) occurring between the low-potential side central conductor 212 and the shield conductor 213 can be ignored, and the parasitic capacitance is apparently canceled.

전기 케이블(210)의 기생 용량이 캔슬되면, 패턴 사이에 검사 전압이 인가된 경우에 있어서, 도 6에 있어서의 RT12의 경로에 전류가 흐르는 일이 없다. 즉, 도 6의 종래의 시스템과 비교하여, 보다 정밀도 좋게 검사 시에 회로 패턴 사이를 흐르는 전류값을 검출하는 것이 가능해진다.If the parasitic capacitance of the electric cable 210 is canceled, no current flows through the path of RT12 in FIG. 6 when a test voltage is applied between patterns. In other words, compared to the conventional system shown in FIG. 6, it becomes possible to detect the current value flowing between circuit patterns during inspection with greater precision.

또한, 도 4b에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(210)의 기생 용량을 외관상 캔슬하기 위해서, 가상 접지 회로(230)를 마련하는 대신에, 제3 실시 형태의 접속부(200)와 동일한 접속부(200-1)를 저전위측에 마련해도 된다. 즉, 저전위측 중심 도체(212)와 실드 도체(213)를 버퍼를 개재하여 접속하는 접속부를 마련한다. 이 접속부(200-1)도 「캔슬부」의 일례이다.In addition, as shown in FIG. 4B, in order to apparently cancel the parasitic capacitance of the electric cable 210, instead of providing the virtual ground circuit 230, the same connection portion 200 as the connection portion 200 of the third embodiment is used. -1) may be provided on the low potential side. That is, a connection portion is provided to connect the low-potential side central conductor 212 and the shield conductor 213 via a buffer. This connection unit 200-1 is also an example of a “cancellation unit.”

또한, 도 4c에 도시한 바와 같이, 전기 케이블(210)의 기생 용량을 캔슬하기 위해서, 저전위측 중심 도체(212)와 실드 도체(213)를 버퍼를 개재하지 않고 직접 접속해도 된다.Additionally, as shown in FIG. 4C, in order to cancel the parasitic capacitance of the electric cable 210, the low-potential side central conductor 212 and the shield conductor 213 may be directly connected without a buffer intervening.

이상 설명한 바와 같이, 도 1a에 도시한 제1 실시 형태의 검사 장치(10)는, 전기 케이블(110)과, 접속부(100)와, 판정부(150)를 구비한다. 전기 케이블(110)은, 프린트 기판(30)과 검사 장치(10)를 접속한다. 전기 케이블(110)은, 중심 도체(111)와, 중심 도체(111)를 절연 피막하는 절연체와, 절연체를 덮는 실드 도체(112)가 배치된 실드 케이블을 포함한다. 전기 케이블(110)은, 중심 도체(111)가, 회로 패턴 간에 있어서의 고전위측에 접속된다. 접속부(100)는, 중심 도체(111)와 실드 도체(112)를 접속한다. 판정부(150)는, 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨을 판정한다. 판정부(150)는, 전기 케이블(110)을 통해 프린트 기판(30)의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가한다. 판정부(150)는, 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 절연 상태의 좋고 나쁨을 판정한다.As described above, the inspection device 10 of the first embodiment shown in FIG. 1A includes an electric cable 110, a connection portion 100, and a determination portion 150. The electric cable 110 connects the printed board 30 and the inspection device 10. The electric cable 110 includes a shield cable in which a central conductor 111, an insulator that insulates and coats the central conductor 111, and a shield conductor 112 that covers the insulator are disposed. In the electric cable 110, the central conductor 111 is connected to the high potential side between circuit patterns. The connection portion 100 connects the central conductor 111 and the shield conductor 112. The determination unit 150 determines whether the insulation state between circuit patterns is good or bad. The determination unit 150 applies a test voltage between circuit patterns of the printed board 30 through the electric cable 110. The determination unit 150 determines whether the insulation state is good or bad based on the voltage value between circuit patterns obtained by applying a test voltage or the current value flowing between the circuit patterns.

이에 의해, 제1 실시 형태의 검사 장치(10)에서는, 중심 도체(111)와 실드 도체(112)가 접속된다. 이 때문에, 전기 케이블(110)의 기생 용량이, 외관상 캔슬된다. 이에 의해, 검사 시에 회로 패턴 간을 흐르는 전류값을 정확하게 검출하는 것이 가능해진다. 따라서, 전기 케이블(110)에 기생 용량이 있는 경우라도, 회로 패턴 간의 절연 상태를 정밀도 좋게 검사할 수 있다.As a result, in the inspection device 10 of the first embodiment, the central conductor 111 and the shield conductor 112 are connected. For this reason, the parasitic capacitance of the electric cable 110 is apparently canceled. This makes it possible to accurately detect the current value flowing between circuit patterns during inspection. Therefore, even when there is parasitic capacitance in the electric cable 110, the insulation state between circuit patterns can be inspected with high precision.

또한, 전기 케이블(110)의 기생 용량이 캔슬됨으로써, 인가되는 전압이 상승할 때까지의 시간을 단축시키는 것이 가능해진다. 이에 의해 검사에 요하는 시간을 단축할 수 있어, 검사의 효율을 향상시킬 수 있다.Additionally, by canceling the parasitic capacitance of the electric cable 110, it becomes possible to shorten the time until the applied voltage rises. As a result, the time required for inspection can be shortened, and the efficiency of inspection can be improved.

또한, 종래, 전기 케이블(110)의 기생 용량에 의해, 측정 경로의 주파수 특성이 악화되었다. 여기에서의 측정 경로란, 전압 인가에 의해 전류가 흐르는 경로이다. 여기에서의 주파수 특성이 악화된다고 함은, 고역 특성이 저하되는 것이며, 측정 경로를 흐르는 전류의 시상수가 커지는 것이다. 이에 반하여, 본 실시 형태에서는, 전기 케이블(110)의 기생 용량이 캔슬된다. 이에 의해, 측정 경로의 주파수 특성이 개선된다. 여기에서의 주파수 특성이 개선된다고 함은, 고역 특성이 향상되는 것이며, 측정 경로를 흐르는 전류의 변화 속도의 저하가 억제되고, 종래와 비교하여, 전류의 변화 속도가 빨라지는 것이다. 이에 의해, 전류계 A1이나 전류계 A20에 의해 측정되는 스파크 전류의 고주파의 파형이 예리해져서, 피크 전류의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다.Additionally, conventionally, the frequency characteristics of the measurement path deteriorated due to the parasitic capacitance of the electric cable 110. The measurement path here is a path through which current flows by voltage application. Here, the worsening of the frequency characteristics means that the high-range characteristics deteriorate and the time constant of the current flowing through the measurement path increases. In contrast, in this embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable 110 is canceled. Thereby, the frequency characteristics of the measurement path are improved. The improvement in frequency characteristics here means that the high-range characteristics are improved, the decrease in the rate of change of the current flowing through the measurement path is suppressed, and the rate of change of the current becomes faster compared to the prior art. As a result, the high-frequency waveform of the spark current measured by the ammeter A1 or the ammeter A20 becomes sharp, making it possible to improve the measurement accuracy of the peak current.

또한, 전기 케이블(110)의 기생 용량이 캔슬됨으로써, 종래의 검사에 있어서는 기생 용량에 매립되어 있던 스파크 파형의 피크를 검출하는 것이 가능해진다. 즉, 종래에는, 기생 용량 때문에 스파크 파형이 둔화되어, 피크가 검출되지 않고 매립되어 있던 스파크 파형이 있었다. 본 실시 형태에서는, 전기 케이블(110)의 기생 용량이 캔슬됨으로써, 파형의 상승이 종래보다도 예리해져서, 종래에는 매립되어 있던 피크를 검출하는 것이 가능해진다.Additionally, by canceling the parasitic capacitance of the electric cable 110, it becomes possible to detect the peak of the spark waveform that was buried in the parasitic capacitance in the conventional inspection. That is, in the past, the spark waveform was slowed down due to parasitic capacitance, and the peak was buried without being detected. In this embodiment, by canceling the parasitic capacitance of the electric cable 110, the rise of the waveform becomes sharper than before, making it possible to detect peaks that were buried conventionally.

또한, 도 2a에 도시한 제2 실시 형태의 검사 장치(10A)는, 전기 케이블(120)과, 가상 접지 회로(130)와, 판정부(150)를 구비한다. 전기 케이블(120)은, 프린트 기판(30)과 검사 장치(10A)를 접속한다. 전기 케이블(120)은, 중심 도체(121)와, 중심 도체(121)를 절연 피막하는 절연체와, 절연체를 덮는 실드 도체(122)가 배치된 실드 케이블을 포함한다. 전기 케이블(120)은, 중심 도체(121)가, 회로 패턴 간에 있어서의 저전위측에 접속된다. 실드 도체(122)가 접지된다. 가상 접지 회로(130)는, 중심 도체(121)와 접속한다. 이에 의해, 제2 실시 형태의 검사 장치(10A)에서는, 전기 케이블(120)의 기생 용량이, 외관상 캔슬된다. 따라서, 상술한 효과와 마찬가지의 효과를 발휘한다.Additionally, the inspection device 10A of the second embodiment shown in FIG. 2A includes an electric cable 120, a virtual ground circuit 130, and a determination unit 150. The electric cable 120 connects the printed board 30 and the inspection device 10A. The electric cable 120 includes a shield cable in which a central conductor 121, an insulator that insulates and coats the central conductor 121, and a shield conductor 122 that covers the insulator are disposed. In the electric cable 120, the central conductor 121 is connected to the low-potential side between circuit patterns. Shield conductor 122 is grounded. The virtual ground circuit 130 is connected to the central conductor 121. As a result, in the inspection device 10A of the second embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable 120 is apparently canceled. Therefore, the same effect as the effect described above is achieved.

또한, 도 3a에 도시한 제3 실시 형태의 검사 장치(20)는, 전기 케이블(210)과, 접속부(200)와, 판정부(250)를 구비한다. 전기 케이블(210)은, 프린트 기판(30)과 검사 장치(20)를 접속한다. 전기 케이블(210)은, 고전위측 중심 도체(211)와, 저전위측 중심 도체(212)와, 절연체와, 실드 도체(213)가 배치된 실드 케이블을 포함한다. 절연체는, 고전위측 중심 도체(211)와, 저전위측 중심 도체(212)의 각각을 절연 피막한다. 실드 도체(213)는 절연체를 덮는다. 고전위측 중심 도체(211)가, 회로 패턴 간에 있어서의 고전위측에 접속된다. 저전위측 중심 도체(212)가, 회로 패턴 간에 있어서의 저전위측에 접속된다. 접속부(200)는, 고전위측 중심 도체(211)와 실드 도체(213)를 접속한다. 이에 의해, 제3 실시 형태의 검사 장치(20)에서는, 전기 케이블(210)의 기생 용량이, 외관상 캔슬된다. 따라서, 상술한 효과와 마찬가지의 효과를 발휘한다.Additionally, the inspection device 20 of the third embodiment shown in FIG. 3A includes an electric cable 210, a connection portion 200, and a determination portion 250. The electric cable 210 connects the printed board 30 and the inspection device 20. The electric cable 210 includes a shield cable in which a high-potential side central conductor 211, a low-potential side central conductor 212, an insulator, and a shield conductor 213 are disposed. The insulator insulates and coats each of the high-potential side central conductor 211 and the low-potential side central conductor 212. Shield conductor 213 covers the insulator. The high-potential side central conductor 211 is connected to the high-potential side between circuit patterns. The low-potential side central conductor 212 is connected to the low-potential side between circuit patterns. The connection portion 200 connects the high-potential side central conductor 211 and the shield conductor 213. As a result, in the inspection device 20 of the third embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable 210 is apparently canceled. Therefore, the same effect as the effect described above is achieved.

또한, 도 4a에 도시한 제4 실시 형태의 검사 장치(20A)는, 전기 케이블(210)과, 가상 접지 회로(230)와, 판정부(250)를 구비한다. 고전위측 중심 도체(211)가, 회로 패턴 간에 있어서의 고전위측에 접속된다. 저전위측 중심 도체(212)가, 회로 패턴 간에 있어서의 저전위측에 접속된다. 실드 도체(213)가 접지된다. 가상 접지 회로(230)는, 저전위측 중심 도체(212)와 접속한다. 이에 의해, 제4 실시 형태의 검사 장치(20A)에서는, 전기 케이블(210)의 기생 용량이, 외관상 캔슬된다. 따라서, 상술한 효과와 마찬가지의 효과를 발휘한다.Additionally, the inspection device 20A of the fourth embodiment shown in FIG. 4A includes an electric cable 210, a virtual ground circuit 230, and a determination unit 250. The high-potential side central conductor 211 is connected to the high-potential side between circuit patterns. The low-potential side central conductor 212 is connected to the low-potential side between circuit patterns. Shield conductor 213 is grounded. The virtual ground circuit 230 is connected to the low-potential side central conductor 212. As a result, in the inspection device 20A of the fourth embodiment, the parasitic capacitance of the electric cable 210 is apparently canceled. Therefore, the same effect as the effect described above is achieved.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서, 「접지 GND에 접속(접지)된다」고 하는 표현을 사용하고 있다. 이 경우에 있어서의 접지 GND의 전위(접지 전위)는, 절대 전위 0[V]를 나타내는 경우에 한정되지는 않는다. 즉, 접지 전위에는, 검사 장치 중 회로의 전원의 중간 전위(중간 전위)를 포함한다. 중간 전위는, 전원에 있어서의 고전위측의 전위와 저전위측의 전위 사이의 전위를 의미한다. 예를 들어, 중간 전위는, 전원의 고전위측이 15[V], 저전위측이 0[V]인 경우에 있어서의, 중간 전위 7.5[V]이다. 접지 GND는, 이와 같은 중간 전위 7.5[V]여도 되고, 고전위측의 15[V]와 저전위측의 0[V] 사이의 임의의 전위여도 된다.Additionally, in the above-described embodiment, the expression “connected (grounded) to ground GND” is used. The potential of the ground GND (ground potential) in this case is not limited to the case where it represents the absolute potential 0 [V]. That is, the ground potential includes the intermediate potential (intermediate potential) of the power supply of the circuit in the inspection device. The intermediate potential means the potential between the potential on the high potential side and the potential on the low potential side of the power supply. For example, the intermediate potential is 7.5 [V] when the high potential side of the power supply is 15 [V] and the low potential side is 0 [V]. The ground GND may be this intermediate potential of 7.5 [V], or may be any potential between 15 [V] on the high potential side and 0 [V] on the low potential side.

본 발명의 몇몇 실시 형태를 설명하였지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시한 것이지, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 이들 실시 형태는, 그 밖의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되는 것과 마찬가지로, 청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함되는 것이다.Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and changes can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, as well as the invention described in the claims and their equivalents.

1: 절연 검사 시스템
10: 검사 장치
100, 100-1: 접속부
110: 전기 케이블
111: 중심 도체
112: 실드 도체
120: 전기 케이블
121: 중심 도체
122: 실드 도체
130: 가상 접지 회로
200, 200-1: 접속부
210: 전기 케이블
211: 고전위측 중심 도체
212: 저전위측 중심 도체
213: 실드 도체
1: Insulation inspection system
10: Inspection device
100, 100-1: Connection part
110: electric cable
111: center conductor
112: shield conductor
120: electric cable
121: center conductor
122: shield conductor
130: Virtual ground circuit
200, 200-1: Connection part
210: Electric cable
211: High potential side center conductor
212: Low-potential side center conductor
213: shield conductor

Claims (12)

검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블과,
상기 전기 케이블의 기생 용량을 캔슬하는 캔슬부와,
상기 전기 케이블을 통해 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 상기 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 상기 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨, 또는 상기 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 판정하는 판정부
를 구비하고,
상기 전기 케이블은, 고전위측 중심 도체와, 저전위측 중심 도체와, 상기 고전위측 중심 도체와 상기 저전위측 중심 도체의 각각을 절연 피막하는 절연체와, 상기 절연체를 덮는 실드 도체가 배치된 실드 케이블을 포함하며, 상기 고전위측 중심 도체가 상기 회로 패턴 간에 있어서의 고전위측에 접속되고, 상기 저전위측 중심 도체가 상기 회로 패턴 간에 있어서의 저전위측에 접속되는, 검사 장치.
An electric cable connecting the printed circuit board to be inspected and the inspection device,
a cancellation unit that cancels parasitic capacitance of the electric cable;
Based on the voltage value between the circuit patterns obtained by applying a test voltage between the circuit patterns of the printed board through the electric cable, or the current value flowing between the circuit patterns, the insulation state between the circuit patterns is good or bad, or the circuit Judgment unit that determines whether sparks occur between patterns
Equipped with
The electric cable is a shield cable including a high-potential side central conductor, a low-potential side central conductor, an insulator that insulates and coats each of the high-potential side central conductor and the low-potential side central conductor, and a shield conductor that covers the insulator. An inspection device comprising: the high-potential side central conductor is connected to the high-potential side between the circuit patterns, and the low-potential side central conductor is connected to the low-potential side between the circuit patterns.
제1항에 있어서,
상기 캔슬부는, 상기 고전위측 중심 도체와 상기 실드 도체를 동전위로 하는 접속부인, 검사 장치.
According to paragraph 1,
The inspection device wherein the cancellation unit is a connection unit that brings the high-potential side central conductor and the shield conductor to the same potential.
제2항에 있어서,
상기 캔슬부는, 상기 고전위측 중심 도체와 상기 실드 도체를 접속하는 접속부인, 검사 장치.
According to paragraph 2,
The cancellation unit is a connection unit that connects the high-potential side central conductor and the shield conductor.
제1항에 있어서,
상기 실드 도체가 접지 전위로 되고,
상기 캔슬부는, 상기 저전위측 중심 도체를 가상 접지하는 가상 접지 회로인, 검사 장치.
According to paragraph 1,
The shield conductor is brought to ground potential,
The inspection device wherein the cancellation unit is a virtual ground circuit that virtually grounds the low-potential side central conductor.
제1항에 있어서,
상기 캔슬부는, 상기 저전위측 중심 도체와 실드 도체를 동전위로 하는 접속부인, 검사 장치.
According to paragraph 1,
The inspection device is wherein the cancellation unit is a connection unit that brings the low-potential side center conductor and the shield conductor to the same potential.
제5항에 있어서,
상기 캔슬부는, 상기 저전위측 중심 도체와 상기 실드 도체를 접속하는 접속부인, 검사 장치.
According to clause 5,
The inspection device wherein the cancellation unit is a connection unit that connects the low-potential side central conductor and the shield conductor.
검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블을 구비하는 검사 장치의 검사 방법이며,
상기 전기 케이블은, 고전위측 중심 도체와, 저전위측 중심 도체와, 상기 고전위측 중심 도체와 상기 저전위측 중심 도체의 각각을 절연 피막하는 절연체와, 상기 절연체를 덮는 실드 도체가 배치된 실드 케이블을 포함하며, 상기 고전위측 중심 도체가 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 있어서의 고전위측에 접속되고, 상기 저전위측 중심 도체가 상기 회로 패턴 간에 있어서의 저전위측에 접속되며,
캔슬부가, 검사 대상으로 되는 프린트 기판과 검사 장치를 접속하는 전기 케이블의 기생 용량을 캔슬하고,
판정부가, 상기 전기 케이블을 통해 상기 프린트 기판의 회로 패턴 간에 검사 전압을 인가함으로써 얻어지는 상기 회로 패턴 간의 전압값, 또는 상기 회로 패턴 간에 흐르는 전류값에 기초하여, 상기 회로 패턴 간의 절연 상태의 좋고 나쁨, 또는 상기 회로 패턴 간의 스파크 발생의 유무를 판정하는,
검사 방법.
It is an inspection method of an inspection device including an electric cable connecting the printed circuit board to be inspected and the inspection device,
The electric cable is a shield cable including a high-potential side central conductor, a low-potential side central conductor, an insulator that insulates and coats each of the high-potential side central conductor and the low-potential side central conductor, and a shield conductor that covers the insulator. It includes: the high-potential side central conductor is connected to the high-potential side between the circuit patterns of the printed board, and the low-potential side central conductor is connected to the low-potential side between the circuit patterns,
The cancellation unit cancels the parasitic capacitance of the electric cable connecting the printed circuit board to be inspected and the inspection device,
The determination unit determines whether the insulation state between the circuit patterns is good or bad, based on a voltage value between the circuit patterns obtained by applying a test voltage between the circuit patterns of the printed board through the electric cable, or a current value flowing between the circuit patterns, Or determining the presence or absence of sparks between the circuit patterns,
method of inspection.
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