JP7118346B2

JP7118346B2 - Magnifying Observation Device, Control Method for Magnifying Observation Device, and Control Program for Magnifying Observation Device

Info

Publication number: JP7118346B2
Application number: JP2018116235A
Authority: JP
Inventors: 翔大細野
Original assignee: 株式会社エビデント
Priority date: 2018-06-19
Filing date: 2018-06-19
Publication date: 2022-08-16
Anticipated expiration: 2038-06-19
Also published as: JP2019219489A

Description

本発明は、拡大観察装置、拡大観察装置の制御方法、及び拡大観察装置の制御プログラムに関する。 The present invention relates to a magnifying observation apparatus, a control method for a magnifying observation apparatus, and a control program for a magnifying observation apparatus.

同軸落射照明を用いて観察（以下、通常観察という）する場合、照明光の一部が対物レンズにおいて反射し、試料に関する情報を含まないフレアが発生する場合がある。特許文献１には、偏光子であるポラライザとアナライザとをパラニコルに配置し、対物レンズと試料との間にλ／４板を配置することにより、フレアの影響を低減する技術が開示されている。 When observation is performed using coaxial epi-illumination (hereinafter referred to as normal observation), part of the illumination light may be reflected by the objective lens and flare, which does not contain information about the sample, may occur. Patent Document 1 discloses a technique for reducing the influence of flare by arranging a polarizer, which is a polarizer, and an analyzer in parallel, and by arranging a λ/4 plate between the objective lens and the sample. .

一方、試料を微分干渉（ＤＩＣ：ＤｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅＣｏｎｔｒａｓｔ）観察（以下、ＤＩＣ観察という）する場合、特許文献２のように、λ／４板は用いずにＤＩＣプリズムを照明光の光軸上に配置する。ＤＩＣ観察では、フレアの影響を低減する対策は施されていなかった。 On the other hand, when performing differential interference contrast (DIC) observation (hereinafter referred to as DIC observation) of a sample, a DIC prism is arranged on the optical axis of the illumination light without using a λ/4 plate, as in Patent Document 2. do. In the DIC observation, no measures were taken to reduce the influence of flare.

特開２０１２－１４５７２２号公報JP 2012-145722 A

しかしながら、ＤＩＣ観察においても、通常観察と同様にフレアの影響を低減する対策が求められている。 However, in DIC observation as well as in normal observation, there is a demand for measures to reduce the influence of flare.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、通常のＤＩＣ観察と、フレアの影響を低減したＤＩＣ観察とを行うことができる拡大観察装置、拡大観察装置の制御方法、及び拡大観察装置の制御プログラムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and provides a magnifying observation apparatus capable of performing normal DIC observation and DIC observation with reduced influence of flare, a control method for the magnifying observation apparatus, and a magnifying observation apparatus. The purpose is to provide a control program for

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、試料に対して照明光を照射する光源と、λ／４板を有しない第１対物レンズと先端にλ／４板が配置されている第２対物レンズとを前記照明光の光軸上に切り替え可能に配置する切替部と、前記光軸上に配置されている前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズに反射する一方、前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズを通過して入射する前記試料において反射した反射光を透過するハーフミラーと、前記光源と前記ハーフミラーとの間の前記光軸上に配置されており、前記光源が照射する前記照明光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるポラライザと、前記ハーフミラーと前記光軸上に配置されている前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズとの間の前記光軸上に配置されており、前記ポラライザの前記透過軸に対して進相軸及び遅相軸がそれぞれ４５度の角度をなし、前記光軸と直交する方向に移動可能な微分干渉プリズムと、前記ハーフミラーを挟んで前記試料と反対側の前記光軸上に、前記ポラライザに対してクロスニコルに配置されており、前記反射光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるアナライザと、前記第１対物レンズと前記第２対物レンズとのどちらが前記光軸上に配置されているかを識別するための対物レンズ情報を取得する取得部と、前記対物レンズ情報に応じて前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズのリタデーション位置を表示部に表示させる表示制御部と、を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a magnifying observation apparatus according to one aspect of the present invention includes a light source that irradiates a sample with illumination light, and a first objective lens that does not have a λ/4 plate. A switching unit for switchably arranging a second objective lens having a λ/4 plate at its tip on the optical axis of the illumination light; and the first objective lens or the A half mirror that transmits light reflected by the second objective lens and transmitted through the first objective lens or the second objective lens and reflected by the sample, and between the light source and the half mirror a polarizer arranged on the optical axis and transmitting only a polarized component along a transmission axis of the illumination light emitted from the light source; the half mirror and the third arranged on the optical axis; one objective lens or the second objective lens, the light A differential interference prism movable in a direction perpendicular to the axis and a half mirror are disposed on the optical axis on the opposite side of the sample from the polarizer in crossed Nicols with respect to the polarizer. , an analyzer that transmits only the polarization component along the transmission axis, and objective lens information for identifying which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis. and a display control unit that causes a display unit to display the retardation position of the first objective lens or the second objective lens according to the objective lens information.

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記微分干渉プリズムを電動制御により前記光軸と直交する方向に移動可能な駆動部と、前記駆動部を制御し、前記光軸上に配置されている前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズの前記リタデーション位置に前記微分干渉プリズムを移動させる制御部と、を備えることを特徴とする。 Further, in the magnifying observation apparatus according to one aspect of the present invention, there is provided a drive unit capable of moving the differential interference prism in a direction orthogonal to the optical axis by electric control, and a drive unit that controls the drive unit and arranges the differential interference prism on the optical axis. and a controller for moving the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens or the second objective lens.

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズのどちらが前記光軸上に配置されているか選択する指示入力を受け付ける対物レンズ選択部を備え、前記表示制御部は、前記対物レンズ選択部が受け付けた指示入力に応じて、前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズの前記リタデーション位置を表示部に表示させることを特徴とする。 Further, a magnifying observation apparatus according to an aspect of the present invention includes an objective lens selection unit that receives an instruction input to select which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis, The display control section displays the retardation position of the first objective lens or the second objective lens on the display section in accordance with the instruction input received by the objective lens selection section.

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置は、前記切替部は、前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズのどちらが前記光軸上に配置されているかを検出するセンサを有しており、前記表示制御部は、前記センサの検出結果に応じて、前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズの前記リタデーション位置を表示部に表示させることを特徴とする。 Further, in the magnifying observation apparatus according to one aspect of the present invention, the switching unit has a sensor that detects which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis. The display control unit displays the retardation position of the first objective lens or the second objective lens on the display unit according to the detection result of the sensor.

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置の制御方法は、光源が照射する照明光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるポラライザと、前記ポラライザの前記透過軸に対して進相軸及び遅相軸がそれぞれ４５度の角度をなし、前記照明光の光軸と直交する方向に移動可能な微分干渉プリズムと、前記ポラライザに対してクロスニコルに配置されており、試料からの反射光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるアナライザと、を備える拡大観察装置の制御方法であって、λ／４板を有しない第１対物レンズと先端にλ／４板が配置されている第２対物レンズとのどちらが前記光軸上に配置されているかを識別するための対物レンズ情報を取得する取得ステップと、前記対物レンズ情報に応じて前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズのリタデーション位置を表示部に表示させる表示制御ステップと、を含むことを特徴とする。 Further, a control method for a magnifying observation apparatus according to an aspect of the present invention includes a polarizer that transmits only a polarized component along a transmission axis of illumination light emitted from a light source, and a polarizer that moves with respect to the transmission axis. A differential interference prism movable in a direction perpendicular to the optical axis of the illumination light and a polarizer having a phase axis and a slow axis forming an angle of 45 degrees are arranged in crossed nicols from the sample. A control method for a magnifying observation apparatus comprising an analyzer that transmits only a polarized component along a transmission axis of reflected light, wherein the first objective lens does not have a λ/4 plate and a λ/4 plate is provided at the tip of the objective lens. an acquisition step of acquiring objective lens information for identifying which of the placed second objective lens is placed on the optical axis; 2. a display control step of displaying the retardation positions of the objective lenses on a display unit.

また、本発明の一態様に係る拡大観察装置の制御プログラムは、光源が照射する照明光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるポラライザと、前記ポラライザの前記透過軸に対して進相軸及び遅相軸がそれぞれ４５度の角度をなし、前記照明光の光軸と直交する方向に移動可能な微分干渉プリズムと、前記ポラライザに対してクロスニコルに配置されており、試料からの反射光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させるアナライザと、を備える拡大観察装置の制御プログラムであって、λ／４板を有しない第１対物レンズと先端にλ／４板が配置されている第２対物レンズとのどちらが前記光軸上に配置されているかを識別するための対物レンズ情報を取得する取得ステップと、前記対物レンズ情報に応じて前記第１対物レンズ又は前記第２対物レンズのリタデーション位置を表示部に表示させる表示制御ステップと、を拡大観察装置に実行させることを特徴とする。 Further, a control program for a magnifying observation apparatus according to an aspect of the present invention includes a polarizer that transmits only a polarized component along a transmission axis of illumination light emitted from a light source, and a polarizer that moves with respect to the transmission axis. A differential interference prism movable in a direction perpendicular to the optical axis of the illumination light and a polarizer having a phase axis and a slow axis forming an angle of 45 degrees, respectively, are arranged in crossed nicols with respect to the polarizer. A control program for a magnifying observation device comprising an analyzer that transmits only a polarized component along a transmission axis of reflected light, and a first objective lens that does not have a λ/4 plate and a λ/4 plate at the tip. an acquiring step of acquiring objective lens information for identifying which of the placed second objective lens is placed on the optical axis; and a display control step of displaying the retardation position of the objective lens on the display unit.

本発明によれば、通常のＤＩＣ観察と、フレアの影響を低減したＤＩＣ観察とを行うことができる拡大観察装置、拡大観察装置の制御方法、及び拡大観察装置の制御プログラムを実現することができる。 According to the present invention, it is possible to realize a magnifying observation apparatus, a control method for the magnifying observation apparatus, and a control program for the magnifying observation apparatus that can perform normal DIC observation and DIC observation with reduced influence of flare. .

図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram schematically showing the functional configuration of a microscope according to Embodiment 1 of the present invention. 図２は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram schematically showing the functional configuration of the microscope according to the first embodiment of the present invention; 図３は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。3 is a block diagram schematically showing the functional configuration of the microscope according to the first embodiment of the present invention; FIG. 図４は、表示部に表示される画面の一例を表す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a screen displayed on the display unit. 図５は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flow chart showing an outline of processing when observing a sample. 図６は、λ／４板を用いない通常のＤＩＣ観察時の偏光の状態を表す図である。FIG. 6 is a diagram showing the state of polarization during normal DIC observation without using a λ/4 plate. 図７は、λ／４板を用いたＤＩＣ観察時の偏光の状態を表す図である。FIG. 7 is a diagram showing the state of polarization during DIC observation using a λ/4 plate. 図８は、通常観察時の偏光の状態を表す図である。FIG. 8 is a diagram showing the state of polarization during normal observation. 図９は、表示制御部がリタデーション位置を表示部に表示させる様子を表す図である。FIG. 9 is a diagram showing how the display control unit causes the display unit to display the retardation position. 図１０は、表示制御部がリタデーション位置を表示部に表示させる様子を表す図である。FIG. 10 is a diagram showing how the display control unit causes the display unit to display the retardation position.

以下に、図面を参照して本発明に係る拡大観察装置、拡大観察装置の制御方法、及び拡大観察装置の制御プログラムの実施の形態を説明する。なお、これらの実施の形態により本発明が限定されるものではない。本発明は、通常のＤＩＣ観察と、λ／４板を用いたＤＩＣ観察とを切り替え可能な拡大観察装置、拡大観察装置の制御方法、及び拡大観察装置の制御プログラム一般に適用することができる。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a magnifying observation apparatus, a control method for a magnifying observation apparatus, and a control program for a magnifying observation apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the present invention is not limited by these embodiments. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a magnifying observation apparatus capable of switching between normal DIC observation and DIC observation using a λ/4 plate, a control method for the magnifying observation apparatus, and a control program for the magnifying observation apparatus in general.

また、図面の記載において、同一又は対応する要素には適宜同一の符号を付している。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。 Moreover, in the description of the drawings, the same or corresponding elements are given the same reference numerals as appropriate. Also, it should be noted that the drawings are schematic, and the relationship of dimensions of each element, the ratio of each element, and the like may differ from reality. Even between the drawings, there are cases where portions with different dimensional relationships and ratios are included.

（実施の形態１）
図１～図３は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の機能構成を模式的に示すブロック図である。図１は、λ／４板を用いない通常のＤＩＣ観察を行う場合の顕微鏡１を表す。図２は、λ／４板を用いてフレアの影響を低減したＤＩＣ観察を行う場合の顕微鏡１を表す。図３は、λ／４板を用いてフレアの影響を低減した通常観察を行う場合の顕微鏡１を表す。なお、図１～図３において、顕微鏡１が載置される平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面と垂直な方向をＺ方向として説明する。 (Embodiment 1)
1 to 3 are block diagrams schematically showing the functional configuration of the microscope according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a microscope 1 for normal DIC observation without using a λ/4 plate. FIG. 2 shows the microscope 1 when performing DIC observation with reduced influence of flare using a λ/4 plate. FIG. 3 shows the microscope 1 for normal observation with reduced influence of flare using a λ/4 plate. 1 to 3, the plane on which the microscope 1 is placed is defined as the XY plane, and the direction perpendicular to the XY plane is defined as the Z direction.

図１～図３に示す拡大観察装置としての顕微鏡１は、顕微鏡本体部２と、観察対象である試料３と、顕微鏡１を制御するコントローラ４と、顕微鏡本体部２が試料３を撮像した画像データに対応する画像を表示する表示部５と、を備える。 A microscope 1 as a magnifying observation apparatus shown in FIGS. 1 to 3 includes a microscope body 2, a sample 3 to be observed, a controller 4 for controlling the microscope 1, and an image of the sample 3 captured by the microscope body 2. and a display unit 5 for displaying an image corresponding to the data.

顕微鏡本体部２は、光源２１と、照明レンズ２２と、ポラライザ２３と、ハーフミラー２４と、微分干渉プリズムとしてのＤＩＣプリズム２５と、駆動部２６と、切替部としてのレボルバ２７と、第１対物レンズ２８と、アナライザ２９と、結像レンズ３０と、撮像部３１と、を備える。 The microscope main unit 2 includes a light source 21, an illumination lens 22, a polarizer 23, a half mirror 24, a DIC prism 25 as a differential interference prism, a drive unit 26, a revolver 27 as a switching unit, and a first objective. It includes a lens 28 , an analyzer 29 , an imaging lens 30 and an imaging section 31 .

光源２１は、コントローラ４の制御のもと、試料３に対して照明光を照射する。光源２１は、白色ＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）であるが、ハロゲンランプ、又はキセノンランプ等の白色光源であってもよい。照明光の波長スペクトルにおいて、光強度が最大となる波長がλである。 The light source 21 irradiates the sample 3 with illumination light under the control of the controller 4 . The light source 21 is a white LED (Light Emitting Diode), but may be a white light source such as a halogen lamp or a xenon lamp. In the wavelength spectrum of illumination light, λ is the wavelength at which the light intensity is maximum.

照明レンズ２２は、光源２１から出射された照明光を集光して略平行光にする。 The illumination lens 22 collects the illumination light emitted from the light source 21 and converts it into substantially parallel light.

ポラライザ２３は、光源２１とハーフミラー２４との間（照明光学系）に配置されており、光源２１が照射する照明光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させる。ポラライザ２３は、偏光板を用いて構成される。 The polarizer 23 is arranged between the light source 21 and the half mirror 24 (illumination optical system), and transmits only the polarized component along the transmission axis of the illumination light emitted by the light source 21 . The polarizer 23 is configured using a polarizing plate.

ハーフミラー２４は、照明光を第１対物レンズ２８に反射する一方、第１対物レンズ２８を介して入射する試料３において反射した反射光を透過する。 The half mirror 24 reflects the illumination light to the first objective lens 28 and transmits the light reflected by the sample 3 incident thereon via the first objective lens 28 .

ＤＩＣプリズム２５は、ノマルスキープリズム（又はウォラストンプリズム）である。ノマルスキープリズムは、複屈折性のある結晶を２つ、結晶軸をずらして貼り合せたものであり、入射した光の偏光を２つに分割する。ＤＩＣプリズム２５は、ハーフミラー２４と第１対物レンズ２８との間の光軸上に配置されている。ＤＩＣプリズム２５の進相軸及び遅相軸は、ポラライザ２３の透過軸に対してそれぞれ４５度の角度をなす。ＤＩＣプリズム２５は、光軸と直交する方向に移動可能とされている。以下において、ＤＩＣプリズム２５の光軸と直交する方向における位置をリタデーション位置という。リタデーションとは、分割した２つの偏光の光における位相のずれ量である。ＤＩＣプリズム２５を光軸と直交する方向に移動させてリタデーションを調整すると、表示部５に表示される画像の色味が変化する。灰色鋭敏色や赤色鋭敏色が最も観察しやすい画像の色味とされているため、駆動部２６によりＤＩＣプリズム２５を移動させて画像の色味が灰色鋭敏色や赤色鋭敏色になるようにリタデーション位置を調整する。図１に示すλ／４板を用いないＤＩＣ観察と、図２に示すλ／４板を用いるＤＩＣ観察とでは、画像の色味が最適になるＤＩＣプリズム２５のリタデーション位置が異なる。また、図３に示す通常観察では、ＤＩＣプリズム２５は光軸から退避している。 The DIC prism 25 is a Nomarski prism (or Wollaston prism). A Nomarski prism is made by bonding two birefringent crystals with their crystal axes shifted, and splits the polarized light of incident light into two. The DIC prism 25 is arranged on the optical axis between the half mirror 24 and the first objective lens 28 . A fast axis and a slow axis of the DIC prism 25 each form an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizer 23 . The DIC prism 25 is movable in a direction perpendicular to the optical axis. Hereinafter, the position in the direction perpendicular to the optical axis of the DIC prism 25 is called the retardation position. Retardation is the amount of phase shift between the two split polarized lights. When the DIC prism 25 is moved in a direction perpendicular to the optical axis to adjust the retardation, the color of the image displayed on the display section 5 changes. Since gray-sensitive colors and red-sensitive colors are considered to be the most easily observable colors of an image, retardation is performed by moving the DIC prism 25 by the drive unit 26 so that the colors of the image become gray-sensitive colors and red-sensitive colors. Adjust position. The DIC observation without using the λ/4 plate shown in FIG. 1 and the DIC observation using the λ/4 plate shown in FIG. Also, in the normal observation shown in FIG. 3, the DIC prism 25 is retracted from the optical axis.

駆動部２６は、コントローラ４による制御に基づいて、ＤＩＣプリズム２５を照明光の光軸に直交する方向に電動制御により進退させる。駆動部２６は、ステッピングモータ等を含んで構成される。ただし、ＤＩＣプリズム２５を手動により進退させる構成であってもよく、この場合、駆動部２６を設けなくてよい。 The drive unit 26 moves the DIC prism 25 back and forth in a direction perpendicular to the optical axis of the illumination light by electric control under the control of the controller 4 . The drive unit 26 is configured including a stepping motor and the like. However, the DIC prism 25 may be manually advanced and retracted, and in this case, the driving section 26 may not be provided.

レボルバ２７は、図１に示す第１対物レンズ２８、図２に示す第２対物レンズ２８Ａ、及び図３に示す第３対物レンズ２８Ｂを含む複数の対物レンズを保持する。レボルバ２７は、顕微鏡本体部２に対して回転自在に設けられ、試料３の観察に用いるいずれか１つの対物レンズを照明光の光軸上に切り替え可能に配置する。ただし、切替部として、観察時に対物レンズを手動で取り替える構成であってもよく、この場合レボルバ２７を有しない構成であってもよい。 The revolver 27 holds a plurality of objective lenses including a first objective lens 28 shown in FIG. 1, a second objective lens 28A shown in FIG. 2, and a third objective lens 28B shown in FIG. The revolver 27 is rotatably provided with respect to the microscope main body 2, and any one objective lens used for observing the sample 3 is arranged switchably on the optical axis of the illumination light. However, the switching unit may be configured to manually replace the objective lens during observation, and in this case, may be configured without the revolver 27 .

第１対物レンズ２８、第２対物レンズ２８Ａ、及び第３対物レンズ２８Ｂは、光源２１が照射する照明光を試料３に集光する。第１対物レンズ２８は、λ／４板を有しない。第２対物レンズ２８Ａ及び第３対物レンズ２８Ｂの先端には、λ／４板２８Ａａが配置されている。 The first objective lens 28 , the second objective lens 28</b>A, and the third objective lens 28</b>B condense the illumination light emitted from the light source 21 onto the sample 3 . The first objective lens 28 does not have a λ/4 plate. A λ/4 plate 28Aa is arranged at the tip of the second objective lens 28A and the third objective lens 28B.

λ／４板２８Ａａは、進相軸と遅相軸とを有し、進相軸に沿った偏光の光の位相に対して、遅相軸に沿った偏光の光の位相をλ／４遅らせて伝搬する。 The λ/4 plate 28Aa has a fast axis and a slow axis, and delays the phase of the light polarized along the slow axis by λ/4 with respect to the phase of the light polarized along the fast axis. propagates through

アナライザ２９は、ハーフミラー２４を挟んで試料３と反対側（観察光学系）の光軸上に、ポラライザに対してクロスニコルに配置されている。クロスニコルとは、ポラライザ２３とアナライザ２９との透過軸が互いに直交する配置を意味する。アナライザ２９は、反射光のうち、透過軸に沿った偏光成分のみを透過させる。アナライザ２９は、偏光板を用いて構成される。 The analyzer 29 is placed on the optical axis on the opposite side (observation optical system) to the sample 3 with the half mirror 24 interposed therebetween, and is arranged in crossed nicols with respect to the polarizer. Crossed Nicols means an arrangement in which the transmission axes of the polarizer 23 and the analyzer 29 are orthogonal to each other. The analyzer 29 transmits only the polarized component along the transmission axis of the reflected light. Analyzer 29 is configured using a polarizing plate.

結像レンズ３０は、アナライザ２９を透過して入射された試料３からの反射光を集光して観察像を結像する。 The imaging lens 30 collects the reflected light from the sample 3 that has passed through the analyzer 29 and forms an observation image.

撮像部３１は、結像レンズ３０によって結像された観察像を受光して光電変換を行うことによって、試料３の画像データを生成し、この画像データをコントローラ４に出力する。撮像部３１は、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）又はＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等を用いて構成される。 The imaging unit 31 receives an observation image formed by the imaging lens 30 and performs photoelectric conversion to generate image data of the sample 3 and outputs the image data to the controller 4 . The imaging unit 31 is configured using a CCD (Charge Coupled Device), a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), or the like.

コントローラ４は、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）及びメモリ等を用いて構成され、顕微鏡１を構成する各部に対して制御信号や各種データの送信を行うことにより、顕微鏡１の動作を統括的に制御する。 The controller 4 is configured using a CPU (Central Processing Unit), a memory, and the like, and controls the operation of the microscope 1 in an integrated manner by transmitting control signals and various data to each unit that configures the microscope 1. .

ここで、コントローラ４の詳細な構成について説明する。コントローラ４は、取得部４１と、画像処理部４２と、制御部４３と、表示制御部４４と、記録部４５と、を有する。 Here, a detailed configuration of the controller 4 will be described. The controller 4 has an acquisition unit 41 , an image processing unit 42 , a control unit 43 , a display control unit 44 and a recording unit 45 .

取得部４１は、第１対物レンズ２８と第２対物レンズ２８Ａとのどちらが光軸上に配置されているかを識別するための対物レンズ情報を取得する。具体的には、取得部４１は、後述する対物レンズ選択ボタン５２に対する指示入力に基づいて対物レンズ情報を取得する。 The acquisition unit 41 acquires objective lens information for identifying which of the first objective lens 28 and the second objective lens 28A is arranged on the optical axis. Specifically, the acquisition unit 41 acquires objective lens information based on an instruction input to an objective lens selection button 52, which will be described later.

画像処理部４２は、撮像部３１から順次入力される画像データに対して、所定の画像処理を行い、この画像処理を行った画像データを表示部５に順次出力する。具体的には、画像処理部４２は、画像データに対して、オプティカルブラック低減処理、ホワイトバランス調整処理、カラーマトリクス演算処理、ガンマ補正処理、色再現処理及びエッジ強調処理等の画像処理を行って表示部５に出力する。 The image processing unit 42 performs predetermined image processing on the image data sequentially input from the imaging unit 31 and sequentially outputs the image data subjected to this image processing to the display unit 5 . Specifically, the image processing unit 42 performs image processing such as optical black reduction processing, white balance adjustment processing, color matrix calculation processing, gamma correction processing, color reproduction processing, and edge enhancement processing on the image data. Output to the display unit 5 .

制御部４３は、顕微鏡１の駆動を制御する。具体的には、制御部４３は、駆動部２６を制御してＤＩＣプリズム２５のリタデーション位置の調整を行う。また、制御部４３は、図示しない入力装置から撮像部３１の静止画撮影を指示する指示信号が入力された場合、撮像部３１に静止画撮影を実行させる。また、制御部４３は、光源２１の点灯を制御する。 The control unit 43 controls driving of the microscope 1 . Specifically, the control section 43 controls the driving section 26 to adjust the retardation position of the DIC prism 25 . Further, when an instruction signal for instructing the imaging unit 31 to shoot a still image is input from an input device (not shown), the control unit 43 causes the imaging unit 31 to shoot a still image. Also, the control unit 43 controls lighting of the light source 21 .

表示制御部４４は、表示部５の表示態様を制御する。具体的には、表示制御部４４は、画像処理部４２が画像処理を施した画像データに対応する画像を表示部５に表示させる。また、表示制御部４４は、取得部４１が取得した対物レンズ情報に応じて、第１対物レンズ２８、第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置を表示部５に表示させる。なお、対物レンズ情報により、光軸上に第３対物レンズ２８Ｂが配置されている場合には、表示制御部４４は、表示部５にリタデーション位置を表示させない。 The display control section 44 controls the display mode of the display section 5 . Specifically, the display control unit 44 causes the display unit 5 to display an image corresponding to the image data subjected to image processing by the image processing unit 42 . Further, the display control unit 44 causes the display unit 5 to display the retardation positions of the first objective lens 28 and the second objective lens 28A according to the objective lens information acquired by the acquisition unit 41 . Note that the display control unit 44 does not cause the display unit 5 to display the retardation position when the third objective lens 28B is arranged on the optical axis according to the objective lens information.

記録部４５は、顕微鏡１を動作させる各種プログラム、プログラムの実行中に使用される各種データ及び撮像部３１が生成した画像データ等を記録する。また、第１対物レンズ２８のリタデーション位置と、第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置とを記録する。記録部４５は、揮発性メモリ及び不揮発性メモリ等を用いて構成される。 The recording unit 45 records various programs for operating the microscope 1, various data used during execution of the programs, image data generated by the imaging unit 31, and the like. Also, the retardation position of the first objective lens 28 and the retardation position of the second objective lens 28A are recorded. The recording unit 45 is configured using a volatile memory, a nonvolatile memory, and the like.

表示部５は、コントローラ４を介して入力される画像データに対応する画像や顕微鏡１の操作情報を表示する。表示部５は、液晶又は有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）等からなる表示パネルを用いて構成される。表示部５には、観察モード選択ボタン５１、対物レンズ選択ボタン５２、及びＤＩＣプリズム位置表示部５３が表示される。 The display unit 5 displays images corresponding to image data input via the controller 4 and operation information of the microscope 1 . The display unit 5 is configured using a display panel made of liquid crystal, organic EL (Electro Luminescence), or the like. An observation mode selection button 51 , an objective lens selection button 52 , and a DIC prism position display section 53 are displayed on the display section 5 .

図４は、表示部に表示される画面の一例を表す図である。図４に示すように、表示部５の画面には、観察モード選択ボタン５１と、対物レンズ選択部としての対物レンズ選択ボタン５２と、ＤＩＣプリズム位置表示部５３とが表示されている。 FIG. 4 is a diagram showing an example of a screen displayed on the display unit. As shown in FIG. 4, an observation mode selection button 51, an objective lens selection button 52 as an objective lens selection section, and a DIC prism position display section 53 are displayed on the screen of the display section 5. FIG.

観察モード選択ボタン５１は、ユーザによるＤＩＣ観察又は通常観察のどちらの観察を行うか選択する指示入力を受け付ける。観察モード選択ボタン５１は、ユーザによるＤＩＣ観察モードの選択を受け付けるＤＩＣ観察モード選択ボタン５１ａと、ユーザによる通常観察モードの選択を受け付ける通常観察選択ボタン５１ｂと、を含む。 The observation mode selection button 51 accepts an instruction input by the user for selecting either DIC observation or normal observation. The observation mode selection buttons 51 include a DIC observation mode selection button 51a for accepting selection of the DIC observation mode by the user, and a normal observation selection button 51b for accepting selection of the normal observation mode by the user.

対物レンズ選択ボタン５２は、ユーザによる第１対物レンズ又は第２対物レンズのどちらが光軸上に配置されているか選択する指示入力を受け付ける。対物レンズ選択ボタン５２は、ユーザによるλ／４板なし対物レンズ（第１対物レンズ２８）の選択を受け付けるλ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａと、ユーザによるλ／４板あり対物レンズ（第２対物レンズ２８Ａ）の選択を受け付けるλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂと、を含む。対物レンズ選択ボタン５２は、受け付けた指示入力を所定の電気信号に変換して取得部４１に送信する。 The objective lens selection button 52 receives an instruction input by the user to select which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis. The objective lens selection button 52 includes a λ/4 plateless objective lens selection button 52a for receiving the user's selection of the λ/4 plateless objective lens (first objective lens 28), and a λ/4 plateless objective lens (first objective lens 28) selected by the user. and an objective lens selection button 52b with a λ/4 plate for accepting selection of the two objective lenses 28A). The objective lens selection button 52 converts the received instruction input into a predetermined electrical signal and transmits the electrical signal to the acquisition unit 41 .

ＤＩＣプリズム位置表示部５３は、ＤＩＣプリズム２５のリタデーション位置を表示する。ＤＩＣプリズム位置表示部５３は、位置バー上にＤＩＣプリズム２５のリタデーション位置を表すＤＩＣプリズム位置表示線５３ａと、第１対物レンズ２８又は第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置を表すリタデーション指標５３ｂと、を含む。 A DIC prism position display section 53 displays the retardation position of the DIC prism 25 . The DIC prism position display section 53 has a DIC prism position display line 53a representing the retardation position of the DIC prism 25 on the position bar, and a retardation index 53b representing the retardation position of the first objective lens 28 or the second objective lens 28A. include.

ＤＩＣ観察モード選択ボタン５１ａ、通常観察選択ボタン５１ｂ、λ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａ、及びλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂの各ボタンへの指示入力は、例えばマウスやタッチパッド等の入力装置を操作することにより行われる。また、ＤＩＣプリズム位置表示部５３の位置バー上の所望の位置を選択すると、制御部４３の制御に応じて駆動部２６が駆動し、ＤＩＣプリズム２５の位置が選択した位置まで移動する機能を備えていてもよい。 Instruction input to each button of the DIC observation mode selection button 51a, normal observation selection button 51b, objective lens selection button without λ/4 plate 52a, and objective lens selection button with λ/4 plate 52b can be performed using, for example, a mouse or a touch pad. is performed by operating the input device of Further, when a desired position on the position bar of the DIC prism position display section 53 is selected, the driving section 26 is driven according to the control of the control section 43, and the position of the DIC prism 25 is moved to the selected position. may be

つぎに、第１対物レンズ２８を用いて試料３を観察する手順を説明する。図５は、試料を観察する際の処理の概要を示すフローチャートである。図５に示すように、まず、制御部４３は、ユーザによりＤＩＣ観察モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ１）。具体的には、制御部４３は、表示部５の画面のＤＩＣ観察モード選択ボタン５１ａが押下されたか否かを判定する。 Next, a procedure for observing the sample 3 using the first objective lens 28 will be described. FIG. 5 is a flow chart showing an outline of processing when observing a sample. As shown in FIG. 5, first, the control unit 43 determines whether or not the user has selected the DIC observation mode (step S1). Specifically, the control unit 43 determines whether or not the DIC observation mode selection button 51a on the screen of the display unit 5 has been pressed.

制御部４３がユーザによりＤＩＣ観察モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、取得部４１は、対物レンズ情報を取得する（ステップＳ２：取得ステップ）。具体的には、取得部４１は、表示部５のλ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａ又はλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂが押下されて、所定の信号を受信することにより、対物レンズ情報を取得する。 When the control unit 43 determines that the DIC observation mode has been selected by the user (step S1: Yes), the acquisition unit 41 acquires objective lens information (step S2: acquisition step). Specifically, when the objective lens selection button 52a without the λ/4 plate or the objective lens selection button 52b with the λ/4 plate of the display unit 5 is pressed and a predetermined signal is received, the acquisition unit 41 selects the objective lens. Get lens information.

そして、制御部４３は、対物レンズ情報に応じて、λ／４板なし対物レンズ（第１対物レンズ２８）が光軸上に配置されたか否かを判定する（ステップＳ３）。 Then, the control unit 43 determines whether or not the objective lens without the λ/4 plate (the first objective lens 28) is arranged on the optical axis according to the objective lens information (step S3).

制御部４３が、第１対物レンズ２８が光軸上に配置されたと判定した場合（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、制御部４３は、記録部４５からλ／４板なし対物レンズ（第１対物レンズ２８）のリタデーション位置を読み出し、駆動部２６を制御してＤＩＣプリズム２５を読み出した第１対物レンズ２８のリタデーション位置に移動させる（ステップＳ４）。 When the control unit 43 determines that the first objective lens 28 is arranged on the optical axis (step S3: Yes), the control unit 43 selects from the recording unit 45 an objective lens without a λ/4 plate (the first objective lens 28 ), and controls the drive unit 26 to move the DIC prism 25 to the read retardation position of the first objective lens 28 (step S4).

さらに、表示制御部４４は、読み出した第１対物レンズ２８のリタデーション位置を表示部５に表示させる（ステップＳ５：表示制御ステップ）。 Further, the display control unit 44 causes the display unit 5 to display the read retardation position of the first objective lens 28 (step S5: display control step).

この状態では、λ／４板を用いない通常のＤＩＣ観察をすることができる。図６は、λ／４板を用いない通常のＤＩＣ観察時の偏光の状態を表す図である。図６において、左側には各光学素子を、中央には各光学素子の偏光方向を、右側には照明光の偏光を図示した。なお、図６において、照明レンズ２２、ハーフミラー２４、第１対物レンズ２８及び結像レンズ３０は図示を省略した。 In this state, normal DIC observation can be performed without using the λ/4 plate. FIG. 6 is a diagram showing the state of polarization during normal DIC observation without using a λ/4 plate. In FIG. 6, the left side shows each optical element, the center shows the polarization direction of each optical element, and the right side shows the polarization of illumination light. 6, the illustration of the illumination lens 22, the half mirror 24, the first objective lens 28, and the imaging lens 30 is omitted.

光源２１から照射される照明光は円偏光Ｐ１である。そして、照明光は、ポラライザ２３によって、ポラライザ２３の透過軸Ａ１に沿った直線偏光Ｐ２になる。直線偏光Ｐ２に対して、ＤＩＣプリズム２５の進相軸Ａ２と遅相軸Ａ３とはそれぞれ４５度をなす。ＤＩＣプリズム２５を伝搬した光は、分離して進む直交する２つの直線偏光Ｐ３となる。具体的には、進相軸Ａ２に沿った偏光の光と、遅相軸Ａ３に沿った偏光の光に分離され、進相軸Ａ２に沿った偏光の光の位相に対して、遅相軸Ａ３に沿った光の位相が遅れて進む。その後、試料３において反射された反射光は、再度ＤＩＣプリズム２５を伝搬する。ＤＩＣプリズム２５を伝搬した光は、分離した光の位相差により、直線偏光Ｐ２と直交する直線偏光Ｐ４となる。この直線偏光Ｐ４は、ポラライザ２３とクロスニコルに配置されたアナライザ２９の透過軸Ａ４と平行であるため、試料３からの反射光はアナライザ２９を通過し、撮像部３１に入射する。 The illumination light emitted from the light source 21 is circularly polarized light P1. Then, the illumination light is converted by the polarizer 23 into linearly polarized light P2 along the transmission axis A1 of the polarizer 23 . The fast axis A2 and the slow axis A3 of the DIC prism 25 each form an angle of 45 degrees with respect to the linearly polarized light P2. The light propagated through the DIC prism 25 becomes two orthogonal linearly polarized light beams P3 that travel separately. Specifically, the light polarized along the fast axis A2 and the light polarized along the slow axis A3 are separated. The phase of light along A3 lags behind. After that, the reflected light reflected by the sample 3 propagates through the DIC prism 25 again. The light propagated through the DIC prism 25 becomes linearly polarized light P4 orthogonal to the linearly polarized light P2 due to the phase difference of the separated light. Since this linearly polarized light P4 is parallel to the transmission axis A4 of the analyzer 29 arranged in cross Nicols with the polarizer 23 , the reflected light from the sample 3 passes through the analyzer 29 and enters the imaging section 31 .

ＤＩＣ観察では、試料３の表面に微小な凹凸がある場合、その面において分離した２つの偏光の光に光路差が発生する。この光路差により、位相のずれが発生し、２つの偏光の光が干渉し、明暗のコントラストが発生する。一方、平坦な面では光路差が発生しない。この光路差が発生しない部分では、位相のずれが発生しないため、２つの偏光の光が強め合うため、コントラストは発生しない。ＤＩＣ観察では、試料３の凹凸をコントラストに変換して観察することができる。 In DIC observation, if the surface of the sample 3 has minute unevenness, an optical path difference occurs between the two polarized lights separated on that surface. Due to this optical path difference, a phase shift occurs, the two polarized light beams interfere, and a bright and dark contrast occurs. On the other hand, no optical path difference occurs on a flat surface. In the portion where this optical path difference does not occur, no phase shift occurs, so the two polarized light beams strengthen each other, and no contrast occurs. In DIC observation, the unevenness of the sample 3 can be converted into contrast for observation.

その後、制御部４３は、観察終了を指示する指示入力があったか否かを判定する（ステップＳ６）。 After that, the control unit 43 determines whether or not an instruction to end observation has been input (step S6).

制御部４３が観察終了を指示する指示入力があったと判定した場合（ステップＳ６：Ｙｅｓ）、観察を終了する。一方、制御部４３が観察終了を指示する指示入力がなかったと判定した場合（ステップＳ６：Ｎｏ）、ステップＳ１に戻り、処理が継続される。 If the control unit 43 determines that an instruction to end the observation has been input (step S6: Yes), the observation ends. On the other hand, when the control unit 43 determines that there is no command input to end observation (step S6: No), the process returns to step S1 and continues.

ステップＳ３において、制御部４３がλ／４板なし対物レンズが光軸上に配置されていない、すなわち制御部４３がλ／４板あり対物レンズ（第２対物レンズ２８Ａ）が光軸上に配置されたと判定した場合（ステップＳ３：Ｎｏ）、制御部４３は、記録部４５からλ／４板あり対物レンズ（第２対物レンズ２８Ａ）のリタデーション位置を読み出し、駆動部２６を制御してＤＩＣプリズム２５を読み出した第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置に移動させる（ステップＳ７）。 In step S3, the control unit 43 determines that the objective lens without the λ/4 plate is not placed on the optical axis, that is, the control unit 43 determines that the objective lens with the λ/4 plate (second objective lens 28A) is placed on the optical axis. If it is determined that the DIC prism 25 is moved to the read retardation position of the second objective lens 28A (step S7).

さらに、表示制御部４４は、読み出した第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置を表示部５に表示させる（ステップＳ８：表示制御ステップ）。 Further, the display control unit 44 causes the display unit 5 to display the read retardation position of the second objective lens 28A (step S8: display control step).

この状態では、λ／４板を用いてフレアの影響を低減したＤＩＣ観察をすることができる。図７は、λ／４板を用いたＤＩＣ観察時の偏光の状態を表す図である。図７においても図６と同様に、左側には各光学素子を、中央には各光学素子の偏光方向を、右側には照明光の偏光を図示し、一部の光学素子の記載を省略した。 In this state, DIC observation can be performed with reduced influence of flare using a λ/4 plate. FIG. 7 is a diagram showing the state of polarization during DIC observation using a λ/4 plate. In FIG. 7, as in FIG. 6, each optical element is shown on the left side, the polarization direction of each optical element is shown in the center, and the polarization of the illumination light is shown on the right side, and some optical elements are omitted. .

図７に示すように、λ／４板２８Ａａが挿入されていることにより、λ／４板２８Ａａの進相軸Ａ５に沿った偏光の光の位相に対して、λ／４板２８Ａａの遅相軸Ａ６に沿った偏光の光の位相が、λ／４板２８Ａａを２回通過することによりλ／２遅れる。ＤＩＣプリズム２５は、第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置に配置されている。第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置では、ＤＩＣプリズム２５が第１対物レンズ２８のリタデーション位置に配置されている場合に比べて、進相軸Ａ２に沿った偏光の光の位相と、遅相軸Ａ３に沿った光の位相とがλ／２ずれるリタデーション位置にＤＩＣプリズム２５が配置されている。その結果、λ／４板２８Ａａによって生じる位相差をＤＩＣプリズム２５が補償する。そして、λ／４板を用いない場合と同様に、ＤＩＣプリズム２５を伝搬した光は、分離した光の位相差により、直線偏光Ｐ２と直交する直線偏光Ｐ４となる。すなわち、顕微鏡１によれば、従来の顕微鏡では行うことができない、λ／４板を用いてフレアの影響を抑制したＤＩＣ観察を行うことができる。 As shown in FIG. 7, by inserting the λ/4 plate 28Aa, the λ/4 plate 28Aa retards the phase of the light polarized along the fast axis A5 of the λ/4 plate 28Aa. The phase of the light polarized along the axis A6 is delayed by λ/2 by passing through the λ/4 plate 28Aa twice. The DIC prism 25 is arranged at the retardation position of the second objective lens 28A. At the retardation position of the second objective lens 28A, compared to the case where the DIC prism 25 is arranged at the retardation position of the first objective lens 28, the phase of the light polarized along the fast axis A2 and the slow axis A3 A DIC prism 25 is arranged at a retardation position where the phase of light along the .lambda. As a result, the DIC prism 25 compensates for the phase difference caused by the λ/4 plate 28Aa. Then, similarly to the case where the λ/4 plate is not used, the light propagated through the DIC prism 25 becomes linearly polarized light P4 orthogonal to the linearly polarized light P2 due to the phase difference of the separated light. That is, according to the microscope 1, it is possible to perform DIC observation using a λ/4 plate while suppressing the influence of flare, which cannot be performed with conventional microscopes.

ステップＳ１において、制御部４３がユーザによりＤＩＣ観察モードが選択されていないと判定した場合（ステップＳ１：Ｎｏ）、制御部４３は、ユーザにより通常観察モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ９）。 In step S1, when the control unit 43 determines that the DIC observation mode has not been selected by the user (step S1: No), the control unit 43 determines whether or not the normal observation mode has been selected by the user (step S9).

制御部４３がユーザにより通常観察モードが選択されたと判定した場合（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、制御部４３は、駆動部２６を制御してＤＩＣプリズム２５を光軸上から退避させる（ステップＳ１０）。 When the control unit 43 determines that the normal observation mode has been selected by the user (step S9: Yes), the control unit 43 controls the driving unit 26 to retract the DIC prism 25 from the optical axis (step S10).

この状態では、λ／４板を用いてフレアの影響を低減した通常観察をすることができる。図８は、通常観察時の偏光の状態を表す図である。図８においても図６と同様に、左側には各光学素子を、中央には各光学素子の偏光方向を、右側には照明光の偏光を図示し、一部の光学素子の記載を省略した。 In this state, a λ/4 plate can be used for normal observation with reduced influence of flare. FIG. 8 is a diagram showing the state of polarization during normal observation. In FIG. 8, as in FIG. 6, each optical element is shown on the left side, the polarization direction of each optical element is shown in the center, and the polarization of the illumination light is shown on the right side, and description of some optical elements is omitted. .

光源２１から照射される照明光は円偏光Ｐ１である。そして、照明光は、ポラライザ２３によって、ポラライザ２３の透過軸Ａ１に沿った直線偏光Ｐ２になる。直線偏光Ｐ２に対して、λ／４板２８Ａａの進相軸Ａ２及び遅相軸Ａ３はそれぞれ４５度をなすから、λ／４板２８Ａａを伝搬した光は円偏光Ｐ５となる。その後、試料３において反射された反射光は、再度λ／４板２８Ａａを伝搬する。λ／４板２８Ａａを伝搬した光は、直線偏光Ｐ２に戻る。直線偏光Ｐ２とアナライザ２９の透過軸Ａ４とが直交しているため、フレアを低減した画像を観察することができる。 The illumination light emitted from the light source 21 is circularly polarized light P1. Then, the illumination light is converted by the polarizer 23 into linearly polarized light P2 along the transmission axis A1 of the polarizer 23 . Since the fast axis A2 and the slow axis A3 of the λ/4 plate 28Aa form 45 degrees with respect to the linearly polarized light P2, the light propagated through the λ/4 plate 28Aa becomes circularly polarized light P5. After that, the reflected light reflected by the sample 3 propagates through the λ/4 plate 28Aa again. The light propagated through the λ/4 plate 28Aa returns to the linearly polarized light P2. Since the linearly polarized light P2 and the transmission axis A4 of the analyzer 29 are orthogonal, an image with reduced flare can be observed.

ステップＳ９において、制御部４３がユーザにより通常観察モードが選択されていないと判定した場合（ステップＳ９：Ｎｏ）、ステップＳ１に戻り処理が継続される。 In step S9, when the control unit 43 determines that the normal observation mode has not been selected by the user (step S9: No), the process returns to step S1 and continues.

以上説明したように、実施の形態１に係る顕微鏡１によれば、λ／４板を用いない通常のＤＩＣ観察、λ／４板２８Ａａを用いてフレアの影響を低減したＤＩＣ観察、及びλ／４板２８Ａａを用いてフレアの影響を低減した通常観察を１つの顕微鏡１で行うことができる。さらに、顕微鏡１によれば、観察方法を切り替える際に、制御部４３及び駆動部２６がＤＩＣプリズム２５を自動的に移動させるので、色味を調整する手間やＤＩＣプリズム２５を挿入又は退避させる手間がかからない。また、顕微鏡１では、観察方法を切り替える際に、ポラライザ２３やアナライザ２９を回転させる必要がないため、構成を簡易にすることができる。 As described above, according to the microscope 1 according to Embodiment 1, the normal DIC observation without using the λ/4 plate, the DIC observation with reduced influence of flare using the λ/4 plate 28Aa, and the λ/4 plate Normal observation with reduced influence of flare can be performed with one microscope 1 using the four plates 28Aa. Furthermore, according to the microscope 1, when the observation method is switched, the control unit 43 and the driving unit 26 automatically move the DIC prism 25. Therefore, it is troublesome to adjust the color and to insert or withdraw the DIC prism 25. does not apply. Moreover, in the microscope 1, since it is not necessary to rotate the polarizer 23 and the analyzer 29 when switching the observation method, the configuration can be simplified.

なお、第１対物レンズ２８及び第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置は、予めリタデーション位置の調整を行い、観察に適した色味になるリタデーション位置を記録部４５に記録しておけばよい。ただし、リタデーション位置と位相のずれ量との関係が既知である場合、第１対物レンズ２８又は第２対物レンズ２８Ａのいずれか一方のリタデーション位置からλ／２位相をずらすことにより、他方のリタデーション位置を算出してもよい。具体的には、例えば駆動部２６のステッピングモータに１パルス出力した場合に、位相がずれる量がわかる場合には、位相がλ／２ずれるパルス数を算出すれば、リタデーション位置を算出することができる。 The retardation positions of the first objective lens 28 and the second objective lens 28A may be adjusted in advance and recorded in the recording section 45 at the retardation positions at which colors are suitable for observation. However, if the relationship between the retardation position and the amount of phase shift is known, by shifting the retardation position of either the first objective lens 28 or the second objective lens 28A by λ/2 from the retardation position of the other one, may be calculated. Specifically, for example, when one pulse is output to the stepping motor of the drive unit 26, if the amount of phase shift is known, the retardation position can be calculated by calculating the number of pulses that shift the phase by λ/2. can.

（変形例１）
上述した実施の形態１では、観察方法を切り替える際に、制御部４３及び駆動部２６がＤＩＣプリズム２５を自動的に移動させる例を説明したがこれに限られない。顕微鏡１は、ＤＩＣプリズム２５を手動で動かす構成であってもよい。この場合、駆動部２６は不要である。 (Modification 1)
In Embodiment 1 described above, an example in which the control unit 43 and the driving unit 26 automatically move the DIC prism 25 when switching the observation method has been described, but the present invention is not limited to this. The microscope 1 may be configured to manually move the DIC prism 25 . In this case, the driving section 26 is unnecessary.

表示制御部４４は、光軸上に配置されている第１対物レンズ２８又は第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置を表示部５に表示させる。図９、図１０は、表示制御部がリタデーション位置を表示部に表示させる様子を表す図である。図４に示すλ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａが押下された状態から、図９に示すλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂが押下された状態に切り替えられた場合、表示制御部４４は、破線に示す第１対物レンズ２８のリタデーション位置からリタデーション指標５３ｂの第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置に表示部５の表示を切り替える。そして、ユーザは、手動によりＤＩＣプリズム２５を距離Ｂだけ動かし、図１０に示す第２対物レンズ２８Ａのリタデーション位置に移動させる。 The display control unit 44 causes the display unit 5 to display the retardation position of the first objective lens 28 or the second objective lens 28A arranged on the optical axis. 9 and 10 are diagrams showing how the display control unit causes the display unit to display the retardation position. When the state in which the objective lens selection button 52a without the λ/4 plate shown in FIG. 4 is pressed is switched to the state in which the objective lens selection button 52b with the λ/4 plate shown in FIG. switches the display on the display unit 5 from the retardation position of the first objective lens 28 indicated by the dashed line to the retardation position of the second objective lens 28A indicated by the retardation index 53b. Then, the user manually moves the DIC prism 25 by a distance B to the retardation position of the second objective lens 28A shown in FIG.

変形例１によれば、λ／４板を有さない第１対物レンズ２８とλ／４板を有する第２対物レンズ２８Ａとが切り替えられた場合に、光軸上に配置された対物レンズに応じたリタデーション位置が表示部５に表示される。その結果、ユーザは表示された位置にＤＩＣプリズム２５を動かすことにより、対物レンズを切り替える際にリタデーション位置を探す手間がかからない。 According to Modification 1, when the first objective lens 28 without the λ/4 plate and the second objective lens 28A with the λ/4 plate are switched, the objective lens arranged on the optical axis has The corresponding retardation position is displayed on the display section 5 . As a result, by moving the DIC prism 25 to the displayed position, the user does not have to search for the retardation position when switching the objective lens.

（変形例２）
上述した実施の形態１では、ユーザが対物レンズ選択ボタン５２のλ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａ又はλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂを押下することにより、ＤＩＣプリズム２５を移動させる例を説明したがこれに限られない。 (Modification 2)
In the first embodiment described above, the DIC prism 25 is moved by pressing the objective lens selection button 52a without the λ/4 plate or the objective lens selection button 52b with the λ/4 plate of the objective lens selection button 52. was explained, but it is not limited to this.

切替部としてのレボルバ２７は、第１対物レンズ２８又は第２対物レンズ２８Ａのどちらが光軸上に配置されているかを検出するセンサを有している。そして、取得部４１は、センサから第１対物レンズ２８又は第２対物レンズ２８Ａのどちらが光軸上に配置されているかを認識するための対物レンズ情報を取得する。 The revolver 27 as a switching unit has a sensor that detects which of the first objective lens 28 and the second objective lens 28A is arranged on the optical axis. Then, the acquiring unit 41 acquires objective lens information for recognizing which of the first objective lens 28 and the second objective lens 28A is arranged on the optical axis from the sensor.

変形例２によれば、ユーザが対物レンズに応じて対物レンズ選択ボタン５２のλ／４板なし対物レンズ選択ボタン５２ａ又はλ／４板あり対物レンズ選択ボタン５２ｂを押下する手間がかからない。 According to Modification 2, the user does not need to press the objective lens selection button 52a without the λ/4 plate or the objective lens selection button 52b with the λ/4 plate of the objective lens selection button 52 according to the objective lens.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、以上のように表し、かつ記述した特定の詳細及び代表的な実施の形態に限定されるものではない。従って、添付のクレーム及びその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神又は範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Therefore, the broader aspects of the invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various changes may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept defined by the appended claims and equivalents thereof.

１顕微鏡
２顕微鏡本体部
３試料
４コントローラ
５表示部
２１光源
２２照明レンズ
２３ポラライザ
２４ハーフミラー
２５ＤＩＣプリズム
２６駆動部
２７レボルバ
２８第１対物レンズ
２８Ａ第２対物レンズ
２８Ａａ λ／４板
２８Ｂ第３対物レンズ
２９アナライザ
３０結像レンズ
３１撮像部
４１取得部
４２画像処理部
４３制御部
４４表示制御部
４５記録部
５１観察モード選択ボタン
５１ａＤＩＣ観察モード選択ボタン
５１ｂ通常観察選択ボタン
５２対物レンズ選択ボタン
５２ａ λ／４板なし対物レンズ選択ボタン
５２ｂ λ／４板あり対物レンズ選択ボタン
５３ＤＩＣプリズム位置表示部
５３ａＤＩＣプリズム位置表示線
５３ｂリタデーション指標 1 microscope 2 microscope body 3 sample 4 controller 5 display 21 light source 22 illumination lens 23 polarizer 24 half mirror 25 DIC prism 26 drive unit 27 revolver 28 first objective lens 28A second objective lens 28Aa λ/4 plate 28B third objective Lens 29 Analyzer 30 Imaging lens 31 Imaging unit 41 Acquisition unit 42 Image processing unit 43 Control unit 44 Display control unit 45 Recording unit 51 Observation mode selection button 51a DIC observation mode selection button 51b Normal observation selection button 52 Objective lens selection button 52a λ Objective lens selection button without /4 plate 52b Objective lens selection button with λ/4 plate 53 DIC prism position display section 53a DIC prism position display line 53b Retardation index

Claims

a light source that irradiates the sample with illumination light;
a switching unit arranged switchably on the optical axis of the illumination light between a first objective lens having no λ/4 plate and a second objective lens having a λ/4 plate at its tip;
While being reflected by the first objective lens or the second objective lens arranged on the optical axis, the reflected light reflected by the sample incident through the first objective lens or the second objective lens is a transparent half mirror,
a polarizer disposed on the optical axis between the light source and the half mirror and transmitting only a polarized component along a transmission axis of the illumination light emitted by the light source;
arranged on the optical axis between the half mirror and the first objective lens or the second objective lens arranged on the optical axis, and a fast axis with respect to the transmission axis of the polarizer; and a differential interference prism whose slow axes form an angle of 45 degrees and are movable in a direction orthogonal to the optical axis;
and an analyzer arranged on the optical axis on the opposite side of the sample with the half mirror interposed therebetween in crossed nicols with respect to the polarizer, and transmitting only the polarized component along the transmission axis of the reflected light. ,
an acquisition unit that acquires objective lens information for identifying which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis;
a display control unit that causes a display unit to display the retardation position of the first objective lens or the second objective lens according to the objective lens information;
a driving unit capable of moving the differential interference prism in a direction orthogonal to the optical axis by electric control;
a control unit that controls the drive unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens or the second objective lens arranged on the optical axis;
equipped with,
The switching unit has a sensor that detects which of the first objective lens and the second objective lens is arranged on the optical axis,
The control unit
when the sensor detects that the first objective lens is arranged on the optical axis, controlling the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens;
When the sensor detects that the second objective lens is positioned on the optical axis, the retardation of the second objective lens is shifted by λ/2 phase from the retardation position of the first objective lens. calculating a position and controlling the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the second objective lens; A magnifying observation device characterized by:

2. Magnification observation according to claim 1, wherein the display control unit causes the display unit to display the retardation position of the first objective lens or the second objective lens according to the detection result of the sensor. Device.

a polarizer that transmits only the polarized component along the transmission axis of the illumination light emitted by the light source;
a differential interference prism movable in a direction orthogonal to the optical axis of the illumination light, the fast axis and the slow axis forming an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizer;
an analyzer arranged in crossed nicols with respect to the polarizer and transmitting only the polarized light component along the transmission axis out of the light reflected from the sample;
a driving unit capable of moving the differential interference prism in a direction orthogonal to the optical axis by electric control;
a control unit that controls the drive unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens or the second objective lens arranged on the optical axis;
A control method for a magnifying observation device comprising
Which of the first objective lens without a λ/4 plate and the second objective lens with a λ/4 plate at the tip is arranged on the optical axis is determined.Detection detected by the sensora step;
detection result in the detection step a display control step of displaying the retardation position of the first objective lens or the second objective lens on a display unit according to
In the detecting step, when it is detected that the first objective lens is arranged on the optical axis, the control unit controls the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens. When it is detected in the detecting step that the second objective lens is placed on the optical axis, the control unit shifts the retardation position of the first objective lens by λ/2 phase to shift the a driving step of calculating the retardation position of the second objective lens and controlling the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the second objective lens;
A control method for a magnifying observation device, comprising:

a polarizer that transmits only the polarized component along the transmission axis of the illumination light emitted by the light source;
a differential interference prism movable in a direction orthogonal to the optical axis of the illumination light, the fast axis and the slow axis forming an angle of 45 degrees with respect to the transmission axis of the polarizer;
an analyzer arranged in crossed nicols with respect to the polarizer and transmitting only the polarized light component along the transmission axis out of the light reflected from the sample;
a driving unit capable of moving the differential interference prism in a direction orthogonal to the optical axis by electric control;
a control unit that controls the drive unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens or the second objective lens arranged on the optical axis;
A control program for a magnifying observation device comprising
Which of the first objective lens without a λ/4 plate and the second objective lens with a λ/4 plate at the tip is arranged on the optical axis is determined.Detection detected by the sensora step;
detection result in the detection step a display control step of displaying the retardation position of the first objective lens or the second objective lens on a display unit according to
In the detecting step, when it is detected that the first objective lens is arranged on the optical axis, the control unit controls the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the first objective lens. When it is detected in the detecting step that the second objective lens is placed on the optical axis, the control unit shifts the retardation position of the first objective lens by λ/2 phase to shift the a driving step of calculating the retardation position of the second objective lens and controlling the driving unit to move the differential interference prism to the retardation position of the second objective lens;
A control program for a magnifying observation device, characterized in that it causes the magnifying observation device to execute: