JP6128439B2 - Multi-sided suspension board, suspension board, suspension, suspension with head and hard disk drive - Google Patents

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Description

本発明は、多面付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブに係り、とりわけ、テール領域において強度向上を図ることができる多面付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブに関する。   The present invention relates to a suspension substrate with multiple surfaces, a suspension substrate, a suspension, a suspension with a head, and a hard disk drive. Related suspensions and hard disk drives.

一般に、ハードディスクドライブ(HDD)は、データが記憶されるディスクに対してデータの書き込みおよび読み取りを行う磁気ヘッドスライダが実装されたサスペンション用基板を備えている。このようなサスペンション用基板は、磁気ヘッドスライダが実装されるヘッド領域から、外部接続基板(FPC基板、フレキシブルプリント基板)が接合されるテール領域に延びるように形成されており、金属支持層と、金属支持層に絶縁層を介して積層された複数の配線を有する配線層と、を備えている。各配線に電気信号を流すことにより、ディスクに対してデータの書き込みまたは読み取りが行われるようになっている。   In general, a hard disk drive (HDD) includes a suspension board on which a magnetic head slider for writing and reading data to and from a disk storing data is mounted. Such a suspension substrate is formed so as to extend from the head region where the magnetic head slider is mounted to the tail region where the external connection substrate (FPC substrate, flexible printed circuit board) is joined, and a metal support layer; And a wiring layer having a plurality of wirings stacked on the metal support layer with an insulating layer interposed therebetween. Data is written to or read from the disk by passing an electric signal through each wiring.

サスペンション用基板のテール領域には、上述したように、FPC基板が接合されるようになっている。すなわち、サスペンション用基板のテール領域には、各配線に接続された接続端子が設けられており、各接続端子が、FPC基板のFPC端子に接合されるようになっている。このような接続端子とFPC端子との接合に、異方性導電性フィルム(Anisotropic Conductive Film:ACF)等の異方性導電性接着剤を使用する例が開示されている(例えば、特許文献1参照)。異方性導電性フィルムは、一対の剥離フィルムの間に、異方性導電性接着剤からなる接着膜が介在された構造を有しており、一方の剥離フィルムを剥離してFPC端子に仮付けして他方の剥離フィルムを剥離し、その後、所定の温度下で接続端子とFPC端子とを押圧することにより、接続端子とFPC端子とを接合させるものである。   As described above, the FPC board is bonded to the tail region of the suspension board. That is, a connection terminal connected to each wiring is provided in the tail region of the suspension board, and each connection terminal is joined to the FPC terminal of the FPC board. An example in which an anisotropic conductive adhesive such as an anisotropic conductive film (ACF) is used for joining such a connection terminal and an FPC terminal is disclosed (for example, Patent Document 1). reference). An anisotropic conductive film has a structure in which an adhesive film made of an anisotropic conductive adhesive is interposed between a pair of release films. One of the release films is peeled off to temporarily serve as an FPC terminal. The other release film is peeled off, and then the connection terminal and the FPC terminal are bonded together by pressing the connection terminal and the FPC terminal at a predetermined temperature.

特開2007−26654号公報JP 2007-26654 A

上述のように、サスペンション用基板の接続端子とFPC基板のFPC端子とを押圧することにより、接続端子とFPC端子とが接続されるが、この際サスペンション用基板のテール領域の強度が不足すると、接続端子とFPC端子とを押圧した場合、テール領域が破断することがある。このようなテール領域の破断はとりわけテール領域の周縁で生じる。   As described above, the connection terminal and the FPC terminal are connected by pressing the connection terminal of the suspension board and the FPC terminal of the FPC board. At this time, if the strength of the tail region of the suspension board is insufficient, When the connection terminal and the FPC terminal are pressed, the tail region may be broken. Such tail region breakage occurs particularly at the periphery of the tail region.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、テール領域の強度を高めて外部接続基板の外部端子と接続端子とを接続する際、テール領域が破断することがない多面付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and when the strength of the tail region is increased to connect the external terminal and the connection terminal of the external connection board, the tail region is not broken. An object is to provide a suspension substrate, a suspension substrate, a suspension, a suspension with a head, and a hard disk drive.

本発明は、フレームと、フレーム内に配置され多面付けされた複数のサスペンション用基板とを備え、サスペンション用基板はヘッドスライダが実装されるヘッド領域を含み、金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有する主基板領域と、主基板領域に接続され、外部接続基板に装着されるとともに、第1絶縁層と、第1配線層と、第2絶縁層と、第2配線層とを有するテール領域とを備え、テール領域に向う主基板領域の保護層は、テール領域と主基板領域との間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とする多面付サスペンション用基板である。   The present invention includes a frame and a plurality of suspension substrates disposed in the frame and arranged in multiple faces, the suspension substrate including a head region on which a head slider is mounted, a metal support layer, a first insulating layer, A main substrate region having a first wiring layer and a protective layer; connected to the main substrate region and attached to the external connection substrate; and a first insulating layer, a first wiring layer, and a second insulating layer; And a tail region having a second wiring layer, wherein the protective layer of the main substrate region facing the tail region extends from the boundary between the tail region and the main substrate region further into the tail region. This is a multi-surface suspension substrate.

本発明は、フレームは金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有し、テール領域に向うフレームの保護層は、テール領域とフレームとの間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とする多面付サスペンション用基板である。   In the present invention, the frame has a metal support layer, a first insulating layer, a first wiring layer, and a protective layer, and the protective layer of the frame facing the tail region is separated from the boundary between the tail region and the frame. Further, the suspension substrate is a multi-surface suspension board that extends into the tail region.

本発明は、テール領域の第2配線層は、外部接続基板に接続される接続端子を有することを特徴とする多面付サスペンション用基板である。   The present invention is the multi-surface suspension substrate, wherein the second wiring layer in the tail region has a connection terminal connected to the external connection substrate.

本発明は、主基板領域は第1配線層と保護層との間に配置された、第2絶縁層と第2配線層を有することを特徴とする多面付サスペンション用基板である。   The present invention is the suspension substrate with multiple surfaces, wherein the main substrate region has a second insulating layer and a second wiring layer disposed between the first wiring layer and the protective layer.

本発明は、ヘッドスライダが実装されるヘッド領域を含み、金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有する主基板領域と、主基板領域に接続され、外部接続基板に装着されるとともに、第1絶縁層と、第1配線層と、第2絶縁層と、第2配線層とを有するテール領域とを備え、テール領域に向う主基板領域の保護層は、テール領域と主基板領域との間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とするサスペンション用基板である。   The present invention includes a head region on which a head slider is mounted, a main substrate region having a metal support layer, a first insulating layer, a first wiring layer, and a protective layer, connected to the main substrate region, and external A protective layer for the main substrate region facing the tail region is mounted on the connection substrate and includes a tail region having a first insulating layer, a first wiring layer, a second insulating layer, and a second wiring layer. The suspension substrate is characterized in that it extends further from the boundary between the tail region and the main substrate region into the tail region.

本発明は、テール領域の第2配線層は、外部接続基板に接続される接続端子を有することを特徴とするサスペンション用基板である。   The present invention is the suspension substrate, wherein the second wiring layer in the tail region has a connection terminal connected to the external connection substrate.

本発明は、主基板領域は第1配線層と保護層との間に配置された、第2絶縁層と第2配線層を有することを特徴とするサスペンション用基板である。   The present invention is the suspension substrate, wherein the main substrate region has a second insulating layer and a second wiring layer disposed between the first wiring layer and the protective layer.

本発明は、ベースプレートと、前記ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた上述のサスペンション用基板と、を備えたことを特徴とするサスペンションである。   The present invention is a suspension comprising a base plate and the above-described suspension substrate attached to the base plate via a load beam.

本発明は、上述のサスペンションと、サスペンションに実装された前記ヘッドスライダと、を備えたことを特徴とするヘッド付サスペンションである。   The present invention is a suspension with a head comprising the above-described suspension and the head slider mounted on the suspension.

本発明は、上述のヘッド付サスペンションを備えたことを特徴とするハードディスクドライブである。   The present invention is a hard disk drive including the above-described suspension with a head.

本発明によれば、外部接続基板の外部端子と接続端子とを接続する際、テール領域の破断を未然に防ぐことができる。   According to the present invention, when the external terminal and the connection terminal of the external connection board are connected, the tail region can be prevented from being broken.

図1は、本発明の実施の形態における多面付サスペンション用基板の一例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an example of a multi-surface suspension substrate in an embodiment of the present invention. 図2は、図1のA部拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of part A in FIG. 図3は、図1のB部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion B in FIG. 図4は、図2のVI−VI線断面図である。4 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 図5は、図3のV−V線断面図である。5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 図6は、図3のVI−VI線断面図である。6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 図7は、本発明の実施の形態におけるサスペンションの一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of a suspension in the embodiment of the present invention. 図8は、本発明の実施の形態におけるヘッド付サスペンションの一例を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing an example of the suspension with a head according to the embodiment of the present invention. 図9は、本発明の実施の形態におけるハードディスクドライブの一例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an example of a hard disk drive according to the embodiment of the present invention. 図10(a)〜(d)は、本発明の第1の実施の形態におけるサスペンション用基板の接続端子を、FPC基板のFPC端子に接合する方法を説明する図である。FIGS. 10A to 10D are views for explaining a method of joining the connection terminal of the suspension board in the first embodiment of the present invention to the FPC terminal of the FPC board.

図面を用いて、本発明の実施の形態における多面付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブについて説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   A multi-surface suspension substrate, a suspension substrate, a suspension, a suspension with a head, and a hard disk drive according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual ones.

まず、図1乃至図8を用いて、本発明の実施の形態による多面付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブについて説明する。   First, a multi-surface suspension substrate, a suspension substrate, a suspension, a suspension with a head, and a hard disk drive according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1に示すように、多面付サスペンション用基板1Aは矩形状のフレーム1Bと、フレーム1B内に配置され多面付けされた複数のサスペンション用基板1とを備え、各サスペンション用基板1はフレーム1Bに連結部1Cを介して連結されている。このうち各サスペンション用基板1は、後述するヘッドスライダ(図8参照)112が実装されるヘッド領域2から、FPC基板(外部接続基板、フレキシブルプリント基板、図10参照)131に装着されるテール領域3に延びるように形成されている。なお、本実施の形態におけるヘッド領域2は、実装されるヘッドスライダ112に接続される後述するヘッド端子32に近接した領域を意味し、テール領域3は、FPC基板131に接続される後述する接続端子33に近接した領域を意味している。   As shown in FIG. 1, the multi-surface suspension substrate 1A includes a rectangular frame 1B and a plurality of multi-surface suspension substrates 1 arranged in the frame 1B, and each suspension substrate 1 is attached to the frame 1B. It is connected via the connecting part 1C. Among these, each suspension substrate 1 is a tail region mounted on an FPC substrate (external connection substrate, flexible printed circuit board, see FIG. 10) from a head region 2 on which a head slider (see FIG. 8) 112 described later is mounted. 3 to extend to 3. The head region 2 in the present embodiment means a region close to a head terminal 32 (described later) connected to the mounted head slider 112, and the tail region 3 is a connection (described later) connected to the FPC board 131. This means a region close to the terminal 33.

図1乃至図6に示すサスペンション用基板1のうち、ヘッド領域2からテール領域3の直前までの領域が主基板領域2Aとなっており、結局ヘッド領域2を含む主基板領域2Aと、テール領域3とによりサスペンション用基板1が構成されている。   In the suspension substrate 1 shown in FIGS. 1 to 6, the region from the head region 2 to immediately before the tail region 3 is the main substrate region 2A, and eventually the main substrate region 2A including the head region 2 and the tail region. 3 constitutes a suspension substrate 1.

サスペンション用基板1の主基板領域2Aは、絶縁層(第1絶縁層)10と、絶縁層10の一方の面に設けられた金属支持層20と、絶縁層10の他方の面に設けられた配線層(第1配線層)30とを備えている。   The main substrate region 2 </ b> A of the suspension substrate 1 is provided on the insulating layer (first insulating layer) 10, the metal support layer 20 provided on one surface of the insulating layer 10, and the other surface of the insulating layer 10. A wiring layer (first wiring layer) 30 is provided.

また必要に応じて主基板領域2Aは、第1配線層30上に設けられた追加絶縁層(第2絶縁層)50と、追加絶縁層50上に設けられた配線を含む追加配線層(第2配線層)55 とを備えている。   If necessary, the main substrate region 2A includes an additional insulating layer (second insulating layer) 50 provided on the first wiring layer 30 and an additional wiring layer (first insulating layer) including wiring provided on the additional insulating layer 50. 2 wiring layers) 55.

この場合、第1配線層30は、第2絶縁層50を貫通して設けられた導体部58を介して第2配線層55に接続されている。   In this case, the first wiring layer 30 is connected to the second wiring layer 55 through a conductor portion 58 provided so as to penetrate the second insulating layer 50.

また第1配線層30は読取配線および書込配線を含む複数の配線31と、ヘッド端子32とを有する。   The first wiring layer 30 includes a plurality of wirings 31 including a reading wiring and a writing wiring, and a head terminal 32.

また、第2配線層55上にはこの第2配線層55を覆う保護層40が設けられている。上述のように、主基板領域2Aは第1配線層30上に設けられた第2絶縁層50と、第2絶縁層50上に設けられた第2配線層55とを有するが、必ずしも主基板領域2Aに第2絶縁層50と第2配線層55を設ける必要はなく、第1配線層30上を直接保護層40で覆ってもよい。   Further, a protective layer 40 that covers the second wiring layer 55 is provided on the second wiring layer 55. As described above, the main substrate region 2A includes the second insulating layer 50 provided on the first wiring layer 30 and the second wiring layer 55 provided on the second insulating layer 50. It is not necessary to provide the second insulating layer 50 and the second wiring layer 55 in the region 2A, and the first wiring layer 30 may be directly covered with the protective layer 40.

なお図1において、サスペンション用基板1の主基板領域2Aから、便宜上カバー層40が取除かれている。   In FIG. 1, the cover layer 40 is removed from the main substrate region 2A of the suspension substrate 1 for convenience.

また図5および図6に示すように、サスペンション用基板1のテール領域3は、絶縁層(第1絶縁層)10と、絶縁層10上に設けられた配線層(第1配線層)30と、配線層30上に設けられた追加絶縁層(第2絶縁層)50と、追加絶縁層50上に設けられた接続端子33とを備え、接続端子33上にはめっき層35が形成されている。   5 and 6, the tail region 3 of the suspension substrate 1 includes an insulating layer (first insulating layer) 10, and a wiring layer (first wiring layer) 30 provided on the insulating layer 10. And an additional insulating layer (second insulating layer) 50 provided on the wiring layer 30 and a connection terminal 33 provided on the additional insulating layer 50, and a plating layer 35 is formed on the connection terminal 33. Yes.

図5および図6において、第1配線層30と接続端子33とは、第2絶縁層50を貫通して設けられた導体部58を介して接続されている。また接続端子33はFPC基板131のFPC端子(外部端子)132に異方性接着剤62aを介して接続可能となっており、この接続端子33は主基板領域2Aの追加配線層55の配線55aとともに第2配線層を構成する。   In FIG. 5 and FIG. 6, the first wiring layer 30 and the connection terminal 33 are connected via a conductor portion 58 provided so as to penetrate the second insulating layer 50. The connection terminal 33 can be connected to an FPC terminal (external terminal) 132 of the FPC board 131 via an anisotropic adhesive 62a. The connection terminal 33 is a wiring 55a of the additional wiring layer 55 in the main board region 2A. In addition, the second wiring layer is formed.

ところで、多面付サスペンション用基板1Aを構成するとともに、各サスペンション用基板1を囲んで支持するフレーム1Bは、絶縁層10と、絶縁層10の一方の面に設けられた金属支持層20と、絶縁層10の他方の面に設けられた配線層30と、配線層30上に設けられた追加絶縁層50と、追加絶縁層50上に設けられた保護層40とを備えている。   By the way, the frame 1B that constitutes the suspension substrate 1A with multiple surfaces and surrounds and supports each suspension substrate 1 includes an insulating layer 10, a metal supporting layer 20 provided on one surface of the insulating layer 10, and an insulating layer 10B. A wiring layer 30 provided on the other surface of the layer 10, an additional insulating layer 50 provided on the wiring layer 30, and a protective layer 40 provided on the additional insulating layer 50 are provided.

そして主基板領域2Aのうち、テール領域3に向う部分において、主基板領域2Aの保護層40は、主基板領域2Aとテール領域3との間の境界X1から更にテール領域3内まで延びている(図5参照)。図5において、主基板領域2Aからテール領域3内まで延びる保護層40の端縁をY1で示す。   In the portion of the main substrate region 2A that faces the tail region 3, the protective layer 40 of the main substrate region 2A extends further from the boundary X1 between the main substrate region 2A and the tail region 3 into the tail region 3. (See FIG. 5). In FIG. 5, the edge of the protective layer 40 extending from the main substrate region 2A to the tail region 3 is indicated by Y1.

同様にフレーム1Bのうちテール領域3に向う部分において、フレーム1Bの保護層40は、フレーム1Bとテール領域3との境界X2から更にテール領域3内まで延びている(図6参照)。図6において、フレーム1Bからテール領域3内まで延びる保護層40の端縁をY2で示す。   Similarly, in a portion of the frame 1B facing the tail region 3, the protective layer 40 of the frame 1B extends further from the boundary X2 between the frame 1B and the tail region 3 into the tail region 3 (see FIG. 6). In FIG. 6, the edge of the protective layer 40 extending from the frame 1B into the tail region 3 is indicated by Y2.

図5および図6に示すように、主基板領域2Aの保護層40を主基板領域2Aとテール領域3との間の境界X1から更にテール領域3内まで延ばし保護層40の端縁Y1をテール領域3内にもってくることにより、テール領域3の強度を向上させることができる。同様にフレーム1Bの保護層40をフレーム1Bとテール領域3との間の境界X2から更にテール領域3内まで延ばし保護層40の端縁Y2をテール領域3内にもってくることにより、テール領域3の強度を向上させることができる。   As shown in FIGS. 5 and 6, the protective layer 40 in the main substrate region 2A is extended from the boundary X1 between the main substrate region 2A and the tail region 3 further into the tail region 3, and the edge Y1 of the protective layer 40 is tailed. By bringing it into the region 3, the strength of the tail region 3 can be improved. Similarly, by extending the protective layer 40 of the frame 1B from the boundary X2 between the frame 1B and the tail region 3 further into the tail region 3, and bringing the edge Y2 of the protective layer 40 into the tail region 3, the tail region 3 The strength of can be improved.

すなわち、後述のようにFPC基板131の外部端子132に、テール領域3の接続端子33を接続する際、外部端子132とテール領域3の接続端子33を互いに押圧している。この場合、主基板領域2A側の境界X1を越えて更に保護層40をテール領域3内まで延ばすことにより、テール領域3内の接続端子33を外方に露出させながら、テール領域3の強度を向上させることができる。このため、外部端子132と接続端子33を接続させる際にテール領域3が破損したり、破断することを未然に防止することができる。   That is, when the connection terminal 33 of the tail region 3 is connected to the external terminal 132 of the FPC board 131 as described later, the external terminal 132 and the connection terminal 33 of the tail region 3 are pressed against each other. In this case, the strength of the tail region 3 is increased while the connection terminal 33 in the tail region 3 is exposed outwardly by extending the protective layer 40 into the tail region 3 beyond the boundary X1 on the main substrate region 2A side. Can be improved. For this reason, when the external terminal 132 and the connection terminal 33 are connected, it is possible to prevent the tail region 3 from being damaged or broken.

また、フレーム1B側の境界X2を越えて更に保護層40を更にテール領域3内まで延ばすことにより、フレーム1Bに支持されているテール領域3の保護強化を図ることができる。   Further, by extending the protective layer 40 further into the tail region 3 beyond the boundary X2 on the frame 1B side, the protection of the tail region 3 supported by the frame 1B can be enhanced.

次にテール領域3の接続端子33と外部端子132との接続構造について述べる。   Next, a connection structure between the connection terminal 33 and the external terminal 132 in the tail region 3 will be described.

接続端子33と外部端子132とは異方性導電性接着剤62aにより接着される。ここで、異方性導電性接着剤62aとは、熱硬化性樹脂を主体とした接着性を有する基材に、絶縁被覆された導電粒子を混合させた接着剤であって、加熱して押圧することにより、押圧方向には導電性能を付与し、押圧方向に直交する方向には絶縁性能を維持する接着剤である。このような異方性導電性接着剤62aを用いて接続端子33とFPC端子132とを接合する場合、異方性導電性フィルム(Anisotropic Conductive Film:ACF)60を好適に用いることができる。異方性導電性フィルム60は、一対の剥離フィルム61の間に、異方性導電性接着剤62aからなる接着剤膜62を介在させた構造となっており(図10参照)、例えば、日立化成工業株式会社製の異方導電フィルム「アニソルム:AC−7206U−8」を用いることができる。   The connection terminal 33 and the external terminal 132 are bonded by an anisotropic conductive adhesive 62a. Here, the anisotropic conductive adhesive 62a is an adhesive in which conductive particles coated with insulation are mixed with a base material having adhesiveness mainly composed of a thermosetting resin, and is heated and pressed. By doing so, it is an adhesive that imparts conductive performance in the pressing direction and maintains insulation performance in the direction orthogonal to the pressing direction. When the connection terminal 33 and the FPC terminal 132 are bonded using such an anisotropic conductive adhesive 62a, an anisotropic conductive film (ACF) 60 can be preferably used. The anisotropic conductive film 60 has a structure in which an adhesive film 62 made of an anisotropic conductive adhesive 62a is interposed between a pair of release films 61 (see FIG. 10). An anisotropic conductive film “Anisolum: AC-7206U-8” manufactured by Kasei Kogyo Co., Ltd. can be used.

図1および図3には、一例として、5つの接続端子33が設けられた形態が示されている。   1 and 3 show an example in which five connection terminals 33 are provided.

次に、各構成部材について詳細に述べる。   Next, each component will be described in detail.

第1絶縁層10および第2絶縁層50の材料としては、所望の絶縁性を有する材料であれば特に限定されることはないが、例えば、ポリイミド(PI)を用いることが好適である。なお、第1絶縁層10および第2絶縁層50の材料は、感光性材料であっても非感光性材料であっても用いることができる。また、第1絶縁層10および第2絶縁層50の厚さは、5μm〜30μm、とりわけ8μm〜10μmであることが好ましい。このことにより、金属支持層20と第1配線層30との間、および第1配線層30と第2配線層55との間の絶縁性能を確保するとともに、サスペンション用基板1全体としての剛性が喪失されることを防止することができる。   The material of the first insulating layer 10 and the second insulating layer 50 is not particularly limited as long as the material has a desired insulating property. For example, it is preferable to use polyimide (PI). The material of the first insulating layer 10 and the second insulating layer 50 can be a photosensitive material or a non-photosensitive material. Moreover, it is preferable that the thickness of the 1st insulating layer 10 and the 2nd insulating layer 50 is 5 micrometers-30 micrometers, especially 8 micrometers-10 micrometers. As a result, the insulation performance between the metal support layer 20 and the first wiring layer 30 and between the first wiring layer 30 and the second wiring layer 55 is ensured, and the rigidity of the suspension substrate 1 as a whole is increased. It can be prevented from being lost.

第1配線層30の配線31は、電気信号を伝送するための導体として構成されており、配線31の材料としては、所望の導電性を有する材料であれば特に限定されることはないが、銅(Cu)を用いることが好適である。銅以外にも、純銅に準ずる電気特性を有する材料であれば用いることもできる。ここで、配線31の厚さは、例えば1μm〜18μm、とりわけ9μm〜12μmであることが好ましい。このことにより、配線31の伝送特性を確保するとともに、サスペンション用基板1全体としての柔軟性が喪失されることを防止することができる。また第2配線層55の配線55aも、第1配線層30の配線31と同様の構造をもつ。   The wiring 31 of the first wiring layer 30 is configured as a conductor for transmitting an electrical signal, and the material of the wiring 31 is not particularly limited as long as it is a material having desired conductivity. It is preferable to use copper (Cu). In addition to copper, any material having electrical characteristics similar to pure copper can be used. Here, it is preferable that the thickness of the wiring 31 is, for example, 1 μm to 18 μm, particularly 9 μm to 12 μm. As a result, it is possible to ensure the transmission characteristics of the wiring 31 and to prevent loss of the flexibility of the suspension substrate 1 as a whole. In addition, the wiring 55 a of the second wiring layer 55 has the same structure as the wiring 31 of the first wiring layer 30.

第1配線層30のヘッド端子32および第2配線層55の接続端子33は、各々第1配線層30の配線31および第2配線層55の配線55aと同一の材料および同一の厚みからなっており、ヘッド端子32および接続端子33上にはニッケルめっきおよび金めっきがこの順に施されて、めっき層35が形成されている。   The head terminal 32 of the first wiring layer 30 and the connection terminal 33 of the second wiring layer 55 are made of the same material and the same thickness as the wiring 31 of the first wiring layer 30 and the wiring 55a of the second wiring layer 55, respectively. On the head terminal 32 and the connection terminal 33, nickel plating and gold plating are applied in this order to form a plating layer 35.

金属支持層20の材料としては、所望の導電性、弾力性、および強度を有するものであれば特に限定されることはないが、例えば、ステンレス、アルミニウム、ベリリウム銅、またはその他の銅合金を用いることができ、ステンレスを用いることが好適である。金属支持層20の厚さは、10μm〜30μm、とりわけ15μm〜20μmとすることができる。このことにより、金属支持層20の導電性、剛性、および弾力性を確保することができる。   The material of the metal support layer 20 is not particularly limited as long as it has desired conductivity, elasticity, and strength. For example, stainless steel, aluminum, beryllium copper, or other copper alloys are used. It is preferable to use stainless steel. The thickness of the metal support layer 20 can be 10 μm to 30 μm, especially 15 μm to 20 μm. As a result, the conductivity, rigidity, and elasticity of the metal support layer 20 can be ensured.

保護層40の材料としては、樹脂材料、例えば、ポリイミドを用いることが好適である。なお、保護層40の材料は、感光性材料であっても非感光性材料であっても用いることができる。 また、保護層40の厚さは、3μm〜10μmとすることができる。   As a material of the protective layer 40, it is preferable to use a resin material, for example, polyimide. The material of the protective layer 40 can be a photosensitive material or a non-photosensitive material. Moreover, the thickness of the protective layer 40 can be 3 micrometers-10 micrometers.

次に、図7により、本実施の形態におけるサスペンション101について説明する。図7に示すサスペンション101は、ベースプレート102と、ベースプレート102上に取り付けられ、サスペンション用基板1の金属支持層20を保持するロードビーム103と、ロードビーム103に取り付けられたサスペンション用基板1と、を備えている。   Next, the suspension 101 in the present embodiment will be described with reference to FIG. The suspension 101 shown in FIG. 7 includes a base plate 102, a load beam 103 attached on the base plate 102 and holding the metal support layer 20 of the suspension substrate 1, and the suspension substrate 1 attached to the load beam 103. I have.

続いて、図8により、本実施の形態におけるヘッド付サスペンション111について説明する。図8に示すヘッド付サスペンション111は、上述したサスペンション101と、サスペンション用基板1のヘッド領域2に実装されたヘッドスライダ112と、を備えている。   Next, the suspension with head 111 in the present embodiment will be described with reference to FIG. A suspension with head 111 shown in FIG. 8 includes the suspension 101 described above and a head slider 112 mounted on the head region 2 of the suspension substrate 1.

次に、図9により、本実施の形態におけるハードディスクドライブ121について説明する。図9に示すハードディスクドライブ121は、ケース122と、このケース122に回転自在に取り付けられ、データが記憶されるディスク123と、このディスク123を回転させるスピンドルモータ124と、ディスク123に所望のフライングハイトを保って近接するように設けられ、ディスク123に対してデータの書き込みおよび読み取りを行うヘッドスライダ112を含むヘッド付サスペンション111と、を備えている。このうちヘッド付サスペンション111は、ケース122に対して移動自在に取り付けられており、ケース122にはヘッド付サスペンション111のヘッドスライダ112をディスク123上に沿って移動させるボイスコイルモータ125が取り付けられている。また、ヘッド付サスペンション111は、ボイスコイルモータ125にアーム126を介して取り付けられると共に、ハードディスクドライブ121を制御する制御部(図示せず)に接続されたFPC基板131(図10参照)に装着されている。すなわち、サスペンション用基板1の接続端子33に、FPC基板131の絶縁ベース層133上に設けられたFPC端子132が異方性導電性接着剤62aを介して接合されて、電気信号が、サスペンション用基板1とFPC基板131を介して、制御部とヘッドスライダ112との間で伝送されるようになっている。なお、FPC基板131は、金属ベース層134に絶縁ベース層133が積層されて、絶縁ベース層133上にFPC端子132が設けられた構造となっており、FPC端子132には、例えば、ニッケルめっきおよび金めっきにより形成されためっき層135が形成されている。   Next, the hard disk drive 121 in this embodiment will be described with reference to FIG. The hard disk drive 121 shown in FIG. 9 has a case 122, a disk 123 that is rotatably attached to the case 122 and stores data, a spindle motor 124 that rotates the disk 123, and a desired flying height on the disk 123. And a suspension 111 with a head including a head slider 112 that writes and reads data to and from the disk 123. Of these, the suspension with head 111 is movably attached to the case 122, and a voice coil motor 125 that moves the head slider 112 of the suspension with head 111 along the disk 123 is attached to the case 122. Yes. The suspension with head 111 is attached to the voice coil motor 125 via the arm 126 and attached to an FPC board 131 (see FIG. 10) connected to a control unit (not shown) that controls the hard disk drive 121. ing. That is, the FPC terminal 132 provided on the insulating base layer 133 of the FPC board 131 is joined to the connection terminal 33 of the suspension board 1 via the anisotropic conductive adhesive 62a, and the electric signal is transmitted to the suspension board 1. The signal is transmitted between the control unit and the head slider 112 via the substrate 1 and the FPC substrate 131. The FPC board 131 has a structure in which an insulating base layer 133 is laminated on a metal base layer 134 and an FPC terminal 132 is provided on the insulating base layer 133. And the plating layer 135 formed by gold plating is formed.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.

まず、フレーム1Bと、フレーム1B内に配置されフレーム1Bに連結された複数のサスペンション用基板1とを有するサスペンション用基板1Aをサブトラクティブ法またはアディティブ法により製造する(図1参照)。この場合、多面付サスペンション用基板1Aの各サスペンション用基板1は、ヘッド領域2側において連結部1Cを介してフレーム1Bに連結され、かつテール領域3側において直接フレーム1Bに連結されている。   First, a suspension substrate 1A having a frame 1B and a plurality of suspension substrates 1 arranged in the frame 1B and connected to the frame 1B is manufactured by a subtractive method or an additive method (see FIG. 1). In this case, each suspension substrate 1 of the multi-surface suspension substrate 1A is coupled to the frame 1B via the coupling portion 1C on the head region 2 side, and directly coupled to the frame 1B on the tail region 3 side.

次に各サスペンション用基板1は、ヘッド領域2側において破断線L1を破断することによりフレーム1Bから分離され、テール領域3において破断線L2を破断することによりフレーム1Bから分離される。   Next, each suspension substrate 1 is separated from the frame 1B by breaking the breaking line L1 on the head region 2 side, and separated from the frame 1B by breaking the breaking line L2 in the tail region 3.

このようにして各サスペンション用基板1は、フレーム1Bから破断線L1、L2を介して分離される。   In this way, each suspension substrate 1 is separated from the frame 1B via the fracture lines L1 and L2.

次に得られたサスペンション用基板1に、ベースプレート102およびロードビーム103が溶接により取り付けられて図7に示すサスペンション101が得られる。このサスペンション101のヘッド領域2に、ヘッドスライダ112が実装されて、図8に示すヘッド付サスペンション111が得られる。   Next, the base plate 102 and the load beam 103 are attached to the obtained suspension substrate 1 by welding to obtain the suspension 101 shown in FIG. A head slider 112 is mounted on the head region 2 of the suspension 101, and the suspension with head 111 shown in FIG. 8 is obtained.

図8に示すヘッド付サスペンション111がアーム126に取り付けられると共に、サスペンション用基板1がFPC基板131に装着されて、図9に示すハードディスクドライブ121が得られる。   The suspension with head 111 shown in FIG. 8 is attached to the arm 126, and the suspension board 1 is mounted on the FPC board 131, so that the hard disk drive 121 shown in FIG. 9 is obtained.

サスペンション用基板1をFPC基板131に装着する場合、まず、テール領域3内の接続端子33をカバーする接合領域65に相当する大きさに切断された異方性導電性フィルム60を準備する(図1および図10(a)参照)。続いて、異方性導電性フィルム60の一方の剥離フィルム61が剥離され、FPC端子132に仮付けされる(図10(b)参照)。なお、この場合、一方の剥離フィルム61が剥離された異方性導電性フィルム60は、接続端子33に仮付けしてもよい。次いで、他方の剥離フィルム61が剥離される(図10(c)参照)。   When the suspension substrate 1 is mounted on the FPC substrate 131, first, an anisotropic conductive film 60 cut to a size corresponding to the joining region 65 covering the connection terminal 33 in the tail region 3 is prepared (see FIG. 1 and FIG. 10 (a)). Subsequently, one release film 61 of the anisotropic conductive film 60 is peeled off and temporarily attached to the FPC terminal 132 (see FIG. 10B). In this case, the anisotropic conductive film 60 from which one release film 61 is peeled may be temporarily attached to the connection terminal 33. Next, the other release film 61 is peeled (see FIG. 10C).

次に、接続端子33がFPC端子132に接合される(図10(d)参照)。この際、例えば、150℃〜180℃の温度下で加熱しながら、ボンディングツール67を用いて、所定の圧力で接続端子33が、10分間押圧される。このことにより、接着剤膜62を形成していた異方性導電性接着剤62aに流動性が付与され、異方性導電性接着剤62aが、接続端子33の周囲の第2絶縁層50や、FPC端子132の周囲の絶縁ベース層133に行き渡る。   Next, the connection terminal 33 is joined to the FPC terminal 132 (see FIG. 10D). At this time, for example, while heating at a temperature of 150 ° C. to 180 ° C., the connection terminal 33 is pressed for 10 minutes at a predetermined pressure using the bonding tool 67. As a result, fluidity is imparted to the anisotropic conductive adhesive 62 a that has formed the adhesive film 62, and the anisotropic conductive adhesive 62 a is connected to the second insulating layer 50 around the connection terminal 33. , And reaches the insulating base layer 133 around the FPC terminal 132.

このようにして得られたハードディスクドライブ121においてデータの書き込みおよび読み取りを行う際、ボイスコイルモータ125によりヘッド付サスペンション111のヘッドスライダ112がディスク123上に沿って移動し、スピンドルモータ124により回転しているディスク123に所望のフライングハイトを保って近接する。このことにより、ヘッドスライダ112とディスク123との間で、データの受け渡しが行われる。この間、サスペンション用基板1とFPC基板131を介して、制御部とヘッドスライダ112との間で電気信号が伝送される。この際、サスペンション用基板1においては、ヘッド端子32と接続端子33とに接続された各配線31により電気信号が伝送され、サスペンション用基板1の接続端子33と、これに接合されたFPC基板131のFPC端子132との間で、電気信号が伝送される。   When writing and reading data in the hard disk drive 121 thus obtained, the head slider 112 of the suspension with head 111 is moved along the disk 123 by the voice coil motor 125 and rotated by the spindle motor 124. A desired flying height is maintained close to the existing disk 123. As a result, data is exchanged between the head slider 112 and the disk 123. During this time, an electrical signal is transmitted between the control unit and the head slider 112 via the suspension substrate 1 and the FPC substrate 131. At this time, in the suspension substrate 1, an electrical signal is transmitted through each wiring 31 connected to the head terminal 32 and the connection terminal 33, and the connection terminal 33 of the suspension substrate 1 and the FPC substrate 131 bonded to the connection terminal 33. An electrical signal is transmitted to and from the FPC terminal 132.

上述のようにサスペンション用基板1のテール領域3はFPC基板131の外部端子132に押圧されて接続されるため、柔軟性をもたせるため金属支持層20をもたない構造となっている。   As described above, since the tail region 3 of the suspension substrate 1 is pressed and connected to the external terminal 132 of the FPC substrate 131, the structure has no metal support layer 20 in order to provide flexibility.

本実施の形態によれば、サスペンション用基板1をFPC基板131に接続する際、主基板領域2Aの保護層40をテール領域3との境界X1を越えて更にテール領域3内まで延ばすことにより、テール領域3内の接続端子33を外方に露出させながら、テール領域3の強度を向上させることができる。このためFPC基板131のFPC端子(外部端子)132とテール領域3の接続端子33を接続させる際にFPC端子132と接続端子33を互いに押圧してもテール領域3が破損したり、破断することを未然に防止することができる。   According to the present embodiment, when the suspension substrate 1 is connected to the FPC substrate 131, the protective layer 40 in the main substrate region 2A extends beyond the boundary X1 with the tail region 3 and further into the tail region 3. The strength of the tail region 3 can be improved while the connection terminal 33 in the tail region 3 is exposed to the outside. Therefore, when the FPC terminal (external terminal) 132 of the FPC board 131 and the connection terminal 33 of the tail region 3 are connected, even if the FPC terminal 132 and the connection terminal 33 are pressed against each other, the tail region 3 is damaged or broken. Can be prevented in advance.

とりわけFPC端子と接続端子33を押圧させた場合、金属支持層がある主基板領域2Aと金属支持層がないテール領域3との境界X1近傍に応力が負荷されて 破断する可能性が高いが、主基板領域2Aの保護層40を境界X1を越えてテール領域3内まで延ばすことにより、境界X1近傍の保護強化を図ることができる。   In particular, when the FPC terminal and the connection terminal 33 are pressed, there is a high possibility that the stress is applied to the vicinity of the boundary X1 between the main substrate region 2A with the metal support layer and the tail region 3 without the metal support layer, and the fracture occurs. By extending the protective layer 40 in the main substrate region 2A beyond the boundary X1 and into the tail region 3, protection in the vicinity of the boundary X1 can be enhanced.

またサスペンション用基板1がフレーム1Bにより支持されている状態において、フレーム1Bの保護層40がテール領域3との境界X2を越えて更にテール領域3内まで延びているため、フレーム1Bに支持されているテール領域3の保護強化を図ることができる。とりわけサスペンション用基板1がフレーム1Bにより支持されている場合、金属支持層が途切れる境界X2に応力が集中し、 テール領域3とフレーム1Bとの間の境界X2近傍で破断する可能性が高いが、フレーム1Bの保護層40を境界X2を越えてテール領域3内まで延ばすことにより、境界X2近傍の保護強化を図ることができる。   Further, in the state where the suspension substrate 1 is supported by the frame 1B, the protective layer 40 of the frame 1B extends beyond the boundary X2 with the tail region 3 and further into the tail region 3, so that it is supported by the frame 1B. It is possible to enhance protection of the tail region 3. In particular, when the suspension substrate 1 is supported by the frame 1B, the stress concentrates on the boundary X2 where the metal support layer is interrupted, and there is a high possibility of fracture near the boundary X2 between the tail region 3 and the frame 1B. By extending the protective layer 40 of the frame 1B beyond the boundary X2 and into the tail region 3, protection in the vicinity of the boundary X2 can be enhanced.

1 サスペンション用基板
1A 多面付サスペンション用基板
1B フレーム
1C 連結部
2 ヘッド領域
2A 主基板領域
3 テール領域
10 第1絶縁層
20 金属支持層
30 第1配線層
31 配線
32 ヘッド端子
33 接続端子
35 めっき層
40 保護層
50 第2絶縁層
55 第2配線層
58 導電部
60 異方性導電性フィルム
61 剥離フィルム
62 接着剤膜
62a 異方性導電性接着剤
65 接合領域
67 ボンディングツール
101 サスペンション
102 ベースプレート
103 ロードビーム
111 ヘッド付サスペンション
112 ヘッドスライダ
121 ハードディスクドライブ
122 ケース
123 ディスク
124 スピンドルモータ
125 ボイスコイルモータ
126 アーム
131 FPC基板
132 FPC端子
133 絶縁ベース層
134 金属ベース層
135 めっき層
X1 境界
X2 境界
Y1 端縁
Y2 端縁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suspension board | substrate 1A Multi-surface suspension board | substrate 1B Frame 1C Connection part 2 Head area | region 2A Main board | substrate area | region 3 Tail area | region 10 1st insulating layer 20 Metal support layer 30 1st wiring layer 31 Wiring 32 Head terminal 33 Connection terminal 35 Plating layer 40 protective layer 50 second insulating layer 55 second wiring layer 58 conductive portion 60 anisotropic conductive film 61 release film 62 adhesive film 62a anisotropic conductive adhesive 65 bonding area 67 bonding tool 101 suspension 102 base plate 103 load Beam 111 Suspension with head 112 Head slider 121 Hard disk drive 122 Case 123 Disk 124 Spindle motor 125 Voice coil motor 126 Arm 131 FPC board 132 FPC terminal 133 Insulating base layer 134 Metal base Layer 135 plated layer X1 boundary X2 boundaries Y1 edge Y2 edge

Claims (10)

フレームと、
フレーム内に配置され多面付けされた複数のサスペンション用基板とを備え、
サスペンション用基板はヘッドスライダが実装されるヘッド領域を含み、金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有する主基板領域と、
主基板領域に接続され、外部接続基板に装着されるとともに、第1絶縁層と、第1配線層と、第2絶縁層と、第2配線層とを有するテール領域とを備え、
テール領域に向う主基板領域の保護層は、テール領域と主基板領域との間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とする多面付サスペンション用基板。
Frame,
A plurality of suspension boards arranged in a frame and multi-faced,
The suspension substrate includes a head region on which the head slider is mounted, and a main substrate region having a metal support layer, a first insulating layer, a first wiring layer, and a protective layer;
A tail region connected to the main substrate region and attached to the external connection substrate and having a first insulating layer, a first wiring layer, a second insulating layer, and a second wiring layer;
The multi-surface suspension substrate according to claim 1, wherein the protective layer of the main substrate region facing the tail region extends further from the boundary between the tail region and the main substrate region into the tail region.
フレームは金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有し、テール領域に向うフレームの保護層は、テール領域とフレームとの間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とする請求項1記載の多面付サスペンション用基板。   The frame includes a metal support layer, a first insulating layer, a first wiring layer, and a protective layer. The protective layer of the frame facing the tail region is further in the tail region from the boundary between the tail region and the frame. 2. The multi-surface suspension substrate according to claim 1, wherein the suspension substrate extends to the surface. テール領域の第2配線層は、外部接続基板に接続される接続端子を有することを特徴とする請求項1または2記載の多面付サスペンション用基板。   3. The multi-surface suspension substrate according to claim 1, wherein the second wiring layer in the tail region has a connection terminal connected to the external connection substrate. 4. 主基板領域は第1配線層と保護層との間に配置された、第2絶縁層と第2配線層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の多面付サスペンション用基板。   4. The multi-surface suspension substrate according to claim 1, wherein the main substrate region has a second insulating layer and a second wiring layer disposed between the first wiring layer and the protective layer. . ヘッドスライダが実装されるヘッド領域を含み、金属支持層と、第1絶縁層と、第1配線層と、保護層とを有する主基板領域と、
主基板領域に接続され、外部接続基板に装着されるとともに、第1絶縁層と、第1配線層と、第2絶縁層と、第2配線層とを有するテール領域とを備え、
テール領域に向う主基板領域の保護層は、テール領域と主基板領域との間の境界から更にテール領域内まで延びていることを特徴とするサスペンション用基板。
A main substrate region including a head region on which the head slider is mounted and having a metal support layer, a first insulating layer, a first wiring layer, and a protective layer;
A tail region connected to the main substrate region and attached to the external connection substrate and having a first insulating layer, a first wiring layer, a second insulating layer, and a second wiring layer;
A suspension substrate, wherein the protective layer of the main substrate region facing the tail region extends further from the boundary between the tail region and the main substrate region into the tail region.
テール領域の第2配線層は、外部接続基板に接続される接続端子を有することを特徴とする請求項5記載のサスペンション用基板。   6. The suspension substrate according to claim 5, wherein the second wiring layer in the tail region has a connection terminal connected to the external connection substrate. 主基板領域は第1配線層と保護層との間に配置された、第2絶縁層と第2配線層を有することを特徴とする請求項5または6記載のサスペンション用基板。   The suspension substrate according to claim 5 or 6, wherein the main substrate region has a second insulating layer and a second wiring layer disposed between the first wiring layer and the protective layer. ベースプレートと、
前記ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた請求項5乃至7のいずれかに記載の前記サスペンション用基板と、を備えたことを特徴とするサスペンション。
A base plate;
A suspension comprising: the suspension substrate according to any one of claims 5 to 7 attached to the base plate via a load beam.
請求項8に記載の前記サスペンションと、
前記サスペンションに実装された前記ヘッドスライダと、を備えたことを特徴とするヘッド付サスペンション。
The suspension according to claim 8;
A suspension with a head, comprising: the head slider mounted on the suspension.
請求項9に記載の前記ヘッド付サスペンションを備えたことを特徴とするハードディスクドライブ。   A hard disk drive comprising the suspension with a head according to claim 9.
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