JP6176867B2 - 太陽電池向けの縁なしパルスめっき及び金属洗浄方法 - Google Patents

Description

本明細書に記載する主題の実施形態は、概して太陽電池に関する。より具体的には、主題の実施形態は、太陽電池の構造及び製造方法に関する。

太陽電池は、太陽放射光を電気エネルギーに変換するための周知の装置である。太陽電池は、半導体加工技術を使用して半導体ウェハ上に作製することができる。太陽電池は、Ｐ型拡散領域及びＮ型拡散領域を含む。太陽電池に衝突する太陽放射光によって電子及び正孔が生成され、これらの電子及び正孔が拡散領域に移動することにより、拡散領域間に電位差が生じる。バックコンタクト方式の太陽電池においては、拡散領域、及び拡散領域と結合した金属コンタクトフィンガーは両方とも太陽電池の裏面に設けられる。コンタクトフィンガーは、外部電気回路を太陽電池に結合し、太陽電池により電力供給することを可能にする。

製造中における太陽電池に対する金属めっき及び太陽電池からの汚染の除去は、標準的な太陽電池製造方法の本質的な部分であるため、それらを改善する技術は非常に有益である。かかる改善された技術により、作製ステップを低減し、全体的な出力収率を改善して、太陽電池の合計製造時間を減少させると共に、ハンドリングがより少ないことで、利用可能な製品収量を増加させることができる。

より完全な本主題の理解は、発明を実施するための形態、及び特許請求の範囲を、以下の図面と併せて考察し、参照することによって導き出すことができ、図面全体を通して、同様の参照番号は同様の要素を指す。

太陽電池の標準的な電気めっきプロセスによる太陽電池の断面図である。 太陽電池の標準的な電気めっきプロセスによる太陽電池の断面図である。 太陽電池の標準的な電気めっきプロセスによる太陽電池の断面図である。 太陽電池の標準的な電気めっきプロセスによる太陽電池の断面図である。 太陽電池の標準的な電気めっきプロセスによる太陽電池の断面図である。

本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。

本発明の別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。

本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。

本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。 本発明の更に別の実施形態にしたがって作製されている太陽電池の断面図である。

本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。 本発明の一実施形態にしたがって作製されている太陽電池のフローチャート図である。

以下の発明を実施するための形態は、本質的には、単なる例示に過ぎず、本主題の実施形態、又はそのような実施形態の応用及び用途を限定することを意図するものではない。本明細書で使用される「例示の」という語は、「実施例、実例、又は例証として供する」ことを意味する。本明細書に例示として記載されるどの実施も、必ずしも他の実施より好適又は有利なものと解釈されない。更に、上記の技術分野、背景技術、概要、又は以下の発明を実施するための形態で提示される、明示又は暗示の何らかの理論に拘束されることを意図するものではない。

それに加えて、本発明の実施形態の完全な理解を提供するために、具体的なプロセスフロー操作など、多数の具体的な詳細が説明される。本発明の実施形態は、これらの具体的な詳細を伴わずに実践されてもよいことが、当業者には明白となるであろう。他の例では、本発明の実施形態を無用に不明瞭にしないために、リソグラフィ技術、エッチング技術、及び標準的な電気めっき技術などの周知の作製技術については詳細に記載しない。更には、図に示される様々な実施形態は、例示的な表示であって、必ずしも一定の縮尺で描写されるものではないことを理解するべきである。

金属層を太陽電池上にめっきする方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に設けることと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層をめっきすることは、浴中の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法はまた、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第１の金属層から排出することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、方法は更に、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきすることを含んでもよい。一実施形態において、結果として得られる太陽電池は、互いに噛み合わされた金属コンタクトフィンガーが太陽電池の裏面を走っているが側縁部には沿っていない状態で、太陽電池上にめっきされた金属を含む。別の実施形態において、金属を太陽電池上にめっきすることは、太陽電池の前面を走っているが側縁部には沿っていない、互いに噛み合わされた金属コンタクトフィンガーをめっきすることを含む。

金属層を太陽電池上にめっきする別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に設けることと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層のめっきは、浴中の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法はまた、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を太陽電池の少なくとも１つの側縁部又は縁部から不均衡に除去することを含み、第２の電流は第１の電流と逆極性であり、第２の時間は第１の時間よりも短くすることができ、第２の電圧は第１の電圧の最大３倍である。めっき及び排出操作は、めっきプロセス全体を通して入れ替えることができ、また、金属を第１の金属層から排出することに続いて行うことができる。方法は更に、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきすることを含むことができる。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に設けることと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層をめっきすることは、浴中の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属をシード金属層から除去することなく、金属を太陽電池の領域から不均衡に除去することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、方法は更に、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきすることを含んでもよい。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に設けることと、第１の金属層を太陽電池の１つの側縁部に沿って１マイクロメートル未満の厚さでめっきすることを含む、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層のめっきは、浴中の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を太陽電池の側縁部を含む第１の金属層から排出することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、方法は更に、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきすることを含んでもよい。

金属層を太陽電池上にめっきする別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を有する太陽電池をシリコン基板上に設けることと、電解液と電気めっき浴に沈められた第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とで構成される電気めっき浴を準備することとを含む。方法は、第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部を接続することと、第１及び第２の金属相互接続部を整流器に連結できるようにすることとを含む。方法はまた、第１の金属を第１の金属相互接続部に接続することと、太陽電池を第２の金属相互接続部に接続することと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層のめっきは、電気めっき浴中の第１の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法はまた、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第１の金属層から排出することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、方法は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきすることと、第１の金属を第１の金属相互接続部から分離することとを含むことができ、続いて、第２の金属を第１の金属相互接続部に接続することができる。方法はまた、第１の電流を第１の金属層に導通することによって、第２の金属層を太陽電池上にめっきすることを含み、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第２の金属層から排出することを含む。金属を第２の金属層から排出することに続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第２の金属層上にめっきする。上述したのと同様に、結果として得られる太陽電池は、互いに噛み合わされた金属コンタクトフィンガーが太陽電池の裏面を走っているが側縁部には沿っていない状態で、太陽電池上にめっきされた金属を含む。別の実施形態において、金属を太陽電池上にめっきすることは、太陽電池の前面を走っているが側縁部には沿っていない、互いに噛み合わされた金属コンタクトフィンガーをめっきすることを含む。また、更に別の実施形態において、第１及び第２の金属層を太陽電池にめっきすることは、銅、錫、アルミニウム、銀、金、クロム、鉄、ニッケル、亜鉛、ルテニウム、パラジウム、又はプラチナなどであるがそれらに限定されない、第１及び第２の金属をめっきすることを含んでもよい。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることと、電流を太陽電池のシード金属層に導通することによって、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含む。方法は更に、続けて超音波洗浄プロセスを行って、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属を、少なくとも１つの側縁部から除去することを含む。別の実施形態において、シード金属層の堆積は、銅、錫、タングステン、チタン、チタンタングステン、銀、金、窒化チタン、窒化タンタル、ルテニウム、又はプラチナなどであるがそれらに限定されない金属を代わりに堆積させることを含んでもよい。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、物理気相蒸着（ＰＶＤ）プロセスを使用して、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることと、超音波洗浄プロセスを行って、余分な金属を太陽電池の少なくとも１つの側縁部から除去することとを含む。方法は更に、続いて、電流を太陽電池のシード金属層に導通することによって、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることと、電流を第１の金属層に導通することによって、第２の金属層を太陽電池上にめっきすることと、超音波洗浄プロセスを行って、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属を少なくとも１つの側縁部から除去することとを含む。別の実施形態において、シード金属層の堆積は、パターン印刷蒸着プロセスを使用して、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることを含んでもよい。

金属層を太陽電池上にめっきする別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、超音波媒体、超音波媒体を収容する筐体、及び超音波発生器を含む超音波設備を設けることを含む。方法は、シード層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることと、電流を太陽電池のシード金属層に導通することによって、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含む。方法は更に、続いて、太陽電池を超音波媒体に沈めることと、超音波発生器を使用して超音波媒体を振動させて、太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属を除去することとを含む、超音波洗浄プロセスを行うことを含む。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、超音波媒体、超音波媒体を収容する筐体、及び超音波発生器を含む超音波設備を設けることを含む。方法は、シード層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることと、電流を太陽電池のシード金属層に導通することによって、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含む。方法は更に、続いて、太陽電池を超音波媒体に沈めることと、超音波発生器を使用して２０〜４００キロヘルツの周波数範囲内で超音波媒体を振動させて、太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属を除去することとを含む、超音波洗浄プロセスを行うことを含む。

金属層を太陽電池上にめっきする更に別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に設けることと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層のめっきは、浴中の金属を使用して第１の電流をシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法はまた、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第１の金属層から排出することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきし、超音波洗浄プロセスを行って、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属を、少なくとも１つの側縁部から除去する。

金属層を太陽電池上にめっきする別の方法が開示される。方法は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池を設けることを含む。方法はまた、シード金属層を太陽電池のシリコン基板上に堆積させることと、電解液と、整流器に連結された電気めっき浴に沈められた第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とを含む電気めっき浴を準備することとを含む。方法は、第１の金属を第１の金属相互接続部に接続することと、太陽電池を第２の金属相互接続部に接続することと、第１の金属層を太陽電池上にめっきすることとを含み、第１の金属層のめっきは、第１の電流を太陽電池のシード金属層に導通することによって達成され、第１の電流の導通は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で行われる。方法はまた、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第１の金属層から排出することを含む。金属を第１の金属層から排出することに続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層上にめっきする。方法は、第１の金属を第１の金属相互接続部から分離することと、続いて、第２の金属を第１の金属相互接続部に接続することとを含む。方法はまた、第２の金属層を、シリコン基板上のシード層を覆う第１の金属層を備える太陽電池上にめっきすることと、第１の電流を太陽電池の第１の金属層に導通することによって、第２の金属層をめっきすることとを含み、第１の電流は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通される。方法は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属を第２の金属層から排出することを含む。金属を第２の金属層から排出することに続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第２の金属層上にめっきし、超音波洗浄プロセスを行って、第１及び第２の金属層を太陽電池上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属を少なくとも１つの側縁部から除去する。

図１及び図２は、第１の金属１７２及び電界１６０を使用することを含む、金属を太陽電池１００上にめっきする標準的なプロセスにおける操作を示す。太陽電池１００は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前面とは反対側の裏面とを有することができる。標準的なプロセスでは、デバイス面、即ちこの場合は太陽電池縁部に沿った露出領域を含む裏面１０８に、金属１３０、１３２、１３４をめっきすることができる。概して、縁部に沿って金属をめっきすることで、縁部に沿って金属リングが作り出されるので、それは望ましくない場合がある。かかる金属リングは、一般には表面的な欠陥と見なされるので、複数の太陽電池で構成される太陽電池モジュールの最終製品の販売においては不具合なことがある。製造方法の間、縁部に沿った余分な金属は、把持具がツールセット内で使用される場合など、汚染のリスクをもたらす可能性もある。金属リングを有する太陽電池を、又は概してシリコンウェハを移動させた後に、把持具が再使用された場合、把持具は、金属汚染の影響を受けやすい上流プロセスにある他の製品を相互汚染して、合計電気収量出力（overall electrical yield output）を減少させる可能性がある。一例として、ウェハ上にめっきされる金属が銅であるとすると、銅は、太陽電池モジュールの製造で使用される封止材と相互作用して、時間と共に褐変し変色する可能性がある。かかる褐変又は変色は、最終太陽電池モジュールの全体的な見栄え及び外観に影響を与える恐れがあるので、望ましくないことがある。金属リングはまた、銅が縁部から剥離し、太陽電池モジュールの別の太陽電池へと、又は同じ太陽電池内で移動することがあるため、太陽電池モジュールにおける短絡の原因となる可能性がある。剥離した部分がデバイスの正の領域と負の領域との間に落ちた場合、そこが接合部となって電流が通過する恐れがある。かかる接合部は、正の領域と負の領域との間に電気的短絡を作り出す恐れがある。電気的短絡は、太陽電池モジュールにとって有害であって、その全体効率を減少させるか、又は全体の誤動作を引き起こすことがある。

概して、銅をめっきする間、太陽電池の前面１０６又は裏面１０８のどちらかであってもよい太陽電池の面にのみ、銅をめっきするのが望ましいことがある。しかしながら、通例では、ストレイプレーティング（stray plating）が太陽電池上で生じる。この縁部めっきの主な原因は、溶液中の電界がほとんどの場合は太陽電池縁部にあるという共通条件によるものである。これは、太陽電池縁部の損傷部位に起因することがあり、それにより、電流が太陽電池の縁部を通過することが可能になる。銅又は他のかかる金属が太陽電池縁部に沿って残されるのを回避するためには、めっきの間、太陽電池の縁部を溶液から電気的に隔離しなければならないか、又は縁部にめっきされた銅を除去するのが必要なことがある。太陽電池の縁部に沿って金属をめっきすることの影響を軽減する、いくつかの標準的な解決策について、図３〜図５に関連して以下に記載する。

図３、図４、及び図５を参照すると、金属を太陽電池１００にめっきする標準的な方法が示される。電気めっき中における太陽電池１００縁部に沿った金属の蓄積を防ぐ第１の方法は、レジストを縁部に沿って適用することを含む。図３は、縁部レジストを有する太陽電池の電気めっきを示しており、ここで、第１の金属１７２が金属をめっきするために使用されて、電界１６０を使用して第１の金属層１３０を太陽電池１００の裏面１０８上に形成している。レジスト１５０、１５２は、金属が図２のようにめっきされるのを防ぐため、太陽電池１００の縁部に沿って適用される。しかし、追加の操作が太陽電池製造方法に加わることがあるので、レジストの適用には費用を要する場合がある。別の通例は、縁部に沿っためっき金属をめっき後に除去するというものである。図４に見られるように、化学エッチングプロセスを使用して、めっき金属を除去することができる。かかる方法は、太陽電池１００の側面に沿ってエッチング液の噴霧１５４、１５６を行って、めっき領域１３３、１３５はエッチングによって除去するが、めっき領域１３０は作製中は無処置のまま残すことを含む。エッチング液は、一般的に、過酸化水素と硫酸を混合したものであることができる。この方法の欠点は、太陽電池１００のめっき面に巻き付いた流体が存在することがある点である。この方法はまた、太陽電池１００縁部から数ミリメートルのところに排除区域を画成することを要する。これらの排除区域は、最適化されない限り、余分なエッチング液が太陽電池上に飛び散るのを許容することがあり、そのことがひいては、太陽電池１００に対する更なる損傷を引き起こすことがある。かかる排除区域の最適化は他の半導体業界にとっては有益なことがあるが、太陽電池上におけるこれらの排除区域の必要性は容認できないことがある。例えば、排除区域は、太陽電池１００の発電領域及び全体効率を最小限にすることがある。

更に別の一般的な工業技術は、図５に見られるように、ガスケットを使用して縁部のめっきを阻止するというものである。この方法では、太陽電池１００は、太陽電池縁部の近くに液密シール又はガスケット１５８を取り付けて、縁部がめっきされる可能性をなくすことができる。やはり、かかる方策は、ガスケット１５８が位置する太陽電池のめっき面に排除区域を作り出すことがある。更に、標準的なウェハは、一般的に、太陽電池用途に使用されるウェハよりもはるかに厚い。そのため、ウェハ厚さがどんどん薄くなるにつれて、液密シールを作り出すために十分な圧力をウェハに供給することが次第に困難になることがある。上述の方法は、非効率的であるか、コスト効率が悪いか、又は太陽電池製造方法に適用できない場合がある。以下の説明では、製造方法中における太陽電池の縁部に沿っためっき金属の蓄積を防ぐプロセスに代わる解決策を提供することができる、本発明の実施形態の詳細について記載する。

製造プロセスに関連して実行される様々なタスクが、図６〜図３８に示される。また、様々なタスクのいくつかは、例示された順序で実行されなくてもよく、本明細書に詳細に記載されない追加機能を有するより包括的な手順、プロセス又は作製に組み込まれてもよい。

図６及び図７は、シリコン基板２０２と第１及び第２のドープ領域２１０、２１２とを含む太陽電池２００に金属をめっきするための一実施形態を示す。太陽電池は、通常動作中は光２０４を受け取るように太陽に向く前面２０６と、前面２０６とは反対側の裏面２０８とを有することができる。いくつかの実施形態において、太陽電池２００のシリコン基板２０２は、第１及び第２のドープ領域２１０、２１２の形成に先立って、洗浄、研磨、平坦化、及び／又は薄化、ないしは別の方法で処理することができる。更に別の実施形態において、シリコン基板２０２はポリシリコン又は多結晶シリコンで構成される。別の実施形態において、第１及び第２のドープ領域２１０、２１２は熱プロセスによって成長させられる。更に別の実施形態において、第１のドープ領域２１０は、従来の蒸着プロセスによってシリコン基板２０２の上に堆積される。更に別の実施形態において、酸化物層が第１のドープ領域２１０及び第２のドープ領域２１２の上に堆積されて、両方の領域に対する保護バリヤーとしての役割を果たす。第１及び第２のドープ領域２１０、２１２はそれぞれ、ドーピング材料を含むことができるが、ホウ素などのｐ型ドーパント又はリンなどのｎ型ドーパントに限定されない。第１及び第２のドープ領域２１０、２１２は両方とも、それぞれ熱プロセスによって成長させられるか、又は従来の蒸着プロセスによって堆積されるものとして記載されるが、本明細書に記載又は列挙される他のあらゆる形成、堆積、又は成長プロセス操作と同様に、任意の適切なプロセスを使用して各層又は物質を形成することができる。例えば、化学気相成長（ＣＶＤ）プロセス、減圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、常圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、プラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）、熱成長、スパッタリングだけでなく任意の他の所望の技術を、形成が説明される箇所で使用することができる。したがって、また同様に、蒸着技術、スパッタ、又はインクジェット印刷若しくはスクリーン印刷などの印刷プロセスによって、第１及び第２のドープ領域２１０、２１２をシリコン基板２０２上に形成することができる。太陽電池２００は、太陽放射収集を増加させるため、テクスチャ付きのシリコン領域又はテクスチャ面２１８を、太陽電池の前面２０６上に設けることができる。テクスチャ面２１８は、入射光を散乱させて、太陽電池の表面で反射して戻る光の量を減少させる、規則的又は不規則な成形表面を有するものであることができる。テクスチャ面２１８全体にわたって前面２０６の上に反射防止コーティング（ＡＲＣ）２１４を形成して、太陽電池の光吸収特性を更に改善することができる。反射防止コーティング（ＢＡＲＣ）２１６を、太陽電池２００の裏面２０８上に形成することもできる。ＡＲＣ層２１４及びＢＡＲＣ層２１６は両方とも、窒化シリコン（ＳｉＮ）、又は太陽電池の反射防止コーティングに一般に使用される他の任意の材料で構成することができる。埋め込まれたシード金属層２２０に複数のコンタクトホールが設けられてもよい。コンタクトホールは、湿式エッチング及びアブレーション技術を含む、あらゆるリソグラフィプロセスによって形成することができる。別の実施形態において、めっきレジスト２２６が太陽電池２００の裏面２０８に適用される。めっきレジスト２２６は、電気めっきプロセス中における第１及び第２のドープ領域２１０、２１２間のマスキング層として機能して、第１及び第２のドープ領域２１０、２１２の間でめっき金属を効率的に分離する。概して、めっきレジスト２２６の適用は、製造方法において任意であり得る。

図８、図９、及び図１０を参照すると、金属を太陽電池２００にめっきする方法の続きが示される。方法は更に、第１の金属層２３０を太陽電池のシード金属層２２０の上にめっきするために使用することができる、めっきプロセスを含む。めっきプロセスは、電気めっき浴中の第１の金属２７２を使用して、第１の電流をシード金属層２２０に導通することによって達成することができる。プロセスの副生成物として、第１の金属層が太陽電池の縁部２３２、２３４に沿ってめっきされる場合がある。第１の電流２６０又は電界は、特定の時間にわたって既定の第１の電圧を使用して発生させることができる。第１の電流２６０は０〜５アンペアの範囲であることができる。一実施形態において、第１の電流２６０は０〜２００アンペアの範囲であることができる。第１の方向は太陽電池２００へと金属をめっきする方向であることができる。第１の電圧は０〜５ボルトの範囲であることができる。一実施形態において、第１の電圧は０〜５０ボルトの範囲であることができる。第１の時間は０〜１０００ミリ秒の持続時間であることができる。一実施形態において、第１の時間は０〜５０００ミリ秒の持続時間であることができる。上述したように、概して、太陽電池２００の縁部２３２、２３４に沿って金属をめっきすることで、金属リングが縁部に沿って作り出され、この金属リングは上述した様々な欠陥の原因であり得るため、望ましくない。第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で第１の電流を導通することは、めっきプロセスの開始時に、又はその中間状態で行うことができる。第１の電流２６０の導通を継続して、追加の金属をめっきして、第１の厚い金属層２３１を太陽電池２００のシード金属層２２０及び側縁部２３３、２３５の上に形成することができる。

図１１、図１２、図１３、及び図１４は、金属を太陽電池２００にめっきする方法の続きを示す。方法は更に、第２の電流２６１を太陽電池２００に導通することによって、金属又は余分な金属２３８を第１の厚い金属層から排出して、めっき除去（deplating）プロセス２５１、２３６、２３７を施すことを含む。上述したのと同様に、第２の電流２６１は０〜５アンペアの範囲であることができる。一実施形態において、第２の電流２６１は０〜２００アンペアの範囲であることができる。第２の方向は太陽電池２００から離れる方向であることができる。第２の電圧は０〜５ボルトの範囲であることができる。一実施形態において、第２の電圧は０〜５０ボルトの範囲であることができる。第１の時間は０〜１０００ミリ秒の持続時間であることができる。一実施形態において、第１の時間は０〜５０００ミリ秒の持続時間であることができる。別の実施形態において、第２の電圧は第１の電圧に等しい。更に別の実施形態において、第２の電流２６１は第１の電流２６０の逆である。さらに別の実施形態において、第２の電流２６１は第１の電流２６０に対して逆バイアスされる。別の実施形態において、第２の電圧は第１の電圧の逆である。更に別の実施形態において、第２の時間は第１の時間と同じ持続時間である。図１２は、第２の電流２６１の導通の続きを示しており、第２の電流２６１を継続して導通することで、余分な金属２３８を除去し、シード金属層２２０の上に第１の薄い金属層２５３を形成することができる。第２の電流２６１を継続して導通することで、余分な金属２３８を太陽電池２００の縁部から除去することができる。金属２３８の排出に続いて、図１３に見られるように、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流２６２を導通することによって、追加の金属を第１の薄い金属層２５３にめっきして、第１の金属層２３０を形成することができる。図８〜図１３に記載される組み合わされためっきプロセスを交互に行って、縁部に沿って余分な金属２３８があればそれを除去して、図１４に示される太陽電池２００を形成することができる。

図１５〜図１９を参照すると、金属を太陽電池３００にめっきする方法の続きが示される。以下に特に指定がない限り、図６〜図１４の構成要素を参照するために使用される数字表示は、インデックスが１００の単位で増加していることを除いて、図１５〜図３８の構成要素と同様である。

図１５を参照すると、金属を太陽電池３００にめっきする方法の続きが示される。方法は更に、第２の金属層３４０を太陽電池の第１の金属層３３０の上にめっきするために使用することができる、めっきプロセスを含む。第２の金属層３４０を第１の金属層３３０の上にめっきするめっきプロセスは、電気めっき浴中の第２の金属３７４を使用して、第１の電流３６０を第１の金属層３３０に導通することによって達成することができる。第２の金属層３４０を第１の金属層３３０の上にめっきするプロセスの結果として、第１の金属層を太陽電池の縁部３４２、３４４に沿ってめっきすることができる。上述したのと同様に、第１の電流３６０は、特定の時間にわたって既定の第１の電圧で発生させることができる。上述し、また図８、図９、及び図１０に示されるのと同様に、第１の電流３６０、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間は上述の値のいずれかであることができる。上記の説明で言及したように、一般に、太陽電池３００の縁部３４２、３４４に沿って金属をめっきすることで、金属リングが縁部に沿って作り出され、この金属リングは様々な欠陥の原因となることがあるため、望ましくない。第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で第１の電流３６０を導通することはやはり、めっきプロセスの開始時に、又はその中間状態で行うことができる。図１０の実施形態において記載し図示したプロセスと同様に、第１の電流３６０を継続して導通することで、追加の金属をめっきして、第２の厚い金属層を第１の金属層３３０及び太陽電池３００の側縁部の上に形成することができる。

図１６〜図１９は、金属を太陽電池３００にめっきする方法の続きを示す。方法は更に、第２の電流３６１を太陽電池３００に導通することによって、余分な金属３４８を第２の厚い金属層から排出して、めっき除去プロセス３３５、３４６、３４７を施すことを含む。上述し、図１１及び図１２に示したのと同様に、第２の電流３６１、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間は、上述の値のいずれかであることができる。図１７は、第２の電流３６１の導通の続きを示しており、第２の電流３６１を継続して導通することで、余分な金属３４８を太陽電池３００の縁部に沿って除去することができる。第２の電流３６１を継続して導通することで、第２の薄い金属層３５７を第１の金属層の上に形成することもできる。金属３４８の排出に続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流３６２を導通することによって、追加の金属を第１の薄い金属層３３０にめっきして、図１８による第２の金属層３４０を形成することができる。図１５〜図１８に記載される組み合わされためっきプロセスを次々に行って、縁部に沿って余分な金属３４８があればそれを除去して、図１９に示される太陽電池３００を形成することができる。

図２０を参照すると、金属を太陽電池４００にめっきする別の実施形態が示される。方法は、シリコン基板４０２と第１及び第２のドープ領域４１０、４１２とを有する、太陽電池を使用することを含むことができる。太陽電池は、通常動作中は太陽に向く前面４０６と、前面４０６とは反対側の裏面４０８とを有することができる。太陽電池４００は、太陽放射収集を増加させるため、テクスチャ付きのシリコン領域又はテクスチャ面４１８を、太陽電池の前面４０６上に設けることができる。テクスチャ面４１８の全体にわたって前面４０６上にＡＲＣ層４１４を形成して、太陽電池４００の光吸収特性を更に改善することができる。ＢＡＲＣ層４１６を、太陽電池４００の裏面４０８上に形成することもできる。ＡＲＣ層４１４及びＢＡＲＣ層４１６は両方とも、窒化シリコン（ＳｉＮ）など、太陽電池の反射防止コーティングに一般に使用される材料を含むことができる。埋め込まれたシード金属層４２０に複数のコンタクトホールが設けられてもよい。コンタクトホールは、上述のあらゆる技術によって形成することができる。標準的な電気めっきプロセスを使用して、第１の金属層４３０をシード金属層４２０にめっきすることができる。上述したプロセスなど、任意の電気めっきプロセスを使用することができる。太陽電池の縁部に沿った欠陥部位は、縁部に余分な金属がめっきされる原因でもあり得る。結果として、余分な金属のこぶ状生成物４３９が太陽電池の縁部に生じる可能性がある。一実施形態において、銅でできたこぶ状生成物などのこぶ状生成物が、金属の薄いスレッドによって太陽電池に接続される可能性がある。

図２１〜図２６は、金属を太陽電池４００にめっきする方法の続きを示す。方法は更に、超音波媒体４９６、超音波媒体４９６を収容する筐体４９５、及び超音波発生器を含む、超音波設備４９４を設けることを含む。太陽電池４００は、クランプ４７６、４７８によって懸架することができる。超音波洗浄プロセスは、標準的なめっきプロセス、又は上述のめっきプロセスのうち１つの後に続けて行うことができる。超音波洗浄プロセスは、図２１に見られるように、太陽電池を超音波媒体４９６に沈めることを伴う場合がある。図２２及び図２３に示されるように、超音波媒体４９６に、超音波発生器を使用して振動４８６を与えて、太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属４３９を除去することができる。同様に、超音波洗浄プロセスはまた、第１の金属層４３０の上にある第２の金属層４４０と、太陽電池４００縁部に沿ってめっきされた余分な金属４４９とを含む、図２４の太陽電池４００にも適用することができる。図２５は、超音波媒体４９６に振動４８６を与えて、図２４の太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属４４９を除去することができる、超音波洗浄プロセスを示す。同様に、超音波洗浄プロセスはまた、第１の金属層４３０の上にある第２の金属層４４０と、太陽電池４００縁部に沿ってめっきされた余分な金属４３９、４４９とを含む、図２６の太陽電池４００にも適用することができる。別の実施形態において、余分な金属４３９、４４９は、第１及び第２の金属層４３０、４４０とそれぞれ同じ材料で構成される。図２７は、超音波媒体４９６に振動４８６を与えて、図２６の太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属４４９、４３９を除去することができる、超音波洗浄プロセスを示す。

図２８〜図３０を参照すると、金属を太陽電池５００にめっきする方法の続きの別の実施形態が示される。方法は、シリコン基板上に堆積されたシード金属層を有する太陽電池５００を設けることを含むことができる。方法は更に、電気めっき浴５９２を保持する電気めっきタンク５９１を含む、電気めっき設備５９０を設けることを含むことができる。電気めっき構成は、更に、電気めっき浴５９２に沈められた第１の金属相互接続部５７５及び第２の金属相互接続部５７３で構成することができる。整流器５７０を第１及び第２の金属相互接続部５７５、５７３に連結することができる。第１の金属相互接続部５７５は太陽電池５００に接続することができる。第２の金属相互接続部５７３は第１の金属５７２に接続することができる。電圧出力表示５９８は出力電圧を示すことができる。図２８に示されるように、第１の金属層を太陽電池５００上にめっきすることができ、第１の金属層のめっきは、第１の電流５６３を太陽電池５００のシード金属層に導通することによって達成される。第１の電流５６３は、第１の方向、第１の電圧５６６、第１の時間５８０で導通することができる。図２９では、第２の方向、第２の電圧５６７、第２の時間５８２で第２の電流５６４を太陽電池５００に導通することによって、余分な金属５３８を太陽電池５００から排出することができる。図３０は、第１の方向、第３の電圧５６８、第３の時間５８４で第３の電流５６５を太陽電池５００に導通することを含む、図２８及び図２９に示される組み合わされたプロセスを示す。電圧出力表示５９８内に示される波形は、金属を太陽電池縁部に沿ってめっきすることなく、金属を太陽電池５００上にめっきして、上述した様々な標準的な被覆、エッチング、及び保護方法の必要性をなくすための一実施形態を示す。上述の方式における電圧５６６、５６７、５６８、電流５６３、５６４、５６５、及び持続時間５８０、５８２、５８４を入れ替えるか又は変動させることで、金属を太陽電池縁部に沿ってめっきすることなく、金属を太陽電池５００の表面に沿ってのみめっきするために必要な方策を提供することができる。

図３１は、金属を太陽電池６００にめっきする方法の続きを示す。上述のめっきプロセス又は他の様々な標準的なめっきプロセスなどのめっきプロセスを行った後、上述の方法の続きは更に、超音波洗浄プロセスを行って、金属層を太陽電池６００上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属を、少なくとも１つの縁部から除去することを含むことができる。方法は、太陽電池６００及び超音波設備６９０を設けることを含むことができる。超音波設備６９０は、超音波媒体６９２、超音波媒体６９２を収容する筐体６９１、及び超音波発生器６９９の使用を含むことができる。太陽電池は、懸架ワイヤ又は相互接続部６７５によって懸架することができる。超音波洗浄プロセスは、太陽電池を超音波媒体６９２中に沈め、周波数６８８内で超音波媒体６９２に振動６８６を与えて、余分な金属６３９を太陽電池６００から除去することによって、行うことができる。一実施形態において、周波数６８８は２０〜４００キロヘルツの範囲である。

図３２を参照すると、金属を太陽電池２００にめっきする一実施形態のフローチャートが示される。上述したように、第１の操作７００は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面２０６と、前面とは反対側の裏面２０８と、４つの側縁部と、太陽電池２００のシリコン２０２基板上のシード金属層２２０とを有する、太陽電池２００を設けることを含むことができる。第２の操作７０２は、第１の金属層２３０を太陽電池上にめっきすることであることができ、第１の金属層２３０のめっきは、浴中の金属２７２を使用して、第１の方向、第１の電圧、第１の時間で、第１の電流２６０をシード金属層２２０に導通することによって達成される。第３の操作７０４は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流２６１を太陽電池に導通することによって、金属２３８を第１の金属層２３０から排出することであることができる。第４の操作７０６は、続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流２６２を導通することによって、追加の金属を第１の金属層２３０にめっきすることであることができる。

図３３は、金属を太陽電池２００及び３００にめっきする別の実施形態のフローチャートを示す。上述したように、第１の操作７１０は、シリコン基板３０２上のシード金属層３２０を有する太陽電池３００を設けることを含むことができる。第２の操作７１１は、電気めっき浴を準備することであることができる。第３の操作７１２は、第１の金属３７２を第１の金属相互接続部に接続することであることができる。第４の操作７１３は、第２の金属相互接続部を太陽電池３００に接続することであることができる。第１及び第２の金属相互接続部の両方を整流器に連結することができる。第５の操作７１４は、第１の金属層を太陽電池３００上にめっきすることを含むことができ、第１の金属層３３０をめっきすることは、電気めっき浴中の第１の金属３７２を使用して、第１の電流３６０を、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、シード金属層３２０に導通することによって、達成される。第６の操作７１５は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流３６１を太陽電池に導通することによって、金属３４８を第１の金属層３３０から排出することであることができる。続いて、第７の操作７１６は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流３６２を導通することによって、追加の金属を第１の金属層３３０上にめっきすることを含むことができる。第８及び第９の操作７１７、７１８は、第１の金属３７２を第１の金属相互接続部から分離することを含むことができ、続いて、第２の金属３７４を第１の金属相互接続部に接続することができる。第１０の操作７１９は、第１の電流３６０を、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の金属層３３０に導通することによって、第２の金属層３４０を太陽電池３００上にめっきすることを含むことができる。第１１の操作７２０は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流３６１を太陽電池３００に導通することによって、金属３４８を第２の金属層３４０から排出することを含むことができる。最後の操作７２１は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流３６２を導通することによって、追加の金属を第２の金属層３４０にめっきすることを含むことができる。

図３４を参照すると、金属を太陽電池４００にめっきする更に別の実施形態のフローチャートが示される。上述したように、第１の操作７３０は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面４０６と、前面とは反対側の裏面４０８と、４つの側縁部とを有する太陽電池４００を設けることを含むことができる。第２の操作７３２は、シード金属層４２０を太陽電池４００のシリコン基板４０２上に堆積させることを含むことができる。第３の操作７３４は、電流を太陽電池４００のシード金属４２０層に導通することによって、第１の金属層４２０を太陽電池４００にめっきすることを含むことができる。最後の操作７３６は、続いて超音波洗浄プロセスを行って、第１の金属層４３０を太陽電池上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属４３９を、少なくとも１つの側縁部から除去することを含むことができる。

図３５は、金属を太陽電池４００にめっきする更に別の実施形態のフローチャートを示す。上述したように、第１の操作７４０は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面４０６と、前面とは反対側の裏面４０８と、４つの側縁部とを有する太陽電池４００を設けることを含むことができる。第２の操作７４２は、シード金属層４２０を太陽電池４００のシリコン基板４０２上に堆積させることを含むことができる。第３の操作７４４は、電流を太陽電池のシード金属層４２０に導通することによって、第１の金属層４３０を太陽電池４００上にめっきすることを含むことができる。第４の操作７４６は、電流を太陽電池４００の第１の金属層４２０に導通することによって、第２の金属層４４０を太陽電池４００上にめっきすることを含むことができる。最後の操作７４８は、続いて超音波洗浄プロセスを行って、第１及び第２の金属層４３０、４４０を太陽電池４００上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属４３９、４４９を、少なくとも１つの側縁部から除去することを含むことができる。

図３６を参照すると、金属を太陽電池４００にめっきする更に別の実施形態のフローチャートが示される。上述したように、第１の操作７５０は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面４０６と、前面４０６とは反対側の裏面４０８と、４つの側縁部とを有する太陽電池４００を設けることと、超音波媒体４９６、超音波媒体４９６を収容する筐体４９５、及び超音波発生器を含む、超音波設備４９４を設けることとを含むことができる。第２の操作７５２は、シード層４２０を太陽電池４００のシリコン基板４０２上に堆積させることを含むことができる。第３の操作７５４は、電流を太陽電池４００のシード金属層４２０に導通することによって、第１の金属層４３０を太陽電池４００上にめっきすることを含むことができる。第４の操作７５６は、太陽電池４００を超音波媒体４９６に沈めることを含むことができる。最後の操作７５８は、超音波媒体に振動４８６を与えて、太陽電池４００の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属４３９、４４９を除去することを含むことができる。

図３７を参照すると、金属を太陽電池４００にめっきする更に別の実施形態のフローチャートが示される。上述したように、第１の操作７６０は、通常動作中は太陽に向くように構成された前面４０６と、前面４０８とは反対側の裏面４０８と、４つの側縁部とを有する太陽電池４００を設けることと、超音波媒体４９６、超音波媒体３９６を収容する筐体、及び超音波発生器を含む、超音波設備４９４を設けることとを含むことができる。第２の操作７６１は、シード層４２０を太陽電池４００のシリコン基板４０２上に堆積させることを含むことができる。第３の操作７６２は、浴中の金属を使用して、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流を太陽電池のシード金属層４２０に導通することによって、第１の金属層４２０を太陽電池４００上にめっきすることを含むことができる。第４の操作７６３は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池４００に導通することによって、金属４３９、４４９を第１の金属層から排出することを含むことができる。第５の操作７６４は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第２の金属層４４０にめっきすることを含むことができる。第６の操作７６５は、太陽電池４００を超音波媒体４９６に沈めることを含むことができる。第７の最後の操作７６６は、超音波媒体に振動４８６を与えて、太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属４３９、４４９を除去することを含むことができる。

図３８は、金属を太陽電池２００、３００、及び４００にめっきする別の実施形態のフローチャートを示す。上述したように、第１の操作７７０は、太陽電池４００を設けることを含むことができる。第２の操作７７１は、シード金属層４２０を太陽電池４００のシリコン基板上に堆積させることを含むことができる。第３の操作７７２は、電解液を含む電気めっき浴と、電気めっき浴に沈められると共に整流器に連結される、第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とを準備することであることができる。第４の操作７７３は、第１の金属を第１の金属相互接続部に接続することであることができる。第５の操作７７４は、第２の金属相互接続部を太陽電池４００に接続することであることができる。第１及び第２の金属相互接続部の両方を整流器に連結することができる。第６の操作７７５は、第１の金属層を太陽電池４００上にめっきすることを含むことができ、第１の金属層４３０のめっきは、電気めっき浴中の第１の金属を使用して、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流をシード金属層４２０に導通することによって達成される。第７の操作７７６は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属４３９、４４９を第１の金属層４３０から排出することであることができる。続いて、第８の操作７７７は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第１の金属層４３０にめっきすることを含むことができる。第９の操作及び第１０の操作７７８、７７９は、第１の金属を第１の金属相互接続部から分離することを含むことができ、続いて、第２の金属を第１の金属相互接続部に接続することができる。第１１の操作７８０は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で第１の電流を第１の金属層４３０に導通することによって、第２の金属層４４０を太陽電池上にめっきすることを含むことができる。第１２の操作７８１は、第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を太陽電池に導通することによって、金属４３９、４４９を第２の金属層４４０から排出することを含むことができる。第１３の操作７８２は、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を第２の金属層４４０にめっきすることを含むことができる。最後の操作７８３は、超音波洗浄プロセスを行って、第１及び第２の金属層４３０、４４０を太陽電池４００上にめっきすることによって生じる余分なめっき金属４３９、４４９を、少なくとも１つの側縁部から除去することを含むことができる。

少なくとも１つの例示的実施形態が、上述の発明を実施するための形態で提示されてきたが、莫大な数の変型が存在することを認識するべきである。本明細書に記載する例示的実施形態は、特許請求される主題の範囲、適用性、又は構成を限定する意図が全くないこともまた、認識するべきである。むしろ、上述の発明を実施するための形態は、当業者に、説明される実施形態を実践するための簡便な指針を提供するものである。本特許出願が出願される時点での、既知の等価物及び予見可能な等価物を含む、特許請求の範囲によって規定される範囲から逸脱することなく、諸要素の機能及び配置に、様々な変更が実施可能であることを理解するべきである。
［項目１］
通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、上記前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池上に金属層をめっきする方法であって、
第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、上記太陽電池がシリコン基板上のシード金属層を備え、第１の金属層をめっきする工程が、浴中の金属を使用して、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流を上記太陽電池のシード金属層に導通する工程を含む、工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を上記太陽電池に導通することによって、金属を上記第１の金属層から排出する工程と、
金属を上記第１の金属層から排出する工程に続いて、第３の電圧、第３の時間、上記第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を上記第１の金属層にめっきする工程と、を含む、方法。
［項目２］
金属を上記第１の金属層から排出する工程が、金属を上記太陽電池の少なくとも１つの上記縁部から不均衡に除去する工程を更に含む、項目１に記載の方法。
［項目３］
金属を上記第１の金属層から排出する工程が、金属を上記シード金属層から除去することなく、金属を上記太陽電池の領域から不均衡に除去する工程を更に含む、項目１に記載の方法。
［項目４］
めっき及び排出操作が、めっきプロセス全体を通して入れ替えられる、項目１に記載の方法。
［項目５］
上記第２の電流が上記第１の電流の逆極性である、項目１に記載の方法。
［項目６］
上記第２の時間が上記第１の時間よりも短い、項目１に記載の方法。
［項目７］
上記第２の電圧が上記第１の電圧の最大３倍である、項目１に記載の方法。
［項目８］
金属を上記第１の金属層から排出する工程に先立って、約１マイクロメートル未満の厚さで、第１の金属層を上記太陽電池の少なくとも１つの上記側縁部上にめっきする工程を更に含む、項目１に記載の方法。
［項目９］
金属層をめっきする工程が、
電解液と、電気めっき浴に沈められると共に整流器に連結される、第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とを含む電気めっき浴を準備する工程と、
第１の金属を上記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
上記太陽電池を上記第２の金属相互接続部に接続する工程と、
第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、上記太陽電池がシリコン基板上のシード金属層を備え、上記第１の金属層をめっきする工程が、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流を上記太陽電池のシード金属層に導通する工程を含む、工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を上記太陽電池に導通する工程によって、金属を上記第１の金属層から排出する工程と、金属を上記第１の金属層から排出する工程に続いて、
第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通する工程によって、追加の金属を上記第１の金属層にめっきする工程と、
上記第１の金属を上記第１の金属相互接続部から分離する工程と、
第２の金属を上記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
第２の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程であって、上記太陽電池が上記シード金属層上に上記第１の金属層を備え、上記第２の金属層をめっきする工程が、上記太陽電池の上記第１の金属層に第１の電流を導通させる工程を含み、上記第１の電流は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通する、工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を上記太陽電池に導通する工程によって、金属を上記第２の金属層から排出する工程と、金属を上記第２の金属層から排出する工程に続いて、
第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を上記第２の金属層にめっきする工程と、を含む、項目１に記載の方法。
［項目１０］
上記第１及び第２の金属層をめっきする工程が、銅、錫、アルミニウム、銀、金、クロム、鉄、ニッケル、亜鉛、ルテニウム、パラジウム、及びプラチナを含む群から選択される、第１及び第２の金属をめっきする工程を含む、項目９に記載の方法。
［項目１１］
通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、上記前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池上に金属層をめっきする方法であって、
シード金属層を上記太陽電池のシリコン基板上に堆積させる工程と、
第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、上記第１の金属層をめっきする工程が、電流を上記太陽電池のシード金属層に導通することを含む、工程と、
超音波洗浄プロセスを行って、第１の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程によって生じる余分なめっき金属を、上記太陽電池の少なくとも１つの上記縁部から除去する工程と、を含む方法。
［項目１２］
上記第１の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程が、
第２の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程であって、第２の金属層をめっきする工程が、電流を上記太陽電池の上記第１の金属層に導通する工程を更に含む、項目１１に記載の方法。
［項目１３］
上記シード金属層を上記太陽電池の上記シリコン基板上に堆積させる工程が、物理気相蒸着（ＰＶＤ）プロセスによってシード金属層を堆積させる工程を含む、項目１１に記載の方法。
［項目１４］
上記シード金属層を上記太陽電池の上記シリコン基板上に堆積させる工程が、パターン印刷蒸着プロセスによってシード金属層を堆積させる工程を含む、項目１１に記載の方法。
［項目１５］
上記シード金属層を堆積させる工程が、銅、錫、タングステン、チタン、チタンタングステン、銀、金、窒化チタン、窒化タンタル、ルテニウム、及びプラチナを含む群から選択される金属を堆積させる工程を含む、項目１１に記載の方法。
［項目１６］
上記超音波洗浄プロセスを行う工程が、
上記太陽電池を超音波媒体に沈める工程と、
超音波発生器を使用して上記超音波媒体に振動を与えて、上記太陽電池の上記少なくとも１つの側縁部に付着した余分なめっき金属を除去する、工程と、を含む、項目１１に記載の方法。
［項目１７］
上記超音波媒体が、水、空気、界面活性剤溶液、イオン溶液、酸、及び塩基から成る群から選択される媒体を含む、項目１６に記載の方法。
［項目１８］
上記超音波媒体に振動を与える工程が、２０〜４００キロヘルツの周波数範囲内で上記超音波媒体を振動させる工程を含む、項目１６に記載の方法。
［項目１９］
上記第１の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程が、
浴中の金属を使用して第１の電流を上記太陽電池の上記シード金属層に導通することによって上記第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、上記第１の電流が、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通される、工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で、第２の電流を上記太陽電池に導通することによって、金属を上記第１の金属層から排出する工程と、
金属を上記第１の金属層から排出する工程に続いて、第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を上記第１の金属層にめっきする工程と、を含む、項目１１に記載の方法。
［項目２０］
通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、上記前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池上に金属層をめっきする方法であって、
シード金属層を上記太陽電池のシリコン基板上に堆積させる工程と、
電解液と、電気めっき浴に沈められると共に整流器に連結される、第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とを含む電気めっき浴を準備する工程と、
第１の金属を上記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
上記太陽電池を上記第２の金属相互接続部に接続する工程と、
第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通される第１の電流を、上記太陽電池の上記シード金属層に導通することを含む、第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で、第２の電流を上記太陽電池に導通することによって、金属を上記第１の金属層から排出する工程と、金属を上記第１の金属層から排出するのに続いて、
第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を上記第１の金属層にめっきする工程と、
上記第１の金属を上記第１の金属相互接続部から分離する工程と、
第２の金属を上記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
第２の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程であって、上記太陽電池が、上記シリコン基板上の上記シード金属層の上に配設された上記第１の金属層を備え、上記第２の金属層をめっきする工程が第１の電流を上記太陽電池の上記第１の金属層に導通させる工程を含み、上記第１の電流は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通している、工程と、
第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で、第２の電流を上記太陽電池に導通させる工程によって、金属を上記第２の金属層から排出する工程と、金属を上記第２の金属層から排出する工程に続いて、
第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通させることによって、追加の金属を上記第２の金属層にめっきする工程と、
超音波洗浄プロセスを行って、上記第１の金属層を上記太陽電池上にめっきする工程によって生じる余分なめっき金属を、少なくとも１つの上記側縁部から除去する、工程と、を含む、方法。

Claims (10)

1. 通常動作中は太陽に向くように構成された前面と、前記前面とは反対側の裏面と、４つの側縁部とを有する太陽電池上に金属層をめっきする方法であって、
   第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、前記太陽電池がシリコン基板上のシード金属層を備え、第１の金属層をめっきする工程が、浴中の金属を使用して、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流を前記太陽電池のシード金属層に導通する工程を含む、工程と、
   第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を前記太陽電池に導通することによって、金属を前記第１の金属層から排出する工程と、
   金属を前記第１の金属層から排出する工程に続いて、第３の電圧、第３の時間、前記第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を前記第１の金属層にめっきする工程と、
   超音波洗浄プロセスを行って、前記第１の金属層及び前記追加の金属を前記太陽電池上にめっきすることによって前記太陽電池の少なくとも１つの側縁部に付着しためっき金属を除去する工程と
   を含む、方法。
2. 金属を前記第１の金属層から排出する工程が、金属を前記太陽電池の少なくとも１つの前記縁部から不均衡に除去する工程を更に含む、請求項１に記載の方法。
3. 金属を前記第１の金属層から排出する工程が、金属を前記シード金属層から除去することなく、金属を前記太陽電池の領域から不均衡に除去する工程を更に含む、請求項１または請求項２に記載の方法。
4. めっき及び排出操作が、めっきプロセス全体を通して入れ替えられる、請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の方法。
5. 前記第２の電流が前記第１の電流の逆極性である、請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の方法。
6. 前記第２の時間が前記第１の時間よりも短い、請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の方法。
7. 前記第２の電圧が前記第１の電圧の最大３倍である、請求項１から請求項６のいずれか１つに記載の方法。
8. 金属を前記第１の金属層から排出する工程に先立って、約１マイクロメートル未満の厚さで、第１の金属層を前記太陽電池の少なくとも１つの前記側縁部上にめっきする工程を更に含む、請求項１から請求項７のいずれか１つに記載の方法。
9. 金属層をめっきする工程が、
   電解液と、電気めっき浴に沈められると共に整流器に連結される、第１の金属相互接続部及び第２の金属相互接続部とを含む電気めっき浴を準備する工程と、
   第１の金属を前記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
   前記太陽電池を前記第２の金属相互接続部に接続する工程と、
   第１の金属層を太陽電池上にめっきする工程であって、前記太陽電池がシリコン基板上のシード金属層を備え、前記第１の金属層をめっきする工程が、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で、第１の電流を前記太陽電池のシード金属層に導通する工程を含む、工程と、
   第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を前記太陽電池に導通する工程によって、金属を前記第１の金属層から排出する工程と、金属を前記第１の金属層から排出する工程に続いて、
   第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通する工程によって、追加の金属を前記第１の金属層にめっきする工程と、
   前記第１の金属を前記第１の金属相互接続部から分離する工程と、
   第２の金属を前記第１の金属相互接続部に接続する工程と、
   第２の金属層を前記太陽電池上にめっきする工程であって、前記太陽電池が前記シード金属層上に前記第１の金属層を備え、前記第２の金属層をめっきする工程が、前記太陽電池の前記第１の金属層に第１の電流を導通させる工程を含み、前記第１の電流は、第１の方向、第１の電圧、及び第１の時間で導通する、工程と、
   第２の方向、第２の電圧、及び第２の時間で第２の電流を前記太陽電池に導通する工程によって、金属を前記第２の金属層から排出する工程と、金属を前記第２の金属層から排出する工程に続いて、
   第３の電圧、第３の時間、第１の方向で第３の電流を導通することによって、追加の金属を前記第２の金属層にめっきする工程と、を含む、請求項１から請求項８のいずれか１つに記載の方法。
10. 前記第１及び第２の金属層をめっきする工程が、銅、錫、アルミニウム、銀、金、クロム、鉄、ニッケル、亜鉛、ルテニウム、パラジウム、及びプラチナを含む群から選択される、第１及び第２の金属をめっきする工程を含む、請求項９に記載の方法。

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