JP6120227B2 - 高周波半導体スイッチ回路とそれを備えた高周波無線システム - Google Patents

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Description

本発明は、携帯電話機等の小型・軽量・低消費電力の無線通信機に搭載される高周波半導体スイッチ回路及びそれを用いた高周波無線システムに関するものである。
携帯電話機に代表されるモバイル通信機器にとって、アンテナの送信及び受信の切替等、高周波の信号伝達経路を切り替えるために、小型、低消費電力の高周波半導体スイッチ回路が望まれている。例えば、高周波特性及び低消費電力性に優れたGaAsFET(Gallium Arsenide Field Effect Transistor)をスイッチング素子として用いた高周波半導体スイッチ回路が用いられている。
近年では、SOS(Silicon On Sapphire)基板やSOI(Silicon OnInsulator)基板に代表される、絶縁性に優れる半導体基板の改良も進んでいる。また、高周波半導体スイッチ回路に不利であったMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)を経路切替用のスイッチング素子として採用する技術も開発されている。
具体的には、共通入出力端子と複数の個別入出力端子の各々との間に経路切替用FETを設けた高周波半導体スイッチ回路が知られている。しかしながら、経路切替用FETのみで高周波半導体スイッチ回路が構成される場合、挿入損失を劣化させることなく、アイソレーション特性を向上させることが難しいという課題があった。
そこで、特許文献1及び2では、経路切替用FETとシャント用FETとを併用する。ところが、経路切替用FET及びシャント用FETをそれぞれ個別に制御することができないため、オフしているFETのアイソレーションが劣化するという課題があった。
これに対して、特許文献3では、経路切替用FETとシャント用FETとのそれぞれをキャパシタによって分離しているので、各FETを個別の電圧で制御することが可能である。
特開平6−85641号公報 特開2008−109591号公報 特開2012−114729号公報
ところが、特許文献3の技術では、経路切替用FET及びシャント用FETの各々のゲート、ソース及びドレインをHigh電圧(例えば2.5V)又はLow電圧(0V)で制御している。したがって、共通入出力端子に大振幅信号が入力された場合(例えば2Vpp)に、オフ状態のFETでは2.5Vを中心に1.5Vから3.5Vまで振れるため、耐圧(例えば最大定格2.7V)を超えてしまう。そのため、共通入出力端子へのRF入力信号の振幅に制限を設けるか、又は耐圧の高いFETに変更する必要が出てくる。ところが、RF入力信号の振幅に制限を設けると、要望特性を満たさなくなる。また、耐圧の高いFETに変更すると、挿入損失の劣化を招き、またチップサイズが増大するといった課題があった。
本発明の目的は、チップサイズの増大、オン経路の挿入損失の悪化を解決し、かつFETの耐圧に制限されない高周波半導体スイッチ回路を提供することにある。
本発明の他の目的は、マルチバンド化の際に困難であったアイソレーションの確保を実現し、高性能な高周波半導体スイッチ回路を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明に係る高周波半導体スイッチ回路は、1つの共通入出力端子、2つ以上の個別入出力端子、及び前記個別入出力端子に対応した2つ以上の制御端子と、前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間に設けられた2組以上の経路切替用FET段と、グランドと前記2つ以上の個別入出力端子のうち少なくとも1つとの間に設けられた1組以上のシャント用FET段と、前記2組以上の経路切替用FET段の両端にそれぞれ設けられた直流カットキャパシタと、前記1組以上のシャント用FET段の両端にそれぞれ設けられた直流カットキャパシタと、前記2組以上の経路切替用FET段と前記1組以上のシャント用FET段とのそれぞれのソースバイアス抵抗とを含む構成を採用し、前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間の高周波信号経路のうち少なくとも1つを導通させ、かつ残りを遮断させるべく前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのゲートに印加し、前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の反転電位の制御電圧を、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのゲートに印加し、前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の反転でかつ絶対値が小さな制御電圧を、前記2組以上の経路切替用FET段のそれぞれのソース又はドレインに印加し、前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の正転でかつ絶対値が小さな制御電圧を、前記1組以上のシャント用FET段のそれぞれのソース又はドレインに印加することとしたものである。
本発明によれば、低挿入損失及び高アイソレーションといった良好な特性を維持しつつ、耐電力特性が大きい高機能の高周波半導体スイッチ回路を小型かつ低消費電力で実現できる。
本発明の第1の実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路の構成例を示す回路図である。 図1中の電源回路の構成例を示す回路図である。 図1の高周波半導体スイッチ回路の制御論理表を示す図である。 図1の高周波半導体スイッチ回路の第1変形例を示す回路図である。 図1の高周波半導体スイッチ回路の第2変形例を示す回路図である。 本発明の第2の実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路の構成例を示す回路図である。 本発明の高周波半導体スイッチ回路を含む、本発明の第3の実施形態に係る高周波無線システムの構成例を示す模式図である。
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図を通じて同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
《第1の実施形態》
図1は、本発明の第1の実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路の構成例を示す回路図である。図1の高周波半導体スイッチ回路は、共通入出力端子101と、2つの個別入出力端子102,103とを有し、共通入出力端子101と一方の個別入出力端子102との間には、直流カットキャパシタ131と経路切替用FET121と直流カットキャパシタ132との直列回路が、共通入出力端子101と他方の個別入出力端子103との間には、直流カットキャパシタ135と経路切替用FET122と直流カットキャパシタ136との直列回路がそれぞれ接続されている。経路切替用FET121、経路切替用FET122をそれぞれオンあるいはオフとすることで、共通入出力端子101と、個別入出力端子102及び個別入出力端子103との信号経路を切り替えることができる構成となっている。
経路切替用FET121,122はそれぞれMOSFETで構成されており、ゲートバイアス抵抗141を経由して、経路切替用FET121のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができ、ゲートバイアス抵抗142を経由して、経路切替用FET122のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができる。
個別入出力端子102とグランドとの間には、直流カットキャパシタ133とシャント用FET123と直流カットキャパシタ134との直列回路が、個別入出力端子103とグランドとの間には、直流カットキャパシタ137とシャント用FET124と直流カットキャパシタ138との直列回路がそれぞれ接続されている。
シャント用FET123,124はそれぞれMOSFETで構成されており、ゲートバイアス抵抗143を経由して、シャント用FET123のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができ、ゲートバイアス抵抗144を経由して、シャント用FET124のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができる。シャント用FET123、シャント用FET124をそれぞれ経路切替用FET121、経路切替用FET122とは逆の極性でオンあるいはオフとすることで、高アイソレーション特性を実現する。
また、ソースバイアス抵抗149を経由して、経路切替用FET121のソースに電圧を印加することができ、ソースバイアス抵抗150を経由して、経路切替用FET122のソースに電圧を印加することができる。経路切替用FET121のソース電圧と経路切替用FET122のソース電圧とは逆の極性の電圧を印加する。また、ソースバイアス抵抗151を経由して、シャント用FET123のソースに電圧を印加することができ、ソースバイアス抵抗152を経由して、シャント用FET124のソースに電圧を印加することができる。シャント用FET123のソース電圧とシャント用FET124のソース電圧とは逆の極性の電圧を印加する。以上のとおり、FET121,122,123,124のゲート電圧とソース電圧とを個別に制御できる。
FET121,122,123,124のソース・ドレイン間にはそれぞれソース・ドレイン短絡抵抗145,146,147,148が接続されており、FET121,122,123,124のソース・ドレイン間を同電位にしている。なお、ソース・ドレイン短絡抵抗145,146,147,148については、少なくとも1本がない態様も可能である。
図1の高周波半導体スイッチ回路では、FET121,122,123,124にゲート電圧とソース電圧とを供給する手段として、電源回路300、制御端子301,302、及びインバータ回路311〜318を用いている。
具体的には、制御端子301から2段のインバータ回路311,312とゲートバイアス抵抗141とを経由して、経路切替用FET121のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができ、制御端子302から2段のインバータ回路315,316とゲートバイアス抵抗142とを経由して、経路切替用FET122のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができる。また、制御端子301から1段のインバータ回路311とゲートバイアス抵抗143とを経由して、シャント用FET123のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができ、制御端子302から1段のインバータ回路315とゲートバイアス抵抗144とを経由して、シャント用FET124のゲートをオン又はオフするために必要な電圧を印加することができる。更に、制御端子301から1段のインバータ回路313とソースバイアス抵抗149とを経由して、経路切替用FET121のソースに電圧を印加することができ、制御端子302から1段のインバータ回路317とソースバイアス抵抗150とを経由して、経路切替用FET122のソースに電圧を印加することができる。また、制御端子301から2段のインバータ回路313,314とソースバイアス抵抗151とを経由して、シャント用FET123のソースに電圧を印加することができ、制御端子302から2段のインバータ回路317,318とソースバイアス抵抗152とを経由して、シャント用FET124のソースに電圧を印加することができる。
インバータ回路311〜318の電源は電源回路300から供給されており、各FETのゲートに接続されるインバータ回路311,312,315,316には第1の内部電源電圧IntVDD1が、各FETのソースに接続されるインバータ回路313,314,317,318には第2の内部電源電圧IntVDD2がそれぞれ供給される。ここでIntVDD1はIntVDD2よりも大きく例えば、IntVDD1は2.5V、IntVDD2は1.25Vである。IntVDD1、IntVDD2は、例えばバッテリからの入力電圧Vbatをもとに、電源回路300で生成される。
図2は、電源回路300の構成例を示す回路図である。図2の電源回路300は、PMOSFET511,512、NMOSFET513,514、抵抗515〜518及び電流源519で構成されている。
電流源519で発生した電流をドレインとゲートとが接続されたPMOSFET511に供給する。PMOSFET511のゲートとPMOSFET512のゲートとは接続され、共にソースは電源回路300の入力電圧Vbatに接続されている。PMOSFET512のドレインとグランドとの間には抵抗515と抵抗516との直列回路が挿入されている。抵抗515とPMOSFET512との間の接続点をNMOSFET513のゲートに接続し、抵抗515と抵抗516との間の接続点をNMOSFET514のゲートに接続し、NMOSFET513のソースとグランドとの間に抵抗517を挿入し、NMOSFET514のソースとグランドとの間に抵抗518を挿入している。NMOSFET513と抵抗517との間の接続点を外に取り出し、その電圧をIntVDD1とする。また、NMOSFET514と抵抗518との間の接続点を外に取り出し、その電圧をIntVDD2とする。このような回路構成にすることで、IntVDD1とIntVDD2といった大きさの違う2種類の電位を容易に作成することができる。
図3は、図1の高周波半導体スイッチ回路の制御論理表を示す図である。図3には4つの場合が示されているが、ここでは、下から4行目の場合について説明する。つまり、共通入出力端子101と個別入出力端子102との間の高周波信号経路を導通状態にし、かつ共通入出力端子101と個別入出力端子103との間の高周波信号経路を遮断状態にする場合を想定する。以下の説明では、HighレベルとLowレベルとの中間の電位をMidレベルと呼ぶ。
各制御端子には、図3の制御論理表に示すような値を供給する。すなわち、制御端子301はHighレベル、制御端子302はLowレベルである。このとき、経路切替用FET121のゲート電圧はHighレベル例えば2.5Vとなり、経路切替用FET121のソース及びドレイン電圧はLowレベル例えば0Vとなるため、経路切替用FET121はオン状態となる。経路切替用FET122のゲート電圧はLowレベル例えば0Vとなり、経路切替用FET122のソース及びドレイン電圧はMidレベル例えば1.25Vとなるため、経路切替用FET122はオフ状態となる。シャント用FET123のゲート電圧はLowレベル例えば0Vとなり、シャント用FET123のソース及びドレイン電圧はMidレベル例えば1.25Vとなるため、シャント用FET123はオフ状態となる。シャント用FET124のゲート電圧はHighレベル例えば2.5Vとなり、シャント用FET124のソース及びドレイン電圧はLowレベル例えば0Vとなるため、シャント用FET124はオン状態となる。よって、共通入出力端子101から個別入出力端子102へ信号が通過し、共通入出力端子101から個別入出力端子103へは信号は通過しない。つまり、オン・オフ制御を確実に行うことができ、オフ状態の信号経路へのリークの抑制につながり、高アイソレーション、低歪といった良好な特性を有する高周波半導体スイッチ回路を実現することができる。
また、オフ状態の経路切替用FET122、シャント用FET123のソース及びドレイン電圧をMidレベルとしたことで、共通入出力端子101に大振幅信号が入力された場合においても経路切替用FET122、シャント用FET123の耐圧を超えることはない。具体的には、共通入出力端子101に2Vpp(片側1V)の高周波信号が入力されたとき、経路切替用FET122、シャント用FET123のソースには最大で1.25V+1Vの電圧が印加される。経路切替用FET122、シャント用FET123の耐圧が例えば2.7Vの場合、耐圧を超えることはなく、これらのFET122,123は正常に動作する。
以上のとおり、本実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路では、低挿入損失と高アイソレーション特性とを両立させ、かつ、チップサイズを縮小させることが可能である。また、電源回路300とインバータ回路311〜318とを用いることで、本実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路を1チップ内に容易に実現することが可能である。
なお、上記インバータ回路311〜318は、低消費電力かつチップサイズの小型化のため、PMOSFETとNMOSFETとで構成される一般的なインバータ回路を想定しているが、同等の機能を持つ回路であれば、他の回路でも問題はない。また、図1では、インバータ回路を2段に接続しているが、同等の論理が実現できれば、段数や接続形式、また回路形式が異なっていても問題ない。
また、本実施形態は、2つの個別入出力端子102,103を有する高周波半導体スイッチ回路に限定されず、3つ以上の個別入出力端子を有する高周波半導体スイッチ回路に変形可能である。
図4は、図1の高周波半導体スイッチ回路の第1変形例を示す回路図である。図4の高周波半導体スイッチ回路は、図1中の1つの高周波信号経路のみにアイソレーション確保用のシャント用FET123を接続した場合を表している。つまり、図1では高周波信号経路それぞれにシャント用FET123,124を接続していたが、図4のように特定の高周波信号経路のみにシャント用FET123が接続される場合にも、本実施形態は適用可能である。
図5は、図1の高周波半導体スイッチ回路の第2変形例を示す回路図である。図5の高周波半導体スイッチ回路では、4つの経路切替用FET801a〜801dの直列接続により1つの経路切替用FET段が、4つの経路切替用FET802a〜802dの直列接続により他の1つの経路切替用FET段がそれぞれ構成されている。811a〜811dはゲートバイアス抵抗、821a〜821dはソース・ドレイン短絡抵抗、812a〜812dはゲートバイアス抵抗、822a〜822dはソース・ドレイン短絡抵抗である。また、4つのシャント用FET803a〜803dの直列接続により1つのシャント用FET段が、4つのシャント用FET804a〜804dの直列接続により他の1つのシャント用FET段がそれぞれ構成されている。813a〜813dはゲートバイアス抵抗、823a〜823dはソース・ドレイン短絡抵抗、814a〜814dはゲートバイアス抵抗、824a〜824dはソース・ドレイン短絡抵抗である。つまり、図1では各高周波信号経路に設けられた経路切替用FET段及びシャント用FET段を構成するMOSFETが1つの場合を例示したが、2つ以上のMOSFETを直列接続する場合にも本実施形態は適用される。このように、複数のMOSFETを直列接続して経路切替用FET段及びシャント用FET段を構成することよって、アイソレーション特性や耐圧の向上が図られる。
《第2の実施形態》
図6は、第2の実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路の構成例を示す回路図である。図6の高周波半導体スイッチ回路は、共通入出力端子101、個別入出力端子102,103、経路切替用FET121,122、シャント用FET123,124、ゲートバイアス抵抗141〜144、ソース・ドレイン短絡抵抗145〜148、ソースバイアス抵抗149〜152、直流カットキャパシタ131〜138、インバータ回路311〜318を備えている。これらの構成は、図1の高周波半導体スイッチ回路と同じである。ただし、図1ではインバータ回路311,312,315,316の電源端子はIntVDD1に、インバータ回路313,314,317,318の電源端子はIntVDD2にそれぞれ接続されていたが、図6ではインバータ回路311〜318の全ての電源端子がIntVDD1に接続されている。また、ソースバイアス抵抗149と経路切替用FET121のソース端子との接続点とグランドとの間に電圧分割用抵抗901が、ソースバイアス抵抗151とシャント用FET123のソース端子との接続点とグランドとの間に電圧分割用抵抗902が、ソースバイアス抵抗150と経路切替用FET122のソース端子との接続点とグランドとの間に電圧分割用抵抗903が、ソースバイアス抵抗152とシャント用FET124のソース端子との接続点とグランドとの間に電圧分割用抵抗904がそれぞれ接続されている。
インバータ回路313の出力に対して、ソースバイアス抵抗149と電圧分割用抵抗901とで電圧を抵抗分割することにより、経路切替用FET121のソースにかかる電圧をIntVDD1よりも低い値とすることが可能となる。インバータ回路314の出力に対して、ソースバイアス抵抗151と電圧分割用抵抗902とで電圧を抵抗分割することにより、シャント用FET123のソースにかかる電圧をIntVDD1よりも低い値とすることが可能となる。インバータ回路317の出力に対して、ソースバイアス抵抗150と電圧分割用抵抗903とで電圧を抵抗分割することにより、経路切替用FET122のソースにかかる電圧をIntVDD1よりも低い値とすることが可能となる。インバータ回路318の出力に対して、ソースバイアス抵抗152と電圧分割用抵抗904とで電圧を抵抗分割することにより、シャント用FET124のソースにかかる電圧をIntVDD1よりも低い値とすることが可能となる。このようにして、共通入出力端子101に大振幅信号が入力された場合(例えば2Vpp)にもオフ状態のFETを最適な動作範囲で制御することが可能となり、耐圧を超えることもない。
図6の高周波半導体スイッチ回路の動作例として、2つの経路のうちのいずれか1つ以上を導通状態にする場合を例に挙げて説明する。ここでも、共通入出力端子101と個別入出力端子102との間の高周波信号経路を導通状態とし、共通入出力端子101と個別入出力端子103との間の高周波信号経路を遮断状態にする場合を想定する。すなわち、制御端子301はHighレベル、制御端子302はLowレベルである。このとき、経路切替用FET121のゲート電圧はHighレベル例えば2.5Vとなり、経路切替用FET121のソース及びドレイン電圧は、Lowレベルの電圧をソースバイアス抵抗149と電圧分割用抵抗901とで分割した値例えば0Vとなるため、経路切替用FET121はオン状態となる。経路切替用FET122のゲート電圧はLowレベル例えば0Vとなり、経路切替用FET122のソース及びドレイン電圧はHighレベルの電圧をソースバイアス抵抗150と電圧分割用抵抗903とで分割した値例えば1.25Vとなるため、経路切替用FET122はオフ状態となる。シャント用FET123のゲート電圧はLowレベル例えば0Vとなり、シャント用FET123のソース及びドレイン電圧はHighレベルの電圧をソースバイアス抵抗151と電圧分割用抵抗902とで分割した値例えば1.25Vとなるため、シャント用FET123はオフ状態となる。シャント用FET124のゲート電圧はHighレベル例えば2.5Vとなり、シャント用FET124のソース及びドレイン電圧は、Lowレベルの電圧をソースバイアス抵抗152と電圧分割用抵抗904とで分割した値例えば0Vとなるため、シャント用FET124はオン状態となる。よって、共通入出力端子101から個別入出力端子102へ信号が通過し、共通入出力端子101から個別入出力端子103へは信号は通過しない。つまり、オン・オフ制御を確実に行うことができ、オフ状態の信号経路へのリークの抑制につながり、高アイソレーション、低歪といった良好な特性を有する高周波半導体スイッチ回路を実現することができる。
また、オフ状態の経路切替用FET122、シャント用FET123のソース及びドレイン電圧を抵抗分割で生成したMidレベルとしたことで、共通入出力端子101に大振幅信号が入力された場合においても経路切替用FET122、シャント用FET123の耐圧を超えることはない。具体的には、共通入出力端子101に2Vpp(片側1V)の高周波信号が入力されたとき、経路切替用FET122、シャント用FET123のソースには最大で1.25V+1Vの電圧が印加される。経路切替用FET122、シャント用FET123の耐圧が例えば2.7Vの場合、耐圧を超えることはなく、これらのFET122,123は正常に動作する。
以上のとおり、第2の実施形態によれば、第1の実施形態の効果と同等の効果を実現可能である。しかも、第2の実施形態でも、基本的には第1の実施形態と同様の変形例を採用できる。例えば、図6の構成は、3つ以上の個別入出力端子を有する高周波半導体スイッチ回路に変形可能である。また、特定の高周波信号経路のみにシャント用FET段が接続される場合にも、本実施形態は適用可能である。各高周波信号経路のFET段を構成するFETの直列数が2以上である場合にも、本実施形態は適用可能である。
なお、上記第1及び第2の実施形態に係る高周波半導体スイッチ回路を形成する半導体基板として、SOI基板又はSOS基板を採用することができる。
《第3の実施形態》
図7は、本発明の第3の実施形態に係る高周波無線システムの構成例を示す模式図である。図7の高周波無線システムは、例えば準マイクロ波帯のモバイル通信機器において、アンテナANTに対して送信受信の切替を行い、かつ大小異なる2つ以上の高周波電力を扱うシステムである。m及びnをそれぞれ整数とするとき、送信部TXはm個の送信回路TX1〜TXmを備え、受信部RXはn個の受信回路RX1〜RXnを備える。SW1は送信用スイッチ回路、SW2は受信用スイッチ回路である。例えば、上記第1及び第2の実施形態にて、図1、図4、図5及び図6を以て説明した高周波半導体スイッチ回路は、図7中の送信回路TX1に接続された送信用スイッチ回路SW1と、受信回路RX1に接続された受信用スイッチ回路SW2とを含む高周波半導体スイッチ回路に相当する。
なお、高周波信号経路を構成するMOSFETで大電力をとり扱う場合、遮断状態のMOSFETにおいて歪を発生しやすくなる。このため、積極的に、複数のMOSFETを直列接続して多段化することにより大電力の高周波信号を取り扱えるようにする。
受信用スイッチ回路SW2が複数の高周波信号経路を有する場合には、経路切替用FET段の各々を複数のMOSFETの直列回路で構成するとともに(図5参照)、複数の経路切替用FET段のうちの一部のMOSFETを共通化することができる。これにより、従来と同等の歪特性を有するアンテナスイッチ回路を小型化することが可能となる。
本発明の高周波半導体スイッチ回路は、小型、軽量、低消費電力が要請される携帯電話機等の高周波無線システムにとって有用である。
101 共通入出力端子
102,103 個別入出力端子
121,122 経路切替用FET
123,124 シャント用FET
131〜138 直流カットキャパシタ
141〜144 ゲートバイアス抵抗
145〜148 ソース・ドレイン短絡抵抗
149〜152 ソースバイアス抵抗
300 電源回路
301〜302 制御端子
311〜318 インバータ回路
511,512 PMOSFET
513,514 NMOSFET
515〜518 抵抗
519 電流源
801a〜d,802a〜d 経路切替用FET
803a〜d,804a〜d シャント用FET
811a〜d,812a〜d,813a〜d,814a〜d ゲートバイアス抵抗
821a〜d,822a〜d,823a〜d,824a〜d ソース・ドレイン短絡抵抗
901〜904 電圧分割用抵抗
ANT アンテナ
IntVDD1,IntVDD2 内部電源電圧
RX 受信部
SW1〜2 スイッチ回路
TX 送信部
Vbat 電源回路の入力電圧

Claims (7)

  1. 1つの共通入出力端子、2つ以上の個別入出力端子、及び前記個別入出力端子に対応した2つ以上の制御端子と、
    前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間に設けられた2組以上の経路切替用FET段と、
    グランドと前記2つ以上の個別入出力端子のうち少なくとも1つとの間に設けられた1組以上のシャント用FET段と、
    前記2組以上の経路切替用FET段の両端にそれぞれ設けられた直流カットキャパシタと、
    前記1組以上のシャント用FET段の両端にそれぞれ設けられた直流カットキャパシタと、
    前記2組以上の経路切替用FET段と前記1組以上のシャント用FET段とのそれぞれのソースバイアス抵抗とを含み、
    前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間の高周波信号経路のうち少なくとも1つを導通させ、かつ残りを遮断させるべく前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の反転電位の制御電圧を、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の反転でかつ絶対値が小さな制御電圧を、前記2組以上の経路切替用FET段のそれぞれのソース又はドレインに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された電圧の正転でかつ絶対値が小さな制御電圧を、前記1組以上のシャント用FET段のそれぞれのソース又はドレインに印加することを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  2. 請求項1記載の高周波半導体スイッチ回路において、
    電源電圧として第1の内部電源電圧を持つインバータ回路と、
    電源電圧として前記第1の内部電源電圧よりも小さな値である第2の内部電源電圧を持つインバータ回路とを含み、
    前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間の高周波信号経路のうち少なくとも1つを導通させ、かつ残りを遮断させるべく前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、電源電圧として前記第1の内部電源電圧を持つ2段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、電源電圧として前記第1の内部電源電圧を持つ1段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、電源電圧として前記第2の内部電源電圧を持つ1段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのソースに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、電源電圧として前記第2の内部電源電圧を持つ2段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのソースに印加することを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  3. 請求項1記載の高周波半導体スイッチ回路において、
    インバータ回路と電圧分割用抵抗とを含み、
    前記共通入出力端子と前記個別入出力端子それぞれとの間の高周波信号経路のうち少なくとも1つを導通させ、かつ残りを遮断させるべく前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、2段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、1段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由して、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのゲートに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、1段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由し、かつ前記電圧分割用抵抗を介して分圧した電圧を、前記2組以上の経路切替用FET段それぞれのソースに印加し、
    前記2つ以上の制御端子それぞれに入力された制御電圧を、2段のインバータ回路又は同論理を実現する回路を経由し、かつ前記電圧分割用抵抗を介して分圧した電圧を、前記1組以上のシャント用FET段それぞれのソースに印加することを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ回路において、
    半導体基板がSOI基板又はSOS基板であることを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  5. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ回路において、
    前記経路切替用FET段は、複数のMOSFETを直列接続して構成されたことを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  6. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ回路において、
    前記シャント用FET段は、複数のMOSFETを直列接続して構成されたことを特徴とする高周波半導体スイッチ回路。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の高周波半導体スイッチ回路を備えたことを特徴とする高周波無線システム。
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