JP6153123B2 - Co2レーザーモニター装置 - Google Patents
Co2レーザーモニター装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6153123B2 JP6153123B2 JP2012270516A JP2012270516A JP6153123B2 JP 6153123 B2 JP6153123 B2 JP 6153123B2 JP 2012270516 A JP2012270516 A JP 2012270516A JP 2012270516 A JP2012270516 A JP 2012270516A JP 6153123 B2 JP6153123 B2 JP 6153123B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- diffraction grating
- detection plate
- light detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
本発明のCO2レーザーモニター装置は、CO2(炭酸ガス)レーザー光のビーム広がり及びスペクトルを計測するCO2レーザーモニター装置であって、前記CO2レーザー光を回折する反射型の回折格子と、表面から蛍光又は燐光を発し、前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光によって前記表面が照射され、前記蛍光又は燐光の発光強度が赤外光の照射によって変動する光検出板と、前記光検出板の表面であって前記回折格子で回折された前記CO 2 レーザー光が入射する入射面を2次元画像として撮像する撮像装置と、を具備することを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置は、前記蛍光又は燐光の励起光を前記光検出板に照射する照明部を具備することを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置において、前記光検出板は、前記光検出板が発する蛍光の強度が温度が上昇することによって減少する特性をもつ蛍光板であることを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置において、前記光検出板は、前記光検出板が発する燐光の強度が赤外光の照射によって増大する特性をもつ蓄光板であることを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置は、前記回折格子を介さない前記CO2レーザー光が前記光検出板に入射可能とされたことを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置は、前記CO2レーザー光が入射する第1の回折格子と、当該第1の回折格子で回折された前記CO2レーザー光が入射する第2の回折格子とを具備し、当該第2の回折格子で回折された光が前記光検出板を照射する設定とされたことを特徴とする。
本発明のCO2レーザーモニター装置は、前記第1の回折格子の回折面と前記第2の回折格子の回折面は平行とされて相対するように配され、前記第1の回折格子と前記第2の回折格子の間の光軸の中点から見て、前記第2の回折格子の格子面の構造は、前記第1の回折格子の回折面の構造と対称とされたことを特徴とする。
以下、上記のCO2レーザーモニター装置を用いて実際にCO2レーザー光のスペクトル、光軸を計測した結果について説明する。ここで、CO2レーザー発振装置としては、発振波長9.22〜10.61μm、出力1Wのものを用いた。まず、回折格子を1つ用いたCO2レーザーモニター装置10(α=5°)、回折格子を2つ用いたCO2レーザーモニター装置20(α=0°)にこのCO2レーザー光を入射させ、光検出板14上において検出された回折光の光軸(スポットの重心:画素位置で表示)とこれに対応する波長の関係を調べた。ここで、撮像装置15の画素数は744画素×480画素(回折方向に対応して744画素)としている。CO2レーザー光のスペクトルは、他の装置を用いて校正されている。
11 絞り
12 集光光学系
13 回折格子
14 光検出板
15 撮像装置
16 照明部
16A 照明光
21 第1の回折格子(回折格子)
22 第2の回折格子(回折格子)
100 CO2レーザー光
101〜103 回折光
Claims (7)
- CO2(炭酸ガス)レーザー光のビーム広がり及びスペクトルを計測するCO2レーザーモニター装置であって、
前記CO2レーザー光を回折する反射型の回折格子と、
表面から蛍光又は燐光を発し、前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光によって前記表面が照射され、前記蛍光又は燐光の発光強度が赤外光の照射によって変動する光検出板と、
前記光検出板の表面であって前記回折格子で回折された前記CO 2 レーザー光が入射する入射面を2次元画像として撮像する撮像装置と、
を具備することを特徴とするCO2レーザーモニター装置。 - 前記蛍光又は燐光の励起光を前記光検出板に照射する照明部を具備することを特徴とする請求項1に記載のCO2レーザーモニター装置。
- 前記光検出板は、前記光検出板が発する蛍光の強度が温度が上昇することによって減少する特性をもつ蛍光板であることを特徴とする請求項1又は2に記載のCO2レーザーモニター装置。
- 前記光検出板は、前記光検出板が発する燐光の強度が赤外光の照射によって増大する特性をもつ蓄光板であることを特徴とする請求項1又は2に記載のCO2レーザーモニター装置。
- 前記回折格子を介さない前記CO2レーザー光が前記光検出板に入射可能とされたことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のCO2レーザーモニター装置。
- 前記CO2レーザー光が入射する第1の回折格子と、当該第1の回折格子で回折された前記CO2レーザー光が入射する第2の回折格子とを具備し、当該第2の回折格子で回折された光が前記光検出板を照射する設定とされたことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のCO2レーザーモニター装置。
- 前記第1の回折格子の回折面と前記第2の回折格子の回折面は平行とされて相対するように配され、前記第1の回折格子と前記第2の回折格子の間の光軸の中点から見て、前記第2の回折格子の格子面の構造は、前記第1の回折格子の回折面の構造と対称とされたことを特徴とする請求項6に記載のCO2レーザーモニター装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012270516A JP6153123B2 (ja) | 2012-12-11 | 2012-12-11 | Co2レーザーモニター装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012270516A JP6153123B2 (ja) | 2012-12-11 | 2012-12-11 | Co2レーザーモニター装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014115224A JP2014115224A (ja) | 2014-06-26 |
JP6153123B2 true JP6153123B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=51171371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012270516A Active JP6153123B2 (ja) | 2012-12-11 | 2012-12-11 | Co2レーザーモニター装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6153123B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11490499B2 (en) | 2020-08-28 | 2022-11-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of exposure using extreme ultraviolet and method of manufacturing a semiconductor device using the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3604246A4 (en) * | 2017-03-29 | 2020-11-25 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | LASER LIGHT DETECTION TOOL |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5370873U (ja) * | 1976-11-16 | 1978-06-14 | ||
JP2756463B2 (ja) * | 1989-11-14 | 1998-05-25 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 赤外線イメージセンサ |
JPH03252531A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-11 | Toshiba Corp | レーザビーム検出装置 |
US5606163A (en) * | 1995-01-11 | 1997-02-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | All-optical, rapid readout, fiber-coupled thermoluminescent dosimeter system |
JPH1151768A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | レーザ波長分離用ホログラム光学装置 |
JP2001174331A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Ando Electric Co Ltd | 波長測定装置 |
WO2002075391A2 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Cidra Corporation | Optical grating-based filter |
-
2012
- 2012-12-11 JP JP2012270516A patent/JP6153123B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11490499B2 (en) | 2020-08-28 | 2022-11-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of exposure using extreme ultraviolet and method of manufacturing a semiconductor device using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014115224A (ja) | 2014-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101418145B1 (ko) | 공초점 계측 장치 | |
US10670857B2 (en) | Projection device and interface device having mirror which reflects light other than zero-order light toward a projection lens | |
JP5966467B2 (ja) | 測距装置 | |
US9689740B2 (en) | Diagnostic for spectrally combined laser | |
WO2002082009A1 (en) | Method and apparatus for measuring the three-dimensional surface shape of an object using color informations of light reflected by the object | |
US11175221B2 (en) | Instantaneous ellipsometer or scatterometer and associated measuring method | |
JPWO2013147038A1 (ja) | 物質特性測定装置 | |
JP2009222616A (ja) | 方位測定方法及び方位測定装置 | |
US7947946B2 (en) | Optical system for mapping signal light onto a detector | |
JP6857734B2 (ja) | 光学装置 | |
JP2012222303A (ja) | テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置 | |
JP6153123B2 (ja) | Co2レーザーモニター装置 | |
JP5541198B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP2007155379A (ja) | 三次元形状計測装置および三次元形状計測方法 | |
JP2008191122A (ja) | 表面形状測定装置及び方法 | |
JP2017116507A (ja) | 共焦点変位計 | |
JP6232784B2 (ja) | パターン照明装置及び測距装置 | |
KR20150012803A (ko) | 분광기술을 적용한 검지장치 | |
JP2021051074A (ja) | 分光分析装置 | |
US20190242746A1 (en) | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof | |
TWI426248B (zh) | 光譜量測系統與光譜量測方法 | |
JP2006300808A (ja) | ラマン分光測定装置 | |
JP2019109236A (ja) | 検査装置、検査方法 | |
JP6130805B2 (ja) | 距離測定装置および方法 | |
US20240069316A1 (en) | Microscope and imaging method for a microscope |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151022 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161004 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20161130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161202 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20170201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6153123 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D05 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |