JP6114411B2 - パターニングデバイス、基板上へのマーカ形成方法およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
放射ビームB(例えばUV放射またはEUV放射)を調整するよう構成されている照明系(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するよう構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするよう構成されている第1のポジショナPMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストでコーティングされたウェーハ)Wを保持するよう構成され、いくつかのパラメータに従って基板を正確に位置決めするよう構成されている第2のポジショナPWに接続されている基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
パターニングデバイスMAにより放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの(例えば一つまたは複数のダイからなる)目標部分Cに投影するよう構成されている投影系(例えば屈折投影レンズ系)PSをさらに備える。
1.ステップモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンの全体が1回の照射(すなわち単一静的露光)で目標部分Cに投影される間、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる。そして基板テーブルWTがx方向及び/またはy方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。ステップモードでは露光フィールドの最大サイズが単一静的露光で転写される目標部分Cのサイズを制限することになる。
2.スキャンモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間(すなわち単一動的露光の間)、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは同期して走査される。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。スキャンモードでは露光フィールドの最大サイズが単一動的露光での目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、走査移動距離が目標部分の(走査方向の)長さを決定する。
3.別のモードにおいては、マスクテーブルMTがプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、基板テーブルWTが移動または走査される。このモードではパルス放射源が通常用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは、基板テーブルWTの毎回の移動後、または走査中の連続放射パルス間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上述のプログラマブルミラーアレイ等のプログラム可能パターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
最高解像度で最適なイメージングを得るために、ダイポール照明が用いられてよい。図2の照明プロファイルの例は、ダイポール照明プロファイルであり、これは、周期的構造のイメージングにおけるコントラストおよびフォーカスを増大するよう最適化されている。投影瞳の周縁の近くには、2つの直径方向に対向する照明スポット204がある。
Claims (13)
- 光学投影により基板上にマーカを形成するのに使用するためのパターニングデバイスであって、該パターニングデバイスは、少なくとも第1の方向に周期的である密度プロファイルを有するマーカパターンを備え、前記マーカパターンの周期的な密度プロファイルの基本空間周波数は、形成されるべきマーカの所望の周波数に対応し、前記密度プロファイルは、基本周波数を有する単純な2値のプロファイルに対して、光学投影により投影される前記マーカパターンの像中の1つ以上の前記基本周波数の高調波を抑制するよう変調される、パターニングデバイス。
- 前記周期的な密度プロファイルは、前記第1の方向に対して直交する第2の方向において変調された2値のプロファイルであり、第2の方向における変調は、基本周波数よりも大きい空間周波数を有する、請求項1に記載のパターニングデバイス。
- 前記周期的な密度プロファイルは、前記基本空間周波数だけでなく抑制されるべき高調波よりも大きな空間周波数で前記第1の方向において変調された2値のプロファイルである、請求項1または2に記載のパターニングデバイス。
- 前記周期的な密度プロファイルは、前記基本周波数のうち特定の高調波よりも低次の全ての高調波を抑制するよう変調される、請求項1から3のいずれかに記載のパターニングデバイス。
- 基板上へのマーカ形成方法であって、請求項1から4のいずれかに記載のパターニングデバイスを放射で照明することと、基板上にマーカパターンの像を投影することと、該像を用いてリソグラフィプロセスにより基板上にマーカを形成すること、を備える方法。
- リソグラフィプロセスは、基板上にコーティングされた光感応性レジストを像で露光することと、レジストを現像してレジストマーカパターンを形成することを備える、請求項5に記載の方法。
- 請求項1から4のいずれかに記載のパターニングデバイスを放射で照明することと、基板上にマーカパターンの像を投影することと、該像を用いてリソグラフィプロセスにより基板上にマーカを形成することと、形成されたマーカを用いてその後のリソグラフィプロセスを調整することを備え、該リソグラフィプロセスは、形成されたマーカを用いて露光の調整又は露光のアライメントを修正する間に、基板上にコーティングされた光感応性レジストを回路パターンの像で露光することと、レジストを現像してレジスト集積回路パターンを形成することと、デバイスの集積回路を形成するためにエッチングすることにより、レジスト集積回路パターンを基板に転写することを備える、デバイス製造方法。
- 光学投影系で使用するためのパターニングデバイスであって、各周期内に光学投影系のイメージング解像度に対するサブ解像度であるパターンフィーチャを有する周期的マーカパターンを備え、周期的マーカパターンは、サブ解像度パターンフィーチャを持たない矩形の周期的マーカパターンの像と比較して、光学投影系により投影される周期的マーカパターンの像中の少なくとも1つの高調波を抑制するために非矩形の周期的パターンに近づくよう構成される、パターニングデバイス。
- 周期的マーカパターンは、光学投影系により投影される周期的マーカパターンの像中の全ての高調波を抑制するために正弦波周期パターンに近づくよう構成される、請求項8に記載のパターニングデバイス。
- 周期的マーカパターンは、光学投影系により投影される周期的マーカパターンの像中の3次高調波を除く全ての高調波を抑制するために非矩形周期パターンに近づくよう構成される、請求項8に記載のパターニングデバイス。
- 基板上に周期的マーカを形成する方法であって、請求項8から10のいずれかに記載のパターニングデバイスを照明することと、光学投影系を用いて周期的マーカパターンの像を基板上に投影することと、該像を用いて基板上に周期的マーカを形成することと、備える方法。
- リソグラフィプロセスは、基板上にコーティングされた光感応性レジストを像で露光することと、レジストを現像してレジストマーカパターンを形成することを備える、請求項11に記載の方法。
- 請求項8から10のいずれかに記載のパターニングデバイスを放射で照明することと、基板上に周期的マーカパターンの像を投影することと、該像を用いてリソグラフィプロセスにより基板上に周期的マーカを形成することと、形成された周期的マーカを用いてその後のリソグラフィプロセスを調整することを備え、該リソグラフィプロセスは、形成された周期的マーカを用いて露光の調整又は露光のアライメントを修正する間に、基板上にコーティングされた光感応性レジストを回路パターンの像で露光することと、レジストを現像してレジスト集積回路パターンを形成することと、デバイスの集積回路を形成するためにエッチングすることにより、集積回路パターンを基板に転写することを備える、デバイス製造方法。
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