JP6119912B1 - Solder alloys, solder balls and solder joints - Google Patents

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Abstract

【課題】はんだ付け不良を防ぐために優れた濡れ性を有し、はんだ付け後におけるはんだ継手の接合強度が高く、接合界面での破壊を抑制し、さらにはEMの発生をも抑制するはんだ合金を提供する。【解決手段】接合時の信頼性とともに接合後の長期的な信頼性をも確保するため、質量%で、Bi:0.1%以上2.0%未満、Cu:0.1〜1.0%、Ni:0.01〜0.20%、Ge:0.006〜0.09%、残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たす。72×10−6≦Ge/Sn≦920×10−6(1)0.027≦(Bi×Ge)/(Cu×Ni)≦2.4 (2)前記(1)式および(2)式中、Bi、Ge、Cu、Ni、およびSnは各々はんだ合金中での含有量(質量%)を表す。【選択図】図1Kind Code: A1 A solder alloy having excellent wettability to prevent poor soldering, having high joint strength after soldering, suppressing breakage at the joint interface, and further suppressing EM generation. provide. In order to ensure long-term reliability after bonding as well as reliability during bonding, Bi: 0.1% or more and less than 2.0%, Cu: 0.1-1.0. %, Ni: 0.01 to 0.20%, Ge: 0.006 to 0.09%, and the balance is Sn, and the following formulas (1) and (2) are satisfied. 72 × 10 −6 ≦ Ge / Sn ≦ 920 × 10 −6 (1) 0.027 ≦ (Bi × Ge) / (Cu × Ni) ≦ 2.4 (2) Formulas (1) and (2) Among them, Bi, Ge, Cu, Ni, and Sn each represent the content (% by mass) in the solder alloy. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、高電流密度の電流を通電することができるはんだ合金、はんだボールおよびはんだ継手に関する。   The present invention relates to a solder alloy, a solder ball, and a solder joint capable of passing a current having a high current density.

近年、CPU(Central Processing Unit)などのはんだ継手を有する電子デバイスは、小型化、高性能化が要求されている。これにともない、電子デバイスに搭載されている半導体素子の端子当たりの電流密度が増加する傾向にある。将来的には、電流密度が10〜10A/cm程度に達すると言われている。電流密度が増加すると、はんだ継手でエレクトロマイグレーションが発生する。エレクトロマイグレーションが進行すると、はんだ継手が破断する。 In recent years, electronic devices having solder joints such as a CPU (Central Processing Unit) have been required to be smaller and have higher performance. As a result, the current density per terminal of the semiconductor element mounted on the electronic device tends to increase. In the future, the current density is said to reach about 10 4 to 10 5 A / cm 2 . As the current density increases, electromigration occurs at the solder joint. As electromigration proceeds, the solder joint breaks.

エレクトロマイグレーション(以下、適宜、「EM」と称する。)は、以下のような現象である。まず、はんだ継手を構成する原子が電流を生ずる電子と衝突して、運動量が電子から原子に伝達される。運動量が増加した原子は、電子の流れに沿ってはんだ継手のアノード側に移動する。原子がはんだ継手のアノード側に移動すると、空格子がはんだ継手のカソード側に生成する。そのような空格子が徐々に拡大してボイドが生成する。ボイドが成長すると、最終的にはんだ継手が破断する。このように、近年の電流密度の増加よりEMは大きな問題になりつつある。   Electromigration (hereinafter referred to as “EM” as appropriate) is a phenomenon as described below. First, the atoms constituting the solder joint collide with electrons that generate current, and the momentum is transmitted from the electrons to the atoms. Atoms with increased momentum move to the anode side of the solder joint along the electron flow. As atoms move to the anode side of the solder joint, a vacancy is created on the cathode side of the solder joint. Such voids gradually expand and voids are generated. As the void grows, the solder joint eventually breaks. Thus, EM is becoming a bigger problem than the recent increase in current density.

ところで、従来の鉛フリーはんだ合金としては、Sn−Cuはんだ合金や、Sn−Ag−Cuはんだ合金が広く使用されてきた。これらのはんだ合金は、主成分であるSnの実効電荷数が大きいためにEMが発生しやすい。これらの合金で形成されたはんだ継手は高電流密度の電流を長時間通電させると破断する場合がある。この他にもはんだ継手の破断要因はいくつかあるが、はんだ継手の破断を抑制するために種々の合金が検討されている。   By the way, as a conventional lead-free solder alloy, Sn-Cu solder alloy and Sn-Ag-Cu solder alloy have been widely used. Since these solder alloys have a large effective charge number of Sn as a main component, EM is likely to occur. Solder joints formed of these alloys may break when a current having a high current density is applied for a long time. In addition to these, there are several breakage factors of solder joints, but various alloys have been studied in order to suppress the breakage of solder joints.

特許文献1は、はんだ合金の引張強度や濡れ性を向上させてはんだ継手の破断を抑制するためにBiを2質量%以上含有する、Sn−Bi−Cu−Ni系はんだ合金を開示する。   Patent Document 1 discloses a Sn—Bi—Cu—Ni based solder alloy containing 2% by mass or more of Bi in order to improve the tensile strength and wettability of the solder alloy and suppress breakage of the solder joint.

特許文献2は、濡れ性を向上させることによって、はんだ接合後にエージング処理が施されても接合強度が低下せず、高い接合強度を維持すると共に信頼性を向上させるため、上記はんだ合金にGeを添加したSn−Cu−Ni−Bi−Ge系はんだ合金を開示する。   In Patent Document 2, by improving the wettability, even if an aging treatment is performed after solder joining, the joint strength does not decrease, and in order to maintain high joint strength and improve reliability, Ge is added to the solder alloy. An added Sn—Cu—Ni—Bi—Ge based solder alloy is disclosed.

また、特許文献3も特許文献2と同じ合金系のはんだ合金を開示する。特許文献3では、はんだ合金の耐衝撃性の低下を抑制するため、Bi含有量を1%未満に抑えている。また、特許文献3に記載のはんだ合金は、濡れ性の向上によるはんだ継手の優れた耐衝撃性を得るため、Pと同時にGeを含有する。   Patent Document 3 also discloses a solder alloy of the same alloy type as Patent Document 2. In patent document 3, in order to suppress the fall of the impact resistance of a solder alloy, Bi content is restrained to less than 1%. Further, the solder alloy described in Patent Document 3 contains Ge at the same time as P in order to obtain excellent impact resistance of the solder joint by improving wettability.

特開2014−097532号公報JP 2014-097532 A 国際公開第2015/166945号パンフレットInternational Publication No. 2015/166945 Pamphlet 国際公開第2009/131114号パンフレットInternational Publication No. 2009/131114 Pamphlet

しかし、特許文献1に記載のはんだ合金は、Biを2%以上含有するためにはんだ合金自体の強度が高すぎて、接合界面での破壊が助長される。ここでモバイル製品等は、持ち運び時に製品の落下が不可避であり、その際に接合部へ衝撃などが負荷された場合、接合界面で破壊する。よって、強度試験時においても接合界面で破壊する破壊モード(以下、適宜、「破壊M」と称する。)は避けなければならない。特許文献1では、接合界面での破壊が避けられない。   However, since the solder alloy described in Patent Document 1 contains 2% or more of Bi, the strength of the solder alloy itself is too high, and breakage at the joint interface is promoted. Here, a mobile product or the like is unavoidably dropped when being carried, and when an impact or the like is applied to the joint at that time, the mobile product is destroyed at the joint interface. Therefore, even during the strength test, a fracture mode in which the fracture occurs at the bonding interface (hereinafter referred to as “breakage M” as appropriate) must be avoided. In Patent Document 1, destruction at the bonding interface is inevitable.

特許文献2に記載の発明は、エージング処理後におけるはんだ継手の接合強度の向上を目的とするが、EMの発生を抑制することを目的とするのではない。仮にエージング処理後のはんだ継手の信頼性が向上したとしても、EMの原因である金属原子の移動を抑制する手段が施されているとは言い難い。このため、特許文献2に記載のはんだ合金を用いたはんだ継手に高電流密度の電流を通電させると、Geの添加により濡れ性が向上してもEMの発生を十分に抑制することができない。   The invention described in Patent Document 2 aims to improve the joint strength of the solder joint after the aging treatment, but does not aim to suppress the generation of EM. Even if the reliability of the soldered joint after the aging treatment is improved, it is difficult to say that a means for suppressing the movement of the metal atom which is the cause of EM is provided. For this reason, when a current having a high current density is passed through a solder joint using the solder alloy described in Patent Document 2, the generation of EM cannot be sufficiently suppressed even when the wettability is improved by the addition of Ge.

また、特許文献3に記載のはんだ合金は、耐衝撃性の向上を目的とするが、EMの発生を抑制することを目的とするものではないため、特許文献2と同様にEMの発生を抑制する手段が施されていない。このため、単にPとGeとを含有するだけでは、EMの発生を十分に抑制することができない。   Moreover, although the solder alloy of patent document 3 aims at the improvement of impact resistance, since it does not aim at suppressing generation | occurrence | production of EM, it suppresses generation | occurrence | production of EM like patent document 2. No means to do it. For this reason, generation | occurrence | production of EM cannot fully be suppressed only by containing P and Ge.

このように、特許文献1〜3に記載のはんだ合金は、濡れ性の向上によって高温時の接合強度や耐衝撃性が向上するかもしれないが、電子デバイスの小型化や高性能化によるEMの発生を抑制するためには、更なる検討が必要である。   As described above, the solder alloys described in Patent Documents 1 to 3 may improve the joint strength and impact resistance at high temperatures due to the improvement of wettability. Further study is necessary to suppress the occurrence.

本発明の課題は、はんだ付け不良を防ぐために優れた濡れ性を有し、接合界面での破壊を抑制し、はんだ付け後におけるはんだ継手の接合強度が高く、さらにはEMの発生をも抑制することによって、接合時の信頼性とともに接合後の長期的な信頼性をも確保することができるはんだ合金を提供することである。   An object of the present invention is to have excellent wettability in order to prevent soldering failure, to suppress breakage at the joint interface, to have high joint strength of the solder joint after soldering, and also to suppress generation of EM. Thus, it is to provide a solder alloy that can ensure long-term reliability after bonding as well as reliability during bonding.

本発明者らは、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金が、高い濡れ性および接合強度を有するとともにEMの発生を抑制することができるように、鋭意検討を行った。   The inventors of the present invention have made extensive studies so that the Sn—Bi—Cu—Ni—Ge based solder alloy has high wettability and bonding strength and can suppress generation of EM.

本発明者らは、まず、濡れ性および接合強度を向上させるため、CuおよびNiの含有量の適正化を図った。   The inventors first attempted to optimize the contents of Cu and Ni in order to improve wettability and bonding strength.

そして、EMの発生を抑制するためにSnの移動を制限する必要があることに着目し、Snの移動を制限するためにSnマトリックスに歪みを加える必要があることを着想した。   Then, focusing on the fact that it is necessary to limit the movement of Sn in order to suppress the generation of EM, we have conceived that it is necessary to add distortion to the Sn matrix in order to limit the movement of Sn.

この着想を具現化するため、本発明者らは、まず、Snに固溶するBi含有量の適正化を図った。ただ、Bi含有量を制御してSnマトリックスに歪みを加えたとしても、CuやNiもSnとの金属間化合物を形成してSnマトリックスに多少の歪みが生じる。このため、Bi含有量を制御しただけではSnマトリックスの歪みを制御し切れず、十分なEM抑制効果を発揮することができない。そこで、本発明者らは、濡れ性を向上させるGeに着目してさらに検討を行った。   In order to embody this idea, the present inventors first attempted to optimize the Bi content dissolved in Sn. However, even if the Bi content is controlled and distortion is applied to the Sn matrix, Cu and Ni also form an intermetallic compound with Sn and some distortion occurs in the Sn matrix. For this reason, the strain of the Sn matrix cannot be controlled simply by controlling the Bi content, and a sufficient EM suppression effect cannot be exhibited. Therefore, the present inventors have further studied focusing on Ge that improves wettability.

この結果、Geの添加がBiの添加によるSnマトリックスの歪みを助長することに加えて、Sn含有量とGe含有量との比を高精度に制御することによって、Snの移動を妨げるような歪みがSnマトリックスに生じ、EMの発生を抑制できる知見が得られた。このように、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金においては、GeとSnとの含有量のバランスがEM抑制効果を発揮する上で極めて重要であることがわかった。   As a result, the addition of Ge promotes the distortion of the Sn matrix due to the addition of Bi, and the distortion that prevents the movement of Sn by controlling the ratio of the Sn content to the Ge content with high accuracy. Was found in the Sn matrix, and the knowledge that the generation of EM can be suppressed was obtained. Thus, it was found that in the Sn—Bi—Cu—Ni—Ge based solder alloy, the balance of the content of Ge and Sn is extremely important for exerting the EM suppression effect.

また、EM抑制元素であるGe含有量とBi含有量との積(GeとBiのバランス)と、接合強度向上元素であるCu含有量とNi含有量との積(CuとNiのバランス)と、の比が所定の範囲内である場合には、EM抑制効果を維持しつつ高い濡れ性および接合強度を示す知見が得られた。   Also, the product of Ge content and Bi content, which are EM suppression elements (Ba balance of Ge and Bi), and the product of Cu content and Ni content, which is a bonding strength improving element (Cu and Ni balance) In the case where the ratio of is within the predetermined range, knowledge showing high wettability and bonding strength while maintaining the EM suppression effect was obtained.

さらに、Ge含有量とSn、Cu、Niの含有量とのバランスが適正ではなく過剰に添加されると、濡れ性が劣化することも明らかになった。   Furthermore, it became clear that the wettability deteriorates when the balance between the Ge content and the Sn, Cu, Ni content is not appropriate and is added excessively.

これに加えて、上記知見がすべて満たされる場合には、はんだ付けにおいて致命的とも言える接合界面破壊が抑制される知見も得られた。   In addition to this, when all the above-mentioned knowledge is satisfied, the knowledge that the joint interface breakage, which is fatal in soldering, is suppressed was also obtained.

好ましい態様としては、Pを所定量添加することにより、濡れ性が更に向上し、接合強度が向上する知見が得られた。   As a preferable aspect, the knowledge that wettability was further improved and bonding strength was improved by adding a predetermined amount of P was obtained.

これらの知見により得られた本発明は次の通りである。
(1)質量%で、Bi:0.1%以上2.0%未満、Cu:0.1〜1.0%、Ni:0.01〜0.20%、Ge:0.006〜0.09%、残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たす
ことを特徴とするはんだ合金。
72×10−6≦Ge/Sn≦920×10−6 (1)
0.027≦(Bi×Ge)/(Cu×Ni)≦2.4 (2)
前記(1)式および(2)式中、Bi、Ge、Cu、Ni、およびSnは各々はんだ合金中での含有量(質量%)を表す。
The present invention obtained from these findings is as follows.
(1) By mass%, Bi: 0.1% or more and less than 2.0%, Cu: 0.1-1.0%, Ni: 0.01-0.20%, Ge: 0.006-0. A solder alloy having an alloy composition of 09%, the balance being Sn and satisfying the following formulas (1) and (2):
72 × 10 −6 ≦ Ge / Sn ≦ 920 × 10 −6 (1)
0.027 ≦ (Bi × Ge) / (Cu × Ni) ≦ 2.4 (2)
In the formulas (1) and (2), Bi, Ge, Cu, Ni, and Sn each represent a content (mass%) in the solder alloy.

(2)前記合金組成は、更に、質量%で、P:0.1%以下を含有する、前記(1)に記載のはんだ合金。   (2) The solder composition according to (1), wherein the alloy composition further includes P: 0.1% or less in mass%.

(3)5〜100kA/cmの電流密度の電流が通電する継手を有する電子デバイスに用いられる、前記(1)または(2)に記載のはんだ合金。 (3) The solder alloy according to (1) or (2), which is used for an electronic device having a joint through which a current having a current density of 5 to 100 kA / cm 2 is passed.

(4)前記(1)〜(3)のいずれか1つに記載のはんだ合金からなるはんだボール。
(5)前記(1)〜(3)のいずれか1つに記載のはんだ合金を有するはんだ継手。
(4) A solder ball made of the solder alloy according to any one of (1) to (3).
(5) A solder joint having the solder alloy according to any one of (1) to (3).

図1は、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金における(1)式と(2)式との関係を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing the relationship between formulas (1) and (2) in a Sn—Bi—Cu—Ni—Ge solder alloy. 図2は、図1において、(1)式の範囲が0〜0.500であり、(2)式の範囲が0〜0.000200である部分の拡大グラフである。FIG. 2 is an enlarged graph of a portion in FIG. 1 where the range of the formula (1) is 0 to 0.500 and the range of the formula (2) is 0 to 0.000200.

本発明を以下により詳しく説明する。本明細書において、はんだ合金組成に関する「%」は、特に指定しない限り「質量%」である。   The invention is described in more detail below. In this specification, “%” regarding the solder alloy composition is “% by mass” unless otherwise specified.

1. 合金組成
(1) Bi:0.1%以上2.0%未満、
BiはEMの発生を抑制するために必要な元素である。BiはSnに固溶するため、Snマトリックスに歪みを加えてSnの移動を抑制することができる。Bi含有量が0.1%未満であると、Snマトリックスの歪み量が少なくEMの発生を十分に抑制することができない。このため、Bi含有量の下限は0.1%以上であり、好ましくは0.2%以上であり、より好ましくは0.3%以上であり、さらに好ましくは0.6%以上であり、特に好ましくは1.0%以上である。一方、Bi含有量が2.0%以上であると、Biによる強度増加によってはんだ合金が固くなりすぎ、接合界面破壊を助長する場合がある。このため、Bi含有量の上限は2.0%未満であり、好ましくは1.9%以下であり、より好ましくは1.8%以下であり、さらに好ましくは1.7%以下である。
1. Alloy composition (1) Bi: 0.1% or more and less than 2.0%,
Bi is an element necessary for suppressing the generation of EM. Since Bi dissolves in Sn, it is possible to suppress the movement of Sn by adding strain to the Sn matrix. If the Bi content is less than 0.1%, the amount of distortion of the Sn matrix is small and the generation of EM cannot be sufficiently suppressed. For this reason, the lower limit of Bi content is 0.1% or more, preferably 0.2% or more, more preferably 0.3% or more, still more preferably 0.6% or more, Preferably it is 1.0% or more. On the other hand, if the Bi content is 2.0% or more, the solder alloy becomes too hard due to the increase in strength due to Bi, which may promote joint interface destruction. For this reason, the upper limit of Bi content is less than 2.0%, Preferably it is 1.9% or less, More preferably, it is 1.8% or less, More preferably, it is 1.7% or less.

(2) Cu:0.1〜1.0%
Cuは、はんだ継手の接合強度を向上させるために必要な元素である。Cu含有量が0.1%未満であると接合強度が十分に向上しない。このため、Cu含有量の下限は0.1%以上であり、好ましくは0.3%以上であり、より好ましくは0.5%以上である。一方、Cu含有量が1.0%を超えるとはんだ合金の濡れ性が劣化する。また、濡れ性が劣化すると接合面積が減少して電流密度が上昇し、EMの発生を助長することがある。このため、Cu含有量の上限は1.0%以下であり、好ましくは0.9%以下であり、より好ましくは0.8%以下である。
(2) Cu: 0.1 to 1.0%
Cu is an element necessary for improving the joint strength of the solder joint. When the Cu content is less than 0.1%, the bonding strength is not sufficiently improved. For this reason, the minimum of Cu content is 0.1% or more, Preferably it is 0.3% or more, More preferably, it is 0.5% or more. On the other hand, when the Cu content exceeds 1.0%, the wettability of the solder alloy deteriorates. Further, when the wettability is deteriorated, the bonding area is decreased, the current density is increased, and the generation of EM may be promoted. For this reason, the upper limit of the Cu content is 1.0% or less, preferably 0.9% or less, and more preferably 0.8% or less.

(3) Ni:0.01〜0.20%
Niは、Cuと同様にはんだ継手の接合強度を向上させるために必要な元素である。Ni含有量が0.01%未満であると接合強度が十分に向上しない。このため、Ni含有量の下限は0.01%以上であり、好ましくは0.02%以上であり、より好ましくは0.03%以上である。一方、Ni含有量が0.20%を超えると合金の濡れ性が劣化する。また、Cuと同様にEMの発生を助長することがある。このため、Ni含有量の上限は0.20%以下であり、好ましくは0.15%以下であり、より好ましくは0.10%以下である。
(3) Ni: 0.01 to 0.20%
Ni, like Cu, is an element necessary for improving the joint strength of solder joints. When the Ni content is less than 0.01%, the bonding strength is not sufficiently improved. For this reason, the minimum of Ni content is 0.01% or more, Preferably it is 0.02% or more, More preferably, it is 0.03% or more. On the other hand, if the Ni content exceeds 0.20%, the wettability of the alloy deteriorates. In addition, like Cu, the generation of EM may be promoted. For this reason, the upper limit of Ni content is 0.20% or less, Preferably it is 0.15% or less, More preferably, it is 0.10% or less.

(4) Ge:0.006〜0.09%
Geははんだ合金の濡れ性を向上させるとともにEMの発生を抑制するために必要な元素である。Geは、BiによるSnマトリックスの歪みを助長してSnの移動を阻害することにより、EMの発生を抑制することができる。Ge含有量が0.006%未満であると、これらの効果が十分に発揮されない。Ge含有量の下限は0.006%以上であり、好ましくは0.007%以上であり、より好ましくは0.008%以上である。一方、Ge含有量が0.09%を超えると、濡れ性が悪化する。またこれに伴いシェア強度が劣化し、さらに接合界面破壊が発生する場合がある。Ge含有量の上限は0.09%以下であり、好ましくは0.05%以下であり、より好ましくは0.03%以下であり、さらに好ましくは0.02%以下であり、特に好ましくは0.01%以下である。
(4) Ge: 0.006 to 0.09%
Ge is an element necessary for improving the wettability of the solder alloy and suppressing the generation of EM. Ge can suppress the generation of EM by promoting the distortion of the Sn matrix due to Bi and inhibiting the movement of Sn. If the Ge content is less than 0.006%, these effects are not sufficiently exhibited. The lower limit of the Ge content is 0.006% or more, preferably 0.007% or more, and more preferably 0.008% or more. On the other hand, when the Ge content exceeds 0.09%, the wettability deteriorates. In addition, the shear strength deteriorates with this, and the joint interface may break. The upper limit of the Ge content is 0.09% or less, preferably 0.05% or less, more preferably 0.03% or less, still more preferably 0.02% or less, and particularly preferably 0. .01% or less.

(5) (1)式
本発明のはんだ合金は、前述の(1)〜(4)の範囲を満たす場合であっても下記(1)式を満たす必要がある。
72×10−6≦Ge/Sn≦920×10−6 (1)
(1)式中、GeおよびSnは各々はんだ合金中での含有量(質量%)を表す。
(5) (1) Formula Even if the solder alloy of this invention satisfy | fills the range of above-mentioned (1)-(4), it is necessary to satisfy | fill following (1) Formula.
72 × 10 −6 ≦ Ge / Sn ≦ 920 × 10 −6 (1)
In the formula (1), Ge and Sn each represent a content (% by mass) in the solder alloy.

(1)式は、Ge含有量とSn含有量との比を表す。本発明では、Ge含有量をはんだ合金の全質量に対して前述の範囲内にすることに加えて、Sn含有量に対してもGe含有量を高精度に制御することによって、Snの移動が抑制されてEM抑制効果を発揮することができる。Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金において(1)式を満たす場合には、Biの添加によるSnマトリックスの歪みが、電子が流れる方向に対して垂直の方向に生じるため、電子の流れに沿ったSnの移動を妨げることができると推察される。   The formula (1) represents the ratio between the Ge content and the Sn content. In the present invention, in addition to making the Ge content within the above-mentioned range with respect to the total mass of the solder alloy, the movement of Sn can be controlled by controlling the Ge content with respect to the Sn content with high accuracy. It is suppressed and the EM suppression effect can be exhibited. In the case of satisfying the formula (1) in the Sn—Bi—Cu—Ni—Ge based solder alloy, the distortion of the Sn matrix due to the addition of Bi occurs in a direction perpendicular to the direction in which electrons flow. It is presumed that the movement of Sn along can be prevented.

したがって、Cu、Ni、BiおよびGeのすべてが前述の(1)〜(4)で説明した範囲内の合金組成であっても、Ge/Snが72×10−6〜920×10−6から少しでも外れると、Snマトリックスに加えられる歪みを制御することができない。このため、(1)式は、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金においてEMの発生を抑制するためには極めて重要である。 Therefore, even if Cu, Ni, Bi and Ge all have an alloy composition within the range described in the above (1) to (4), Ge / Sn is from 72 × 10 −6 to 920 × 10 −6. If it deviates even a little, the distortion applied to the Sn matrix cannot be controlled. For this reason, the formula (1) is extremely important for suppressing the generation of EM in the Sn—Bi—Cu—Ni—Ge solder alloy.

(1)式の下限は、Snマトリックスの歪みを促進するため、好ましくは81×10−6以上であり、より好ましくは90×10−6以上であり、特に好ましくは101×10−6以上である。(1)式の上限は、濡れ性の劣化を抑えるため、好ましくは917×10−6以下であり、より好ましくは300×10−6以下であり、特に好ましくは103×10−6以下である。 The lower limit of the formula (1) is preferably 81 × 10 −6 or more, more preferably 90 × 10 −6 or more, and particularly preferably 101 × 10 −6 or more in order to promote the distortion of the Sn matrix. is there. The upper limit of the formula (1) is preferably 917 × 10 −6 or less, more preferably 300 × 10 −6 or less, and particularly preferably 103 × 10 −6 or less in order to suppress deterioration of wettability. .

(6) (2)式
本発明のはんだ合金は、前述の(1)〜(4)の範囲を満たす場合であっても(2)式を満たす必要がある。
0.027≦(Bi×Ge)/(Cu×Ni)≦2.4 (2)
(2)式中、Bi、Ge、Cu、Niは各々はんだ合金中での含有量(質量%)を表す。
(6) (2) Formula The solder alloy of this invention needs to satisfy | fill (2) Formula, even if it is a case where the range of above-mentioned (1)-(4) is satisfy | filled.
0.027 ≦ (Bi × Ge) / (Cu × Ni) ≦ 2.4 (2)
(2) In the formula, Bi, Ge, Cu, and Ni each represent a content (% by mass) in the solder alloy.

(2)式は、EM抑制元素であるGe含有量とBi含有量との積と、接合強度向上元素であるCu含有量とNi含有量との積との比を表す。(2)式中、Ge含有量とBi含有量との積は、はんだ合金中でのGe含有量とBi含有量とのバランスを表す。Cu含有量とNi含有量との積は、はんだ合金中でのCu含有量とNi含有量とのバランスを表す。   The expression (2) expresses the ratio of the product of Ge content and Bi content, which are EM suppressing elements, and the product of Cu content and Ni content, which are bonding strength improving elements. In the formula (2), the product of the Ge content and the Bi content represents the balance between the Ge content and the Bi content in the solder alloy. The product of the Cu content and the Ni content represents the balance between the Cu content and the Ni content in the solder alloy.

本発明のはんだ合金が(2)式を満たすことによって本発明の効果を発揮することができる理由は明確ではないが、以下のように推察される。   The reason why the effect of the present invention can be exhibited when the solder alloy of the present invention satisfies the expression (2) is not clear, but is presumed as follows.

本発明のはんだ合金は、優れた濡れ性を有し、はんだ付け後におけるはんだ継手の接合強度が高く、破壊モードを適正にし、さらにはEMの発生をも抑制することができる。本発明のはんだ合金の構成元素の中で、CuおよびNiは接合強度の向上に寄与する元素であり、一方、BiおよびGeはEMの発生を抑制すると考えられる元素である。   The solder alloy of the present invention has excellent wettability, the joint strength of the solder joint after soldering is high, the fracture mode is made appropriate, and the occurrence of EM can also be suppressed. Among the constituent elements of the solder alloy of the present invention, Cu and Ni are elements that contribute to improving the bonding strength, while Bi and Ge are elements that are considered to suppress the generation of EM.

また、はんだ合金がCuおよびNiを所定量以上含有することにより濡れ性が劣化すると、電極との接合面積が減少して電流密度が増加し、EMが発生してしまう。よって、CuおよびNiの含有量を制御することによって、間接的にEMの発生を抑制することができる。一方、BiやGeは、Snマトリックスに歪みを加えてSnの移動を抑制するため、直接的にEMの発生を抑制することができるが、Geの過剰添加は濡れ性を悪化させ、Biの過剰添加は接合界面での破壊を助長する。   Further, when the wettability deteriorates due to the solder alloy containing Cu and Ni in a predetermined amount or more, the bonding area with the electrode is reduced, the current density is increased, and EM is generated. Therefore, generation of EM can be suppressed indirectly by controlling the contents of Cu and Ni. On the other hand, Bi and Ge add strain to the Sn matrix and suppress the movement of Sn, so that the generation of EM can be suppressed directly. However, excessive addition of Ge deteriorates wettability and causes an excess of Bi. Addition promotes fracture at the bonding interface.

このように、CuおよびNi群とBiおよびGe群は、各々本発明のはんだ合金中での挙動が異なる。Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金において、濡れ性、はんだ継手の接合強度、EM発生の抑制、破壊モードの適正化のすべてを同時に満たすためには、本発明のはんだ合金のように、はんだ合金中におけるCuおよびNiのバランスと、BiおよびGeとのバランスとが、はんだ合金全体として、(2)式を満たすように精度よく制御されている必要がある。   Thus, the Cu and Ni group and the Bi and Ge group have different behaviors in the solder alloy of the present invention. In the Sn-Bi-Cu-Ni-Ge solder alloy, in order to satisfy all of the wettability, the joint strength of the solder joint, the suppression of EM generation, and the optimization of the fracture mode at the same time, as in the solder alloy of the present invention The balance of Cu and Ni in the solder alloy and the balance of Bi and Ge must be accurately controlled so as to satisfy the formula (2) as a whole of the solder alloy.

(2)式の下限は、CuおよびNiの相対的な減少による濡れ性や接合強度の劣化を抑制する観点から、好ましくは0.067以上であり、より好ましくは0.08以上であり、さらに好ましくは0.2以上であり、特に好ましくは0.28以上である。(2)式の上限は、濡れ性の劣化を抑制するとともにはんだ合金の脆化による接合強度の低下を抑制する観点から、好ましくは2.0以下であり、より好ましくは1.333以下であり、より好ましくは0.7以下であり、特に好ましくは0.507以下である。   The lower limit of the formula (2) is preferably 0.067 or more, more preferably 0.08 or more, from the viewpoint of suppressing the wettability and bonding strength deterioration due to the relative reduction of Cu and Ni, and more preferably 0.08 or more. Preferably it is 0.2 or more, Most preferably, it is 0.28 or more. The upper limit of the formula (2) is preferably 2.0 or less, more preferably 1.333 or less, from the viewpoint of suppressing deterioration of wettability and suppressing reduction in joint strength due to embrittlement of the solder alloy. More preferably, it is 0.7 or less, and particularly preferably 0.507 or less.

このように、本発明は、上記必須元素の含有量を上述の範囲にするとともに、(1)式及び(2)式の両者を満たすことによって、濡れ性に優れ、接合強度が高く、EMの発生を十分に抑制し、破壊モードを適正にすることができる。   As described above, the present invention makes the content of the essential element within the above-mentioned range and satisfies both the formulas (1) and (2), so that the wettability is excellent and the bonding strength is high. Generation | occurrence | production can fully be suppressed and a destruction mode can be made appropriate.

(7) P:0.1%以下
Pは、Snの酸化を抑制するとともに濡れ性を改善することができる任意元素である。P含有量が0.1%を超えなければ、はんだ表面におけるはんだ合金の流動性が阻害されることがない。P含有量は0.1%以下であり、好ましくは0.01%以下であり、より好ましくは0.008%以下である。一方、これらの効果を発揮するため、P含有量の下限は好ましくは0.001%以上である。
(7) P: 0.1% or less P is an optional element that can suppress oxidation of Sn and improve wettability. If the P content does not exceed 0.1%, the fluidity of the solder alloy on the solder surface is not hindered. The P content is 0.1% or less, preferably 0.01% or less, and more preferably 0.008% or less. On the other hand, in order to exert these effects, the lower limit of the P content is preferably 0.001% or more.

本発明に係るはんだ合金の残部はSnである。前述の元素の他に不可避的不純物を含有してもよい。不可避的不純物を含有する場合であっても、前述の効果に影響することはない。また、後述するように、本発明では含有しない元素が不可避的不純物として含有されても前述の効果に影響することはない。   The balance of the solder alloy according to the present invention is Sn. In addition to the aforementioned elements, inevitable impurities may be contained. Even when inevitable impurities are contained, the above-mentioned effects are not affected. As will be described later, even if an element not contained in the present invention is contained as an unavoidable impurity, the above-described effect is not affected.

2. はんだ継手
本発明に係るはんだ継手は、半導体パッケージにおけるICチップとその基板(インターポーザ)との接続、或いは半導体パッケージとプリント配線板との接続に使用するのに適している。ここで、「はんだ継手」とは電極の接続部をいう。
2. Solder Joint The solder joint according to the present invention is suitable for use in connecting an IC chip in a semiconductor package and its substrate (interposer), or connecting a semiconductor package and a printed wiring board. Here, the “solder joint” refers to an electrode connection.

3.用途など
本発明に係るはんだ合金はプリフォーム、線材、ソルダペースト、はんだボール(「はんだ球」ともいう。)などの形態で使用することができ、はんだボールとして使用することが好ましい。はんだボールとして使用する場合、その直径は1〜1000μmの範囲内が好ましい。
3. Applications The solder alloy according to the present invention can be used in the form of a preform, wire, solder paste, solder ball (also referred to as “solder ball”), and is preferably used as a solder ball. When used as a solder ball, the diameter is preferably in the range of 1 to 1000 μm.

本発明に係るはんだ合金の製造方法は常法に従って行えばよい。
本発明に係るはんだ合金を用いた接合方法は、例えばリフロー法を用いて常法に従って行えばよい。フローソルダリングを行う場合のはんだ合金の溶融温度は概ね液相線温度から20℃程度高い温度でよい。また、本発明に係るはんだ合金を用いて接合する場合には、凝固時の冷却速度を考慮した方が組織の微細化の観点から好ましい。例えば2〜3℃/s以上の冷却速度ではんだ継手を冷却する。この他の接合条件は、はんだ合金の合金組成に応じて適宜調整することができる。
What is necessary is just to perform the manufacturing method of the solder alloy based on this invention in accordance with a conventional method.
What is necessary is just to perform the joining method using the solder alloy which concerns on this invention according to a conventional method, for example using a reflow method. The melting temperature of the solder alloy in the case of performing flow soldering may be about 20 ° C. higher than the liquidus temperature. Moreover, when joining using the solder alloy which concerns on this invention, it is preferable from a viewpoint of refinement | miniaturization of a structure to consider the cooling rate at the time of solidification. For example, the solder joint is cooled at a cooling rate of 2 to 3 ° C./s or more. Other joining conditions can be appropriately adjusted according to the alloy composition of the solder alloy.

本発明に係るはんだ合金は、その原材料として低α線材を使用することにより低α線合金を製造することができる。このような低α線合金は、メモリ周辺のはんだバンプの形成に用いられるとソフトエラーを抑制することが可能となる。   The solder alloy according to the present invention can produce a low α-ray alloy by using a low α wire as a raw material. Such a low α-ray alloy can suppress soft errors when used for forming solder bumps around the memory.

表1に示す合金組成からなるはんだ合金を用いて、はんだ継手を形成した。形成したはんだ継手のシェア強度試験、破壊M、EM試験を評価した。また、はんだ合金の濡れ性の評価も行った。各評価方法は以下のとおりである。   A solder joint was formed using a solder alloy having the alloy composition shown in Table 1. The shear strength test, fracture M, and EM test of the formed solder joint were evaluated. In addition, the wettability of the solder alloy was also evaluated. Each evaluation method is as follows.

・シェア強度
表1に示すはんだ合金を、基板の厚みが1.2mmであり電極の大きさが直径0.24mmであるPCBのOSP処理が行われたCu電極(以下、単に、「Cu電極」と称する。)と接合してはんだ付けを行った。はんだ付けは、各はんだ合金から作製した直径0.3mmのはんだボールを予め製造しておき、水溶性フラックス(千住金属工業株式会社社製:WF−6400)を用いて基板上に水溶性フラックスを塗布してからボールを搭載した。その後、ピーク温度を245℃とし、冷却速度を2℃/sとするリフロープロファイルでリフロー法によりはんだ付けを行い、はんだバンプが形成された試料を得た。
-Shear strength Cu electrode (hereinafter simply referred to as "Cu electrode") in which the solder alloy shown in Table 1 was subjected to OSP treatment of a PCB having a substrate thickness of 1.2 mm and an electrode size of 0.24 mm in diameter. And then soldered. For soldering, a solder ball having a diameter of 0.3 mm made from each solder alloy is manufactured in advance, and the water-soluble flux is applied onto the substrate using a water-soluble flux (manufactured by Senju Metal Industry Co., Ltd .: WF-6400). After application, the ball was mounted. Thereafter, soldering was performed by a reflow method with a reflow profile at a peak temperature of 245 ° C. and a cooling rate of 2 ° C./s to obtain a sample on which solder bumps were formed.

この試料を、せん断強度測定装置(Dage社製:SERIES 4000HS)により、1000mm/secの条件でせん断強度(N)を測定した。せん断強度が、Cu電極では3.5N以上のものを「○」、3.5N未満のものを「×」と判定した。   The shear strength (N) of this sample was measured under a condition of 1000 mm / sec using a shear strength measuring device (DAGE: SERIES 4000HS). A Cu electrode having a shear strength of 3.5 N or more was judged as “◯”, and a shear strength of less than 3.5 N was judged as “X”.

・破壊M
前記シェア試験後の破断面を実体顕微鏡にて観察した。はんだバンプが接合界面で破壊された場合、破壊Mは×(NG)とし、それ以外の箇所で破壊された場合、破壊Mは〇(OK)とした。
・ Destruction M
The fracture surface after the shear test was observed with a stereomicroscope. When the solder bump was broken at the joint interface, the break M was x (NG), and when broken at other locations, the break M was O (OK).

・濡れ性試験
前述のシェア強度試験にて用いたサンプルと同様に直径が0.3mmのはんだボールを用いて、濡れ広がり試験を以下の「1.」、「2.」の順で実施した。使用した基板材質は厚み1.2mmのガラスエポキシ基板(FR−4)である。
・ Wettability test
Similar to the sample used in the shear strength test described above, a wetting spread test was performed in the following order of “1.” and “2.” using a solder ball having a diameter of 0.3 mm. The substrate material used is a glass epoxy substrate (FR-4) having a thickness of 1.2 mm.

1. 0.24mm×16mmのスリット状のCu電極を形成した上記基板を用い、0.24mmφ×厚み0.1mmに千住金属工業株式会社製フラックスWF−6400を印刷し、はんだボールを搭載して、220℃以上の温度域で40秒間保持し、ピーク温度を245℃とする条件でリフローを行った。   1. Using the above-mentioned substrate on which a slit-shaped Cu electrode of 0.24 mm × 16 mm was formed, flux WF-6400 manufactured by Senju Metal Industry Co., Ltd. was printed on 0.24 mmφ × 0.1 mm thickness, and solder balls were mounted. Reflow was performed under the condition that the temperature was kept for 40 seconds in a temperature range of ℃ or higher and the peak temperature was 245 ℃.

2. 実体顕微鏡を用いて、濡れ広がり面積を測定し、0.75mm以上の濡れ広がりを「○」と判定した。0.75mm未満の濡れ広がりを「×」と判定した。 2. Using a stereomicroscope, the wet spread area was measured, and a wet spread of 0.75 mm 2 or more was determined as “◯”. A wetting spread of less than 0.75 mm 2 was determined as “x”.

・EM試験
EM試験サンプルには、前述のシェア強度試験にて用いたサンプルと同様に直径0.3mmの表1に示すはんだボールを用い、直径0.24mmのCu電極を有するサイズ13mm×13mmのパッケージ基板上に水溶性フラックスを用いてリフローはんだ付けをし、パッケージを作製した。その後、サイズ30mm×120mm、厚み1.5mmのガラスエポキシ基板(FR−4)にソルダペーストを印刷して、上記で作製したパッケージを搭載して、220℃以上の温度域で40秒間保持し、ピーク温度を245℃とする条件でリフローを行いサンプルを作製した。
EM test For the EM test sample, the solder balls shown in Table 1 having a diameter of 0.3 mm were used similarly to the sample used in the above-described shear strength test, and the size of 13 mm × 13 mm having a Cu electrode having a diameter of 0.24 mm was used. Reflow soldering was performed on the package substrate using a water-soluble flux to produce a package. Thereafter, a solder paste is printed on a glass epoxy substrate (FR-4) having a size of 30 mm × 120 mm and a thickness of 1.5 mm, and the package produced as described above is mounted and held at a temperature range of 220 ° C. or higher for 40 seconds, Reflow was performed under conditions where the peak temperature was 245 ° C., and a sample was prepared.

EM試験は前記にて作製したサンプルをコンパクト可変スイッチング電源(菊水電子工業株式会社製:PAK−A)に接続し、150℃に保持したシリコンオイルバス中で電流を流す。電流印加中は連続的にサンプルの電気抵抗を測定し、初期抵抗値から20%上昇時を試験終了とし、試験終了までの時間が200時間以上を「○」、200時間未満を「×」と判定した。   In the EM test, the sample prepared above is connected to a compact variable switching power supply (manufactured by Kikusui Electronics Co., Ltd .: PAK-A), and a current is passed in a silicon oil bath maintained at 150 ° C. During the current application, the electrical resistance of the sample is continuously measured, and when the initial resistance value is increased by 20%, the test is terminated, and the time until the test is terminated is “◯”, and less than 200 hours is “X”. Judged.

評価した結果を表1に示す。   The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 0006119912
Figure 0006119912

表1に示すように、実施例1〜12では、いずれの合金組成においても本発明の要件をすべて満たすため、EMの発生が抑制され、濡れ性に優れ、シェア強度が高い結果が得られた。また、破壊Mに関しても、接合界面での破壊は見られなかった。   As shown in Table 1, in Examples 1-12, in order to satisfy all the requirements of the present invention in any alloy composition, generation of EM was suppressed, excellent wettability, and high shear strength were obtained. . Further, with respect to the fracture M, no fracture was observed at the bonding interface.

これに対して、比較例1は、Bi含有量が多く、接合界面での破壊が見られ、破壊Mが「×」であった。なお、比較例1はGe/Snが(1)式の下限値未満であるものの、Biの過剰添加によりEMを維持したものと考えられる。   On the other hand, in Comparative Example 1, the Bi content was large, the fracture at the bonding interface was observed, and the fracture M was “x”. In Comparative Example 1, although Ge / Sn is less than the lower limit of the formula (1), it is considered that EM was maintained by excessive addition of Bi.

比較例2は、Bi含有量が少ないためEMが劣った。比較例3は、Cu含有量が多いため濡れ性が劣った。比較例4はCu含有量が少ないため接合強度が劣った。比較例5はNi含有量が多いため濡れ性が劣った。比較例6はNi含有量が少ないためシェア強度が劣った。比較例7はGe含有量が少なくGe/Snが(1)式の下限未満であるためEMが劣った。比較例8はGe含有量が多いため濡れ性が悪化し、これにともないシェア強度や破壊Mも「×」であった。比較例9はGe/Snが(1)式の下限値未満であるためEMが劣った。比較例10は、Ge/Snおよび(Bi×Ge)/(Cu×Ni)が各々(1)式および(2)式の上限値を超えているため、濡れ性が劣った。   In Comparative Example 2, the EM was inferior because the Bi content was small. Since the comparative example 3 had much Cu content, the wettability was inferior. In Comparative Example 4, the bonding strength was poor because the Cu content was small. Since Comparative Example 5 had a high Ni content, the wettability was poor. In Comparative Example 6, since the Ni content was small, the shear strength was inferior. Since the comparative example 7 had little Ge content and Ge / Sn was less than the minimum of Formula (1), EM was inferior. In Comparative Example 8, since the Ge content was large, the wettability deteriorated, and the shear strength and fracture M were also “x”. In Comparative Example 9, EM was inferior because Ge / Sn was less than the lower limit of the formula (1). In Comparative Example 10, since Ge / Sn and (Bi × Ge) / (Cu × Ni) exceeded the upper limits of the formulas (1) and (2), the wettability was inferior.

表1の結果を、図1および図2を用いてさらに説明する。図1は、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金における(1)式と(2)式との関係を示すグラフである。図2は、図1において、(1)式の範囲が0〜0.500であり、(2)式の範囲が0〜0.000200である部分の拡大グラフである。各図中の●は本発明の要件をすべて満たす実施例であり、○は本発明の(1)式、(2)式のいずれかの要件を満たさない比較例である。   The results of Table 1 will be further described with reference to FIG. 1 and FIG. FIG. 1 is a graph showing the relationship between formulas (1) and (2) in a Sn—Bi—Cu—Ni—Ge solder alloy. FIG. 2 is an enlarged graph of a portion in FIG. 1 where the range of the formula (1) is 0 to 0.500 and the range of the formula (2) is 0 to 0.000200. In each figure, ● is an example that satisfies all the requirements of the present invention, and ○ is a comparative example that does not satisfy either of the requirements of the formulas (1) and (2) of the present invention.

図1から明らかなように、本願発明は、(1)式および(2)式を満たすため、表1に示すように、優れた濡れ性、高い接合強度、適正な破壊MおよびEM発生の抑制を同時に満足することが明らかになった。また、図2から明らかなように、実施例2と比較例2、実施例10と比較例9を比較すると、比較例2や比較例9は(1)式や(2)式の範囲からわずかに外れるため、表1に示すように、優れた濡れ性、高い接合強度、適正な破壊MおよびEM発生の抑制を同時に満足することができなかった。   As is clear from FIG. 1, the present invention satisfies the formulas (1) and (2), and as shown in Table 1, excellent wettability, high bonding strength, proper destruction M and EM generation are suppressed. It became clear that I was satisfied at the same time. As is clear from FIG. 2, when Example 2 and Comparative Example 2 are compared, and Example 10 and Comparative Example 9 are compared, Comparative Example 2 and Comparative Example 9 are slightly less than the ranges of Equations (1) and (2). Therefore, as shown in Table 1, excellent wettability, high bonding strength, proper destruction M, and suppression of EM generation could not be satisfied at the same time.

以上より、Sn−Bi−Cu−Ni−Ge系はんだ合金にとって、各々の含有量の範囲を適正な範囲にするとともに(1)式や(2)式を1つの合金組成で満足することは、優れた濡れ性、高い接合強度、適正な破壊MおよびEM発生の抑制を同時に満足するために極めて重要である。   From the above, for the Sn—Bi—Cu—Ni—Ge solder alloy, making each content range an appropriate range and satisfying the formulas (1) and (2) with one alloy composition, This is extremely important for simultaneously satisfying excellent wettability, high bonding strength, proper fracture M and suppression of EM generation.

本発明に係るはんだ合金は、CPUの他、太陽光発電の電力変換装置や産業用モータの大電流インバータなど、高電圧・大電流を扱う機器にも用いることができる。
The solder alloy according to the present invention can be used not only for CPUs but also for devices that handle high voltages and large currents, such as photovoltaic power conversion devices and large current inverters for industrial motors.

Claims (5)

質量%で、Bi:0.1%以上2.0%未満、Cu:0.1〜1.0%、Ni:0.01〜0.20%、Ge:0.006〜0.09%、残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たす
ことを特徴とするはんだ合金。
72×10−6≦Ge/Sn≦920×10−6 (1)
0.027≦(Bi×Ge)/(Cu×Ni)≦2.4 (2)
前記(1)式および(2)式中、Bi、Ge、Cu、Ni、およびSnは各々はんだ合金中での含有量(質量%)を表す。
In mass%, Bi: 0.1% or more and less than 2.0%, Cu: 0.1 to 1.0%, Ni: 0.01 to 0.20%, Ge: 0.006 to 0.09%, A solder alloy characterized in that the balance has an alloy composition of Sn and satisfies the following formulas (1) and (2).
72 × 10 −6 ≦ Ge / Sn ≦ 920 × 10 −6 (1)
0.027 ≦ (Bi × Ge) / (Cu × Ni) ≦ 2.4 (2)
In the formulas (1) and (2), Bi, Ge, Cu, Ni, and Sn each represent a content (mass%) in the solder alloy.
前記合金組成は、更に、質量%で、P:0.1%以下を含有する、請求項1に記載のはんだ合金。   2. The solder alloy according to claim 1, wherein the alloy composition further includes P: 0.1% or less by mass%. 5〜100kA/cmの電流密度の電流が通電する継手を有する電子デバイスに用いられる、請求項1または2に記載のはんだ合金。 The solder alloy according to claim 1 or 2, which is used for an electronic device having a joint through which a current having a current density of 5 to 100 kA / cm 2 is passed. 請求項1〜3のいずれか1項に記載のはんだ合金からなるはんだボール。   A solder ball comprising the solder alloy according to claim 1. 請求項1〜3のいずれか1項に記載のはんだ合金を有するはんだ継手。
The solder joint which has the solder alloy of any one of Claims 1-3.
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