JP6116651B2 - インプリント成型用光硬化性樹脂組成物、インプリント成型硬化体及びこれらの製造方法 - Google Patents
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Description
・光硬化性樹脂組成物を基材に塗布し、
・基材上に塗布された光硬化性樹脂組成物をスタンパした後、
・スタンパされた光硬化性樹脂組成物を光硬化させてインプリント成型硬化体とし、
・インプリント成型硬化体をスタンパから剥離する工程からなる。
この工程において、
・基材上に塗布された光硬化性樹脂組成物が基材に密着していること(基材密着性)と、
・インプリント成型硬化体が金型から剥離し易いこと(型剥離性)
とが要求され、特に、大量に高速でこの工程が実施されるロールtoロール方式で高度に要求される。
従来、型剥離性を解決する手段として、特許文献2及び3のように、光硬化性樹脂組成物に界面活性剤又は滑剤(以下、界面活性剤等ともいう)を添加することが行われた。
しかし、界面活性剤等を光硬化性樹脂組成物中に含めると、それが多量、もしくは極性などの相性が悪い場合、型剥離性は改善されるが、基材密着性が低下する、インプリント成型する過程で、界面活性剤等が分離してインプリント成型硬化体の透明性を低下させる、界面活性剤等のブリードが原因と思われる他の部材への悪影響がある等の問題が発生する場合があった。
(1)ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを含むインプリント成型用光硬化性樹脂組成物であって、
前記成分A中、
光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、
芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)の合計の含有量が10〜100重量%であり、
前記成分A1と成分A2の合計中、前記成分A2が0〜90重量%であるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。
(2)上記(1)のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物を、インプリント成型してなるインプリント成型硬化体。
(3)光ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを配合する工程Xを有するインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法であって、
さらに、前記工程Xが、
光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、
芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)を配合して前記成分Aを得る工程X1を含有し、
前記成分A中、前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量が10〜100重量%であり、
前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量中、前記成分A2が0〜90重量%であるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法。
(4)インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を製造する工程1、
前記工程1で得たインプリント成型用光硬化性樹脂組成物を基材に塗布する工程2、
前記基材上に塗布されたインプリント成型用光硬化性樹脂組成物をスタンパでする工程3、
前記スタンパされた前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を光硬化させてインプリント成型硬化体を得る工程4、及び、
前記インプリント成型硬化体をスタンパから剥離する工程5を有するインプリント成型硬化体の製造方法であって、
前記工程1における前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造が、請求項8〜10いずれか記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法によるインプリント成型硬化体の製造方法。
本発明のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物(以下、光硬化性樹脂組成物ともいう)は、
ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを含むインプリント成型用光硬化性樹脂組成物であって、
前記成分A中、
光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、
芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)の合計の含有量が10〜100重量%であり、
前記成分A1と成分A2の合計中、前記成分A2が0〜90重量%であるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物である。
基材密着性と型剥離性を両立させる観点から、成分A1を含み、
基材密着性をさらに安定にする観点から、成分A2を含むことが好ましい。
後述する有機ジイソシアネートと下記式(1)で表されるジペンタエリスリトールポリアクリレートの反応物、
有機ジイソシアネートと下記式(2)で表されるようなペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートの反応物、
イソホロンジイソシアネートとジペンタエリスリトール(メタ)ポリアクリレートから得られる下記式(3)で表される6官能ウレタンアクリレート、
ポリカーボネートポリオール系6官能ウレタンアクリレート(例えば、アートレジンUN−9000H(根上工業))、
ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応物である10官能ウレタンアクリレート(例えば、アートレジンUN−904(商品名、根上工業))
等が挙げられる。
有機ジイソシアネートとしては、例えば、芳香族系、脂肪族系、環式脂肪族系、脂環式系等のジイソシアネートが挙げられ、具体的には、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート、変性ジフェニルメタンジイソシアネート、水素添加キシリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート、1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサン等のジイソシアネート類が挙げられる。
UV−7605B(日本合成化学)、UN3320HA(根上工業)、ビームセット575(荒川化学工業)、UA-6HA(新中村化学)等が挙げられる。
ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェニルフェノール(メタ)アクリレート、ナフタレン(メタ)アクリレートなどが好ましく、
ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェニルフェノール(メタ)アクリレート、がより好ましく、
ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、が更に好ましく、
ベンジル(メタ)アクリレートが更に好ましい。
A−BZ(新中村化学)(ベンジルアクリレート)、PO(共栄社化学)(フェノキシエチルメタクリレート)、A−LEN−10(新中村化学)(フェニルフェノールアクリレート)等が挙げられる。
0〜90重量%であり、
基材密着性をより安定にする観点から、
好ましくは20〜90重量%であり、
より好ましくは30〜90重量%であり、
更に好ましくは40〜80重量%であり、
更に好ましくは50〜70重量%である。
エチレン性飽和結合含有基を少なくとも1個有するラジカル重合性不飽和単量体及び/又はオリゴマー(以下、成分A3−1ともいう)、
エチレン性不飽和結合含有基を2個以上有する多官能ラジカル重合性不飽和単量体(以下、成分A3−2ともいう)、
エチレン性不飽和結合含有基を3個以上有する多官能ラジカル重合性不飽和単量体(以下、成分A3−3ともいう)、及び
その他の多官能ラジカル重合性オリゴマーやポリマー(以下、成分A3−4ともいう)からなる群から選ばれる少なくとも1種のラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー。
イソボルニル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート及びシクロヘキシル(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる1種以上の化合物がより好ましい。
ジメチロールジシクロペンタンジ(メタ)アクリレート及び/又は変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレートがより好ましい。
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート及びペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる1種以上の化合物が好ましく、
EO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート及び/又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートがより好ましい。
基材密着性と型剥離性を両立させ、かつ硬化収縮による基材のそりを低減させる観点から、成分A3は、ウレタンアクリレートであることが好ましく、2〜5官能ウレタンアクリレートであることがより好ましく、2〜3官能ウレタンアクリレートであることが更に好ましく、2官能ウレタンアクリレートであることが更に好ましい。
硬化速度の速いものは、低エネルギー量の光線にて硬化出来るため、ロールtoロール方式などでの大量生産という観点で好ましい。
相溶性に優れるものは、結晶化などによる開始剤の析出が起き難く、また黄変が少ないものは、透明性に優れるなどの観点でそれぞれ好ましい。
Ciba社の、
Irgacure184、Irgacure819等のIrgacure(登録商標)シリーズ、
Darocur1173等のDarocur(登録商標)シリーズ、
BASF社の、
Lucirin TPO等のLucirin(登録商標)シリーズ、
ESACUR日本シイベルヘグナー社のESACURE 1001M(1−[4−ベンゾイルフェニルスルファニル]フェニル]−2−メチル−2−(4−メチルフェニルスルホニル)プロパン−1−オン等が挙げられる
ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン;
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリロキシシラン;
β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等のエポキシシラン;
N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン;および、
その他のシランカップリング剤として、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン等が好ましいが、反応性もしくは金属との密着性の観点から、この中では、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリロキシシラン及び/又はγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシランがより好ましい。
但し、光硬化性樹脂組成物において、基材密着性と型剥離性を両立させ、基材密着性の低下の抑止、インプリント成型する過程での界面活性剤等の分離によるインプリント成型硬化体の透明性の低下の抑止、界面活性剤等のブリードによる他の部材への影響の抑止の観点から、界面活性剤等は、光硬化性樹脂組成物中、0.4重量%以下が好ましく、0.2重量%以下がより好ましく、0.1重量%以下が更に好ましく、0.05重量%以下が更に好ましく、0.01重量%以下が更に好ましく、0.001重量%以下が更に好ましく、含まれないことが更に好ましい。
光硬化性樹脂組成物の粘度は、成分A1の粘度が通常は高いので、成分A中に、粘度の低い成分A3を配合して調製する。また、成分A3による粘度調製のし易さの観点から、成分A1の粘度は60000mPa・s以下が好ましい。
光硬化性樹脂組成物を、インプリント成型して本発明のインプリント成型硬化体を得ることができ、本発明のインプリント成型硬化体を電子機器に組み込むことによって、本発明のインプリント成型硬化体を備える電子機器を得ることができる。
半導体集積回路や液晶表示装置用部材(特に、液晶ディスプレイの薄膜トランジタ、液晶カラーフィルタの保護膜、スペーサ、その他の液晶表示装置用部材の微細加工用途等)に好適に適用でき、
その他の用途、例えば、プラズマディスプレイパネル用隔壁材、フラットスクリーン、マイクロ電気機械システム(MEMS)、センサ素子、光ディスク、高密度メモリーデイスク等の磁気記録媒体、回折格子ヤレリーフホログラム等の光学部品、ナノデバイス、光学デバイス、光学フィルムや偏光素子、有機トランジスタ、カラーフィルタ、オーバーコート層、柱材、液晶配向用リブ材、マイクロレンズアレイ、免疫分析チップ、DNA分離チップ、マイクロリアクター、ナノバイオデバイス、光導波路、光学フィルター、フォトニック液晶等の作製にも幅広く適用できる。
更に、光硬化性転写シートの膜自立性が良好であるため、シートのハンドリング性が優れており、連続製造する場合のタクト(処理に必要な時間)を短縮することで、生産性の向上が可能となり、コスト低減を図ることができる。
本発明のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法は、
光ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを配合する工程Xを有するインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法であって、
さらに、前記工程Xが、
光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、
芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)を配合して前記成分Aを得る工程X1を含有し、
前記成分A中、前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量が10〜100重量%であり、
前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量中、前記成分A2が0〜90重量%であるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法である。
前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量中、前記成分A2が好ましくは20〜90重量%、より好ましくは30〜90重量%、更に好ましくは40〜80重量%、更に好ましくは50〜70重量%である。
前記工程Xが、さらに、シランカップリング剤(成分C)を配合する工程X2を有することが好ましい。
工程X2において、成分Cの配合量は、成分A100重量部に対して、0.5〜10重量部が好ましく、1〜8重量部がより好ましく、2〜5重量部が更に好ましい。
上記のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、界面活性剤等、重合禁止剤、光増感剤、酸化防止剤などをさらに配合する工程を有することができる。
ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーが好ましくは10〜100重量%、より好ましくは10〜70重量%、更に好ましくは10〜50重量%、
界面活性剤等が、好ましくは0.4重量%以下、より好ましくは0.2重量%以下、更に好ましくは0.1重量%以下、更に好ましく0.05重量%以下、更に好ましくは0.01重量%以下、更に好ましくは0.001重量%以下、更に好ましくは0重量%、
芳香環を有する(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A2)が、
ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーと芳香環を有する(メタ)アクリレートオリゴマーの合計中、好ましくは0〜90重量%、より好ましくは20〜90重量%、更に好ましくは30〜90重量%、
シランカップリング剤(成分C)が、
得られるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物中、好ましくは0.5〜10重量%、より好ましくは1〜8重量%、更に好ましくは2〜5重量%である。
本発明のインプリント成型硬化体の製造方法は、
インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を製造する工程1、
前記工程1で得たインプリント成型用光硬化性樹脂組成物を基材に塗布する工程2、
前記基材上に塗布されたインプリント成型用光硬化性樹脂組成物をスタンパでする工程3、
前記スタンパされた前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を光硬化させてインプリント成型硬化体を得る工程4、及び、
前記インプリント成型硬化体をスタンパから剥離する工程5を有するインプリント成型硬化体の製造方法であって、
前記工程1におけるインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造が、本発明のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法によるインプリント成型硬化体の製造方法である。
本発明のインプリント成型硬化体の製造方法は、さらに、インプリント成型硬化体上に金属膜を形成する工程6を含むことが好ましい。
前記工程2において、
前記工程1で得たインプリント成型用光硬化性樹脂組成物をインクジェット描画方式で基材に塗布することが好ましい。
露光量は、光硬化が十分に進行させ、安定した硬度と屈折率を確保し、黄変を抑制する観点から、500〜6000mJ/cm2の範囲にすることが望ましい。
更に、露光に際しては、酸素によるラジカル重合の阻害を防ぐため、チッソやアルゴンなどの不活性ガスを流して、酸素濃度を100mg/L未満に制御しても良い。
基材の上に本発明の組成物塗布し、光透過性金型を押し当て、金型の裏面から光を照射し、本発明の組成物を硬化させる。
また、光透過性基材上に本発明の組成物塗布し、金型を押し当て、基材の裏面から光を照射し、本発明の組成物硬化させることもできる。
光照射は、金型を付着させた状態で行ってもよいし、金型剥離後に行ってもよいが、本発明では、金型を密着させた状態で行うのが好ましい。
本発明において用いられる光透過性金型は、所定の強度、耐久性を有するものであれば良い。具体的には、ガラス、石英、PMMA、ポリカーボネート樹脂などの光透明性樹脂、透明金属蒸着膜、ポリジメチルシロキサンなどの柔軟膜、光硬化膜、金属膜等が例示される。
また、光照射の際の基材温度は、通常、室温で行われるが、反応性を高めるために加熱をしながら光照射してもよい。光照射の前段階として、真空状態にしておくと、気泡混入防止、酸素混入による反応性低下の抑制、金型と本発明の組成物の密着性向上に効果があるため、真空状態で光照射しても良い。本発明において、好ましい真空度は、0.1Paから常圧の範囲で行われる。
インプリント成型体を製造する工程Pと、
前記インプリント成型体を組み込む工程Q
とを有する前記インプリント成型体を備える電子機器の製造方法であって、
前記工程Pにおけるインプリント成型体の製造が、本発明のインプリント成型硬化体の製造方法によるインプリント成型硬化体を備える電子機器の製造方法が挙げられる。
(1)離型性
幅30μm高さ1μmのラインパターンのある銅製金型(φ12cm、厚み2cm)に表1の成分A,B、C及び界面活性剤からなる本発明の組成物又は比較の組成物それぞれ0.1gを銅製金型全面に略均一に塗布し、その上に、3cm角の易接着PET(ポリエステル)フィルム(東洋紡工業製 コスモシャイン(登録商標) 厚み100μm)を貼り合せ、UV照射して前記組成物が硬化してインプリント成型硬化体となった後、易接着PETフィルムを指でつまんで0.5〜1.0秒の間に剥がして、銅製金型からの剥がれやすさを確認した。
なお、UV照射の条件は、メタルハライドランプ(アイグラフィックス製 M06−L31)にて1500mJ/cm2である。
易接着PETフィルムは破壊せずインプリント成型硬化体と一体となって手応えなく剥がれ、インプリント成型硬化体は金型に残らない ◎
易接着PETフィルムは破壊せずインプリント成型硬化体と一体となって剥がれるが、若干の手応えあり、インプリント成型硬化体が金型に残ることはない ○
易接着PETフィルムは破壊せずインプリント成型硬化体と一体となって剥がれるが、剥がれにくく、インプリント成型硬化体が金型に残ることはない △
易接着PETフィルムは破壊せずインプリント成型硬化体と一体となって剥がれるが、インプリント成型硬化体の一部が金型に残る ×
3cm角の易接着PETフィルム(東洋紡工業製 コスモシャイン(登録商標) 厚み100μm)(以下、易接着PETフィルム1ともいう)に表1の成分A,B、C及び界面活性剤からなる本発明の組成物0.1g又は比較の組成物0.1gを易接着PETフィルム全面に略均一に塗布してから、易接着PETフィルム1と同じ大きさと厚みの別の上記易接着PETフィルム(以下、易接着PETフィルム2ともいう)を貼り合せ、UV照射して前記組成物が硬化して本発明のインプリント成型硬化体又は比較のインプリント成型硬化体となった後、易接着PETフィルム2を手で0.5〜1.0秒の間に剥がした。
なお、UV照射の条件は、メタルハライドランプ(アイグラフィックス製 M06−L31)にて1500mJ/cm2である。
易接着PETフィルム2が破れるか又は切れた ◎
易接着PETフィルム2の破れ又は切れはなかったが、易接着PETフィルム2の表面の一部が剥がれて易接着PETフィルム1上のインプリント成型硬化体に付着して残った ○
易接着PETフィルム2の破れ又は切れはなく、かつ、易接着PETフィルム2の表面が易接着PETフィルム1上のインプリント成型硬化体に付着して残ることもなかった △
3cm角のPC(ポリカーボネート)フィルム(三菱ガス化学製 ユーピロン(登録商標)厚み100μm)(以下、PCフィルム1ともいう)に表1の成分A,B、C及び界面活性剤からなる本発明の組成物0.1g又は比較の組成物0.1gをPCフィルム1全面に略均一に塗布してから、PCフィルム1と同じ大きさと厚みの別の上記PCフィルム(以下、PCフィルム2ともいう)を貼り合せ、UV照射して前記組成物が硬化して本発明のインプリント成型硬化体又は比較のインプリント成型硬化体となった後、PCフィルム2を手で0.5〜1.0秒の間に剥がした。
なお、UV照射の条件は、メタルハライドランプ(アイグラフィックス製 M06−L31)にて1500mJ/cm2である。
PCフィルム2が破れるか又は切れた ◎
PCフィルム2の破れ又は切れはなかったが、PCフィルム2の表面の一部が剥がれてPCフィルム1上のインプリント成型硬化体に付着して残った ○
PCフィルム2の破れ又は切れはなく、かつ、PCフィルム1上のインプリント成型硬化体への付着もなかった △
幅30μm高さ1μmのラインパターンのある銅製金型(φ12cm、厚み2cm)に表1の成分A,B、C及び界面活性剤からなる本発明の組成物0.1g又は比較の組成物0.1gを銅製金型全面に略均一に塗布し、その上に、3cm角の易接着PET(ポリエステル)フィルム(東洋紡工業製 コスモシャイン(登録商標) 厚み100μm)を貼り合せ、UV照射して前記組成物が硬化してインプリント成型硬化体となったものを試験片とした。試験片上に電子線過熱方式を利用した真空蒸着機(アルバック社製EX−200)によりアルミニウムを12nmの厚さにて成膜した。
JIS−K5400による100マスクロスカット試験によってアルミニウムがその下のインプリント成型硬化体から剥がれるか剥がれないかを確認した。
1マスも剥離しない場合を○
1マスでも剥離した場合を×
と判断した。
実施例9の光硬化性樹脂組成物を、インクジェット塗出機として、
インクジェットヘッド:コニカミノルタ社製 KM512、
X−Yステージ:武蔵エンジニアリング製 SHOT MASTER 500
を用いて、直径100μm、高さ3μmのドットを、130μm間隔で、縦100点、横100点が分布するパターン描画をした。
成分A1、A2、A3、B及びCとして、以下の化合物を使用した。
成分A1:UV−7605B(商品名、日本合成化学)(6官能ウレタンアクリレート)
成分A1:式(3)で表される化合物(6官能ウレタンアクリレート)
成分A1:アートレジンUN−9000H(商品名、根上工業)(6官能ウレタンアクリレート(分子量5000))
成分A1:アートレジンUN−904(商品名、根上工業)(10官能ウレタンアクリレート(分子量4900))
成分A2:BZ(商品名、共栄社化学)(ベンジルメタクリレート)
成分A3:UV−7510B(商品名、日本合成化学)(3官能ウレタンアクリレート)
成分A3:UV−7461TE(商品名、日本合成化学)(2〜3官能ウレタンアクリレート)
成分A3:IB(商品名、新中村化学)(イソボロニルメタクリレート)
成分A3:150D(商品名、大阪有機)(テトラヒドロフルフリルアルコールアクリル酸多量体エステル)
成分B:Irgacure−184(商品名、BASF)(1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン)(以下、I−184と略す)
成分B:IrgacureI−819(商品名、BASF)(ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド)(以下、I−819と略す)
成分C:KBM503(商品名、信越化学)(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシシラン)
成分A1として、UV−7605B100重量部、及び、
成分Bとして、I−184を3重量部とI−819を0.5重量部とを、成分A1及び成分Bの合計で0.1kgを、手動にて撹拌した後自転・公転ミキサーあわとり錬太郎(THINKY社製、品番ARV−200)に投入し、1800rpm、室温25℃で3分間混錬して排出したものを実施例1のインプリント用光硬化性樹脂組成物とした。
成分A、成分B、成分C及び界面活性剤を表1に記載される重量部及び重量%にて、成分A、成分B、成分C及び界面活性剤の合計で0.1kgを、実施例1と同じ条件で混錬して排出したものをそれぞれの例のインプリント用光硬化性樹脂組成物とした。
Claims (12)
- ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを含むインプリント成型用光硬化性樹脂組成物であって、
前記成分Aは、光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、成分A3と、芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/若しくはオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)とからなり、ここで、前記成分A中、前記成分A1と、前記成分A2の合計の含有量が30重量%以上であり、前記成分A1と成分A2の合計中、前記成分A2が0〜90重量%(但し、20〜90重量%を除く)であるか、又は
前記成分Aは、前記成分A1と、成分A3とからなり、ここで、前記成分A中、前記成分A1の含有量が30重量%以上であり、
前記成分A3は、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(メタ)アクリレート、ジメチロールジシクロペンタンジ(メタ)アクリレート、EO変性1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ポリエステル(ジ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、シリコーンジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ECH変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、EO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、PO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート及び2〜5官能ウレタンアクリレートからなる群から選ばれる1種以上のラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマーであり、
前記成分Aは、前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物中、90〜99.5重量%である、
インプリント成型用光硬化性樹脂組成物。 - 前記成分Aが、前記成分A1と、前記成分A3と、前記成分A2(但し、前記成分A1は除く)とからなり、ここで、前記成分A中、前記成分A1と、前記成分A2の合計の含有量が30〜80重量%であり、前記成分A1と前記成分A2の合計中、前記成分A2が0〜90重量%(但し、20〜90重量%を除く)であるか、又は
前記成分Aが、前記成分A1と、前記成分A3とからなり、ここで、前記成分A中、前記成分A1の含有量が30〜80重量%であり、
前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物の粘度が300mPa・s以下である請求項1記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。 - さらに、シランカップリング剤(成分C)を含有する請求項1又は2記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。
- 前記インプリント成型が、インプリント成型され硬化した前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物硬化体上に金属膜を形成する工程を含む請求項3記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。
- 前記インプリント成型が、基材上にインクジェット描画方式で前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を塗布する工程を有する請求項1〜4いずれか1項記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。
- 前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物中、界面活性剤の含有量が0.4重量%以下である請求項1〜5いずれか1項記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜3及び6いずれか1項記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物を、インプリント成型してなるインプリント成型硬化体。
- 光ラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマー(成分A)と、
光ラジカル重合開始剤(成分B)
とを配合する工程Xを有するインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法であって、
前記成分Aは、光ラジカル反応する官能基を6以上有するウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー(成分A1)と、成分A3と、芳香環を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/若しくはオリゴマー(成分A2)(但し、前記成分A1は除く)とからなるか、又は、
前記成分Aは、前記成分A1と、成分A3とからなり、
さらに、前記工程Xが、工程X1を含有し、ここで、
工程X1は、前記成分A1と、前記成分A3と、前記成分A2とを配合して前記成分Aを得る工程であって、ここで、前記成分A中、前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量が30重量%以上であり、前記成分A1と前記成分A2の合計の配合量中、前記成分A2の配合量が0〜90重量%(但し、20〜90重量%を除く)である工程であるか、又は、
工程X1は、前記成分A1と、前記成分A3とを配合して前記成分Aを得る工程であって、ここで、前記成分A中、前記成分A1の配合量が30重量%以上である工程であり、
前記成分A3は、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(メタ)アクリレート、ジメチロールジシクロペンタンジ(メタ)アクリレート、EO変性1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ポリエステル(ジ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、シリコーンジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ECH変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、EO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、PO変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート及び2〜5官能ウレタンアクリレートからなる群から選ばれる1種以上のラジカル重合反応性モノマー及び/又はオリゴマーであり、
前記成分Aは、前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物中、90〜99.5重量%である、
インプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法。 - 前記工程Xが、さらに、シランカップリング剤(成分C)を配合する工程X2を有する請求項8記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法。
- インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を製造する工程1、
前記工程1で得たインプリント成型用光硬化性樹脂組成物を基材に塗布する工程2、
前記基材上に塗布されたインプリント成型用光硬化性樹脂組成物をスタンパする工程3、
前記スタンパされた前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物を光硬化させてインプリント成型硬化体を得る工程4、及び、
前記インプリント成型硬化体をスタンパから剥離する工程5を有するインプリント成型硬化体の製造方法であって、
前記工程1における前記インプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造が、請求項8又は9記載のインプリント成型用光硬化性樹脂組成物の製造方法によるインプリント成型硬化体の製造方法。 - 前記工程2において、
前記工程1で得たインプリント成型用光硬化性樹脂組成物をインクジェット描画方式で基材に塗布する請求項10記載のインプリント成型硬化体の製造方法。 - さらに、前記インプリント成型硬化体上に金属膜を形成する工程6を含む請求項10又は11記載のインプリント成型硬化体の製造方法。
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