JP6122345B2 - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力センサは、例えば自動車のコモンレ−ル等の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力媒体としての気体または気液混合気の圧力を検出するものである。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図6に示されるように、凸部26は、金属ステム20の一端部22において、タブレットガラス31の周囲のうちの4カ所に設けられている。すなわち、凸部26は接合ガラス30の周囲に4カ所設けられていると言える。なお、図6は図2のA矢視に対応した図である。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。上記各実施形態では、凸部26は金属ステム20の一部として形成されていたが、本実施形態では凸部26はガラス材によって形成されている。
本実施形態では、第1〜第3実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図8に示されるように、金属ステム20の一端部22のうち圧力導入孔21とは反対側の一面27の一部に溝が形成されたことにより、当該溝の底面が基準面25となっている。言い換えると、基準面25よりも高い部分が凸部26になっている。このように、凸部26は基準面25に対して突出するように金属ステム20に設けられていれば良い。
上記各実施形態で示された圧力センサ1の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、センサ素子40は四角形状に限られない。
21 圧力導入孔
22 一端部
23 ダイヤフラム
25 基準面
26 凸部
30 接合ガラス
40 センサ素子
Claims (2)
- 圧力媒体が導入される圧力導入孔(21)が設けられた中空筒形状であって、前記圧力導入孔(21)の一方を閉じるように前記中空筒形状の一端部(22)に設けられていると共に前記圧力導入孔(21)に導入された前記圧力媒体の圧力によって歪むダイヤフラム(23)を有する金属ステム(20)と、
前記金属ステム(20)の一端部(22)のうち前記ダイヤフラム(23)において前記圧力導入孔(21)とは反対側に設けられた接合ガラス(30)と、
前記接合ガラス(30)を介して前記ダイヤフラム(23)に接合され、前記ダイヤフラム(23)の歪みに応じたセンサ信号を出力するセンサ素子(40)と、を備えた圧力センサの製造方法であって、
粒状ガラスが成形された固形状のタブレットガラス(31)を用意する工程と、
前記金属ステム(20)として、前記ダイヤフラム(23)のうち前記接合ガラス(30)が配置される基準面(25)から突出すると共に当該金属ステム(20)の一端部(22)のうち前記接合ガラス(30)が配置される位置の周囲に位置するように当該金属ステム(20)の一端部(22)に設けられた凸部(26)を有するものを用意する工程と、
前記センサ素子(40)を用意する工程と、
前記凸部(26)が前記タブレットガラス(31)の周囲に位置するように、前記基準面(25)に前記タブレットガラス(31)を配置すると共に、当該タブレットガラス(31)の上に前記センサ素子(40)を配置することによりワーク(100)を構成する工程と、
前記ワーク(100)を焼成治具に搭載してリフロー炉に配置し、前記リフロー炉で前記タブレットガラス(31)を焼成して前記接合ガラス(30)を形成することにより、前記接合ガラス(30)を介して前記センサ素子(40)を前記ダイヤフラム(23)に接合する工程と、
を含んでいることを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記タブレットガラス(31)を焼成する工程では、前記タブレットガラス(31)を400℃以上で焼成することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013117551A JP6122345B6 (ja) | 2013-06-04 | 圧力センサの製造方法 |
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JP2014235106A JP2014235106A (ja) | 2014-12-15 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017211338A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-11-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置およびその製造方法ならびに物理量測定素子 |
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JP2014235106A (ja) | 2014-12-15 |
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