JP6148579B2 - スリットノズル - Google Patents
スリットノズル Download PDFInfo
- Publication number
- JP6148579B2 JP6148579B2 JP2013181792A JP2013181792A JP6148579B2 JP 6148579 B2 JP6148579 B2 JP 6148579B2 JP 2013181792 A JP2013181792 A JP 2013181792A JP 2013181792 A JP2013181792 A JP 2013181792A JP 6148579 B2 JP6148579 B2 JP 6148579B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate member
- gas
- slit nozzle
- channel
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 197
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 234
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 15
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 9
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 aluminum alloy Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
本発明は、流体を噴霧するスリットノズルに関する。
従来より、製品に対して洗剤や薬液等を均一に噴霧するために、２流体ノズルや種々のスリットノズルが提案されている。例えば、図１１に示すような一般的な丸型２流体ノズル１００は、ノズルの中央部に液体を噴射する液体噴射孔１０１と、液体噴射孔１０１の全周縁に亘ってエアーを噴射するエアー噴射孔１０２とを具備し、少ないエアーの流量で平均液滴径を小さくすることが可能である。しかし、丸型２流体ノズル１００は、スリットノズルに比べて、噴霧範囲が狭く、広範囲への噴霧を行う場合、複数本のノズルが必要となり、コスト面、メンテナンス性に問題があった。
スリットノズルとして、例えば、特許文献１には、２つの気体を噴出する空隙の間に１つの液体を噴出する噴射口を設けたノズルが記載されている。特許文献１に記載のスリットノズルは、液体を噴出する噴射口が、気体を噴出する２つの空隙で挟まれ、液体を噴出する噴射口の延びる方向に対して、気体を噴出する２つの空隙の延びる方向が鋭角に交差している。その為、液体を均一に噴霧することができる。また、特許文献１に記載のスリットノズルは、液体を噴出する噴射口に配されるシムに、第１及び第２の液体スロットが形成されているので、２種類の液体を混合することが可能である。
しかし、特許文献１に記載のスリットノズルは、気体を噴出する空隙が、液体を噴出する噴射口の長手方向の全域に亘って形成されているので、液体を均一に噴霧する際に、多量の気体が必要となる。即ち、気体の量が少量になれば、液滴径分布において粗大液滴の分布が多くなってしまう。
したがって本発明は、前述した従来技術が有する欠点を解消し得るスリットノズルを提供することにある。
本発明は、一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、前記スリットノズルの先端部においては、前記第１中間部材と前記第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長方形状であり、長手方向に間隔を開けて複数配されており、各該液体流路の噴出口の第１部材側及び第２部材側の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配されており、前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記液体流路の噴出口の長さが、各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さよりも短く、各該第１気体流路の噴出口の両末端部と各該第２気体流路の噴出口の両末端部が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の両末端部よりも長手方向外方に配されているスリットノズルを提供するものである。
本発明によれば、安価で、メンテナンス性が良く、少量の気体の噴射量で、液滴径分布において粗大液滴の分布が少なく、均一に噴霧することができる。
以下、本発明のスリットノズルをその好ましい実施態様に基づき、図１〜図８を参照しながら説明する。
本実施形態のスリットノズル１は、図１に示すように、一対の縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３からなる積層体２０を、第１中間部材２側の第１部材４と第２中間部材３側の第２部材５とで挟んで一体化されている。具体的には、スリットノズル１は、積層体２０を、第１中間部材２側から第１部材４及び第２中間部材３側から第２部材５で挟んで一体化して形成されている。更に具体的には、スリットノズル１は、４枚の板状体である第１中間部材２、第２中間部材３、第１部材４及び第２部材５を重ねて一体化して形成されている。図中のＹ方向は、縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３の長手方向と同じ方向であり、図中のＸ方向は、長手方向（Ｙ方向）に直交する短手方向と同じ方向である。また、図中のＺ方向は、厚み方向である。
本実施形態のスリットノズル１は、図１に示すように、一対の縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３からなる積層体２０を、第１中間部材２側の第１部材４と第２中間部材３側の第２部材５とで挟んで一体化されている。具体的には、スリットノズル１は、積層体２０を、第１中間部材２側から第１部材４及び第２中間部材３側から第２部材５で挟んで一体化して形成されている。更に具体的には、スリットノズル１は、４枚の板状体である第１中間部材２、第２中間部材３、第１部材４及び第２部材５を重ねて一体化して形成されている。図中のＹ方向は、縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３の長手方向と同じ方向であり、図中のＸ方向は、長手方向（Ｙ方向）に直交する短手方向と同じ方向である。また、図中のＺ方向は、厚み方向である。
第１中間部材２は、図２に示すように、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、先端部２１を有する台形状に形成されている。先端部２１は、第１部材４に対向する面側から第２中間部材３に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面２２を有している。傾斜面２２と、第２中間部材３に対向する面とのなす角θ１（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上である。そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下である。より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である。
第１中間部材２は、スリットノズル１においては、図１に示すように、第１部材４に対向する面が平面に形成されており、図２に示すように、第２中間部材３に対向する面の中央領域に第１部材４側に凹んだ凹部２４が形成されている。このように、第２中間部材３に対向する面は、凹部２４を有し、凹部２４を除く領域が平面に形成されている。第１中間部材２は、図１，図２に示すように、先端部２１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔２３が複数形成されている。貫通孔２３は、長手方向（Ｙ方向）に沿う非先端部側の辺に沿って、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、長手方向（Ｙ方向）の両端部それぞれに、Ｘ方向に間隔を空けて複数形成されている。各貫通孔２３は、スリットノズル１においては、真円形状に形成されている。また、第１中間部材２は、図１，図２に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う非先端部側の側部の中央に位置する部分に、厚み方向（Ｚ方向）に貫通する液体を供給する円形状の液体供給口２６が形成されている。
第１中間部材２の凹部２４は、図１，図２に示すように、第１中間部材２の液体供給口２６の位置から先端部２１に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部２４１、第２深底凹部２４２、第３深底凹部２４３を連続して有している。第１深底凹部２４１は、凹部２４の中で最も深く、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、Ｔ字形状に形成されている。Ｔ字形状の横棒部分２４１ａは、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、Ｔ字形状の縦棒部分２４１ｂは、液体供給口２６に対応する位置に形成されている。第１深底凹部２４１における横棒部分２４１ａは、その底面が平滑に形成されている。第２深底凹部２４２は、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第２深底凹部２４２は、その底面が平滑に形成されている。第３深底凹部２４３は、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１深底凹部２４１及び第２深底凹部２４２の深さに比べて、浅く形成されている。
また、スリットノズル１においては、第１中間部材２の第３深底凹部２４３には、その底面から第２中間部材３に向かって隆起する円柱状の隆起部２４３ａが形成されている。隆起部２４３ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部２４３ａは、第３深底凹部２４３の底面から、第１中間部材２における凹部２４を除く領域の高さと一致する高さまで隆起している。各隆起部２４３ａの内部には裏側（第１部材４に対向する面側）から窪んだ貫通しないボルト用締め付け孔２５が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。
第２中間部材３は、図３に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、先端部３１を有する台形状に形成されている。スリットノズル１においては、第２中間部材３の第１中間部材２に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第１中間部材２の第２中間部材３に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。先端部３１は、第２部材５に対向する面側から第１中間部材２に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面３２を有している。傾斜面３２と、第１中間部材２に対向する面とのなす角θ２（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上である。そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下である。より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である。スリットノズル１においては、なす角θ２はなす角θ１と同じに形成されている。
第２中間部材３は、スリットノズル１においては、第２部材５に対向する面が平面に形成されており、第１中間部材２に対向する面の中央領域に第２部材５側に凹んだ凹部３４が形成されている。このように、第１中間部材２に対向する面は、凹部３４を有し、凹部３４及び長手方向（Ｙ方向）に沿う先端部３１側の側部におけるＹ方向中央領域を除く領域が平面に形成されている。第２中間部材３は、第１中間部材２と同様に、図１，図３に示すように、先端部３１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔３３が複数形成されている。貫通孔３３は第１中間部材２の貫通孔２３と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔３３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔２３の形状と同じく、真円形状に形成されている。
第２中間部材３の凹部３４は、図１，図３に示すように、第１中間部材２の液体供給口２６に対応する位置から先端部３１に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２、第３深底凹部３４３を連続して有している。第１深底凹部３４１は、第１中間部材２の第１深底凹部２４１に対応する位置に形成され、凹部３４の中で最も深く、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｔ字形状に形成されている。Ｔ字形状の横棒部分３４１ａは、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、Ｔ字形状の縦棒部分３４１ｂは、第１中間部材２の液体供給口２６に対応する位置に形成されている。第１深底凹部３４１における横棒部分３４１ａは、その底面が平滑に形成されている。第２深底凹部３４２は、第１中間部材２の第２深底凹部２４２に対応する位置に形成され、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第２深底凹部３４２は、その底面が平滑に形成されている。第３深底凹部３４３は、第１中間部材２の第３深底凹部２４３に対応する位置に形成され、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１深底凹部３４１及び第２深底凹部３４２の深さに比べて、浅く形成されている。
また、スリットノズル１においては、第２中間部材３の第３深底凹部３４３には、その底面から第１中間部材２に向かって隆起する円柱状の隆起部３４３ａが形成されている。隆起部３４３ａは、第１中間部材２の第３深底凹部２４３に設けられた隆起部２４３ａに対応する位置に形成され、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部３４３ａは、第３深底凹部３４３の底面から、第２中間部材３における凹部３４を除く領域の高さと一致する高さまで隆起している。各隆起部３４３ａの内部には裏側（第２部材５に対向する面側）から窪んだ貫通しないボルト用締め付け孔３５が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。
第２中間部材３は、図１，図３に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う先端部３１側の側部におけるＹ方向中央領域に、凹部３４から先端部３１の先端に亘る、凹部３４に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部３６を複数個有している。浅底凹部３６は、図１，図３に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個（スリットノズル１においては３個）形成されている。各浅底凹部３６は、スリットノズル１においては、同形同大の矩形状に形成されている。各浅底凹部３６は、図１，図３に示すように、先端部３１の一部に形成されている。各浅底凹部３６は、その底面が平滑に形成されている。
スリットノズル１は、図６に示すように、その先端部１１においては、第１中間部材２と第２中間部材３との隙間に液体流路１２が形成されている。具体的に説明すると、第１中間部材２と第２中間部材３とを重ね合わせた積層体２０には、第１中間部材２の第１深底凹部２４１、第２深底凹部２４２及び第３深底凹部２４３それぞれと、第２中間部材３の第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２及び第３深底凹部３４３それぞれとが組み合わされてなる液体溜室６が形成されるようになる。そして、積層体２０の先端部には、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する平面と、第２中間部材３の複数個の浅底凹部３６とが組み合わされてなるスリット状の液体流路１２が長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個（スリットノズル１においては３個）形成されるようになる。図６に示すように、液体溜室６は第１中間部材２の液体供給口２６に連通して形成されており、液体流路１２は液体溜室６に連通して形成されている。尚、第１中間部材２の液体供給口２６は、図６に示すように、後述する第１部材４の液体導入口４５に液体供給路４６を介して連通するようになる。
第１部材４は、図４に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、積層体２０の先端部（第１中間部材２の先端部２１）を覆い、液体流路１２に向かって尖鋭な尖鋭部４１を備えている。尖鋭部４１は、第１中間部材２の先端部２１の傾斜面２２に対応して均一に傾斜する傾斜面４２を有している。傾斜面４２と平面部４４４とが形成する角度θ３（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上である。そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下である。より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下であることが好ましい。スリットノズル１においては、傾斜角度θ３（図１参照）は、１８０°から第１中間部材２のなす角θ１（図１参照）を減算した角度と同じに形成されている。
第１部材４は、スリットノズル１においては、外面（第１中間部材２に非対向な面）が平面に形成されており、第１中間部材２に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部４４が形成されている。即ち、第１中間部材２に対向する面は、凹部４４を有し、凹部４４及び尖鋭部４１を除く領域が平面に形成されている。第１部材４は、第１中間部材２と同様に、図１，図４に示すように、尖鋭部４１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔４３が複数形成されている。貫通孔４３は第１中間部材２の貫通孔２３と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔４３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔２３の形状と同じく、真円形状に形成されている。
第１部材４は、図１に示すように、背面（尖鋭部４１側と反対側の面）に、円形状の液体導入口４５が形成されており、液体導入口４５に連通する液体供給路４６が、図６に示すように、逆Ｌ字状に屈曲して、図４に示すように、第１中間部材２に対向する面に貫通して形成されている。この液体供給路４６は、第１中間部材２の液体供給口２６と連通するようになる。第１中間部材２に対向する面に形成される液体供給路４６の出口は、図４に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う非尖鋭部側の側部の中央に位置する部分に形成されている。
第１部材４の凹部４４は、図１，図４に示すように、液体供給路４６の出口に対応する位置から尖鋭部４１に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部４４１と、凹みの深さが最も浅い第２凹部４４２と、凹みの深さが深い第３凹部４４３を連続して有している。第１凹部４４１は、その底面が平滑に形成されており、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第１凹部４４１の底面には、図４に示すように、長手方向（Ｙ方向）の中央に位置する部分に、外面（第１中間部材２に非対向な面）に貫通する円形状の気体導入口４７が形成されている。また、第２凹部４４２は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第２凹部４４２には、第２凹部４４２の底面から第１中間部材２に向かって隆起する円柱状の隆起部４４２ａが形成されている。隆起部４４２ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部４４２ａは、第２凹部４４２の底面から、平面部４４４の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル１においては、各隆起部４４２ａには、外面（第１中間部材２に非対向な面）に貫通するボルト用貫通孔４８が複数形成されている。ボルト用貫通孔４８は、第１中間部材２のボルト用締め付け孔２５と略一致する位置に形成されている。第３凹部４４３は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１凹部４４１の深さに比べて、浅く形成されている。第３凹部４４３は、その底面が平滑に形成されている。
第１部材４の尖鋭部４１の傾斜面４２には、図４に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う尖鋭部４１側の側部におけるＹ方向中央領域に、凹部４４から尖鋭部４１の先端に亘る、凹部４４に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部４９が複数形成されている。各浅底凹部４９は、スリットノズル１においては、同形同大の矩形状に形成されている。各浅底凹部４９は、第２中間部材３の各浅底凹部３６の位置に対応して各浅底凹部３６を包含するように、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数（スリットノズル１においては３個）形成されている。各浅底凹部４９は、その底面が平滑に形成されている。
第２部材５は、図５に示すように、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、積層体２０の先端部（第２中間部材３の先端部３１）を覆い、液体流路１２に向かって尖鋭な尖鋭部５１を備えている。スリットノズル１においては、第２部材５の第２中間部材３に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第１部材４の第１中間部材２に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。尖鋭部５１は、第２中間部材３の先端部３１の傾斜面３２に対応して均一に傾斜する傾斜面５２を有している。傾斜面５２と平面部５４４とが形成する角度θ４（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上である。そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下である。より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下であることが好ましい。スリットノズル１においては、傾斜角度θ４（図１参照）は、１８０°から第２中間部材３のなす角θ２（図１参照）を減算した角度と同じに形成されている。
第２部材５は、スリットノズル１においては、外面（第２中間部材３に非対向な面）が平面に形成されており、第２中間部材３に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部５４が形成されている。即ち、第２中間部材３に対向する面は、凹部５４を有し、凹部５４及び尖鋭部５１を除く領域が平面に形成されている。第２部材５は、第２中間部材３と同様に、図１，図５に示すように、尖鋭部５１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔５３が複数形成されている。貫通孔５３は第２中間部材３の貫通孔３３と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔５３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔３３の形状と同じく、真円形状に形成されている。
第２部材５の凹部５４は、図１，図５に示すように、尖鋭部５１に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部５４１と、凹みの深さが最も浅い第２凹部５４２と、凹みの深さが深い第３凹部５４３を連続して有している。第２部材５の第１凹部５４１、第２凹部５４２及び第３凹部５４３は、それぞれ、図６に示すように、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３それぞれの形成位置に対応して設けられている。第１凹部５４１は、その底面が平滑に形成されており、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第１凹部５４１の底面には、図５に示すように、長手方向（Ｙ方向）の中央に位置する部分に、外面（第２中間部材３に非対向な面）に貫通する円形状の気体導入口５７が形成されている。また、第２凹部５４２は、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第２凹部５４２には、その底面から第２中間部材３に向かって隆起する円柱状の隆起部５４２ａが形成されている。隆起部５４２ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部５４２ａは、第２凹部５４２の底面から、平面部５４４の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル１においては、各隆起部５４２ａには、外面（第２中間部材３に非対向な面）に貫通するボルト用貫通孔５８が複数形成されている。ボルト用貫通孔５８は、第２中間部材３のボルト用締め付け孔３５と略一致する位置に形成されている。第３凹部５４３は、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１凹部５４１の深さに比べて、浅く形成されている。第３凹部５４３は、その底面が平滑に形成されている。
第２部材５の尖鋭部５１の傾斜面５２には、図５に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う尖鋭部５１側の側部におけるＹ方向中央領域に、凹部５４から尖鋭部５１の先端に亘る、凹部５４に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部５９が複数形成されている。各浅底凹部５９は、スリットノズル１においては、同形同大の矩形状に形成されている。各浅底凹部５９は、第２中間部材３の各浅底凹部３６の位置に対応して各浅底凹部３６を包含するように、第１部材４の各浅底凹部４９に対応する位置にて、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数（スリットノズル１においては３個）形成されている。即ち、第２部材５の各浅底凹部５９は、第１部材４の各浅底凹部４９と同形同大に形成されている。各浅底凹部５９は、その底面が平滑に形成されている。
スリットノズル１は、上述したように、その先端部１１においては、第１中間部材２と第２中間部材３との隙間に液体流路１２が形成されており、また、図６に示すように、第１部材４と第１中間部材２との隙間に第１気体流路１３が形成され、第２部材５と第２中間部材３との隙間に第２気体流路１４が形成されている。具体的に説明すると、スリットノズル１は、図１に示すように、第１部材４と第１中間部材２とを重ね合わせ、それを、第２部材５と第２中間部材３とを重ね合わせたものに重ね合わせ、複数の貫通孔４３，２３，３３，５３にボルト（不図示）を通して、該ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めすることにより一体化して形成される。スリットノズル１には、第１中間部材２における第１部材４に対向する平面と、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が形成されるようになる。そして、スリットノズル１の先端部には、第１中間部材２における先端部２１の傾斜面２２と、第１部材４の尖鋭部４１における傾斜面４２の複数の浅底凹部４９とが組み合わされてスリット状の複数の第１気体流路１３（スリットノズル１においては３個）が形成されるようになる。図６に示すように、第１気体溜部７１は第１部材４の気体導入口４７に連通して形成されており、第２気体溜部７３は、第２気体溜部７３及び第１気体溜部７１の間隔よりも狭い気体流路７２を介して第１気体溜部７１と連通しており、複数の第１気体流路１３は第２気体溜部７３に連通して形成されている。
また、図１に示すように、ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めすることにより一体化して形成されるスリットノズル１には、第２中間部材３における第２部材５に対向する平面と、第２部材５の第１凹部５４１、第２凹部５４２及び第３凹部５４３とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３が形成されるようになる。そして、スリットノズル１の先端部には、第２中間部材３における先端部３１の傾斜面３２と、第２部材５の尖鋭部５１における傾斜面５２の複数の浅底凹部５９とが組み合わされてスリット状の複数の第２気体流路１４（スリットノズル１においては３個）が形成されるようになる。図６に示すように、第１気体溜部８１は第２部材５の気体導入口５７に連通して形成されており、第２気体溜部８３は、第２気体溜部８３及び第１気体溜部８１の間隔よりも狭い気体流路８２を介して第１気体溜部８１と連通しており、複数の第２気体流路１４は第２気体溜部８３に連通して形成されている。第２部材５側に形成される第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３と、第１部材４側に形成される第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３とは、それぞれ、図６に示すように、スリットノズル１の先端部の液体流路１２の延出方向に延びる仮想線ＩＬに対して対称に形成されている。尚、気体流路７２及び気体流路８２の間隔は、それぞれ、ボルト用貫通孔４８,５８を通して、第１，第２中間部材２，３の隆起部２４３ａ，３４３ａ内のボルト用締め付け孔２５，３５に配されたボルト９１，９２を締めたり緩めたりすることで調整できる。
以上のように構成されたスリットノズル１について、詳述すると、図７に示すように、スリットノズル１の先端部１１を断面視して、液体流路１２の延出方向に対し第１気体流路１３の延出方向及び第２気体流路１４の延出方向が、それぞれ鋭角に交差している。具体的には、第１中間部材２の先端部２１がなす角θ１で形成されているので、図７に示すように、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度がθ１となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第２中間部材３の先端部３１がなす角θ２で形成されているので、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度がθ２となって液体流と気体流とが合流するようになっている。
また、上述したように、図１〜５に示すように、第１部材４の各浅底凹部４９及び第２部材５の各浅底凹部５９は、第２中間部材３の各浅底凹部３６の位置に対応して各浅底凹部３６を包含するように配されている。その為、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、液体流路１２の噴出口１２ｅは、長方形状であり、長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数配されており、各液体流路１２の噴出口１２ｅの第１部材４側及び第２部材５側の両側に沿って、第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅが、それぞれ、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数配されているようになる。
更に、上述したように、図１〜５に示すように、第１部材４の各浅底凹部４９及び第２部材５の各浅底凹部５９は、第２中間部材３の各浅底凹部３６を包含するように配されている。その為、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各液体流路１２の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さが、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さよりも短く、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの両末端部と各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの両末端部が、それぞれ、各液体流路１２の噴出口１２ｅの両末端部よりも長手方向（Ｙ方向）外方に配されるようになる。
更にまた、スリットノズル１においては、上述したように、第２部材５の各浅底凹部５９が、第１部材４の各浅底凹部４９と同形同大に形成されている。その為、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さと各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さとが同じとなっている。
また、スリットノズル１においては、上述したように、第１部材４の各浅底凹部４９及び第２部材５の各浅底凹部５９は、第２中間部材３の各浅底凹部３６を包含するように配されており、第２部材５の各浅底凹部５９が、第１部材４の各浅底凹部４９と同形同大に形成されている。その為、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、流体（気体及び液体）の噴出口の右側を一末端部、左側を他末端部とすると、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ１が、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ２と同じとなる。そして、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ１が、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの他末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの他末端部との間隔と同じとなる。また、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ２が、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの他末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの他末端部との間隔と同じとなる。
そして、スリットノズル１においては、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長手方向（Ｙ方向）における中心点１３ｃの位置と、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）における中心点１４ｃの位置と、各液体流路１２の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）における中心点１２ｃの位置とが、一致している。即ち、各第１気体流路１３の中心点１３ｃ、各第２気体流路１４の中心点１４ｃ及び各液体流路１２の中心点１２ｃが、それぞれ、Ｚ方向に平行に延びる直線上に配されている。
各液体流路１２の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さは、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ又は各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さの好ましくは７０％以上、更に好ましくは８０％以上である。そして、好ましくは９５％以下、更に好ましくは９０％以下である。より具体的には、好ましくは７０％以上９５％以下であり、更に好ましくは８０％以上９０％以下である。
各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ１、及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ２は、それぞれ、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、各液体流路１２の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さの好ましくは６％以上、更に好ましくは１２％以上である。そして、好ましくは３０％以下、更に好ましくは２５％以下である。より具体的には、好ましくは６％以上３０％以下であり、更に好ましくは１２％以上２５％以下である。
具体的に、各液体流路１２の長方形状の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さは、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、好ましくは５ｍｍ以上、更に好ましくは１０ｍｍ以上であり、そして、好ましくは５０ｍｍ以下、更に好ましくは２０ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。
また、具体的に、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さは、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、好ましくは５．６ｍｍ以上、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは８０ｍｍ以下、更に好ましくは２４．８ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５．６ｍｍ以上８０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上２４．８ｍｍ以下である。
また、具体的に、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さは、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、好ましくは５．６ｍｍ以上、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは８０ｍｍ以下、更に好ましくは２４．８ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５．６ｍｍ以上８０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上２４．８ｍｍ以下である。
更にまた、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ１、及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ２は、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、好ましくは０．３ｍｍ以上、更に好ましくは０．６ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１５ｍｍ以下、更に好ましくは２．４ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは０．３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．６ｍｍ以上２．４ｍｍ以下である。
スリットノズル１を構成する第１中間部材２、第２中間部材３、第１部材４及び第２部材５それぞれの材質としては、アルミニウム合金、ステンレス綱、鉄鋼、チタン等の金属のほか、セラミック、耐熱性樹脂等が挙げられ、用途に応じて適宜選択して用いることができる。
スリットノズル１により噴霧する液体としては、用途に応じて様々な液体を用いることができる。また、スリットノズル１により液体を噴霧する際に用いる気体としては、該液体に応じて様々な気体を用いることができる。
スリットノズル１により噴霧する液体としては、用途に応じて様々な液体を用いることができる。また、スリットノズル１により液体を噴霧する際に用いる気体としては、該液体に応じて様々な気体を用いることができる。
次に、スリットノズル１の作用を、図６〜図８を参照しながら説明する。
先ず、スリットノズル１の液体導入口４５に液体供給管（不図示）を連結し、気体導入口４７及び気体導入口５７それぞれに気体供給管（不図示）を連結する。
液体導入口４５から供給された液体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、液体供給路４６、液体供給口２６、液体溜室６、そして液体流路１２の順に流れ液体流路１２の噴出口１２ｅから液体が噴出する。
気体導入口４７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部７１、気体流路７２、第２気体溜部７３、そして複数の第１気体流路１３の順に流れ第１気体流路１３の噴出口１３ｅから気体が噴出する。
また、気体導入口５７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部８１、気体流路８２、第２気体溜部８３、そして複数の第２気体流路１４の順に流れ第２気体流路１４の噴出口１４ｅから気体が噴出する。
先ず、スリットノズル１の液体導入口４５に液体供給管（不図示）を連結し、気体導入口４７及び気体導入口５７それぞれに気体供給管（不図示）を連結する。
液体導入口４５から供給された液体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、液体供給路４６、液体供給口２６、液体溜室６、そして液体流路１２の順に流れ液体流路１２の噴出口１２ｅから液体が噴出する。
気体導入口４７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部７１、気体流路７２、第２気体溜部７３、そして複数の第１気体流路１３の順に流れ第１気体流路１３の噴出口１３ｅから気体が噴出する。
また、気体導入口５７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部８１、気体流路８２、第２気体溜部８３、そして複数の第２気体流路１４の順に流れ第２気体流路１４の噴出口１４ｅから気体が噴出する。
スリットノズル１においては、図７に示すように、先端部１１を断面視して、液体流路１２の延出方向に対し第１気体流路１３の延出方向が鋭角（交差角度θ１）に交差しており、さらに、液体流路１２の延出方向に対し第２気体流路１４の延出方向が鋭角（交差角度θ２）に交差している。従って、液体流路１２の噴出口１２ｅから噴出する液体に対して、その両側部から、第１気体流路１３の噴出口１３ｅから噴出する気体及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅから噴出する気体が衝突し、液体を噴霧することができるようになっている。また、図８に示すように、先端部１１を正面視して、液体流路１２の長方形状の噴出口１２ｅが、長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数配されており、各液体流路１２の噴出口１２ｅの第１部材４側及び第２部材５側の両側に沿って、第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅが、それぞれ、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数配されているようになっている。その為、各噴出口１３ｅ，噴出口１４ｅで気体の噴射量が絞られるので、噴出する気体の流速を維持したまま、気体の噴射量を少量にすることができる。更に、各液体流路１２の噴出口１２ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さが、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さよりも短く、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの両末端部と各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの両末端部が、それぞれ、各液体流路１２の噴出口１２ｅの両末端部よりも長手方向（Ｙ方向）外方に配されるようになっている。その為、各液体流路１２の噴出口１２ｅの両末端部それぞれにおいて、液滴が溜り難く、液滴径分布において粗大液滴の分布が少なく、均一に噴霧することができる。また、スリットノズルであるため、従来の２流体ノズルに比べ、安価であり、メンテナンス性に優れることも期待できる。
また、スリットノズル１においては、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さと各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さとが同じとなっている。従って、各噴出口１３ｅから噴出する気体の流速と各噴出口１４ｅから噴出する気体の流速が略同じであり、噴出口１２ｅから噴出する液体に対して、その両側部から、略同じ力で、噴出口１３ｅから噴出する気体及び噴出口１４ｅから噴出する気体がそれぞれ衝突するようになる。よって、液体流路１２の延出方向に対して略均等な範囲に液体が広がって均一に噴霧されるようになる。
更に、スリットノズル１においては、図８に示すように、各第１気体流路１３の中心点１３ｃの位置、各第２気体流路１４の中心点１４ｃの位置及び各液体流路１２の中心点１２ｃの位置が、一致している。その為、図８に示すように、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ１が、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの一末端部との間隔Ｗ２と同じとなる。そして、該間隔Ｗ１は、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの他末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの他末端部との間隔と同じであり、該間隔Ｗ２は、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの他末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの他末端部との間隔と同じとなる。その為、各液体流路１２の噴出口１２ｅの両末端部それぞれにおいて、液滴が更に溜り難く、液滴径分布において粗大液滴の分布が更に少なく、更に均一に噴霧することができる。
本発明のスリットノズルは、上述の実施形態のスリットノズル１に何ら制限されるものではなく、適宜変更可能である。
例えば、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さと各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さとが同じとなっているが同じでなくてもよい。また、各第１気体流路１３の中心点１３ｃの位置、各第２気体流路１４の中心点１４ｃの位置及び各液体流路１２の中心点１２ｃの位置が、一致しているが、一致していなくてもよい。つまり、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの両末端部と各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの両末端部が、各液体流路１２の噴出口１２ｅの両末端部よりも長手方向（Ｙ方向）外方に配されていればよい。
また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図７に示すように、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度θ１が、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度θ２と一致しているが、一致していなくてもよい。また、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、その形状が同じであり、大きさも同じに形成されているが、同じでなくてもよい。
また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、液体導入口４５が第１部材４の背面（尖鋭部４１側と反対側の面）に形成されているが、スリットノズル１の大きさに応じて別の場所に形成されていてもよい。
また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、液体溜室６が、第１中間部材２の第１深底凹部２４１、第２深底凹部２４２及び第３深底凹部２４３と、第２中間部材３の第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２及び第３深底凹部３４３とが組み合わされて形成されているが、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する面に凹部を設け、第２中間部材３の第１中間部材２に対向する面を平面として形成してもよく、第１中間部材２の第２中間部材３に対向する面を平面とし、第２中間部材３における第１中間部材２に対向する面に凹部を設けて形成してもよい。また、液体溜室６が無くてもよい。
また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が、第１中間部材２における第１部材４に対向する平面と、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３とがそれぞれ組み合わされて形成されているが、第１中間部材２における第１部材４に対向する面に３つの凹部を設け、第１部材４の第１中間部材２に対向する面を平面として形成してもよく、互いに対向する面それぞれに凹部を設けて形成していてもよい。また、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が無くてもよい。第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３についても、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３と同様である。
また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、温度調整システムを設置して、第１中間部材２及び第２中間部材３からなる積層体２０、並びに第１部材４及び第２部材５の温度を調整するようにしてもよい。
本発明のスリットノズルは、例えば、水や薬品,塗料等の散布に用いることができる。
上述した実施形態に関し、さらに以下のスリットノズルを開示する。
＜１＞
一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、前記第１中間部材と前記第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長方形状であり、長手方向に間隔を開けて複数配されており、各該液体流路の噴出口の第１部材側及び第２部材側の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配されており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記液体流路の噴出口の長手方向の長さが、各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さよりも短く、各該第１気体流路の噴出口の両末端部と各該第２気体流路の噴出口の両末端部が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の両末端部よりも長手方向外方に配されているスリットノズル。
一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、前記第１中間部材と前記第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長方形状であり、長手方向に間隔を開けて複数配されており、各該液体流路の噴出口の第１部材側及び第２部材側の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配されており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記液体流路の噴出口の長手方向の長さが、各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さよりも短く、各該第１気体流路の噴出口の両末端部と各該第２気体流路の噴出口の両末端部が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の両末端部よりも長手方向外方に配されているスリットノズル。
＜２＞
前記スリットノズルには、前記第１中間部材の第１深底凹部、第２深底凹部及び第３深底凹部それぞれと、前記第２中間部材の第１深底凹部、第２深底凹部及び第３深底凹部それぞれとが組み合わされてなる液体溜室が形成されている前記＜１＞に記載のスリットノズル。
＜３＞
積層体の先端部には、前記第１中間部材における前記第２中間部材に対向する平面と、該第２中間部材の複数個の浅底凹部とが組み合わされてなるスリット状の液体流路が長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個形成されるようになる前記＜１＞又は＜２＞に記載のスリットノズル。
＜４＞
前記第１中間部材の凹部は、前記第１中間部材の液体供給口の位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部、第２深底凹部、第３深底凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜３＞の何れかに記載のスリットノズル。
＜５＞
前記第２中間部材の凹部は、前記第１中間部材の液体供給口に対応する位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部、第２深底凹部、第３深底凹部を連続して有しており、底の深さが極めて浅い浅底凹部を、該第１中間部材に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個連続して有している前記＜１＞〜＜４＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜６＞
前記第１中間部材及び前記第２中間部材の第３深底凹部には、その底面から該第２中間部材及び該第１中間部材に向かって、該第２中間部材及び該第１中間部材における凹部を除く領域の高さと一致する高さまで隆起する円柱状の隆起部が形成されている前記＜１＞〜＜５＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜７＞
前記第１部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部及び液体供給路を備えており、前記第１部材の凹部は、該液体供給路の出口に対応する位置から該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜６＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜８＞
前記第１部材の第２凹部の底面から前記第１中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、該隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、該各隆起部は、該第２凹部の底面から、第１部材の平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜１＞〜＜７＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜９＞
前記第２部材は、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、前記第２部材の凹部は、該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜８＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１０＞
前記第２部材の第２凹部の底面から前記第２中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、該隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、該各隆起部は、該第２凹部の底面から、第２部材の平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜１＞〜＜９＞の何れか１に記載のスリットノズル。
前記スリットノズルには、前記第１中間部材の第１深底凹部、第２深底凹部及び第３深底凹部それぞれと、前記第２中間部材の第１深底凹部、第２深底凹部及び第３深底凹部それぞれとが組み合わされてなる液体溜室が形成されている前記＜１＞に記載のスリットノズル。
＜３＞
積層体の先端部には、前記第１中間部材における前記第２中間部材に対向する平面と、該第２中間部材の複数個の浅底凹部とが組み合わされてなるスリット状の液体流路が長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個形成されるようになる前記＜１＞又は＜２＞に記載のスリットノズル。
＜４＞
前記第１中間部材の凹部は、前記第１中間部材の液体供給口の位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部、第２深底凹部、第３深底凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜３＞の何れかに記載のスリットノズル。
＜５＞
前記第２中間部材の凹部は、前記第１中間部材の液体供給口に対応する位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部、第２深底凹部、第３深底凹部を連続して有しており、底の深さが極めて浅い浅底凹部を、該第１中間部材に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に間隔を開けて複数個連続して有している前記＜１＞〜＜４＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜６＞
前記第１中間部材及び前記第２中間部材の第３深底凹部には、その底面から該第２中間部材及び該第１中間部材に向かって、該第２中間部材及び該第１中間部材における凹部を除く領域の高さと一致する高さまで隆起する円柱状の隆起部が形成されている前記＜１＞〜＜５＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜７＞
前記第１部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部及び液体供給路を備えており、前記第１部材の凹部は、該液体供給路の出口に対応する位置から該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜６＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜８＞
前記第１部材の第２凹部の底面から前記第１中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、該隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、該各隆起部は、該第２凹部の底面から、第１部材の平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜１＞〜＜７＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜９＞
前記第２部材は、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、前記第２部材の凹部は、該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜８＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１０＞
前記第２部材の第２凹部の底面から前記第２中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、該隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、該各隆起部は、該第２凹部の底面から、第２部材の平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜１＞〜＜９＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１１＞
前記スリットノズルには、前記第１中間部材における前記第１部材に対向する平面と、該第１部材の前記第１凹部、前記第２凹部及び前記第３凹部とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部、気体流路及び第２気体溜部が形成され、
前記第１気体溜部は前記第１部材の気体導入口に連通して形成されており、前記第２気体溜部は、該第２気体溜部及び該第１気体溜部の間隔よりも狭い前記気体流路を介して該第１気体溜部と連通しており、複数の該第１気体流路は該第２気体溜部に連通して形成されている前記＜１＞〜＜１０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１２＞
前記第１中間部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第１部材に対向する面側から前記第２中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、該第２中間部材に対向する面とのなす角θ１は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜１１＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１３＞
前記第２中間部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第２部材に対向する面側から前記第１中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、該第１中間部材に対向する面とのなす角θ２は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜１２＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１４＞
前記第１部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第１中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と第１部材の平面部が形成する角度θ３は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１＞〜＜１３＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１５＞
前記第２部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第２中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と第２部材の平面部が形成する角度θ４（図１参照）は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１＞〜＜１４＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１６＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである前記＜１＞〜＜１５＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１７＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該第１気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔、及び各該第２気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔と同じである前記＜１＞〜＜１６＞の何れか１項に記載のスリットノズル。
＜１８＞
前記各液体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、各前記第１気体流路の噴出口又は各前記第２気体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さの好ましくは７０％以上、更に好ましくは８０％以上である。そして、好ましくは９５％以下、更に好ましくは９０％以下である。より具体的には、好ましくは７０％以上９５％以下であり、更に好ましくは８０％以上９０％以下である前記＜１＞〜＜１７＞の何れか１に記載のスリットノズル。
前記スリットノズルには、前記第１中間部材における前記第１部材に対向する平面と、該第１部材の前記第１凹部、前記第２凹部及び前記第３凹部とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部、気体流路及び第２気体溜部が形成され、
前記第１気体溜部は前記第１部材の気体導入口に連通して形成されており、前記第２気体溜部は、該第２気体溜部及び該第１気体溜部の間隔よりも狭い前記気体流路を介して該第１気体溜部と連通しており、複数の該第１気体流路は該第２気体溜部に連通して形成されている前記＜１＞〜＜１０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１２＞
前記第１中間部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第１部材に対向する面側から前記第２中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、該第２中間部材に対向する面とのなす角θ１は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜１１＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１３＞
前記第２中間部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第２部材に対向する面側から前記第１中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、該第１中間部材に対向する面とのなす角θ２は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜１２＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１４＞
前記第１部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第１中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と第１部材の平面部が形成する角度θ３は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１＞〜＜１３＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１５＞
前記第２部材は、厚み方向（Ｚ方向）に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第２中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と第２部材の平面部が形成する角度θ４（図１参照）は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１＞〜＜１４＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１６＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである前記＜１＞〜＜１５＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１７＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該第１気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔、及び各該第２気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔と同じである前記＜１＞〜＜１６＞の何れか１項に記載のスリットノズル。
＜１８＞
前記各液体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、各前記第１気体流路の噴出口又は各前記第２気体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さの好ましくは７０％以上、更に好ましくは８０％以上である。そして、好ましくは９５％以下、更に好ましくは９０％以下である。より具体的には、好ましくは７０％以上９５％以下であり、更に好ましくは８０％以上９０％以下である前記＜１＞〜＜１７＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１９＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の長手方向の長さの６％以上３０％以下である前記＜１＞〜＜１８＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２０＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の長手方向の長さの好ましくは６％以上、更に好ましくは１２％以上である。そして、好ましくは３０％以下、更に好ましくは２５％以下である。より具体的には、好ましくは６％以上３０％以下であり、更に好ましくは１２％以上２５％以下である前記＜１＞〜＜１９＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２１＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記第２気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記液体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置とが、一致している前記＜１＞〜＜２０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２２＞
各前記液体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、好ましくは５ｍｍ以上、更に好ましくは１０ｍｍ以上であり、そして、好ましくは５０ｍｍ以下、更に好ましくは２０ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２１＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２３＞
各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、好ましくは５．６ｍｍ以上、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは８０ｍｍ以下、更に好ましくは２４．８ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５．６ｍｍ以上８０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２２＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２４＞
各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各第２気体流路の噴出口の一末端部と各液体流路の噴出口の一末端部との間隔は、好ましくは０．３ｍｍ以上、更に好ましくは０．６ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１５ｍｍ以下、更に好ましくは２．４ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは０．３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．６ｍｍ以上２．４ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２３＞の何れか１に記載のスリットノズル。
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の長手方向の長さの６％以上３０％以下である前記＜１＞〜＜１８＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２０＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の長手方向の長さの好ましくは６％以上、更に好ましくは１２％以上である。そして、好ましくは３０％以下、更に好ましくは２５％以下である。より具体的には、好ましくは６％以上３０％以下であり、更に好ましくは１２％以上２５％以下である前記＜１＞〜＜１９＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２１＞
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記第２気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記液体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置とが、一致している前記＜１＞〜＜２０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２２＞
各前記液体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、好ましくは５ｍｍ以上、更に好ましくは１０ｍｍ以上であり、そして、好ましくは５０ｍｍ以下、更に好ましくは２０ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５ｍｍ以上５０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２１＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２３＞
各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向（Ｙ方向）の長さは、好ましくは５．６ｍｍ以上、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは８０ｍｍ以下、更に好ましくは２４．８ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは５．６ｍｍ以上８０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１１．２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２２＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２４＞
各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各第２気体流路の噴出口の一末端部と各液体流路の噴出口の一末端部との間隔は、好ましくは０．３ｍｍ以上、更に好ましくは０．６ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１５ｍｍ以下、更に好ましくは２．４ｍｍ以下であり、より具体的には、好ましくは０．３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．６ｍｍ以上２．４ｍｍ以下である前記＜１＞〜＜２３＞の何れか１に記載のスリットノズル。
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲はかかる実施例によって何ら制限されるものではない。
〔実施例１〕
図１〜図８に示す上記実施形態のスリットノズル１と同様の構成を有するスリットノズルを用いた。スリットノズルについて詳述すると、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度がθ１となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第２中間部材３の先端部３１がなす角θ２で形成されているので、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度がθ２となって液体流と気体流とが合流するようになっている。第１中間部材２の先端部のなす角θ１は４５°であり、第２中間部材３の先端部のなす角θ２も４５°であった。また、第１部材４の傾斜面の傾斜角度θ３は１３５°であり、第２部材５の傾斜面の傾斜角度θ４も１３５°であった。各液体流路１２の噴出口１２ｅは、Ｙ方向の長さが１６．７ｍｍ、間隔が４１．７ｍｍであった。次に、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、それぞれ、Ｙ方向の長さが２０．７ｍｍであった。また、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ１は２ｍｍであり、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ２も２ｍｍであった。このように形成された前記間隔Ｗ１，Ｗ２は、液体流路１２の噴出口１２ｅの長さの１２％であった。
図１〜図８に示す上記実施形態のスリットノズル１と同様の構成を有するスリットノズルを用いた。スリットノズルについて詳述すると、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度がθ１となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第２中間部材３の先端部３１がなす角θ２で形成されているので、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度がθ２となって液体流と気体流とが合流するようになっている。第１中間部材２の先端部のなす角θ１は４５°であり、第２中間部材３の先端部のなす角θ２も４５°であった。また、第１部材４の傾斜面の傾斜角度θ３は１３５°であり、第２部材５の傾斜面の傾斜角度θ４も１３５°であった。各液体流路１２の噴出口１２ｅは、Ｙ方向の長さが１６．７ｍｍ、間隔が４１．７ｍｍであった。次に、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、それぞれ、Ｙ方向の長さが２０．７ｍｍであった。また、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ１は２ｍｍであり、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ２も２ｍｍであった。このように形成された前記間隔Ｗ１，Ｗ２は、液体流路１２の噴出口１２ｅの長さの１２％であった。
〔実施例２〕
各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ１が１ｍｍであり、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ２も１ｍｍである以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。尚、このように形成された前記間隔Ｗ１，Ｗ２は、液体流路１２の噴出口１２ｅの長さの６％であった。
各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ１が１ｍｍであり、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部との間隔Ｗ２も１ｍｍである以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。尚、このように形成された前記間隔Ｗ１，Ｗ２は、液体流路１２の噴出口１２ｅの長さの６％であった。
〔比較例１〕
図１１に示す丸型２流体ノズル１００を用いた。丸型２流体ノズル１００のノズルの中央部の液体噴射孔１０１の直径は３ｍｍであり、エアー噴射孔１０２の間隔は０．５ｍｍであった。
図１１に示す丸型２流体ノズル１００を用いた。丸型２流体ノズル１００のノズルの中央部の液体噴射孔１０１の直径は３ｍｍであり、エアー噴射孔１０２の間隔は０．５ｍｍであった。
〔比較例２〕
液体流路の噴出口が長手方向に連続し、第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口も長手方向に連続する以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。尚、液体流路の噴出口の長手方向の長さは１００ｍｍであり、第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口それぞれの長手方向の長さは１１２ｍｍであった。
液体流路の噴出口が長手方向に連続し、第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口も長手方向に連続する以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。尚、液体流路の噴出口の長手方向の長さは１００ｍｍであり、第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口それぞれの長手方向の長さは１１２ｍｍであった。
〔比較例３〕
各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部とが一致（間隔Ｗ１が０ｍｍ）し、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部とも一致（間隔Ｗ２が０ｍｍ）である以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。
各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部とが一致（間隔Ｗ１が０ｍｍ）し、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの末端部と各液体流路１２の噴出口１２ｅの末端部とも一致（間隔Ｗ２が０ｍｍ）である以外は、実施例１と同様の条件のスリットノズルを用いた。
〔性能評価〕
実施例１〜２、比較例１〜３の噴霧ノズルに関し、下記方法に従って、平均液滴径及び液滴径分布をそれぞれ評価した。使用する液体は水であり、使用する気体は空気であった。平均液滴径の測定結果を図９に示し、液滴径分布の測定結果を図１０に示す。また、噴出口端部の液溜りの状態の目視による評価及び噴霧液滴の均一性の評価を下記表１に示す。
実施例１〜２、比較例１〜３の噴霧ノズルに関し、下記方法に従って、平均液滴径及び液滴径分布をそれぞれ評価した。使用する液体は水であり、使用する気体は空気であった。平均液滴径の測定結果を図９に示し、液滴径分布の測定結果を図１０に示す。また、噴出口端部の液溜りの状態の目視による評価及び噴霧液滴の均一性の評価を下記表１に示す。
〔平均液滴径の評価方法〕
レーザー回折式粒度分布測定装置（マルバーンインスツルメンツリミテッド製スプレーテック）に対して、装置から５０ｍｍ離れた位置から、各ノズルより噴霧を行い、噴霧内の粒子径を測定した。
レーザー回折式粒度分布測定装置（マルバーンインスツルメンツリミテッド製スプレーテック）に対して、装置から５０ｍｍ離れた位置から、各ノズルより噴霧を行い、噴霧内の粒子径を測定した。
〔液滴径分布の評価方法〕
上記の平均液滴径の評価方法と同様にして、液滴径分布を測定した。
上記の平均液滴径の評価方法と同様にして、液滴径分布を測定した。
〔噴霧された液体の均一性の評価〕
実施例１〜２、比較例３のスリットノズルを、先端部が水平方向となるように設置し、液体流の流量を０．３Ｌ／ｍｉｎ、第１気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第２気体流路の噴出口からの気体流の流量を２００ＮＬ／ｍｉｎとなるように設定して、液体を噴霧した。その際の噴霧口の状態を以下の基準に基づいて評価した。
Ａ：噴出口の端部に液溜りが発生せず、液体の噴霧が良好。
Ｂ：噴出口の端部に液溜りはあるが、液体の噴霧は実用上十分なレベル。
Ｃ：噴出口の端部に液溜りが多く、液体の噴霧は実用不可レベル。
実施例１〜２、比較例３のスリットノズルを、先端部が水平方向となるように設置し、液体流の流量を０．３Ｌ／ｍｉｎ、第１気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第２気体流路の噴出口からの気体流の流量を２００ＮＬ／ｍｉｎとなるように設定して、液体を噴霧した。その際の噴霧口の状態を以下の基準に基づいて評価した。
Ａ：噴出口の端部に液溜りが発生せず、液体の噴霧が良好。
Ｂ：噴出口の端部に液溜りはあるが、液体の噴霧は実用上十分なレベル。
Ｃ：噴出口の端部に液溜りが多く、液体の噴霧は実用不可レベル。
図９に示す平均液滴径の測定結果から、実施例１はその他の噴霧ノズルとほぼ同等のエアー量で同等の平均液滴径の噴霧が得られることが分かった。また、図１０に示す液滴径分布の測定結果から、スリットノズル（実施例１、比較例２）は、丸型２流体ノズル（比較例１）に比べて、液滴径分布において粗大液滴の分布が少なく、シャープな分布となることが分かった。更に、図１０に示す液滴径分布の測定結果及び表１に示す結果から明らかなように、実施例１〜２のスリットノズルは、比較例１〜３のノズルよりも、液滴径分布において更に粗大液滴の分布が少なく、更にシャープな分布となり、噴出口の端部の液溜りが少なく、液体の噴霧された状態がより均一であることが分かった。
１ スリットノズル
１１ 先端部
１２ 液体流路
１２ｅ 噴出口
１３ 第１気体流路
１３ｅ 噴出口
１４ 第２気体流路
１４ｅ 噴出口
２０ 積層体
２ 第１中間部材
２１ 先端部
２２ 傾斜面
２３ 貫通孔
２４ 凹部
２４１ 第１深底凹部
２４１ａ Ｔ字形状の横棒部分、２４１ｂ Ｔ字形状の縦棒部分
２４２ 第２深底凹部
２４３ 第３深底凹部
２４３ａ 隆起部
２５ ボルト用締め付け孔
２６ 液体供給口
３ 第２中間部材
３１ 先端部
３２ 傾斜面
３３ 貫通孔
３４ 凹部
３４１ 第１深底凹部
３４１ａ Ｔ字形状の横棒部分、３４１ｂ Ｔ字形状の縦棒部分
３４２ 第２深底凹部
３４３ 第３深底凹部
３４３ａ 隆起部
３５ ボルト用締め付け孔
３６ 浅底凹部
４ 第１部材
４１ 尖鋭部
４２ 傾斜面
４３ 貫通孔
４４ 凹部
４４１ 第１凹部
４４２ 第２凹部
４４２a 隆起部
４４３ 第３凹部
４４４ 平面部
４５ 液体導入口
４６ 液体供給路
４７ 気体導入口
４８ ボルト用貫通孔
４９ 浅底凹部
５ 第２部材
５１ 尖鋭部
５２ 傾斜面
５３ 貫通孔
５４ 凹部
５４１ 第１凹部
５４２ 第２凹部
５４２a 隆起部
５４３ 第３凹部
５４４ 平面部
５７ 気体導入口
５８ ボルト用貫通孔
５９ 浅底凹部
６ 液体溜室
７１ 第１気体溜部、７２ 気体流路、７３ 第２気体溜部
８１ 第１気体溜部、８２ 気体流路、８３ 第２気体溜部
９１，９２ ボルト
１１ 先端部
１２ 液体流路
１２ｅ 噴出口
１３ 第１気体流路
１３ｅ 噴出口
１４ 第２気体流路
１４ｅ 噴出口
２０ 積層体
２ 第１中間部材
２１ 先端部
２２ 傾斜面
２３ 貫通孔
２４ 凹部
２４１ 第１深底凹部
２４１ａ Ｔ字形状の横棒部分、２４１ｂ Ｔ字形状の縦棒部分
２４２ 第２深底凹部
２４３ 第３深底凹部
２４３ａ 隆起部
２５ ボルト用締め付け孔
２６ 液体供給口
３ 第２中間部材
３１ 先端部
３２ 傾斜面
３３ 貫通孔
３４ 凹部
３４１ 第１深底凹部
３４１ａ Ｔ字形状の横棒部分、３４１ｂ Ｔ字形状の縦棒部分
３４２ 第２深底凹部
３４３ 第３深底凹部
３４３ａ 隆起部
３５ ボルト用締め付け孔
３６ 浅底凹部
４ 第１部材
４１ 尖鋭部
４２ 傾斜面
４３ 貫通孔
４４ 凹部
４４１ 第１凹部
４４２ 第２凹部
４４２a 隆起部
４４３ 第３凹部
４４４ 平面部
４５ 液体導入口
４６ 液体供給路
４７ 気体導入口
４８ ボルト用貫通孔
４９ 浅底凹部
５ 第２部材
５１ 尖鋭部
５２ 傾斜面
５３ 貫通孔
５４ 凹部
５４１ 第１凹部
５４２ 第２凹部
５４２a 隆起部
５４３ 第３凹部
５４４ 平面部
５７ 気体導入口
５８ ボルト用貫通孔
５９ 浅底凹部
６ 液体溜室
７１ 第１気体溜部、７２ 気体流路、７３ 第２気体溜部
８１ 第１気体溜部、８２ 気体流路、８３ 第２気体溜部
９１，９２ ボルト
Claims (4)
- 一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、前記第１中間部材と前記第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長方形状であり、長手方向に間隔を開けて複数配されており、各該液体流路の噴出口の第１部材側及び第２部材側の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配されており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記液体流路の噴出口の長手方向の長さが、各前記第１気体流路の噴出口及び各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さよりも短く、各該第１気体流路の噴出口の両末端部と各該第２気体流路の噴出口の両末端部が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の両末端部よりも長手方向外方に配されており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該液体流路の噴出口の長手方向の長さの６％以上３０％以下であるスリットノズル。 - 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである請求項１に記載のスリットノズル。
- 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔、及び各前記第２気体流路の噴出口の一末端部と各前記液体流路の噴出口の一末端部との間隔が、それぞれ、各該第１気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔、及び各該第２気体流路の噴出口の他末端部と各該液体流路の噴出口の他末端部との間隔と同じである請求項１又は２に記載のスリットノズル。
- 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記第２気体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置と、各前記液体流路の噴出口の長手方向における中心点の位置とが、一致している請求項１〜３の何れか１項に記載のスリットノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013181792A JP6148579B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | スリットノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013181792A JP6148579B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | スリットノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015047574A JP2015047574A (ja) | 2015-03-16 |
| JP6148579B2 true JP6148579B2 (ja) | 2017-06-14 |
Family
ID=52698052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013181792A Active JP6148579B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | スリットノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6148579B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023112542A1 (ja) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 東レ株式会社 | スロット型スプレーノズル、塗布装置および塗布膜付き部材の製造方法 |
| WO2024111449A1 (ja) * | 2022-11-22 | 2024-05-30 | 東レ株式会社 | スロット型スプレーノズル |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3278664B2 (ja) * | 1993-03-02 | 2002-04-30 | 株式会社サンツール | カーテンファイバー状スプレー塗布装置における塗布ノズル装置 |
| JP2005193229A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-07-21 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 塗布装置及び塗布方法 |
| US7798434B2 (en) * | 2006-12-13 | 2010-09-21 | Nordson Corporation | Multi-plate nozzle and method for dispensing random pattern of adhesive filaments |
| JP5296831B2 (ja) * | 2011-05-09 | 2013-09-25 | 茂 金原 | 接着剤塗布ヘッド |
-
2013
- 2013-09-03 JP JP2013181792A patent/JP6148579B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015047574A (ja) | 2015-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4649214B2 (ja) | 二流体用スリットノズル | |
| KR101696587B1 (ko) | 연속 주조의 2차 냉각 방법 | |
| EP1926559B1 (en) | Multiple discharge orifice spray nozzle | |
| JP2710398B2 (ja) | 二流体ノズル | |
| CA2880592C (en) | Nozzle arrangement | |
| KR102623646B1 (ko) | 오리피스 플레이트 및 밸브 | |
| CA2583883C (en) | Fluidized catalytic cracking feed nozzle | |
| CN104520012B (zh) | 尤其用于对铸坯进行喷洒的喷射喷嘴装置 | |
| JP6148579B2 (ja) | スリットノズル | |
| JP6184013B2 (ja) | スリットノズル | |
| JP2011131275A (ja) | デスケーリングノズル装置及びデスケーリング方法 | |
| JPH09220495A (ja) | 流体噴出ノズル | |
| JP2008168167A (ja) | 噴射ノズルとそれを用いた噴霧方法 | |
| JP5405865B2 (ja) | 噴射ノズル | |
| JP5970202B2 (ja) | 斜方ノズル | |
| JP5878445B2 (ja) | スリットノズル | |
| JP4447726B2 (ja) | 流体噴射ノズル | |
| JPH10174905A (ja) | 噴射ノズル | |
| JP4766622B2 (ja) | 気液混合流の噴射装置 | |
| KR20060128289A (ko) | 초미세 분무 분사 노즐 | |
| JP2004050122A (ja) | ノズル | |
| JP2003093926A (ja) | 流体噴射ノズル | |
| JP4504641B2 (ja) | スプレーノズル及びそれを用いた噴霧方法 | |
| US20030102392A1 (en) | Internal impingement nozzle | |
| JP7282389B2 (ja) | ミストノズル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160115 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160613 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170224 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170424 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170424 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170519 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6148579 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |