JP6129706B2 - 化合物半導体素子の製造方法およびエッチング液 - Google Patents
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Description
CdTeやCdZnTeは、原子番号が比較的大きい元素からなるので、放射線(硬X線やγ線)の検出効率が高い。このため、CdTeやCdZnTeを用いた放射線検出器(以下CdTe系検出器)は、他の化合物半導体を用いたものよりも小型かつ高性能なものとすることができる。
また、CdTe系検出器は、放射線を直接電流に変換する仕組みなので、ヨウ化ナトリウム(NaI)に代表されるルミネッセンスを介した間接的な動作機構のシンチレータ検出器に比べ、検出効率およびエネルギー分解能において優れている。
また、CdTeやCdZnTeは、バンドギャップが大きいので、熱の影響を受けにくく、動作時の漏れ電流が小さい。このため、CdTe系検出器は、室温で動作可能となり、動作させるために冷却装置が必要なシリコン(Si)やゲルマニウム(Ge)を用いた検出器に比べ、装置を小型化でき、更に、高いバイアス電流を印加することで高いエネルギー分解能を発揮することができる(非特許文献1参照)。
この行列状のピクセル電極を形成するには、まず、電極を形成しない箇所に電極材が析出しないようにするため、基板表面を絶縁膜で被覆し、電極を形成する箇所のみ絶縁膜を除去する。ここで、パターンマスクの形成は、基板表面にSiO2膜をCVD法やスパッタ法等のPVD法で形成することで行われている。そして、基板と電極材との界面に欠陥が生じにくくするために、パターンマスクの除去された基板表面の露出面をエッチング処理し、基板の電極を形成する箇所の加工変質層や基板表面に付着した不純物を除去する必要がある。このとき、基板の電極を形成しない箇所は絶縁膜で被覆されたままとなっているので、電極を形成する箇所のみエッチングが行われる。
また、電極形成の前に行われる基板表面のエッチングには、主にブロメタや臭素の水溶液等が用いられるが、これらはフォトレジストを侵食してしまうため、フォトレジストをSiO2膜の代わりとして用いることは出来なかった。
テルル化カドミウム結晶またはテルル化亜鉛カドミウム結晶を基板とする化合物半導体素子の製造方法において、
前記基板を鏡面研磨した後、この基板の表面に直接フォトレジストを塗布し、
前記フォトレジストに所定パターンの開口を形成することにより、前記開口から基板表面の一部を露出させ、
前記開口から露出する基板表面を、臭化水素、臭素、および水からなり、臭化水素、臭素、水のモル濃度の比率が0.5〜1:0.005〜0.01:5〜6となっているエッチング液を用いてエッチングし、
その後、前記開口から露出する基板表面に電極を形成することを特徴とする。
まず、半導体素子の一例として放射線検出素子10の概略構成について説明する。図1は、放射線検出素子10の斜視図である。
放射線検出素子10は、図1に示すように、基板1、基板1の一方の主面(以下A面1a)に形成されたピクセル電極3、基板1の他方の主面(以下B面1b)形成され共通電極4からなる。
ピクセル電極3は、金属(例えば白金(Pt))の薄膜で矩形状に形成されるとともに、互いに所定間隔を空けて行列状に複数配列されている。
共通電極4は、金属(例えばPt)の薄膜で全体を覆うように形成されている。以下、ピクセル電極3と共通電極4を区別しない場合は、両電極を合わせて電極3,4と表記する。
次に、上記放射線検出素子10を製造する方法の概要について説明する。図2は、放射線検出素子10の製造工程を示す図である。
放射線検出素子10は、開口形成工程、エッチング工程、電極形成工程、ダイシング工程を経て製造される。
以上の各工程を経ることにより、放射線検出素子10が製造される。
次に、本実施形態の製造方法で用いたエッチング液と、従来用いられてきたエッチング液とでは、製造過程でどのような違いが出てくるのかについて、実際に製造した素子(実施例、比較例)を例にして説明する。
まず、本実施形態の製造方法で用いたエッチング液の場合について説明する。
CdTe基板上にピクセル電極を形成するに当たり、CdTe基板のA面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィー法により電極パターン状の開口が形成された状態で固着形成した。そして、フォトレジスト膜で被覆されたCdTe基板を、臭化水素:臭素:水をモル濃度にして1:0.006:6の比率となるように混合したエッチング液を用いて基板をエッチングし、A面の露出部分に存在する不純物や、基板の切出し工程で発生する加工変質層などを除去した。その結果、A面の電極形成用に露出させた部分のみが1〜2μm程度除去された。また、フォトレジスト自体は侵食されることなく、安定的に電極パターン状の開口を維持していた。また、フォトレジスト膜とA面の露出部分との境界領域では、フォトレジスト膜の開口の内周面がエッチング処理によって侵食されることなく、急峻な境界面となっていた。次に、レジストパターン付きのCdTe基板上に、無電解めっき法によって、A面の露出部分に、白金の金属薄膜層を形成した。その後、フォトレジスト膜を剥離液によって除去し、CdTe基板上に白金のピクセル電極が形成された。形成された白金電極は、フォトレジスト膜との境界部分において欠落は見られず、整然と配列されていた。また、この素子を回路に組み込み電気的特性を調べたところ、良好なオーミック特性を得ることができた。
次に、従来用いられてきたエッチング液の場合について説明する。
まず、CdTe基板上に、実施例1と同様の方法でレジストパターンを形成した基板を用意した。次に、電極形成領域となる基板露出面をエッチングする溶液として、臭素:メタノールを2:100で混合した溶液(2vol%ブロム―メタノール溶液)を用いて基板のエッチングを行った。その結果、フォトレジストそのものが侵食され、レジストパターンが消失してしまい、ピクセル電極の形成を行うことができなかった。
例えば、上記実施形態では、半導体素子を放射線検出素子としたが、本発明は、CdTe単結晶またはCdZnTe単結晶を基板とし、その表面に電極が形成された素子全般に適用することができる。
また、上記実施形態では、電極の形成工程において、無電解めっき法による白金電極の形成例を示したが、電極の形成方法は、本実施例に限定されることなく、電解めっき法やスパッタリング法、CVD法などによっても金属膜を基板露出面に形成することもできる。
1 ウエハ(基板)
1a A面
1b B面
2 フォトレジスト膜
2a 開口
3 ピクセル電極
4 共通電極
Claims (2)
- テルル化カドミウム結晶またはテルル化亜鉛カドミウム結晶を基板とする化合物半導体素子の製造方法において、
前記基板を鏡面研磨した後、この基板の表面に直接フォトレジストを塗布し、
前記フォトレジストに所定パターンの開口を形成することにより、前記開口から基板表面の一部を露出させ、
前記開口から露出する基板表面を、臭化水素、臭素、および水からなり、臭化水素、臭素、水のモル濃度の比率が0.5〜1:0.005〜0.01:5〜6となっているエッチング液を用いてエッチングし、
その後、前記開口から露出する基板表面に電極を形成することを特徴とする化合物半導体素子の製造方法。 - テルル化カドミウム結晶またはテルル化亜鉛カドミウム結晶からなる基板をエッチングするためのエッチング液であって、
臭化水素、臭素、および水からなり、
それらのモル濃度の比率が0.5〜1:0.005〜0.01:5〜6となっていることを特徴とするエッチング液。
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