JP6144917B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の運転方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の処理装置の第1の実施の形態としてのプラズマエッチング装置の概略構成を示す断面図である。図1に示したように、プラズマエッチング装置100は、被処理体として、例えばFPD用のガラス基板(以下、単に「基板」と記す)Sに対してエッチングを行なう容量結合型の平行平板プラズマエッチング装置として構成されている。なお、FPDとしては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネセンス(Electro Luminescence;EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等が例示される。
反射波の検出値が所定のしきい値を超えている場合には、ソース用の高周波電力が安定していない(No)と判断される。
反射波の検出値が所定のしきい値を超えている場合には、バイアス用の高周波電力が安定していない(No)と判断される。
Claims (13)
- 被処理体を収容する処理容器と、
前記処理容器内で生成させるプラズマに関与する高周波を出力する複数の高周波電源と、
前記複数の高周波電源への反射波をそれぞれ検出する複数の反射波検出部と、
前記複数の高周波電源の出力を制御する電力制御部と、
前記複数の高周波電源のいずれかにおける反射波の検出値が、各高周波電源について予め設定された遮断用しきい値を超えた場合に、前記複数の高周波電源のすべてについて高周波の供給を遮断する遮断制御部と、
前記複数の高周波電源のいずれか一つにおいて、高周波の供給を開始するタイミング、もしくは出力を変化させるタイミングで、前記遮断用しきい値のすべてを相対的に高いレベルに設定し、前記複数の高周波電源のすべてについて、高周波の供給が安定した後に前記遮断用しきい値のすべてを相対的に低いレベルに切り替えるしきい値設定部と、
を備えたプラズマ処理装置。 - 前記複数の高周波電源として、少なくとも、第1の高周波電源と、前記第1の高周波電源とは周波数が異なる高周波を出力する第2の高周波電源と、を有し、
前記複数の反射波検出部として、前記第1の高周波電源への反射波を検出する第1の反射波検出部と、前記第2の高周波電源への反射波を検出する第2の反射波検出部と、を有し、
前記遮断制御部は、前記第1の高周波電源における反射波の検出値又は前記第2の高周波電源における反射波の検出値のいずれか片方が、それぞれについて予め設定された遮断用しきい値を超えた場合に、前記第1の高周波電源及び前記第2の高周波電源の両方の高周波の供給を遮断し、
前記しきい値設定部は、前記第1の高周波電源又は前記第2の高周波電源のいずれか一方において、高周波の供給を開始するタイミング、もしくは出力を変化させるタイミングで、前記遮断用しきい値をともに相対的に高いレベルに設定し、前記第1の高周波電源及び前記第2の高周波電源からの高周波の供給が安定した後に前記遮断用しきい値のレベルをともに相対的に低いレベルに切り替える請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマを立ち上げる過程で、前記電力制御部は、前記第1の高周波電源及び前記第2の高周波電源からの高周波の出力を、それぞれ段階的に増加させるソフトスタート制御を行う請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電力制御部は、前記第1の反射波検出部による反射波の検出値及び前記第2の反射波検出部による反射波の検出値が、それぞれ、予め設定された立ち上げ用しきい値以下になった後に、前記第1の高周波電源からの高周波の出力を増加させるように制御する請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記しきい値設定部は、前記第1の反射波検出部による反射波の検出値及び前記第2の反射波検出部による反射波の検出値が、それぞれ、予め設定された立ち上げ用しきい値以下になった後、前記第1の高周波電源からの高周波の出力を増加させるまでの間に、前記遮断用しきい値を前記相対的に低いレベルに設定する請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電力制御部は、前記第1の反射波検出部による反射波の検出値及び前記第2の反射波検出部による反射波の検出値が、それぞれ、予め設定された立ち上げ用しきい値以下になった後に、前記第2の高周波電源からの高周波の出力を増加させるように制御する請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記しきい値設定部は、前記第1の反射波検出部による反射波の検出値及び前記第2の反射波検出部による反射波の検出値が、予め設定された立ち上げ用しきい値以下になった後、前記第2の高周波電源からの高周波の出力を増加させるまでの間に、前記遮断用しきい値を前記相対的に低いレベルに設定する請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記相対的に高いレベルの遮断用しきい値が、前記第1の高周波電源又は第2の高周波電源からそれぞれ出力される定格電力値の25%以上である請求項2から7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記相対的に低いレベルの遮断用しきい値が、前記第1の高周波電源又は第2の高周波電源からそれぞれ出力される定格電力値の5%以下である請求項2から8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の高周波電源又は第2の高周波電源についてそれぞれ設定される前記遮断用しきい値の前記相対的に低いレベルの設定期間が同じである請求項2から9のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の高周波電源又は第2の高周波電源についてそれぞれ設定される前記遮断用しきい値の前記相対的に高いレベルの設定期間が同じである請求項2から10のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 被処理体を収容する処理容器と、
前記処理容器内で生成させるプラズマに関与する高周波を出力する複数の高周波電源と、
前記複数の高周波電源への反射波をそれぞれ検出する複数の反射波検出部と、
前記複数の高周波電源の出力を制御する電力制御部と、
前記複数の高周波電源のいずれにおける反射波の検出値が、各高周波電源について予め設定された遮断用しきい値を超えた場合に、前記複数の高周波電源のすべてについて高周波の供給を遮断する遮断制御部と、
を備え、前記処理容器でプラズマを生成させて被処理体を処理するプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記複数の高周波電源のいずれか一つにおいて、高周波の供給を開始するタイミング、もしくは出力を変化させるタイミングで、前記遮断用しきい値のすべてを相対的に高いレベルに設定するステップと、
前記複数の高周波電源のすべてについて、高周波の供給が安定した後に前記遮断用しきい値のすべてを相対的に低いレベルに切り替えるステップと、
を含むプラズマ処理装置の運転方法。 - 前記高周波の出力を変化させる場合に、
前記複数の高周波電源への反射波の電力値を計測する工程と、
高周波の出力を変化させる一の高周波電源を含むすべての高周波電源の反射波の検出値が予め設定されたしきい値以下であるか否かを判断する工程と、
前記すべての高周波電源の反射波の検出値が予め設定されたしきい値以下になった後、前記一の高周波電源の出力を変化させる工程と、
を含むことを特徴とする請求項12に記載のプラズマ処理装置の運転方法。
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