JP6153625B2 - 光集積回路内の光ファイバの単純化されたアライメントを提供する装置 - Google Patents
光集積回路内の光ファイバの単純化されたアライメントを提供する装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6153625B2 JP6153625B2 JP2015550496A JP2015550496A JP6153625B2 JP 6153625 B2 JP6153625 B2 JP 6153625B2 JP 2015550496 A JP2015550496 A JP 2015550496A JP 2015550496 A JP2015550496 A JP 2015550496A JP 6153625 B2 JP6153625 B2 JP 6153625B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical alignment
- actuator head
- alignment structure
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 70
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 241000408659 Darpa Species 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4226—Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4206—Optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4225—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4227—Active alignment methods, e.g. procedures and algorithms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4239—Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
本発明は、DARPAによって授与された契約番号9999404−12−0004下の政府の支援を受けて行われた。政府は、本発明においてある特定の権利を有する。
本発明の実施形態は、フォトニック集積回路内のフォトニックデバイスに光ファイバを光学的に整合させるためのアライメント構造を提供する。
Claims (40)
- 光学的アライメント構造であって、
発光デバイスから光信号を受け取り、前記光信号を受光デバイスに提供するレンズであって、前記発光デバイスおよび受光デバイスのうちの一方が、フォトニックデバイスを備え、前記発光デバイスと受光デバイスのうちの他方が、光ファイバを備える、レンズと、
前記レンズを動かすための少なくとも2つの下側アクチュエータヘッドであって、前記レンズを下から支持する2つの下側アクチュエータヘッドと、
前記レンズを動かすための上側アクチュエータヘッドであって、前記レンズと上から接触する上側アクチュエータヘッドと、
前記2つの下側アクチュエータヘッド及び前記上側アクチュエータヘッドに付随し、前記レンズに動きを生じさせる動力源と、を備え、
前記レンズ、少なくとも2つの下側アクチュエータヘッド、上側アクチュエータヘッド、フォトニックデバイス、および動力源が、集積フォトニックチップの一部である、光学的アライメント構造。 - 前記2つの下側アクチュエータヘッド及び前記上側アクチュエータヘッドは、各々がレンズを動かすための付随する動力源を有する、請求項1に記載の光学的アライメント構造。
- 前記集積フォトニックチップが、前記2つの下側アクチュエータヘッド及び前記上側アクチュエータヘッドの各々に付随するそれぞれのカンチレバーアームをさらに備え、前記2つの下側アクチュエータヘッド及び前記上側アクチュエータヘッドがそれぞれのカンチレバーアームの自由端に設けられる、請求項1又は2に記載の光学的アライメント構造。
- 前記動力源が、それぞれのアクチュエータヘッドを動かすためのそれぞれの圧電構造を備える、請求項1乃至3のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記動力源が、各々のカンチレバーアームに付随するそれぞれの圧電構造を備える、請求項3に記載の光学的アライメント構造。
- 各々の圧電構造が、それぞれのカンチレバーアームを屈曲動作させる、請求項5に記載の光学的アライメント構造。
- 前記カンチレバーアームの前記屈曲動作が、アクチュエータヘッドを介してx、y、およびz軸方向の動きをレンズに与える、請求項6に記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドのための前記カンチレバーアームが固定され、前記2つの下側アクチュエータヘッドのための各々の圧電構造が、それぞれのカンチレバーアームとそれぞれのアクチュエータヘッドとの間に設けられた、請求項5乃至7のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドのための前記動力源が、アクチュエータヘッドと固定支持体との間に設けられたそれぞれの圧電構造である、請求項1又は2に記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドのための前記動力源が、アクチュエータヘッドと前記レンズとの間に設けられたそれぞれの圧電構造である、請求項1又は2に記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドが、前記レンズの下側部分に係合する下向きの勾配の傾斜領域を各々備える、請求項1乃至10のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記それぞれの圧電構造を操作して、前記それぞれのアクチュエータヘッドを動かす制御システムをさらに備える、請求項4に記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドが、離間し、かつ前記レンズの底部の対向する側に配置されて、前記レンズが前記アクチュエータヘッドの前記傾斜領域に係合する、請求項11に記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドの両方が互いに向かう方向に動くとき、前記それぞれのアクチュエータヘッドがレンズを上向きの方向に動かし、前記2つの下側アクチュエータヘッドの両方が互いに離れる方向に動くとき、レンズを下向きの方向に動かす、請求項1乃至13のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドの両方が、左向きに動くとき、レンズを左向き方向に動かし、前記2つの下側アクチュエータヘッドの両方が、右向きに動くとき、レンズを右向き方向に動かす、請求項1乃至13のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記2つの下側アクチュエータヘッドの一方が固定され、かつその他方が、前記一方に向かう方向に動くと、前記レンズを左上方向に動かし、また前記2つの下側アクチュエータヘッドの前記他方が固定され、かつ前記2つの下側アクチュエータヘッドの前記一方が、前記他方に向かう方向に動くと、前記レンズを右上方向に動かす、請求項1乃至13のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記傾斜領域が平坦領域を含む、請求項11に記載の光学的アライメント構造。
- 前記傾斜領域が湾曲領域を含む、請求項11に記載の光学的アライメント構造。
- 前記傾斜領域が一連の階段を含む、請求項11に記載の光学的アライメント構造。
- 前記制御システムが、前記受光デバイスによって受け取られた光の量を表す信号を受け取り、前記それぞれの圧電構造を操作して前記レンズを前記発光および受光デバイスの光学的アライメントが得られる位置に動かす、請求項12に記載の光学的アライメント構造。
- 前記制御システムが、前記受光デバイスによって受け取られた前記光を周期的に監視し、前記受け取った光が公差範囲内にない場合、前記それぞれの圧電構造を操作して前記レンズを前記受光デバイスによって受け取られた前記光の量が増加する位置に動かす、請求項20に記載の光学的アライメント構造。
- 前記制御システムが、前記受光デバイスによって受け取られた前記光を周期的に監視する、請求項21に記載の光学的アライメント構造。
- 前記発光デバイスが前記光ファイバであり、前記受光デバイスが前記フォトニックデバイスである、請求項20乃至22のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記フォトニックデバイスが導波路である、請求項23に記載の光学的アライメント構造。
- 前記発光デバイスが前記フォトニックデバイスであり、前記受光デバイスが前記光ファイバである、請求項20乃至22のいずれかに記載の光学的アライメント構造。
- 前記フォトニックデバイスが導波路である、請求項25に記載の光学的アライメント構造。
- 光学的アライメント構造であって
発光デバイスから光信号を受け取り、前記光信号を受光デバイスに提供するレンズであって、前記発光デバイスおよび受光デバイスのうちの一方が、フォトニックデバイスを備え、前記発光デバイスと受光デバイスのうちの他方が、光ファイバを備える、レンズと、
前記レンズの底面の対向する側面に設けられた一対のアクチュエータヘッドと、
前記レンズの上面に設けられたアクチュエータヘッドと、
前記アクチュエータヘッドを支持するための複数の屈曲可能なカンチレバーアームと、
各々のカンチレバーアームにそれぞれ付随する複数の圧電構造と、
前記圧電構造を制御し、前記アクチュエータヘッドを介して前記レンズの動きに影響を与える、制御システムと、を備える、光学的アライメント構造。 - 前記レンズ、フォトニックデバイス、アクチュエータヘッド、屈曲可能なカンチレバーアーム、および圧電構造が、共通の集積回路チップ上に作製される、請求項27に記載の光学的アライメント構造。
- 前記制御システムが、共通の集積回路チップ上に作製される、請求項28に記載の光学的アライメント構造。
- 前記受光デバイスから光信号を受け取る信号検出器をさらに備え、前記制御システムが前記光信号を受け取り、作用して前記圧電構造を制御する、請求項29に記載の光学的アライメント構造。
- 光学的アライメント構造を作成する方法であって、
アライメントレンズと、
自由端にそれぞれのアクチュエータヘッドを各々が含む、3つのカンチレバーアームであって、それぞれが前記アライメントレンズの対応する側面を下側から支持する下側アクチュエータヘッドを含む2つのカンチレバーアームと、前記アライメントレンズに上側から接触する上側アクチュエータヘッドを含む1つのカンチレバーアームとを含む、3つのカンチレバーアームと、
前記それぞれのアクチュエータヘッドに付随し、前記レンズを動かすためのそれぞれの動力源と、
フォトニックデバイスと、
光ファイバ保持構造であって、前記光ファイバ保持構造に取り付けられた光ファイバと前記フォトニックデバイスとの間の光路内に前記レンズがあるように配設された、光ファイバ保持構造と、をフォトニック集積回路上に作製することを含む、方法。 - 前記動力源がそれぞれのアクチュエータヘッドを動かすそれぞれの圧電構造を備える、請求項31に記載の方法。
- 各々の圧電構造がそれぞれのカンチレバーアームの屈曲動作によってそれぞれのアクチュエータヘッドを動かす、請求項32に記載の方法。
- 各々の圧電構造がそれぞれのカンチレバーアームに設けられる、請求項33に記載の方法。
- 前記2つのカンチレバーアームの各々の前記下側アクチュエータヘッドが、前記アライメントレンズに係合する下向きの勾配の傾斜領域を備える、請求項31乃至34のいずれかに記載の方法。
- 前記傾斜領域が平坦領域を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記傾斜領域が湾曲領域を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記傾斜領域が一連の階段を含む、請求項35に記載の方法。
- 前記フォトニックデバイスのうちの少なくとも1つによって受け取られる光を検出するための光検出器と、前記保持構造に取り付けられた光ファイバと、を前記フォトニック集積回路上に作製することをさらに含む、請求項31乃至38のいずれかに記載の方法。
- 前記光検出器から光を受け取り、前記動力源を制御して前記アクチュエータヘッドを動かす制御システムを前記フォトニック集積回路上に作製することをさらに含む、請求項39に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/732,557 | 2013-01-02 | ||
US13/732,557 US9341787B2 (en) | 2013-01-02 | 2013-01-02 | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
PCT/US2013/076474 WO2014107321A1 (en) | 2013-01-02 | 2013-12-19 | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016502154A JP2016502154A (ja) | 2016-01-21 |
JP6153625B2 true JP6153625B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=49950050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015550496A Active JP6153625B2 (ja) | 2013-01-02 | 2013-12-19 | 光集積回路内の光ファイバの単純化されたアライメントを提供する装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US9341787B2 (ja) |
EP (1) | EP2941661B1 (ja) |
JP (1) | JP6153625B2 (ja) |
KR (1) | KR101883540B1 (ja) |
CN (1) | CN104884986B (ja) |
TW (1) | TWI551910B (ja) |
WO (1) | WO2014107321A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9341787B2 (en) | 2013-01-02 | 2016-05-17 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
WO2014160390A1 (en) | 2013-03-14 | 2014-10-02 | Icahn School Of Medicine At Mount Sinai | Therapeutic acid ceramidase compositions and methods of making and using them |
US9417411B2 (en) | 2014-02-21 | 2016-08-16 | Aurrion, Inc. | Optical and thermal interface for photonic integrated circuits |
US9876575B2 (en) * | 2014-04-30 | 2018-01-23 | Infinera Corporation | Hybrid optical transmitter and/or receiver structure |
US9513447B1 (en) | 2015-05-14 | 2016-12-06 | Huawei Technologies Co.., Ltd. | Active photonic integrated circuit (PIC) with embedded coupling efficiency monitoring |
ITUA20161818A1 (it) * | 2016-03-18 | 2017-09-18 | St Microelectronics Srl | Dispositivo mems proiettivo per un picoproiettore di tipo flying spot e relativo metodo di fabbricazione |
CN108663353B (zh) * | 2017-03-31 | 2020-10-30 | 苏州星帆华镭光电科技有限公司 | 振动光路组件及具有该组件的激光诱导击穿光谱仪 |
CN107121265B (zh) * | 2017-05-10 | 2020-05-26 | 深圳市惠富康光通信有限公司 | 一种C-lens装配工艺的检测设备和控制方法 |
FR3071327B1 (fr) * | 2017-09-21 | 2019-08-30 | Thales | Procede et systeme d'alignement de l'axe optique d'un cable optique avec un composant optoelectronique |
CN108490572B (zh) * | 2018-03-12 | 2021-04-23 | Oppo广东移动通信有限公司 | 激光投射模组、深度相机及电子装置 |
CN109324375A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-02-12 | 菲尼萨光电通讯(上海)有限公司 | 基于光功率扫描反馈的光电耦合装置及其耦合方法 |
JP7159835B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2022-10-25 | 日本電信電話株式会社 | 光接続構造 |
CN110018544A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-16 | 南开大学 | 一种基于光子灯笼的空间光高效自动耦合装置及其实现方法 |
WO2021049942A1 (en) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | Technische Universiteit Eindhoven | An apparatus arranged for aligning an optical component with an on-chip port as well as a corresponding system and method |
CN114488434B (zh) * | 2022-02-14 | 2023-06-02 | 清华大学 | 光纤自动耦合系统和方法 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5735815A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Fine adjusting device for axis alignment of optical fiber |
JPS5735814A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Fine adjusting device for axis alignment of optical fiber |
US4385373A (en) * | 1980-11-10 | 1983-05-24 | Eastman Kodak Company | Device for focus and alignment control in optical recording and/or playback apparatus |
US4520570A (en) | 1983-12-30 | 1985-06-04 | International Business Machines Corporation | Piezoelectric x-y-positioner |
US4626066A (en) | 1983-12-30 | 1986-12-02 | At&T Bell Laboratories | Optical coupling device utilizing a mirror and cantilevered arm |
US5049775A (en) | 1988-09-30 | 1991-09-17 | Boston University | Integrated micromechanical piezoelectric motor |
US5231286A (en) | 1990-08-31 | 1993-07-27 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning probe microscope utilizing an optical element in a waveguide for dividing the center part of the laser beam perpendicular to the waveguide |
JP3122559B2 (ja) * | 1993-07-29 | 2001-01-09 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの調心装置 |
US5602955A (en) | 1995-06-07 | 1997-02-11 | Mcdonnell Douglas Corporation | Microactuator for precisely aligning an optical fiber and an associated fabrication method |
US6095697A (en) | 1998-03-31 | 2000-08-01 | Honeywell International Inc. | Chip-to-interface alignment |
US6205266B1 (en) * | 1998-10-06 | 2001-03-20 | Trw Inc. | Active alignment photonics assembly |
JP3720650B2 (ja) * | 1999-09-09 | 2005-11-30 | 株式会社ルネサステクノロジ | 光結合装置 |
JP3563360B2 (ja) * | 2000-03-22 | 2004-09-08 | 松下電器産業株式会社 | 光学デバイス、光通信部品および光伝送装置 |
US6496623B2 (en) | 2000-03-22 | 2002-12-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical device, optical communication component and optical transmission apparatus |
US7555333B2 (en) | 2000-06-19 | 2009-06-30 | University Of Washington | Integrated optical scanning image acquisition and display |
US6587612B1 (en) | 2000-09-06 | 2003-07-01 | Southwest Research Institute | Thermally actuated spectroscopic optical switch |
US20030012545A1 (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Bellman Robert A. | Broad-band variable optical attenuator |
US6710950B2 (en) | 2002-06-05 | 2004-03-23 | Nokia Mobile Phones Limited | Piezoelectric actuator for digital camera optical system |
AU2003284046A1 (en) | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Nanolign, Inc. | Dynamic micro-positioning and aligning apparatus and method |
US6990853B2 (en) | 2002-12-18 | 2006-01-31 | Palo Alto Research Center Incorporated | Alignment-tolerant lens structures for acoustic force actuation of cantilevers |
JP4327484B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-09-09 | 住友大阪セメント株式会社 | レンズ固定装置及びその製造方法 |
US7403689B2 (en) | 2003-11-19 | 2008-07-22 | Corning Incorporated | Active photonic band-gap optical fiber |
CN100468537C (zh) | 2004-12-15 | 2009-03-11 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 物镜驱动装置 |
US7692365B2 (en) | 2005-11-23 | 2010-04-06 | Microstrain, Inc. | Slotted beam piezoelectric composite |
US8936404B2 (en) | 2006-05-09 | 2015-01-20 | Alcatel Lucent | Method, apparatus and system for self-aligning components, sub-assemblies and assemblies |
US20080054757A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Vladimir Anatolyevich Aksyuk | Tip-tilt actuator |
NL2000876C2 (nl) | 2007-09-24 | 2009-03-26 | Univ Delft Tech | Inrichting voor het uitlijnen van een glasfibervezel. |
TW200942878A (en) | 2008-04-10 | 2009-10-16 | Yuan-Feng Zhouzhao | Revolving ellipsoid air-hole photon-crystal optical fiber |
US8604670B2 (en) | 2008-05-30 | 2013-12-10 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Piezoelectric ALN RF MEM switches monolithically integrated with ALN contour-mode resonators |
US8346037B2 (en) * | 2009-01-30 | 2013-01-01 | Kaiam Corp. | Micromechanically aligned optical assembly |
US20110317972A1 (en) | 2010-06-25 | 2011-12-29 | Agency For Science, Technology And Research | Optical device, optical arrangement and optical element holder |
US8604663B2 (en) * | 2010-11-15 | 2013-12-10 | DigitalOptics Corporation MEMS | Motion controlled actuator |
US9341787B2 (en) | 2013-01-02 | 2016-05-17 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
-
2013
- 2013-01-02 US US13/732,557 patent/US9341787B2/en active Active
- 2013-12-19 KR KR1020157020766A patent/KR101883540B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-19 WO PCT/US2013/076474 patent/WO2014107321A1/en active Application Filing
- 2013-12-19 CN CN201380069230.7A patent/CN104884986B/zh active Active
- 2013-12-19 JP JP2015550496A patent/JP6153625B2/ja active Active
- 2013-12-19 EP EP13819135.8A patent/EP2941661B1/en active Active
- 2013-12-31 TW TW102149302A patent/TWI551910B/zh active
-
2016
- 2016-04-20 US US15/134,167 patent/US9507104B2/en active Active
- 2016-11-28 US US15/362,578 patent/US9715070B2/en active Active
-
2017
- 2017-06-30 US US15/640,041 patent/US9958624B2/en active Active
-
2018
- 2018-03-26 US US15/936,033 patent/US10656354B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201435420A (zh) | 2014-09-16 |
US10656354B2 (en) | 2020-05-19 |
KR101883540B1 (ko) | 2018-07-30 |
EP2941661A1 (en) | 2015-11-11 |
WO2014107321A1 (en) | 2014-07-10 |
CN104884986B (zh) | 2017-09-29 |
US20160231519A1 (en) | 2016-08-11 |
US20170139163A1 (en) | 2017-05-18 |
US9715070B2 (en) | 2017-07-25 |
US20140185983A1 (en) | 2014-07-03 |
KR20150103218A (ko) | 2015-09-09 |
US9507104B2 (en) | 2016-11-29 |
JP2016502154A (ja) | 2016-01-21 |
TWI551910B (zh) | 2016-10-01 |
EP2941661B1 (en) | 2022-09-07 |
CN104884986A (zh) | 2015-09-02 |
US20180003905A1 (en) | 2018-01-04 |
US9341787B2 (en) | 2016-05-17 |
US9958624B2 (en) | 2018-05-01 |
US20180224614A1 (en) | 2018-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6153625B2 (ja) | 光集積回路内の光ファイバの単純化されたアライメントを提供する装置 | |
JP6994258B2 (ja) | 光電子デバイスに対する光学サブアセンブリの光学アラインメント | |
US6164837A (en) | Integrated microelectromechanical alignment and locking apparatus and method for fiber optic module manufacturing | |
US6445858B1 (en) | Micro-alignment of optical components | |
EP3308204A1 (en) | Integrated target waveguide devices and systems for optical coupling | |
US8876415B2 (en) | Optical communication module | |
KR20150024431A (ko) | 회절 광학 소자를 구비한 광학 조립체 | |
KR20090015922A (ko) | 고에너지 프로세싱 구성요소를 포함하는 장치, 고에너지 프로세싱 구성요소의 정렬 방법 및 광학적 어셈블리 | |
JPH02244012A (ja) | 光コリメート用光学装置 | |
US9261652B2 (en) | Optical components including bonding slots for adhesion stability | |
US7050670B2 (en) | Method and system for aligning and maintaining alignment of an optical switch using sensors | |
US20190033539A1 (en) | Optical module and method for manufacturing the optical module | |
JP2005227553A (ja) | 光導波路と光素子を接続する装置および接続方法ならびに光モジュール | |
WO2004104673A1 (ja) | 光スイッチ装置 | |
JP3993135B2 (ja) | 光スイッチ装置 | |
JP2004233896A (ja) | 導波路型光結合素子、光配線及びその製造方法 | |
JP2004354410A (ja) | 光スイッチ装置 | |
WO2009081454A1 (ja) | 光軸調整システムおよび光軸調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6153625 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |