JP6159236B2 - 光学式アブソリュートエンコーダ - Google Patents
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Description
本発明は、工作機械や半導体製造装置等に組み込まれ、可動軸の位置を検出する光学式アブソリュートエンコーダに関する。
図3は、特許文献1の技術を適用した光学式アブソリュートエンコーダで、メインスケール(第1格子)のピッチの小さな格子パターンに対応するインデックススケール(第2格子)に、特許文献2に代表される高精度化技術を適用した従来の高精度光学式アブソリュートエンコーダの構造を示す図である。メインスケール3は、ガラスでできており、表面にクロム等の金属が蒸着され、上下に2つの格子パターンが形成されている。メインスケール3の上部には、長手方向に16λのピッチ間隔ごとに、8λの幅のスリットが形成されている。また、メインスケール3の下部には、長手方向にλのピッチ間隔ごとに、0.5λの幅のスリットが形成されている。
インデックススケール4は、ガラスからできており、表面にクロム等の金属が蒸着され、上部にメインスケール3の上部の格子パターンから透過する光を透過させる8λの幅のスリットが4個形成されている。また、4個のスリットは、其々メインスケールの上部の格子パターンに対して、4λずつ位相ずらして配置されている。また、4個のスリットの背面には其々受光素子31,32,33,34が配置されている。これにより、受光素子31,32,33,34は、メインスケール3とインデックススケール4の相対位置の変化に応じて、90度(4λ)ずつ位相がずれた16λの周期で変化する4相の電気信号が出力される。
図示はしていないが受光素子31と33、受光素子32と34が出力する位相が8λずれた信号は、其々の差を演算することにより、相対位置の変化に対して、オフセット成分と偶数次高調波が除去された16λの周期で変化する90度で位相の異なる2相の正弦波信号が得られる。この2相信号を内挿演算処理することにより、16λ間のアブソリュート位置を検出することができる。
インデックススケール4の下部には、8個のスリットユニットが設けられている。各スリットユニットは、メインスケール3の下部の格子パターンから透過する光を透過させる0.5λの幅のスリット4つから構成される。8個のスリットユニットは、スリットユニットごとに6λ―λ/4ずつスケールの長手方向に位相をずらして等間隔に配置されている。また、各スリットユニットの背面には、其々受光素子41,42,43,44,45,46,47,48が配置されている。
図示されていないが、受光素子41と45、受光素子42と46、受光素子43と47、受光素子44と48は、其々出力信号が並列接続されている。並列接続された受光素子に対応する2個のスリットユニットは、23λ位相がずれているため、信号的には同じ位相の信号として出力される。これにより、受光素子41と45、受光素子42と46、受光素子43と47、受光素子44と48からは、メインスケール3とインデックススケール4の相対位置の変化に応じて、90度(λ/4)ずつ位相がずれたλの周期で変化する4相の信号が出力される。
また、受光素子41,45の出力信号と受光素子43,47の出力信号の差と受光素子42,46の出力信号と受光素子44,48の出力信号の差を演算することにより、相対位置の変化に対して、オフセット成分と偶数次高調波が除去されたλの周期で変化する90度位相の異なる2相の正弦波信号が得られる。また、スリットユニット内の4個のスリットは、メインスケール3の下部の格子パターンに対して、特許文献2に記載された技術に基づいてλのピッチから一定のルールでスリットの位相をずらして配置されている。これにより、λの周期で変化する90度で位相の異なる2相の正弦波信号には、オフセットや偶数次高調波以外にも3次と5次の奇数次高調波も除去されている。したがって、このλの周期で変化する90度位相の異なる2相の正弦波信号を内挿演算処理することにより、λ間のアブソリュート位置を高精度に位置検出することができる。また、16λ間のアブソリュート位置データとλ間のアブソリュート位置を高精度に位置検出した位置データを結合することにより、16λ間のアブソリュート位置を高精度に検出することが可能である。
図3のような光学式アブソリュートエンコーダの下部に配置したピッチの小さなλピッチの格子パターンにより、非常に高精度な位置を検出できる。しかし、実際は、隣接する上部のピッチの荒い格子から16λピッチで変化する漏れ光が混入し易いという問題がある。このため、16λで変化する誤差やλピッチで変化する誤差が発生する可能性があり、下部単独の検出で本来達成できる精度が得られないという問題があった。
本発明は、上述のような事情から成されたものであり、本発明の目的は、高精度な光学式アブソリュートエンコーダを提供することにある。
本発明の光学式アブソリュートエンコーダは、メインスケールおよび前記メインスケールの長手方向に相対変位するインデックススケールを備えた光学式アブソリュートエンコーダであって、前記メインスケールは、長手方向に対してピッチλで並ぶスリットから構成される第一格子パターンと、ピッチNλ(Nは、3以上の整数)で並ぶスリットから構成される第二格子パターンと、を有し、前記インデックススケールは、前記第一格子パターンからの光を前記相対変位に対して周期λ変化する4相の光の強弱に変換する第三格子パターンと、前記第二格子パターンからの光を前記相対変位に対して周期Nλ変化する4相の光の強弱に変換する第四格子パターンと、を有し、前記第三格子パターンは、前記長手方向に配置され、同じ形状の二つの格子パターングループを有し、前記二つの格子パターングループは、Mを1以上の整数、−0.5λ≦α≦0.5λとしたとき、前記長手方向に(M+0.5)Nλ+α位相をずらして配置されている、ことを特徴とする。
好適な態様では、Nが偶数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ位相をずらして配置される。他の好適な態様では、Nが偶数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ±λ/L位相(Lは6,10,14,22の何れかの数)をずらして配置される。他の好適な態様では、Nが奇数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ−0.5λ+λ/L又は、(M+0.5)Nλ+0.5λ−λ/L位相(Lは6,10,14,22の何れかの数)をずらして配置される。
本発明では、インデックススケールの第三格子パターンは、長手方向に配置された2組の同じ形状の格子パターングループからなり、2組の格子パターングループは、Mを1以上の整数、−0.5λ≦α≦0.5λとしたとき、(M+0.5)Nλ+α位相をずらして配置されている。そのため、メインスケールからのピッチNλの第二格子パターンから漏れ光が混入しても、其々の格子パターングループがピッチNλの第二格子パターンから受ける影響は、ほぼ逆位相となるため、各組の信号の合成後に含まれるピッチNλで変化する成分はキャンセルされる。その結果、図3に示したような従来の光学式アブソリュートエンコーダで問題となった誤差を発生しにくい光学式アブソリュートエンコーダを実現できる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、第一実施形態の光学式アブソリュートエンコーダのインデックススケールの格子パターンと受光素子の配置を示す図である。図2は、第二実施形態の光学式アブソリュートエンコーダのインデックススケールの格子パターンと受光素子の配置を示す図である。図1と図2では図示していないが、インデックススケールは、図3と同じメインスケール3と組み合わされて光学式アブソリュートエンコーダを構成する。すなわち、図1、図2に図示されたインデックススケール1,2に対応するメインスケールには、下部にピッチλでスリットが並ぶ第一格子パターンが、上部にピッチ16λでスリットが並ぶ第二格子パターンが形成されている。
図1のインデックススケール1は、ガラスからできており、表面にクロム等の金属が蒸着される。インデックススケール1の上部には、第二格子パターンから透過する光を透過させる8λの幅のスリット4個で構成される第四格子パターンが形成されている。
インデックススケール1の下部には、第三格子パターンが形成されている。第三格子パターンには、メインスケール3の下部の格子パターンから透過する光を透過させる0.5λの幅のスリットが複数形成されている。連続して並ぶ四つのスリットは、一つのスリットユニットを構成する。また、連続して並ぶ二つのスリットユニットは、一つのスリットユニットグループ(格子パターングループ)を構成する。第三格子パターンには、全く同じ構成の二つのスリットユニットグループが配置されている。各スリットユニットグループ内では、4個のスリットユニットが6λ―λ/4ずつスケールの長手方向に位相をずらして等間隔に配置している。また、各スリットユニット内において、四つのスリットはピッチλで並んでいる。また、各スリットユニットの背面には、其々受光素子11,12,13,14,15,16,17,18が配置されている。
ここで、第一格子パターンのスリットピッチをλ、第二格子パターンのスリットピッチをNλ(Nは3以上の整数)、Mを1以上の整数、αを−0.5λ≦α≦0.5λとしたとき、二組のスリットパターングループは、スケール長手方向に、{(M+0.5)Nλ+α}位相をずらして配置される。本実施形態では、第二格子パターンのスリットピッチNλ=16λであり、M=1、α=0としているため、二組のスリットユニットグループは、長手方向に、24λ位相をずらして配置されている。ただし、この配置は一例であり、Mは、1以上の整数であればよく、二組のスリットユニットグループの位相差は、40λ+α、56λ+α等でもよい。また、αは、−0.5λ≦α≦0.5λであればよく、二組のスリットユニットグループの位相差は、24λ+0.5λや、24λ−0.5λ等でもよい。
図示されていないが、受光素子11と15、受光素子12と16、受光素子13と17、受光素子14と18は、其々出力信号が並列接続されている。並列接続された受光素子に対応する2個のスリットユニットは、24λ位相がずれているため、信号的には同じ位相の信号が出力される。これにより、受光素子11と15、受光素子12と16、受光素子13と17、受光素子14と18からは、メインスケール3とインデックススケール1の相対位置の変化に応じて、90度(λ/4)ずつ位相がずれたλの周期で変化する4相の電気信号が出力される。また、メインスケールからのピッチ16λで変化する漏れ光が混入しても、二つのスリットユニットグループで得られる信号が完全に逆位相となる(0.5Nλ位相がずれている)ため、合成された信号にはピッチ16λで変化する信号が除去される。なお、本実施形態では、α=0としているが、−0.5λ≦α≦0.5λであれば、二つのスリットユニットグループで得られる信号は、ほぼ逆位相とみなすことができる。
次に、第二の実施形態について図2を参照して説明する。図2のインデックススケール2は、ガラスからできており、表面にクロム等の金属が蒸着される。インデックススケール2の上部には、第二格子パターンから透過する光を透過させる8λの幅のスリット4個で構成される第四格子パターンが形成されている。
インデックススケール2の下部には、第三格子パターンが形成されている。第三格子パターンには、メインスケール3の下部の格子パターンから透過する光を透過させる0.5λの幅のスリットが複数形成されている。連続して並ぶ四つのスリットは、一つのスリットユニットを構成する。また、連続して並ぶ四つのスリットユニットは、一つのスリットユニットグループを構成する。第三格子パターンには、全く同じ構成の二つのスリットユニットグループが配置されている。各スリットユニットグループ内では、4個のスリットユニットが6λ―λ/4ずつスケールの長手方向に位相をずらして等間隔に配置している。また、各スリットユニット内において、四つのスリットはピッチλで並んでいる。また、各スリットユニットの背面には、其々受光素子21,22,23,24,25,26,27,28が配置されている。
ここで、第一格子パターンのスリットピッチをλ、第二格子パターンのスリットピッチをNλ(Nは3以上の整数)、Mを1以上の整数、Lを6,10,14,22のいずれかの数としたとき、二組のスリットパターングループは、スケール長手方向に、(M+0.5)Nλ±λ/L位相をずらして配置される。本実施形態では、第二格子パターンのスリットピッチNλ=16λであり、M=1、L=14としているため、二組のスリットユニットグループは、長手方向に、24λ-λ/14位相をずらして配置されている。ただし、この配置は一例であり、Mは、1以上の整数であればよく、二組のスリットユニットグループの位相差は、40λ±λ/L、56λ±λ/L等でもよい。また、Lは、キャンセルしたい素数次高調波の次数の2倍の数となり、現実的には、6,10,14,22のいずれかの数でよい。したがって、二組のスリットユニットグループの位相差は、24λ+λ/10や、24λ−λ/10、24λ+λ/6や、24λ−λ/6等でもよい。
図示されていないが、受光素子21と25、受光素子22と26、受光素子23と27、受光素子24と28は、其々出力信号が並列接続されている。並列接続された受光素子に対応する2個のスリットユニットは、24λ−λ/14位相がずれているため、合成された信号は、第一の実施形態に比べ僅かに振幅が小さくなる。しかし、7次高調波が其々の組で逆位相となるため、合成された信号は、7次高調波がキャンセルされた信号となる。これにより、受光素子21と25、受光素子22と26、受光素子23と27、受光素子24と28からは、メインスケール3とインデックススケール2の相対位置の変化に応じて、90度(λ/4)ずつ位相がずれたλの周期で変化する4相の電気信号が出力される。また、メインスケールからのピッチ16λで変化する漏れ光が混入しても、二つのスリットユニットグループで得られる信号は、ほぼ逆位相(178.4度)となるため、合成された信号にはピッチ16λで変化する信号がほぼ除去される。また、7次の奇数次高調波も除去されるため、図1の光学式アブソリュートエンコーダよりも高精度な位置を検出することが可能である。
なお、図2では、スリットユニット内で、3次と5次の奇数次高調波を除去できるため、2組のスリットユニットグループを、(M+0.5)Nλ±λ/L=24λ−λ/14位相(N=16、M=1、L=14)ずらして配置したが、例えばスリットユニット内で5次と7次の高調波を除去できる場合は、(M+0.5)Nλ±λ/6配置をずらすことにより、3次高調波を除去することができる。また、スリットユニット内で3次と7次の高調波を除去できる場合は、2組のスリットユニットグループを(M+0.5)Nλ±λ/10位相をずらすことにより、5次の高調波を除去できる。また、スリットユニット内で3次と5次と7次の高調波を除去できる場合は、2組のスリットユニットグループを(M+0.5)Nλ±λ/22位相をずらすことにより11次の高調波も除去することが可能である。
なお、図1,2では、N=16のようにNが偶数の例を説明した。しかし、Nが奇数の場合、2組のスリットユニットグループを(M+0.5)Nλずらして配置すると、各スリットユニットグループからは、λの周期で変化する4相の電気信号が其々λ/2ずれた逆位相で出力されるため、合成した信号が消えてしまう問題がある。この場合は、2組のスリットユニットグループを(M+0.5)Nλ―0.5λ又は(M+0.5)Nλ+0.5λ付近に配置をずらすことにより、合成した信号の振幅確保が可能である。ただし、Nλで変化する信号の除去能力が多少減少する。
また、Nが奇数の場合で、2組のスリットユニットにより3次から11次までの奇数次高調波の一つの成分を除去したい場合は、2組のスリットユニットグループを(M+0.5)Nλ−0.5λ+λ/L又は、(M+0.5)Nλ+0.5λ−λ/L位相ずらして配置するとよい。このように配置することで、奇数次高調波の除去と同時に、Nλで変化する信号の除去能力も改善できる。
なお、実施例では、ガラスにスリットを設けてインデックススケールとしたが、フォトダイオード等の受光素子を、スリット形状とすることにより、受光素子のみでインデックススケールを実現することも可能である。また、本発明は、図1や図2の実施例で示した透過型の光学式アブソリュートエンコーダだけでなく、反射型の光学式アブソリュートエンコーダでも実現できる。
1,2,4 インデックススケール、3 メインスケール、11,12,13,14,15,16,17,18,21,22,23,24,25,26,27,28,31,32,33,34,41,42,43,44,45,46,47,48 受光素子。
Claims (4)
- メインスケールおよび前記メインスケールの長手方向に相対変位するインデックススケールを備えた光学式アブソリュートエンコーダであって、
前記メインスケールは、長手方向に対してピッチλで並ぶスリットから構成される第一格子パターンと、ピッチNλ(Nは、3以上の整数)で並ぶスリットから構成される第二格子パターンと、を有し、
前記インデックススケールは、前記第一格子パターンからの光を前記相対変位に対して周期λ変化する4相の光の強弱に変換する第三格子パターンと、前記第二格子パターンからの光を前記相対変位に対して周期Nλ変化する4相の光の強弱に変換する第四格子パターンと、を有し、
前記第三格子パターンは、前記長手方向に配置され、同じ形状の二つの格子パターングループを有し、
前記二つの格子パターングループは、Mを1以上の整数、−0.5λ≦α≦0.5λとしたとき、前記長手方向に(M+0.5)Nλ+α位相をずらして配置されている、
ことを特徴とする光学式アブソリュートエンコーダ。 - 請求項1に記載の光学式アブソリュートエンコーダであって、
Nが偶数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ位相をずらして配置される、ことを特徴とする光学式アブソリュートエンコーダ。 - 請求項1に記載の光学式アブソリュートエンコーダであって、
Nが偶数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ±λ/L位相(Lは6,10,14,22の何れかの数)をずらして配置される、ことを特徴とする光学式アブソリュートエンコーダ。 - 請求項1に記載の光学式アブソリュートエンコーダであって、
Nが奇数のとき、前記第三格子パターンの二つの格子パターングループは(M+0.5)Nλ−0.5λ+λ/L又は、(M+0.5)Nλ+0.5λ−λ/L位相(Lは6,10,14,22の何れかの数)をずらして配置される、ことを特徴とする光学式アブソリュートエンコーダ。
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