JP6128235B2 - イオン移動度分析装置及び質量分析装置 - Google Patents
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Description
a)前記ドリフト領域中に加速電場を形成するためにイオン光軸に沿って配設された円環状又は円筒状である複数の電極と、
b)前記複数の電極の中心軸上のポテンシャル分布の下り勾配がイオンの移動方向に漸減する電場が前記加速電場の少なくとも一部で形成されるように定められた電圧を、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧印加部と、
c)前記加速電場における加速方向にイオンを圧縮する作用を調整するために、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧を変更するように前記電圧印加部を制御する制御部と、
を備え、分解能を優先させる高分解能測定モードと感度を優先させる高感度測定モードとを切り替え可能であり、前記制御部は、高分解能測定モードが指定されたときに、複数の電極の中心軸上のポテンシャル分布の下り勾配がイオンの移動方向に漸減する電場が前記加速電場の少なくとも一部で形成されるような電圧を前記複数の電極のそれぞれに印加し、高感度測定モードが指定されたときには、前記ポテンシャル分布の電位勾配が一様である電場となるような電圧を前記複数の電極のそれぞれに印加することを特徴としている。
そこで、本発明に係るイオン移動度分析装置では、加速電場における加速方向にイオンを圧縮する作用を調整するために、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧を変更するように前記電圧印加部を制御する制御部を備えている。
即ち、本発明に係る質量分析装置は、
試料由来のイオンを生成するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離する質量分離部との間に上記本発明に係るイオン移動度分析装置を配設し、該イオン移動度分析装置においてイオン移動度に応じて分離されたイオンを質量分離部によりさらに分離して検出することを特徴としている。
図1は本実施例のイオン移動度分析装置の概略断面図である。図8(a)によりすでに説明したイオン移動度分析装置と同じ又は相当する構成要素には同じ符号を付してある。
Δz'=Δz+K{E(z0+Δz/2)−E(z0−Δz/2)}Δt …(1)
Δzがごく微小であるとすると、Δz'は2次近似により次の(2)式となる。
Δz'=Δz{1−K(∂2φ/∂z2)Δt} …(2)
ここで、E=−∇φを用いた。これより、∂2φ/∂z2>0となる領域ではΔz' <Δzとなり、イオンパケットは電場により進行方向に圧縮されることが分かる。即ち、軸上ポテンシャル分布を、従来装置のような直線勾配(つまりは∂2φ/∂z2=0)ではなく、∂2φ/∂z2>0となるように調整することで、イオンパケットを進行方向に圧縮し、高分解能化を達成することができる。この軸上ポテンシャル分布は、複数の電極2aに印加する電圧値を変更することで適宜に調整することができる。
図2に示すように、従来は、加速方向(つまりZ軸方向)に直線的な下向き勾配となるような電圧が、等間隔で設けられた各電極2aに印加されている。こうした加速電圧によって形成される加速電場の軸上ポテンシャル分布も、加速方向に直線状に下向き勾配となる。つまり、軸上ポテンシャル分布φは原理的には、∂2φ/∂Z2=0となり、加速電場は加速度の変化がない一様電場である。これに対し、本実施例のイオン移動度分析装置では、加速方向に下向きの勾配が徐々に縮小するような電圧が、等間隔で設けられた各電極2aに印加される。そのため、加速電場の軸上ポテンシャル分布φは、ドリフト領域4全体に亘り、∂2φ/∂Z2>0となる。
この例では、ドリフト領域4においてイオン移動度に応じて分離したイオンを、差動排気のための中間真空室10に導入する。そして、該中間真空室10内に配置されたイオンガイド11でイオンを収束し、真空度の高い分析室12へと送り込む。分析室12内には四重極マスフィルタ13と検出器14とが配置されており、イオン移動度に応じて分離されたイオンをさらに質量電荷比に応じて分離したあとに、検出器14により検出する。
2…ドリフト電極群
2a…電極
3…シャッタゲート
4…ドリフト領域
5、14…検出器
6…シャッタ電圧発生部
7…ドリフト電圧発生部
8…制御部
81…測定モード切替部
9…入力部
10…中間真空室
11…イオンガイド
12…分析室
13…四重極マスフィルタ
Claims (2)
- パケット状のイオンをドリフト領域中に導入し飛行させることで、イオンをイオン移動度に応じて分離するイオン移動度分析装置において、
a)前記ドリフト領域中に加速電場を形成するためにイオン光軸に沿って配設された円環状又は円筒状である複数の電極と、
b)前記複数の電極の中心軸上のポテンシャル分布の下り勾配がイオンの移動方向に漸減する電場が前記加速電場の少なくとも一部で形成されるように定められた電圧を、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧印加部と、
c)前記加速電場における加速方向にイオンを圧縮する作用を調整するために、前記複数の電極のそれぞれに印加する電圧を変更するように前記電圧印加部を制御する制御部と、
を備え、分解能を優先させる高分解能測定モードと感度を優先させる高感度測定モードとを切り替え可能であり、前記制御部は、高分解能測定モードが指定されたときに、複数の電極の中心軸上のポテンシャル分布の下り勾配がイオンの移動方向に漸減する電場が前記加速電場の少なくとも一部で形成されるような電圧を前記複数の電極のそれぞれに印加し、高感度測定モードが指定されたときには、前記ポテンシャル分布の電位勾配が一様である電場となるような電圧を前記複数の電極のそれぞれに印加することを特徴とするイオン移動度分析装置。 - 請求項1に記載のイオン移動度分析装置を用いた質量分析装置であって、
試料由来のイオンを生成するイオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離する質量分離部との間に前記イオン移動度分析装置を配設し、該イオン移動度分析装置においてイオン移動度に応じて分離されたイオンを質量分離部によりさらに分離して検出すること特徴とする質量分析装置。
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