JP6100606B2 - X線発生装置 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本実施形態に係るX線発生装置の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係るX線発生装置を示す概略構成図である。
続いて、第2実施形態について説明する。図4は、第2実施形態に係るX線発生装置のターゲットユニットを示す図である。図5は、図4におけるV−V線での断面構成を示す図である。
続いて、第3実施形態について説明する。図6は、第3実施形態に係るX線発生装置の断面構成を示す図である。
続いて、第4実施形態について説明する。図7は、第4実施形態に係るX線発生装置の断面構成を示す図である。
Claims (7)
- 絶縁材料からなる基板と、当該基板に埋設されたターゲット部と、を有するターゲットユニットと、
前記ターゲット部に入射する電子ビームを発生する電子銃部と、当該電子銃部を収容し且つ前記電子銃部から出射された電子ビームが通過する電子通路を含む本体部と、を有する電子出射部と、
絶縁材料からなり、前記本体部の前記電子通路の出射端部において前記電子通路を包囲するように、前記ターゲットユニットと前記出射端部との間に配置された気密封止部材と、を備えるX線発生装置であって、
前記ターゲットユニットは、前記気密封止部材の配置位置の外側に、貫通孔を有しており、
前記貫通孔に挿通されると共に前記貫通孔と所定の間隔を有して配置され、前記出射端部に対する前記ターゲットユニットの姿勢を保持する姿勢保持部材を備え、
前記姿勢保持部材と前記ターゲットユニットとの間、及び前記姿勢保持部材と前記本体部との間の少なくとも一方に絶縁部材が設けられていることを特徴とするX線発生装置。 - 前記姿勢保持部材は、
前記本体部に固定される固定部と、
前記ターゲットユニットを前記出射端部側に押圧する押圧部と、
前記固定部と前記押圧部とを連結する連結部と、を備え、
前記連結部が前記貫通孔に挿通されると共に前記貫通孔と所定の間隔を有して配置されていることを特徴とする請求項1記載のX線発生装置。 - 前記固定部は雄ねじ部であり、
前記雄ねじ部が前記出射端部に設けられた雌ねじ部に螺合されていることを特徴とする請求項2記載のX線発生装置。 - 前記ターゲットユニットは、前記押圧部を収容する収容部を有していることを特徴とする請求項2又は3記載のX線発生装置。
- 前記絶縁部材が、前記押圧部と前記ターゲットユニットとの間に配置されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項記載のX線発生装置。
- 前記絶縁部材が、前記固定部と前記本体部との間に配置されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項記載のX線発生装置。
- 前記固定部及び前記押圧部の少なくとも一方が前記絶縁部材からなることを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項記載のX線発生装置。
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