JP6141067B2

JP6141067B2 - microscope

Info

Publication number: JP6141067B2
Application number: JP2013067489A
Authority: JP
Inventors: 健彦林; 庄太武永
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2013-03-27
Publication date: 2017-06-07
Anticipated expiration: 2033-03-27
Also published as: JP2014191229A

Description

本発明は、照明光を標本に照射して標本の観察を行う顕微鏡に関するものである。 The present invention relates to a microscope for observing a specimen by irradiating the specimen with illumination light.

従来、医学や生物学等の分野では、細胞等の観察に、標本を照明して観察する顕微鏡が用いられている。また、工業分野においても、金属組織等の品質管理や、新素材の研究開発、電子デバイスや磁気ヘッドの検査等、種々の用途で顕微鏡が利用されている。顕微鏡による標本の観察としては、目視による観察の他、ＣＣＤイメージセンサまたはＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子を用いて標本像を撮像し、撮像した画像や、光強度等の数値のモニタ表示による観察が知られている。 Conventionally, in the fields of medicine and biology, a microscope for illuminating and observing a specimen is used for observing cells and the like. In the industrial field, microscopes are used for various purposes such as quality control of metal structures, research and development of new materials, inspection of electronic devices and magnetic heads, and the like. As for observation of the specimen with a microscope, in addition to visual observation, an image of a specimen is picked up using an imaging device such as a CCD image sensor or a CMOS image sensor, and observation of the picked-up image and numerical display such as light intensity is performed. Are known.

また、顕微鏡による観察法においては、一般的な明視野観察、透過観察のほか、位相差観察、微分干渉観察、暗視野観察、偏光観察等の様々な検鏡法が用いられている。これらの検鏡法によれば、観察物体の形状分布、不純物、異物といった明視野観察や透過観察では検出し難い特徴がより検出され易くなる。 In the observation method using a microscope, various spectroscopic methods such as phase contrast observation, differential interference observation, dark field observation, and polarization observation are used in addition to general bright field observation and transmission observation. According to these spectroscopic methods, features that are difficult to detect in bright field observation or transmission observation, such as the shape distribution of observation objects, impurities, and foreign matter, are more easily detected.

例えば、生物系標本における微分干渉観察では、観察物体の一部を通過した光とその近傍を通過した光との位相差を、色または明暗のコントラストとして表すことにより、観察物体の形状分布や位相差分布を得る。また、透過型の微分干渉観察は、ほぼ透明な生体標本の形状の観察にも用いられ、微小な構造を検出することができる。一方、反射型の微分干渉観察では、落射照明と組み合わせて、ＩＣパターン等に生じた傷や不純物、微小突起等の検査や、金属や鉱物の表面形状の観察にも利用される。 For example, in differential interference observation on biological specimens, the phase distribution between the light that has passed through a part of the observation object and the light that has passed through it is expressed as color or contrast of light and darkness, so that the shape distribution and position of the observation object are displayed. Obtain the phase difference distribution. The transmission type differential interference observation is also used for observing the shape of a substantially transparent biological specimen, and can detect a minute structure. On the other hand, in reflection type differential interference observation, in combination with epi-illumination, it is also used for inspection of scratches, impurities, minute protrusions, etc. generated in IC patterns and the like, and observation of surface shapes of metals and minerals.

ところで、微分干渉観察を行うため、振動方向が互いに直交している（互いに直交する振動面をもつ）２つの偏光を生成して干渉させる光学素子としてポラライザ、アナライザおよび偏光プリズムを、明視野観察において形成される光学系に付加する必要がある。このうち、偏光プリズムとしては、一般にノマルスキープリズムが用いられ、対物レンズの瞳近傍においてこの光学系の光軸上に配置される。そのため、明視野観察等の他の検鏡法と微分干渉観察とを切り替えるには、上述したノマルスキープリズムを光軸上に挿抜可能に配置する必要がある。 By the way, in order to perform differential interference observation, a polarizer, an analyzer, and a polarizing prism are used as optical elements to generate and interfere with two polarized lights whose vibration directions are orthogonal to each other (having vibration surfaces orthogonal to each other). It is necessary to add to the optical system to be formed. Of these, a Nomarski prism is generally used as the polarizing prism, and is disposed on the optical axis of the optical system in the vicinity of the pupil of the objective lens. Therefore, in order to switch between other spectroscopic methods such as bright field observation and differential interference observation, it is necessary to dispose the above-mentioned Nomarski prism so as to be insertable / removable on the optical axis.

ここで、微分干渉観察では、干渉させる２つの偏光の位相差を調整するリタデーション調整を行うため、対物レンズの光軸上に配置したノマルスキープリズムの位置を、光軸と垂直な方向に微調整する必要がある。ノマルスキープリズムの位置を調整する技術として、顕微鏡において、ノマルスキープリズムの光軸上への配置とリタデーション調整とを電動で行う技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１が開示する技術によって、微分干渉観察に要する時間と手間を省くことができる。 Here, in differential interference observation, in order to perform retardation adjustment that adjusts the phase difference between the two polarized light beams that interfere with each other, the position of the Nomarski prism arranged on the optical axis of the objective lens is finely adjusted in a direction perpendicular to the optical axis. There is a need. As a technique for adjusting the position of the Nomarski prism, a technique for electrically arranging the Nomarski prism on the optical axis and adjusting the retardation in a microscope is disclosed (for example, see Patent Document 1). With the technique disclosed in Patent Document 1, time and labor required for differential interference observation can be saved.

また、微分干渉観察では、ノマルスキープリズムのローカライズ位置（互いに直交する２つの偏光が交わる位置）を、対物レンズの瞳位置に合わせた状態で標本の観察を行う。そのため、瞳位置の異なる対物レンズを切り替えて観察を行う場合、それぞれの対物レンズの瞳位置に応じてノマルスキープリズムの光軸方向位置を調整する必要がある。ノマルスキープリズムの光軸方向位置を調整する技術として、ノマルスキープリズムを複数有し、対物レンズに応じたノマルスキープリズムを配置可能な技術が開示されている（例えば、特許文献２を参照）。 In differential interference observation, the specimen is observed in a state where the localization position of the Nomarski prism (the position where two orthogonal polarizations intersect each other) matches the pupil position of the objective lens. Therefore, when observation is performed by switching objective lenses having different pupil positions, it is necessary to adjust the position of the Nomarski prism in the optical axis direction in accordance with the pupil position of each objective lens. As a technique for adjusting the position of the Nomarski prism in the optical axis direction, a technique in which a plurality of Nomarski prisms and a Nomarski prism corresponding to the objective lens can be arranged is disclosed (for example, see Patent Document 2).

特開２００８−２６５６８号公報JP 2008-26568 A 実用新案登録第２５５６０９８号公報Utility Model Registration No. 2556098

しかしながら、特許文献１，２が開示する技術において、ノマルスキープリズムのローカライズ位置が、使用している対物レンズの瞳位置に対して適切であるか否かを判断するためには、対物レンズの種類とローカライズ位置との対応を逐一確認する必要があり、手間がかかる。 However, in the techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2, in order to determine whether the localization position of the Nomarski prism is appropriate for the pupil position of the objective lens being used, It is necessary to check the correspondence with the localization position one by one, which takes time.

一方、ノマルスキープリズムのローカライズ位置が、使用している対物レンズの瞳位置に対して適切でない場合であっても、微分干渉像のコントラストは劣化するものの、観察自体は可能であるため、ローカライズ位置が最適位置ではない状態で観察してしまうおそれもあった。 On the other hand, even if the localization position of the Nomarski prism is not appropriate for the pupil position of the objective lens being used, the contrast of the differential interference image deteriorates, but the observation itself is possible. There was also a risk of observing in a state other than the optimum position.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、使用する対物レンズに応じてノマルスキープリズムを簡易かつ確実に最適な位置に配置することができる顕微鏡を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a microscope in which a Nomarski prism can be easily and surely arranged at an optimal position according to an objective lens to be used.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる顕微鏡は、観察対象の標本からの観察光を集光する複数の対物レンズを保持するとともに、前記複数の対物レンズのいずれかを前記標本を通過する光路上に配置するレボルバ部と、前記光路に対して挿脱可能であって、かつ前記光路に沿った方向に移動可能に設けられるノマルスキープリズムと、前記光路上に配置されている前記対物レンズに関する情報を検出するレンズ位置検出手段と、前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の位置を示す位置情報を検出するプリズム位置検出手段と、前記レンズ位置検出手段が検出する情報と前記対物レンズの種類とが関係付けられた第１関係情報、および該対物レンズの種類と前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の最適位置とが関係付けられた第２関係情報を記憶する記憶部と、前記レンズ位置検出手段および前記プリズム位置検出手段がそれぞれ検出した情報と、前記第１および第２関係情報とをもとに、前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の位置が、前記光路上に配置されている前記対物レンズに対して適切であるか否かを判断する制御部と、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a microscope according to the present invention holds a plurality of objective lenses that collect observation light from a specimen to be observed, and any one of the plurality of objective lenses. Is disposed on the optical path, a revolver unit that is disposed on an optical path that passes through the sample, a Nomarski prism that is detachable with respect to the optical path and is movable in a direction along the optical path, and the optical path. Lens position detecting means for detecting information relating to the objective lens, prism position detecting means for detecting position information indicating the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path, and information detected by the lens position detecting means. wherein along first relationship information and the type of the objective lens is associated, and the type of the objective lens to the optical path of the Nomarski prism and A storage unit for storing a second relationship information and the optimum position of the counter is associated, and information that the lens position detecting means and the prism position detecting means has detected respectively, also with the first and second relationship information And a control unit for determining whether or not the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path is appropriate for the objective lens arranged on the optical path. And

また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記制御部が、前記標本を通過する光路上に配置されている前記対物レンズに対して、前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の位置が適していないと判断した場合に、光、音および文字情報の少なくとも一つを出力する出力手段を備えたことを特徴とする。 In the microscope according to the present invention, in the above invention, the control unit is positioned in a direction along the optical path of the Nomarski prism with respect to the objective lens disposed on the optical path passing through the sample. When it is determined that is not suitable, output means for outputting at least one of light, sound and character information is provided.

また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向に移動させるノマルスキープリズム駆動手段をさらに備え、前記制御部は、前記標本を通過する光路上に配置されている前記対物レンズに対して、前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の位置が適していないと判断した場合に、前記ノマルスキープリズム駆動手段により前記ノマルスキープリズムを前記光路に沿って適切な位置に移動させる制御を行うことを特徴とする。 The microscope according to the present invention further includes a Nomarski prism driving means for moving the Nomarski prism in a direction along the optical path of the Nomarski prism, and the control unit is disposed on an optical path passing through the specimen. When it is determined that the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path is not suitable for the objective lens, the Nomarski prism driving means moves the Nomarski prism to an appropriate position along the optical path. It is characterized by performing control to move.

また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記標本の標本像を撮像して、該標本像に応じた画像データを生成する撮像部と、前記画像データに対して、撮像時に前記標本を通過する光路上に配置されている前記対物レンズに関する情報、および／または撮像時の前記ノマルスキープリズムの前記光路に沿った方向の位置を含む付加情報を付加する情報付加部と、を備えたことを特徴とする。 The microscope according to the present invention is the microscope according to the above-described invention, wherein the sample image of the sample is captured and an image unit that generates image data corresponding to the sample image is generated. And an information adding unit for adding additional information including information on the objective lens arranged on the optical path passing through and / or a position of the Nomarski prism in the direction along the optical path at the time of imaging. It is characterized by.

本発明によれば、光路上に配置されている対物レンズの種類と、ノマルスキープリズムの配設位置とを検出し、ノマルスキープリズムの位置が、光路上に配置されている対物レンズに対応しているか否かを判断するようにしたので、使用する対物レンズに応じてノマルスキープリズムを簡易かつ確実に最適な位置に配置することができるという効果を奏する。 According to the present invention, the type of the objective lens arranged on the optical path and the arrangement position of the Nomarski prism are detected, and the position of the Nomarski prism corresponds to the objective lens arranged on the optical path. Since it is determined whether or not, there is an effect that the Nomarski prism can be easily and surely arranged at the optimum position according to the objective lens to be used.

図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の全体構成を模式的に示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically showing the overall configuration of the microscope according to the first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の要部の構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of a main part of the microscope according to the first embodiment of the present invention. 図３は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡において、レボルバの各穴番号と、取り付けられている対物レンズ種類の対応を示した使用中対物レンズテーブルを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an in-use objective lens table showing the correspondence between each hole number of the revolver and the type of attached objective lens in the microscope according to the first embodiment of the present invention. 図４は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡において、配置されている対物レンズの種類とノマルスキープリズムの位置、さらに配置されている対物レンズの種類とノマルスキープリズムの位置の関係から可能となる観察方法などの対応を示した対物レンズ詳細情報テーブルを示す図である。FIG. 4 is possible in the microscope according to the first embodiment of the present invention based on the relationship between the type of objective lens arranged and the position of the Nomarski prism, and the relationship between the type of objective lens arranged and the position of the Nomarski prism. It is a figure which shows the objective lens detailed information table which showed correspondence, such as an observation method. 図５は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡が行うノマルスキープリズム位置調整処理を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing the Nomarski prism position adjustment process performed by the microscope according to the first embodiment of the present invention. 図６は、本発明の実施の形態１の変形例にかかる顕微鏡の要部の構成を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a configuration of a main part of the microscope according to the modification of the first embodiment of the present invention. 図７は、本発明の実施の形態１の変形例にかかる顕微鏡の要部の構成を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration of a main part of a microscope according to a modification of the first embodiment of the present invention. 図８は、本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の全体構成を模式的に示す側面図である。FIG. 8 is a side view schematically showing the overall configuration of the microscope according to the second embodiment of the present invention.

以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解し得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。すなわち、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited by the following embodiment. The drawings referred to in the following description only schematically show the shape, size, and positional relationship so that the contents of the present invention can be understood. That is, the present invention is not limited only to the shape, size, and positional relationship illustrated in each drawing.

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の全体構成を模式的に示す側面図である。同図に示す顕微鏡１は、土台をなす本体部２と、本体部２の上面に取り付けられて標本Ｓを載置するステージ３と、標本Ｓからの観察光を集光する複数の対物レンズ４（対物レンズ４ａ，４ｂ，・・・）を保持し、それらを光路（観察光軸Ｎ１）上に切換配置するレボルバ部５と、本体部２の上方に位置し、ステージ３に載置された標本Ｓに対して透過照明を照射する透過照明部６と、ハロゲンランプ等のランプを用いて構成される光源７と、標本Ｓを目視観察するための鏡筒部８とを備える。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a side view schematically showing the overall configuration of the microscope according to the first embodiment of the present invention. A microscope 1 shown in FIG. 1 includes a main body 2 that forms a base, a stage 3 that is attached to the upper surface of the main body 2 and places a specimen S, and a plurality of objective lenses 4 that collect observation light from the specimen S. (Objective lenses 4a, 4b,...) Are held and placed on the stage 3 so as to be positioned above the main body 2 and the revolver 5 that switches them on the optical path (observation optical axis N1). A transmission illumination unit 6 that irradiates the sample S with transmission illumination, a light source 7 configured using a lamp such as a halogen lamp, and a lens barrel unit 8 for visually observing the sample S are provided.

顕微鏡１は微分干渉観察に必要なポラライザ９、アナライザ１０、および標本に対して照明側と観察側とにある２つの偏光プリズムである照明側ノマルスキープリズム１１および観察側ノマルスキープリズム１２（以下、ノマルスキープリズム１１，１２という）を備えている。顕微鏡１は、少なくとも微分干渉観察と明視野観察とを切り替えて標本観察が可能であり、ポラライザ９、アナライザ１０、およびノマルスキープリズム１１，１２は、それぞれ観察光軸Ｎ１に対して挿脱自在に構成されている。図１は特に微分干渉観察時の構成を示している。 The microscope 1 includes a polarizer 9 necessary for differential interference observation, an analyzer 10, and two polarization prisms on the illumination side and the observation side with respect to the specimen, an illumination-side Nomarski prism 11 and an observation-side Nomarski prism 12 (hereinafter, “Nomarski prism”). 11 and 12). The microscope 1 can perform specimen observation by switching at least differential interference observation and bright field observation, and the polarizer 9, the analyzer 10, and the Nomarski prisms 11 and 12 are configured to be detachable with respect to the observation optical axis N1. Has been. FIG. 1 particularly shows the configuration during differential interference observation.

光源からの照明光は図示しない照明光学系によって観察光軸上に導かれる。ポラライザ９は、照明光より所定の振動方向の直線偏光を抽出する。ノマルスキープリズム１１は、入射した直線偏光を、互いに直交した振動方向の２つの直線偏光に分岐し、分岐した２つの直線偏光を異なる方向に射出する。コンデンサレンズ１３は、この２つの直線偏光をテレセントリックに標本に照射する。 Illumination light from the light source is guided onto the observation optical axis by an illumination optical system (not shown). The polarizer 9 extracts linearly polarized light in a predetermined vibration direction from the illumination light. The Nomarski prism 11 splits the incident linearly polarized light into two linearly polarized lights having vibration directions orthogonal to each other, and emits the two branched linearly polarized lights in different directions. The condenser lens 13 irradiates the specimen with the two linearly polarized lights in a telecentric manner.

照射された２つの直線偏光は標本を透過し、透過してきた観察光は対物レンズ４を介してノマルスキープリズム１２に入射する。ノマルスキープリズム１２は、この２つの直線偏光を同軸に合成し、観察光軸Ｎ１と平行に射出する。合成された２つの直線偏光は、アナライザ１０に入射する。アナライザ１０は、合成された２つの直線偏光の各々から共通した振動方向の直線偏光を抽出する。その後、観察光は図示しない観察光学系により標本の観察像を形成する。標本の観察像は接眼レンズ等を通して目視観察される。 The two irradiated linearly polarized light passes through the specimen, and the transmitted observation light enters the Nomarski prism 12 through the objective lens 4. The Nomarski prism 12 combines these two linearly polarized lights coaxially and emits them parallel to the observation optical axis N1. The two synthesized linearly polarized lights enter the analyzer 10. The analyzer 10 extracts linearly polarized light having a common vibration direction from each of the two synthesized linearly polarized lights. Thereafter, the observation light forms an observation image of the specimen by an observation optical system (not shown). The observation image of the specimen is visually observed through an eyepiece lens or the like.

図２は、本実施の形態１にかかる顕微鏡の要部の構成を示す模式図であって、レボルバ部５内に設けられ、ノマルスキープリズム１２を移動させるノマルスキープリズム移動部１４の概略図である。ノマルスキープリズム移動部１４は、ノマルスキープリズム１２を観察光軸Ｎ１方向（矢印Ｙ１）に移動させるためのモータＭ１と、ノマルスキープリズム１２の光軸方向における位置に応じた位置情報を検出するセンサＳ１と、ノマルスキープリズム１２を観察光軸Ｎ１と直交する方向（矢印Ｙ２）に移動させるためのモータＭ２と、ノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１と直交する方向における位置に応じた位置情報を検出するセンサＳ２と、を備える。本実施の形態１では、センサＳ１，Ｓ２によりノマルスキープリズム１２の位置に応じた位置情報を検出する。また、ノマルスキープリズム１２は、モータＭ１，Ｍ２により観察光軸Ｎ１（光路）上の位置と、観察光軸Ｎ１から離脱した位置との間、および観察光軸Ｎ１に沿った方向に移動する。 FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of a main part of the microscope according to the first embodiment, and is a schematic diagram of a Nomarski prism moving unit 14 that is provided in the revolver unit 5 and moves the Nomarski prism 12. The Nomarski prism moving unit 14 includes a motor M1 for moving the Nomarski prism 12 in the direction of the observation optical axis N1 (arrow Y1), a sensor S1 that detects position information corresponding to the position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction, A motor M2 for moving the Nomarski prism 12 in a direction (arrow Y2) perpendicular to the observation optical axis N1, and a sensor S2 for detecting position information according to the position of the Nomarski prism 12 in the direction perpendicular to the observation optical axis N1 . In the first embodiment, position information corresponding to the position of the Nomarski prism 12 is detected by the sensors S1 and S2. The Nomarski prism 12 is moved by the motors M1 and M2 between a position on the observation optical axis N1 (optical path), a position away from the observation optical axis N1, and a direction along the observation optical axis N1.

ここで、ノマルスキープリズム移動部１４は、光軸と直交する方向（矢印Ｙ２）のストロークを、ノマルスキープリズム１２を光路上から十分に退避できる量だけ確保することで、ノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１上への挿脱動作（矢印Ｙ２）とリタデーション調整動作（矢印Ｙ３）とを単一の機構で行なうことができるよう構成されている。 Here, the Nomarski prism moving unit 14 secures the stroke in the direction (arrow Y2) orthogonal to the optical axis by an amount that can sufficiently retract the Nomarski prism 12 from the optical path, thereby observing the optical axis N1 of the Nomarski prism 12. An upward insertion / removal operation (arrow Y2) and retardation adjustment operation (arrow Y3) can be performed by a single mechanism.

なお、ノマルスキープリズム移動部１４は、リタデーション調整動作を行う機構と、ノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１上への挿脱動作を行う機構と、を別の機構としてもよい。この場合、観察光軸Ｎ１上への挿脱動作を行う機構として、例えばターレットが挙げられる。 Note that the Nomarski prism moving unit 14 may have different mechanisms for performing the retardation adjustment operation and for performing the insertion / removal operation of the Nomarski prism 12 on the observation optical axis N1. In this case, a turret is an example of a mechanism that performs an insertion / removal operation on the observation optical axis N1.

次に、図１に示した顕微鏡１の制御系について説明する。顕微鏡全体の動作を管理しているメインコントロール部１５は、顕微鏡全体の動作を一括制御する制御部１６と、顕微鏡１の使用者が制御部１６に指示を与えるための入力部１７と、表示部１８ａを有し、制御部１６からの各種情報を出力するための出力部１８と、顕微鏡１の各種情報を記憶する記憶部１９と、を備える。 Next, a control system of the microscope 1 shown in FIG. 1 will be described. The main control unit 15 that manages the operation of the entire microscope includes a control unit 16 that collectively controls the operation of the entire microscope, an input unit 17 for giving instructions to the control unit 16 by a user of the microscope 1, and a display unit. And an output unit 18 for outputting various types of information from the control unit 16 and a storage unit 19 for storing various types of information of the microscope 1.

制御部１６は、ＣＰＵ等を用いて構成され、顕微鏡１の動作を一括制御する。 The control unit 16 is configured using a CPU or the like, and collectively controls the operation of the microscope 1.

入力部１７は、例えばタッチパネル等を用いて出力部１８の表示部１８ａにおける表示画面上に張り合わせられて構成されている。表示部１８ａに各種スイッチを表示させて使用者に押下させることで、タッチパネルの押し位置検出情報とから、表示部１８ａに表示されているスイッチに応じた制御を行なうことができる。 The input unit 17 is configured to be pasted on the display screen in the display unit 18a of the output unit 18 using, for example, a touch panel. By displaying various switches on the display unit 18a and causing the user to press the switches, it is possible to perform control according to the switches displayed on the display unit 18a from the pressed position detection information on the touch panel.

出力部１８は、表示部１８ａや、音を発するスピーカー、光を発するＬＥＤによって構成されている。また、表示部１８ａは、ＬＣＤなどの表示装置により構成されており、制御部１６から送られてくる文字情報などを含む各種表示内容を表示する。 The output unit 18 includes a display unit 18a, a speaker that emits sound, and an LED that emits light. The display unit 18a is configured by a display device such as an LCD, and displays various display contents including character information sent from the control unit 16.

記憶部１９は、顕微鏡１に実行させる各種プログラム、プログラムの実行中に使用される各種データを記憶する。また、記憶部１９は、図３に示すように、レボルバ部５に設けられた複数の対物レンズ４をそれぞれ保持する複数の保持穴の各穴番号と、保持穴に取り付けられている対物レンズ種類（倍率など）の対応を示した使用中対物レンズテーブルＤ１（第１関係情報）を記憶する。使用中対物レンズテーブルＤ１は、顕微鏡１による観察開始前に使用者が入力部１７を介してレボルバ部５の各穴に取り付けられた対物レンズ種類を入力することで作成される。 The storage unit 19 stores various programs to be executed by the microscope 1 and various data used during execution of the programs. In addition, as shown in FIG. 3, the storage unit 19 includes a hole number of a plurality of holding holes for holding the plurality of objective lenses 4 provided in the revolver unit 5 and the type of objective lens attached to the holding hole. The in-use objective lens table D1 (first relation information) indicating the correspondence of (magnification, etc.) is stored. The in-use objective lens table D <b> 1 is created when the user inputs the type of objective lens attached to each hole of the revolver unit 5 via the input unit 17 before starting observation with the microscope 1.

また、記憶部１９は、図４に示すように、取り付け可能な全対物レンズの種類に応じた最適ローカライズ位置（ノマルスキープリズムの光軸方向位置）、可能な観察方法、ＮＡおよびWD（ワーキングディスタンス）等を示す対物レンズ詳細情報テーブルＤ２（第２関係情報）を記憶する。対物レンズ詳細情報テーブルＤ２では、可能な観察方法として、例えば好適であれば◎、適していれば○、不適であれば×というように、各観察法に対する可否が記憶されている。 Further, as shown in FIG. 4, the storage unit 19 includes an optimum localization position (position in the optical axis direction of the Nomarski prism) according to the types of all objective lenses that can be attached, possible observation methods, NA, and WD (working distance). The objective lens detailed information table D2 (second relation information) indicating the above is stored. In the objective lens detailed information table D2, the possibility of each observation method is stored as possible observation methods, for example, ◎ if it is suitable, ◯ if it is suitable, and × if it is not suitable.

メインコントロール部１５には、レボルバ部５の動作を制御するレボルバ制御部２０と、ノマルスキープリズム１２の動作を制御するノマルスキープリズム制御部２１と、が接続されている。なお、顕微鏡１のその他の部位に電動部がある場合には、それぞれに応じた制御部が、さらに接続されていてもよい。また、レボルバ制御部２０およびノマルスキープリズム制御部２１は外部装置として独立していても、顕微鏡１の本体部２に内蔵されていても、メインコントロール部１５に内蔵されていてもよい。 A revolver control unit 20 that controls the operation of the revolver unit 5 and a Nomarski prism control unit 21 that controls the operation of the Nomarski prism 12 are connected to the main control unit 15. In addition, when there exists an electrically-driven part in the other site | part of the microscope 1, the control part according to each may be further connected. Further, the revolver control unit 20 and the Nomarski prism control unit 21 may be independent as external devices, may be built in the main body 2 of the microscope 1, or may be built in the main control unit 15.

レボルバ制御部２０は、レボルバ部５のレボルバ回転駆動および制御を行なうとともに、観察光軸Ｎ１上にある対物レンズ４の取り付いている取り付き穴の穴番号（対物レンズに関する情報）を検出するように構成されている。レボルバの回転駆動には、例えばＤＣモータを駆動源として用い、対物レンズ４の取り付き穴の穴番号の検出には、レンズ位置検出手段として、例えば磁気センサを用いればよい。 The revolver control unit 20 is configured to perform revolver rotation drive and control of the revolver unit 5 and to detect the hole number (information on the objective lens) of the mounting hole to which the objective lens 4 on the observation optical axis N1 is attached. Has been. For example, a DC motor may be used as a drive source for rotational driving of the revolver, and a magnetic sensor, for example, may be used as lens position detecting means for detecting the hole number of the mounting hole of the objective lens 4.

ノマルスキープリズム制御部２１は、ノマルスキープリズム１２の光軸方向の駆動制御、および位置検出と、観察光軸Ｎ１と直交する方向の駆動制御、および位置検出を行なう。ノマルスキープリズム１２の光軸方向の駆動制御および位置検出を行なうためには、例えばカムなどのメカ機構とＤＣモータ（モータＭ１）等を用いればよい。また、センサＳ１として、位置Ｐ１の位置にプリズムが配置されたときに押下されるマイクロスイッチ、および位置Ｐ２の位置にプリズムが配置されたときに押下されるマイクロスイッチを用いれば、ノマルスキープリズム１２の光軸方向の位置検出を行なうことができる。ノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１と直交する方向の駆動制御、および位置の検出を行なうためには、例えば送りネジ等の機構をステッピングモータ（モータＭ２）で駆動し、原点センサ（センサＳ２）としてフォトインタラプタ等を用いれば位置制御を行なうことができ、原点センサの検出位置からの送りパルス量を計測することで、ノマルスキープリズム１２の光軸直交方向位置の検出を行なうことができる。 The Nomarski prism control unit 21 performs drive control and position detection of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction, drive control in the direction orthogonal to the observation optical axis N1, and position detection. In order to perform drive control and position detection of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction, for example, a mechanical mechanism such as a cam and a DC motor (motor M1) may be used. Further, if the micro switch that is pressed when the prism is arranged at the position P1 and the micro switch that is pressed when the prism is arranged at the position P2 are used as the sensor S1, the Nomarski prism 12 Position detection in the optical axis direction can be performed. In order to perform drive control and position detection of the Nomarski prism 12 in the direction orthogonal to the observation optical axis N1, for example, a mechanism such as a feed screw is driven by a stepping motor (motor M2) and used as an origin sensor (sensor S2). If a photo interrupter or the like is used, position control can be performed, and the position of the Nomarski prism 12 in the direction perpendicular to the optical axis can be detected by measuring the amount of feed pulses from the detection position of the origin sensor.

図５は、本実施の形態１にかかる顕微鏡が行うノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の正誤判定処理を示すフローチャートである。 FIG. 5 is a flowchart showing correctness / incorrectness determination processing of the optical axis direction position of the Nomarski prism 12 performed by the microscope according to the first embodiment.

まず、制御部１６は、ノマルスキープリズム制御部２１を介してノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１と直交する方向の位置情報を取得して、現在ノマルスキープリズム１２が光路（観察光軸Ｎ１）上にあるか否かを判断する。（ステップＳ１０１）。 First, the control unit 16 acquires position information in a direction orthogonal to the observation optical axis N1 of the Nomarski prism 12 via the Nomarski prism control unit 21, and the Nomarski prism 12 is currently on the optical path (observation optical axis N1). Determine whether or not. (Step S101).

制御部１６は、現在ノマルスキープリズムが光路上にあると判断した場合（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、レボルバ制御部２０を介して、現在観察光軸Ｎ１上に配置されている対物レンズ４の取り付きの穴番号情報を取得する（ステップＳ１０２）。 When the control unit 16 determines that the current Nomarski prism is on the optical path (step S101: Yes), the mounting hole for the objective lens 4 currently disposed on the observation optical axis N1 is set via the revolver control unit 20. Number information is acquired (step S102).

制御部１６は、観察光軸Ｎ１上の対物レンズ４を保持している保持穴の穴番号情報と、記憶部１９が記憶しているレボルバ部５の各穴番号と、取り付けられている対物レンズ種類の対応を示した使用中対物レンズテーブル情報Ｄ１を元に、現在、観察光軸Ｎ１上に配置されている対物レンズ４の種類を判断する。（ステップＳ１０３）。 The control unit 16 includes hole number information of a holding hole holding the objective lens 4 on the observation optical axis N1, each hole number of the revolver unit 5 stored in the storage unit 19, and the attached objective lens. The type of the objective lens 4 currently arranged on the observation optical axis N1 is determined based on the in-use objective lens table information D1 indicating the type correspondence. (Step S103).

制御部１６は、対物レンズ詳細情報テーブルＤ２を参照して、現在観察光軸Ｎ１上に配置されている対物レンズ４の種類に対して最適なノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の情報を取得する（ステップＳ１０４）。その後、制御部１６は、ノマルスキープリズム制御部２１を介して、現在のノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の情報を取得する（ステップＳ１０５）。 The control unit 16 refers to the objective lens detailed information table D2 and acquires information on the position in the optical axis direction of the Nomarski prism 12 that is optimal for the type of the objective lens 4 currently arranged on the observation optical axis N1. (Step S104). Thereafter, the control unit 16 acquires information about the current position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction via the Nomarski prism control unit 21 (step S105).

制御部１６は、ステップＳ１０４で取得した情報とステップＳ１０５で取得した情報とをもとに、現在のノマルスキープリズム１２の光軸方向位置が、現在観察光軸Ｎ１上に配置されている対物レンズ４の種類に対して適切であるか否かを判断する（ステップＳ１０６）。 Based on the information acquired in step S104 and the information acquired in step S105, the control unit 16 sets the current position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction on the current observation optical axis N1. It is determined whether or not the type is appropriate (step S106).

ここで、制御部１６は、ノマルスキープリズム１２が、最適な光軸方向位置にないと判断した場合（ステップＳ１０６：Ｎｏ）、ノマルスキープリズム１２が最適な光軸方向位置にない旨の報知処理を行うよう出力部１８に指示する。出力部１８は、表示部１８ａの表示画面上に文字情報などを表示して、報知処理を行う（ステップＳ１０７）。なお、出力部１８は、音または光を発するなどして報知処理を行ってもよい。 Here, when the control unit 16 determines that the Nomarski prism 12 is not in the optimal position in the optical axis direction (step S106: No), the control unit 16 performs notification processing that the Nomarski prism 12 is not in the optimal position in the optical axis direction. The output unit 18 is instructed. The output unit 18 displays character information and the like on the display screen of the display unit 18a, and performs notification processing (step S107). The output unit 18 may perform the notification process by emitting sound or light.

また、制御部１６は、ユーザに対してノマルスキープリズム１２の位置が最適な光軸方向位置でない旨を報知する報知処理のみを行うものであってもよいし、ノマルスキープリズム制御部２１の制御のもと、モータＭ１を駆動して、適切な位置（本実施の形態１では、位置Ｐ１または位置Ｐ２のいずれか）にノマルスキープリズム１２を移動させるものであってもよいし、報知処理およびノマルスキープリズム１２の移動処理を行うものであってもよい。 In addition, the control unit 16 may perform only a notification process that notifies the user that the position of the Nomarski prism 12 is not an optimal position in the optical axis direction, or the control of the Nomarski prism control unit 21 may be performed. Then, the motor M1 may be driven to move the Nomarski prism 12 to an appropriate position (in the first embodiment, either the position P1 or the position P2), or the notification process and the Nomarski prism 12 may be performed. The movement process may be performed.

報知処理後、制御部１６は、ステップＳ１０８に移行し、観察終了の指示があれば（ステップＳ１０８：Ｙｅｓ）、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の正誤判定処理を終了する。一方、制御部１６は、観察継続の指示があれば（ステップＳ１０８：Ｎｏ）、ステップＳ１０１に移行して、上述した処理を繰り返す。なお、ステップＳ１０１において、制御部１６は、現在ノマルスキープリズムが光路上にないと判断した場合（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、ステップＳ１０８に移行して、観察終了の指示の有無を確認する。 After the notification process, the control unit 16 proceeds to step S108, and if there is an instruction to end observation (step S108: Yes), the correctness / incorrectness determination process of the position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction is ended. On the other hand, if there is an instruction to continue observation (step S108: No), the control unit 16 proceeds to step S101 and repeats the above-described processing. In step S101, when it is determined that the current Nomarski prism is not on the optical path (step S101: No), the control unit 16 proceeds to step S108 and confirms whether there is an instruction to end observation.

なお、制御部１６は、ノマルスキープリズム１２が最適な光軸方向位置にあると判断した場合（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０８に移行し、上述した処理を行う。 If the control unit 16 determines that the Nomarski prism 12 is at the optimum position in the optical axis direction (step S106: Yes), the control unit 16 proceeds to step S108 and performs the above-described processing.

なお、本実施例においてはステップＳ１０８において観察終了の指示があるまで常時、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の正誤判定処理を行うようにしたが、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の正誤判定処理は、例えば対物レンズ４の切り替え動作や、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置の切り替え動作、ノマルスキープリズム１２の光軸上への配置操作のいずれかが実施された場合にのみ行うようにしてもよい。 In the present embodiment, the correctness / incorrectness determination process of the optical axis direction position of the Nomarski prism 12 is always performed until an instruction to end the observation is given in step S108. May be performed only when any one of the switching operation of the objective lens 4, the switching operation of the position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction, and the arrangement operation of the Nomarski prism 12 on the optical axis is performed. .

上述した本実施の形態１によれば、光路（観察光軸Ｎ１）上に配置されている対物レンズ４の種類と、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置とを検出し、ノマルスキープリズム１２の光軸方向位置が光路Ｎ１上に配置されている対物レンズ４の種類に対応しているか否かを判断するようにしたので、使用する対物レンズに応じてノマルスキープリズムを簡易かつ確実に最適な光軸方向位置に配置することができる。 According to the first embodiment described above, the type of the objective lens 4 arranged on the optical path (observation optical axis N1) and the position of the Nomarski prism 12 in the optical axis direction are detected, and the optical axis of the Nomarski prism 12 is detected. Since it is determined whether or not the direction position corresponds to the type of the objective lens 4 arranged on the optical path N1, the Nomarski prism can be simply and reliably optimally aligned with the optical axis direction according to the objective lens used. Can be placed in position.

なお、上述した本実施の形態１において、２つのマイクロスイッチを用いてノマルスキープリズム１２の光軸方向が位置Ｐ１または位置Ｐ２のどちらか判定するようにしたが、２つのマイクロスイッチどちらからも検出がなかった場合を不定位置と判断して、ノマルスキープリズム１２の位置が不定である旨を使用者に通知するようにしてもよい。 In the first embodiment described above, two microswitches are used to determine whether the optical axis direction of the Nomarski prism 12 is the position P1 or the position P2. However, detection is performed from either of the two microswitches. The case where there is no position may be determined as an indefinite position, and the user may be notified that the position of the Nomarski prism 12 is indefinite.

また、上述した本実施の形態１においては、ノマルスキープリズム１２の観察光軸Ｎ１と平行な方向の切換位置が２箇所であるものとして説明したが、切換位置を３箇所以上設け、ステッピングモータや原点センサ等を組み合わせて、より細かく位置制御を行うようにしてもよい。 Further, in the above-described first embodiment, it has been described that there are two switching positions in the direction parallel to the observation optical axis N1 of the Nomarski prism 12, but three or more switching positions are provided, and a stepping motor or an origin is provided. Further positional control may be performed by combining sensors and the like.

また、上述した本実施の形態１において、ノマルスキープリズム１２がモータＭ１，Ｍ２の駆動によって移動するものとして説明したが、レバーなどの機械的な機構により、ユーザの操作によってノマルスキープリズム１２の位置を変更するものであってもよい。また、例えば観察光軸Ｎ１と平行な方向の移動をレバーによる手動操作で行い、観察光軸Ｎ１と垂直な方向の移動をモータＭ２によって移動させるものであってもよい。 Further, in the first embodiment described above, it has been described that the Nomarski prism 12 is moved by driving the motors M1 and M2. However, the position of the Nomarski prism 12 is changed by a user operation by a mechanical mechanism such as a lever. You may do. Further, for example, the movement in the direction parallel to the observation optical axis N1 may be performed manually by a lever, and the movement in the direction perpendicular to the observation optical axis N1 may be moved by the motor M2.

また、上述した本実施の形態１において、対物レンズ詳細情報テーブルＤ２に代えて、予め各対物レンズの情報にノマルスキープリズム１２の最適位置に関する情報が個別に付与され、制御部１６が、対物レンズ４を特定後、この対物レンズ４の情報を参照して、ノマルスキープリズム１２の最適位置を取得するものであってもよい。 Further, in the first embodiment described above, instead of the objective lens detailed information table D2, information regarding the optimum position of the Nomarski prism 12 is individually given in advance to the information of each objective lens, and the control unit 16 provides the objective lens 4 with the information. Then, the optimum position of the Nomarski prism 12 may be acquired by referring to the information of the objective lens 4.

図６，７は、本実施の形態１の変形例にかかる顕微鏡の要部の構成を示す模式図である。上述した実施の形態１では、一体的に形成されたレボルバ部５の内部にノマルスキープリズム１２（ノマルスキープリズム移動部１４）が配設されるものとして説明したが、図６，７に示すレボルバ部５ａにおいて、ノマルスキープリズム移動部１４が着脱可能に設けられるものであってもよい。 6 and 7 are schematic views showing the configuration of the main part of the microscope according to the modification of the first embodiment. In the first embodiment described above, the description has been made assuming that the Nomarski prism 12 (Nomarski prism moving unit 14) is disposed inside the integrally formed revolver unit 5. However, the revolver unit 5a shown in FIGS. The Nomarski prism moving part 14 may be detachably provided.

図６，７に示すレボルバ部５ａは、観察光軸Ｎ１を含むように角柱状に穿孔されてなる開口部５０を有する。レボルバ部５ａは、開口部５０において連結部２２と勘合する。 The revolver 5a shown in FIGS. 6 and 7 has an opening 50 that is perforated in a prismatic shape so as to include the observation optical axis N1. The revolver portion 5 a is engaged with the connecting portion 22 in the opening 50.

連結部２２は、略角柱状に延びる第１角柱部２２ａと、第１角柱部２２ａに連なり、角柱状に延びる第２角柱部２２ｂと、を有する。また、連結部２２の内部には、上述したノマルスキープリズム移動部１４が配設されている。 The connection part 22 has the 1st prismatic part 22a extended in substantially prismatic shape, and the 2nd prismatic part 22b which continues to the 1st prismatic part 22a and extends in prismatic form. In addition, the above-described Nomarski prism moving unit 14 is disposed inside the connecting unit 22.

このとき、ノマルスキープリズム１２は、第１角柱部２２ａの内部において、第１角柱部２２ａの長手方向および長手方向と垂直な方向に移動可能に設けられている。ノマルスキープリズム１２は、例えば上述したモータＭ１，Ｍ２またはレバー操作などの機械的な機構によって移動する。 At this time, the Nomarski prism 12 is provided inside the first prismatic portion 22a so as to be movable in the longitudinal direction of the first prismatic portion 22a and the direction perpendicular to the longitudinal direction. The Nomarski prism 12 is moved by a mechanical mechanism such as the motors M1 and M2 or lever operation described above.

レボルバ部５ａと連結部２２とは、第１角柱部２２ａおよび開口部５０が勘合した後、ビスなどの固定手段で固定されることによって連結する。第１角柱部２２ａおよび開口部５０が勘合した状態で、ノマルスキープリズム１２が、光路Ｎ１上に配置可能となる。この際、レボルバ部５ａに対する連結部２２の位置は、第１角柱部２２ａを開口部５０の深部側の端面に当て付けるか、第１角柱部２２ａと第２角柱部２２ｂとがなす段部に開口部５０の端面を当て付けることによって規制することができる。また、図７に示すように、開口部５０にスイッチ５１を設けて、連結部２２の開口部５０への取り付けを検出するものであってもよい。 The revolver portion 5a and the connecting portion 22 are connected by being fixed by a fixing means such as a screw after the first prismatic portion 22a and the opening 50 are fitted. The Nomarski prism 12 can be arranged on the optical path N1 in a state where the first prism portion 22a and the opening 50 are fitted. At this time, the position of the connecting portion 22 with respect to the revolver portion 5a is such that the first prism portion 22a is applied to the end surface on the deep side of the opening 50 or the step portion formed by the first prism portion 22a and the second prism portion 22b. It can regulate by applying the end surface of the opening part 50. FIG. Further, as shown in FIG. 7, a switch 51 may be provided in the opening 50 to detect attachment of the connecting portion 22 to the opening 50.

変形例によれば、上述した実施の形態１と同様の効果を得ることができるとともに、ノマルスキープリズム１２（ノマルスキープリズム移動部１４）が、レボルバ部５ａから着脱可能であるため、ノマルスキープリズム１２の交換などの処理を一層簡易に行うことが可能となる。 According to the modification, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained, and the Nomarski prism 12 (Nomarski prism moving unit 14) can be detached from the revolver unit 5a. It becomes possible to perform processing such as these more easily.

（実施の形態２）
図８は、本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の全体構成を模式的に示す側面図である。なお、図１等で説明した構成と同一の構成要素には、同一の符号が付してある。実施の形態２では、上述した顕微鏡１に対し、プリズム２３（またはハーフミラー）を配設して標本Ｓの観察光の光路を分岐し、撮像部２４によって標本像を撮像する構成を付加した顕微鏡１ａについて説明する。撮像部２４は、プリズム２３を介して入射する光を結像して得られる標本像を撮像して、この標本像に応じた画像データを生成し、画像データをカメラ制御部２５に出力する。カメラ制御部２５は、メインコントロール部１５ａに接続され、得られた画像データをメインコントロール部１５ａに出力する。 (Embodiment 2)
FIG. 8 is a side view schematically showing the overall configuration of the microscope according to the second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the structure demonstrated in FIG. In the second embodiment, a microscope having a configuration in which a prism 23 (or a half mirror) is provided to branch the optical path of the observation light of the sample S and a sample image is captured by the imaging unit 24 is added to the microscope 1 described above. 1a will be described. The imaging unit 24 images a sample image obtained by forming an image of light incident through the prism 23, generates image data corresponding to the sample image, and outputs the image data to the camera control unit 25. The camera control unit 25 is connected to the main control unit 15a and outputs the obtained image data to the main control unit 15a.

ここで、メインコントロール部１５ａには、制御部１６に代えて、顕微鏡１ａ全体の動作を一括制御する制御部１６ａが設けられている。また、メインコントロール部１５ａは、撮像部２４が生成した標本像に応じた画像データに対して、画像処理を施す画像処理部２６と、画像処理部２６が処理を施した画像データに対して、撮像時における情報を付加する情報付加部２７と、を有する。 Here, in place of the control unit 16, the main control unit 15a is provided with a control unit 16a that collectively controls the operation of the entire microscope 1a. The main control unit 15a also performs image processing on the image data corresponding to the specimen image generated by the imaging unit 24, and image data processed by the image processing unit 26. And an information adding unit 27 for adding information at the time of imaging.

画像処理部２６は、撮像部２４から入力される画像データに対して、所定の画像処理を施す。具体的には、画像処理部２６は、画像データに対し、オプティカルブラック減算処理、ホワイトバランス調整処理、カラーマトリクス演算処理、γ補正処理、色再現処理およびエッジ強調処理などを含む画像処理を行う。 The image processing unit 26 performs predetermined image processing on the image data input from the imaging unit 24. Specifically, the image processing unit 26 performs image processing including optical black subtraction processing, white balance adjustment processing, color matrix calculation processing, γ correction processing, color reproduction processing, and edge enhancement processing on the image data.

情報付加部２７は、画像処理部２６によって画像処理が施された画像データＤ３に対し、撮像時における画像情報Ｄ４をメタデータ（付加情報）として付加する。メタデータ（画像情報Ｄ４）としては、撮像時の観察方法に関する情報、対物レンズ４の種類に関する情報、ノマルスキープリズム１２の位置情報などが含まれる。ノマルスキープリズム１２の位置情報には、光路（観察光軸Ｎ１）上にあるか否かに関する情報や、光路上にある場合に、光路上の位置に関する情報を含んでいる。 The information adding unit 27 adds the image information D4 at the time of imaging as metadata (additional information) to the image data D3 subjected to image processing by the image processing unit 26. The metadata (image information D4) includes information related to an observation method at the time of imaging, information related to the type of the objective lens 4, position information of the Nomarski prism 12, and the like. The position information of the Nomarski prism 12 includes information on whether or not it is on the optical path (observation optical axis N1), and information on the position on the optical path when it is on the optical path.

上述した実施の形態２によれば、上述した実施の形態１と同様の効果を得ることができるとともに、画像データＤ３をもとに画像情報Ｄ４を抽出することによって、撮像時のノマルスキープリズム１２の位置情報などを確認することが可能となる。 According to the second embodiment described above, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained, and the image information D4 is extracted based on the image data D3, whereby the Nomarski prism 12 at the time of imaging is extracted. It becomes possible to confirm position information and the like.

なお、上述した実施の形態１，２では、透過型の微分干渉観察光学系を例に説明したが、反射型の微分干渉観察光学系においても、本発明を適用することができる。また、上述した実施の形態１，２では、倒立型の顕微鏡を例に説明したが、例えば、正立型の顕微鏡や、微分干渉観察光学系を形成し、標本を拡大する対物レンズ、対物レンズを介して標本を撮像する撮像機能および画像を表示する表示機能を備えた撮像装置、例えば、ビデオマイクロスコープ等であっても、本発明を適用することができる。 In the first and second embodiments, the transmission type differential interference observation optical system has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a reflection type differential interference observation optical system. In the first and second embodiments described above, the inverted microscope has been described as an example. For example, an upright microscope, an objective lens that forms a differential interference observation optical system, and enlarges the sample, and an objective lens The present invention can also be applied to an imaging apparatus having an imaging function for imaging a specimen and a display function for displaying an image, such as a video microscope.

以上のように、本発明にかかる顕微鏡は、使用する対物レンズに応じてノマルスキープリズムを簡易かつ確実に最適な位置に配置することに有用である。 As described above, the microscope according to the present invention is useful for easily and surely arranging the Nomarski prism at the optimum position according to the objective lens to be used.

１，１ａ顕微鏡
２本体部
３ステージ
４対物レンズ
５，５ａレボルバ部
６透過照明部
７光源
８鏡筒部
９ポラライザ
１０アナライザ
１１照明側ノマルスキープリズム（ノマルスキープリズム）
１２観察側ノマルスキープリズム（ノマルスキープリズム）
１３コンデンサレンズ
１４ノマルスキープリズム移動部
１５，１５ａメインコントロール部
１６，１６ａ制御部
１７入力部
１８出力部
１８ａ表示部
１９，１９ａ記憶部
２０レボルバ制御部
２１ノマルスキープリズム制御部
２２連結部
２２ａ第１角柱部
２２ｂ第２角柱部
２３プリズム
２４撮像部
２５カメラ制御部
２６画像処理部
２７情報付加部
５０開口部
５１スイッチ
Ｄ１使用中対物レンズテーブル
Ｄ２対物レンズ詳細情報テーブル
Ｄ３画像データ
Ｄ４画像情報
Ｍ１，Ｍ２モータ
Ｓ１，Ｓ２センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1a Microscope 2 Main body part 3 Stage 4 Objective lens 5, 5a Revolver part 6 Transmitted illumination part 7 Light source 8 Lens barrel part 9 Polarizer 10 Analyzer 11 Illumination side Nomarski prism (Nomarski prism)
12 Observation side Nomarski prism (Nomarski prism)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Condenser lens 14 Nomarski prism moving part 15,15a Main control part 16,16a Control part 17 Input part 18 Output part 18a Display part 19,19a Storage part 20 Revolver control part 21 Nomarski prism control part 22 Connection part 22a 1st prism part 22b 2nd prism part 23 prism 24 imaging part 25 camera control part 26 image processing part 27 information addition part 50 opening part 51 switch D1 in-use objective lens table D2 objective lens detailed information table D3 image data D4 image information M1, M2 motor S1 , S2 sensor

Claims

A revolver unit that holds a plurality of objective lenses that collect observation light from a specimen to be observed, and that arranges any of the plurality of objective lenses on an optical path that passes through the specimen;
A Nomarski prism that can be inserted into and removed from the optical path and is movable in a direction along the optical path;
Lens position detecting means for detecting information on the objective lens arranged on the optical path;
Prism position detection means for detecting position information indicating the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path ;
First relationship information in which the information detected by the lens position detection means and the type of the objective lens are related, and the type of the objective lens and the optimum position in the direction along the optical path of the Nomarski prism. A storage unit for storing the received second relationship information;
Based on the information detected by the lens position detecting means and the prism position detecting means, respectively, and the first and second relation information, the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path is on the optical path. A control unit for determining whether or not the objective lens is suitable;
A microscope comprising:

When the control unit determines that the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path is not suitable for the objective lens arranged on the optical path passing through the sample, light, sound, and 2. The microscope according to claim 1, further comprising output means for outputting at least one of the character information.

A Nomarski prism driving means for moving the Nomarski prism in a direction along the optical path;
When the control unit determines that the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path is not suitable for the objective lens arranged on the optical path passing through the sample, the Nomarski prism drive 2. The microscope according to claim 1, wherein control is performed to move the Nomarski prism to an appropriate position along the optical path by means .

An imaging unit that captures a specimen image of the specimen and generates image data corresponding to the specimen image;
For the image data, information on the objective lens arranged on the optical path passing through the specimen at the time of imaging, and / or additional information including the position of the Nomarski prism in the direction along the optical path at the time of imaging. An information adding unit to be added;
The microscope according to any one of claims 1 to 3, further comprising: