JP6170300B2 - 窒化物半導体デバイス - Google Patents
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Description
導体層、前記第3の窒化物半導体層、及び第4の窒化物半導体層は、有機金属気相成長法
又はハイドライド気相成長法により形成された窒化物半導体膜であってもよい。また、本発明の他の態様によれば、上記目的を達成するため、第1の窒化物半導体層と、前記第1の窒化物半導体層上にn型導電性を有する第2の窒化物半導体層、p型導電性を有する第3の窒化物半導体層、及びn型導電性を有する第4の窒化物半導体層を順に積層して形成されたnpn接続構造と、を有し、前記第3の窒化物半導体層は、前記第4の窒化物半導体層に覆われない非被覆領域を2つ以上有し、前記非被覆領域の少なくとも一部は、前記第4の窒化物半導体層の上面に開口する空隙部により形成される領域であり、前記第4の窒化物半導体層、前記第3の窒化物半導体層、及び第2の窒化物半導体層が前記空隙部の内側側面を構成する、窒化物半導体デバイスが提供される。
本発明の一実施の形態は、第1の窒化物半導体層と、前記第1の窒化物半導体層上にn型導電性を有する第2の窒化物半導体層、p型導電性を有する第3の窒化物半導体層、及びn型導電性を有する第4の窒化物半導体層を順に積層して形成されたnpn接続構造と、を有し、前記第3の窒化物半導体層は、前記第4の窒化物半導体層に覆われない非被覆領域を2つ以上有する、窒化物半導体デバイスを提供する。
(窒化物半導体デバイス)
図1(a)、(b)は、それぞれ第1の実施の形態に係る窒化物半導体デバイスの垂直断面図と上面図である。図1(a)は、図1(b)の線分A−Aに沿って切断したときの断面を表す。
第2の実施の形態は、エミッタ電極の構成において第1の実施の形態と異なる。なお、第1の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
図8(a)、(b)は、それぞれ第2の実施の形態に係る窒化物半導体デバイスの垂直断面図と上面図である。図8(a)は、図8(b)の線分B−Bに沿って切断したときの断面を表す。
上記第1、2の実施の形態によれば、p型窒化物半導体層122がn型窒化物半導体層123に覆われない非被覆領域を2つ以上有するため、熱処理によりp型窒化物半導体層の水素を効率的に放出することができる。それにより、アクセプタを活性化させ、水素に起因するp型窒化物半導体層の導電性の低下を抑えることができる。
11 n型窒化物半導体層
12 npn接続構造
121、123 n型窒化物半導体層
122 p型窒化物半導体層
122a 被覆領域
122b 非被覆領域
13、14、15、22 電極
16 空隙部
21 絶縁膜
Claims (9)
- 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層上にn型導電性を有する第2の窒化物半導体層、p型導電性を有する第3の窒化物半導体層、及びn型導電性を有する第4の窒化物半導体層を順に積層して形成されたnpn接続構造と、
を有し、
前記第3の窒化物半導体層は、前記第4の窒化物半導体層に覆われない独立した非被覆領域を2つ以上有する、
バイポーラトランジスタである、
窒化物半導体デバイス。 - 前記第3の窒化物半導体層の、前記第4の窒化物半導体層に覆われた被覆領域内の任意の点から前記非被覆領域までの最短距離が50μm以下である、
請求項1に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記非被覆領域の少なくとも一部は、前記第4の窒化物半導体層の上面に開口する空隙部により形成される領域であり、
前記第4の窒化物半導体層及び前記第3の窒化物半導体層が前記空隙部の内側側面を構成する、
請求項1又は2に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記第4の窒化物半導体層、前記第3の窒化物半導体層、及び第2の窒化物半導体層が前記空隙部の内側側面を構成する、
請求項3に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記非被覆領域の少なくとも一部は、前記第4の窒化物半導体層の上面に開口する空隙部により露出した領域であり、
前記第4の窒化物半導体層は、前記空隙部により分離された複数の部分からなり、
前記複数の部分には1つの電極が共通に接続され、
前記電極と前記第3の窒化物半導体層は、前記空隙部内に形成された絶縁膜により絶縁される、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記絶縁膜は、二酸化ケイ素を主成分とする絶縁材料からなる、
請求項5に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記第1の窒化物半導体層、前記第2の窒化物半導体層、前記第3の窒化物半導体層、及び第4の窒化物半導体層は、有機金属気相成長法又はハイドライド気相成長法により形成された窒化物半導体膜である、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の窒化物半導体デバイス。 - 前記第4の窒化物半導体層が、少なくとも前記第3の窒化物半導体層の縁のうちの対向する2つの縁に接する、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の窒化物半導体デバイス。 - 第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層上にn型導電性を有する第2の窒化物半導体層、p型導電性を有する第3の窒化物半導体層、及びn型導電性を有する第4の窒化物半導体層を順に積層して形成されたnpn接続構造と、
を有し、
前記第3の窒化物半導体層は、前記第4の窒化物半導体層に覆われない非被覆領域を2つ以上有し、
前記非被覆領域の少なくとも一部は、前記第4の窒化物半導体層の上面に開口する空隙部により形成される領域であり、
前記第4の窒化物半導体層、前記第3の窒化物半導体層、及び第2の窒化物半導体層が前記空隙部の内側側面を構成する、
窒化物半導体デバイス。
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