JP6170140B2 - 基板外観検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板に実装された部品の実装状態を検査する基板外観検査装置に関する。

基板外観検査装置の一例として、特許文献１に記載の発明が挙げられる。特許文献１に記載の発明では、予め検査部品の種類分の部品検査データを記憶部に記憶させている。そして、検査対象部品の種類（部品メーカ）を判別して、記憶部に記憶されている複数の部品検査データの中から、部品メーカに対応する部品検査データを選択して検査を行っている。これにより、検査対象部品が部品メーカの異なる部品に変更された場合に、基板外観検査装置を停止させて部品検査データを入れ替えることなく、基板の外観検査を行うことができるようにしている。

特開２００２−２９９９００号公報

しかしながら、基板外観検査装置では、基板に実装された部品を部品認識用カメラで撮像して、撮像画像から検査対象部品の実装状態を判断している。そのため、同じ部品メーカの同種類の部品であっても、検査対象部品の個体差などによって部品表面の光反射が異なり、異なる部品種の部品と誤判別される可能性がある。特許文献１に記載の発明では、検査対象部品の種類（部品メーカ）を誤判別すると、異なる部品メーカの部品検査データを選択して基板の外観検査を行うことになり、必ずしも検査精度が高いとは言えない。

また、検査対象部品の一つの部品種につき複数個の部品検査データを記憶部に記憶しておき、部品検査データを順次、検査対象部品と照合すると、部品検査データの増加に応じて、部品検査データが検査対象部品に適合するまでの所要時間が増大して、検査時間が増大する。

本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、検査対象部品の個体差を考慮した検査時間を低減可能な基板外観検査装置を提供することを課題とする。

請求項１に記載の基板外観検査装置は、基板に実装された部品の実装状態を検査する基板外観検査装置であって、検査対象部品の一つの部品種につき複数個の部品検査データを記憶する部品検査データ記憶部と、前記部品を撮像する部品認識用カメラの撮像視野における前記検査対象部品が存在する領域毎に、過去の前記検査において前記部品検査データを使用して前記検査対象部品の実装状態を検査したときの検査実績を集計する検査実績集計部と、前記部品検査データ記憶部に記憶されている前記複数個の部品検査データの中から前記検査に使用する部品検査データを選択して、前記選択した部品検査データを用いて前記検査対象部品の実装状態を検査する検査部と、を備え、前記検査部は、前記検査実績集計部によって集計された前記撮像視野における前記検査対象部品の位置に応じた前記検査実績が良好な部品検査データから順次選択して検査する。

請求項１に記載の基板外観検査装置によれば、検査部は、部品検査データ記憶部に記憶されている複数個の部品検査データのうち、過去の検査において検査実績が良好な部品検査データから順次、選択して部品の実装状態を検査する。そのため、検査対象部品の個体差による影響を受けにくく、部品検査データが検査対象部品に適合するまでの所要時間を短縮することができ、検査時間を低減させることができる。
請求項１に記載の基板外観検査装置によれば、検査部は、部品認識用カメラの撮像視野における検査対象部品の位置に応じた検査実績を用いて、検査に使用する部品検査データを選択する。そのため、部品認識用カメラの撮像視野における検査対象部品の位置を考慮して、部品の実装状態を検査することができる。よって、検査部は、検査精度を向上させることができるとともに、検査時間を低減させることができる。

請求項２に記載の基板外観検査装置は、請求項１に記載の基板外観検査装置において、前記部品検査データ記憶部は、前記検査実績集計部によって集計された前記検査実績が良い順に前記部品検査データの配列を変更する。

請求項２に記載の基板外観検査装置によれば、部品検査データは、部品検査データ記憶部によって検査実績が良い順に配列されるので、検査部は、部品検査データ記憶部に記憶されている複数個の部品検査データを先頭から順に選択して、部品の実装状態を検査することができる。よって、検査部における検査手順を簡素化することができる。

請求項３に記載の基板外観検査装置は、請求項１または請求項２に記載の基板外観検査装置において、前記検査実績は、過去の前記検査において前記部品検査データが前記検査対象部品に適合した適合回数、または、過去の前記検査において前記部品検査データを参照した参照回数に対する前記適合回数の割合を示す適合率である。

請求項３に記載の基板外観検査装置によれば、検査部は、過去の検査における部品検査データと検査対象部品との適合状態を示す適合回数または適合率を検査実績として用いる。そのため、検査部は、適合回数または適合率が良好な部品検査データから順次選択して、検査対象部品を検査することができる。よって、検査部は、検査精度を向上させることができるとともに、検査時間を低減させることができる。

請求項４に記載の基板外観検査装置は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板外観検査装置において、前記検査対象部品の部品種が変更されたときに、前記検査実績集計部は、変更前の前記検査対象部品の部品種について今回の検査実績を集計して、前記集計された今回の検査実績を前記部品検査データに対応づけて記憶する。

請求項４に記載の基板外観検査装置によれば、検査実績集計部は、検査対象部品の部品種の変更の際に、今回の検査実績を集計して記憶するので、検査対象部品の部品種毎に検査実績を管理することが容易である。また、今回の検査実績は、部品検査データに対応づけて記憶されるので、検査部は、次回の検査時に、検査実績に応じた部品検査データを選択することが容易である。

請求項５に記載の基板外観検査装置は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板外観検査装置において、前記部品検査データ記憶部は、記憶されている前記部品検査データを削除する場合に、前記部品検査データ記憶部に所定期間以上記憶され、かつ、前記検査実績が悪い部品検査データから削除する。

請求項５に記載の基板外観検査装置によれば、部品検査データ記憶部は、部品検査データ記憶部に記憶されている期間が短い部品検査データを残しつつ、検査実績が悪い部品検査データを削除することができる。よって、部品検査データ記憶部に記憶する部品検査データの増大を抑制するとともに、検査実績が良好な部品検査データを部品検査データ記憶部に記憶することができる。

基板外観検査装置の一例を示す平面図である。 基板外観検査装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。 基板外観検査の手順の一例を示すフローチャートである。 部品形状データ、適合回数および保存期間の一例を示す図である。 図４において、適合回数が多い順に部品形状データの配列を変更した状態を示す図である。 第２実施形態に係り、部品認識用カメラの撮像視野を模式的に示す図である。 第２実施形態に係り、部品形状データおよび検査領域毎の適合率の一例を示す図である。 第２実施形態に係り、基板外観検査の手順の一例を示すフローチャートである。 部品固有情報を送信する手順の一例を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施形態について、共通する箇所には共通の符号を付して対応させることにより、重複する説明を省略する。また、各図は概念図であり、細部構造の寸法まで規定するものではない。

＜第１実施形態＞
図１は、基板外観検査装置１の一例を示す平面図である。同図に示すように、基板外観検査装置１は、検査装置本体１０１、基板搬送装置１０２、部品認識用カメラ１０３およびＸＹ移載装置１０４を有しており、基板ＰＢ１に実装された部品の実装状態を検査する。

基板搬送装置１０２は、例えば、ベルトコンベア等の搬送装置であり、基板ＰＢ１を同図に示す矢印Ｙ方向に搬送して所定位置に位置決めする。部品認識用カメラ１０３は、例えば、ＣＣＤカメラを用いることができ、基板ＰＢ１に実装された部品を基板ＰＢ１の上方から撮像する。部品認識用カメラ１０３は、Ｘ軸スライド１０６に設けられた検査ヘッド１００に保持されている。

部品認識用カメラ１０３は、ＸＹ移載装置１０４によってＸＹ平面上を移動して、基板ＰＢ１上の所定位置を撮像することができる。部品認識用カメラ１０３によって撮像された画像データは、検査装置本体１０１の画像処理装置によって画像処理される。画像処理装置は、撮像画像において検査対象部品を抽出して、抽出された検査対象部品と部品検査データとを比較する。これにより、基板外観検査装置１は、検査対象部品の部品種を判別するとともに、基板ＰＢ１における検査対象部品の位置ずれ等の実装状態を取得することができる。

ＸＹ移載装置１０４は、Ｙ軸スライド１０５およびＸ軸スライド１０６を有している。Ｙ軸スライド１０５は、検査装置本体１０１に支持されたＹ軸スライド移動装置１０７によって、同図に示すＹ軸方向に移動することができる。Ｘ軸スライド１０６は、Ｙ軸スライド１０５に設けられたＸ軸スライド移動装置１０８によって、同図に示すＸ軸方向に移動することができる。Ｙ軸スライド移動装置１０７およびＸ軸スライド移動装置１０８は、例えば、公知のサーボモータを用いることができる。

検査装置本体１０１は、基板外観検査装置１を制御する制御装置１０を有している。制御装置１０は、ＣＰＵおよびメモリを有しており、メモリに記憶されている検査プログラムを実行することによって、基板ＰＢ１に実装された部品の実装状態を検査することができる。

図２は、基板外観検査装置１の制御ブロックの一例を示すブロック図である。図３は、基板外観検査の手順の一例を示すフローチャートである。図２に示すように、制御装置１０は、制御ブロックとして捉えると、部品検査データを記憶する部品検査データ記憶部１１と、検査実績を集計する検査実績集計部１２と、検査対象部品の実装状態を検査する検査部１３とを備えている。なお、検査プログラムは、図３に示す手順に従って実行される。

部品検査データ記憶部１１は、検査対象部品の一つの部品種につき複数個（本実施形態では５個）の部品検査データを記憶することができる。部品検査データは、検査対象部品に関する情報を定義したものであり、例えば、部品形状データを用いることができる。部品形状データには、検査対象部品の形状、色、外形寸法などの外観に関する情報が定義されている。なお、検査対象部品の外観画像自体を部品形状データとすることもできる。また、本実施形態では、部品検査データの一例として部品形状データについて説明するが、部品検査データは、部品形状データに限定されるものではない。

同じ部品メーカの同種類の部品であっても、検査対象部品の個体差（例えば製造ロットの相違など）や検査対象部品を撮像したときの撮像状態によって部品表面の光反射が異なる。そのため、同じ部品メーカの同種類の部品であっても、撮像画像から抽出された検査対象部品の形状、色相、明度、彩度などが異なる場合がある。

そこで、本実施形態では、部品検査データ記憶部１１は、検査対象部品の一つの部品種につき複数個（本実施形態では５個）の部品検査データ（部品形状データ）を記憶している。例えば、部品検査データ記憶部１１は、検査対象部品の製造ロット毎に部品検査データを記憶することができる。また、部品検査データ記憶部１１は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野において検査対象部品が存在する領域毎に部品検査データを記憶することもできる。

検査実績集計部１２は、過去の検査において部品検査データ（部品形状データ）を使用して検査対象部品の実装状態を検査したときの検査実績を集計する。検査実績は、例えば、参照回数、適合回数、適合率、最終参照日時などが挙げられる。参照回数は、今回の検査を行う前の過去の検査において、対象の部品検査データを参照した回数である。参照回数が多い部品検査データは、当該部品検査データを用いて検査対象部品の実装状態を検査した回数が多いことを示している。つまり、参照回数が多い部品検査データは、検査に使用された頻度が高く、検査実績が良好な部品検査データである。

適合回数は、今回の検査を行う前の過去の検査において、対象の部品検査データが検査対象部品に適合した回数であり、適合率は、参照回数に対する適合回数の割合を示している。例えば、今回の検査を行う前の過去の検査において、部品検査データ（例えばデータ１とする）を１００回参照したとする。このときに、部品検査データ（データ１）が検査対象部品に適合した回数が８０回であったとする。この場合、部品検査データ（データ１）の適合回数は８０回であり、適合率は８０％である。

適合回数が多い部品検査データや適合率が高い部品検査データは、当該部品検査データを使用して検査対象部品を検査すると、検査対象部品に適合する可能性が高いことを示している。つまり、適合回数が多い部品検査データや適合率が高い部品検査データは、検査実績が良好な部品検査データである。

最終参照日時は、今回の検査を行う前の過去の検査において、対象の部品検査データを最後に参照した日時である。最終参照日時が今回の検査日時に近い程、部品検査データは、直近の検査において使用されていることを示している。直近の検査で使用された部品検査データは、例えば、検査対象部品の製造ロットが近く、今回の検査においても検査対象部品に適合する可能性が高い。つまり、最終参照日時が今回の検査日時に近い部品検査データは、検査実績が良好な部品検査データである。

図４は、部品形状データ、適合回数および保存期間の一例を示す図である。同図は、データ１１〜データ１５で示す５個の部品形状データについて、それぞれ適合回数および保存期間を示している。保存期間は、部品形状データ（データ１１〜データ１５）が部品検査データ記憶部１１に記憶されている期間である。例えば、部品形状データ（データ１１）は、今回の検査時から１８時間前に部品検査データ記憶部１１に記憶（登録）され、記憶（登録）から１８時間が経過していることを示している。

部品検査データ記憶部１１は、検査実績集計部１２によって集計された検査実績が良い順に部品検査データ（部品形状データ）の配列を変更すると好適である。図５は、図４において、適合回数が多い順に部品形状データの配列を変更した状態を示す図である。同図に示すように、部品形状データ（データ１１〜データ１５）は、データ１５、データ１２、データ１４、データ１１、データ１３の順に配列が変更されている。なお、部品検査データ記憶部１１は、適合率などの他の検査実績についても同様にして、部品検査データの配列を変更することができる。

また、全ての部品形状データ（データ１１〜データ１５）が検査対象部品に適合しない場合、新しい部品形状データを作成して部品検査データ記憶部１１に記憶する。このとき、既存の部品形状データを削除しないで、新しい部品形状データを順次追加していくと、部品検査データ記憶部１１に記憶されている部品形状データが肥大化する。その結果、部品形状データが冗長になり、検査数が増加して検査時間が増大する。

そこで、部品検査データ記憶部１１は、記憶されている部品検査データ（部品形状データ）を削除する場合に、部品検査データ記憶部１１に所定期間（例えば１０時間）以上記憶され、かつ、検査実績が悪い部品検査データ（部品形状データ）から削除すると好適である。

これにより、部品検査データ記憶部１１は、部品検査データ記憶部１１に記憶されている期間が短い部品検査データ（部品形状データ）を残しつつ、検査実績が悪い部品検査データ（部品形状データ）を削除することができる。よって、部品検査データ記憶部１１に記憶する部品検査データ（部品形状データ）の増大を抑制するとともに、検査実績が良好な部品検査データ（部品形状データ）を部品検査データ記憶部１１に記憶することができる。

図５に示す例では、部品形状データ（データ１３）の適合回数は０回であり、部品形状データ（データ１１〜データ１５）の中で最も検査実績が悪い。また、部品形状データ（データ１３）の保存期間は１００時間であり、部品検査データ記憶部１１に１０時間以上記憶されている。よって、部品検査データ記憶部１１は、記憶されている部品形状データを削除する場合に、部品形状データ（データ１３）から削除する。

検査部１３は、部品検査データ記憶部１１に記憶されている複数個（本実施形態では５個）の部品検査データ（部品形状データ）の中から検査に使用する部品検査データ（部品形状データ）を選択する。そして、検査部１３は、選択した部品検査データ（部品形状データ）を用いて検査対象部品の実装状態を検査する。このとき、検査部１３は、検査実績集計部１２によって集計された検査実績が良好な部品検査データ（部品形状データ）から順次選択して検査する。以下、図３に示すフローチャートおよび図５に示す部品形状データの適合回数を参照しつつ説明する。

まず、検査部１３は、検査順序Ｘに１を代入する（ステップＳ１０１）。検査順序Ｘは、５個の部品形状データの中から、検査部１３が検査に使用する部品形状データを選択する順序を示している。本実施形態では、部品形状データは検査実績が良い順（適合回数が多い順）に配列が変更されているので、検査部１３は、部品検査データ記憶部１１に記憶されている５個の部品形状データを先頭から順に選択する。

次に、検査部１３は、１番目（検査順序Ｘが１）の部品形状データを使用して、検査対象部品の実装状態を検査する（ステップＳ１０２）。この場合、検査部１３は、適合回数が最も多い部品形状データ（データ１５）を使用して、検査対象部品の実装状態を検査する。そして、検査部１３は、部品形状データ（データ１５）が検査対象部品に適合するか否かを判断する（ステップＳ１０３）。

部品形状データ（データ１５）が検査対象部品に適合する場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳ１０６に進む。一方、部品形状データ（データ１５）が検査対象部品に適合しない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ１０４に進む。そして、検査部１３は、検査順序Ｘが５以上であるか否かを判断する（ステップＳ１０４）。この場合、検査順序Ｘは１であるので（Ｎｏの場合）、ステップＳ１０５に進み、検査部１３は、検査順序Ｘに１を加算する（ステップＳ１０５）。つまり、検査順序Ｘは２になる。

そして、ステップＳ１０２に戻り、検査部１３は、２番目（検査順序Ｘが２）の部品形状データを使用して、検査対象部品の実装状態を検査する（ステップＳ１０２）。この場合、検査部１３は、部品形状データ（データ１５）の次に適合回数が多い部品形状データ（データ１２）を使用して、検査対象部品の実装状態を検査する。ステップＳ１０３以降の処理および判断は、部品形状データ（データ１５）の場合と同様である。このようにして、検査部１３は、検査実績が良好な部品形状データ（データ１５）から順次選択して、選択した部品形状データを用いて検査対象部品の実装状態を検査することができる。

ステップＳ１０３で部品形状データが検査対象部品に適合する場合（Ｙｅｓの場合）、検査部１３は、適合した部品形状データの識別番号とともに、当該部品形状データが検査対象部品に適合した旨の検査結果を記憶する（ステップＳ１０６）。また、ステップＳ１０４で検査順序Ｘが５以上の場合（Ｙｅｓの場合）、検査部１３は、全ての部品形状データ（データ１１〜データ１５）が検査対象部品に適合しなかった旨の検査結果を記憶する（ステップＳ１０６）。

次に、検査部１３は、検査対象部品の部品種の切り替わりであるか否かを判断する（ステップＳ１０７）。ここで、部品種の切り替わりとは、同一の部品種について検査が終了して、当該部品種と異なる部品種の検査対象部品について検査を開始する場合をいう。部品種の切り替わりの場合（Ｙｅｓの場合）、検査実績集計部１２は、変更前の検査対象部品の部品種について今回の検査実績（本実施形態では適合回数）を集計する。そして、検査実績集計部１２は、集計された今回の検査実績（適合回数）を部品検査データ（部品形状データ）に対応づけて記憶する（ステップＳ１０８）。

例えば、検査対象部品の部品種の変更前に、部品形状データ（データ１２）を使用して検査したときに検査対象部品に適合したとする。検査実績集計部１２は、変更前の検査対象部品の部品種について、部品形状データ（データ１１〜データ１５）毎の今回の検査実績（適合回数）を検査部１３に照会する。次に、検査実績集計部１２は、検査対象部品に適合した部品形状データ（データ１２）の適合回数を適合した回数分だけ増加させる。そして、検査実績集計部１２は、部品形状データ（データ１１〜データ１５）の適合回数をメモリに記憶する。なお、ステップＳ１０７で部品種の切り替わりでない場合（Ｎｏの場合）は、ステップＳ１０１に戻り、検査が終了していない検査対象部品について検査を行う。

本実施形態では、検査実績集計部１２は、検査対象部品の部品種の変更の際に、今回の検査実績（適合回数）を集計して記憶するので、検査対象部品の部品種毎に検査実績を管理することが容易である。また、今回の検査実績は、部品検査データ（部品形状データ）に対応づけて記憶されるので、検査部１３は、次回の検査時に、検査実績に応じた部品検査データ（部品形状データ）を選択することが容易である。

次に、検査部１３は、全ての検査対象部品について検査が終了したか否かを判断する（ステップＳ１０９）。全ての検査対象部品について検査が終了した場合（Ｙｅｓの場合）は、次のステップＳ１１０に進む。一方、全ての検査対象部品について検査が終了していない場合（Ｎｏの場合）は、ステップＳ１０１に戻り、検査が終了していない検査対象部品について検査を行う。

全ての検査対象部品について検査が終了した場合（Ｙｅｓの場合）、検査部１３は、今回の検査総数に対する良品数を算出する（ステップＳ１１０）。ここで、良品数とは、ステップＳ１０３で部品形状データが検査対象部品に適合した検査対象部品の数である。次に、検査部１３は、今回の検査総数に対する良品数が所定割合（例えば８０％）以上であるか否かを判断する（ステップＳ１１１）。

検査総数に対する良品数が所定割合以上の場合（Ｙｅｓの場合）、部品検査データ記憶部１１は、検査実績が良い順に部品形状データの配列を変更する（ステップＳ１１２）。この場合、部品検査データ記憶部１１は、適合回数が多い順に部品形状データの配列を変更する。そして、一旦、本ルーチンを終了する。一方、ステップＳ１１１で検査総数に対する良品数が所定割合より少ない場合（Ｎｏの場合）、部品形状データの配列を変更しないで、一旦、本ルーチンを終了する。

本実施形態では、検査部１３は、部品検査データ記憶部１１に記憶されている複数個（本実施形態では５個）の部品検査データ（部品形状データ）のうち、過去の検査において検査実績が良好な部品検査データから順次、選択して部品の実装状態を検査する。そのため、検査対象部品の個体差による影響を受けにくく、部品検査データ（部品形状データ）が検査対象部品に適合するまでの所要時間を短縮することができ、検査時間を低減させることができる。

また、部品検査データ（部品形状データ）は、部品検査データ記憶部１１によって検査実績が良い順（本実施形態では適合回数が多い順）に配列されるので、検査部１３は、部品検査データ記憶部１１に記憶されている複数個（５個）の部品検査データ（部品形状データ）を先頭から順に選択して、部品の実装状態を検査することができる。よって、検査部１３における検査手順を簡素化することができる。

さらに、検査部１３は、過去の検査における部品検査データ（部品形状データ）と検査対象部品との適合状態を示す適合回数を検査実績として用いる。そのため、検査部１３は、適合回数が良好な部品検査データ（部品形状データ）から順次選択して、検査対象部品を検査することができる。よって、検査部１３は、検査精度を向上させることができるとともに、検査時間を低減させることができる。

なお、検査実績として適合率を用いる場合も、適合回数の場合と同様の効果を得ることができる。さらに、検査実績として適合率を用いると、部品検査データ記憶部１１に記憶されている期間が短く、適合回数が少ない場合であっても、検査部１３は、検査実績が良好な部品検査データ（部品形状データ）から順次選択して検査することが容易である。

＜第２実施形態＞
本実施形態は、第１実施形態と比べて、検査実績集計部１２および検査部１３が異なる。以下、図６〜図８を参照しつつ、第１実施形態と比べて異なる点について説明する。

図６は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野を模式的に示す図である。同図は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野を５つの領域（検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１）に分割したものである。検査領域ＬＴ１は、撮像視野における左上方の領域であり、検査領域ＬＢ１は、撮像視野における左下方の領域である。検査領域ＲＴ１は、撮像視野における右上方の領域であり、検査領域ＲＢ１は、撮像視野における右下方の領域である。また、検査領域Ｃ１は、撮像視野における中央の領域である。なお、撮像視野の分割数および分割領域は、任意に決定することができる。

例えば、検査対象部品が検査領域ＬＴ１に存在する場合、部品認識用カメラ１０３は、検査対象部品の右斜め上方から検査対象部品を撮像する。これに対して、例えば、検査対象部品が検査領域ＲＴ１に存在する場合、部品認識用カメラ１０３は、検査対象部品の左斜め上方から検査対象部品を撮像する。そのため、同じ部品メーカの同種類の部品であっても、撮像視野における検査対象部品が存在する領域によって部品表面の光反射が異なる。その結果、同じ部品メーカの同種類の部品であっても、撮像画像から抽出された検査対象部品の形状、色相、明度、彩度などが異なり、検査対象部品が存在する領域によって検査実績が異なる場合がある。

そこで、本実施形態では、検査実績集計部１２は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野における検査対象部品が存在する領域毎に検査実績（本実施形態では適合率）を集計する。そして、検査部１３は、撮像視野における検査対象部品の位置に応じた検査実績を用いて、検査に使用する部品検査データ（本実施形態では部品形状データ）を選択する。

図７は、部品形状データおよび検査領域毎の適合率の一例を示す図である。同図は、データ２１〜データ２５で示す５個の部品形状データについて、それぞれ検査領域毎の適合率を示している。なお、同図では、検査領域の一部について、一部の部品形状データの適合率が示されており、数値が明示されていない部品形状データについては、その記載が省略されている。また、同図では、適合率と併せて、適合回数、参照回数および検査総数が示されている。

例えば、部品形状データ（データ２１）について、検査領域ＬＴ１における適合率は６０％である。詳細には、今回の検査を行う前の過去の検査において、検査対象部品が検査領域ＬＴ１に存在する場合に、部品形状データ（データ２１）を参照した参照回数が１０００回であり、部品形状データ（データ２１）が検査対象部品に適合した適合回数が６００回であるので、適合率は６０％である。

一方、部品形状データ（データ２１）について、検査領域ＬＢ１における適合率は０％である。参照回数および適合回数は、いずれも０回であり、今回の検査を行う前の過去の検査において、検査対象部品が検査領域ＬＢ１に存在する場合に、部品形状データ（データ２１）を使用して検査対象部品を検査した実績がないことを示している。

本実施形態では、部品検査データ記憶部１１は、検査対象部品が検査領域Ｃ１に存在する場合の部品形状データ（データ２１〜データ２５）を記憶している。部品形状データ（データ２１〜データ２５）は、例えば、検査対象部品の製造ロット毎の部品形状データを記憶することができる。

なお、部品検査データ記憶部１１は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野における検査対象部品が存在する領域（検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１）毎に、部品検査データ（部品形状データ）を記憶することもできる。この場合、検査実績集計部１２は、各検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１毎に検査実績を集計して、部品検査データ（部品形状データ）に対応づける。

例えば、部品検査データ記憶部１１は、部品形状データ（データ２１）の代わりに、各検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１毎に、部品検査データ（部品形状データ）を記憶することができる。他の部品形状データ（データ２２〜データ２５）についても同様である。つまり、部品検査データ記憶部１１は、例えば、１つの検査対象部品の製造ロットに対して、各検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１に対応する５つの部品検査データ（部品形状データ）を記憶することができる。

また、本実施形態では、部品検査データ記憶部１１は、一つの部品種につき５個の部品検査データ（部品形状データ）を記憶するが、当該５個の部品検査データを検査対象部品がそれぞれ検査領域ＬＴ１、ＬＢ１、ＲＴ１、ＲＢ１、Ｃ１に存在する場合の部品検査データとすることもできる。例えば、部品形状データ（データ２１）は、検査対象部品が検査領域ＬＴ１に存在する場合の部品形状データとし、部品形状データ（データ２２）は、検査対象部品が検査領域ＬＢ１に存在する場合の部品形状データとすることができる。他の部品形状データ（データ２３〜データ２５）についても同様である。

図８は、基板外観検査の手順の一例を示すフローチャートである。まず、検査部１３は、検査対象部品の位置から検査領域を特定する（ステップＳ２０１）。検査対象部品の位置は、部品実装機の実装データから得ることができる。そして、検査部１３は、特定された検査領域の適合率が高い順に検査順序を決定する（ステップＳ２０２）。例えば、検査対象部品が検査領域ＬＴ１に存在する場合、検査部１３は、まず、検査領域ＬＴ１における適合率が最も高い部品形状データ（データ２５）を用いて検査対象部品の実装状態を検査する。以下、検査領域ＬＴ１における適合率が高い順（データ２３、データ２１、データ２４、データ２２の順）に部品形状データを選択して検査するように、検査部１３は、検査順序を決定する。

次に、検査部１３は、ステップＳ２０２で決定された検査順序の部品形状データを用いて、検査対象部品を検査する（ステップＳ２０３）。この場合、検査領域ＬＴ１における適合率が最も高い部品形状データ（データ２５）を使用する。そして、検査部１３は、部品形状データ（データ２５）が検査対象部品に適合するか否かを判断する（ステップＳ２０４）。部品形状データ（データ２５）が検査対象部品に適合する場合（Ｙｅｓの場合）は、ステップＳ２０６に進む。

部品形状データ（データ２５）が検査対象部品に適合しない場合（Ｎｏの場合）は、ステップＳ２０５に進む。そして、検査部１３は、検査に使用されていない部品形状データがあるか否かを判断する（ステップＳ２０５）。検査に使用されていない部品形状データがある場合（Ｙｅｓの場合）は、ステップＳ２０３に戻り、検査に使用されていない部品形状データを使用して検査対象部品を検査する。

検査に使用されていない部品形状データがない場合（Ｎｏの場合）は、ステップＳ２０６に進む。この場合、全ての部品形状データを使用して検査を行ったが、いずれの部品形状データも検査対象部品に適合しなかったことを示している。次に、検査部１３は、検査結果を記憶する（ステップＳ２０６）。ステップＳ２０４で部品形状データが検査対象部品に適合する場合（Ｙｅｓの場合）、検査部１３は、適合した部品形状データの識別番号とともに、当該部品形状データが検査対象部品に適合した旨の検査結果を記憶する（ステップＳ２０６）。また、ステップＳ２０５で検査に使用されていない部品形状データがない場合（Ｎｏの場合）、検査部１３は、全ての部品形状データ（データ２１〜データ２５）が検査対象部品に適合しなかった旨の検査結果を記憶する（ステップＳ２０６）。

次に、検査部１３は、検査対象部品の部品種の切り替わりであるか否かを判断する（ステップＳ２０７）。部品種の切り替わりの場合（Ｙｅｓの場合）、検査実績集計部１２は、変更前の検査対象部品の部品種について、今回の検査実績（本実施形態では適合率）を集計する。そして、検査実績集計部１２は、集計された今回の検査実績（適合率）を部品検査データ（部品形状データ）に対応づけて記憶する（ステップＳ２０８）。なお、ステップＳ２０７で部品種の切り替わりでない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ２０１に戻り、検査が終了していない検査対象部品について検査を行う。

本実施形態では、検査部１３は、部品認識用カメラ１０３の撮像視野における検査対象部品の位置に応じた検査実績を用いて、検査に使用する部品検査データ（部品形状データ）を選択する。そのため、部品認識用カメラ１０３の撮像視野における検査対象部品の位置を考慮して、部品の実装状態を検査することができる。よって、検査部１３は、検査精度を向上させることができるとともに、検査時間を低減させることができる。

＜その他＞
本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施することができる。例えば、基板外観検査装置１は、検査結果とともに、検査に使用した部品検査データ（部品形状データ）の識別記号を表示することができる。

この場合、検査対象部品の部品名称、検査結果、部品検査データの識別記号を表示すると好適である。検査結果は、例えば、検査対象部品の基板ＰＢ１における正規の実装位置からのずれ量などが挙げられる。ずれ量は、図１に示す矢印Ｘ方向および矢印Ｙ方向のずれ量を表示することができる。また、ずれ量と併せて、検査対象部品の基板ＰＢ１における正規の実装位置（座標）を表示すると良い。

なお、検査結果および検査に使用した部品検査データ（部品形状データ）の識別記号は、例えば、外部記憶装置に記憶することもできる。そして、オフラインで検査結果および検査に使用した部品検査データ（部品形状データ）の識別記号を表示することもできる。

また、部品検査データ記憶部１１は、複数の部品メーカに対応する複数種類の部品検査データ（部品形状データ）を記憶することもできる。さらに、部品実装機から部品メーカに関する情報（部品固有情報という。）を入手可能な場合は、部品固有情報を基板ＰＢ１の実装位置情報に関連付けることもできる。この場合、検査実績集計部１２は、部品固有情報に基づいて検査実績を集計することができる。そして、検査部１３は、部品固有情報に基づいて、検査に使用する部品検査データ（部品形状データ）の優先順位を決定することができる。

図９は、部品固有情報を送信する手順の一例を示すフローチャートである。部品固有情報は、図示しない部品実装機から基板外観検査装置１に送信される。部品実装機は、公知の部品実装機であり、部品を吸着して実装位置に搬入された基板ＰＢ１上に部品を装着する。

まず、部品実装機が部品の実装を行う（ステップＳ３０１）。そして、部品実装機は、部品供給ユニットの供給部品の有無を確認する（ステップＳ３０２）。部品供給ユニットに供給部品がある場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳ３０５に進む。

部品供給ユニットに供給部品がない場合（Ｎｏの場合）、部品実装機は、部品供給ユニットに供給部品がない旨を表示して、部品供給ユニットの交換を指示する（ステップＳ３０３）。作業者によって部品供給ユニットが交換されると、部品実装機は、部品供給ユニットに収容される部品の部品固有情報を照会する。これにより、部品実装機は、交換された部品供給ユニットの正否を確認することができる。そして、部品実装機は、交換された部品供給ユニットに収容される部品の部品固有情報を基板外観検査装置１に送信する（ステップＳ３０４）。

次に、部品実装機は、実装予定の全ての部品を実装したか否かを判断する（ステップＳ３０５）。全ての部品を実装した場合（Ｙｅｓの場合）、一旦、本ルーチンを終了する。実装していない部品がある場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ３０１に戻り、部品実装機は、実装されていない部品を実装する。

以上により、基板外観検査装置１は、部品実装機から部品固有情報を入手することができる。そして、検査実績集計部１２は、部品固有情報に基づいて検査実績を集計することができる。例えば、検査実績集計部１２は、部品固有情報に基づいて部品メーカ毎に検査実績を集計することができる。そして、検査部１３は、検査対象部品の部品メーカに対応した検査実績を用いて部品検査データを選択して、検査対象部品を検査することができる。

この場合、図８に示すステップＳ２０２において、例えば、検査部１３は、部品固有情報から検査対象部品の部品メーカを確認する。そして、検査部１３は、検査対象部品の部品メーカに対応する検査実績を優先的に用いて、部品検査データを選択して検査対象部品を検査することができる。

１：基板外観検査装置、
１１：部品検査データ記憶部、
１２：検査実績集計部、
１３：検査部、
１０３：部品認識用カメラ

Claims (5)

1. 基板に実装された部品の実装状態を検査する基板外観検査装置であって、
   検査対象部品の一つの部品種につき複数個の部品検査データを記憶する部品検査データ記憶部と、
   前記部品を撮像する部品認識用カメラの撮像視野における前記検査対象部品が存在する領域毎に、過去の前記検査において前記部品検査データを使用して前記検査対象部品の実装状態を検査したときの検査実績を集計する検査実績集計部と、
   前記部品検査データ記憶部に記憶されている前記複数個の部品検査データの中から前記検査に使用する部品検査データを選択して、前記選択した部品検査データを用いて前記検査対象部品の実装状態を検査する検査部と、
   を備え、
   前記検査部は、前記検査実績集計部によって集計された前記撮像視野における前記検査対象部品の位置に応じた前記検査実績が良好な部品検査データから順次選択して検査する基板外観検査装置。
2. 前記部品検査データ記憶部は、前記検査実績集計部によって集計された前記検査実績が良い順に前記部品検査データの配列を変更する請求項１に記載の基板外観検査装置。
3. 前記検査実績は、過去の前記検査において前記部品検査データが前記検査対象部品に適合した適合回数、または、過去の前記検査において前記部品検査データを参照した参照回数に対する前記適合回数の割合を示す適合率である請求項１または請求項２に記載の基板外観検査装置。
4. 前記検査対象部品の部品種が変更されたときに、前記検査実績集計部は、変更前の前記検査対象部品の部品種について今回の検査実績を集計して、前記集計された今回の検査実績を前記部品検査データに対応づけて記憶する請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板外観検査装置。
5. 前記部品検査データ記憶部は、記憶されている前記部品検査データを削除する場合に、前記部品検査データ記憶部に所定期間以上記憶され、かつ、前記検査実績が悪い部品検査データから削除する請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板外観検査装置。

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