JP6167715B2

JP6167715B2 - 液体噴射ヘッド

Info

Publication number: JP6167715B2
Application number: JP2013148277A
Authority: JP
Inventors: 宏明奥井; 峻介渡邉
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-07-17
Filing date: 2013-07-17
Publication date: 2017-07-26
Anticipated expiration: 2033-07-17
Also published as: US9315025B2; JP2015020294A; US20150021411A1

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに関し、特に配線部材を備えた液体噴射ヘッドに関するものである。

液体噴射装置は、液体を液滴としてノズルから噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として噴射させて記録を行うインクジェット式記録装置等の画像記録装置を挙げることができる。また、その他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターに用いられる色材、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイに用いられる有機材料、電極形成に用いられる電極材等、様々な種類の液体の噴射に液体噴射装置が用いられている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

上記のような記録ヘッドは、振動板に接合された圧電素子（圧力発生素子の一種）を変形させることで、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ、圧力室に連通するノズルからインク滴を噴射させるように構成されている。圧電素子は、複数の圧電素子に共通する共通電極と各圧電素子に個別にパターニングされた個別電極との間に挟まれた圧電体層を有している。また、共通電極および個別電極の電極端子部には、フレキシブルケーブルの配線端子部が電気的に接続されるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。フレキシブルケーブルは、ＣＯＦ（Chip On Film）やＴＣＰ（Tape Career Package）等の、圧電素子を駆動するＩＣが実装されたフィルム状の配線部材である。ここで、各電極端子部とこれに対応する各配線端子部とは、非導電性ペースト（ＮＣＰ）、非導電性フィルム（ＮＣＦ）、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）、および異方性導電フィルム（ＡＣＦ）等の接着剤によって接合されている。そして、記録ヘッドは、フレキシブルケーブルを介して圧電素子の両電極に駆動電圧を供給（印加）することで圧電体層を変形させ、ノズルからインク滴を噴射させている。

特開２０１１−１６７９６４号公報

ところで、従来では、共通電極の電極端子部とこれに対応する配線端子部との間の電気抵抗を抑えるため、図８（ａ）に示すように、配線端子部８０′の導電部分である端子８１′を可及的に大きくし、電極端子部８２′と電気的に接続される領域を十分に確保していた。しかしながら、このような構成では、フレキシブルケーブル８４′の配線端子部８０′における端子８１′以外の部分が減少するため、電極端子部８２′と配線端子部８０′との接合力が低下してしまう。特にＮＣＰやＮＣＦ等の非導電性の接着剤８３′を用いて電極端子部８２′と配線端子部８０′とを接合する場合、配線端子部８０′の端子８１′と電極端子部８２′とを接触させると共に、この接触部分以外の両端子部８０′，８２′間に接着剤８３′を充填させることによって接着させるため、接着剤８２′が流入する空隙が少ないと接合力の低下が顕著になる。また、配線端子部８０′の端子８１′や電極端子部８２′の材料として白金や金等を用いた場合、接着剤８３′による接着力が更に低下する虞がある。

このような接合力（接着力）の低下を抑制するため、図８（ｂ）に示すように、電極端子部８２″と配線端子部８０″とが接合される接合領域において、電極端子部８２″を複数に分割して互いに間隔を空けて配置すると共に、フレキシブルケーブル８４″の配線端子部８０″の端子８１″をこの電極端子部８２″に対応させて同様に複数配置した構成が提案されている。このように構成すれば、これらの配線端子部８０″の端子８１″と電極端子部８２″との接触部分の間に生じる間隙に、接着剤８３″を充填できるため、電極端子部８２″と配線端子部８０″との接合力を高めることができる。しかしながら、このような構成では、図８（ｂ）に例示したように電極端子部８２″と配線端子部８０″との接合位置がずれた場合、配線端子部８０″の端子８１″と電極端子部８２″とを電気的に接続する領域の面積が十分に確保できない虞があるため、両端子部８０″，８２″間の電気抵抗が増大する虞がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、配線部材との接続不良を抑制することが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。

［適用例１］本発明の適用例１の液体噴射ヘッドは、電極に電圧が印加されることにより圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子と、前記電極に対して電気的に接続される配線端子部を有する配線部材と、を備え、前記電極に電圧を印加して圧力発生素子を駆動することでノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、前記電極は、共通電極端子部と複数の個別電極端子部とを含み、前記配線端子部は、共通配線端子部と個別配線端子部とを含み、前記共通電極端子部は、前記共通電極端子部と前記共通配線端子部とが接合される接合領域に亘って一連に形成され、複数の圧力発生素子に共通の共通電圧が印加される共通電極と導通し、前記共通配線端子部は、前記接合領域内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子であって、一の前記共通電極端子部と接合される複数の端子を有し、前記個別電極端子部は、各圧力発生素子に個別の個別電圧が印加される個別電極と導通し、前記個別配線端子部は、一の前記個別電極端子部と接合される複数の端子を有さない、ことを特徴とする。
［適用例２］本発明の適用例２の液体噴射ヘッドは、前記共通電極端子部との接合面に平行な面における前記端子の断面形状は、前記共通電極端子部に向けて次第に小さくなることを特徴とする適用例１に記載の液体噴射ヘッドである。
［適用例３］本発明の適用例３の液体噴射ヘッドは、前記共通配線端子部と前記共通電極端子部とは、導電粒子を含まない非導電性の接着剤によって接合されることを特徴とする適用例１または適用例２に記載の液体噴射ヘッドである。
［適用例４］本発明の適用例４の液体噴射ヘッドは、前記共通電極端子部は、複数の前記個別電極端子部の列設方向において、複数の前記個別電極端子部の両側に位置し、複数の前記端子は、前記列設方向に沿って並設されることを特徴とする適用例１から適用例３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドである。
あるいは、別の適用例としての本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、電極に電圧が印加されることにより圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子と、前記電極に対して電気的に接続される配線端子部を有する配線部材と、を備え、前記電極に電圧を印加して圧力発生素子を駆動することでノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記電極は、前記配線端子部が接合される接合領域に亘って一連に形成された電極端子部を有し、
前記配線端子部は、前記接合領域内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子を有することを特徴とする。

本発明によれば、配線端子部が接合領域内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子を有するため、端子間に間隙が生じ、この間隙に、配線端子部と電極端子部との接合時の接着剤を充填することができる。これにより、配線端子部と電極端子部との接合力を高めることができる。また、電極端子部が接合領域に亘って一連に形成されたので、配線端子部と電極端子部との接合位置がずれたとしても、配線端子部の端子と電極端子部との接続部分（導通部分）の面積が減少することを抑制できる。これにより、両端子部間の電気抵抗が増大することを抑制できる。その結果、配線部材の液体噴射ヘッドへの接続不良を抑制することができる。

上記構成において、前記電極端子部との接合面に平行な面における前記端子の断面形状は、前記電極端子部に向けて次第に小さくなることが望ましい。

この構成によれば、配線端子部を電極端子部に向けて押圧して両端子部を接続する際に、配線端子部の端子の先端に圧力を集中させることができる。これにより、配線端子部の端子と電極端子部とを確実に導通させることができる。

また、上記各構成において、前記配線端子部と前記電極端子部とは、導電粒子を含まない非導電性の接着剤によって接合されることが望ましい。

この構成によれば、比較的安価な接着剤を用いることができ、液体噴射ヘッドの製造費用を抑えることができる。

さらに、上記各構成において、前記電極端子部は、複数の圧力発生素子に共通の共通電圧が印加される共通電極と導通する共通電極端子部であり、
前記配線端子部は、前記共通電極端子部に対して電気的に接続される共通配線端子部であることが望ましい。

この構成によれば、比較的流れる電流量の多い共通電極端子部と共通配線端子部との間の電気抵抗が増大することを抑制できる。その結果、配線部材の液体噴射ヘッドへの接続不良をより抑制することができる。

プリンターの構成を説明する斜視図である。記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。記録ヘッドの断面図である。圧電素子の電極のレイアウトについて説明する模式図である。フレキシブルケーブルの模式図である。共通電極端子部と共通配線端子部との接続部分を拡大した断面図である。共通電極端子部と共通配線端子部の端子との位置関係を説明する平面図である。従来の記録ヘッドにおける共通電極端子部と共通配線端子部との接続部分を拡大した断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げて行う。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１１によって検出される。リニアエンコーダー１１は、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部（図示せず）に送信する。

次に記録ヘッド３について説明する。図２は記録ヘッド３の構成を説明する斜視図であり、図３は記録ヘッド３の断面図である。本実施形態における記録ヘッド３は、その上面および側面の大部分が後述するケース２６で構成されており、このケース２６に開設された空部４４に、後述するフレキシブルケーブル３９の一端側が挿入されている。また、ケース２６の下面側には、ノズルプレート２２、流路基板２３、共通液室基板２４、及び、コンプライアンス基板２５が積層された状態で取り付けられている。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。

ノズルプレート２２（ノズル形成部材の一種）は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２７を列状に開設した板状の部材である。例えば、３００ｄｐｉに対応するピッチで３００個のノズル２７を列設することでノズル列（ノズル群の一種）が構成されている。本実施形態においては、当該ノズルプレート２２に２つのノズル列が形成されている。

流路基板２３は、その上面（共通液室基板２４側の面）に二酸化シリコンからなる極薄い弾性体膜３０が熱酸化によって形成されている。この流路基板２３には、図３に示すように、異方性エッチング処理によって複数の隔壁で区画された圧力室３１が各ノズル２７に対応して複数形成されている。この流路基板２３における圧力室３１の列の外側には、各圧力室３１の共通のインクが導入される室としての共通液室３２の一部を区画する連通空部３３が形成されている。この連通空部３３は、インク供給路３４を介して各圧力室３１と連通している。

流路基板２３の上面の弾性体膜３０上には、金属製の下電極膜（共通素子電極４６）と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層（図示せず）と、金属からなる上電極膜（個別素子電極４７）とを順次積層することで形成された圧電素子３５（本発明における圧力発生素子の一種）が圧力室３１毎に形成されている。本実施形態において、２列のノズル列に対応して２列の圧電素子列が、ノズル列方向（ノズル列設方向）で見て圧電素子３５が互い違いとなる状態でノズル列に直交する方向に並設されている。この圧電素子３５は、所謂撓みモードの圧電素子であり、圧力室３１の上部を覆うように形成されている。各電極４６，４７からは、それぞれ電極配線４８，４９が弾性体膜３０上に延出されている（図４参照）。なお、下電極膜が個別素子電極で、上電極膜が共通素子電極である構成を採用することもできる。

圧電素子３５が形成された流路基板２３上には、厚さ方向に貫通した貫通空部３６を有する共通液室基板２４（保護基板）が配置される。この共通液室基板２４における貫通空部３６は、流路基板２３の連通空部３３と連通して共通液室３２の一部を区画する。また、共通液室基板２４には、圧電素子３５に対向する領域に当該圧電素子３５の駆動を阻害しない程度の大きさの圧電素子収容空部３７が形成されている。さらに、共通液室基板２４において、隣り合う圧電素子列の間には、基板厚さ方向を貫通した配線空部３８が形成されている。この配線空部３８内には、平面視において、圧電素子３５の個別電極端子部４８ａや共通電極端子部４９ａ（図４参照）等が配置される。なお、これら電極端子部４８ａ，４９ａ等のレイアウトについては、後述する。

また、共通液室基板２４の上面側には、コンプライアンス基板２５が配置される。このコンプライアンス基板２５における共通液室基板２４の貫通空部３６に対向する領域には、インクカートリッジ７側からのインクを共通液室３２に供給するためのインク導入口４０が厚さ方向に貫通して形成されている。また、このコンプライアンス基板２５の貫通空部３６に対向する領域のインク導入口４０及び後述する貫通口４５以外の領域は、極薄く形成された可撓部４１となっており、この可撓部４１によって貫通空部３６の上部開口が封止されることで共通液室３２が区画形成される。そして、この可撓部４１は、共通液室３２内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。さらに、コンプライアンス基板２５の中央部には、貫通口４５が形成されている。この貫通口４５は、ケース２６の空部４４と連通する。

ケース２６は、インク導入口４０に連通してインクカートリッジ７側から導入されたインクを共通液室３２側に供給するためのインク導入路４２が形成されると共に、可撓部４１に対向する領域にこの可撓部４１の膨張を許容する凹部４３が形成された部材である。このケース２６の中心部には、厚さ方向に貫通した空部４４が開設されており、この空部４４内にフレキシブルケーブル３９の一端側が挿通されて、各電極端子部４８ａ，４９ａと接続される。

そして、これらのノズルプレート２２、流路基板２３、共通液室基板２４、コンプライアンス基板２５、及び、ケース２６は、接着剤や熱溶着フィルム等を間に配置して積層した状態で加熱することで相互に接合される。

以上のように構成された記録ヘッド３は、インクカートリッジ７からのインクを、インク導入路４２を通じて共通液室３２側に取り込み、共通液室３２からノズル２７に至るインク流路（液体流路の一種）をインクで満たす。そして、フレキシブルケーブル３９からの駆動電圧を圧電素子３５に供給してこの圧電素子３５を撓み変形させることによって、対応する圧力室３１内のインクに圧力変動を生じさせ、このインクの圧力変動を利用してノズル２７からインクを噴射させる。

図４は、圧電素子３５の電極４６，４７および当該電極４６，４７から延びる電極配線４８，４９のレイアウトを説明する模式図である。なお、同図において、濃いハッチングで示す部分は個別素子電極４７およびこれに導通する個別電極配線４８であり、薄いハッチングで示す部分は共通素子電極４６およびこれに導通する共通電極配線４９である。また、共通素子電極４６および共通電極配線４９からなる部分が、２列に列設された複数の圧電素子３５に共通の共通電圧を印加する共通電極（本発明における電極の一種）に相当する。さらに、個別素子電極４７および個別電極配線４８からなる部分が、各圧電素子３５に個別の個別電圧を印加する個別電極に相当する。なお、同図では、縦方向がノズル列設方向（圧電素子列設方向）であり、ノズル列２列分に対応する構成が図示されている。本実施形態において、電極膜の材料としては、白金又は金等が用いられる。

本実施形態においては、圧力室３１の一部を区画する弾性体膜３０上に各圧電素子３５に共通な共通素子電極４６が、ノズル列方向に沿って同方向に長尺な平面視矩形状に連続的に形成されている。そして、この共通素子電極４６上に圧電体層（図示せず）、および個別素子電極４７が順次積層されて圧電素子３５毎にパターニングされている。隣り合うノズル列の間には、各個別素子電極４７に対応して当該電極４７に導通する個別電極配線４８が形成されている。一方（図において左側）のノズル列に対応する個別電極配線４８と、他方（図において右側）のノズル列に対応する個別電極配線４８とは、ノズル列方向において互い違いに並ぶように一定の間隔で列状に配置されている。これらの個別電極配線４８の端部は、フレキシブルケーブル３９の個別配線端子部５３（図５参照）と電気的に接続される個別電極端子部４８ａとして機能する。

また、各共通素子電極４６のノズル列方向両側には、共通電極配線４９がそれぞれ形成されている。共通電極配線４９は、ノズル列方向に直交する方向に沿って２列の共通素子電極４６に亘って延びており、これらの共通素子電極４６に共通な電極配線となっている。なお、この共通電極配線４９は、各共通素子電極４６に対応する部分に共通素子電極４６へ突出した枝電極部５０を有しており、この枝電極部５０を通じて各共通素子電極４６と導通している。なお、各共通素子電極４６と共通電極配線４９とが、枝電極部５０を介すことなく一連の枠状に形成されていてもよい。また、この共通電極配線４９において、個別電極端子部４８ａの列設方向両側に位置する部分（図４において破線の楕円で囲まれた部分）が共通電極端子部４９ａであり、フレキシブルケーブル３９の共通配線端子部５４（図５参照）が接合される共通端子部接合領域５１（本発明における接合領域に相当）である。すなわち、共通端子部接合領域５１は、ノズル列方向に直交する方向において、一方の圧電素子列と他方の圧電素子列との間の領域に形成されている。そして、共通電極端子部４９ａは、この共通端子部接合領域５１の全範囲に亘って、途切れることなく連続的（一連）に形成されている。本実施形態では、共通配線端子部５４の接合位置の公差を考慮して、共通配線端子部５４の幅（ノズル列方向の寸法）および長さ（ノズル列方向に直交する方向の寸法）よりも十分に広い弾性体膜３０上の領域（共通端子部接合領域５１）が、全て白金や金等の金属ベタ膜で覆われている。すなわち、この領域（共通端子部接合領域５１）内を覆う金属ベタ膜が、共通電極端子部４９ａとして機能する。この共通電極端子部４９ａの幅は、個別電極端子部４８ａ（個別電極配線４８）の幅よりも十分に広く設定されている。

図５は、フレキシブルケーブル３９の構成を説明する図である。フレキシブルケーブル３９は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルム３９ａの上に、銅や金等からなる導体箔およびレジストやポリイミド等からなる絶縁体膜を積層した配線部材の一種である。このフレキシブルケーブル３９の一方の面（表面）には、圧電素子３５への駆動電圧の印加を制御する制御ＩＣ５２が実装されると共に、この制御ＩＣ５２に接続される電極配線５５のパターンが形成されている。

フレキシブルケーブル３９の一端部（図５における上側の端部）の表面側には、プリンター本体側からの信号（共通電圧や個別電圧に対応する信号）を中継する基板（図示せず）の基板端子部に接続される基板側配線端子部５７が複数列設されている。また、フレキシブルケーブル３９の表面側の他端部（図５における下側の端部）には、共通電極端子部４９ａに対して電気的に接続される共通配線端子部５４、および、個別電極端子部４８ａに対して電気的に接続される個別配線端子部５３が複数列設されている。各配線端子部５３，５４、および基板側配線端子部５７は、ベースフィルム３９ａ上に銅や金等からなる導電部分が露出した状態になっている。個別配線端子部５３における導電部分は、個別電極端子部４８ａの形状に対応して、ノズル列方向に直交する方向に長尺な平面視矩形状に形成されている。一方、共通配線端子部５４における導電部分は、図６に示すように、ノズル列方向に直交する方向において相互に間隔を開けて形成された複数の端子６０によって構成されている。この共通配線端子部５４の端子６０については、後で詳しく説明する。

本実施形態では、共通電極端子部４９ａが、複数列設された個別電極端子部４８ａの両側に形成されているため、これらに対応して、共通配線端子部５４が、複数列設された個別配線端子部５３の両側に形成されている（図５参照）。なお、表面のうち、配線端子部５３，５４，５７以外の部分は、絶縁体膜で覆われている。また、フレキシブルケーブル３９としては、本実施形態に例示したものに限らず、フレキシブルケーブルの他方の面（裏面）や両面に、制御ＩＣや電極配線等を配置したものも採用することができる。

このような構成のフレキシブルケーブル３９は、図２に示すように、配線端子部５３，５４が列設された他端部が他方の面（裏面）側に向けて略直角に屈曲された状態で記録ヘッド３に接続される。本実施形態では、記録ヘッド３の各電極端子部４８ａ，４９ａとフレキシブルケーブル３９の各配線端子部５３，５４とは、非導電性ペースト（ＮＣＰ）や非導電性フィルム（ＮＣＦ）等の導電粒子を含まない非導電性の接着剤５９によって接合されている。例えば、弾性体膜３０上の電極端子部４８ａ，４９ａが列設された部分に接着剤５９を塗布し、各配線端子部５３，５４と各電極端子部４８ａ，４９ａとの位置を合わせた状態で上方からフレキシブルケーブル３９の屈曲された部分を押圧する。これにより、電極端子部４８ａ，４９ａと対応する配線端子部５３，５４（配線端子部５３，５４の導電部分）とが接触して導通すると共に、この導通箇所に位置する接着剤５９が導通箇所から外れた位置へ押し出される。押し出された接着剤５９は、後述するように、共通配線端子部５４の端子６０間の間隙等に流入する。この状態で、接着剤５９に対して熱等を加えることで、接着剤５９を硬化させて、フレキシブルケーブル３９の他端部の表面と弾性体膜３０とを接着させる。これにより、各電極端子部４８ａ，４９ａと各配線端子部５３，５４とが接合される。なお、接着剤５９としては、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）や異方性導電フィルム（ＡＣＦ）等の導電粒子を含む導電性の接着剤を用いることもできる。この場合、電極端子部４８ａ，４９ａと対応する配線端子部５３，５４とは、導電粒子を介して導通する。

図６は共通電極端子部４９ａと共通配線端子部５４との接続部分を拡大した断面図であり、図７は共通電極端子部４９ａと共通配線端子部５４の端子６０との位置関係を説明する平面図である。本発明の共通配線端子部５４は、図６、図７に示すように、共通端子部接合領域５１内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子６０を有することを特徴としている。詳しく説明すると、共通配線端子部５４の端子６０は、銅や金等から形成されており、フレキシブルケーブル３９のベースフィルム３９ａの表面から共通電極配線４９側に向けて突出している。本実施形態の各端子６０は、ノズル列方向における寸法が共通電極端子部４９ａの同方向における寸法に揃えられた、ノズル列方向に長尺な平面視矩形状に形成されている。また、本実施形態の端子６０は、共通端子部接合領域５１内において、ノズル列に直交する方向（共通電極配線４９の延在方向）に沿って３つ並設されている。さらに、各端子６０は、共通電極端子部４９ａとの接合面に平行な面における断面形状（共通電極配線４９の延在方向における寸法）が、共通電極端子部４９ａに向けて次第に小さくなるように形成されている。すなわち、端子６０は、ノズル列に直交する方向における断面が台形状に形成されている。なお、端子６０の形状が、共通電極端子部４９ａ側に向けて次第に小さくなる先細りの形状（台形状）である場合において、少なくとも端子６０の先端部同士が間隔を空けて形成されていればよく、端子６０の基端部同士が間隔を空けることなく連続していても良い。

そして、端子６０の先端と共通電極端子部４９ａとが接触することで、共通電極端子部４９ａと共通配線端子部５４とが電気的に接続される。また、共通端子部接合領域５１内におけるベースフィルム３９ａと共通電極端子部４９ａとの間には、端子６０の先端と共通電極端子部４９ａとが接触した部分以外、つまり、端子６０同士の間の間隙に接着剤５９が充填されている。なお、３つの端子６０は、例えば、共通配線端子部５４から外れた領域で電気的に接続されている。あるいは、共通配線端子部５４において、ベースフィルム３９ａの内部または裏面に形成された導電層を介して電気的に接続されている。

このように、共通配線端子部５４が共通端子部接合領域５１内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子６０を有するため、端子６０の間に間隙が生じ、当該間隙に接着剤５９を充填することができる。これにより、共通配線端子部５４と共通電極端子部４９ａとの接合力を高めることができる。また、共通電極端子部４９ａが共通端子部接合領域５１に亘って、一連に形成されたので、共通配線端子部５４と共通電極端子部４９ａとの接合位置がずれたとしても、共通配線端子部５４の端子６０と共通電極端子部４９ａとの接続部分（導通部分）の面積が減少することを抑制できる。これにより、両端子部４９ａ，５４間の電気抵抗が増大することを抑制できる。その結果、フレキシブルケーブル３９の記録ヘッド３への接続不良を抑制することができる。また、共通電極端子部４９ａとの接合面に平行な面における端子６０の断面形状が、共通電極端子部４９ａに向けて次第に小さくなる構成を採用したので、共通配線端子部５４を共通電極端子部４９ａ向けて押圧して両端子部４９ａ，５４を接続する際に、共通配線端子部５４の端子６０の先端に圧力を集中させることができる。これにより、共通配線端子部５４の端子６０と共通電極端子部４９ａとを確実に導通させることができる。

さらに、共通配線端子部５４と共通電極端子部４９ａとは、導電粒子を含まない非導電性の接着剤５９によって接合されたので、比較的安価な接着剤を用いることができ、記録ヘッド３の製造費用を抑えることができる。そして、共通電極端子部４９ａを共通端子部接合領域５１に亘って一連に形成し、共通配線端子部５４の端子６０を共通端子部接合領域５１内において相互に間隔を開けて形成したので、比較的流れる電流量の多い共通電極端子部４９ａと共通配線端子部５４との間の電気抵抗が増大することを抑制できる。その結果、フレキシブルケーブル３９の記録ヘッド３への接続不良をより抑制することができる。

ところで、上記実施形態では、共通配線端子部５４の端子６０を、共通端子部接合領域５１内において、ノズル列に直交する方向（共通電極配線４９の延在方向）に沿って並設したが、これには限られない。例えば、共通配線端子部の端子を、共通端子部接合領域内において、ノズル列方向（共通電極配線の幅方向）に沿って並設することもできる。また、共通配線端子部５４の端子６０を、共通端子部接合領域５１内において、３つ並設したが、これには限られない。要は、共通端子部接合領域内において、２つ以上の複数の端子を、相互に間隔を開けて形成すればよい。さらに、上記実施形態では、共通配線端子部５４に端子６０を並設したが、これには限られない。例えば、個別配線端子部に端子を並設してもよい。この場合においても、個別電極端子部は、フレキシブルケーブルの個別配線端子部と接合される個別端子部接合領域に亘って、一連に形成される。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、フレキシブルケーブルを通じて圧力発生素子に駆動電圧を供給する構成の他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，８…タイミングベルト，１１…リニアエンコーダー，２２…ノズルプレート，２３…流路基板，２４…共通液室基板，２５…コンプライアンス基板，２６…ケース，２７…ノズル，３０…弾性体膜，３１…圧力室，３２通液室，３３…連通空部，３４…インク供給路，３５…圧電素子，３６…貫通空部，３８…配線空部，３９…フレキシブルケーブル，４０…インク導入口，４２…インク導入路，４４…空部，４５…貫通口，４６…共通素子電極，４７…個別素子電極，４８…個別電極配線，４８ａ…個別電極端子部，４９…共通電極配線，４９ａ…共通電極端子部，５０…枝電極部，５１…共通端子部接合領域，５２…制御ＩＣ，５３…個別配線端子部，５４…共通配線端子部，５５…電極配線，５７…基板側配線端子部，５９…接着剤，６０…端子

Claims

電極に電圧が印加されることにより圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子と、前記電極に対して電気的に接続される配線端子部を有する配線部材と、を備え、前記電極に電圧を印加して圧力発生素子を駆動することでノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記電極は、共通電極端子部と複数の個別電極端子部とを含み、
前記配線端子部は、共通配線端子部と個別配線端子部とを含み、
前記共通電極端子部は、前記共通電極端子部と前記共通配線端子部とが接合される接合領域に亘って一連に形成され、複数の圧力発生素子に共通の共通電圧が印加される共通電極と導通し、
前記共通配線端子部は、前記接合領域内において相互に間隔を開けて形成された複数の端子であって、一の前記共通電極端子部と接合される複数の端子を有し、
前記個別電極端子部は、各圧力発生素子に個別の個別電圧が印加される個別電極と導通し、
前記個別配線端子部は、一の前記個別電極端子部と接合される複数の端子を有さない、ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記共通電極端子部との接合面に平行な面における前記端子の断面形状は、前記共通電極端子部に向けて次第に小さくなることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
前記共通配線端子部と前記共通電極端子部とは、導電粒子を含まない非導電性の接着剤によって接合されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
前記共通電極端子部は、複数の前記個別電極端子部の列設方向において、複数の前記個別電極端子部の両側に位置し、
複数の前記端子は、前記列設方向に沿って並設されることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。