JP6120594B2 - ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 - Google Patents
ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6120594B2 JP6120594B2 JP2013022774A JP2013022774A JP6120594B2 JP 6120594 B2 JP6120594 B2 JP 6120594B2 JP 2013022774 A JP2013022774 A JP 2013022774A JP 2013022774 A JP2013022774 A JP 2013022774A JP 6120594 B2 JP6120594 B2 JP 6120594B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyurea
- thin film
- ferroelectric thin
- ferroelectric
- thermoplastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 title claims description 129
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 103
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 45
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 45
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims description 25
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 18
- -1 aliphatic diamine Chemical class 0.000 claims description 14
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 9
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 8
- 150000004984 aromatic diamines Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 20
- 230000005616 pyroelectricity Effects 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 10
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VHRGRCVQAFMJIZ-UHFFFAOYSA-N cadaverine Chemical compound NCCCCCN VHRGRCVQAFMJIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N Trifluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 4
- KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N putrescine Chemical compound NCCCCN KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- BYEAHWXPCBROCE-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-ol Chemical compound FC(F)(F)C(O)C(F)(F)F BYEAHWXPCBROCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 3
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- PWSKHLMYTZNYKO-UHFFFAOYSA-N heptane-1,7-diamine Chemical compound NCCCCCCCN PWSKHLMYTZNYKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 239000003586 protic polar solvent Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 1,8-diaminooctane Chemical compound NCCCCCCCCN PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N Acetamide Chemical compound CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N Dimethyl phthalate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005700 Putrescine Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 2
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- YQLZOAVZWJBZSY-UHFFFAOYSA-N decane-1,10-diamine Chemical compound NCCCCCCCCCCN YQLZOAVZWJBZSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N diethyl phthalate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QFTYSVGGYOXFRQ-UHFFFAOYSA-N dodecane-1,12-diamine Chemical compound NCCCCCCCCCCCCN QFTYSVGGYOXFRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- SXJVFQLYZSNZBT-UHFFFAOYSA-N nonane-1,9-diamine Chemical compound NCCCCCCCCCN SXJVFQLYZSNZBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 2
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- KLNPWTHGTVSSEU-UHFFFAOYSA-N undecane-1,11-diamine Chemical compound NCCCCCCCCCCCN KLNPWTHGTVSSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical compound O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoroethene Chemical compound FC=C(F)F MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 1,2-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC=C1N GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(Cl)=C1 ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIPSRYDSZQRPEA-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-trifluoroethanamine Chemical compound NCC(F)(F)F KIPSRYDSZQRPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMMGRPLNZPTZBS-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrothieno[2,3-b][1,4]dioxine Chemical compound O1CCOC2=C1C=CS2 YMMGRPLNZPTZBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 4,4'-diaminodiphenylmethane Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C=C1 YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPDSNGAFAJYVKH-UHFFFAOYSA-N 4-(4-aminophenyl)-2,3-dichloroaniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C(Cl)=C1Cl LPDSNGAFAJYVKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010020843 Hyperthermia Diseases 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- STSCVKRWJPWALQ-UHFFFAOYSA-N TRIFLUOROACETIC ACID ETHYL ESTER Chemical compound CCOC(=O)C(F)(F)F STSCVKRWJPWALQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RHQDFWAXVIIEBN-UHFFFAOYSA-N Trifluoroethanol Chemical compound OCC(F)(F)F RHQDFWAXVIIEBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKXVJHDEWHKBFH-UHFFFAOYSA-N [2-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=CC=C1CN GKXVJHDEWHKBFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZDHIQDKAYUDND-UHFFFAOYSA-N biphenylene-1,2-diamine Chemical compound C1=CC=C2C3=C(N)C(N)=CC=C3C2=C1 LZDHIQDKAYUDND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 229930188620 butyrolactone Natural products 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- YMHQVDAATAEZLO-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,1-diamine Chemical compound NC1(N)CCCCC1 YMHQVDAATAEZLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHAUROKXNSHBAG-UHFFFAOYSA-N cyclopentane-1,1-diamine Chemical compound NC1(N)CCCC1 GHAUROKXNSHBAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 125000004177 diethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- PBWZKZYHONABLN-UHFFFAOYSA-N difluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)F PBWZKZYHONABLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N dimethyl phthalate Natural products CC(=O)OC1=CC=CC=C1OC(C)=O FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 229960001826 dimethylphthalate Drugs 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 1
- 238000004110 electrostatic spray deposition (ESD) technique Methods 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036031 hyperthermia Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- JGGQWILNAAODRS-UHFFFAOYSA-N n-methyl-4-[4-(methylamino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC(NC)=CC=C1C1=CC=C(NC)C=C1 JGGQWILNAAODRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTNWKDHZTDQSST-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-diamine Chemical compound C1=CC=CC2=C(N)C(N)=CC=C21 NTNWKDHZTDQSST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000233 poly(alkylene oxides) Polymers 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001088 polycarbazole Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- ASAXRKSDVDALDT-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound CC(C)OC(=O)C(F)(F)F ASAXRKSDVDALDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000015541 sensory perception of touch Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
しかし、チタン酸ジルコン酸鉛は、含鉛系材料であるために、環境や人体への影響が問題視されつつあり、非鉛系材料の開発が精力的に進められている。
非鉛系の強誘電体材料の一つとして、チタン酸ジルコン酸バリウムが開発されている。しかしながら、チタン酸ジルコン酸バリウムは、チタン酸ジルコン酸鉛よりも性能が低く、また製造工程で500℃以上の高温が必要であることから、モノリシック化が不可能であったり、基材として樹脂フィルムなどを使用したりすることができないなどの問題があった。
特許文献2には、強誘電体材料であるP(VDF/TrFE)をジメチルホルムアミドに溶解させて、溶液プロセスで薄膜を作製する方法が記載されている。そして、共重合体にすることで、延伸しなくても、強誘電性、焦電性、圧電性を発現するために必要な配向性が得られることが記載されている。しかしながら、P(VDF/TrFE)は、材料価格がPVDFの約10倍以上であるという、コストの問題があった。
また、チタン酸ジルコン酸鉛の最高使用温度が約320℃であるのに対し、PVDFやP(VDF/TrFE)の最高使用温度は90〜100℃までであり、耐熱性、耐久性が低く、センサーとして使用できる用途が限られるという問題があった。
特許文献3では、焦電型赤外線センサーの焦電体に、強誘電体材料であるフッ化ビニリデンオリゴマーを用いることが提案されている。フッ化ビニリデンオリゴマーは、PVDF系の中でも高い焦電性を有することが記載されており、焦電型赤外線センサーの焦電体として優れている。しかし、フッ化ビニリデンオリゴマーは、低分子量体であることから、デバイスの耐久性、耐熱性が前記高分子量体のPVDF系よりも低く、センサーとして利用できる用途が限られるという問題があった。
(1)熱可塑性ポリ尿素を含み、D−Eヒステリシスによる残留分極量Prが150mC/m2以上であり、熱可塑性ポリ尿素の重合原料が、ジアミンと二酸化炭素とを含むことを特徴とするポリ尿素強誘電体薄膜。
(2)焦電能率ρが0.3以上であることを特徴とする(1)記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
(3)圧電係数eが4mC/m2以上であることを特徴とする(1)または(2)記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
(4)ジアミンが脂肪族ジアミンまたは芳香族ジアミンを含むことを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
(5)ジアミンを構成する炭素の個数が5〜12であることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
(6)上記(1)〜(5)のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の両面に電極が積層されてなることを特徴とする積層体。
(7)上記(1)記載のポリ尿素強誘電体薄膜を製造するための方法であって、熱可塑性ポリ尿素溶液を用いて、ウェットプロセスにより、170℃以下の温度の基板上に、熱可塑性ポリ尿素薄膜を形成する工程を含むことを特徴とするポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
(8)熱可塑性ポリ尿素薄膜を形成する工程の後に、ポーリング処理をおこなう工程を含むことを特徴とする(7)記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
(9)熱可塑性ポリ尿素溶液における熱可塑性ポリ尿素の濃度が0.1〜30質量%であることを特徴とする(7)または(8)記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
(10)熱可塑性ポリ尿素溶液を構成する溶媒が有機溶媒であることを特徴とする(7)〜(9)のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
(11)熱可塑性ポリ尿素溶液を構成する溶媒の沸点が170℃以下であることを特徴とする(7)〜(10)のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
本発明においては、熱可塑性ポリ尿素は、ジアミンと二酸化炭素とを含む原料を重合してなるものであることが好ましい。
脂肪族ジアミンとしては、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン等が挙げられる。
芳香族ジアミンとしては、フェニレンジアミン、ジアミノジフェニルエーテル、キシリレンジアミン、ビフェニレンジアミン、ジクロロベンジジン、ジメチルベンジジン、ジアミノジフェニルメタン、ナフタレンジアミン等が挙げられる。なお、官能基を2以上含む場合、置換基は芳香環のいずれの位置にあってもよい。
脂環族ジアミンとしては、シクロヘキサンジアミン、シクロペンタンジアミン、ビスアミノメチルシクロヘキサン、ビスアミノメチルシクロペンタン、ビスアミノメチルノルボルナン等が挙げられる。なお、官能基を2以上含む場合、置換基は脂肪環のいずれの位置にあってもよい。
残留分極値Prが150mC/m2未満であると、強誘電体メモリなどにポリ尿素強誘電体を適用するために薄膜を大型化しないと必要な分極反転電流を得られないことがある。しかし、Prが150mC/m2以上かつ高ければ高いほど、小さい面積で大きな分極反転電流を実現できることから、強誘電体メモリの小型化、高密度化が可能となる。
焦電能率ρが0.3未満では、ポリ尿素強誘電体薄膜を人とセンシングするための焦電センサーとして使用したときに、センサーが低感度になることがある。しかし、ρが0.3以上かつ高ければ高いほど、焦電センサーとして高感度になり、広範囲をセンシングすることが可能となる。
圧電係数eが4mC/m2未満では、ポリ尿素強誘電体薄膜を圧電センサーとして音響スピーカやタッチパネルなどに使用したときに、音響スピーカとしての音質の低下やセンサーが低感度になることがある。しかし、eが4mC/m2以上かつ高ければ高いほど、圧電センサーとして高感度で反応することや、音響スピーカとして音質の良いものの作製が可能となる。
本発明のポリ尿素強誘電体薄膜は、熱可塑性ポリ尿素溶液を用いて、ウェットプロセスにより、基板上に形成することができる。
溶媒の具体例として、強酸としては、硫酸、ギ酸が挙げられ、ハロゲン系溶媒としては、m−ジクロロベンゼン、o−ジクロロベンゼン、ヘキサフルオロイソプロパノール、トリフルオロエタノール、トリフルオロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロアセトアミド、トリフルオロエチルアミン、ジフルオロ酢酸、トリフルオロ酢酸イソプロピル、トリフルオロ酢酸エチルが挙げられ、プロトン性極性溶媒としては、p−クレゾール、m−クレゾール、o−クレゾールが挙げられ、非プロトン性極性溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルリン酸トリアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、εカプロラクトン、γブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチルが挙げられる。
中でも、溶媒は、沸点及び安全面の点から、有機溶媒であることが好ましく、ハロゲン系溶媒、プロトン性極性溶媒、非プロトン性極性溶媒がより好ましく、ハロゲン系溶媒、非プロトン性極性溶媒がさらに好ましく、ハロゲン系溶媒が最も好ましい。
溶媒が、ギ酸、ヘキサフルオロイソプロパノール、トリフルオロ酢酸である場合は、室温で溶解することができ、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、εカプロラクトン、δブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチルである場合は、100℃〜沸点未満の温度で溶解することができる。
ウェットプロセスは、特に限定されないが、塗布法(キャスト法、スピンコート法、ディップ法、バーコート法、ブラシ法、スプレー法、インクジェット法、グラビアロールコート法、リップコート法、エアナイフコート法)や、ホットスプレー法、Airbrushスプレー法、超音波スプレー法、静電スプレー堆積法などの方法が用いられる。
本発明においては、塗布法を用いることが好ましい。
塗布法による製膜が可能であることは、有機材料を用いることの最大の利点の一つである。塗布法は既存の真空プロセスよりはるかに低温で製造可能なプロセスであることから、省エネルギー化が可能であり、コストも抑えることができる。ロール・ツー・ロールへ適用することにより大量生産にも向いており、大面積化も可能であるというメリットを持つ。塗布法により薄膜を形成する方法は、基材への適応性や量産性の観点から適したものを選択することが好ましい。量産性の観点からは、キャスト法、スピンコート法、ディップ法、インクジェット法、グラビアロールコート法を用いることが好ましく、薄膜の均一性の観点からはスピンコート法が特に好ましい。
製膜された熱可塑性ポリ尿素溶液を乾燥させる温度は、溶媒を除去できる温度であれば特に限定されず、乾燥方法としては、例えば、室温での風乾、窒素下での加熱乾燥、真空乾燥等が挙げられる。
ポーリング処理により、ポリ尿素は、分子鎖の電気双極子が一方向に揃えられ、高い残留分極を有するようになり、強誘電体材料、焦電体材料、圧電体材料とすることができる。
ポーリング処理法としては、公知のコロナポーリング法やダイレクトポーリング法を適用することができる。例えば、薄膜の一方または上下に電極を積層し、薄膜を必要に応じて所定の温度で加熱し、そのままの状態を保持し、薄膜の表裏から高電場を一定時間印加し、次いで、冷却する方法が挙げられる。上記電極は、例えば、スパッタ法、蒸着法、ペースト塗布法等により薄膜に積層することができる。
ポリ尿素薄膜の下部電極は、たとえば、ポリ尿素薄膜が形成される前の絶縁性基板上に、またポリ尿素薄膜の上部電極は、形成されたポリ尿素薄膜上に、それぞれ、塗布法もしくは蒸着法によって形成することができる。
電極を構成する材料として、前述の基板を構成する金属材料;ITO、FTO、ATO、SnO2等の透明導電性酸化物;カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン等の炭素材料;ポリアセチレン、ポリピロール、PEDOT(poly−ethylenedioxythiophene)等のポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ(p−フェニレン)、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランまたはこれらの誘導体等の導電性高分子材料等が挙げられ、Pt、Au、W、Ta、Al、Cr、Ti、Cu、ITO、FTO、ATO、カーボンナノチューブ、ポリアセチレン、ポリピロール、PEDOT、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリフルオレンが好ましく、Pt、Au、Al、Cr、Ti、Cu、ITO、FTO、カーボンナノチューブ、ポリピロール、PEDOT、ポリチオフェン、ポリアニリンがより好ましく、Pt、Au、Al、Cr、Ti、Cuがさらに好ましい。
本発明での強誘電特性評価は、実施例1にその条件を記載するように、ポーリング処理中におこなった。
本発明での焦電特性評価は、残留分極量Prが150mC/m2程度までポーリング処理をおこなったポリ尿素強誘電体薄膜の積層体を用いておこなった。すなわち、温度を773Kにして黒体輻射炉から、3.75μm中心に最大輻射強度を有する白色赤外光を、ポーリング処理後の電極で挟まれたポリ尿素強誘電体薄膜へ照射した。入射光メカニカルチョッパを用いて変調し、焦電応答特性を観測して、焦電特性評価をおこなった。焦電特性評価から得られた焦電係数pと、薄膜材料の比誘電率εと体積比熱Cvとから、次式より焦電能率ρを求めた。
ρ=|p|/(Cv・ε)
動的粘弾性装置レオログラフソリッドS(東洋精機製作所社製)を用いて、強制振動法により圧電係数を測定した。すなわち、残留分極量Prが150mC/m2程度までポーリング処理をおこなったポリ尿素強誘電体薄膜の積層体を用いて、これに歪みSを与え、電極表面Aに発生する電荷Qを測定することによって、次式より圧電係数eを求めた。
e(mC/m2)=(1/A)(Q/S)
[熱可塑性ポリ尿素の製造]
反応容器に1,7−ジアミノヘプタンを投入した後、二酸化炭素をバブリングして、5〜10MPa、180〜220℃、15時間の条件で重合反応をおこなって熱可塑性ポリ尿素を製造した。
[熱可塑性ポリ尿素溶液の調製]
得られた熱可塑性ポリ尿素をヘキサフルオロイソプロパノール(以下、HFIPと略する)に25℃で溶解し、濃度5.0質量%の熱可塑性ポリ尿素溶液を得た。
石英基板(2.0μm)上に、下部電極として厚さ100nmのAlを蒸着した。その後、石英基板の温度を10℃に調節し、石英基板の下部電極上に、熱可塑性ポリ尿素溶液を、スピンコート法を用いて、3000rpm30秒の条件で、ポリ尿素薄膜(1.0μm)を作製した。
溶媒を除去及び表面平滑化のために、窒素雰囲気下で250℃、30秒の熱処理をおこない、熱処理後、室温下で自然冷却した。
冷却後、ポリ尿素薄膜上に、厚さ60nmのAlを蒸着して上部電極を形成し、下部電極(Al、100nm)/ポリ尿素薄膜(1.0μm)/上部電極(Al、60nm)からなる構造の積層体を形成した。
得られた積層体にポーリング処理及び強誘電性評価のため、この積層体の上部電極と下部電極との間に、三角波電圧を印加して、積層体の電束密度−電界(D−E)特性を測定した。なお、振幅電界は180MV/mまで昇圧し、周波数は、100Hzを超えると強誘電性が得られないため、0.01Hzから100Hzの間とした。測定時の基板温度が室温であると、高電圧の印加により積層体のポリ尿素薄膜が破壊されるため、基板を室温から200℃まで昇温しながら、昇圧した。電束密度−電界(D−E)特性を測定し、分極反転電流が確認されたらD切片から残留分極量Prを求めた。
ポーリング処理で、Prが150mC/m2以上かつ最大Prまで、昇圧を繰り返した後、電圧の印加と基板の加熱を終了し、自然冷却をおこなった。
表1に記載のジアミン、溶媒、基板温度に変更した以外は実施例1と同様にして、ポリ尿素薄膜、積層体を製造し、次いでポーリング処理をおこなった。なお、比較例5では、ポリ尿素を溶媒に溶解する温度を160℃とし、比較例6では150℃とした。
延伸処理を施した厚さ25μmのPVDFフィルム(クレハ社製)に、電極としてAlを蒸着した後、ポーリング処理をおこなった。
P(VDF/TrFE)(東レ社製)をジメチルホルムアミド(以下、DMFと略する)に25℃で溶解し、P(VDF/TrFE)溶液を得た。この溶液を用いた以外は、実施例1と同様にして、薄膜、積層体を作製し、次いでポーリング処理をおこなった。
ジイソシアネートモノマーに1,5−ジイソシアネートペンタン、ジアミンモノマーに1,5−ジアミノペンタンを用いて、真空下で蒸着重合をおこない、Al蒸着(100nm厚)石英基板上に、薄膜を作製した。すなわち、真空槽は、長さ500mm、内径650mmのステンレス鋼製であり、排気系は、油拡散ポンプを使用した。そして、それぞれの蒸発源中のモノマーをハロゲンランプにより所定の温度まで上昇させた後、シャッターを開けて蒸発させ、石英基板のAl蒸着面上に、重合膜を形成させた。蒸発源のモノマーは熱電対により制御し、重合膜の膜厚は水晶振動モニターにより制御した。次いで作製した重合膜に真空槽でAlを60nm蒸着させて、基板上に、下部電極/ポリ尿素薄膜/上部電極なる積層体を作製し、次いでポーリング処理をおこなった。
ジイソシアネートモノマーに4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ジアミンモノマーに4,4′−ジアミノジフェニルメタンを用いて、比較例3と同様にして、ポリ尿素薄膜、積層体を作製し、次いでポーリング処理をおこなった。
比較例2のP(VDF/TrFE)は、良好な性能を有したが、本発明のポリ尿素強誘電体薄膜に比べ低いものであり、また融点がポリ尿素よりも低いことから、耐熱性、耐久性に問題があった。
また、ジアミンとジイソシアネートから作製されたポリ尿素は熱硬化性樹脂であり、加熱すると架橋反応を起こして高分子の網目構造を形成し、硬化して、熱可塑性を示さなくなった。よって、デバイス作製プロセスに加熱工程が入ると、ポリ尿素の強誘電性、焦電性、圧電性の性能が変化するという問題が発生した。
Claims (11)
- 熱可塑性ポリ尿素を含み、D−Eヒステリシスによる残留分極量Prが150mC/m2以上であり、熱可塑性ポリ尿素の重合原料が、ジアミンと二酸化炭素とを含むことを特徴とするポリ尿素強誘電体薄膜。
- 焦電能率ρが0.3以上であることを特徴とする請求項1記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
- 圧電係数eが4mC/m2以上であることを特徴とする請求項1または2記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
- ジアミンが脂肪族ジアミンまたは芳香族ジアミンを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
- ジアミンを構成する炭素の個数が5〜12であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の両面に電極が積層されてなることを特徴とする積層体。
- 請求項1記載のポリ尿素強誘電体薄膜を製造するための方法であって、熱可塑性ポリ尿素溶液を用いて、ウェットプロセスにより、170℃以下の温度の基板上に、熱可塑性ポリ尿素薄膜を形成する工程を含むことを特徴とするポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
- 熱可塑性ポリ尿素薄膜を形成する工程の後に、ポーリング処理をおこなう工程を含むことを特徴とする請求項7記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
- 熱可塑性ポリ尿素溶液における熱可塑性ポリ尿素の濃度が0.1〜30質量%であることを特徴とする請求項7または8記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
- 熱可塑性ポリ尿素溶液を構成する溶媒が有機溶媒であることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
- 熱可塑性ポリ尿素溶液を構成する溶媒の沸点が170℃以下であることを特徴とする請求項7〜10のいずれかに記載のポリ尿素強誘電体薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013022774A JP6120594B2 (ja) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013022774A JP6120594B2 (ja) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014152238A JP2014152238A (ja) | 2014-08-25 |
JP6120594B2 true JP6120594B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=51574441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013022774A Active JP6120594B2 (ja) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6120594B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6366824B2 (ja) * | 2014-09-09 | 2018-08-01 | サビック グローバル テクノロジーズ ベスローテン フェンノートシャップ | 二段階温度プロセスを使用した薄膜強誘電体デバイスの製造方法 |
JP2016155904A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | ユニチカ株式会社 | 尿素オリゴマー薄膜及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010114122A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 有機圧電体、超音波振動子、超音波探触子および超音波画像検出装置 |
JP5658006B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2015-01-21 | ユニチカ株式会社 | ポリ尿素の製造方法 |
JP5780831B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2015-09-16 | ユニチカ株式会社 | 熱可塑性ポリ尿素、ならびにそれを用いた積層体および配線基板 |
-
2013
- 2013-02-08 JP JP2013022774A patent/JP6120594B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014152238A (ja) | 2014-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zaarour et al. | Enhanced piezoelectric properties of randomly oriented and aligned electrospun PVDF fibers by regulating the surface morphology | |
Xia et al. | PVDF‐based dielectric polymers and their applications in electronic materials | |
Gheibi et al. | Electrical power generation from piezoelectric electrospun nanofibers membranes: electrospinning parameters optimization and effect of membranes thickness on output electrical voltage | |
US9434801B2 (en) | Polymer and polymer actuator comprising the same | |
Lu et al. | Structural Dependence of Phase Transition and Dielectric Relaxation in Ferroelectric Poly (vinylidene fluoride− chlorotrifluoroethylene− trifluoroethylene) s | |
CN111432999B (zh) | 聚酰亚胺类膜的制造方法和由此制造的聚酰亚胺类膜 | |
JP6120594B2 (ja) | ポリ尿素強誘電体薄膜及びその製造方法 | |
CN109689746A (zh) | 膜 | |
Taleb et al. | Fabrication of poly (vinylidene fluoride) films by ultrasonic spray coating; uniformity and piezoelectric properties | |
KR20140097875A (ko) | 스프레이 코팅을 통해 제조된 β-상 PVDF 필름을 포함하는 압전소자 | |
JP6395470B2 (ja) | 熱可塑性ポリ尿素薄膜、その積層体、およびそれらの製造方法 | |
Zhang et al. | Thermal stability of piezoelectricity in polylactide polymers and related piezoelectric minimotor application | |
Barsotti et al. | Ultraconformable freestanding capacitors based on ultrathin polyvinyl formal films | |
Kubin et al. | Piezoelectric properties of PVDF‐TrFE/BaTiO3 composite foams with different contents of TrFE units | |
Morimoto et al. | Polyurea spin-coated thin films: Pyro-and piezoelectric properties and application to infrared sensors | |
KR101440484B1 (ko) | 스프레이 코팅을 이용한 β-상 PVDF 필름의 제조방법 | |
Fu et al. | Enhanced piezoelectricity in polyvinyl chloride film plasticized by diethyl adipate | |
Maceiras et al. | Synthesis and characterization of novel piezoelectric nitrile copolyimide films for high temperature sensor applications | |
JP4835485B2 (ja) | 強誘電性の積層体とその製造方法 | |
Yang et al. | Pyroelectric polyvinylidene fluoride film prepared by a novel combining method and its application in fully flexible infrared detector | |
Baur et al. | Organic, flexible, polymer composites for high-temperature piezoelectric applications | |
Takamatsu et al. | All polymer piezoelectric film for the application to low resonance frequency energy harvester | |
JP2016155904A (ja) | 尿素オリゴマー薄膜及びその製造方法 | |
Phooplub et al. | Electro‐mechanical properties of poly (vinylidene fluoride‐hexafluoropropylene) reinforced with zinc oxide nanostructure | |
JP5005592B2 (ja) | 積層体の製造方法、積層体およびビニリデンフルオライド系オリゴマー膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6120594 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |