JP5878445B2 - スリットノズル - Google Patents

Description

本発明は、流体を噴霧するスリットノズルに関する。

従来より、製品に対して洗剤や薬液等を均一に噴霧するために、種々のスリットノズルが提案されている。例えば、特許文献１には、ノズル本体に切目状に長い空気噴口と液体噴口とを形成し、液体噴口を形成する板の先端に欠除部を設けたスリットノズルが記載されている。また、特許文献２には、３枚の板状体の積層体に、気体の噴出口と液体の噴出口とを形成し、中央部の板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、先端を傾斜させたスリットノズルが記載されている。

しかし、特許文献１に記載のスリットノズルも特許文献２に記載のスリットノズルも、１つの空気噴出口と１つの液体噴出口しか有していないので、液体噴出口から噴出される液体に空気噴出口から噴出される空気を衝突させて広範囲に対し均一に噴霧するには限界があった。

例えば、特許文献３には、２つの気体を噴出する空隙の間に１つの液体を噴出する噴射口を設けた噴霧システムが記載されている。このように、液体を噴出する噴射口が、気体を噴出する２つの空隙で挟まれ、液体を噴出する噴射口の延びる方向に対して、気体を噴出する２つの空隙の延びる方向が鋭角に交差しているので、特許文献1及び２に記載のスリットノズルに比べると、液体を均一に噴霧することができる。

特開昭４８−２９００９号公報 特開２００３−１１５１号公報 特表２００９−５１７２１４号公報

しかし、特許文献３には、液体を噴出する噴射口に対して気体を噴出する２つの空隙を如何に配置するかについて記載されておらず、液体を広範囲に均一に噴霧させることについて記載されていない。

したがって、本発明は、液体を広範囲に均一に噴霧可能なスリットノズルに関する。

本発明は、一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、前記スリットノズルの先端部においては、該第１中間部材と該第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第１部材と該第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、該第２部材と該第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第１気体流路の噴出口と該第２気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズルを提供するものである。

本発明のスリットノズルによれば、液体を広範囲に、均一に噴霧することができる。

図１は、本発明の一実施形態のスリットノズルの組み立て方を模式的に示す図である。 図２は、図１に示すスリットノズルの有する第１中間部材の内面の平面図である。 図３は、図１に示すスリットノズルの有する第２中間部材の内面の平面図である。 図４は、図１に示すスリットノズルの有する第１部材の内面の平面図である。 図５は、図１に示すスリットノズルの有する第２部材の内面の平面図である。 図６は、本発明の一実施形態スリットノズルの断面図である。 図７は、図６に示すスリットノズルの先端部の断面図である。 図８は、図６に示すスリットノズルの先端部を正面視した際の平面図である。 図９は、図６に示すスリットノズルの備える位置調整手段の説明図である。 図１０は、位置調整手段により位置を変更した後にスリットノズルの先端部を正面視した際の平面図である。 図１１は、噴霧された液体の均一性の評価方法を説明する図である。 図１２は、図１１に示す測定具の備えるマス目プレートを説明する図である。 図１３は、実施例１のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。 図１４は、比較例１のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。 図１５（ａ）は図１３に示すＡ−Ａ’線断面及び図１４に示すＡ−Ａ’線断面における升の位置と液体収集量との関係を示す折れ線グラフであり、図１５（ｂ）は図１３に示すＢ−Ｂ’線断面及び図１４に示すＢ−Ｂ’線断面における升の位置と液体収集量との関係を示す折れ線グラフである。

以下、本発明のスリットノズルをその好ましい実施態様に基づき、図１〜図１０を参照しながら説明する。
本実施形態のスリットノズル１は、図１に示すように、一対の縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３からなる積層体２０を、第１中間部材２側の第１部材４と第２中間部材３側の第２部材５とで挟んで一体化されている。具体的には、スリットノズル１は、積層体２０を、第１中間部材２側から第１部材４及び第２中間部材３側から第２部材５で挟んで一体化して形成されている。更に具体的には、スリットノズル１は、４枚の板状体である第１中間部材２、第２中間部材３、第１部材４及び第２部材５を重ねて一体化して形成されている。図中のＹ方向は、縦長の第１中間部材２及び第２中間部材３の長手方向と同じ方向であり、図中のＸ方向は、長手方向（Ｙ方向）に直交する短手方向と同じ方向である。また、図中のＺ方向は、厚み方向である。

第１中間部材２は、図２に示すように、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、先端部２１を有する台形状に形成されている。先端部２１は、第１部材４に対向する面側から第２中間部材３に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面２２を有している。傾斜面２２と、第２中間部材３に対向する面とのなす角θ１（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上である。そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下である。より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である。

第１中間部材２は、スリットノズル１においては、第２中間部材３に対向する面、及び第１部材４に対向する面それぞれが平面に形成されており、図１，図２に示すように、先端部２１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通孔２３が複数形成されている。貫通孔２３は、長手方向（Ｙ方向）に沿う非先端部側の辺に沿って、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、長手方向（Ｙ方向）の両端部それぞれに、Ｘ方向に間隔を空けて複数形成されている。各貫通孔２３は、スリットノズル１においては、Ｙ方向に長い円形扁平型形状に形成されている。また、後述する第２中間部材３の各隆起部３４２ａと略一致する位置の裏側（第２中間部材３に対向する面の裏側）には貫通しないボルト用締め付け穴２５が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。また、第１中間部材２は、図１，図２に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う非先端部側の端部の中央に位置する部分に、厚み方向（Ｚ方向）に貫通する液体を供給する円形状の液体供給口２４が形成されている。

第２中間部材３は、図３に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、先端部３１を有する台形状に形成されている。スリットノズル１においては、第２中間部材３の第１中間部材２に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第１中間部材２の第２中間部材３に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。先端部３１は、第２部材５に対向する面側から第１中間部材２に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面３２を有している。傾斜面３２と、第１中間部材２に対向する面とのなす角θ２（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上である。そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下である。より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である。スリットノズル１においては、なす角θ２はなす角θ１と同じに形成されている。

第２中間部材３は、スリットノズル１においては、第２部材５に対向する面が平面に形成されており、第１中間部材２に対向する面の中央領域から先端部３１に亘って第２部材５側に凹んだ凹部３４が形成されている。このように、第１中間部材２に対向する面は、凹部３４を有し、凹部３４を除く領域が平面に形成されている。第２中間部材３は、第１中間部材２と同様に、図１，図３に示すように、先端部３１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔３３が複数形成されている。貫通孔３３は第１中間部材２の貫通孔２３と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔３３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔２３の形状とは異なり、真円形状に形成されている。

第２中間部材３の凹部３４は、図１，図３に示すように、第１中間部材２の液体供給口２４に対応する位置から先端部３１に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２、第３深底凹部３４３を連続して有しており、そして底の深さが極めて浅い浅底凹部３４４を連続して有している。第１深底凹部３４１は、凹部３４の中で最も深く、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｔ字形状に形成されている。Ｔ字形状の横棒部分３４１ａは、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、Ｔ字形状の縦棒部分３４１ｂは、第１中間部材２の液体供給口２４に対応する位置に形成されている。第２深底凹部３４２は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第１深底凹部３４１は、その底面が平滑に形成されている。また、スリットノズル１においては、第２深底凹部３４２には、その底面から第１中間部材２に向かって隆起する円柱状の隆起部３４２ａが形成されている。隆起部３４２ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部３４２ａは、第２深底凹部３４２の底面から、第２中間部材３における凹部３４を除く領域の高さと一致する高さまで隆起している。各隆起部３４２ａの内部には裏側（第２部材５に対向する面側）から窪んだ貫通しないボルト用締め付け孔３５が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。第３深底凹部３４３は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１深底凹部３４１及び第２深底凹部３４２の深さに比べて、浅く形成されている。第３深底凹部３４３は、その底面が平滑に形成されている。

第２中間部材３の浅底凹部３４４は、図１，図３に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、凹部３４の中で最も浅く形成されている。浅底凹部３４４は、図１，図６に示すように、先端部３１の一部に形成されている。浅底凹部３４４は、その底面が平滑に形成されている。

スリットノズル１は、図６に示すように、その先端部１１においては、第１中間部材２と第２中間部材３との隙間に液体流路１２が形成されている。具体的に説明すると、第１中間部材２と第２中間部材３とを重ね合わせた積層体２０には、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する平面と、第２中間部材３の第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２及び第３深底凹部３４３とが組み合わされてなる液体溜室６が形成されるようになる。そして、積層体２０の先端部には、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する平面と、第２中間部材３の浅底凹部３４４とが組み合わされてなるスリット状の液体流路１２が形成されるようになる。図６に示すように、液体溜室６は第１中間部材２の液体供給口２４に連通して形成されており、液体流路１２は液体溜室６に連通して形成されている。尚、第１中間部材２の液体供給口２４は、図６に示すように、後述する第１部材４の液体導入口４５に液体供給路４６を介して連通するようになる。

第１部材４は、図４に示すように、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、積層体２０の先端部（第１中間部材２の先端部２１）を覆い、液体流路１２に向かって尖鋭な尖鋭部４１を備えている。尖鋭部４１は、第１中間部材２の先端部２１の傾斜面２２に対応して均一に傾斜する傾斜面４２を有している。傾斜面４２と平面部４４４が形成する角度θ３（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上である。そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下である。より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下であることが好ましい。スリットノズル１においては、傾斜角度θ３（図１参照）は、１８０°から第１中間部材２のなす角θ１（図１参照）を減算した角度と同じに形成されている。

第１部材４は、スリットノズル１においては、外面（第１中間部材２に非対向な面）が平面に形成されており、第１中間部材２に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部４４が形成されている。即ち、第１中間部材２に対向する面は、凹部４４を有し、凹部４４を除く領域が平面に形成されている。第１部材４は、第１中間部材２と同様に、図１，図４に示すように、尖鋭部４１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔４３が複数形成されている。貫通孔４３は第１中間部材２の貫通孔２３と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔４３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔２３の形状と同じく、Ｙ方向に長い円形扁平型形状に形成されている。

第１部材４は、図１に示すように、背面（尖鋭部４１側と反対側の面）に、円形状の液体導入口４５が形成されており、液体導入口４５に連通する液体供給路４６が、図６に示すように、逆Ｌ字状に屈曲して、図４に示すように、第１中間部材２に対向する面に貫通して形成されている。この液体供給路４６は、第１中間部材２の液体供給口２４と連通するようになる。第１中間部材２に対向する面に形成される液体供給路４６の出口は、図４に示すように、長手方向（Ｙ方向）に沿う非尖鋭部側の側部の中央に位置する部分に形成されている。

第１部材４の凹部４４は、図１，図４に示すように、液体供給路４６の出口に対応する位置から尖鋭部４１に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部４４１と、凹みの深さが最も浅い第２凹部４４２と、凹みの深さが深い第３凹部４４３を連続して有している。第１凹部４４１は、その底面が平滑に形成されており、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第１凹部４４１の底面には、図４に示すように、長手方向（Ｙ方向）の中央に位置する部分に、外面（第１中間部材２に非対向な面）に貫通する円形状の気体導入口４７が形成されている。また、第２凹部４４２は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第２凹部４４２の底面から第１中間部材２に向かって隆起する円柱状の隆起部４４２ａが形成されている。隆起部４４２ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部４４２ａは、第２凹部４４２の底面から、平面部４４４の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル１においては、各隆起部４４２ａには、外面（第１中間部材２に非対向な面）に貫通するボルト用貫通孔４８が複数形成されている。ボルト用貫通孔４８は、第１中間部材２のボルト用締め付け孔２５と略一致する位置に形成されている。第３凹部４４３は、第１中間部材２に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１凹部４４１の深さに比べて、浅く形成されている。第３凹部４４３は、その底面が平滑に形成されている。

第１部材４の尖鋭部４１の傾斜面４２には、図４に示すように、凹部４４から尖鋭部４１の先端に亘ってＸ方向に平行な溝部４２１が形成されている。溝部４２１は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。

第２部材５は、図５に示すように、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、Ｙ方向に長い矩形状であり、Ｚ方向に断面視して、積層体２０の先端部（第２中間部材３の先端部３１）を覆い、液体流路１２に向かって尖鋭な尖鋭部５１を備えている。スリットノズル１においては、第２部材５の第２中間部材３に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第１部材４の第１中間部材２に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。尖鋭部５１は、第２中間部材３の先端部３１の傾斜面３２に対応して均一に傾斜する傾斜面５２を有している。傾斜面５２と平面部５４４が形成する角度θ４（図１参照）は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上である。そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下である。より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下であることが好ましい。スリットノズル１においては、傾斜角度θ４（図１参照）は、１８０°から第２中間部材３のなす角θ２（図１参照）を減算した角度と同じに形成されている。

第２部材５は、スリットノズル１においては、外面（第２中間部材３に非対向な面）が平面に形成されており、第２中間部材３に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部５４が形成されている。即ち、第２中間部材３に対向する面は、凹部５４を有し、凹部５４を除く領域が平面に形成されている。第２部材５は、第２中間部材３と同様に、図１，図５に示すように、尖鋭部５１を除く外周に沿って、厚み方向（Ｚ方向）に貫通するボルト締め用の貫通孔５３が複数形成されている。貫通孔５３は第２中間部材３の貫通孔３３と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔５３の形状は、スリットノズル１においては、貫通孔３３の形状と同じく、真円形状に形成されている。

第２部材５の凹部５４は、図１，図５に示すように、尖鋭部５１に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部５４１と、凹みの深さが最も浅い第２凹部５４２と、凹みの深さが深い第３凹部５４３を連続して有している。第２部材５の第１凹部５４１、第２凹部５４２及び第３凹部５４３は、それぞれ、図６に示すように、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３それぞれの形成位置に対応して設けられている。第１凹部５４１は、その底面が平滑に形成されており、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。第１凹部５４１の底面には、図５に示すように、長手方向（Ｙ方向）の中央に位置する部分に、外面（第２中間部材３に非対向な面）に貫通する円形状の気体導入口５７が形成されている。また、第２凹部５４２は、その底面が平滑に形成されており、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在している。その底面から第２中間部材３に向かって隆起する円柱状の隆起部５４２ａが形成されている。隆起部５４２ａは、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部５４２ａは、第２凹部５４２の底面から、平面部５４４の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル１においては、各隆起部５４２ａには、その底面に外面（第２中間部材３に非対向な面）に貫通するボルト用貫通孔５８が複数形成されている。ボルト用貫通孔５８は、第２中間部材３のボルト用締め付け孔３５と略一致する位置に形成されている。第３凹部５４３は、第２中間部材３に対向する面側から平面視して、長手方向（Ｙ方向）に平行に延在しており、第１凹部５４１の深さに比べて、浅く形成されている。第３凹部５４３は、その底面が平滑に形成されている。

第２部材５の尖鋭部５１の傾斜面５２には、図５に示すように、凹部５４から尖鋭部５１の先端に亘ってＸ方向に平行な溝部５２１が形成されている。溝部５２１は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されている。

スリットノズル１は、上述したように、その先端部１１においては、第１中間部材２と第２中間部材３との隙間に液体流路１２が形成されており、また、図６に示すように、第１部材４と第１中間部材２との隙間に第１気体流路１３が形成され、第２部材５と第２中間部材３との隙間に第２気体流路１４が形成されている。具体的に説明すると、スリットノズル１は、図１に示すように、第１部材４と第１中間部材２とを重ね合わせ、それを、第２部材５と第２中間部材３とを重ね合わせたものに重ね合わせ、複数の貫通口４３，２３，３３，５３にボルト（不図示）を通して、該ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めすることにより一体化して形成される。スリットノズル１には、第１中間部材２における第１部材４に対向する平面と、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が形成されるようになる。そして、スリットノズル１の先端部には、第１中間部材２における先端部２１の傾斜面２２と、第１部材４の尖鋭部４１における傾斜面４２の複数の溝部４２１とが組み合わされてスリット状の複数の第１気体流路１３が形成されるようになる。図６に示すように、第１気体溜部７１は第１部材４の気体導入口４７に連通して形成されており、第２気体溜部７３は、第２気体溜部７３及び第１気体溜部７１の間隔よりも狭い気体流路７２を介して第１気体溜部７１と連通しており、複数の第１気体流路１３は第２気体溜部７３に連通して形成されている。

また、図１に示すように、ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めすることにより一体化して形成されるスリットノズル１には、第２中間部材３における第２部材５に対向する平面と、第２部材５の第１凹部５４１、第２凹部５４２及び第３凹部５４３とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３が形成されるようになる。そして、スリットノズル１の先端部には、第２中間部材３における先端部３１の傾斜面３２と、第２部材５の尖鋭部５１における傾斜面５２の複数の溝部５２１とが組み合わされてスリット状の複数の第２気体流路１４が形成されるようになる。図６に示すように、第１気体溜部８１は第２部材５の気体導入口５７に連通して形成されており、第２気体溜部８３は、第２気体溜部８３及び第１気体溜部８１の間隔よりも狭い気体流路８２を介して第１気体溜部８１と連通しており、複数の第２気体流路１４は第２気体溜部８３に連通して形成されている。第２部材５側に形成される第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３と、第１部材４側に形成される第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３とは、それぞれ、図６に示すように、スリットノズル１の先端部の液体流路１２の延出方向に延びる仮想線ＩＬに対して対称に形成されている。

以上のように構成されたスリットノズル１について、詳述すると、図７に示すように、スリットノズル１の先端部１１を断面視して、液体流路１２の延出方向に対し第１気体流路１３の延出方向及び第２気体流路１４の延出方向が、それぞれ鋭角に交差している。具体的には、第１中間部材２の先端部２１がなす角θ１で形成されているので、図７に示すように、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度がθ１となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第２中間部材３の先端部３１がなす角θ２で形成されているので、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度がθ２となって液体流と気体流とが合流するようになっている。

また、図８に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、液体流路１２の噴出口１２ｅは、長手方向（Ｙ方向）に延びており、液体流路１２の噴出口１２ｅの両側に沿って、第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅが、それぞれ、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数配され、第１気体流路１３の噴出口１３ｅと第２気体流路１４の噴出口１４ｅとが交互に配されている。

スリットノズル１においては、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅは、長手方向（Ｙ方向）に長い矩形状に形成されており、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅも同じく、長手方向（Ｙ方向）に長い矩形状に形成されている。そして、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さと各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長手方向（Ｙ方向）の長さとが同じである。各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ（各第２気体流路１４の噴出口１４ｅ）のＹ方向の長さは、０．１ｍｍ以上、好ましくは０．５ｍｍ以上更に好ましくは０．８ｍｍ以上である。そして、２ｍｍ以下、好ましくは１．５ｍｍ以下、更に好ましくは１．２ｍｍ以下である。より具体的には、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下であり、好ましくは０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下、更に好ましくは０．８ｍｍ以上１．２ｍｍ以下であることが好ましい。また、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ（各第２気体流路１４の噴出口１４ｅ）の間隔は、０．０１ｍｍ以上、好ましくは０．０３ｍｍ以上、そして、１ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下、より具体的には、０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、０．０３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが更に好ましい。

スリットノズル１においては、長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第１気体流路１３の噴出口１３ｅの間隔と、各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの長さが一致している。言い換えれば、長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第２気体流路１４の噴出口１４ｅの間隔と、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの長さが一致している。

スリットノズル１は、第１部材４と第１中間部材２との隙間に形成された複数の第１気体流路１３の噴出口１３ｅの位置と、第２部材５と第２中間部材３との隙間に形成された複数の第２気体流路１４の噴出口１４ｅの位置とを、長手方向（Ｙ方向）に調整可能な手段を有している。具体的には、上述したように、第２部材５は真円形状の複数の貫通孔５３を有し、第２中間部材３は真円形状の複数の貫通孔３３を有しており、各貫通孔５３と各貫通孔３３とは形成位置と形状が一致している。それに対し、第１部材４はＹ方向に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔４３を有し、第１中間部材２はＹ方向に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔２３を有しており、各貫通孔４３と各貫通孔２３とは形成位置と形状が一致している。このように、各貫通孔４３と各貫通孔２３とは、挿入されたボルト（不図示）がＹ方向に移動可能となっている。従って、第１部材４と第１中間部材２とを重ね合わせ、それを、第２部材５と第２中間部材３とを重ね合わせたものに重ね合わせ、複数の貫通口４３，２３，３３，５３にボルト（不図示）を通して、該ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めすることにより一体化してスリットノズル１を形成する際に、図９に示すように、ボルト（不図示）とナット（不図示）によりボルト締めする位置を調整して、第２部材５と第２中間部材３とを重ね合わせたものに対して、第１部材４と第１中間部材２とを重ね合わせたものをＹ方向に進退動可能となっている。

スリットノズル１は、上述したように、第１気体流路１３の噴出口１３ｅの位置と第２気体流路１４の噴出口１４ｅの位置とを長手方向（Ｙ方向）に調整可能な手段を有しているので、図８に示すように、長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第１気体流路１３の噴出口１３ｅの間の位置に各第２気体流路１４の噴出口１４ｅが配され、長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第２気体流路１４の噴出口１４ｅの間の位置に各第１気体流路１３の噴出口１３ｅが配されるように調整できる。このように複数の第１気体流路１３の噴出口１３ｅと複数の第２気体流路１４の噴出口１４ｅとを配することにより、スリットノズル１の先端部１１を図８に示すように正面視して、複数の第１気体流路１３の噴出口１３ｅと複数の第２気体流路１４の噴出口１４ｅとの間に隙間が生じず、一直線状に配することができる。

また、上述したように、第１気体流路１３の噴出口１３ｅの位置と第２気体流路１４の噴出口１４ｅの位置とを長手方向（Ｙ方向）に調整可能な手段を有しているので、図１０に示すように、スリットノズル１の先端部１１を正面視して、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅの一方の末端部１３ｅ１と各第２気体流路１４の噴出口１４ｅの一方の末端部１４ｅ１とが重なるように調整できる。このように重なるように調整した場合、スリットノズル１においては、スリットノズル１の先端部１１を図９に示すように正面視して、複数の第１気体流路１３の噴出口１３ｅの他方の末端部と複数の第２気体流路１４の噴出口１４ｅの他方の末端部との間には、隙間が生じるようになる。末端部１３ｅ１と末端部１４ｅ１との重なり幅Ｗは、噴霧液滴径の微粒化、広範囲均一噴霧への効果の観点から、気体噴出口（第１気体流路１３の噴出口１３ｅ又は第２気体流路１４の噴出口１４ｅ）の長手方向（Ｙ方向）の０％以上、５０％以下の長さであることが好ましい。

スリットノズル１を構成する第１中間部材２、第２中間部材３、第１部材４及び第２部材５それぞれの材質としては、アルミニウム合金、ステンレス綱、鉄鋼、チタン等の金属のほか、セラミック、耐熱性樹脂等が挙げられ、用途に応じて適宜選択して用いることができる。
スリットノズル１により噴霧する液体としては、用途に応じて様々な液体を用いることができる。スリットノズル１により液体を噴霧する際に用いる気体としては、該液体に応じて様々な気体を用いることができる。

次に、スリットノズル１の作用を、図６〜図１０を参照しながら説明する。
先ず、スリットノズル１の液体導入口４５に液体供給管（不図示）を連結し、気体導入口４７及び気体導入口５７それぞれに気体供給管（不図示）を連結する。
液体導入口４５から供給された液体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、液体供給路４６、液体供給口２４、液体溜室６、そして液体流路１２の順に流れ液体流路１２の噴出口１２ｅから液体が噴出する。
気体導入口４７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部７１、気体流路７２、第２気体溜部７３、そして複数の第１気体流路１３の順に流れ第１気体流路１３の噴出口１３ｅから気体が噴出する。
また、気体導入口５７から供給された気体は、図６に示すように、上流側から下流側（先端部１１側）に向かって、第１気体溜部８１、気体流路８２、第２気体溜部８３、そして複数の第２気体流路１４の順に流れ第２気体流路１４の噴出口１４ｅから気体が噴出する。

スリットノズル１においては、図７に示すように、先端部１１を断面視して、液体流路１２の延出方向に対し第１気体流路１３の延出方向が鋭角（交差角度θ１）に交差しており、さらに、液体流路１２の延出方向に対し第２気体流路１４の延出方向が鋭角（交差角度θ２）に交差している。また、図８，図１０に示すように、先端部１１を正面視して、液体流路１２の噴出口１２ｅは、長手方向（Ｙ方向）に延びており、噴出口１２ｅの両側に沿って、第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅが、それぞれ、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数配されている。従って、液体流路１２の噴出口１２ｅから噴出する液体に対して、その両側部から、第１気体流路１３の噴出口１３ｅから噴出する気体及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅから噴出する気体が衝突するようになっている。また、図８，図１０に示すように、先端部１１を正面視して、第１気体流路１３の噴出口１３ｅと第２気体流路１４の噴出口１４ｅとが交互に配されているので、噴出口１２ｅから噴出する液体が噴出口１３ｅから噴出する気体と衝突して液体流路１２の延出方向と交差する方向に液体が噴霧されると共に、噴出口１２ｅから噴出する液体が噴出口１４ｅから噴出する気体と衝突して液体流路１２の延出方向と交差する方向に液体が噴霧され、広い範囲に均一に液体が噴霧されるようになる。

特に、スリットノズル１においては、図８，図１０に示すように、第１気体流路１３の噴出口１３ｅの個数と第２気体流路１４の噴出口１４ｅの個数とが一致しており、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、その形状が同じであり、大きさも同じに形成されている。従って、各噴出口１３ｅから噴出する気体の流速と各噴出口１４ｅから噴出する気体の流速が略同じであり、噴出口１２ｅから噴出する液体に対して、その両側部から、略同じ力で、噴出口１３ｅから噴出する気体及び噴出口１４ｅから噴出する気体がそれぞれ衝突するようになる。よって、液体流路１２の延出方向に対して略均等な範囲に液体が広がって均一に噴霧されるようになる。

また、スリットノズル１は、図９に示すように、複数の第１気体流路１３の噴出口１３ｅの位置と複数の第２気体流路１４の噴出口１４ｅの位置とを、図８，図１０に示すように、長手方向（Ｙ方向）に調整可能な手段を有している。このように、末端部１３ｅ１と末端部１４ｅ１との重なり幅Ｗを調整できるので、液体を挟み込んで衝突する気体の流量を調整することが可能であり、噴霧条件の変更によって噴霧が２方向に分離した場合にでも均一に液体が噴霧される範囲を調整することができる。

本発明のスリットノズルは、上述の実施形態のスリットノズル１に何ら制限されるものではなく、適宜変更可能である。

例えば、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図７に示すように、液体流路１２の延出方向と第１気体流路１３の延出方向との交差角度θ１が、液体流路１２の延出方向と第２気体流路１４の延出方向との交差角度θ２と一致しているが、一致していなくてもよい。

また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図８，図１０に示すように、第１気体流路１３の噴出口１３ｅの個数と第２気体流路１４の噴出口１４ｅの個数とが一致しているが、一致していなくてもよい。また、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、その形状が同じであり、大きさも同じに形成されているが、同じでなくてもよい。

また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、液体導入口４５が第１部材４は背面（尖鋭部４１側と反対側の面）に形成されているが、スリットノズル１の大きさに応じて別の場所に形成されていてもよい。

また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、液体溜室６が、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する平面と、第２中間部材３の第１深底凹部３４１、第２深底凹部３４２及び第３深底凹部３４３とが組み合わされて形成されているが、第１中間部材２における第２中間部材３に対向する面に凹部を設け、第２中間部材３の第１中間部材２に対向する面を平面として形成してもよく、互いに対向する面それぞれに凹部を設けて形成していてもよい。また、液体溜室６が無くてもよい。

また、上述の実施形態のスリットノズル１においては、図６に示すように、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が、第１中間部材２における第１部材４に対向する平面と、第１部材４の第１凹部４４１、第２凹部４４２及び第３凹部４４３とがそれぞれ組み合わされて形成されているが、第１中間部材２における第１部材４に対向する面に３つの凹部を設け、第１部材４の第１中間部材２に対向する面を平面として形成してもよく、互いに対向する面それぞれに凹部を設けて形成していてもよい。また、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３が無くてもよい。第１気体溜部８１、気体流路８２及び第２気体溜部８３についても、第１気体溜部７１、気体流路７２及び第２気体溜部７３と同様である。

本発明のスリットノズルは、例えば、水や薬品,塗料等の散布に用いることができる。

上述した実施形態に関し、さらに以下のスリットノズルを開示する。

＜１＞一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、該第１中間部材と該第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第１部材と該第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、該第２部材と該第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第１気体流路の噴出口と該第２気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズル。

＜２＞前記スリットノズルには、前記第１中間部材における前記第２中間部材に対向する平面と、前記第２中間部材の第１深底凹部、第２深底凹部及び第３深底凹部とが組み合わされてなる液体溜室が形成されている前記＜１＞記載のスリットノズル。
＜３＞前記第２中間部材の凹部は、前記第１中間部材の液体供給口に対応する位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第１深底凹部、第２深底凹部、第３深底凹部を連続して有しており、底の深さが極めて浅い浅底凹部を連続して有している前記＜１＞又は＜２＞記載のスリットノズル。
＜４＞前記第２深底凹部には、その底面から前記第１中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されている前記＜３＞記載のスリットノズル。
＜５＞前記第１部材は、Ｚ方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部及び液体供給路を備えており、前記第１部材の凹部は、該液体供給路の出口に対応する位置から該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１に記載のスリットノズル。
＜６＞前記第１部材の第２凹部の底面から前記第１中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、前記隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、前記各隆起部は、前記第２凹部の底面から、平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜５＞記載のスリットノズル。
＜７＞前記第２部材は、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、前記第２部材の凹部は、該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第１凹部と、凹みの深さが最も浅い第２凹部と、凹みの深さが深い第３凹部を連続して有している前記＜１＞〜＜６＞のいずれか１に記載のスリットノズル。
＜８＞前記第２部材の第２凹部の底面から前記第２中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、前記隆起部は、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて複数形成されており、前記各隆起部は、前記第２凹部の底面から、平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記＜７＞記載のスリットノズル。
＜９＞前記スリットノズルには、前記第１中間部材における前記第１部材に対向する平面と、該第１部材の前記第１凹部、前記第２凹部及び前記第３凹部とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第１気体溜部、気体流路及び第２気体溜部が形成され、
前記第１気体溜部は前記第１部材の気体導入口に連通して形成されており、前記第２気体溜部は、前記第２気体溜部及び前記第１気体溜部の間隔よりも狭い前記気体流路を介して前記第１気体溜部と連通しており、前記第１気体流路は前記第２気体溜部に連通して形成されている前記＜５＞〜＜８＞のいずれか１に記載のスリットノズル。

＜１０＞前記第１中間部材は、Ｚ方向に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第１部材に対向する面側から前記第２中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面２２と、前記第２中間部材に対向する面とのなす角θ１は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜９＞のいずれか１に記載のスリットノズル。
＜１１＞前記第２中間部材は、Ｚ方向に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第２部材に対向する面側から前記第１中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、前記第１中間部材に対向する面とのなす角θ２は、１５°以上であり、好ましくは２０°以上、更に好ましくは２２．５°以上であり、そして、７５°以下であり、好ましくは６０°以下、更に好ましくは４５°以下であり、より具体的には、１５°以上７５°以下であり、好ましくは２０°以上６０°以下、更に好ましくは２２．５°以上４５°以下である前記＜１＞〜＜１０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１２＞前記第１部材は、Ｚ方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第１中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と平面部が形成する角度θ３は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１０＞又は＜１１＞に記載のスリットノズル。
＜１３＞前記第２部材は、Ｚ方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第２中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と平面部が形成する角度θ４（図１参照）は、１０５°以上、好ましくは１２０°以上、更に好ましくは１３５°以上であり、そして、１６５°以下、好ましくは１６０°以下、更に好ましくは１５７．５°以下であり、より具体的には、１０５°以上１６５°以下であり、好ましくは１２０°以上１６０°以下、更に好ましくは１３５°以上１５７．５°以下である前記＜１１＞又は＜１２＞に記載のスリットノズル。
＜１４＞前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである前記＜１＞〜＜１３＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１５＞各前記第１気体流路の噴出口又は各前記第２気体流路の噴出口のＹ方向の長さは、０．１ｍｍ以上、好ましくは０．５ｍｍ以上更に好ましくは０．８ｍｍ以上、そして、２ｍｍ以下、好ましくは１．５ｍｍ以下、更に好ましくは１．２ｍｍ以下、より具体的には、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下であり、好ましくは０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下、更に好ましくは０．８ｍｍ以上１．２ｍｍ以下であることが好ましい前記＜１＞〜＜１４＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１６＞各前記第１気体流路の噴出口又は各前記第２気体流路の噴出口の間隔は、０．０１ｍｍ以上、好ましくは０．０３ｍｍ以上、そして、１ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下、より具体的には、０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、０．０３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが更に好ましい前記＜１＞〜＜１５＞の何れか１に記載のスリットノズル。

＜１７＞前記スリットノズルの先端部を正面視して、長手方向に隣り合う前記第１気体流路の噴出口の間隔と、各前記第２気体流路の噴出口の長さが一致している前記＜１＞〜＜１６＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１８＞前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一方の末端部と各前記第２気体流路の噴出口の一方の末端部とが重なっている前記＜１＞〜＜１７＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜１９＞重なるように調整した場合、前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の他方の末端部と各前記第２気体流路の噴出口の他方の末端部との間には、隙間が生じるようになり、各前記第１気体流路の該末端部と各前記第２気体流路の末端部との重なり幅Ｗは、気体噴出口の長手方向の０％以上、５０％以下の長さである前記＜１８＞に記載のスリットノズル。
＜２０＞前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に形成された複数の前記第１気体流路の噴出口の位置と、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に形成された複数の前記第２気体流路の噴出口の位置とを、長手方向に調整可能な手段を有する前記＜１＞〜＜１９＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２１＞前記第１部材は長手方向（Ｙ方向）に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔を有し、前記第１中間部材は長手方向（Ｙ方向）に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔を有しており、前記第１部材の各貫通孔と前記第１中間部材の各貫通孔とは形成位置と形状が一致している前記＜１＞〜＜１０＞の何れか１に記載のスリットノズル。
＜２２＞長手方向（Ｙ方向）に調整可能な前記手段は、前記第２部材と前記第２中間部材とを重ね合わせたものに対して、前記第１部材と前記第１中間部材とを重ね合わせたものを長手方向（Ｙ方向）に進退動可能となっている前記＜２０＞記載のスリットノズル。

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲はかかる実施例によって何ら制限されるものではない。

〔実施例１〕
図１〜図１０に示す上記実施形態のスリットノズル１と同様の構成を有するスリットノズルを用いた。スリットノズルについて詳述すると、第１中間部材２の先端部のなす角θ１は４５°であり、第２中間部材３の先端部のなす角θ２も４５°であった。また、第１部材４の傾斜面の傾斜角度θ３は１３５°であり、第２部材５の傾斜面の傾斜角度θ４も１３５°であった。液体流路１２の噴出口１２ｅは、Ｙ方向の長さが１００ｍｍ、間隔が０．１ｍｍであった。次に、第１気体流路１３の噴出口１３ｅ及び第２気体流路１４の噴出口１４ｅは、それぞれ、５０個であり、長手方向（Ｙ方向）に長い矩形状であった。各第１気体流路１３の噴出口１３ｅ（各第２気体流路１４の噴出口１４ｅ）は、Ｙ方向の長さが１ｍｍ、間隔が０．１ｍｍであった。長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第１気体流路１３の噴出口１３ｅの間隔、及び長手方向（Ｙ方向）に隣り合う第２気体流路１４の噴出口１４ｅの間隔も１ｍｍであった。そして、末端部１３ｅ１と末端部１４ｅ１との重なり幅Ｗは０．３ｍｍであった。

〔比較例１〕
第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口が、液体流路の噴出口と同様に、長手方向（Ｙ方向）に連続して延びている以外は、実施例１のスリットノズルと同様の条件にしたスリットノズルを用いた。比較例１のスリットノズルは、上述した特許文献３に記載のスリットノズルと同様に、２本の気体を噴出する噴出口の間に１本の液体を噴出する噴射口を設けたスリットノズルである。比較例１のスリットノズルについて詳述すると、液体流路の噴出口、第１気体流路の噴出口及び第２気体流路の噴出口それぞれは、Ｙ方向の長さが１００ｍｍ、間隔が０．１ｍｍであった。

〔性能評価〕
実施例１、比較例１のスリットノズルに関し、下記方法に従って、噴霧範囲、及び噴霧された液体の均一性をそれぞれ評価した。使用する液体は水であり、使用する気体は空気であった。噴霧範囲の結果を下記表１に示し、噴霧された液体の均一性の結果を下記表１及び図１３〜図１５に示す。

〔噴霧範囲〕
実施例１、比較例１のスリットノズルを、先端部が水平方向となるように設置し、液体流の流量を４５７ｍＬ／ｍｉｎ、第１気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第２気体流路の噴出口からの気体流の流量を２５０ＮＬ／ｍｉｎとなるように設定して、液体を噴霧した。尚、実施例１のスリットノズルにおいては、各第１気体流路１３の噴出口１３ｅからの流量及び各第２気体流路１４の噴出口１４ｅからの流量を上記値になるように設定した。そして、実施例１、比較例１のスリットノズルから液体が噴霧されている状態を、デジタルカメラを用いて、側面から写真撮影し、その画像又は印刷した写真に対して、目視にて最大噴霧角度を測定した。実施例１、比較例１のスリットノズルにつき、３回測定を行い、平均値を各スリットノズルの噴霧範囲とした。

〔均一性〕
噴霧された液体の均一性を評価するために、図１１に示す測定具１００を作製した。測定具１００は、縦方向（Ｙ方向と同方向）に３６０ｍｍ、横方向（Ｘ方向と同方向）に２３０ｍｍそして高さ方向に３２５ｍｍの直方体状のものである。測定具１００は、図１１に示すように、天面にマス目プレート１１０が配され、マス目プレート１１０の下方にプレート１２０が配され、プレート１２０の下方に、天面に向かって開口した試験管１３０が複数本配されて形成されている。マス目プレート１１０には、図１１，図１２に示すように、Ｙ方向に２０ｍｍＸ方向に２０ｍｍに開口した升１１１が、Ｙ方向に１５個並んだ群がＸ方向に１０列隙間無く配されている。各升１１１の底には、図１２に示すように、円形状の直径１６ｍｍの開孔１１２が形成されている。プレート１２０には、図１１に示すように、マス目プレート１１０の各升１１１の開孔１１２に対応する位置に貫通口１２１が形成されている。そして、複数の試験管１３０が、マス目プレート１１０の各升１１１の開孔１１２に対応する位置で且つプレート１２０の貫通口１２１に対応する位置に配されている。

次に、実施例１、比較例１のスリットノズルを、図１１に示すように、その先端部が測定具１００のＹ方向に延びる二等分線上（図１１に示す左から５列目のＹ方向に延びる升１１１の群上）に位置するように、測定具１００に向けて設置した。スリットノズルの先端部と測定具までの距離は１５５ｍｍである。そして、液体流の流量を４５７ｍＬ／ｍｉｎ、第１気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第２気体流路の噴出口からの気体流の流量を２５０ＮＬ／ｍｉｎとなるように設定して、液体を１分間噴霧した。そして各スリットノズルによって１分間液体を噴霧した後の各試験管１３０に溜まった液体の収集量を測定し、液体噴霧量の分布を示す等高線マップを作成した。尚、各試験管１３０には、Ｙ方向の番号及びＸ方向の番号が付されている。例えば図１１に示す試験管１３０ａはＹ方向の位置が１５番でＸ方向の位置が１番の試験管であり、試験管１３０ｂはＹ方向の位置が１番でＸ方向の位置が１番の試験管であり、試験管１３０ｃはＹ方向の位置が１５番でＸ方向の位置が１０番の試験管である。

図１３は、実施例１のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップであり、図１４は、比較例１のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。図１５（ａ）は図１３に示すＡ−Ａ’線断面及び図１４に示すＡ−Ａ’線断面での折れ線グラフであり、図１５（ｂ）は図１３に示すＢ−Ｂ’線断面及び図１４に示すＢ−Ｂ’線断面での折れ線グラフである。

表１に示す結果から明らかなように、実施例１のスリットノズルは、比較例１のスリットノズルに比べ、噴霧範囲が広いことが分かった。
また、表１に示す結果、図１３〜図１５に示す結果から明らかなように、実施例１のスリットノズルは、比較例１のスリットノズルに比べ、噴霧面積が広く、更に噴霧された液体の均一性が高いことが分かった。

１ スリットノズル
１１ 先端部
１２ 液体流路
１２ｅ 噴出口
１３ 第１気体流路
１３ｅ 噴出口
１４ 第２気体流路
１４ｅ 噴出口
２０ 積層体
２ 第１中間部材
２１ 先端部
２２ 傾斜面
２３ 貫通孔
２４ 液体供給口
２５ ボルト用締め付け孔
３ 第２中間部材
３１ 先端部
３２ 傾斜面
３３ 貫通孔
３４ 凹部
３４１ 第１深底凹部
３４１ａ Ｔ字形状の横棒部分、３４１ｂ Ｔ字形状の縦棒部分
３４２ 第２深底凹部
３４２ａ 隆起部
３４３ 第３深底凹部
３４４ 浅底凹部
３５ ボルト用締め付け孔
４ 第１部材
４１ 尖鋭部
４２ 傾斜面
４２１ 溝部
４３ 貫通孔
４４ 凹部
４４１ 第１凹部
４４２ 第２凹部
４４２a 隆起部
４４３ 第３凹部
４４４ 平面部
４５ 液体導入口
４６ 液体供給路
４７ 気体導入口
４８ ボルト用貫通孔
５ 第２部材
５１ 尖鋭部
５２ 傾斜面
５２１ 溝部
５３ 貫通孔
５４ 凹部
５４１ 第１凹部
５４２ 第２凹部
５４２a 隆起部
５４３ 第３凹部
５４４ 平面部
５７ 気体導入口
５８ ボルト用貫通孔
６ 液体溜室
７１ 第１気体溜部、７２ 気体流路、７３ 第２気体溜部
８１ 第１気体溜部、８２ 気体流路、８３ 第２気体溜部
９１，９２ ボルト

Claims (5)

1. 一対の縦長の第１中間部材及び第２中間部材からなる積層体を、該第１中間部材側の第１部材と該第２中間部材側の第２部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
   前記スリットノズルの先端部においては、該第１中間部材と該第２中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第１部材と該第１中間部材との隙間に第１気体流路が形成され、該第２部材と該第２中間部材との隙間に第２気体流路が形成されており、
   前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第１気体流路の延出方向及び前記第２気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
   前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第１気体流路の噴出口及び前記第２気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第１気体流路の噴出口と該第２気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズル。
2. 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第２気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである請求項１に記載のスリットノズル。
3. 前記スリットノズルの先端部を正面視して、長手方向に隣り合う前記第１気体流路の噴出口の間隔と、各前記第２気体流路の噴出口の長さが一致している請求項１又は２に記載のスリットノズル。
4. 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第１気体流路の噴出口の一方の末端部と各前記第２気体流路の噴出口の一方の末端部とが重なっている請求項１又は２に記載のスリットノズル。
5. 前記第１部材と前記第１中間部材との隙間に形成された複数の前記第１気体流路の噴出口の位置と、前記第２部材と前記第２中間部材との隙間に形成された複数の前記第２気体流路の噴出口の位置とを、長手方向に調整可能な手段を有する請求項１〜４の何れか１項に記載のスリットノズル。